KR20150008364A - 반송 유닛 및 반송 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 반송 유닛은, 반송 방향으로 연장되는 바닥벽과, 상기 바닥벽의 양측부로부터 각각 세워진 한 쌍의 측벽을 포함하는 베이스 부재; 상기 베이스 부재에 지지되고, 반송 대상물을 반송하는 반송 기구; 상기 베이스 부재에 지지되고, 상기 반송 기구에 의해 반송되는 상기 반송 대상물을 베이스 부재에 대해 위치 결정하는 위치 결정 기구;를 구비한다.

Description

반송 유닛 및 반송 장치{Transport unit and transport apparatus}
본 발명은 반송 대상물을 반송하는 기술에 관한 것이다. 본원은 2012년 3월 29일 일본에 출원된 일본 특허출원 2012-077770호에 근거하여 우선권을 주장하고 그 내용을 여기에 원용한다.
반송 대상물을 소정의 위치로 반송하는 경우, 반송 대상물의 위치 결정이 필요하게 되는 경우가 많다. 이 때문에, 반송 기구와 위치 결정 기구를 구비한 장치가 제안되어 있다. 예를 들면, 일본공개특허 2000-258497호 공보(특허문헌 1)에는, 복수의 칩을 탑재하는 팔레트를 반송하는 벨트 컨베이어와, 그 위치 결정을 행하는 기구를 구비한 장치가 개시되어 있다. 또한, 일본공개실용신안 평5-82939호 공보(특허문헌 2)에는 팔레트의 위치 결정 장치를 구비한 컨베이어가 개시되어 있다. 또한, 일본공개실용신안 평7-29484호 공보(특허문헌 3)에는 트레이의 위치 결정 기구를 구비한 컨베이어가 개시되어 있다.
반송 기구나 위치 결정 기구는 정기적인 유지보수가 필요하다. 또한, 이들이 고장난 경우에는 그 수리나 교환이 필요하다. 이러한 유지보수 등은 시스템의 가동 정지를 수반하기 때문에 단기간인 것이 바람직하다. 또한, 고장난 반송 기구나 위치 결정 기구를 교환하는 경우에는 상호의 위치 조정을 행할 필요가 있다. 이 위치 조정 작업은 시스템의 가동 정지 기간을 장기화시키는 요인이 된다.
특허문헌 1: 일본공개특허 2000-258497호 공보 특허문헌 2: 일본공개실용신안 평5-82939호 공보 특허문헌 3: 일본공개실용신안 평7-29484호 공보
본 발명의 목적은, 시스템의 가동 정지 기간이 장기화되는 것을 방지할 수 있는 반송 유닛 및 반송 장치를 제공하는 것에 있다.
본 발명에 따르면, 반송 방향으로 연장되는 바닥벽과, 상기 바닥벽의 양측부로부터 각각 세워진 한 쌍의 측벽을 포함하는 베이스 부재; 상기 베이스 부재에 지지되고, 반송 대상물을 반송하는 반송 기구; 상기 베이스 부재에 지지되고, 상기 반송 기구에 의해 반송되는 상기 반송 대상물을 베이스 부재에 대해 위치 결정하는 위치 결정 기구;를 구비한 반송 유닛이 제공된다.
또한, 본 발명에 의하면, 반송 유닛과 상기 반송 유닛이 안착되는 안착대를 구비한 반송 장치로서, 상기 반송 유닛이 반송 방향으로 연장되는 바닥벽과, 상기 바닥벽의 양측부로부터 각각 세워진 한 쌍의 측벽을 포함하는 베이스 부재; 상기 베이스 부재에 지지되고, 반송 대상물을 반송하는 반송 기구; 상기 베이스 부재에 지지되고, 상기 반송 기구에 의해 반송되는 상기 반송 대상물을 베이스 부재에 대해 위치 결정하는 위치 결정 기구;를 구비하며, 상기 안착대가 반송 대상물이 접촉하는 위치 결정 기준부를 구비하고, 상기 위치 결정 기구는 상기 위치 결정 기준부로 향하여 반송 대상물을 가압하는 가압 기구를 구비한 반송 장치가 제공된다.
또한, 본 발명에 의하면, 반송 유닛과 상기 반송 유닛이 안착되는 안착대를 구비한 반송 장치로서, 상기 반송 유닛이 반송 방향으로 연장되는 바닥벽과, 상기 바닥벽의 양측부로부터 각각 세워진 한 쌍의 측벽을 포함하는 베이스 부재; 상기 베이스 부재에 지지되고, 반송 대상물을 반송하는 반송 기구; 상기 베이스 부재에 지지되고, 상기 반송 기구에 의해 반송되는 상기 반송 대상물을 베이스 부재에 대해 위치 결정하는 위치 결정 기구; 상기 베이스 부재에 고정된 기준 부재;를 구비하며, 상기 안착대가 상기 반송 유닛의 안착 위치를 규정하는 걸어맞춤 부재를 구비하고, 상기 기준 부재는 반송 대상물이 접촉하는 위치 결정 기준부와 상기 걸어맞춤 부재가 걸어맞춤되는 피걸어맞춤부를 가지며, 상기 위치 결정 기구는 상기 위치 결정 기준부로 향하여 반송 대상물을 가압하는 가압 기구를 구비한 반송 장치가 제공된다.
본 발명의 다른 특징들은, 첨부된 도면을 참조한, 실시예들의 설명으로부터 명확해지게 될 것이다.
본 발명에 의하면, 시스템의 가동 정지 기간이 장기화되는 것을 방지할 수 있는 반송 유닛 및 반송 장치를 제공될 수 있다.
도 1은 본 발명의 적용예인 작업 시스템의 레이아웃도.
도 2는 본 발명의 일 실시형태에 관한 반송 장치의 사시도.
도 3은 본 발명의 일 실시형태에 관한 반송 유닛의 사시도.
도 4는 도 3의 반송 유닛의 부분 분해 사시도.
도 5a 및 도 5b는 위치 결정 기구의 사시도.
도 6a 및 도 6b는 도 5의 위치 결정 기구의 동작 설명도.
도 7a 및 도 7b는 도 5의 위치 결정 기구의 동작 설명도.
도 8a 및 도 8b는 도 5의 위치 결정 기구의 동작 설명도.
도 9는 도 2의 반송 장치에 있어서 반송 유닛의 교환 태양을 도시한 도면.
도 10은 도 1의 작업 시스템의 제어 장치의 블록도.
도 11은 위치 결정 기구의 다른 예의 설명도.
도 12는 위치 결정 기구의 다른 예의 설명도.
도 13은 위치 결정 기구의 다른 예의 설명도.
<제1 실시형태>
<작업 시스템>
도 1은 본 발명의 적용예인 작업 시스템(A)의 레이아웃도이다. 작업 시스템(A)은, 트레이(T) 상의 부품(도시생략)에 대해 소정의 작업이나 검사를 행하는 시스템으로서, 본 발명의 일 실시형태에 관한 반송 장치(1) 및 반송 유닛(10)을 포함한다. 부품은 예를 들면 IC칩이다. 이하, 작업 시스템(A)의 동작에 대해 개략 설명한다. 각 도면에서 X, Y는 서로 직교하는 수평 방향을 나타내고, Z는 상하 방향을 나타낸다.
반송 장치(2a)는 예를 들면 벨트 컨베이어로서, 복수의 부품을 탑재한 트레이(T)를 Y방향으로 반송한다. 작업 장치(3)는 반송 장치(2a)의 반송 경로 도중에 설치되어 있다. 작업 장치(3)는 반송 경로 상에서 위치 결정되어 반송이 정지된 트레이(T) 상의 부품을 취출하고, 소정의 작업을 행하여 트레이(T)로 되돌린다. 작업 내용으로서는, 예를 들면 부품의 가열, 세정 등을 들 수 있다.
반송 장치(4)는, 트레이(T)를 Y방향으로 반송하는 반송부(4a)와, 반송부(4a)를 X방향으로 왕복 이동시키는 구동부(4b)를 구비한다. 반송부(4a)는 예를 들면 벨트 컨베이어이다. 반송부(4a)는 반송 장치(2a)로부터 트레이(T)를 받아 대기 장치(5)로 트레이(T)를 공급한다. 또한, 반송부(4a)는 대기 장치(5)로부터 트레이(T)를 받아 반송 장치(2b)로 건네준다. 반송 장치(2b)는 예를 들면 벨트 컨베이어로서, 비어 있는 트레이(T)나 불량 부품을 탑재한 트레이(T)를 Y방향으로 반송한다.
대기 장치(5)는 예를 들면 벨트 컨베이어를 구비하고, 반송 장치(4)로부터 공급된 트레이(T)를 대기 장치(5) 상에 대기시킨다. 이동탑재 장치(6)는, 대기 장치(5)에 대기하고 있는 트레이(T) 상의 부품을 검사 장치(7)로 반송한다. 이동탑재 장치(6)는 갠트리 타입의 로봇으로서, 부품을 파지하는 핸드부(6a)와, 핸드부(6a)를 Y방향으로 왕복 이동시킴과 동시에 Z방향으로 승강하는 이동탑재 기구(6b)와, 이동탑재 기구(6b)를 X방향으로 이동시키는 한 쌍의 이동탑재 기구(6c)를 구비한다.
검사 장치(7)는 부품의 검사나 측정을 행한다. 검사 장치(7)에서의 검사에서 불합격이 된 부품은, 불량 부품으로서 이동탑재 장치(6)에 의해 대기 장치(5) 상의 트레이(T)로 되돌려진다. 합격한 부품은, 반송 유닛(10) 상에서 위치 결정되어 있는 트레이(T)로 이동탑재 장치(6)에 의해 반송된다.
대기 장치(5) 상의 트레이(T)에 탑재되어 있는 모든 부품의 검사가 완료되면, 대기 장치(5)는 트레이(T)를 반송 장치(4)로 되돌린다. 반송 장치(4)는 대기 장치(5)로부터 되돌려진 트레이(T)를 반송 장치(2b)로 반송하여 건네주게 된다.
반송 장치(2c)는 예를 들면 벨트 컨베이어로서, 비어 있는 트레이(T)를 도시하지 않은 스토커로부터 반송 장치(8)로 반송한다. 반송 장치(8)는 트레이(T)를 Y방향으로 반송하는 반송부(8a)와, 반송부(4a)를 X방향으로 왕복 이동시키는 구동부(8b)를 구비한다. 반송부(8a)는 비어 있는 트레이(T)를 각 반송 유닛(10)에 공급한다.
각 반송 장치(1)는 복수의 반송 유닛(10)을 구비한다. 본 실시형태의 경우, 2개의 반송 장치(1)가 구동부(8b)의 Y방향 양측에 배치되어 있고, 각 반송 장치(1)는 X방향으로 배열된 5대의 반송 유닛(10)을 구비한다.
각 반송 유닛(10)은, 반송 장치(8)로부터 비어 있는 트레이(T)가 공급되면, 우선 그 위치 결정을 행한다. 그 후, 트레이(T)에는 이동탑재 장치(6)에 의해 부품이 반송된다. 트레이(T) 상의 부품이 소정수에 도달하면, 트레이(T)를 후속 장치(9)로(Y방향으로) 반송한다. 장치(9)는 예를 들면 트레이(T)의 스토커이다.
이와 같이 하여 작업 시스템(A)에서는 부품에 대한 작업, 검사, 트레이(T)에의 수납을 자동화할 수 있다.
<반송 장치>
도 2는 반송 장치(1)의 사시도이다. 반송 장치(1)는, 복수의 반송 유닛(10)과 반송 유닛(10)이 안착되는 안착대(20)를 구비한다. 안착대(20)는 그 표면이 평탄한 안착면을 이루고 있고, 여기에 반송 유닛(10)이 안착된다. 각 반송 유닛(10)은 나사 등의 고정 구조에 따라 고정 해제가 자유롭게 안착대(20)에 고정된다.
안착대(20)는 걸어맞춤 부재(21)를 구비한다. 본 실시형태의 경우, 걸어맞춤 부재(21)는 하나의 반송 유닛(10)에 대해 2개 할당되어 있다. 본 실시형태의 경우, 걸어맞춤 부재(21)는 안착면에 세워 설치한 원기둥체이다. 이 걸어맞춤 부재(21)는, 각 반송 유닛(10)의 안착대(20) 상에서의 안착 위치를 규정한다. 즉, 반송 유닛(10)의 위치 결정을 행하기 위한 부재이다. 또한, 안착대(20)에 대한 반송 유닛(10)의 안착 위치가 위치 결정됨으로써, 반송 유닛(10) 상에서 위치 결정되는 트레이(T)의 안착대(20)에 대한 위치도 위치 결정되게 된다.
안착대(20)에 나사에 의해 반송 유닛(10)을 고정하는 구성의 경우, 반송 유닛(10)의 안착대(20)에 대한 대략의 위치는 나사를 통과시키는 구멍에 의해 규정할 수 있다. 그러나, 나사를 통과시키는 구멍의 위치나 크기의 정밀도는 그다지 높지는 않다. 그래서, 걸어맞춤 부재(21)를 설치함으로써 트레이(T)의 위치 결정 정밀도를 향상시킬 수 있다. 자세한 것은 후술한다.
<반송 유닛>
도 3 내지 도 5b를 참조하여 반송 유닛(10)의 구성을 설명한다. 도 3은 반송 유닛(10) 및 트레이(T)의 사시도이다. 도 4는 반송 유닛(10)의 부분 분해 사시도로서, 주로 베이스 부재(11)와 반송 기구(12)를 나타내고 있다. 도 5a 및 도 5b는 위치 결정 기구(13)의 사시도로서, 도 5a는 위에서 본 사시도, 도 5b는 아래에서 본 사시도이다.
반송 유닛(10)은 베이스 부재(11), 반송 기구(12), 위치 결정 기구(13), 가이드 부재(14 및 15)를 구비한다.
베이스 부재(11)는, 반송 방향(Y방향)으로 연장되는 바닥벽(111)과, 바닥벽(111)의 X방향의 양측부로부터 각각 세워진 한 쌍의 측벽(112, 112)과, 측벽(112, 112)의 상부에서 베이스 부재(11)의 내측(대향하는 측벽(112) 측)으로 돌출된 가장자리부(113)를 구비한다. 베이스 부재(11)는 그 단면 형상이 상부가 개구된 C자형을 이루고, 전체적으로 Y방향 양단부가 개방된 통형을 이루고 있다. 이 때문에, 베이스 부재(11)의 내측에는 내부 공간이 형성되어 있다. 베이스 부재(11)는, 예를 들면 금속판을 프레스 가공 등에 의해 절곡하여 일체적으로 형성한 부재로 할 수 있다.
가장자리부(113, 113) 상에는, 스페이서(14a, 15a)를 사이에 두고 가이드 부재(14, 15)가 고정되어 있다. 가이드 부재(14, 15)는 트레이(T)의 반송시에 트레이(T)가 사행하지 않도록 그 이동을 안내한다.
여기서, 도 3에 도시된 바와 같이 트레이(T)는 전체적으로 정사각형의 판형상을 이루고, 정사각형의 바닥판부(Ta)와, 바닥판부(Ta)로부터 1단 높게 되어 있는 정사각형의 스테이지부(Tb)를 일체로 구비하고 있다. 스테이지부(Tb)의 상면에는, 부품이 탑재되는 오목부(Tc)가 매트릭스 형상으로 형성되어 있다. 가이드 부재(14, 15)는, 그 내측 측면의 이격 거리가 스테이지부(Tb)보다 약간 넓게 설정되어 있다. 그리고, 가이드 부재(14, 15)는 스테이지부(Tb)(의 측면)를 안내함으로써 트레이(T)의 사행을 방지한다.
가이드 부재(14, 15)에 의해 스테이지부(Tb)가 아니라 바닥판부(Ta)를 안내하는 것도 가능하다.
스페이서(14a, 15a)는 가이드 부재(14, 15)의 Z방향의 위치 조정용 부재이다. 이 스페이서(14a, 15a)에 의해, 반송 기구(12)에 의해 반송되는 트레이(T)의 스테이지부(Tb)의 Z방향의 위치(높이)와 가이드 부재(14, 15)의 높이가 맞도록 가이드 부재(14, 15)의 Z방향의 위치가 조정된다. 가이드 부재(14, 15)는, 각각이 고정되는 스페이서(14a, 15a)로부터 트레이(T)를 가이드하는 가이드부가 돌출되고, 예를 들면 나사 등의 고정 구조에 따라 고정 해제가 자유롭게 가장자리부(113, 113)에 고정된다. 그리고, 바닥판부(Ta)를 각각의 가이드 부재(14, 15)의 하측에 위치하여 반송 이동 가능하게 구성한다.
본 실시형태의 경우, 가이드 부재(14)는 안착대(20)의 2개의 걸어맞춤 부재(21)와 걸어맞춤되는 2개의 피걸어맞춤부(142, 142)와, 위치 결정 기구(13)에 의한 위치 결정의 기준이 되는 위치 결정 기준부(141)를 갖고 있으며, 안착대(20)에 대한 트레이(T)의 위치 기준이 되는 기준 부재가 되어 있다.
피걸어맞춤부(142)는 반원형상의 노치로서, 원기둥체인 걸어맞춤 부재(21)의 둘레면이 걸어맞춤된다. 반원형상으로 함으로써 반송 유닛(10)의 Y방향 및 X방향의 위치를 규정하고, 2개의 피걸어맞춤부(142)를 설치함으로써, 반송 유닛(10)의 수평면에서의 자세(방향)를 규정할 수 있다. 이 때문에, 반송 유닛(10)의 교환 작업을 용이하게 한다. 도 9는 반송 유닛(10)의 교환 태양을 도시하고 있다. 도 9에 도시된 바와 같이 새로운 반송 유닛(10)을 안착대(20)에 탑재할 때, 걸어맞춤 부재(21)와 피걸어맞춤부(142)를 걸어맞춤함으로써 안착대(20)에 대한 반송 유닛(10)의 위치 맞춤이 완료된다. 이 결과, 반송 유닛(10) 상에서 위치 결정되는 트레이(T)의 안착대(20)에 대한 위치 맞춤도 완료되게 된다. 따라서, 반송 유닛(10)의 교환 및 트레이(T)의 X방향의 위치 맞춤 작업을 용이하게 한다. 피걸어맞춤부(142)는 반원형상의 노치로 하고 있지만, 정점을 형성하는 2선을 갖는 형상(V홈 형상)이나 원형상으로 해도 된다.
위치 결정 기준부(141)는, 후술하는 위치 결정 기구(13)에 의해, 트레이(T)의 스테이지부(Tb)의 일단 가장자리를 접촉시킴으로써 그 (X방향의) 위치 결정을 행한다. 즉, 위치 결정 기준부(141)는 트레이(T)의 반송을 가이드함과 동시에 위치 결정 기구(13)의 일부를 구성하고 있다.
위치 결정 기준부(141)나 피걸어맞춤부(142)는 각각 따로 구성하는 것도 가능하다. 그러나, 본 실시형태와 같이 하나의 가이드 부재(14)가 위치 결정 기준부(141)와 피걸어맞춤부(142)를 구비함으로써, 안착대(20)에 대한 반송 유닛(10)의 위치 맞춤과 트레이(T)를 위치 결정해야 할 위치의 조정을 동시에 행할 수 있는 이점이 있다.
<반송 기구>
반송 기구(12)는 베이스 부재(11)에 지지되고, 반송 대상물인 트레이(T)를 반송한다. 본 실시형태의 경우, 반송 기구(12)는 각 측벽(112)의 내측에 각각 지지된 한 쌍의 벨트 전동 기구(12a, 12a)를 구비한다. 측벽(112)의 내측에 벨트 전동 기구(12a)를 지지함으로써, 베이스 부재(11)의 내부 공간에 반송 기구(12)를 수용할 수 있고 반송 유닛(10)의 컴팩트화나 일체화를 도모할 수 있다.
벨트 전동 기구(12a)는 모터 등의 구동원(121)과, 구동원(121)에 지지됨과 동시에 회전되는 구동 풀리(122)와, 종동 풀리(123)와, 구동 풀리(122)와 종동 풀리(123)에 감겨진 무단 벨트(124)를 구비한다. 구동 풀리(122)의 회전에 의해 무단 벨트(124)가 주행한다. 트레이(T)는 무단 벨트(124, 124) 상에 걸쳐 안착되고, 무단 벨트(124)의 주행에 따라 Y방향으로 반송된다.
구동원(121)은 지지 부재(125)에 지지되어 있다. 지지 부재(125)는 장착부(125a)를 구비한다. 장착부(125a)는 예를 들면 나사공을 갖고 있다. 베이스 부재(11)의 측벽(112)에는 구멍(112b)이 마련되어 있고, 구멍(112b)에 볼트(도시생략)를 삽입하여 볼트가 장착부(125a)와 나사결합함으로써 지지 부재(125)를 측벽(112)에 고정할 수 있다. 이에 의해, 구동원(121) 및 구동 풀리(122)를 측벽(112)에서 지지할 수 있다.
종동 풀리(123)는 축 부재(126)에 의해 회전이 자유롭게 지지되어 있다. 축 부재(126)는 예를 들면 나사공을 갖고 있다. 베이스 부재(11)의 측벽(112)에는 구멍(112c)이 마련되어 있고, 구멍(112c)에 볼트(도시생략)를 삽입하여 볼트가 축 부재(126)와 나사결합함으로써 축 부재(126)를 측벽(112)에 고정할 수 있다. 이에 의해, 종동 풀리(123)를 측벽(112)에서 지지할 수 있다.
본 실시형태의 경우, 구동원(121) 및 구동 풀리(122)를 베이스 부재(11)의 Y방향의 한쪽 단부측에 배치하고, 종동 풀리(122)를 베이스 부재(11)의 Y방향의 다른 쪽 단부측에 배치하고 있다. 이 구성에 의해, 무단 벨트(124)의 주행 범위를 길게 할 수 있고, 반송 유닛(10)의 Y방향의 한쪽 단부로부터 다른 쪽 단부에 걸쳐 트레이(T)를 반송할 수 있다.
또한, 일반적으로 모터 등의 구동원(121)은 그 점유 공간이 크다. 본 실시형태의 경우, 구동원(121)을 베이스 부재(11)의 Y방향의 한쪽 단부측에 배치하고, 위치 결정 기구(13)를 구동원(112)보다 베이스 부재(11)의 Y방향의 다른 쪽 단부측에 배치하고 있다. 이에 의해, 베이스 부재(11)의 내측 공간을 효율적으로 이용할 수 있고 반송 유닛(10)의 컴팩트화를 도모할 수 있다.
본 실시형태에서는, 구동 풀리(122)보다 종동 풀리(123)를 작은 직경으로 함으로써, 종동 풀리(123) 측에서는 베이스 부재(11)의 내측 공간에 다른 구성을 보다 많이 설치할 수 있도록 하고 있다. 즉, 위치 결정 기구(13)의 설치 공간을 보다 넓게 확보할 수 있도록 하고 있다. 반면, 트레이(T)를 수평으로 반송하기 위해, 무단 벨트(124)의 상측 주행 부분(124a)은 수평으로, 하측 주행 부분(124b)은 비스듬하게 되도록 종동 풀리(123)의 축심 위치를 구동 풀리(122)의 축심 위치보다 상측으로 어긋나게 한 구성으로 하고 있다.
또, 본 실시형태에서는 반송 기구(12)를 벨트 전동 기구로 하였지만, 다른 종류의 반송 기구이어도 된다.
<위치 결정 기구>
위치 결정 기구(13)는 베이스 부재(11)에 지지되고, 반송 기구(12)에 의해 반송되는 트레이(T)를 베이스 부재(11)에 대해 위치 결정한다. 본 실시형태의 경우, 위치 결정 기구(13)는 트레이(T)를 X방향과 Y방향 양쪽에 대해 그 위치 결정을 행한다. 그러나, 어느 한 방향만 위치 결정하는 구성으로 해도 된다.
본 실시형태의 경우, 위치 결정 기구(13)는 Y방향으로 트레이(T)를 위치 결정하는 구성으로서 위치 결정 기준부(134)와, 위치 결정 기준부(134)로 향하여 트레이(T)를 가압하는 가압 기구(131)를 구비한다. 이들은 반송 방향용 구성이다.
또한, X방향으로 트레이(T)를 위치 결정하는 구성으로서 가이드 부재(14)에 설치한 위치 결정 기준부(141)와, 위치 결정 기준부(141)로 향하여 트레이(T)를 가압하는 가압 기구(132)를 구비한다. 이들은 반송 방향에 직교하는 직교 방향용 구성이다.
본 실시형태의 경우, 위치 결정 기구(13)는 가압 기구(131)와 가압 기구(132)에서 공통의 구동 유닛(133)을 갖고 있다. 가압 기구(131)와 가압 기구(132)에서 개별적으로 구동원을 갖는 구성도 채용 가능하지만, 구동원을 공통으로 함으로써 구동원 하나만큼의 공간 절약화, 저비용화를 도모할 수 있다.
우선, 위치 결정 기준부(134)와 가압 기구(131)에 대해 설명한다. 이들이 위치 결정하는 방향인 Y방향은 트레이(T)의 반송 방향이기 때문에, 트레이(T)의 반송시에는 트레이(T)와 간섭하지 않도록 할 필요가 있다.
위치 결정 기준부(134)는, 트레이(T)의 바닥판부(Ta)의 일단부가 Y방향으로부터 접촉함으로써 그 위치 결정을 행한다. 본 실시형태의 경우, 원기둥 형상을 이루고 있다. 위치 결정 기준부(134)는 이동 기구(134a)에 의해 Z방향으로 이동된다. 이동 기구(134a)는 트레이(T)가 접촉하지 않는 퇴피 위치와 트레이(T)가 접촉하는 위치 결정 위치의 사이에서 위치 결정 기준부(134)를 승강 이동한다. 퇴피 위치는 반송 기구(12)에 의한 트레이(T)의 반송 위치(반송 높이)보다 낮은 위치이고, 접촉 위치는 위치 결정 기준부(134)가 트레이(T)의 반송 위치를 횡단하는 위치이다.
이동 기구(134a)는 예를 들면 솔레노이드 등의 액튜에이터로서, 베이스 부재(11)의 바닥벽(111)에 지지되어 있다. 트레이(T)를 위치 결정하는 경우에는 위치 결정 기준부(134)를 접촉 위치에 위치시키고, 그 이외의 경우는 퇴피 위치에 위치시킨다.
가압 기구(131)는, 트레이(T)의 바닥판부(Ta)의 타단부에 Y방향으로부터 접촉함으로써 트레이(T)를 위치 결정 기준부(134)에 가압하는 접촉 부재(1312)를 구비한다. 접촉 부재(1312)는 트레이(T)의 바닥판부(Ta)에 접촉하는 접촉면(1312a)을 갖고 있다. 도 5a에 도시된 접촉 부재(1312)의 자세의 경우, 이 접촉면(1312a)은 스토퍼(1315)에 접촉한 하향 상태에 있다. 이 하향 상태는 트레이(T)의 반송 이동을 저해하지 않는 퇴피 상태이다.
접촉 부재(1312)는 지지 부재(1314)에 회동이 자유롭게 지지되어 있다. 상세하게는, 지지 부재(1314)는 한 쌍의 축 지지 부재(1313, 1313)를 구비하고, 축 지지 부재(1313, 1313)는 축(1313a)을 지지하고 있다. 축(1313a)은 접촉 부재(1312)를 삽입 통과하고 있고, 접촉 부재(1312)는 이 축(1313a)을 회동 중심으로 하여 회동이 자유롭게 되어 있다.
지지 부재(1314)에는 슬릿(1314b)이 형성되어 있고, 접촉 부재(1312)가 축(1313a)을 회동 중심으로 하여 회동할 때, 접촉 부재(1312)는 슬릿(1314b)을 통과 가능하게 되어 있다.
슬릿(1314b)에는 스토퍼(1315)가 장착되어 있다. 스토퍼(1315)는 접촉 부재(1312)와 접촉함으로써 그 회동을 규제한다.
지지 부재(1314)의 하면에는 탄성 부재(1317)가 배치되어 있다. 탄성 부재(1317)는 본 실시형태의 경우, 코일 스프링이다. 탄성 부재(1317)는 그 일단이 고정 부재(1317a)에 고정되고, 그 타단이 고정 부재(1317b)에 고정되어 있다. 고정 부재(1317a)는 지지 부재(1314)에 고정되고, 고정 부재(1317b)는 접촉 부재(1312)에 고정되어 있다. 따라서, 탄성 부재(1317)는 지지 부재(1314)와 접촉 부재(1312)의 사이에 장설(張設)되어 있게 된다. 또한, 지지 부재(1314)의 X방향측의 한쪽 측면은 캠 면이 되는 걸어맞춤부(1314a)를 갖고 있다. 걸어맞춤부(1314a)는, 접촉 부재(1321)를 퇴피 상태로 위치 결정하는 직선부와, 위치 결정 상태로 위치 결정하는 오목부(직선부보다 가이드 부재(14) 측(도 3 참조)으로 노치된 부분)를 갖는다. 직선부와 오목부는 슬로프부를 개재하여 연속적으로 연락되고 있다.
규제 부재(1311)는 베이스 부재(11)의 바닥벽(111)에 일단부가 지지되어 있고, 타단부에 접촉부(1311a)를 구비한다. 접촉부(1311a)는 접촉 부재(1312)에 접촉하여 그 회동을 규제한다.
구동 유닛(133)은 그 본체부가 베이스 부재(11)의 바닥벽(111)에 고정되어 있는 반면, L자형의 가동부(133a)를 Y방향으로 진퇴시키는 액튜에이터로서, 예를 들면 전동 실린더이다. 가동부(133a)에는 지지 부재(1314)가 고정되어 있고, 지지 부재(1314)는 구동 유닛(133)을 개재하여 베이스 부재(11)의 바닥벽(111)에 이동 가능하게 지지되어 있다. 가동부(133a)의 Y방향의 진퇴 동작에 의해 지지 부재(1314)도 진퇴한다. 그 결과, 접촉 부재(1312)도 Y방향으로 진퇴한다.
다음에, 가압 기구(132)에 대해 설명한다. 가압 기구(132)는, 한 쌍의 접촉 부재(1321, 1321)를 Y방향으로 이격하여 구비한다. 각 접촉 부재(1321)는, 그 상측의 단부(일단부)에 접촉부(1321a)를 갖고 있다. 이 접촉부(1321a)는, 그 선단면이 평면에서 보아 원호형상의 만곡면으로 형성된다. 접촉부(1321a)는 X방향으로부터 트레이(T)의 스테이지부(Tb)의 가장자리(측면)에 접촉한다. 본 실시형태에서는, 트레이(T)의 스테이지부(Tb)의 일측면에 접촉부(1321a)를 접촉하는 반면, 트레이(T)의 스테이지부(Tb)의 타측면을 위치 결정 기준부(141)에 접촉시킴으로써, 접촉부(1321a)와 위치 결정 기준부(141)의 사이에 트레이(T)를 끼우도록 하여 그 X방향의 위치 결정을 행한다.
각 접촉 부재(1321)는, 베이스 부재(11)의 바닥벽(111)에 지지된 지지 기구(1322)에 의해 X방향으로 이동 가능하게 지지되어 있다. 지지 기구(1322)는, 베이스 부재(11)의 바닥벽(111)에 고정되고 X방향으로 연장되어 설치된 레일 부재(1322a)와, 레일 부재(1322a) 상을 슬라이드 가능한 슬라이드 부재(1322b)를 구비한다. 접촉 부재(1321)의 하측 단부(타단부)는 슬라이드 부재(1322b)에 고정되어 있어, 슬라이드 부재(1322b)와 함께 X방향으로 왕복 이동 가능하게 되어 있다.
본 실시형태의 경우, 각 접촉 부재(1321)는 베이스 부재(11)의 측벽(112)을 통과하여 베이스 부재(11)의 외부로 연장되어 설치되고, 베이스 부재(11) 상으로 되돌아오도록 C자형으로 만곡되어 있다. 상세하게는 도 3에 도시된 바와 같이, 베이스 부재(11)의 한 쌍의 측벽(112)의 한쪽에는 접촉 부재(1321, 1321)가 통과 가능한 개구부(112a, 112a)가 형성되어 있다. 그리고, 도 4에 도시된 바와 같이, 베이스 부재(11)의 외측으로부터 각 접촉 부재(1321)의 하측 단부가 개구부(112a)에 삽입 통과되어 슬라이드 부재(1322b)에 접속된다.
각 접촉 부재(1321)를 이러한 형상으로 함으로써, 트레이(T)의 X방향의 위치 결정을 가능하게 하면서 반송 유닛(10)을 컴팩트화할 수 있다. 게다가 각 접촉 부재(1321)를 제외하고 반송 기구(12) 및 위치 결정 기구(13)를 베이스 부재(11)의 내부 공간에 수용하고, 이들을 반송 유닛(10)과 일체화할 수 있다. 이는 반송 유닛(10)의 취급을 용이하게 한다.
도 5를 참조하여, 각 접촉 부재(1321)에는 캠 팔로워(1323a)를 지지하는 지지 부재(1323)가 고정되어 있고, 캠 팔로워(1323a)는 실질적으로 접촉 부재(1321)의 일부를 이루고 있다. 캠 팔로워(1323a)는 지지 부재(1314)의 걸어맞춤부(1314a)와 걸어맞춤되어 있다.
각 접촉 부재(1321)는, 각 바이어스 기구(1324)에 의해 위치 결정 기준부(141) 측(도 5 중에서는 지지 부재(1314) 측)으로 각각 항상 바이어스되어 있다. 본 실시형태의 경우, 바이어스 기구(1324)는 스프링 플랜저로서, 지지 부재(1325)를 개재하여 베이스 부재(11)의 바닥벽(111)에 지지되어 있다. 바이어스 기구(1324)는 그 실린더부가 지지 부재(1325)에 고정되고, 그 플랜저부가 지지 부재(1323)에 접촉하여 위치 결정 기준부(141) 측에 가압하고 있다. 그 때문에, 각 접촉 부재(1231)는 각각이 독립적으로 트레이(T)의 스테이지부(Tb)의 일측부에 접촉하고, 적당한 바이어스력에 의해 트레이(T)를 위치 결정 기준부(141)에 접촉시킬 수 있다. 또, 본 실시형태에서는 바이어스 기구(1324)를 스프링 플랜저로 하였지만, 바이어스 기구(1324)는 접촉 부재(1321)와 베이스 부재(11)의 사이에 장설된 고무나 스프링뿐이어도 된다.
<위치 결정 기구의 동작>
도 6a 내지 도 8b를 참조하여, 위치 결정 기구(13)에 의한 트레이(T)의 위치 결정 동작에 대해 설명한다. 도 6a 내지 도 8b에 있어서, 도 6a, 도 7a 및 도 8a는 위치 결정 기구(13)의 측면에서 본 도면, 도 6b, 도 7b 및 도 8b는 위치 결정 기구(13)의 평면에서 본 도면이다. 또, 도 6a 내지 도 8b에서는 위치 결정 기준부(141)의 도시를 생략하고 있다. 또한, 도 6b, 도 7b 및 도 8b에서는 트레이(T)의 도시를 생략하고 있다.
도 6a 및 도 6b는 위치 결정 전의 상태를 나타내고, 트레이(T)가 새로 반송되어 온 상태를 나타내고 있다. 또, 위치 결정 중에는 반송 기구(12)는 정지되고, 트레이(T)는 무단 벨트(124, 124)에 안착된 상태가 된다.
우선, 주로 도 6a를 참조하여 Y방향으로 트레이(T)를 위치 결정하는 위치 결정 기준부(134) 및 가압 기구(131)에 주목한다.
위치 결정 기준부(134)는 퇴피 위치에 있고, 트레이(T)와 간섭하지 않는 위치에 있다. 지지 부재(1314)는 이 도면에서 우측의 후퇴 위치에 위치하고 있다. 접촉 부재(1312)에는 이 도면에서 시계방향의 회동력이 탄성 부재(1317)에 의해 항상 바이어스되어 있다. 그러나, 규제 부재(1311)에 의해 접촉 부재(1312)는 그 회동이 규제되고, 접촉면(1312a)이 스토퍼(1315)에 접촉한 퇴피 위치(수평 자세 상태)에 있다. 이 퇴피 위치는 접촉 부재(1312)가 트레이(T)와 간섭하지 않는 트레이 반송면보다 낮은(바닥벽측의) 위치이다.
다음에, 주로 도 6b를 참조하여 X방향으로 트레이(T)를 위치 결정하는 가압 기구(132)에 주목한다. 각 접촉 부재(1321)는, 각 바이어스 기구(1324)의 바이어스에 의해 이 도면에서 하측(X방향 위치 결정 기준부측)에 바이어스되어 있다. 그러나, 각 캠 팔로워(1323a)가 걸어맞춤부(1314a)의 직선부와 걸어맞춤되어 있으므로, 각 접촉 부재(1321)는 이동할 수 없고 퇴피 위치에 있다. 이 퇴피 위치에서는 트레이(T)를 위치 결정 기준부(141)에 가압할 수 없다.
도 7a 및 도 7b는 위치 결정을 시작하기 시작한 상태를 나타내고 있다. 우선, 주로 도 7a를 참조하여 Y방향으로 트레이(T)를 위치 결정하는 위치 결정 기준부(134) 및 가압 기구(131)에 주목한다.
이동 기구(134a)의 작동에 의해 위치 결정 기준부(134)는 위치 결정 위치로 이동하여 트레이(T)와 간섭하는 위치에 있다. 구동 유닛(133)의 구동에 의해 가동부(133a)가 Y방향(위치 결정 기준부측)으로(이 도면에서 좌측으로) 신장하기 시작하고 있다. 이 때문에, 지지 부재(1314)도 후퇴 위치로부터 이 도면에서 좌측으로 전진하고 있다. 지지 부재(1314)의 전진에 의해, 접촉 부재(1312)도 이 도면에서 좌측으로 전진하고 있다. 반면, 규제 부재(1311)는 전진하지 않고 부동이기 때문에, 접촉 부재(1312)와 규제 부재(1311)가 떨어지기 시작한다. 이 결과, 탄성 부재(1317)의 바이어스에 의해 접촉 부재(1312)는 이 도면에서 시계방향으로 회동하기 시작한다.
다음에, 주로 도 7b를 참조하여 X방향으로 트레이(T)를 위치 결정하는 가압 기구(132)에 주목한다. 지지 부재(1314)의 이동에 의해 각 캠 팔로워(1323a)와 걸어맞춤부(1314a)의 걸어맞춤 위치에 변화는 있지만, 각 캠 팔로워(1323a)는 여전히 걸어맞춤부(1314a)의 직선부와 걸어맞춤되어 있어 오목부에는 도달하지 않는다. 따라서, 각 접촉 부재(1321)는 퇴피 위치 그대로이다.
도 8a 및 도 8b는 위치 결정을 행한 상태를 나타내고 있다. 우선, 주로 도 8a를 참조하여 Y방향으로 트레이(T)를 위치 결정하는 위치 결정 기준부(134) 및 가압 기구(131)에 주목한다.
위치 결정 기준부(134)는 위치 결정 위치 그대로이다. 구동 유닛(133)의 구동에 의해 가동부(133a)가 도 7a 및 도 7b의 상태로부터 더 Y방향으로 이동되어 있다. 즉, 구동 유닛(133)이 전체적으로 더욱 신장하고 있다. 이 때문에, 지지 부재(1314)도 후퇴 위치로부터 이 도면에서 좌측으로 더 전진하고 있다. 지지 부재(1314)의 추가적인 전진에 의해, 접촉 부재(1312)도 이 도면에서 좌측으로 더 전진하고 있다. 접촉 부재(1312)와 규제 부재(1311)가 충분히 떨어지고, 이 결과, 탄성 부재(1317)의 바이어스에 의해 접촉 부재(1312)는 이 도면에서 시계방향의 회동을 완료하여 위치 결정 위치에 위치하고 있다. 이 때, 접촉 부재(1312)는 직립 자세 상태에 있다. 그리고, 접촉면(1312a)이 트레이(T)에 접촉하여 위치 결정 기준부(134)에 트레이(T)를 가압하고 있다. 이 결과, 트레이(T)의 Y방향의 위치 결정이 완료된다.
다음에, 주로 도 8b를 참조하여 X방향으로 트레이(T)를 위치 결정하는 가압 기구(132)에 주목한다. 지지 부재(1314)의 이동에 의해, 각 캠 팔로워(1323a)와 걸어맞춤부(1314a)의 걸어맞춤 위치가 더 변화하여, 각 캠 팔로워(1323a)는 걸어맞춤부(1314a)의 오목부에 도달한다. 각 접촉 부재(1321)는, 각 바이어스 기구(1324)의 바이어스에 의해 이 도면에서 하측의 위치 결정 위치로 이동한다. 이 때, 접촉부(1321a)가 트레이(T)의 스테이지부(Tb)에 접촉하여 위치 결정 기준부(1141)에 트레이(T)를 가압하게 된다. 이 결과, 트레이(T)의 X방향의 위치 결정도 완료된다.
이와 같이 하여 본 실시형태에서는 트레이(T)의 X방향, Y방향의 위치 결정이 완료된 상태(위치 결정 유지 상태)가 된다. 이 때문에, 도 1에 도시된 이동탑재 장치(6)가 트레이(T)의 각 오목부(Tc)로 부품을 반송할 때, 그 위치 어긋남을 방지할 수 있다. 그 후, 구동 유닛(133)의 구동에 의해 가동부(133a)를 후퇴시키면 구동 유닛(133)이 전체적으로 수축되므로, 도 6a 및 도 6b의 상태로 되돌아가 구동 기구(12)에 의한 트레이(T)의 반송이 가능하게 된다. 즉, 지지 부재(1314)의 후퇴에 의해, 각 캠 팔로워(1323a)는 걸어맞춤부(1314a)의 오목부로부터 이탈하여 직선부와 걸어맞춤되고, 각 접촉 부재(1321)는 걸어맞춤부(1314a)로부터 바이어스 기구(1324)의 바이어스 방향과 반대 방향으로 이동하여 퇴피 위치로 되돌아가게 된다. 또한, 접촉 부재(1312)는 규제 부재(1311)와의 접촉에 의해 퇴피 위치로 되돌아간 상태(위치 결정 해제 상태)가 된다.
본 실시형태에서는, 지지 부재(1314)의 진퇴 동작에 따라 접촉 부재(1312)를 Y방향으로 진퇴시킴과 동시에, 그 진퇴 동작에 연동하여 트레이(T)가 접촉하지 않는 퇴피 위치와 트레이(T)가 접촉하는 위치 결정 위치의 사이에서 접촉 부재(1312)를 이동(회동)시키는 구성으로 하고, 트레이(T)의 반송시에는 접촉 부재(1312)가 트레이(T)의 반송을 방해하는 일이 없도록 하였다. 지지 부재(1314), 탄성 부재(1317)나 규제 부재(1311)는, 접촉 부재(1312)의 진퇴 이동에 연동시켜 퇴피 위치와 위치 결정 위치의 사이에서 접촉 부재(1312)를 이동(회동)시키는 구동 기구(혹은 작동 기구)를 구성하고 있다.
<반송 유닛(10)의 유지보수 등>
본 실시형태에서는, 반송 유닛(10)이 반송 기구(12), 위치 결정 기구(13) 등의 구성을 구비하면서 베이스 부재(11)에 컴팩트하게 일체로 넣을 수 있어 취급이 용이하다. 어떤 반송 유닛(10)의 반송 기구(12)나 위치 결정 기구(13)의 유지보수가 필요한 경우에는 반송 유닛(10)마다 다른 반송 유닛(10)으로 교환하면 된다. 반송 기구(12), 위치 결정 기구(13)와는 함께 베이스 부재(11)에 지지되어 있으므로, 반송 유닛(10)이 완성된 상태로 반송 기구(12)와 위치 결정 기구(13)의 위치 조정은 완료된다.
이에 따라, 반송 유닛(10)의 교환 작업에서는 반송 기구(12)와 위치 결정 기구(13)의 위치 조정을 행할 필요는 없다. 따라서, 작업 시스템(A)의 가동 정지 기간이 장기화되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 반송 유닛(10)의 교환 작업에서는 안착대(20)에 대한 트레이(T)의 약간의 위치 조정 작업은 필요한데, 도 9에 도시된 바와 같이 걸어맞춤 부재(21)와 피걸어맞춤부(142)를 가이드 부재(14)에 설치함으로써 이 약간의 위치 조정 작업도 용이하게 조정 가능하게(실질적으로 필요 없게) 된다. 따라서, 걸어맞춤 부재(21)와 피걸어맞춤부(142)를 설치한 구성에서는, 반송 유닛(10)의 교환시마다 이동탑재 장치(6)에 대해 오목부(Tc)의 위치를 인식시키는 위치 교시 작업을 행할 필요가 없고, 작업 시스템(A)의 가동 정지 기간이 장기화되는 것을 더욱 방지할 수 있다.
<제어 장치>
도 10은 작업 시스템(A)의 제어 장치(200)의 블록도이다. 제어 장치(200)는 상위의 호스트 컴퓨터(210)로부터의 지시에 따라 작업 시스템(A) 전체의 제어를 행한다. 제어 장치(200)는 작업 장치(3), 대기 장치(5), 측정 장치(7), 이동탑재 장치(9), 각 반송 장치(220)에 개별적으로 설치된 콘트롤러에 대해 제어 명령을 출력하여 이들 제어를 행한다. 각 반송 장치(220)에는 도 1에서 설명한 각 반송 장치가 포함되고, 반송 유닛(10)도 포함된다. 반송 유닛(10)의 콘트롤러는 반송 유닛(10) 단위로 설치해도 되고, 반송 장치(1) 단위로 설치해도 된다.
제어 장치(200)는 처리부(201), 기억부(202), 인터페이스부(203)를 구비하고, 이들은 서로 도시하지 않은 버스에 의해 접속되어 있다. 처리부(201)는 기억부(202)에 기억된 프로그램을 실행한다. 처리부(201)는 예를 들면 CPU이다. 기억부(202)는 예를 들면 RAM, ROM, 하드 디스크 등이다. 인터페이스부(203)에는, 처리부(201)와 호스트 컴퓨터(210)의 사이의 통신을 담당하는 통신 인터페이스나, 처리부(201)와 각 콘트롤러의 사이의 통신을 담당하는 통신 인터페이스 등이 포함된다.
기억부(202)에는, 각 반송 유닛(10)의 배치 정보나 가동 정보를 기억해 두어도 된다. 가동 정보에는 그 반송 유닛(10)을 사용 가능한지의 정보를 포함시킬 수 있다. 그리고, 고장이나 교환 작업 등에 의해 사용 불가능한 반송 유닛(10)에는 비어 있는 트레이(T)가 반송되지 않도록 제어하는 것이 바람직하다. 이에 의해, 일부의 반송 유닛(10)의 교환을 행하는 경우, 작업 시스템(A) 전체가 가동 정지가 되는 것을 회피할 수 있다. 또한, 이동탑재 장치(6)에 의한 각 반송 유닛(10)에 위치 결정 유지된 트레이(T)의 오목부(Tc) 각각의 위치를, 미리 교시하여 기억부(202)에 기억시킴으로써, 검사 장치(7)에서 검사한 IC칩을 검사 결과에 기초하여 각각의 트레이(T)의 오목부(Tc)에 수용할 수 있다.
<제2 실시형태>
상기 제1 실시형태에서는, 접촉 부재(1321)와 지지 기구(1322)를 2세트 설치하고, 각 접촉 부재(1321)가 독립적으로 이동 가능하게 하였지만, 이들을 1세트로 해도 된다. 도 11은 그 일례를 나타낸다.
도 11의 예에서는, 위치 결정 기구(13A)는 1세트의 접촉 부재(1321′)와 지지 기구(1322)를 갖고 있다. 접촉 부재(1321′)가 하나이기 때문에, 캠 팔로워(1323a)와 그 지지 부재(1323)도 하나이며, 바이어스 기구(1324)도 하나이다. 또한, 캠 팔로워(1323a)가 하나이기 때문에, 지지 부재(1314)의 걸어맞춤부(1314a′)의 형상이 상기 제1 실시형태의 걸어맞춤부(1314a)와 다르다.
접촉 부재(1321′)는 L자형 본체부(1321b)와, 축(1321d)을 개재하여 본체부(1321b)에 연결되고, 축(1321d)을 회동 중심으로 하여 회동이 자유로운 아암부(1321c)와, 아암부(1321c)의 양단부에 각각 고정된 접촉부 형성 부재(1321e, 1321e)를 구비한다. 접촉부(1321a)는 접촉부 형성 부재(1321e)의 선단이고, 선단부(접촉부)는 만곡형상으로 형성된다. 위치 결정 기구(13A)의 다른 구성은 상기 제1 실시형태의 위치 결정 기구(13)와 마찬가지이다.
본 실시형태의 경우, 접촉 부재(1321′)와 지지 기구(1322)는 1세트이지만, 접촉부(1321a)는 상기 제1 실시형태와 마찬가지로 2개 있다. 상기 제1 실시형태와 같이 각 접촉부(1321a)가 독립적으로 움직이는 것은 아니지만, 아암부(1321c)가 축(1321d) 둘레로 회동이 자유롭기 때문에, 각 접촉부(1321a)의 상대 위치는 변화 가능하게 되어 있다. 이 때문에, 간단한 구성이면서 트레이(T)의 스테이지부(Tb)에 대한 각 접촉부(1321a)의 접촉 상태를 균등하게 할 수 있다.
<제3 실시형태>
상기 제1 실시형태에서는, 위치 결정 기준부(134) 및 이동 기구(134a)를 반송 유닛(10)에 설치하였지만, 반송 유닛(10)의 설치 개소가 되는 안착대(20)의 소정의 위치에 설치해도 된다. 도 12는 그 일례를 나타낸다.
도 12의 예에서는, 베이스 부재(11)의 바닥벽(111)에 노치형상의 개구부(111a)가 형성되어 있다. 위치 결정 기구(13B)는, 위치 결정 기준부(134′) 및 이동 기구(134a′) 이외의 구성은 위치 결정 기구(13)와 마찬가지이다. 위치 결정 기준부(134′) 및 이동 기구(134a′)는 위치 결정 기준부(134) 및 이동 기구(134a)와 마찬가지의 구성인데, 그 배치만 달라서, 이동 기구(134a′)는 개구부(111a)에서 안착대(20)에 고정되어 있다. 이러한 구성에 따르면, 반송 유닛(10)의 구성을 보다 간단한 것으로 할 수 있다. 또한, 더욱 트레이(T)의 재위치맞춤을 용이하게 할 수 있다.
<제4 실시형태>
상기 제1 실시형태에서는, 위치 결정 기준부(134)를 이동 기구(134a)에 의해 이동 가능하게 하였지만, 고정 배치로 해도 된다. 도 13은 그 위치예를 나타낸다.
도 13의 예에서는, 가이드 부재(14)가 위치 결정 기준부(141)와 더불어 위치 결정 기준부(143)를 구비한다. 위치 결정 기준부(143)는 위치 결정 기준부(134)를 대신하는 구성이며, 본 실시형태의 위치 결정 기구(13C)는 이동 기구(134a)를 가지지 않는다.
위치 결정 기구(13C)에 의한 위치 결정 동작은 상기 제1 실시형태와 마찬가지이지만, 위치 결정 기준부(143)는 부동이기 때문에, 트레이(T)는 위치 결정 기준부(143)를 넘어 반송할 수 없다. 따라서, 트레이(T)의 반송은 선(L1)으로 나타내는 위치 결정 기준부(143)까지의 반복 반송이 된다. 이러한 구성에 따르면, X방향 및 Y방향의 기준 위치의 관계가 하나의 부재로 설정되어 있으므로, 반송 유닛(10)의 구성을 보다 간단한 것으로 할 수 있다. 또한, 더욱 트레이(T)의 재위치맞춤을 용이하게 할 수 있다.
<다른 실시형태>
상기 실시예의 제1 실시형태 내지 제3 실시형태에서는, Y방향에서의 트레이(T)의 위치 결정은 트레이(T)의 반송면보다 아래쪽에 위치 결정 기준부(134) 및 이동 기구(134a)를 배치하고, 반송 궤도 상에 위치 결정 기준부(134)를 돌출시킴으로써 트레이(T)의 바닥판부(Ta)의 일단부에 접촉시킴으로써 기준 위치를 규정하였지만, 트레이(T)의 옆쪽이나 위쪽에 배치시켜 위치 결정 기준부(134)를 반송 궤도 상으로 돌출시키도록 해도 된다. 트레이(T)의 옆쪽이나 위쪽에 배치시킴으로써 트레이(T)의 스테이지부(Tb)의 Y방향의 일단부를 접촉시키는 것이 가능하게 되고, 또 트레이(T)의 위치 결정 정밀도를 향상시키는 것이 가능하게 된다. 마찬가지로 상기 실시예의 제1 실시형태 내지 제4 실시형태에서는, Y방향에서의 트레이(T)의 위치 결정시의 바이어스측이 되는 가압 기구(131)의 접촉 부재(1312)를 트레이(T)의 옆쪽이나 위쪽에 배치시켜 반송 궤도 상으로 돌출시키도록 구성해도 된다.
상기 실시형태에서는, 작업 시스템(A)에 반송 장치(1) 및 반송 유닛(10)을 적용한 예를 예시하였지만, 본 발명은 각종 시스템에 적용 가능하다. 트레이(T)도 반송 대상물의 일례에 불과하다.
본 발명에 대하여 실시예를 참조하여 설명하였으나, 본 발명은 이러한 실시예로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 범주를 벗어나지 않는 범위 내에서, 상술한 실시예와 균등한 구성 및 상술한 실시예를 변형한 구성을 포함하도록, 넓게 해석되어야 한다.
10...반송 유닛 11...베이스 부재
111...바닥벽 112...측벽
12...반송 기구 13...위치 결정 기구
14, 15...가이드 부재 20...안착대

Claims (7)

  1. 반송 방향으로 연장되는 바닥벽과, 상기 바닥벽의 양측부로부터 각각 세워진 한 쌍의 측벽을 포함하는 베이스 부재;
    상기 베이스 부재에 지지되고, 반송 대상물을 반송하는 반송 기구;
    상기 베이스 부재에 지지되고, 상기 반송 기구에 의해 반송되는 상기 반송 대상물을 베이스 부재에 대해 위치 결정하는 위치 결정 기구;를 구비하며,
    상기 위치 결정 기구는,
    상기 반송 대상물의 반송 방향에 직교하는 방향의 위치 결정을 행하기 위한 제1 기준부;
    상기 반송 대상물의 상기 반송 방향의 위치 결정을 행하기 위한 제2 기준부;
    상기 제1 기준부로 향하여 상기 반송 대상물을 가압하는 제1 가압 기구;
    상기 제2 기준부로 향하여 상기 반송 대상물을 가압하는 제2 가압 기구;를 구비하며,
    상기 제2 가압 기구는,
    상기 반송 방향으로부터 반송 대상물에 접촉하는 제2 접촉 부재;
    상기 제2 접촉 부재를 지지하는 지지 부재;
    상기 지지 부재를 상기 제2 기준부 측으로 진퇴시키는 구동 유닛;을 포함하며,
    상기 지지 부재는 캠 면이 되는 걸어맞춤부를 가지는 반송 유닛.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1 가압 기구는,
    상기 반송 방향에 직교하는 방향으로부터 상기 반송 대상물에 접촉하는 제1 접촉 부재;
    상기 제1 접촉 부재를 상기 제1 기준부 측으로 항상 바이어스시키는 바이어스 기구;를 포함하는 반송 유닛.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 제1 접촉 부재는 상기 걸어맞춤부에 걸어맞추어지도록 마련되며,
    상기 지지 부재의 상기 제2 기준부 측으로의 진퇴에 따라서, 상기 제1 접촉부재와 상기 걸어맞춤부간의 걸어맞춤 위치를 변화시켜, 상기 제1 접촉 부재를 상기 반송 방향에 직교하는 방향으로 진퇴시키는 반송 유닛.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 제2 접촉 부재는, 상기 지지 부재의 진퇴 동작에 연동하여, 반송 대상물이 접촉하지 않는 퇴피 위치와 반송 대상물이 접촉하는 위치 결정 위치 사이에서 이동하는 반송 유닛.
  5. 청구항 2에 있어서,
    상기 제1 가압 기구는, 상기 제1 접촉 부재를 상기 직교 방향으로 이동 가능하게 지지하는 지지 기구를 포함하며,
    상기 제2 가압 기구와 상기 지지 기구와 상기 바이어스 기구는 상기 바닥벽에 지지되고,
    상기 제1 접촉 부재는,
    그 한쪽 단부가 상기 지지 기구에 지지되고, 그 다른 쪽 단부가 반송 대상물에 접촉하며, 또한, 한쪽의 상기 측벽에 마련한 개구부를 통과한 만곡 형상을 갖고 있는 반송 유닛.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 위치 결정 기구는,
    상기 제2 기준부를, 반송 대상물이 접촉하지 않는 퇴피 위치와 반송 대상물이 접촉하는 위치 결정 위치 사이에서 이동시키는 이동 기구를 구비한 반송 유닛.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 반송 유닛은,
    상기 베이스 부재에 고정되며, 상기 제1 기준부와 상기 제2 기준부를 포함하는 기준 부재를 더 구비하는 반송 유닛.
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