CN103359463B - 输送单元及输送装置 - Google Patents
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Abstract
本发明的输送单元,具备:包括在输送方向延伸的底壁和从上述底壁的两侧部分别立起的一对侧壁的基底构件;被支承在上述基底构件上,对输送对象物进行输送的输送机构;被支承在上述基底构件上,将由上述输送机构输送的上述输送对象物相对于基底构件定位的定位机构。
Description
技术领域
本发明涉一种对输送对象物进行输送的技术。
背景技术
在向规定的位置对输送对象物进行输送的情况下,往往需要输送对象物的定位。因此,提出了具备输送机构和定位机构的装置。例如,在日本特开2000-258497号公报中,公开了一种具备对搭载多个芯片的托板进行输送的带式输送机和进行其定位的机构的装置。另外,在日本实开平5-82939号公报中,公开了一种具备托板的定位装置的输送机。另外,在日本实开平7-29484号公报中,公开了一种具备托盘的定位机构的输送机。
输送机构、定位机构需要定期的维护。另外,在它们故障的情况下,需要其修理更换。这样的维护等,因为伴随系统的工作停止,所以最好是短期的。另外,在更换故障了的输送机构、定位机构的情况下,需要进行相互的位置调整。此位置调整作业成为使系统的工作停止期间长期化的主要原因。
发明内容
发明所要解决的课题
本发明的目的在于提供一种能防止系统的工作停止期间长期化的输送单元及输送装置。
为了解决课题的手段
根据本发明,提供一种输送单元,其特征在于,具备:包括在输送方向延伸的底壁和从上述底壁的两侧部分别立起的一对侧壁的基底构件;被支承在上述基底构件上,对输送对象物进行输送的输送机构;被支承在上述基底构件上,将由上述输送机构输送的上述输送对象物相对于基底构件定位的定位机构。
另外,根据本发明,提供一种输送装置,是具备输送单元和载置上述输送单元的载置台的输送装置,其特征在于,上述输送单元具备:包括在输送方向延伸的底壁和从上述底壁的两侧部分别立起的一对侧壁的基底构件;被支承在上述基底构件上,对输送对象物进行输送的输送机构;被支承在上述基底构件上,将由上述输送机构输送的上述输送对象物相对于基底构件定位的定位机构,上述载置台具备输送对象物抵接的定位基准部,上述定位机构具备朝向上述定位基准部推压输送对象物的推压机构。
另外,根据本发明,提供一种输送装置,是具备输送单元和载置上述输送单元的载置台的输送装置,其特征在于,上述输送单元具备:包括在输送方向延伸的底壁和从上述底壁的两侧部分别立起的一对侧壁的基底构件;被支承在上述基底构件上,对输送对象物进行输送的输送机构;被支承在上述基底构件上,将由上述输送机构输送的上述输送对象物相对于基底构件定位的定位机构;被固定在上述基底构件上的基准构件,上述载置台具有规定上述输送单元的载置位置的卡合构件,上述基准构件具有:输送对象物抵接的定位基准部;上述卡合构件卡合的被卡合部,上述定位机构具备朝向上述定位基准部推压输送对象物的推压机构。
本发明的其他的特征将通过下述的具体实施方式的描述并参考附图来明确。
附图说明
图1是作为本发明的适用例的作业系统的布局图。
图2是本发明的一实施方式的输送装置的立体图。
图3是本发明的一实施方式的输送单元的立体图。
图4是图3的输送单元的部分分解立体图。
图5A及图5B是定位机构的立体图。
图6A及图6B是图5的定位机构的动作说明图。
图7A及图7B是图5的定位机构的动作说明图。
图8A及图8B是图5的定位机构的动作说明图。
图9是在图2的输送装置中表示输送单元的更换状态的图。
图10是图1的作业系统的控制装置的框图。
图11是定位机构的另一例的说明图。
图12是定位机构的另一例的说明图。
图13是定位机构的另一例的说明图。
具体实施方式
<第一实施方式>
<作业系统>
图1是作为本发明的适用例的作业系统A的布局图。作业系统A是对托盘T上的零件(未图示)进行规定的作业、检查的系统,包括本发明的一实施方式的输送装置1及输送单元10。零件例如是IC芯片。下面,对作业系统A的动作进行概述。另外,在各图中X、Y表示相互正交的水平方向,Z表示上下方向。
输送装置2a例如是带式输送机,在Y方向输送搭载了多个零件的托盘T。作业装置3被配设在输送装置2a的输送路径的中途。作业装置3取出在输送路径上被定位而停止了输送的托盘T上的零件,进行规定的作业而使之返回到托盘T上。作为作业内容,例如,能举出零件的加热、洗净等。
输送装置4具备在Y方向输送托盘T的输送部4a、在X方向往复移动输送部4a的驱动部4b。输送部4a例如是带式输送机。输送部4a从输送装置2a接受托盘T,向待机装置5供给托盘T。另外,输送部4a从待机装置5接受托盘T,向输送装置2b交接。输送装置2b例如是带式输送机,在Y方向输送空的托盘T、搭载了不良零件的托盘T。
待机装置5例如具有带式输送机,使从输送装置4供给的托盘T在待机装置5上待机。移载装置6向检查装置7输送在待机装置5上待机的托盘T上的零件。移载装置6是龙门式的机器人,具备把持零件的手部6a、在Y方向往复移动手部6a并且在Z方向进行升降的移载机构6b和在X方向移动移载机构6b的一对移载机构6c。
检查装置7进行零件的检查、测定。通过检查装置7中的检查成为不合格的零件,作为不良零件,由移载装置6返回到待机装置5上的托盘T上。合格的零件,由移载装置6向在输送单元10上定位的托盘T输送。
如果搭载在待机装置5上的托盘T上的全部的零件的检查结束,则待机装置5将托盘T向输送装置4返回。输送装置4将从待机装置5返回的托盘T向输送装置2b输送交接。
输送装置2c例如是带式输送机,将空的托盘T从未图示的储料器向输送装置8输送。输送装置8具备将托盘T在Y方向输送的输送部8a、将输送部4a在X方向往复移动的驱动部8b。输送部8a向各输送单元10供给空的托盘T。
各输送装置1具备多个输送单元10。在本实施方式的情况下,两个输送装置1被配置在驱动部8b的Y方向两侧,各输送装置1具备在X方向排列的5台输送单元10。
各输送单元10,如果从输送装置8供给空的托盘T,则首先进行其定位。然后,由移载装置6向托盘T输送零件。如果托盘T上的零件达到规定数量,则向后续的装置9(在Y方向)输送托盘T。装置9例如是托盘T的储料器。
这样,在作业系统A中,能使对零件进行的作业、检查、向托盘T的收纳自动化。
<输送装置>
图2是输送装置1的立体图。输送装置1具备多个输送单元10和载置输送单元10的载置台20。载置台20,其表面做成了平坦的载置面,在此载置输送单元10。各载置单元10,由螺钉等固定结构解除自由地固定在载置台20上。
载置台20具备卡合构件21。在本实施方式的情况下,卡合构件21相对于ー个输送单元10分配了两个。在本实施方式的情况下,卡合构件21是直立设置在载置面上的圆柱体。此卡合构件21规定各输送单元10的在载置台20上的载置位置。也就是说,是用于进行输送单元10的定位的构件。另外,通过将输送单元10相对于载置台20的载置位置定位,在输送单元10上定位的托盘T的相对于载置台20的位置也被定位。
在由螺钉将载置单元10固定在载置台20上的结构的情况下,输送单元10的相对于载置台20的大体的位置能由通过螺钉的孔规定。但是,通过螺钉的孔的位置、大小的精度不太高。因此,通过设置了卡合构件21,能提高托盘T的定位精度。详细情况后述。
<输送单元>
参照图3至图5B说明输送单元10的结构。图3是输送单元10及托盘T的立体图。图4是输送单元10的部分分解立体图,主要表示基底构件11和输送机构12。图5A及图5B是定位机构13的立体图,图5A是从上观看的立体图,图5B是从下观看的立体图。
输送单元10具备基底构件11、输送机构12、定位机构13、导向构件14及15。
基底构件11具备在输送方向(Y方向)延伸的底壁111、分别从底壁111的X方向的两侧部立起的一对侧壁112、112、在侧壁112、112的上部向基底构件11的内侧(相向的侧壁112侧)突出的缘部113。基底构件11,其截面形状做成了上部开口的C字型,作为整体,做成了Y方向两端部开放的筒型。因此,在基底构件11的内侧形成了内部空间。基底构件11例如能做成通过冲压加工将金属板等折曲而一体地形成的构件。
在缘部113、113上,夹着隔离件14a、15a地固定了导向构件14、15。导向构件14、15在托盘T的输送时引导其移动,以便托盘T不曲折行进。
在此,如图3所示,托盘T作为整体做成正方形的板状,一体地具备正方形的底板部Ta、从底板部Ta高出一段的正方形的载物台部Tb。在载物台部Tb的上面上,呈矩阵状地形成了搭载零件的凹部Tc。导向构件14、15,其内侧侧面的离开距离与载物台部Tb相比稍微宽地设定。而且,导向构件14、15,通过对载物台部Tb(的侧面)进行引导,防止托盘T的曲折行进。
另外,也可以由导向构件14、15对底板部Ta进行引导,而不是对载物台部Tb进行引导。
隔离件14a、15a是导向构件14、15的Z方向的位置调整用的构件。由此隔离件14a、15a调整导向构件14、15的Z方向的位置,以便由输送机构12输送的托盘T的载物台部Tb的Z方向的位置(高度)和导向构件14、15的高度一致。导向构件14、15,其对托盘T进行引导的导向部从各自被固定的隔离件14a、15a突出,例如由螺钉等固定结构解除自由地固定在缘部113、113上。而且,使底板部Ta位于各自的导向构件14、15的下侧而可输送移动地构成。
在本实施方式的情况下,导向构件14具有和载置台20的两个卡合构件21卡合的两个被卡合部142、142,和成为由定位机构13进行的定位的基准的定位基准部141,成为托盘T相对于载置台20的位置的基准的基准构件。
被卡合部142是半圆形状的切口,作为圆柱体的卡合构件21的周面被卡合。通过做成半圆形状,规定输送单元10的Y方向及X方向的位置,通过设置两个被卡合部142,能规定输送单元10的水平面上的姿势(方向)。因此,容易进行输送单元10的更换作业。图9表示输送单元10的更换状态。如该图所示,在将新的输送单元10搭载在载置台20上时,通过将卡合构件21和被卡合部142卡合,输送单元10相对于载置台20的对位结束。其结果,在输送单元10上定位的托盘T的相对于载置台20的对位也结束。因此,容易进行输送单元10的更换及托盘T的X方向的对位作业。另外,被卡合部142做成了半圆形状的切口,但也可以做成具有形成顶点的二线的形状(V槽状)、圆形状。
定位基准部141,通过由后述的定位机构13使托盘T的载物台部Tb的一端缘抵接,进行其(X方向的)定位。也就是说,定位基准部141对托盘T的输送进行引导并且构成了定位机构13的一部分。
定位基准部141、被卡合部142也可以各自分别地构成。但是,像本实施方式的那样,因为一个导向构件14具备定位基准部141和被卡合部142,所以具有能同时进行输送单元10相对于载置台20的对位和用于定位托盘T的位置的调整的优点。
<输送机构>
输送机构12被支承在基底构件11上,输送作为输送对象物的托盘T。在本实施方式的情况下,输送机构12具备分别被支承在各侧壁112的内侧的一对皮带传动机构12a、12a。通过将皮带传动机构12a支承在侧壁112的内侧,能将输送机构12收容在基底构件11的内部空间内,能谋求输送单元10的紧凑化、一体化。
皮带传动机构12a具备马达等驱动源121、被支承在驱动源121上并且与其一起旋转的驱动皮带轮122、从动皮带轮123、卷绕在驱动皮带轮122和从动皮带轮123上的无端皮带124。通过驱动皮带轮122的旋转,无端皮带124进行行走。托盘T跨在无端皮带124、124上而被载置,通过无端皮带124的行走而在Y方向输送。
驱动源121被支承在支承构件125上。支承构件125具备安装部125a。安装部125a例如具有螺纹孔。在基底构件11的侧壁112上设置了孔112b,通过将螺栓插入在孔112内(未图示)使螺栓和安装部125a进行螺纹结合,能将支承构件125固定在侧壁112上。由此,能由侧壁112支承驱动源121及驱动皮带轮122。
从动皮带轮123由轴构件126旋转自由地支承。轴构件126例如具有螺纹孔。在基底构件11的侧壁112上设置了孔112c,通过将螺栓插入在孔112c内(未图示)使螺栓与轴构件126进行螺纹结合,能将轴构件126固定在侧壁112上。由此,能由侧壁112支承从动皮带轮123。
在本实施方式的情况下,将驱动源121及驱动皮带轮122配置在基底构件11的Y方向的ー方端部侧,将从动皮带轮122配置在基底构件11的Y方向的另一方端部侧。由此结构能长地取得无端皮带124的行走范围,能从输送单元10的Y方向一方端部遍及另一方端部地输送托盘T。
另外,一般地,马达等驱动源121,其占有空间较大。在本实施方式的情况下,将驱动源121配置在基底构件11的Y方向的ー方端部侧,将定位机构13与驱动源112相比配置在基底构件11的Y方向的另一方端部侧。由此,能有效地利用基底构件11的内侧的空间,能谋求输送单元10的紧凑化。
在本实施方式中,通过与驱动皮带轮122相比将从动皮带轮123做成小直径,能在从动皮带轮123侧将其他的结构更多地配设在基底构件11的内侧的空间内。也就是说,能更宽地确保定位机构13的配设空间。另一方面,为了水平地输送托盘T,以无端皮带124的上侧行走部分124a成为水平、下侧行走部分124b成为倾斜的方式,做成了将从动皮带轮123的轴心的位置与驱动皮带轮122的轴心的位置相比向上侧错开了的结构。
另外,在本实施方式中,将输送机构12做成了皮带传动机构,但也可以是其他种类的输送机构。
<定位机构>
定位机构13被支承在基底构件11上,将由输送机构12输送的托盘T相对于基底构件11定位。在本实施方式的情况下,定位机构13对托盘T就X方向和Y方向的双方而言进行其定位。但是,也可以做成仅进行任何一方向定位的结构。
在本实施方式的情况下,定位机构13,作为在Y方向定位托盘T的结构,具备定位基准部134和向定位基准部134推压托盘T的推压机构131。它们是输送方向用的结构。
另外,作为在X方向定位托盘T的结构,具备设置在导向构件14上的定位基准部141和向定位基准部141推压托盘T的推压机构132。它们是与输送方向正交的正交方向用的结构。
在本实施方式的情况下,定位机构13在推压机构131和推压机构132中具有共同的驱动单元133。也可以采用在推压机构131和推压机构132中分别具有驱动源的结构,但通过将驱动源作为共同的驱动源,能谋求一个驱动源的量的省空间化、低成本化。
首先,对定位基准部134和推压机构131进行说明。因为作为定位它们的方向的Y方向是托盘T的输送方向,所以在托盘T的输送时需要不与托盘T干涉。
定位基准部134,通过托盘T的底板部Ta的一端部从Y方向抵接进行其定位。在本实施方式的情况下,做成了圆柱状。定位基准部134由移动机构134a在Z方向移动。移动机构134a在托盘T不抵接的退避位置和托盘T抵接的定位位置之间升降移动定位基准部134。退避位置是比由输送机构12进行的托盘T的输送位置(输送高度)低的位置,抵接位置是定位基准部134横穿托盘T的输送位置的位置。
移动机构134a例如是螺线管等动作执行器,被支承在基底构件11的底壁111上。在定位托盘T的情况下,使定位基准部134位于抵接位置,在除此以外的情况下,使其位于退避位置。
推压机构131具备通过从Y方向与托盘T的底板部Ta的另一端部抵接向定位基准部134推压托盘T的抵接构件1312。抵接构件1312具有与托盘T的底板部Ta抵接的抵接面1312a。在图5A所示的抵接构件1312的姿势的情况下,此抵接面1312a处于与止动器1315抵接的向下状态。此向下状态是不阻碍托盘T的输送移动的退避状态。
抵接构件1312转动自由地被支承在支承构件1314上。详细地讲,支承构件1314具备一对轴支承构件1313、1313,轴支承构件1313、1313支承着轴1313a。轴1313a穿插过抵接构件1312,抵接构件1312以此轴1313a为转动中心自由转动。
在支承构件1314上形成了狭缝1314b,当抵接构件1312以轴1313a为转动中心进行转动时,抵接构件1312能通过狭缝1314b。
在狭缝1314b上安装了止动器1315。通过止动器1315与抵接构件1312抵接,限制其转动。
在支承构件1314的下面上配置了弹性构件1317。弹性构件1317在本实施方式的情况下,是线圈弹簧。弹性构件1317,其一端被固定在固定构件1317a上,其另一端被固定在固定构件1317b上。固定构件1317a被固定在支承构件1314上,固定构件1317b被固定在抵接构件1312上。因此,弹性构件1317被拉伸设置在支承构件1314和抵接构件1312之间。另外,支承构件1314的X方向侧的一方侧面具有成为凸轮面的卡合部1314a。卡合部1314a具有将抵接构件1321定位在退避状态的直线部和定位在定位状态的凹部(与直线部相比在导向构件14侧(参照图3)进行了切口的部分)。直线部和凹部经倾斜部连续地连接。
限制构件1311,一端部被支承在基底构件11的底壁111上,在另一端部具备抵接部1311a。抵接部1311a与抵接构件1312抵接,限制其转动。
驱动单元133,是其主体部被固定在基底构件11的底壁111上,另一方面,使L字型的可动部133a在Y方向进退的动作执行器,例如是电动缸。在可动部133a,固定了支承构件1314,支承构件1314经驱动单元133可移动地支承在基底构件11的底壁111上。通过可动部133a的Y方向的进退动作,支承构件1314也进行进退。其结果,抵接构件1312也在Y方向进退。
接着,对推压机构132进行说明。推压机构132在Y方向离开地具备一对抵接构件1321、1321。各抵接构件1321,在其上侧的端部(一端部)具有抵接部1321a。此抵接部1321a,其前端面从上向下看形成为圆弧状的弯曲面。抵接部1321a从X方向与托盘T的载物台部Tb的端缘(侧面)抵接。在本实施方式中,通过使抵接部1321a与托盘T的载物台部Tb的一侧面抵接,另一方面,使托盘T的载物台部Tb的另一侧面与定位基准部141抵接,以将托盘T夹在抵接部1321a和定位基准部141之间的方式进行其X方向的定位。
各抵接构件1321由被支承在基底构件11的底壁111上的支承机构1322在X方向可移动地支承。支承机构1322被固定在基底构件11的底壁111上,具备在X方向延伸设置的轨道构件1322a和在轨道构件1322a上可滑动的滑动构件1322b。抵接构件1321的下侧的端部(另一端部)被固定在滑动构件1322b上,与滑动构件1322b一起在X方向可往复移动。
在本实施方式的情况下,各抵接构件1321通过基底构件11的侧壁112地向基底构件11的外部延伸设置,以返回到基底构件11上的方式弯曲成C字型。详细地讲,如图3所示,在基底构件11的一对侧壁112的一方,形成了抵接构件1321、1321可通过的开口部112a、112a。而且,如图4所示,各抵接构件1321的下侧的端部从基底构件11的外侧穿插在开口部112a中,与滑动构件1322b连接。
通过将各抵接构件1321做成这样的形状,能进行托盘T的X方向的定位,同时,能使输送单元10紧凑化。而且,除了各抵接构件1321以外,能将输送机构12及定位机构13收容在基底构件11的内部空间中,将它们和输送单元10一体化。这容易进行输送单元10的操作。
参照图5,在各抵接构件1321上固定了对凸轮从动件1323a进行支承的支承构件1323,凸轮从动件1323a实质上做成了抵接构件1321的一部分。凸轮从动件1323a与支承构件1314的卡合部1314a卡合。
各抵接构件1321通常分别由各加载机构1324向定位基准部141侧(在图5中是支承构件1314侧)加载。在本实施方式的情况下,加载机构1324是弹簧柱塞,经支承构件1325支承在基底构件11的底壁111上。加载机构1324,其筒体部被固定在支承构件1325上,其柱塞部与支承构件1323抵接,向定位基准部141侧推压。因此,各抵接构件1231分别独立地与托盘T的载物台部Tb的一侧部抵接,由适当的加载力能使托盘T与定位基准部141抵接。另外,在本实施方式中将加载机构1324做成了弹簧柱塞,但加载机构1324也可以仅是拉伸设置在抵接构件1321和基底构件11之间的橡胶、弹簧。
<定位机构的动作>
参照图6A至图8B对由定位机构13进行的托盘T的定位动作进行说明。在图6A至图8B中,图6A、图7A及图8A是定位机构13的侧面视图,图6B、图7B及图8B是定位机构13的俯视图。另外,在图6A至图8B中省略了定位基准部141的图示。另外,在图6B、图7B及图8B中省略了托盘T的图示。
图6A及图6B表示定位前的状态,表示托盘T新输送来的状态。另外,在定位中输送机构12被停止,托盘T成为被载置在无端皮带124、124上的状态。
首先,主要参照图6A而着眼于在Y方向定位托盘T的定位基准部134及推压机构131。
定位基准部134处于退避位置,处于不与托盘T干涉的位置。支承构件1314在该图中位于右侧的后退位置。在抵接构件1312上,在该图中通常由弹性构件1317加载顺时针的转动力。但是,抵接构件1312由限制构件1311限制其转动,处于抵接面1312a与止动器1315抵接的退避位置(水平姿势状态)。此退避位置,是抵接构件1312不与托盘T干涉的比托盘输送面低的(底壁侧的)位置。
接着,主要参照图6B而着眼于在X方向定位托盘T的推压机构132。各抵接构件1321,通过各加载机构1324的加载,在该图中向下侧(X方向定位基准部侧)加载。但是,由于各凸轮从动件1323a与卡合部1314a的直线部卡合,所以各抵接构件1321不能移动,处于退避位置。在此退避位置,不能将托盘T向定位基准部141推压。
图7A及图7B表示开始定位的开始的状态。首先,主要参照图7A而着眼于在Y方向定位托盘T的定位基准部134及推压机构131。
通过移动机构134a的动作,定位基准部134向定位位置移动,处于不与托盘T干涉的位置。通过驱动单元133的驱动,可动部133a在Y方向(定位基准部侧)(在该图中向左侧)开始伸长。因此,支承构件1314也从后退位置在该图中向左侧前进。通过支承构件1314的前进,抵接构件1312也在该图中向左侧前进。另一方面,因为限制构件1311不前进,不动,所以抵接构件1312和限制构件1311开始分离。其结果,通过弹性构件1317的加载,抵接构件1312在该图中开始向顺时针方向转动。
接着,主要参照图7B而着眼于在X方向定位托盘T的推压机构132。虽然通过支承构件1314的移动,在各凸轮从动件1323a和卡合部1314a的卡合位置有变化,但是各凸轮从动件1323a依然与卡合部1314a的直线部卡合,没有到达凹部。因此,各抵接构件1321是在退避位置不变。
图8A及图8B表示进行了定位的状态。首先,主要参照图8A而着眼于在Y方向定位托盘T的定位基准部134及推压机构131。
定位基准部134是在定位位置不变。通过驱动单元133的驱动,可动部133a从图7A及图7B的状态进一步在Y方向移动。也就是说,驱动单元133作为整体进一步伸长。因此,支承构件1314也从后退位置在该图中向左侧进一步前进。通过支承构件1314的进一步的前进,抵接构件1312也在该图中向左侧进一步前进。抵接构件1312和限制构件1311充分地分离,其结果,通过弹性构件1317的加载,抵接构件1312在该图中结束顺时针方向的转动而位于定位位置。此时,抵接构件1312处于直立姿势状态。而且,抵接面1312a与托盘T抵接,向定位基准部134推压托盘T。其结果,托盘T的Y方向的定位结束。
接着,主要参照图8B而着眼于在X方向定位托盘T的推压机构132。通过支承构件1314的移动,各凸轮从动件1323a和卡合部1314a的卡合位置进一步变化,各凸轮从动件1323a达到卡合部1314a的凹部。各抵接构件1321,通过各加载机构1324的加载,在该图中向下侧的定位位置移动。此时,抵接部1321a与托盘T的载物台部Tb抵接而向定位基准部1141推压托盘T。其结果,托盘T的X方向的定位也结束。
这样,在本实施方式中成为托盘T的X方向、Y方向的定位结束了的状态(定位保持状态)。因此,当图1所示的移载装置6向托盘T的各凹部Tc输送零件时,能防止其位置偏移。而且,由于如果通过驱动单元133的驱动,使可动部133a后退,则驱动单元133作为整体进行收缩,所以返回到图6A及图6B的状态,能进行由驱动机构12进行的托盘T的输送。即,通过支承构件1314的后退,各凸轮从动件1323a从卡合部1314a的凹部脱离而与直线部卡合,各抵接构件1321从卡合部1314a向与加载机构1324的加载方向相反方向移动而返回到退避位置。另外,抵接构件1312通过与限制构件1311的抵接,成为返回到退避位置的状态(定位解除状态)。
在本实施方式中,做成了如下结构:通过支承构件1314的进退动作,使抵接构件1312在Y方向进退并且与其进退动作连动地在托盘T不抵接的退避位置和托盘T抵接的定位位置之间使抵接构件1312移动(转动),在托盘T的输送时,不存在抵接构件1312妨碍托盘T的输送的情况。支承构件1314、弹性构件1317、限制构件1311构成了与抵接构件1312的进退移动连动地在退避位置和定位位置之间使抵接构件1312移动(转动)的驱动机构(或者动作机构)。
<输送单元10的维护等>
在本实施方式中,输送单元10具备称为输送机构12、定位机构13的结构,同时,能将其紧凑地一体地收纳在基底构件11中,操作容易。在某输送单元10的输送机构12、定位机构13需要维护的情况下,只要输送单元10整体更换成别的输送单元10即可。由于输送机构12、定位机构13一起被支承在基底构件11上,所以在组装完输送单元10的状态下,输送机构12和定位机构13的位置调整结束。
因而,在输送单元10的更换作业中,不需要进行输送机构12和定位机构13的位置调整。因此,能防止作业系统A的工作停止期间长期化。
另外,在输送单元10的更换作业中,需要托盘T相对于载置台20的微小的位置调整作业,但如图9所示,通过将卡合构件21和被卡合部142设置在导向构件14上,也能容易地调整此微小的位置调整作业(实质上不需要)。因此,在设置了卡合构件21和被卡合部142的结构中,每次进行输送单元10的更换,都不需要相对于移载装置6进行认识凹部Tc的位置的位置指示作业,能进一步防止作业系统A的工作停止期间长期化。
<控制装置>
图10是作业系统A的控制装置200的框图。控制装置200按照来自上层的主计算机210的指示,进行作业系统A整体的控制。控制装置200对分别设置在作业装置3、待机装置5、测定装置7、移载装置9、各输送装置220上的控制器输出控制命令来进行其控制。在各输送装置220中包括在图1中进行了说明的各输送装置,也包括输送单元10。输送单元10的控制器既可以以输送单元10为单位设置,也可以以输送装置1为单位设置。
控制装置200具备处理部201、存储部202和接口部203,它们相互由未图示的总线连接。处理部201执行存储在存储部202中的程序。处理部201例如是CPU。存储部202例如是RAM、ROM、硬盘等。在接口部203中,包括管理处理部201和主计算机210之间的通信的通信接口、管理处理部201和各控制器之间的通信的通信接口等。
在存储部202中,也可以预先存储各输送单元10的配置信息、工作信息。在工作信息中,能包括是否可使用该输送单元10的信息。而且,最好控制成不向因故障、更换作业等而不能使用的输送单元10输送空的托盘T。由此,在进行一部分的输送单元10的更换的情况下,能避免作业系统A整体停止工作。另外,通过预先指示由移载装置6进行的被定位保持在各输送单元10上的托盘T的凹部Tc的各自的位置并将其存储在存储部202中,能将由检查装置7检查的IC芯片基于检查结果收容在各自的托盘T的凹部Tc内。
<第二实施方式>
在上述第一实施方式中,将抵接构件1321和支承机构1322设置了两组,使各抵接构件1321能独立地移动,但也可以将它们做成一组。图11表示其一例。
在该图的例中,定位机构13A具有一组抵接构件1321’和支承机构1322。因为抵接构件1321’是ー个,所以凸轮从动件1323a和其支承构件1323也是一个,加载机构1324也是一个。另外,因为凸轮从动件1323a是一个,所以支承构件1314的卡合部1314a’的形状与上述第一实施方式的卡合部1314a’不同。
抵接构件1321’具备L字型的主体部1321b、经轴1321d与主体部1321b连结并以轴1321d为转动中心自由转动的臂部1321c和分别被固定在臂部1321c的两端部的抵接部形成构件1321e、1321e。抵接部1321a是抵接部形成构件1321e的前端,前端部(抵接部)被形成为弯曲状。定位机构13A的其他的结构是与上述第一实施方式的定位机构13同样的。
在本实施方式的情况下,抵接构件1321’和支承机构1322是一组,但抵接部1321a与上述第一实施方式同样,有两个。像上述第一实施方式的那样,各抵接部1321a并不是独立地动作,但因为臂部1321c绕轴1321d自由转动,所以各抵接部1321a的相对位置能变化。因此,是简单的结构,同时,能均等地进行托盘T的相对载物台部Tb的各抵接部1321a的抵接状况。
<第三实施方式>
在上述第一实施方式中,将定位基准部134及移动机构134a设置在输送单元10上,但也可以设置在成为输送单元10的配设部位的载置台20的规定的位置。图12表示其一例。
在该图的例中,在基底构件11的底壁111上形成了切口状的开口部111a。定位机构13B,除了定位基准部134’及移动机构134a’以外的结构与定位机构13相同。定位基准部134’及移动机构134a’,与定位基准部134及移动机构134a是相同的结构,但仅其配置不同,移动机构134a’在开口部111a中被固定在载置台20上。根据这样的结构,能将输送单元10的结构做成更简单的结构。另外,能进一步使托盘T的再对位变得容易。
<第四实施方式>
在上述第一实施方式中,将定位基准部134做成了可由移动机构134a移动,但也可以做成固定配置。图13表示其位置例。
在该图的例中,导向构件14,除了定位基准部141以外还具备定位基准部143。定位基准部143是代替定位基准部134的结构,本实施方式的定位机构13C没有移动机构134a。
由定位机构13C进行的定位动作与上述第一实施方式同样,但因为定位基准部143是不动的,所以托盘T不能超过定位基准部143地输送。因此,托盘T的输送成为到由线L1表示的定位基准部143为止的折返输送。根据这样的结构,由于X方向及Y方向的基准位置的关系由一个构件设定,所以能进一步将输送单元10的结构做成更简单的结构。另外,能进一步使托盘T的再对位变得容易。
<其他的实施方式>
在上述实施例的第一实施方式至第三实施方式中,Y方向上的托盘T的定位,通过将定位基准部134及移动机构134a与托盘T的输送面相比配置在下方,使定位基准部134向输送轨道上突出,与托盘T的底板部Ta的一端部抵接,规定了基准位置,但也可以配置在托盘T的侧方、上方而使定位基准部134向输送轨道上突出。通过配置在托盘T的侧方、上方,能使托盘T的载物台部Tb的Y方向的一端部抵接,进而能使托盘T的定位精度提高。同样地在上述实施例的第一实施方式至第四实施方式中,也可以做成如下的结构:使成为Y方向上的托盘T的定位时的加载侧的推压机构131的抵接构件1312配置在托盘T的侧方、上方而向输送轨道上突出。
在上述实施方式中,例示了对作业系统A适用了输送装置1及输送单元10的例子,但本发明可适用于各种系统。托盘T也不过是输送对象物的一例。
虽然本发明描述了代表性的实施方式,但是本发明显然不限于这些公开的实施方式。本发明的后述的权利要求的范围应该以包括所有的可能的变更和等同的结构与功能在内的方式与最宽的解释一致。
Claims (10)
1.一种输送单元,其特征在于,具备:
包括在输送方向延伸的底壁和从上述底壁的两侧部分别立起的一对侧壁的基底构件;
被支承在上述基底构件上,在上述输送方向对输送对象物进行输送的输送机构;
被支承在上述基底构件上,将由上述输送机构输送的上述输送对象物相对于基底构件定位的定位机构,
上述定位机构具备:
上述输送对象物抵接的定位基准部;
朝向上述定位基准部推压输送对象物的推压机构,
上述定位基准部包括:
用于进行与由上述输送机构进行的输送对象物的输送方向正交的方向的定位的第一基准部;和
进行上述输送方向的定位的第二基准部,
上述推压机构具备:
朝向上述第一基准部推压输送对象物的第一推压机构;和
朝向上述第二基准部推压输送对象物的第二推压机构,
上述第二推压机构具备:
从上述输送方向与输送对象物抵接的第二抵接构件;和
使上述抵接构件在上述输送方向进退,并且与其进退动作连动地在输送对象物不抵接的退避位置和输送对象物抵接的定位位置之间使上述抵接构件移动的驱动机构。
2.如权利要求1记载的输送单元,其特征在于,
上述第一推压机构被设置在上述输送单元的配设部位。
3.如权利要求1记载的输送单元,其特征在于,
上述定位机构具备移动机构,该移动机构将上述第二基准部在输送对象物不抵接的退避位置和输送对象物抵接的定位位置之间移动。
4.如权利要求1记载的输送单元,其特征在于,
上述推压机构在上述第一及第二推压机构上具备共同的驱动单元,
上述第一推压机构包括:
与输送对象物抵接的第一抵接构件;
在上述正交方向可移动地支承上述第一抵接构件的支承机构;和
通常向上述第二基准部侧对上述第一抵接构件加载的加载机构,
上述驱动机构包括支承构件,该支承构件由上述驱动单元在上述输送方向进退,在上述退避位置和上述定位位置之间移动自由地支承上述第二抵接构件,
上述支承构件具有卡合部,该卡合部与上述第一抵接构件卡合,伴随其进退动作使上述第一抵接构件向与上述加载机构的加载方向相反方向移动。
5.如权利要求4记载的输送单元,其特征在于,
上述第二推压机构、上述支承机构和上述加载机构被支承在上述底壁上,
上述第一抵接构件具有弯曲形状,其一方端部被支承在上述支承机构上,另一方端部与输送对象物抵接,而且通过设置在一方的上述侧壁上的开口部。
6.如权利要求1记载的输送单元,其特征在于,
上述输送机构是分别被支承在上述一对侧壁的内侧的一对皮带传动机构。
7.如权利要求6记载的输送单元,其特征在于,
上述一对皮带传动机构分别包括驱动源,
将上述驱动源配置在上述基底构件的输送方向的ー方端部侧,
将上述定位机构与上述驱动源相比配置在上述基底构件的上述输送方向的另一方端部侧。
8.一种输送装置,是具备输送单元和载置上述输送单元的载置台的输送装置,其特征在于,
上述输送单元具备:
包括在输送方向延伸的底壁和从上述底壁的两侧部分别立起的一对侧壁的基底构件;
被支承在上述基底构件上,对输送对象物进行输送的输送机构;
被支承在上述基底构件上,将由上述输送机构输送的上述输送对象物相对于基底构件定位的定位机构;和
被固定在上述基底构件上的基准构件,
上述载置台具有规定上述输送单元的载置位置的卡合构件,
上述基准构件具有:
输送对象物抵接的定位基准部;和
上述卡合构件卡合的被卡合部,
上述定位机构具备朝向上述定位基准部推压输送对象物的推压机构。
9.如权利要求8记载的输送装置,其特征在于,
上述定位基准部包括用于进行与由上述输送机构进行的输送对象物的输送方向正交的方向的定位的第一基准部。
10.如权利要求9记载的输送装置,其特征在于,
上述定位基准部还包括用于进行上述输送方向的定位的第二基准部。
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CN104773482B (zh) * | 2015-03-04 | 2018-05-01 | 昆山平成电子科技有限公司 | 一种自动定位流水线机构 |
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US10368467B2 (en) * | 2017-10-10 | 2019-07-30 | Facebook, Inc. | System and method for data center heat containment |
CN108705996A (zh) * | 2018-05-23 | 2018-10-26 | 力帆实业(集团)股份有限公司 | 一种充电托盘防错识别装置 |
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US11178879B2 (en) * | 2020-03-12 | 2021-11-23 | James R. Kesler | Automated pizza-making system |
WO2021229782A1 (ja) * | 2020-05-15 | 2021-11-18 | ヤマハ発動機株式会社 | コンベアテーブル移載装置、搬送システムおよびコンベアテーブル移載方法 |
CN114496874B (zh) * | 2022-01-26 | 2023-04-07 | 上海世禹精密设备股份有限公司 | 一种芯片自动更换载具设备 |
CN116714995A (zh) * | 2023-06-25 | 2023-09-08 | 上海尼法智能设备股份有限公司 | 新型楔块导柱式顶升移载机 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4898268A (en) * | 1986-12-10 | 1990-02-06 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Printer circuit board positioning apparatus |
EP1231168A1 (en) * | 2000-11-17 | 2002-08-14 | ISP Systems S.r.l. | Line for conveying a panel of wood or similar |
CN101801816A (zh) * | 2007-09-19 | 2010-08-11 | 平田机工株式会社 | 基板输送系统 |
CN202163870U (zh) * | 2011-06-23 | 2012-03-14 | 阳程科技股份有限公司 | 板材输送的追速装置 |
CN202163871U (zh) * | 2011-07-08 | 2012-03-14 | 佛山泰铝新材料有限公司 | 一种用于工件输送线的自动定位装置 |
Family Cites Families (33)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3739904A (en) * | 1971-10-20 | 1973-06-19 | Continental Can Co | Modular conveyor support assembly |
JPS5350582A (en) * | 1976-10-19 | 1978-05-09 | Seiko Seiki Co Ltd | Pallet carrying and locating apparatus |
US4217977A (en) * | 1978-09-15 | 1980-08-19 | The Silicon Valley Group, Inc. | Conveyor system |
JPS56135934U (zh) * | 1980-03-15 | 1981-10-15 | ||
DE3115775A1 (de) * | 1981-04-18 | 1982-11-11 | Ernst Wagner Kg, 7410 Reutlingen | "vorrichtung zum uebernehmen, ausrichten und uebergeben einer palette o.dgl." |
US4493412A (en) * | 1982-06-25 | 1985-01-15 | Ppg Industries, Inc. | Glass sheet positioning apparatus for conveyor platform |
US4542820A (en) * | 1983-10-28 | 1985-09-24 | Usm Corporation | Conveyor for a substrate |
JPS61168299A (ja) * | 1985-01-21 | 1986-07-29 | 富士機械製造株式会社 | プリント基板搬送位置決め装置 |
US4757890A (en) * | 1985-04-19 | 1988-07-19 | Motoda Denshi Kogyo Kabushiki Kaisha | Tray positioning arrangement for delivery system |
US4850104A (en) * | 1985-10-28 | 1989-07-25 | Cimm, Inc. | System for configuring, automating and controlling operations performed on PCBS and other products |
DE3618584A1 (de) * | 1986-06-03 | 1987-12-10 | Detlef Dipl Ing Bloecker | Duplex-bandfoerderer |
JPH0775741B2 (ja) | 1989-09-22 | 1995-08-16 | 株式会社小松製作所 | ワークフィーダ制御装置 |
JPH03110031U (zh) * | 1990-02-27 | 1991-11-12 | ||
US4989268A (en) | 1990-03-28 | 1991-02-05 | Stolhand Andria J | Privacy shield for nursing mothers |
US4998712A (en) * | 1990-03-30 | 1991-03-12 | Hughes Aircraft Company | Printed wiring board fixture apparatus |
JP2547603Y2 (ja) * | 1991-01-22 | 1997-09-10 | 山形カシオ株式会社 | 基板保持装置 |
DE4125961C2 (de) * | 1991-08-06 | 1995-04-06 | Giddings & Lewis Gmbh | Werkstückpalette als Werkstückträger für Transferstraßen |
DE4235344C2 (de) * | 1991-10-21 | 1998-01-29 | Honda Motor Co Ltd | Vorrichtung zum Überführen und Positionieren einer mit einem Werkstück beladbaren Palette |
JP2601873Y2 (ja) | 1992-04-17 | 1999-12-06 | 松下電器産業株式会社 | パレットコンベアのパレット位置決め装置 |
JP2600738Y2 (ja) | 1993-11-09 | 1999-10-25 | 株式会社アドバンテスト | Icテストハンドラのテストトレイ位置決め機構並びに該装置に用いるテストトレイ |
JPH09168928A (ja) * | 1995-10-20 | 1997-06-30 | Fuji Photo Film Co Ltd | ワーク位置決め装置 |
JPH09260462A (ja) | 1996-03-26 | 1997-10-03 | Canon Inc | 基板搬送装置および方法 |
JP3792868B2 (ja) | 1997-03-10 | 2006-07-05 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置および基板処理方法 |
JP2000258497A (ja) | 1999-03-12 | 2000-09-22 | Olympus Optical Co Ltd | チップ検査機のチップ排出装置 |
JP4644331B2 (ja) * | 2000-03-15 | 2011-03-02 | Juki株式会社 | チップマウンタの基板搬送装置 |
JP4503954B2 (ja) * | 2003-08-21 | 2010-07-14 | 株式会社日立ハイテクインスツルメンツ | 基板位置決め装置及び基板位置決め方法 |
TWI241976B (en) * | 2004-05-27 | 2005-10-21 | Quanta Display Inc | Substrate transporting apparatus |
CN101053294B (zh) * | 2005-02-25 | 2010-08-04 | 松下电器产业株式会社 | 贴装机和板定位方法 |
DE502006002212D1 (de) * | 2006-09-25 | 2009-01-08 | Woerner Helmut | Anschlagmodul |
JP5080123B2 (ja) * | 2007-04-26 | 2012-11-21 | オークマ株式会社 | パレット受け渡しシステム |
ITUD20070156A1 (it) | 2007-09-04 | 2009-03-05 | Baccini S P A | Disositivo di posizionamento per posizionare uno o piu' wafer a base di silicio, in particolare per celle fotovoltaiche, in un'unita' di deposizione del metallo |
JP5155834B2 (ja) * | 2008-12-02 | 2013-03-06 | 富士機械製造株式会社 | 回路基板検査装置 |
JP5912764B2 (ja) * | 2012-03-29 | 2016-04-27 | 平田機工株式会社 | 搬送ユニット及び搬送装置 |
-
2012
- 2012-03-29 JP JP2012077770A patent/JP5912764B2/ja active Active
-
2013
- 2013-03-07 US US13/787,930 patent/US9051130B2/en active Active
- 2013-03-26 KR KR1020130031906A patent/KR101531581B1/ko active IP Right Grant
- 2013-03-27 MY MYPI2013001072A patent/MY166718A/en unknown
- 2013-03-29 CN CN201310105980.7A patent/CN103359463B/zh active Active
-
2014
- 2014-12-23 KR KR1020140187534A patent/KR101537722B1/ko active IP Right Grant
- 2014-12-23 KR KR1020140187539A patent/KR101519815B1/ko active IP Right Grant
- 2014-12-26 US US14/583,344 patent/US9422118B2/en active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4898268A (en) * | 1986-12-10 | 1990-02-06 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Printer circuit board positioning apparatus |
EP1231168A1 (en) * | 2000-11-17 | 2002-08-14 | ISP Systems S.r.l. | Line for conveying a panel of wood or similar |
CN101801816A (zh) * | 2007-09-19 | 2010-08-11 | 平田机工株式会社 | 基板输送系统 |
CN202163870U (zh) * | 2011-06-23 | 2012-03-14 | 阳程科技股份有限公司 | 板材输送的追速装置 |
CN202163871U (zh) * | 2011-07-08 | 2012-03-14 | 佛山泰铝新材料有限公司 | 一种用于工件输送线的自动定位装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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