KR20130099782A

KR20130099782A - 소자검사장치

Info

Publication number: KR20130099782A
Application number: KR1020120071089A
Authority: KR
Inventors: 유홍준; 서용진; 김민성; 유태식
Original assignee: (주)제이티
Priority date: 2012-02-29
Filing date: 2012-06-29
Publication date: 2013-09-06
Also published as: KR102000948B1; KR101417773B1; KR20130099874A; KR20140053082A; TWI497088B; KR101436028B1; KR20140043107A; KR20140053083A; KR20140043106A; KR20130099824A; KR101417772B1; TWI497089B; KR101430101B1; KR101436029B1; KR20140039253A; KR20130099827A; KR102000950B1; KR20130099783A; KR20130099781A; KR20130099826A

Abstract

본 발명은 다수개의 소자들이 적재된 하나 이상의 트레이가 로딩되는 로딩부와; 상기 로딩부로부터 소자들을 전달받아 각 소자의 테스트를 위한 복수의 테스트소켓들을 포함하는 테스트부와; 상기 테스트부의 테스트결과에 따라서 테스트를 마친 소자들을 분류하여 적재하는 언로딩부와; 상기 로딩부, 상기 테스트부 및 상기 언로딩부 사이에서 소자를 이송하는 하나 이상의 이송툴들을 포함하며, 상기 테스트부의 일측에 설치되어 이동에 의하여 상기 테스트소켓를 복개한 상태에서 공기를 분사하여 상기 테스트소켓에서 이물질을 제거하기 위한 크리닝부를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 소자검사장치를 개시한다.

Description

소자검사장치 {Semiconductor device inspection apparatus}

본 발명은 소자검사장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 소자에 대한 전기적 특징 등을 검사하는 소자검사장치에 관한 것이다.

반도체소자(이하 '소자'라 한다)는 패키지 공정을 마친 후 반도체소자 검사장치에 의하여 전기특성, 열이나 압력에 대한 신뢰성 검사 등 다양한 검사를 거친다.

소자에 대한 검사는 메모리소자, CPU, GPU 등과 같은 비메모리소자, LED소자, 태양광소자 등 소자의 종류에 따라서 실온환경에서 수행하는 실온검사, 고온환경에서 수행되는 가열검사 등 다양한 검사들이 있다.

한편 스마트폰, 스마트패드, 스마트TV 등 IT기기의 종류가 다양해지며 대중화됨에 따라서 CPU 등과 같은 비메모리소자, 즉 LSI의 수요가 급증하고 있다.

그런데 LSI의 경우 메모리소자에 비하여 그 종류가 다양함에 따라서 테스트의 종류가 다양해지며, 크기 또한 다양하여 소자에 대한 검사를 일률적으로 수행하는 것이 불가능하다.

특히 LSI는 소량다품종의 특성으로 인하여 규격화된 메모리소자의 검사장치에 비하여 검사수량이 작아 고가의 검사장비를 사용이 어려운 문제점이 있다.

본 발명의 목적은 상기와 같은 소량다품종의 LSI소자에 대한 검사를 빠르게 수행하면서 다양한 종류의 LSI소자를 검사할 수 있는 소자검사장치를 제공하는데 있다.

본 발명의 다른 목적은 장치의 유지보수를 용이하게 구성함으로써 장치의 유비보수비용을 절감하여 소자의 생산비용을 현저하게 절감할 수 있는 소자검사장치를 제공하는데 있다.

본 발명의 또 다른 목적은 장치의 유지보수를 용이하게 구성함으로써 장치의 유비보수비용을 절감하여 소자의 생산비용을 현저하게 절감할 수 있는 소자핸들러를 제공하는데 있다.

본 발명은 상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명은 다수개의 소자들이 적재된 하나 이상의 트레이가 로딩되는 로딩부와; 상기 로딩부로부터 소자들을 전달받아 각 소자의 테스트를 위한 복수의 테스트소켓들을 포함하는 테스트부와; 상기 테스트부의 테스트결과에 따라서 테스트를 마친 소자들을 분류하여 적재하는 언로딩부와; 상기 로딩부, 상기 테스트부 및 상기 언로딩부 사이에서 소자를 이송하는 하나 이상의 이송툴들을 포함하며, 상기 테스트부의 일측에 설치되어 이동에 의하여 상기 테스트소켓를 복개한 상태에서 공기를 분사하여 상기 테스트소켓에서 이물질을 제거하기 위한 크리닝부를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 소자검사장치를 개시한다.

상기 크리닝부는 상기 테스트소켓을 복개하며 상기 테스트소켓의 상부에 크리닝공간을 형성하는 본체와, 상기 테스트부의 일측 및 상기 테스트소켓의 상부 사이에서 상기 본체를 이동시키기 위한 구동부를 포함할 수 있다.

상기 본체는 상기 각 테스트소켓에 공기를 분사할 수 있도록 공기공급장치와 연결되는 공기유로 및 상기 공기유로로부터 공기를 전달받아 상기 테스트소켓에 공기를 분사하는 하나 이상의 노즐이 설치될 수 있다.

상기 본체는 상기 크리닝공간이 밀폐된 상태를 유지하도록 형성되며, 상기 본체는 상기 노즐을 통하여 분사된 공기와 함께 이물질이 상기 크리닝공간으로부터 외부로 배출되도록 배출관과 연결될 수 있다.

상기 이송툴은 끝단에 흡착패드가 각각 결합된 복수의 픽커들을 포함하며, 상기 이송툴 중 적어도 어느 하나의 이송툴은 상기 픽커들에 각각 결합된 상기 흡착패드를 자동으로 교환할 수 있는 흡착패드교환부를 추가로 포함할 수 있다.

상기 흡착패드교환부는 상기 픽커의 흡착패드가 삽입되는 복수의 흡착패드수용공간들이 형성된 2개 이상의 흡착패드수용부들과, 상기 흡착패드수용부들 중 적어도 일부에 설치되어 상기 흡착패드수용공간에 수용된 흡착패드를 픽업하는 흡착패드픽업부를 포함하며, 상기 흡착패드픽업부가 설치된 상기 흡착패드수용부들 중 적어도 일부는 상기 픽커들로부터 상기 패드픽업부에 의하여 상기 흡착패드를 분리하여 수용할 수 있도록 상기 흡착패드수용공간이 비워져 있으며, 상기 흡착패드수용부들 중 적어도 일부의 흡착패드수용부는 상기 흡착패드가 제거된 픽커에 결합될 수 있도록 교체될 흡착패드가 삽입될 수 있다.

상기 흡착패드수용부는 상기 복수의 흡착패드수용공간들이 형성된 수용부본체를 포함하며, 상기 흡착패드픽업부는 상기 수용부본체에 설치되어 상기 흡착패드가 상기 픽커에 결합된 상태로 상기 흡착패드수용공간에 삽입된 후 상기 흡착패드를 픽업할 수 있다.

상기 흡착패드픽업부는 상기 수용부본체의 상면을 복개함과 아울러 상면과 평행한 방향으로 이동이 가능하도록 설치되는 이동부재를 포함하며, 상기 이동부재는 상기 흡착패드가 상기 픽커에 결합된 상태로 관통하여 상기 흡착패드수용공간으로 이동이 가능하도록 형성된 복수의 관통부분들과, 상기 관통부분들 각각과 연결되어 상기 흡착패드가 상기 픽커에 결합된 상태에서 상기 흡착패드수용공간으로부터 이동될 때 상기 흡착패드가 걸림되고 상기 픽커만이 이동이 가능하도록 형성된 복수의 걸림부분들을 포함할 수 있다.

상기 흡착패드는 상기 픽커의 외주면보다 더 돌출된 돌출부가 형성되며, 상기 걸림부분은 상기 픽커의 외주면보다는 크고 상기 돌출부의 외주면보다 작게 형성되어 상기 픽커의 상측방향 이동시 상기 흡착패드가 걸림될 수 있다.

상기 소자검사장치는 상기 로딩부의 트레이로부터 제1이송툴을 통해 소자들을 전달받아 임시로 적재하는 로딩버퍼부와; 상기 테스트부를 중심으로 상기 로딩버퍼부와 대향되는 위치에 설치되어 상기 테스트부에 의한 테스트가 완료된 소자들을 전달받는 언로딩버퍼부를 추가로 포함할 수 있다.

상기 소자검사장치는 상기 하나 이상의 이송툴에 의하여 상기 로딩버퍼부로부터 소자들을 전달받아 상기 테스트부에 전달하거나 상기 테스트부로부터 소자를 전달받아 상기 언로딩버퍼부로 소자를 전달하는 제1셔틀부 및 제2셔틀부를 포함할 수 있다.

상기 제1셔틀부 및 제2셔틀부는 상기 테스트부를 중심으로 서로 대향되어 설치되며, 상기 제1셔틀부 및 제2셔틀부는 각각 가이드레일과, 상기 가이드레일을 따라서 이동되어 상기 로딩버퍼부로부터 소자를 전달받기 위한 제1소자전달위치, 상기 테스트부와의 소자교환위치, 상기 언로딩버퍼부로 소자를 전달하기 위한 제2소자전달위치를 번갈아가면서 이동되는 하나 이상의 셔틀플레이트를 포함할 수 있다.

상기 크리닝부는 상기 제1셔틀부 및 상기 제2셔틀부 사이에 설치될 수 있다.

상기 이송툴은 각각 상기 제1셔틀부와 상기 테스트부 사이, 및 상기 제2셔틀부와 상기 테스트부 사이를 이동하면서 상기 셔틀플레이트에 적재된 소자들을 테스트부로 전달하거나, 상기 테스트부로부터 상기 셔틀플레이트로 소자를 전달하는 한 쌍의 이송툴들을 포함할 수 있다.

본 발명에 따른 소자검사장치는 소량다품종의 LSI소자에 대한 검사를 빠르게 수행하면서 다양한 종류의 LSI소자를 검사할 수 있는 이점이 있다.

또한 본 발명에 따른 소자검사장치는 장치의 유지보수를 용이하게 구성함으로써 장치의 유비보수비용을 절감하여 소자의 생산비용을 현저하게 절감할 수 있는 이점이 있다.

또한 본 발명에 따른 소자검사장치 또는 소자핸들러는 흡착패드의 교체를 위하여 장치의 작동을 멈추고 수작업에 의한 교체 후 장치가 재가동되는 종래기술에 비하여, 픽커로부터 흡착패드를 자동으로 교체할 수 있는 흡착패드교환부를 추가로 구비함으로써 장비의 생산성을 크게 향상시킬 수 있는 이점이 있다.

또한 본 발명에 따른 소자검사장치는 이송툴의 구성에 있어서 이동가능하게 설치되는 지지부와, 상기 지지부에 탈착가능하게 결합되며 하나 이상의 픽커들이 결합되는 하나 이상의 픽커모듈을 구비함으로써 이송툴의 유지보수가 용이한 이점이 있다.

또한 본 발명에 따른 소자검사장치는 히터 및 상기 온도센서에 대한 전원공급 및 신호전달을 위한 하나 이상의 제1커넥터가 설치됨으로써 이송툴을 구성하는 지지부 및 픽커모듈의 결합시 지지부에 설치된 제2커넥터와 자동으로 연결됨으로써 전원공급 및 신호전달을 위한 별도의 연결작업이 불필요하여 장치의 제조, 유지보수가 용이한 이점이 있다.

또한 또한 본 발명에 따른 소자검사장치는 테스트부의 일측에 설치되어 이동에 의하여 상기 테스트소켓를 복개한 상태에서 공기를 분사하여 상기 테스트소켓에서 이물질을 제거하기 위한 크리닝부를 추가로 포함함으로써 테스트소켓에 이물질이 존재하여 테스트의 오류 또는 테스트 작업이 불가능하게 되는 것을 방지하여 장치의 성능을 크게 향상시킬 수 있는 이점이 있다.

도 1은 본 발명에 따른 소자검사장치의 일예를 보여주는 평면도이다.
도 2는 도 1의 소자검사장치 중 로딩버퍼부 및 언로딩버퍼부의 플레이트부재의 일예를 보여주는 평면도이다.
도 3a는 도 1의 소자검사장치 중 제1셔틀부 및 제2셔틀부를 보여주는 개념도이고, 도 3b는 제1셔틀부 및 제2셔틀부에서 셔틀플레이트를 고정하기 위한 플레이트고정부를 보여주는 개념도이다.
도 4a 및 도 4b는 크리닝부의 구성을 보여주는 개념도들이다.
도 5a 및 도 5b는 제3이송툴의 작동을 보여주는 개념도들이다.
도 6은 제3이송툴의 상하 구동을 위한 구성을 보여주는 개념도이다.
도 7 및 도 8은 제3이송툴의 일예를 보여주는 개념도들이다.
도 9a는 픽커의 일부 및 흡착패드를 보여주는 사시도이다.
도 9b는 도 9a의 픽커에서 흡착패드의 자동효관을 위한 흡착패드교환부의 구성을 보여주는 개념도이다.
도 10a 및 도 10b는 각각 픽커로부터 흡착패드를 교환하는 과정을 보여주는 흡착패드교환부의 일부 단면도이다.
도 11a 및 도 11b는 각각 각각 픽커로부터 흡착패드를 교환하는 과정을 보여주는 흡착패드교환부의 일부 평면도이다.

이하 본 발명에 따른 소자검사장치를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

본 발명에 따른 소자검사장치는 도 1에 도시된 바와 같이, 다수개의 소자(1)들이 적재된 하나 이상의 트레이(2)가 로딩되는 로딩부(100)와; 로딩부(100)로부터 소자(1)들을 전달받아 테스트를 각 소자(1)의 테스트를 위한 테스트소켓(310)을 포함하는 테스트부(300)와; 테스트부(300)의 테스트결과에 따라서 소자(1)들을 제2이송툴(820)을 통해 분류하여 적재하는 언로딩부(500)를 포함한다.

여기서 상기 로딩부(100), 테스트부(300) 및 언로딩부(500) 사이에서의 소자(1)의 이송은 다양한 방법에 의하여 구현될 수 있으며, 하나 이상의 제3이송툴, 예를 들면 후술하는 한 쌍의 제3이송툴(830, 840)들에 의하여 구현될 수 있다.

상기 로딩부(100) 및 언로딩부(500)는 다수개의 소자(1)들이 적재된 하나 이상의 트레이(2)가 로딩되는 구성으로서, 설계 및 디자인에 따라서 다양한 구성이 가능하며, 복수개의 트레이(2)들이 적재되는 트레이적재부(미도시)를 포함할 수 있다.

상기 로딩부(100)는 일예로서, 도 1에 도시된 바와 같이, 제1이송툴(810)이 끊김없이 소자(1)를 픽업하여 이송할 수 있도록 복수개의 트레이(2)들이 적절하게 배치되며, 소자(1)들이 비워진 트레이(2)는 소자(1)들이 채워진 트레이(2)와 교체될 수 있도록 구성될 수 있다. 여기서 트레이(2)는 일정 묶음의 트레이(2)들이 트레이적재부에 또는 자동으로 로딩된 후 트레이적재부로부터 제1이송툴(810)이 소자(1)를 인출할 수 있는 위치로 자동으로 이송될 수 있다.

이때 상기 소자(1)들이 인출된 빈 트레이(2)는 트레이전달부(미도시)에 의하여 언로딩부(500)로 이송될 수 있으며, 언로딩부(500)로 이송되기 전에 트레이(2) 내에 미처 인출되지 않은 소자(1)를 제거할 수 있도록 트레이반전부(미도시)에서 회전될 수 있다.

한편 상기 언로딩부(500)는 로딩부(100)와 유사하게 구성되며, 도 1에 도시된 바와 같이, 제2이송툴(820)이 끊김없이 소자(1)들을 테스트 결과에 따라서 분류하여 적재할 수 있도록 복수개의 빈 트레이(2)들이 분류등급에 따라서 적절하게 배치되며, 소자(1)들이 채워진 트레이(2)는 빈 트레이(2)와 교체될 수 있도록 구성될 수 있다.

또한 상기 로딩부(100) 및 언로딩부(500) 사이에는 빈 트레이(2)가 임시로 적재될 수 있는 트레이버퍼부(미도시)가 추가로 설치될 수 있다.

상기 트레이(2)는 다수개의 소자(1)들이 적재될 수 있도록 8×16 등 일정한 규격에 따라서 수용홈(2a)들이 형성되는 등 다양한 구성이 가능하다.

그리고 검사 대상인 소자(1)는 메모리반도체, CPU, GPU, 시스템LSI와 같은 비메모리소자가 그 대상이 될 수 있다. 특히 검사 대상은 비메모리소자, 특히 저면에 볼형태의 접촉단자들이 형성된 소자를 그 대상으로 함이 바람직하다.

한편 상기 로딩부(100) 및 언로딩부(500)의 구성은 도 1에 도시된 소자검사장치와 같이 장치의 내부에 설치되거나, 도시되지 않았지만, 후술하는 로딩버퍼부(100) 및 언로딩버퍼부(500)의 하측에 설치될 수 있다.

한편 본 발명에 따른 소자검사장치는 소자((1))에 대한 이송속도를 높이기 위하여(또는 소자(1)의 테스트를 위하여 충분한 가열이 이루어지도록), 로딩부(100)의 트레이(2)로부터 제1이송툴(810)을 통해 소자(1)들을 전달받아 임시로 적재하는 로딩버퍼부(200)와; 테스트부(300)를 중심으로 로딩버퍼부(200)와 대향되는 위치에 설치되어 테스트부(300)에 의한 테스트가 완료된 소자(1)들을 전달받는 언로딩버퍼부(400)를 추가로 포함할 수 있다.

상기 로딩버퍼부(200)는 로딩부(100)로부터 소자(1)를 전달받아 임시로 적재하여 테스트부(300)로 전달하며, 언로딩버퍼부(400)는 테스트부(300)로부터 소자(1)를 전달받아 언로딩부(500)로 전달하기 위한 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.

특히 상기 로딩버퍼부(200) 및 언로딩버퍼부(400)는 상대적으로 작은 수의 소자(1)들이 적재된 트레이(2)에서 상대적으로 많은 수의 소자(1)들을 테스트부(300)로 전달하기 위한 구성으로서, 트레이(1)가 적재할 수 있는 소자(1)들의 수보다 많은 수의 소자(1)들을 적재하도록 구성됨이 바람직하다.

한편 상기 로딩버퍼부(200) 및 언로딩버퍼부(400)는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 소자(1)들이 적재될 수 있도록 상면에 다수개의 적재홈(211, 411)들이 형성된 판상의 플레이트부재(210, 410)를 포함하여 구성될 수 있다.

여기서 상기 로딩버퍼부(200) 및 언로딩버퍼부(400)의 플레이트부재(210, 410)는 서로 거의 동일하게 구성될 수 있으나 테스트에 가열(예열)이 필요하는 등 테스트 전에 요구되는 조건에 따라서 히터 등과 같이 그 조건을 부여하기 위한 장치가 추가되는 등 차이가 있을 수 있다.

그리고 상기 로딩버퍼부(200) 및 언로딩버퍼부(400)의 플레이트부재(210, 410)의 적재홈(211, 411)들은 테스트부(300)의 테스트소켓(310)들의 간격에 맞춰 배치되거나, 트레이(2)의 수용홈(2a)들의 간격에 대응되는 간격에 맞춰 배치될 수 있다.

그리고 상기 플레이트부재(210, 410)의 적재홈(211, 411)들은 테스트부(300)와의 소자교환이 용이할 수 있도록 제3이송툴(830, 840)의 픽커(831, 641)들의 간격의 1/n, 예를 들면 1/2로 형성될 수 있다. 여기서 n은 2 이상의 자연수이다.

예를 들면 상기 트레이(2)의 수용홈(2a)들의 간격과 로딩버퍼부(200) 및 언로딩버퍼부(400)의 플레이트부재(210, 410)의 적재홈(211, 411)들의 간격은 동일하게 하고, 테스트부(300)의 테스트소켓(310)들의 간격은 트레이(2)의 수용홈(2a)들의 간격보다 n배, 예를 들면 2배로 형성될 수 있다.

특히 상기 언로딩버퍼부(400)의 플레이트부재(210, 410)의 적재홈(211, 411)들이 16×8로 배치되고, 테스트부(300)의 테스트소켓(310)들이 8×4로 배치된 경우 후술하는 제3이송툴(830, 840)은 테스트부(300)의 테스트소켓(310)들에 대응되는 간격으로 8×4로 배치된 픽커(831, 641)들을 포함함으로써 한번에 8×4의 소자(1)들을 이송할 수 있게 된다.

특히 상기 제3이송툴(830, 840)은 로딩버퍼부(200) 및 언로딩버퍼부(400)의 플레이트부재(210, 410)의 적재홈(211, 411)들에 소자(1)를 한 칸씩 건너뛰어 인출하거나 적재함으로써 픽커(831, 641)들 간의 간격조절이 불필요하여 소자이송을 빠르게 할 수 있다.

한편 상기 플레이트부재(210, 410)들은 소자(1)들을 임시로 적재하여 테스트부(300)와의 소자교환을 위한 구성으로서 장치에 고정된 상태로 설치되거나 이동가능하게 설치되는 등 다양한 구성이 가능하다.

상기 테스트부(300)는 소자(1)를 로딩버퍼부(200)로부터 전달받아 테스트 후 테스트결과에 따라서 소자분류를 위하여 언로딩버퍼부(400)로 전달하는 구성으로서, 요구되는 테스트에 따라서 다양한 구성이 가능하며, 도 1에 도시된 바와 같이, 복수개의 테스트소켓(310)들이 설치된다.

상기 테스트소켓(310)은 8×2, 8×4 등 다양하게 배치될 수 있으며, 소자(1)의 테스트를 위하여 소자(1)의 단자와 연결을 위한 구성으로서, 다양한 구성이 가능하며, 앞서 설명한 바와 같이, 소자의 종류, 테스트 종류 등에 따라서 교체가능하게 설치될 수 있다.

한편 상기 테스트부(300)는 나머지 구성과 모듈화된 독립적 구성이 가능하며, 구성에 따라서 간단한 구성인 테스트소켓(310)이 설치된 PCB보드로서도 구성이 가능하다.

특히 상기 테스트부(300)가 테스트소켓(310)이 설치된 PCB보드로 구현되는 경우 각 테스트별로 특성화함으로써 상대적으로 고가인 테스트부(300)의 구성비용을 현저하게 절감할 수 있다.

한편 상기 테스트부(300)는 다양한 테스트가 가능하며, 보다 바람직하게는 실온에서의 테스트만 가능하게 구성될 수 있다.

한편 상기 테스트부(300)는 고온테스트 등 온도에 연관된 테스트의 경우 온보변화를 최소화하기 위하여, 테스트소켓(310)를 포함하여 일부 영역을 둘러싸는 챔버부재가 그 주변에 설치될 수 있다.

한편 상기 테스트부(300)와, 로딩버퍼부(200) 또는 언로딩버퍼부(400) 사이의 소자교환은 직접 이루어지기보다는 제3이송툴(830, 840)에 의하여 로딩버퍼부(200)로부터 소자(1)들을 전달받아 테스트부(300)에 전달하거나 테스트부(300)로부터 소자(1)를 전달받아 언로딩버퍼부(400)로 소자(1)를 전달하는 제1셔틀부(610) 및 제2셔틀부(620)에 의하여 이루어질 수 있다.

상기 제1셔틀부(610) 및 제2셔틀부(620)는 테스트부(300)와, 로딩버퍼부(200) 또는 언로딩버퍼부(400) 사이의 소자교환을 위한 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

예를 들면, 상기 제1셔틀부(610) 및 제2셔틀부(620)는 도 1에 도시된 바와 같이, 테스트부(300)를 중심으로 서로 대향되어 설치되는 가이드레일(611, 621)과, 가이드레일(611, 621)을 따라서 이동되어 로딩버퍼부(200)로부터 소자를 전달받기 위한 제1소자전달위치, 테스트부(300)와의 소자교환위치, 언로딩버퍼부(400)로 소자를 전달하기 위한 제2소자전달위치를 번갈아가면서 이동되는 하나 이상의 셔틀플레이트(612, 622)를 포함할 수 있다.

여기서 제1소자전달위치, 소자교환위치 및 제2소자전달위치는 장치의 구성에 따라서 다양하게 배치될 수 있으며, 직선으로 순차적으로 배치될 수 있다.

한편 상기 가이드레일(611, 621)은 셔틀플레이트(612, 622)의 이동을 가이드하기 위한 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

상기 셔틀플레이트(612, 622)는 하나 이상으로 설치되어 테스트부(300)와, 로딩버퍼부(200) 또는 언로딩버퍼부(400) 사이의 소자교환을 위하여 소자(1)가 안착되는 소자안착홈들이 형성된다.

그리고 상기 셔틀플레이트(612, 622)는 앞서 설명한 로딩플레이트(도 3a 참조)와 유사한 구성을 가질 수 있다.

한편 검사대상인 소자(1)의 종류, 특히 소자(1)의 크기가 달라지는 경우 소자가 안착되는 셔틀플레이트(612, 622) 또한 교체될 필요가 있다.

따라서 상기 제1셔틀부(610) 및 제2셔틀부(620)는 도 1, 도 3a 및 도 3b에 도시된 바와 같이, 플레이트탈착부(614, 624)에 의하여 셔틀플레이트(612, 622)가 탈착결합되며 가이드레일(611, 621)을 따라서 이동되도록 설치된 플레이트고정부(613, 623)를 추가로 포함할 수 있다.

상기 플레이트고정부(613, 623)는 셔틀플레이트(612, 622)의 교체 편의를 위하여 설치된 구성으로서 다양한 구성이 가능하며 소자(1) 가열을 위한 히터 등이 설치될 수 있다.

한편 상기 플레이트탈착부(614, 624)는 플레이트고정부(613, 623)에서 셔틀플레이트(612, 622)의 탈착을 위한 구성으로서 다양한 구성이 가능하며, 도 3b와 같이 간단한 수작업에 의하여 셔틀플레이트(612, 622)의 탈착이 가능하도록 구성될 수 있다.

한편 상기 테스트부(300)는 테스트소켓(310)에 이물질이 유입되는 등 테스트가 불가한 상황이 발생될 수 있는데 이 경우 장치의 가동을 멈추고 수작업에 의하여 이물질 제거 후 장치를 재가동하여야 하는 번거로움이 있었다.

이에 본 발명은 테스트부(300)의 일측에 설치되어 이동에 의하여 테스트소켓(310)를 복개한 상태에서 공기를 분사하여 테스트소켓(310)에서 이물질 등을 제거하기 위한 크리닝부(700)를 추가로 포함할 수 있다.

상기 크리닝부(700)는 다양한 구성이 가능하며, 도 4a 및 도 4b에 도시된 바와 같이, 테스트소켓(310)을 복개하며 테스트소켓(310)의 상부에 크리닝공간을 형성하는 본체(710)와, 테스트부(300)의 일측 및 테스트소켓(310)의 상부 사이에서 본체(710)를 이동시키기 위한 구동부(720)를 포함할 수 있다.

상기 본체(710)는 테스트소켓(310)을 복개하며 테스트소켓(310)의 상부에 크리닝공간을 형성하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하며, 밀폐된 크리닝공간을 형성하도록 그릇형상 등 다양한 형상을 가질 수 있으며, 각 테스트소켓(310)에 공기를 분사할 수 있도록 공기공급장치(미도시)와 연결되는 공기유로(711) 및 공기유로(711)로부터 공기를 전달받아 테스트소켓(310)에 공기를 분사하는 하나 이상의 노즐(712)이 설치될 수 있다.

아울러 상기 본체(710)는 노즐(712)을 통하여 분사된 공기와 함께 이물질이 크리닝공간으로부터 외부로 배출되도록 배출관(713)과 연결될 수 있다.

상기 구동부(720)는 테스트부(300)의 일측 및 테스트소켓(310) 사이에서 본체(710)를 이동시키기 위한 구성으로서 유압실린더, 공압실린더 등 다양한 구성이 가능하다.

여기서 상기 후술하는 가이드레일(611, 621)을 구비하는 제1셔틀부(610) 및 제2셔틀부(620)가 설치된 경우 크리닝부(700)는 제1셔틀부(610) 및 제2셔틀부(620)에 설치되어 구동부(720)는 본체(710)를 가이드레일(611, 621)과 평행한 방향으로 선형이동시키도록 구성될 수 있다.

상기 제1이송툴(810) 및 제2이송툴(820)는 각각 로딩부(100)에서 로딩버퍼부(200)로, 언로딩버퍼부(400)에서 언로딩부(500)로 소자(1)들을 이송하기 위한 구성으로서, 소자(1)를 픽업하는 복수개의 픽커들 및 상하방향(Z방향) 및 수평방향(X-Y방향) 등으로 복수개의 픽커들의 이동을 구동하기 위한 구동장치를 포함하여 구성될 수 있다.

상기 픽커는 소자(1)를 픽업하여 소정의 위치로 이송하기 위한 구성으로서, 다양한 구성이 가능하며 소자(1)의 상면에 진공압을 형성하는 픽업패드 및 픽업패드에 공압을 전달하는 공압실린더로 구성될 수 있다.

상기 픽커들은 "로딩부(100) 및 언로딩부(500)"의 트레이(2) 및 로딩버퍼부(200) 및 언로딩버퍼부(400)의 플레이트부재(210, 410)들의 적재홈(211, 411)들의 간격이 간격이 서로 다른 경우를 고려하여 가로 및 세로 간격의 조절이 가능하도록 구성될 수 있으나, 보다 많은 수의 반도체소자(10)들의 이송이 가능하도록 가로 및 세로 간격이 고정될 수 있다.

특히 보다 많은 수의 반도체소자(10)들의 이송이 가능하도록, 제1이송툴(810)의 픽커들은 8×4(8×2)로 배치된 경우 제3이송툴(830, 840)의 픽커(831, 841)들은 8×4(8×2)로 배치될 수 있다. 여기서 제2이송툴(820)은 제1이송툴(810)의 구성과 동일하거나 유사하게 구성될 수 있다.

상기 구동장치는 픽커들의 구동태양에 따라서 다양한 구성이 가능하며, 픽커들을 상하로 이동시키기 위한 상하이동장치 및 수평방향으로 이동하기 위한 수평이동장치를 포함하여 구성될 수 있다.

상기 상하이동장치는 픽커들 전체를 한꺼번에 상하로 이동시키도록 구성되거나, 각 픽커들이 독립적으로 상하로 이동되도록 각 픽커들에 연결될 수 있다.

상기 수평방향이동장치는 픽커들의 이동태양에 따라서 다양한 구성이 가능하며, X방향 또는 Y방향으로의 단일방향의 이동, 또는 X-Y방향 이동이 가능하도록 구성될 수 있다.

상기 제3이송툴(830, 840)은 테스트부(300)와, 제1셔틀부(610) 및 제2셔틀부(620), 사이에서 소자(1)를 이송하기 위한 구성으로서, 소자(1)의 이송태양에 따라서 다양한 구성이 가능하다.

예를 들면, 상기 제3이송툴(830, 840)은 도 5a 및 도 5b에 도시된 바와 같이, 한 쌍으로 설치되어 제1셔틀부(610)와 테스트부(300) 사이를 이동하는 이송툴(830), 제2셔틀부(620)와 언로딩버퍼부(400) 사이를 이동하는 이송툴(840)을 포함할 수 있다.

상기 제3이송툴(830, 840)은 제1이송툴(810) 및 제2이송툴(820)과 유사한 구조를 가질 수 있다.

상기 제3이송툴(830, 840)은 도 5a 및 도 5b에 도시된 바와 같이, 한 쌍으로 구성된 경우 소자교환의 편의를 위하여 서로 연동하여 이동될 수 있다.

한편 상기 한 쌍의 제3이송툴(830, 840)들 중 테스트부(300) 상에 위치된 이송툴의 경우 소자(1)와 테스트소켓(310) 상에 견고한 결합을 위하여 소자(1)를 테스트소켓(310)으로 일정한 힘으로 가압할 필요가 있다.

이에 상기 제3이송툴(830, 840)들은 도 6에 도시된 바와 같이, 상하구동부를 구성함에 있어서, 캠부재(890)에 의하여 상하 구동될 수 있다.

상기 캠부재(890)는 제3이송툴(830, 840)의 상단에 설치된 가이드부재(891)와 구속결합되어 캠부재(890의 회전에 의하여 제3이송툴(830, 840)이 상하구동될 수 있도록 캠홈(892)이 형성될 수 있다.

상기 캠홈(892)는 도 6에 도시된 바와 같이, 반경이 일정한 제1반경구간 및 제2반경구간과, 제1반경구간 및 제2반경구간을 연결하는 가변구간을 포함하여 형성된다.

상기 캠홈(892)이 상기와 같이 구성되면, 가이드부재(891)가 반경이 작은 제1반경구간에 있을 때에는 상측에 위치된 상태에 있으며, 가변구간에 있는 경우 상측으로 이동되거나 하측으로 이동되며, 제1반경구간보다 반경이 더 큰 제2반경구간에 있는 경우 하측에 위치된 상태를 유지한다.

이때 상기 가이드부재(891)가 제2반경구간에 위치되었을 때 캠부재(890)의 회전을 위한 구동모터에 인가되는 전압의 변화와 무관하게 일정한 반경에 있어 제3이송툴(830, 840)에 의한 소자(1)의 가압상태에 변함없이 일정하게 테스트소켓(310)으로 가압할 수 있게 된다.

한편 상기 테스트부(300)가 일정한 온도하에서 테스트 수행이 필요한바 테스트부(300) 상에서 소자(1)를 픽업하는 제3이송툴(830, 840) 또한 소자(1)를 가열하도록 하는 것이 바람직하다.

이에 상기 제3이송툴(830, 840)은 도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 히터(미도시)가 설치될 수 있다.

이때 상기 제3이송툴(830, 840)은 소자(1)의 종류, 크기 등에 따라서 픽커(831, 841)의 교체가 필요하다.

따라서 상기 제3이송툴(830, 840)은 장치에 이동가능하게 설치되는 지지부(833, 843)와, 지지부(833, 843)에 탈착가능하게 결합되며 하나 이상의 픽커(831, 841)가 결합되는 하나 이상의 픽커모듈(834, 844)을 포함할 수 있다.

상기 지지부(883, 843)은 픽커모듈(834, 844)을 지지할 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.

상기 픽커모듈(834, 844)은 하나 이상의 픽커(831, 841)가 결합됨과 아울러 지지부(833, 843)에 나사, 브라켓 등에 의하여 결합되는 본체를 포함하며, 본체에는 히터(미도시), 온도센서 등이 설치될 수 있다.

이때 상기 픽커모듈(834, 844)은 히터, 온도센서가 설치됨을 고려하여 지지부(833, 843)와 단열을 위한 단열부재(835, 845)들이 설치될 수 있으며, 히터, 온도센서에 대한 전원공급 및 신호전달을 위한 하나 이상의 제1커넥터(836, 846)가 설치될 수 있다.

상기 제1커넥터(836, 846)는 단자들이 설치된 제1단자와, 삽입에 의하여 제1단자와 전기적으로 연결되는 제2단자를 포함하여 구성되는 등 삽입에 의하여 후술하는 제2커넥터(미도시)와 서로 결합되는 등 다양한 구성이 가능하다.

한편 상기 지지부(883, 843)는 도시된 바와 같이, 픽커모듈(834, 844)과의 결합시 제1커넥터(836, 846)와 결합되어 히터, 온도센서에 대한 전원공급 및 신호전달하는 제2커넥터가 설치된다.

상기와 같은 제1커넥터(836, 846) 및 제2커넥터의 구성에 의하여 별도의 연결작업 없이 픽커모듈(834, 844) 및 지지부(883, 843)의 결합에 의하여 히터, 온도센서에 대한 전원공급 및 신호전달이 가능해 진다.

즉, 상기 제1커넥터(836, 846) 및 제2커넥터는 픽커모듈(834, 844) 및 지지부(883, 843)의 결합시 서로 접촉되는 부분에 설치되어 픽커모듈(834, 844) 및 지지부(883, 843)의 상호 결합시 자동으로 연결된다.

한편 소자(1) 이송을 위한 제1 내지 제3이송툴(810, 820, 830, 840)의 픽커(891)들은 도 9a 및 도 9b에 도시된 바와 같이, 소자(1)의 흡착이 용이하도록 그 끝단에 고무 등의 재질을 가지는 흡착패드(892)가 설치되는데, 소자(1)의 변경이 있는 경우, 마모에 따라서 흡착에 불량이 있는 경우, 유지보수 경과 등의 경우 흡착패드(892)를 교체하여야 한다.

그런데 흡착패드(892)의 교환은 종래의 경우 수작업에 의하여 이루어져 픽커(891)들을 분리하여 일일이 하나씩 교체하는 등 매우 불편한 문제점이 있다.

이에 본 발명은 제1 내지 제3이송툴(810, 820, 830, 840)들 중 적어도 어느 하나의 이송툴은 픽커(891)들에 각각 결합된 흡착패드(892)를 자동으로 교환할 수 있는 흡착패드교환부(900)를 추가로 포함할 수 있다.

상기 흡착패드교환부(900)는 제1 내지 제3이송툴(810, 820, 830, 840), 특히 제1이송툴(810) 및 제2이송툴(820)의 동선을 고려하여 적절한 위치에 배치되며, 도 9a 내지 도 11b에 도시된 바와 같이, 픽커(891)의 흡착패드(892)가 삽입되는 복수의 흡착패드수용공간(911)들이 형성된 흡착패드수용부(910)들과, 흡착패드수용부(911)들 중 적어도 일부에 설치되어 흡착패드수용공간(911)에 수용된 흡착패드를 픽업하는 흡착패드픽업부(920)를 포함할 수 있다.

여기서 상기 흡착패드픽업부(920)가 설치된 흡착패드수용부(910)들 중 적어도 일부는 픽커(891)들로부터 패드픽업부(920)에 의하여 흡착패드(892)를 분리하여 수용할 수 있도록 흡착패드수용공간(911)이 비워져 있으며, 흡착패드픽업부(920)들 중 적어도 일부의 흡착패드수용부(910)는 흡착패드(892)가 제거된 픽커(891)에 쵸체될 새로운 흡착패드(892)가 삽입되어 있다.

상기 흡착패드수용부(910)는 복수의 흡착패드(892)들이 형성됨으로써 픽커(891)들로부터 패드픽업부(920)에 의하여 흡착패드(892)를 분리하여 수용하거나, 흡착패드(892)가 제거된 픽커(891)에 교체될 새로운 흡착패드(892)가 삽입되는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

일예로서, 상기 흡착패드수용부(910)는 복수의 흡착패드수용공간(911)들이 형성된 수용부본체(912)를 포함할 수 있다.

상기 수용부본체(912)는 흡착패드수용공간(911)들이 형성되는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

상기 흡착패드수용공간(911)는 픽커(891)로부터 분리된 흡착패드(892)를 수납하거나, 흡착패드(892)가 분리된 픽커(891)에 결합될 새로운 흡착패드(892)가 수납되는 구성으로서 흡착패드(892)가 수용될 수 있으면 홈 등 다양한 구성이 가능하다.

상기 흡착패드픽업부(920)는 픽커(891)들로부터 패드픽업부(920)에 의하여 흡착패드(892)를 분리하기 위한 구성으로서, 수용부본체(912)에 설치되어 흡착패드(892)가 픽커(891)에 결합된 상태로 흡착패드수용공간(911)에 삽입된 후 흡착패드(892)를 픽업하도록 구성되는 등 다양한 구성이 가능하다.

예를 들면 상기 흡착패드픽업부(920)는 걸림 및 걸림해제를 통한 픽업/픽업해제, 링형태의 클램퍼 등을 이용한 클램핑 및 클램핑해제를 통한 픽업/픽업해제 등 그 픽업방식에 따라서 다양한 구성이 가능하다.

또 다른 예로서, 상기 흡착패드픽업부(920)는 수용부본체(912)의 상면을 복개함과 아울러 상면과 평행한 방향, 즉 수평방향으로 이동이 가능하도록 설치되는 이동부재(921)를 포함할 수 있다.

이때 상기 이동부재(921)는 수평이동에 의하여 걸림 및 걸림해제를 통한 픽업/픽업해제를 위한 구성으로서 다양한 구성이 가능하며, 예로서, 도 10a 내지 도 10c에 도시된 바와 같이, 흡착패드(892)가 픽커(891)에 결합된 상태로 관통하여 흡착패드수용공간(911)으로 이동이 가능하도록 형성된 복수의 관통부분(922)들과, 관통부분(922)들 각각과 연결되어 흡착패드(892)가 픽커(891)에 결합된 상태에서 흡착패드수용공간(911)으로부터 이동될 때 흡착패드(892)가 걸림되고 픽커(891)만이 이동이 가능하도록 형성된 복수의 걸림부분(923)들을 포함할 수 있다.

특히 상기 이동부재(921)에 의한 걸림효과를 높이기 위하여, 흡착패드(892)는 픽커(891)의 외주면보다 더 돌출된 돌출부(892a)가 형성될 수 있으며, 이때 걸림부분(923)은 픽커(891)의 외주면보다는 크고 돌출부(892a)의 외주면보다 작게 형성되어 픽커(891)의 상측방향 이동시 흡착패드(892)가 걸림될 수 있다.

즉, 상기 흡착패드픽업부(920)의 이동부재(921)는 흡착패드(892) 및 흡착패드(892)가 결합되는 픽커(891)에서 반경의 크기가 다름을 고려하여, 흡착패드(892)의 최대반경보다 큰 관통부분(922)과, 흡착패드(892)의 적어도 일부에서 반경이 작은 걸림부분(923)을 구비함으로써, 흡착패드수용공간(911)에 흡착패드(892)가 삽입될 때 흡착패드수용공간(911) 상에 관통부분(922)을 위치시키고 픽커(891)에서 흡착패드(892)를 분리할 때 걸림부분(923)을 위치시키도록 구성될 수 있다.

한편 상기 흡착패드픽업부(920)의 이동부재(921)는 흡착패드(892)의 걸림 및 걸림해제 위치로 이동됨을 특징으로 하는바 도시되지는 않았지만 선형이동장치에 의하여 선형이동되는 등 다양한 구동원에 의하여 그 이동이 구동될 수 있다.

한편 상기 이송툴(810, 820, 830, 840)들, 특히 제1이송툴(810) 및 제2이송툴(820)는 픽커(891)에서 흡착패드(892)를 교체하고자 하는 경우 흡착패드교환부(900)의 위치, 먼저 흡착패드픽업부(920)가 결합된 흡착패드수용부(910)로 이동하여 흡착패드(892)를 분리한 다음(도 10a 내지 도 10c), 새로운 흡착패드(892)가 수용된 흡착패드수용부(910)로 이동하여 새로운 흡착패드(892)가 결합되어(도 10b 및 도 10c), 흡착패드(892) 교체를 마친 후 소자(1) 이송작업을 수행한다.

한편 상기와 같은 소자(1) 이송을 위한 이송툴(810, 820, 830, 840)에 관한 구성은 소자검사장치 이외에, 미리 수행된 검사결과에 따라서 소자의 분류를 수행하는 분류공정을 수행하거나, 소자를 검사하고 및 그 검사에 따라서 소자를 분류하는 검사 및 분류공정을 수행하는 소자핸들러로서, 소자들을 트레이에 적재하여 로딩하고 하나 이상의 이송툴에 의하여 복수의 소자들을 이송하는 소자핸들러에 적용될 수 있음은 물론이다.

이상은 본 발명에 의해 구현될 수 있는 바람직한 실시예의 일부에 관하여 설명한 것에 불과하므로, 주지된 바와 같이 본 발명의 범위는 위의 실시예에 한정되어 해석되어서는 안 될 것이며, 위에서 설명된 본 발명의 기술적 사상과 그 근본을 함께 하는 기술적 사상은 모두 본 발명의 범위에 포함된다고 할 것이다.

100 : 로딩부 200 : 로딩버퍼부
300 : 테스트부 400 : 언로딩버퍼부
500 : 언로딩부

Claims

다수개의 소자들이 적재된 하나 이상의 트레이가 로딩되는 로딩부와;
상기 로딩부로부터 소자들을 전달받아 각 소자의 테스트를 위한 복수의 테스트소켓들을 포함하는 테스트부와;
상기 테스트부의 테스트결과에 따라서 테스트를 마친 소자들을 분류하여 적재하는 언로딩부와;
상기 로딩부, 상기 테스트부 및 상기 언로딩부 사이에서 소자를 이송하는 하나 이상의 이송툴들을 포함하며,
상기 테스트부의 일측에 설치되어 이동에 의하여 상기 테스트소켓를 복개한 상태에서 공기를 분사하여 상기 테스트소켓에서 이물질을 제거하기 위한 크리닝부를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 소자검사장치.
청구항 1에 있어서,
상기 크리닝부는
상기 테스트소켓을 복개하며 상기 테스트소켓의 상부에 크리닝공간을 형성하는 본체와, 상기 테스트부의 일측 및 상기 테스트소켓의 상부 사이에서 상기 본체를 이동시키기 위한 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자검사장치.
청구항 2에 있어서,
상기 본체는
상기 각 테스트소켓에 공기를 분사할 수 있도록 공기공급장치와 연결되는 공기유로 및 상기 공기유로로부터 공기를 전달받아 상기 테스트소켓에 공기를 분사하는 하나 이상의 노즐이 설치된 것을 특징으로 하는 소자검사장치.
청구항 2에 있어서,
상기 본체는 상기 크리닝공간이 밀폐된 상태를 유지하도록 형성되며,
상기 본체는 상기 노즐을 통하여 분사된 공기와 함께 이물질이 상기 크리닝공간으로부터 외부로 배출되도록 배출관과 연결된 것을 특징으로 하는 소자검사장치.
청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 하나의 항에 있어서,
상기 이송툴은 끝단에 흡착패드가 각각 결합된 복수의 픽커들을 포함하며,
상기 이송툴 중 적어도 어느 하나의 이송툴은 상기 픽커들에 각각 결합된 상기 흡착패드를 자동으로 교환할 수 있는 흡착패드교환부를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 소자검사장치.
청구항 5에 있어서,
상기 흡착패드교환부는
상기 픽커의 흡착패드가 삽입되는 복수의 흡착패드수용공간들이 형성된 2개 이상의 흡착패드수용부들과, 상기 흡착패드수용부들 중 적어도 일부에 설치되어 상기 흡착패드수용공간에 수용된 흡착패드를 픽업하는 흡착패드픽업부를 포함하며,
상기 흡착패드픽업부가 설치된 상기 흡착패드수용부들 중 적어도 일부는 상기 픽커들로부터 상기 패드픽업부에 의하여 상기 흡착패드를 분리하여 수용할 수 있도록 상기 흡착패드수용공간이 비워져 있으며, 상기 흡착패드수용부들 중 적어도 일부의 흡착패드수용부는 상기 흡착패드가 제거된 픽커에 결합될 수 있도록 교체될 흡착패드가 삽입된 것을 특징으로 하는 소자검사장치.
청구항 6에 있어서,
상기 흡착패드수용부는 상기 복수의 흡착패드수용공간들이 형성된 수용부본체를 포함하며,
상기 흡착패드픽업부는 상기 수용부본체에 설치되어 상기 흡착패드가 상기 픽커에 결합된 상태로 상기 흡착패드수용공간에 삽입된 후 상기 흡착패드를 픽업하는 것을 특징으로 하는 소자검사장치.
청구항 7에 있어서,
상기 흡착패드픽업부는 상기 수용부본체의 상면을 복개함과 아울러 상면과 평행한 방향으로 이동이 가능하도록 설치되는 이동부재를 포함하며,
상기 이동부재는 상기 흡착패드가 상기 픽커에 결합된 상태로 관통하여 상기 흡착패드수용공간으로 이동이 가능하도록 형성된 복수의 관통부분들과, 상기 관통부분들 각각과 연결되어 상기 흡착패드가 상기 픽커에 결합된 상태에서 상기 흡착패드수용공간으로부터 이동될 때 상기 흡착패드가 걸림되고 상기 픽커만이 이동이 가능하도록 형성된 복수의 걸림부분들을 포함하는 것을 특징으로 하는 소자검사장치.
청구항 8에 있어서,
상기 흡착패드는 상기 픽커의 외주면보다 더 돌출된 돌출부가 형성되며,
상기 걸림부분은 상기 픽커의 외주면보다는 크고 상기 돌출부의 외주면보다 작게 형성되어 상기 픽커의 상측방향 이동시 상기 흡착패드가 걸림되는 것을 특징으로 하는 소자검사장치.
청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 하나의 항에 있어서,
상기 로딩부의 트레이로부터 제1이송툴을 통해 소자들을 전달받아 임시로 적재하는 로딩버퍼부와;
상기 테스트부를 중심으로 상기 로딩버퍼부와 대향되는 위치에 설치되어 상기 테스트부에 의한 테스트가 완료된 소자들을 전달받는 언로딩버퍼부를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 소자검사장치.
청구항 10에 있어서,
상기 하나 이상의 이송툴에 의하여 상기 로딩버퍼부로부터 소자들을 전달받아 상기 테스트부에 전달하거나 상기 테스트부로부터 소자를 전달받아 상기 언로딩버퍼부로 소자를 전달하는 제1셔틀부 및 제2셔틀부를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자검사장치.
청구항 11에 있어서,
상기 제1셔틀부 및 제2셔틀부는 상기 테스트부를 중심으로 서로 대향되어 설치되며,
상기 제1셔틀부 및 제2셔틀부는 각각 가이드레일과, 상기 가이드레일을 따라서 이동되어 상기 로딩버퍼부로부터 소자를 전달받기 위한 제1소자전달위치, 상기 테스트부와의 소자교환위치, 상기 언로딩버퍼부로 소자를 전달하기 위한 제2소자전달위치를 번갈아가면서 이동되는 하나 이상의 셔틀플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자검사장치.
청구항 11에 있어서,
상기 크리닝부는 상기 제1셔틀부 및 상기 제2셔틀부 사이에 설치된 것을 특징으로 하는 소자검사장치.
청구항 11에 있어서,
상기 이송툴은 각각 상기 제1셔틀부와 상기 테스트부 사이, 및 상기 제2셔틀부와 상기 테스트부 사이를 이동하면서 상기 셔틀플레이트에 적재된 소자들을 테스트부로 전달하거나, 상기 테스트부로부터 상기 셔틀플레이트로 소자를 전달하는 한 쌍의 이송툴들을 포함하는 것을 특징으로 하는 소자검사장치.