KR101291583B1 - 소자검사장치 및 그에 사용되는 소자가압장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 소자검사장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 소자를 검사하고 그 검사결과에 따라서 소자를 분류하는 소자검사장치에 관한 것이다.
본 발명은 소자들을 테스트하는 테스트부와; 상기 테스트가 수행될 소자들이 적재된 하나 이상의 트레이와 테스트를 마친 소자들이 적재되는 하나 이상의 트레이가 배치되는 소자교환부와; 상기 소자교환부 부근과 상기 테스트부의 직상부 사이에서 왕복이동가능하도록 설치되는 셔틀플레이트를 포함하는 셔틀부와; 상기 소자교환부 및 상기 셔틀플레이트 사이의 소자교환을 수행하는 하나 이상의 소자픽업부와; 상기 테스트부 상측에 설치되어 상기 셔틀플레이트가 상기 테스트부의 상측에 위치되었을 때 상기 셔틀플레이트에 적재된 소자들을 픽업하거나 픽업된 소자들을 상기 셔틀플레이트에 적재하는 소자가압부를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자검사장치를 개시한다.

Description

소자검사장치 및 그에 사용되는 소자가압장치{Device inspection apparatus and apparatus for pressing device therefor}
본 발명은 소자검사장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 소자를 검사하고 그 검사결과에 따라서 소자를 분류하는 소자검사장치 및 그에 사용되는 소자가압장치에 관한 것이다.
반도체소자(이하 '소자'라 한다)는 반도체공정, 패키징공정 등 많은 공정을 거치면서 소자핸들러의 하나인 소자검사장치에 의하여 전기특성, 열이나 압력에 대한 신뢰성 검사 등 다양한 검사를 거친다.
한편 소자는 시장에서의 경쟁이 치열해짐에 따라서 원가절감이 절실히 요청되는 실정이다. 따라서 소자검사장치 또한 단위시간당 처리속도를 증가시켜 생산성을 향상시킬 필요가 있다.
특히 대량으로 생산되는 메모리소자와는 달리 상대적으로 생산수량이 적으며 종류가 다양한 시스템 LSI와 같은 LSI소자에 대한 검사에 적합한 소자검사장치가 필요하다.
본 발명은 상기와 같은 필요성을 인식하여, 상대적으로 생산수량이 적으며 종류가 다양한 시스템 LSI와 같은 LSI소자에 대한 검사에 적합한 소자검사장치 및 그에 사용되는 소자가압장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 다른 목적은 상대적으로 긴 검사시간을 가지는 소자에 대한 검사속도를 현저하게 높일 수 있는 소자검사장치 및 그에 사용되는 소자가압장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 테스트부의 테스트소켓에 소자들을 가압하는 소자가압부를 회전시켜 픽업툴들의 수리 또는 교체가 가능하도록 함으로써 장치의 유지보수가 용이한 소자검사장치 및 그에 사용되는 소자가압장치를 제공하는 데 있다.
본 발명은 상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명은 소자들을 테스트하는 테스트부와; 상기 테스트가 수행될 소자들이 적재된 하나 이상의 트레이와 테스트를 마친 소자들이 적재되는 하나 이상의 트레이가 배치되는 소자교환부와; 상기 소자교환부 부근과 상기 테스트부 사이에서 왕복이동가능하도록 설치되는 셔틀플레이트를 포함하는 셔틀부와; 상기 소자교환부 및 상기 셔틀플레이트 사이의 소자교환을 수행하는 하나 이상의 소자픽업부와; 상기 셔틀플레이트에 적재된 소자들을 픽업하거나 픽업된 소자들을 상기 셔틀플레이트에 적재하며 픽업된 소자들을 상기 테스트부에 가압하는 소자가압부를 포함하며, 상기 소자가압부는 저면에 소자들을 픽업하는 복수개의 픽업툴들이 설치된 하나 이상의 픽업부가 탈착가능하게 설치되는 이동부재와, 상기 테스트부의 상부에 고정설치되며 상기 이동부재를 상하이동 및 회전이동이 가능하게 지지하는 지지부와, 상기 이동부재의 상하이동시키는 상하이동부와, 상기 이동부재를 수평방향의 회전축을 중심으로 회전이동시키는 회전이동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자검사장치를 개시한다.
상기 지지부는 한 쌍의 지지브라켓가 설치되며, 상기 상하이동부는 상기 지지브라켓에 회전가능하게 설치되는 주회전축과; 상기 주회전축과 함께 회전되도록 상기 주회전축과 결합되며 상기 이동부재와 결합되는 캠부와; 상기 주회전축에 회전가능하게 결합되며 상기 이동부재가 선형이동이 가능하도록 결합되는 하나 이상의 가이드부재와; 상기 가이드부재가 상기 주회전축에 대하여 회전되거나 회전되는 것을 방지하는 회전방지부와; 상기 주회전축을 회전시키는 회전구동부를 포함하며, 상기 캠부는 회전에 의하여 상기 주회전축의 반경방향으로 상기 이동부재를 선형이동하도록 상기 이동부재와 결합되어, 회전에 의하여 상기 가이드부재에 대하여 상기 이동부재를 선형이동시킬 수 있다.
상기 회전이동부는 일단이 상기 가이드부재에 힌지결합되고 타단이 상기 지지부에 힌지결합되며 공압 또는 유압에 의하여 그 길이를 가변시켜 상기 가이드부재가 상기 주회전축에 대하여 회전가능할 때 상기 가이드부재를 회전시키는 실린더부를 포함할 수 있다.
상기 픽업툴들이 하측을 향하는 소자픽업위치를 기준으로 상기 이동부재가 순방향으로만 회전되고 역방향으로 회전되는 것을 방지하기 위하여 상기 지지부는 상기 이동부재가 결합된 상기 가이드부재의 역방향회전을 방지하는 스토퍼가 추가로 설치될 수 있다.
상기 소자가압부는 소자검사장치의 가장자리 쪽에 설치되며, 상기 회전이동부는 상기 픽업툴들이 상기 소자검사장치의 가장자리 바깥쪽을 향하도록 상기 이동부재를 회전시키도록 구성될 수 있다.
상기 소자가압부는 소자들을 픽업하거나 픽업된 소자들을 상기 셔틀플레이트에 적재하며 픽업된 소자들을 상기 테스트부에 가압할 때에는 상기 픽업부를 상하로 이동시키고, 상기 픽업부의 수리 또는 교체가 필요할 때 회전이동시켜 상기 픽업부의 저면이 수직을 이루도록 구성될 수 있다.
본 발명은 또한 소자들을 테스트하는 테스트부와; 상기 테스트부가 테스트를 수해할 수 있도록 소자들을 픽업하여 픽업된 소자들을 상기 테스트부에 가압하는 소자가압부를 포함하는 소자검사장치의 소자가압장치로서, 저면에 소자들을 픽업하는 복수개의 픽업툴들이 설치된 하나 이상의 픽업부가 탈착가능하게 설치되는 이동부재와, 상기 테스트부의 상부에 고정설치되며 상기 이동부재를 상하이동 및 회전이동이 가능하게 지지하는 지지부와, 상기 이동부재의 상하이동시키는 상하이동부와, 상기 이동부재를 수평방향의 회전축을 중심으로 회전이동시키는 회전이동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자검사장치의 소자가압장치를 개시한다.
본 발명에 따른 소자검사장치 및 그에 사용되는 소자가압장치는 복수개의 픽업툴들이 설치된 픽업부가 탈착가능하게 설치되는 이동부재 상하이동 및 회전이동이 가능하도록 구성함으로써 픽업툴의 수리 또는 교체가 필요한 경우 이동부재를 회전시켜 픽업툴을 수리하거나 교체함으로써 간단하게 소자검사장치 및 그에 사용되는 소자가압장치를 유지보수할 수 있는 이점이 있다.
또한 본 발명에 따른 소자검사장치는 소자의 로딩 및 언로딩을 수행하는 소자교환부, 소자를 검사하는 테스트부, 소자교환부 및 테스트부 사이를 왕복이동하여 소자를 전달하는 셔틀플레이트를 포함하여 구성됨으로써 상대적으로 생산수량이 적으며 종류가 다양한 시스템 LSI와 같은 LSI소자에 대한 검사를 효율적으로 수행할 수 있는 이점이 있다.
또한 본 발명에 따른 소자검사장치는 테스트부, 테스트부의 상측에 설치되어 소자를 가압하는 소자가압부 및 테스트될 소자를 테스트부에 전달하고 테스트가 완료된 소자들을 트레이로 전달하는 셔틀부를 포함하고, 테스트부, 소자가압부 및 셔틀부를 포함하는 테스트존을 적절한 수로 조합함으로써 소자의 로딩 및 언로딩, 소자의 검사를 보다 원활하게 수행할 수 있으며 장치의 크기를 최적화할 수 있는 이점이 있다.
또한 본 발명에 따른 소자검사장치는 테스트부, 테스트부의 상측에 설치되어 소자를 가압하는 소자가압부 및 테스트될 소자를 테스트부에 전달하고 테스트가 완료된 소자들을 트레이로 전달하는 셔틀부를 포함하고, 셔틀부의 셔틀플레이트에 테스트가 완료된 소자들이 안착될 제1소자적재위치 및 테스트될 소자들이 안착될 제2소자적재위치를 둠으로써 셔틀플레이트 및 테스트부 상에서 소자를 픽업하고 가압하는 소자가압부와의 소자교환을 보다 신속하게 수행할 수 있는 이점이 있다.
즉, 소자가압부와 셔틀플레이트 사이에서 소자를 교환할 때, 먼저 소자가압부는 제1소자적재위치 상에 소자를 내려놓은 후에 셔틀플레이트 및 소자가압부를 상대이동시켜 제2소자적재위치에 위치된 소자들을 픽업함으로써 가압하는 소자가압부와의 소자교환을 보다 신속하게 수행할 수 있는 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 소자검사장치를 보여주는 평면도이다.
도 2는 도 1의 소자검사장치를 보여주는 정면도이다.
도 3은 도 1의 소자검사장치에서 셔틀부의 셔틀플레이트를 보여주는 평면도이다.
도 4a 내지 도 4d는 도 1의 소자검사장치에서 테스트부, 소자가압부, 셔틀부의 작동과정을 보여주는 측단면도이다.
도 5는 도 1의 소자검사장치에서 셔틀부의 다른 예를 보여주는 단면도이다.
도 6은 도 1의 소자검사장치의 소자가압부의 다른 예를 보여주는 사시도이다.
도 7a 및 도 7b는 각각 도 6의 소자가압부의 작동상태를 보여주는 X방향에서 본 종단면도들이다.
도 8은 도 6의 소자가압부의 픽업툴들이 하측을 향하고 있는 상태를 보여주는 측면도이다.
도 9a는 도 6의 소자가압부의 픽업툴들이 측면을 향하고 있는 상태를 보여주는 정면도이며, 도 9b및 도 9c는 각각 도 9a에서 A-A방향 및 B-B방향의 측단면도들이다.
이하 본 발명에 따른 소자검사장치 및 그에 사용되는 소자가압장치에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명에 따른 소자검사장치를 보여주는 평면도이고, 도 2는 도 1의 소자검사장치를 보여주는 정면도이고, 도 3은 도 1의 소자검사장치에서 셔틀부의 셔틀플레이트를 보여주는 평면도이고, 도 4a 내지 도 4d는 도 1의 소자검사장치에서 테스트부, 소자가압부, 셔틀부의 작동과정을 보여주는 측단면도이고, 도 5는 도 1의 소자검사장치에서 셔틀부의 다른 예를 보여주는 단면도이다.
본 발명에 따른 소자검사장치는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 소자(20)들을 테스트하는 테스트부(300)와; 테스트가 수행될 소자(20)들이 적재된 하나 이상의 트레이(30)와 테스트를 마친 소자(20)들이 적재되는 하나 이상의 트레이(30)가 배치되는 소자교환부(100)와; 소자교환부(100) 부근과 테스트부(300)의 직상부 사이에서 왕복이동가능하도록 설치되는 셔틀플레이트(210)를 포함하는 셔틀부(200)와; 소자교환부(100) 및 셔틀부(200) 사이의 소자교환을 수행하는 하나 이상의 소자픽업부(410)와; 테스트부(300) 상측에 설치되어 셔틀플레이트(210)가 테스트부(300)의 상측에 위치되었을 때 셔틀플레이트(210)에 적재된 소자(20)들을 픽업하거나 픽업된 소자(20)들을 셔틀플레이트(210)에 적재하는 소자가압부(500)를 포함한다.
상기 소자교환부(100)는 테스트가 수행될 소자(20)들이 적재된 하나 이상의 트레이(30)와 테스트를 마친 소자(20)들이 적재되는 하나 이상의 트레이(30)가 배치되는 구성으로서 다양한 구성이 가능하며, 도 1에 도시된 바와 같이, 테스트가 수행될 소자(20)들이 적재된 트레이(30)들이 배치되는 로딩부(110)와; 테스트를 마친 소자(20)들이 안착될 트레이(30)들이 배치되는 언로딩부(120)를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 로딩부(110)는 테스트가 수행될 소자(20)들이 적재된 트레이(30)들이 배치되는 구성으로서 다양한 구성이 가능하며, 바람직하게는 2개 이상의 트레이(30)들이 배치될 수 있다.
또한 상기 로딩부(110)는 2개 이상의 트레이(30)들이 배치되었을 때 크기, 제품자체 등이 다른 서로 다른 종류의 소자(20)들이 안착된 트레이(30)들이 배치될 수 있으며, 또한 동일한 종류의 소자(30)들이지만 각 트레이(30)에 따라서 검사대상을 달리할 수 있다.
상기 언로딩부(120)는 테스트를 마친 소자(20)들이 안착될 트레이(30)들이 배치되는 구성으로서 다양한 구성이 가능하며, 각 트레이(30)는 불량1, 불량2 등 분류기준이 부여된다.
여기서 상기 소자(20)들은 테스트부(300)의 검사결과에 따라서 소자 언로딩부(120)의 트레이(30)에 적재된다.
한편 상기 소자검사장치는 로딩부(110)로 전달될 트레이(30), 즉 테스트가 수행될 소자(20)들이 적재된 트레이(30)들이 적재된 트레이로딩부(130; 131, 132, 133)와; 언로딩부(120)로 전달될 트레이(30), 즉 테스트를 마친 소자(20)들이 안착될 트레이(30)들이 적재된 트레이언로딩부(140; 141, 142, 143, 144)와; 트레이로딩부(130), 트레이언로딩부(140) 및 소자교환부(100) 사이에서 트레이(30)를 전달하는 트레이전달부(미도시)를 추가로 포함할 수 있다.
여기서 상기 로딩부(110)에서 소자(20)들이 비워진 트레이(30)는 트레이전달부에 의하여 언로딩부(120)로 이송될 수 있으며, 언로딩부(120)로 이송되기 전에 트레이(30) 내에 미처 인출되지 않은 소자(20)를 제거할 수 있도록 트레이반전부(미도시)에서 회전될 수 있다.
상기 트레이로딩부(130)는 테스트가 수행될 소자(20)들이 적재된 복수개의 트레이(30)들이 적재되는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
상기 트레이언로딩부(140)는 언로딩부(120)로 테스트를 마친 소자(20)들이 안착된 복수개의 트레이(30)들이 적재되는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
여기서 트레이로딩부(130) 및 트레이언로딩부(140)는 트레이(30)들이 적재되는 카세트형태로 구성될 수 있으며 카세트는 소자로딩, 소자검사 및 소자언로딩 속도, 소자의 크기, 소자의 종류, 검사의 종류 및 검사의 수를 고려하여 적절한 수로 선택될 수 있다.
상기 트레이전달부는 트레이로딩부(130), 트레이언로딩부(140) 및 소자교환부(100) 사이에서 트레이(30)를 전달하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하며, 하나 또는 복수개로 구성될 수 있다.
또한 상기 로딩부(110) 및 언로딩부(120) 사이에는 빈 트레이(30)가 임시로 적재될 수 있는 트레이버퍼부(미도시)가 추가로 설치될 수 있다.
또한 상기 소자검사장치에는 소자(20)들이 적재되지 않은 빈 트레이(30)들이 적재되는 공트레이적재부(미도시)가 추가로 설치될 수 있다.
한편 상기 트레이(30)는 다수개의 소자(20)들이 적재될 수 있도록 8×16 등 일정한 규격에 따라서 수용홈들이 형성되는 등 다양한 구성이 가능하다.
그리고 검사 대상인 소자(20)는 메모리반도체, 시스템LSI와 같은 비메모리반도체가 그 대상이 될 수 있다. 특히 검사 대상은 시스템 LSI, 특히 저면에 볼 형태의 접촉단자들이 형성된 소자를 그 대상으로 함이 바람직하다.
상기 셔틀부(200)는 소자교환부(100)와 테스트부(300)의 직상부 사이에서 왕복이동가능하도록 설치되는 셔틀플레이트(210)를 포함하는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.
상기 셔틀부(200)는 셔틀플레이트(210)를 소자교환부(100)와 테스트부(300)의 직상부 사이에서 왕복이동할 수 있도록 셔틀플레이트(210)의 이동을 가이드하는 가이드레일(미도시)와 셔틀플레이트(210)가 가이드레일을 따라서 이동할 수 있도록 구동하는 구동부를 포함할 수 있다.
상기 셔틀플레이트(210)는 소자교환부(100) 및 테스트부(300) 사이에서 왕복이동하여 소자교환부(100) 및 테스트부(300) 간의 소자교환을 하기 위한 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.
상기 셔틀플레이트(210)는 소자가 적재되는 소자적재위치(211)가 X축 및 Y축 방향으로 배치될 수 있으며, 도 1 및 도 2a에 도시된 바와 같이, 소자(20)가 적재되는 소자적재위치(211)가 m×2n 배치되며, 소자적재위치(211)가 이루는 열간간격(Y축방향 간격)은 후술하는 테스트소켓(310)이 이루는 열간간격의 1/2을 이루도록 구성될 수 있다 (여기서 m 및 n은 2 이상의 자연수).
이때 상기 셔틀플레이트(210)에 안착되는 소자(20)들은 소자적재위치(211)에 일열을 건너뛰면서 m×n 배열로 안착될 수 있다.
한편 상기 셔틀부(200)의 다른 예로서, 도 5에 도시된 바와 같이, 서로 이동을 방해하지 않도록 상하로 간격을 두고 한 쌍으로 설치된 셔틀플레이트(210)들과; 셔틀플레이트(210)들 각각의 선형이동을 가이드하는 하나 이상의 가이드부재(221) 및 셔틀플레이트(210)들의 선형이동을 구동하기 위한 선형구동장치(222)를 포함할 수 있다.
이때 상기 셔틀플레이트(214)에 테스트부(300)의 테스트소켓(310)에 대응되어 소자(20)가 적재되는 소자적재위치(211)가 m×n 배치될 수 있다.
한편 상기 셔틀부(200)는 소자안착위치(211)가 X축방향 및 Y축방향 중 적어도 어느 하나의 방향, 도 3에 도시된 바와 같이, 바람직하게는 링크부재(230) 등에 의하여 X축방향으로 간격 조절이 가능하게 구성될 수 있다.
또한 상기 셔틀부(200)는 플레이트부재(214)가 안착될 소자(20)의 종류에 대응될 수 있도록 교체가 가능하게 설치될 수 있다.
상기 테스트부(300)는 소자(20)들에 대한 전기적 특성을 특히 상온에서 검사하기 위한 구성으로서, 각 소자(20)들이 장착되는 복수개의 테스트소켓(310)들을 가지며, 소자검사장치를 구성하는 본체에 조립방식으로 장착된다. 여기서 상기 테스트부(300)의 검사시간은 검사의 내용에 따라서 달라질 수 있으며 약 25초 이상으로 메모리소자에 비하여 상대적으로 긴 것이 일반적이다.
한편 상기 테스트부(300)는 소자(20)의 종류, 테스트 내용에 따라서 테스트소켓(310)만이 교체되거나 전체가 교체되도록 구성될 수 있다.
상기 테스트부(300)는 소자(20)에 대한 전기적 특성을 테스트하기 위한 구성으로서 테스트에 따라서 다양한 구성이 가능하며, 각 소자(20)들이 장착될 수 있는 복수개의 테스트소켓(310)들을 포함하여 구성된다.
한편 앞서 설명한 상기 테스트부(300), 소자가압부(500) 및 셔틀부(600)는 하나의 테스트존(611, 612, 613, 614)을 형성하며, 테스트존(611, 612, 613, 614)은 도 1에 도시된 바와 같이, 복수개, 예를 들면 4개로 설치될 수 있다.
또한 상기 복수개의 테스트부(300)들 중 일부는 나머지와 다른 종류의 소자(20)들의 테스트가 가능하도록 구성될 수 있다.
즉, 상기 복수개의 테스트부(300)들 중에서 일부는 제1종류의 소자(20)에 대한 검사, 나머지는 제2종류의 소자(20)에 대한 검사를 수행하도록 구성될 수 있다. 여기서 세 종류 이상의 소자(20)들에 대한 검사가 가능함은 물론이다.
또한 상기 복수개의 테스트부(300)들 중에서 일부는 소자(20)에 대한 제1검사, 나머지는 소자에 대하여 제1검사와는 다른 제2검사를 수행하도록 구성될 수 있다. 여기서 세 종류 이상의 검사들이 가능함은 물론이다.
상기와 같이 상기 테스트존(611, 612, 613, 614)이 복수개로 설치된 경우 시스템LSI와 같이 검사시간이 약 25초 이상으로 상대적으로 긴 소자(20)들을 검사할 때 소자(20)들에 대한 검사시간 및 소자(20)들의 로딩 및 언로딩을 고려하여 테스트존(611, 612, 613, 614)의 수를 적절하게 선택할 수 있다.
따라서 본 발명에 따른 소자검사장치는 테스트존(611, 612, 613, 614)을 적절한 수로 조합함으로써 소자(20)의 로딩 및 언로딩, 소자(20)의 검사를 보다 원활하게 수행할 수 있으며 장치의 크기를 최적화할 수 있다.
상기 소자가압부(500)는 테스트부(300) 상측에 설치되어 셔틀플레이트(210)가 테스트부(300)의 상측에 위치되었을 때 셔틀플레이트(210)에 적재된 소자(20)들을 픽업하거나 픽업된 소자(20)들을 셔틀플레이트(210)에 적재하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
상기 소자가압부(500)는 도 4a에 도시된 바와 같이, 테스트부(300)의 테스트소켓(310)에 대응되는 위치에 설치된 복수개의 픽업툴(511)들을 포함하며, 픽업툴(511)은 흡착헤드에 진공압을 형성하여 소자(20)들을 픽업하기 위한 구성으로서, 진공압을 이용하여 소자(20)들을 픽업할 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.
한편 상기 소자가압부(500)는 셔틀플레이트(210)의 소자적재위치 및 테스트부(300)의 테스트소켓(310)에 소자를 적재하거나 인출할 수 있도록 상하로 이동가능하게 설치되며, 픽업툴(511)들을 상하로 구동하기 위한 상하이동부(미도시)를 포함할 수 있다.
여기서 상기 소자가압부(500)는 테스트부(300)의 테스트소켓(310)에서 검사가 원활하게 이루어질 수 있도록 소자(20)가 적절한 힘에 의하여 가압하도록 구성된다.
또한 상기 소자가압부(500)는 그 저면에 소자들을 픽업하는 복수개의 픽업툴(511)들이 설치된 픽업부들이 탈착가능하게 설치되는 이동부재와, 이동부재를 이동가능하게 지지하는 지지부와, 이동부재를 상하이동로 이동시키는 상하이동부를 포함하여 구성될 수 있다.
여기서 상기 픽업부는 각 픽업툴(511)들에 공압을 전달하기 위한 공압전달선과 직접 연결되거나 이동부재에 픽업툴(511)들에 공압을 전달하기 위한 공압전달선과 연결되고 픽업부 및 이동부재의 결합에 의하여 픽업툴(511)들에 공압을 전달될 수 있다.
특히 상기 소자가압부(500)에서 픽업툴(511)들이 설치된 픽업부의 교체가 가능하게 되면 검사될 소자(20)의 규격, 즉 크기 및 각 소자(20)들이 이루는 피치간격 등에 맞도록 용이하게 상기 소자가압부(500)에서 픽업툴(511)들이 설치된 픽업부의 변경이 가능한 이점이 있다.
한편 상기 소자픽업부(410)는 소자교환부(100) 및 셔틀부(200) 사이의 소자교환을 수행하는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.
상기 소자픽업부(410)는 복수개의 소자(20)들을 픽업하는 픽업툴(미도시)들을 포함하며, 픽업툴은 흡착헤드에 진공압을 형성하여 소자(20)들을 픽업하기 위한 구성으로서, 진공압을 이용하여 소자(20)들을 픽업할 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.
또한 상기 픽업툴들은 다양한 형태로 배치될 수 있으며, 트레이(30)에 적재된 소자(20)들의 위치에 대응되어 2×8, 4×8 등으로 배치될 수 있다.
그리고 상기 소자픽업부(410)는 소자교환부(100)의 소자 위치 및 셔틀플레이트(210)의 소자적재위치(211)의 간격이 서로 다를 수 있으므로 소자(20)의 전달이 용이하도록 각 픽업툴들이 이루는 X축방향의 간격 및 Y축방향의 간격들 중 적어도 어느 하나의 간격이 가변될 수 있도록 구성될 수 있다.
한편 상기 소자픽업부(410)는 픽업툴들이 복수의 로딩부(110), 복수의 언로딩부(120) 및 복수의 테스트존(611, 612, 613, 614) 상부를 이동하여야 하므로 X축방향 및 Y축방향으로 선형구동될 필요가 있는바, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 픽업툴들을 X축방향 및 Y축방향으로 선형구동하는 X-Y선형구동장치(420)를 포함할 수 있다.
상기 X-Y선형구동장치(420)는 복수의 픽업툴들을 X축방향 및 Y축방향으로 선형구동할 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.
상기와 같은 구성을 가지는 소자검사장치의 작동에 관하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
먼저 소자교환부(100)의 로딩부(110)에는 테스트가 수행될 소자(20)들이 적재된 트레이(30)들이 위치된다.
여기서 트레이(30)는 트레이전달부에 의하여 트레이로딩부로부터 공급받게 된다.
이때 로딩부(110)에는 복수의 트레이(30)들이 위치될 수 있으며, 각 트레이(30)에는 동일한 종류의 소자(30)들이 적재될 수 있다. 또한 상기 각 트레이(30)에는 종류가 서로 다른 소자(30)들이 적재될 수도 있다.
한편 소자픽업부(410)는 소자교환부(100)에 위치된 트레이(30)에서 소자(20)들을 픽업하여 셔틀부(200)의 셔틀플레이트(210)에서 소자적재위치(211)들 중 빈자리에 안착시킨다. 이때 셔틀부(200)의 셔틀플레이트(210)에는 테스트부(300)에서 테스트를 마친 소자(10)들이 적재되어 있는데 소자픽업부(410)는 테스트를 마친 소자(10)들을 픽업하여 소자교환부(100)로 이동한다.
테스트를 마친 소자(20)들을 픽업한 소자교환부(110)는 검사결과에 따라서 언로딩부(120)의 트레이(30)에 소자(20)들을 적재한다.
여기서 상기 셔틀플레이트(210)는 도 1 및 도 4a에 도시된 바와 같이, 소자(20)가 적재되는 소자적재위치(211)가 m×2n 배치된 경우를 예시한 것으로서, 상기 셔틀플레이트(210)에 안착되는 소자(20)들은 소자적재위치(211)에 일열을 건너뛰면서 m×n 배열로 안착된다.
상기 셔틀플레이트(210)에 소자(20)들의 적재가 완료되면 도 4a 도시된 바와 같이, 테스트부(300)의 직상부로 이동한다. 이때 소자가압부(500)는 테스트부(300)의 테스트소켓(310)들로부터 테스트를 마친 소자(20)들을 픽업한 상태를 유지한다.
상기 셔틀플레이트(210)가 테스트부(300)의 직상부로 이동, 즉 셔틀플레이트(210)의 소자적재위치(211)들 중 소자(20)가 적재되지 않은 빈 소자적재위치(211)가 소자가압부(500)의 픽업툴(511)에 대응되는 위치에 위치되면 소자가압부(500)는 하강하여 테스트를 마친 소자(20)들을 빈 소자적재위치(211)들에 안착시킨 후 다시 상측으로 이동한다.
즉, 상기 셔틀플레이트(210)가 테스트부(300)의 상측에 위치되었을 때 셔틀플레이트(210)의 소자적재위치(211)의 빈자리에 테스트를 마친 소자(20)를 안착시킨 후, 셔틀플레이트(210)의 소자적재위치(211)에 안착된 테스트가 수행될 소자(20)를 픽업하고, 셔틀플레이트(210)가 테스트부(300)로부터 벗어난 후에 하강하여 테스트부(300)의 테스트소켓(310)에 접속시켜 테스트부(300)가 소자(20)들을 테스트하도록 한다.
그리고 상기 소자가압부(500)가 상측으로 이동한 후 셔틀플레이트(210)는 도 4b에 도시된 바와 같이, 소자가압부(500)가 테스트가 수행될 소자(20)들을 픽업할 수 있도록 소자가압부(500)가 테스트가 수행될 소자(20)들을 소자가압부(500)의 픽업툴(511)에 대응되는 위치에 위치될 수 있도록 이동한다.
그리고 상기 셔틀플레이트(210)의 이동을 완료하면 소자가압부(500)는 테스트가 수행될 소자(20)들을 픽업하여 상측으로 이동하게 되며, 도 4c에 도시된 바와 같이, 셔틀플레이트(210)는 소자교환부(100)와 다시 소자(20)들을 교환할 수 있는 위치로 이동한다.
한편 상기 셔틀플레이트(210)에서 소자적재위치(211)는 소자교환부(100) 및 테스트부(300) 사이를 이동하면서 X축방향으로 간격이 조절됨으로써 소자픽업부(410) 및 소자가압부(500)의 소자 픽업 및 플레이스가 용이하게 한다.
한편 상기 소자가압부(500)는 셔틀플레이트(210)의 이동완료 후 다시 하강하여 픽업된 소자(20)들을 테스트부(300)의 테스트소켓(310)에 삽입한다.
그리고 상기 테스트부(300)는 도 4d에 도시된 바와 같이, 테스트소켓(310)에 삽입된 상태에서 각 소자(20)들을 미리 설정된 검사를 수행한다. 이때 상기 소자가압부(500)는 소자(20)가 테스트소켓(310) 내에 삽입된 상태를 유지할 수 있도록 소정의 압력으로 하측으로 가압한 상태를 유지할 수 있다.
한편 상기 셔틀플레이트(210)가 도 5에 도시된 바와 같이, 서로 이동을 방해하지 않도록 상하로 간격을 두고 한 쌍으로 설치되는 경우, 한 쌍의 셔틀플레이트(210)들 중 어느 하나는 소자가압부(500)로부터 소자(20)를 전달받아 소자교환부(100)로 전달하고, 다른 하나는 소자교환부로부터 전달받은 소자(20)를 소자가압부(500)로 전달할 수 있다.
이때 상기 한 쌍의 셔틀플레이트(210)들 중 어느 하나는 빈 상태로 테스트부(300)의 상측으로 이동하여 소자가압부(500)로부터 소자(20)들을 전달받아 소자교환부(100) 쪽으로 이동하여 언로딩하고, 나머지 하나는 테스트가 수행될 소자(20)들을 소자교환부(100)로부터 전달받은 후 테스트부(300)의 상측으로 이동하여 소자가압부(500)로 소자들을 전달하며, 소자가압부(500)는 테스트가 수행될 소자를 픽업한 후에 셔틀플레이트(210)가 테스트부(300)로부터 벗어난 후에 하강하여 테스트부(300)의 상기 테스트소켓(310)에 접속시켜 테스트부(300)가 소자(20)들을 테스트하도록 한다.
도 6은 도 1의 소자검사장치의 소자가압부의 다른 예를 보여주는 사시도이고, 도 7a 및 도 7b는 각각 도 6의 소자가압부의 작동상태를 보여주는 X방향에서 본 종단면도들이고, 도 8은 도 6의 소자가압부의 픽업툴들이 하측을 향하고 있는 상태를 보여주는 측면도이고, 도 9a는 도 6의 소자가압부의 픽업툴들이 측면을 향하고 있는 상태를 보여주는 정면도이며, 도 9b및 도 9c는 각각 도 9a에서 A-A방향 및 B-B방향의 측단면도들이다.
한편 검사대상인 소자(20)는 상대적으로 생산수량이 적으며 종류가 다양한 시스템 LSI와 같은 LSI소자의 경우 그 규격 및 크기가 다양하여 소자가압부(500)의 픽업툴(511)를 교체하여야 한다.
또한 상기 소자가압부(500)는 픽업툴(511) 등에 고장이 있는 경우 수리 또는 교체하여야 하며 픽업툴(511) 등의 교체 또는 수리가 필요하다.
그러나 상기 소자가압부(500)의 픽업툴(511) 등의 교체 또는 수리가 필요한 경우 소자가압부(500)를 장치로부터 분리한 후 픽업툴(511) 등을 교체 또는 수리를 수행하여 소자가압부(500)의 유지 및 보수를 위한 작업이 번거로우며 그 작업시간도 오래 걸리는 문제점이 있다.
따라서 본 발명에 따른 소자검사장치의 소자가압부(500)는 도 6 내지 도 9c에 도시된 바와 같이, 복수개의 픽업툴(511)들이 설치된 픽업부(510)가 탈착가능하게 설치되는 이동부재(520)를 포함하며 소자검사시에는 상하이동에 의하여 픽업툴(511)에 픽업된 소자(20)들을 검사하고, 픽업툴(511) 등의 교체, 수리가 필요한 경우 회전이동에 의하여 픽업툴(511) 등의 교체, 수리 등의 작업을 수행하도록 구성될 수 있다.
상기 소자가압부(500)의 일예로서, 도 6 내지 도 9c에 도시된 바와 같이, 저면에 소자(20)들을 픽업하는 복수개의 픽업툴(511)들이 설치된 하나 이상의 픽업부(510)가 탈착가능하게 설치되는 이동부재(520)와, 테스트부(300)의 상부에 고정설치되며 이동부재(520)를 상하이동 및 회전이동이 가능하게 지지하는 지지부(530)와, 이동부재(520)의 상하이동시키는 상하이동부와, 이동부재(520)를 수평방향의 회전축을 중심으로 회전이동시키는 회전구동부를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 픽업부(510)는 테스트부(300)의 테스트소켓(310)에 대응되어 배치되는 복수의 픽업툴(511)들이 설치됨과 아울러 픽업툴(511)들에 진공압을 전달하도록 구성되는 등 다양한 구성이 가능하다. 이때 상기 픽업부(510)는 하나 이상의 블록으로 구성될 수 있으며, 교체 또는 수리가 용이하도록 이동부재(520)와 탈착가능하게 결합됨이 바람직하다.
상기 이동부재(520)는 픽업부(510)를 지지하여 상하이동 및 회전이동이 가능한 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.
상기 상하이동부는 지지부(530)에 설치된 지지브라켓(531)에 회전가능하게 설치되는 주회전축(541)과; 주회전축(541)과 함께 회전되도록 주회전축(541)과 결합되며 이동부재(520)와 결합되는 캠부(542)와; 주회전축(541)에 회전가능하게 결합되며 이동부재(520)가 선형이동이 가능하도록 결합되는 하나 이상의 가이드부재(543)와; 가이드부재(543)가 주회전축(541)에 대하여 회전되거나 회전되는 것을 방지하는 회전방지부(545)와; 주회전축(541)을 회전시키는 회전구동부(미도시)를 포함할 수 있다. 여기서 상기 지지브라켓(531)은 주회전축(541)을 회전가능하게 지지하기 위한 구성으로서 한 쌍 또는 네 쌍 등 적절한 수로 설치될 수 있다.
상기 주회전축(541)은 회전구동부에 의하여 회전되어 후술하는 캠부(542)를 회전시키기 위한 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
이때 상기 주회전축(541)은 적어도 일단에 회전모터와 같은 회전구동부와 직접연결되거나 타이밍벨트 등과 같은 회전력전달부재에 의하여 회전구동부와 연결되어 회전구동된다.
상기 캠부(542)는 주회전축(541)과 고정결합되어 회전에 의하여 주회전축(541)의 반경방향으로 이동부재(520)를 선형이동하도록 이동부재(520)와 결합된다.
특히 상기 캠부(542)는 회전에 의하여 가이드부재(543)에 대하여 이동부재(520)를 선형이동시키도록 이동부재(520)와 결합됨을 특징으로 한다.
상기와 같은 캠부(542) 및 이동부재(542)가 결합되는 일예로서, 캠부(542)는 주회전축(541)를 중심으로 편심된 경로로 형성된 제1가이드부(542a)가 설치되고 이동부재(520)는 제1가이드부(542a)와 구속결합되는 제2가이드부(542b)가 설치될 수 있다.
그리고 상기 제1가이드부(542)는 캠부(542)에 형성된 가이드홈으로서 구성되고, 제2가이드부(542b)는 캠부(542)에 형성된 가이드홈에 삽입되어 주회전축(541)의 회전에 의하여 가이드홈을 따라서 상대이동하는 가이드돌기로 구성될 수 있다.
상기 가이드부재(543)는 주회전축(541)에 회전가능하게 결합되며 이동부재(520)가 선형이동이 가능하도록 결합되는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
상기 가이드부재(543)는 일예로서, 주회전축(541)에 회전가능하게 결합되는 플레이트와 플레이트에 설치되어 이동부재(520)의 선형이동을 가이드하는 하나 이상의 가이드레일로 구성될 수 있다.
이때 상기 이동부재(520)는 픽업부(510)가 결합되는 플레이트부와, 가이드부재(543)의 가이드레일과 선형이동가능하게 결합되는 이동블록, 플레이트부와 고정결합됨과 아울러 이동블록이 고정결합되는 블록지지부 등으로 구성되는 등 다양한 구성이 가능하다.
상기 회전방지부(545)는 가이드부재(543)가 주회전축(541)에 대하여 회전되거나 회전되는 것을 방지하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
특히 상기 회전방지부(545)는 이동부재(520)의 회전을 방지하여 이동부재(520)에 설치된 픽업부(510)의 픽업툴(511)들이 테스트부(300)를 향하도록, 즉 저면을 향하도록 구속하여 픽업부(510)의 픽업툴(511)들이 상하이동만이 가능하도록 함과 아울러, 픽업툴(511) 등의 교체, 수리 등을 위하여 이동부재(520)가 주회전축(541)에 대하여 회전가능하게 구성됨에 특징이 있다.
상기 회전방지부(545)의 일예로서, 도 6에 도시된 바와 같이, 선형이동에 의하여 가이드부재(543)에 형성된 고정턱(545c)에 걸림되는 고정돌기(545a)와 지지브라켓(531)에 설치되어 고정돌기(545a)를 선형이동시키는 선형구동부(545b)를 포함할 수 있다.
상기 회전이동부는 주회전축(541)을 회전시키기 위한 구성으로서, 주회전축(541)을 회전시킬 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.
한편 상기 이동부재(520)의 회전을 방지하기 위한 구성으로서, 픽업툴(511)들이 하측을 향하는 소자픽업위치를 기준으로 이동부재(520)가 순방향으로만 회전되고 역방향으로 회전되는 것을 방지하기 위하여 지지부(530)는 이동부재(520)가 결합된 가이드부재(543)의 역방향회전을 방지하는 스토퍼(540)가 추가로 설치될 수 있다.
상기 회전이동부는 픽업툴(511)들이 설치된 픽업부(510)를 회전, 즉 이동부재(520)를 회전시키기 위한 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
상기 회전이동부는 일예로서, 일단이 가이드부재(534)에 힌지결합되고 타단이 지지부(530)에 힌지결합되며 공압 또는 유압에 의하여 그 길이를 가변시켜 가이드부재(534)가 주회전축(541)에 대하여 회전가능할 때 가이드부재(534)를 회전시키는 실린더부(550)를 포함할 수 있다.
상기 실린더부(550)는 그 길이를 가변시켜 가이드부재(534)를 회전를 회전시켜 궁극적으로 이동부재(520)을 회전시키기 위한 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
한편 상기와 같은 구성을 가지는 소자가압부(500)는 작업자의 유지, 보수 작업을 용이하게 하기 위하여, 도 1에 도시된 바와 같이, 소자검사장치의 가장자리 쪽에 설치되며, 회전이동부는 픽업툴(511)들이 소자검사장치의 가장자리 바깥쪽을 향하도록 이동부재(520)를 회전시키도록 구성될 수 있다.
또한 그리고 상기 소자가압부(500)는 소자(20)들을 픽업하거나 픽업된 소자(20)들을 셔틀플레이트(210)에 적재하며 픽업된 소자(20)들을 테스트부(300)에 가압할 때에는 픽업부(510)를 상하로 이동시키고, 픽업부(510)의 수리 또는 교체가 필요할 때 픽업부(510)를 회전이동시켜 픽업부(510)의 저면이 수직을 이루도록 할 수 있다.
이상은 본 발명에 의해 구현될 수 있는 바람직한 실시예의 일부에 관하여 설명한 것에 불과하므로, 주지된 바와 같이 본 발명의 범위는 위의 실시예에 한정되어 해석되어서는 안 될 것이며, 위에서 설명된 본 발명의 기술적 사상과 그 근본을 함께 하는 기술적 사상은 모두 본 발명의 범위에 포함된다고 할 것이다.
100 : 소자교환부 200 : 셔틀부
300 : 테스트부
410 : 소자픽업부
500 : 소자가압부

Claims (14)

  1. 소자들을 테스트하는 테스트부와; 상기 테스트가 수행될 소자들이 적재된 하나 이상의 트레이와 테스트를 마친 소자들이 적재되는 하나 이상의 트레이가 배치되는 소자교환부와; 상기 소자교환부 부근과 상기 테스트부 사이에서 왕복이동가능하도록 설치되는 셔틀플레이트를 포함하는 셔틀부와; 상기 소자교환부 및 상기 셔틀플레이트 사이의 소자교환을 수행하는 하나 이상의 소자픽업부와; 상기 셔틀플레이트에 적재된 소자들을 픽업하거나 픽업된 소자들을 상기 셔틀플레이트에 적재하며 픽업된 소자들을 상기 테스트부에 가압하는 소자가압부를 포함하며,
    상기 소자가압부는
    저면에 소자들을 픽업하는 복수개의 픽업툴들이 설치된 하나 이상의 픽업부가 탈착가능하게 설치되는 이동부재와, 상기 테스트부의 상부에 고정설치되며 상기 이동부재를 상하이동 및 회전이동이 가능하게 지지하는 지지부와, 상기 이동부재의 상하이동시키는 상하이동부와, 상기 이동부재를 수평방향의 회전축을 중심으로 회전이동시키는 회전이동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자검사장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 지지부는 한 쌍의 지지브라켓가 설치되며,
    상기 상하이동부는 상기 지지브라켓에 회전가능하게 설치되는 주회전축과; 상기 주회전축과 함께 회전되도록 상기 주회전축과 결합되며 상기 이동부재와 결합되는 캠부와; 상기 주회전축에 회전가능하게 결합되며 상기 이동부재가 선형이동이 가능하도록 결합되는 하나 이상의 가이드부재와; 상기 가이드부재가 상기 주회전축에 대하여 회전되거나 회전되는 것을 방지하는 회전방지부와; 상기 주회전축을 회전시키는 회전구동부를 포함하며,
    상기 캠부는 회전에 의하여 상기 주회전축의 반경방향으로 상기 이동부재를 선형이동하도록 상기 이동부재와 결합되어, 회전에 의하여 상기 가이드부재에 대하여 상기 이동부재를 선형이동시키는 것을 특징으로 하는 소자검사장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 회전이동부는 일단이 상기 가이드부재에 힌지결합되고 타단이 상기 지지부에 힌지결합되며 공압 또는 유압에 의하여 그 길이를 가변시켜 상기 가이드부재가 상기 주회전축에 대하여 회전가능할 때 상기 가이드부재를 회전시키는 실린더부를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자검사장치.
  4. 청구항 2에 있어서,
    상기 픽업툴들이 하측을 향하는 소자픽업위치를 기준으로 상기 이동부재가 순방향으로만 회전되고 역방향으로 회전되는 것을 방지하기 위하여 상기 지지부는 상기 이동부재가 결합된 상기 가이드부재의 역방향회전을 방지하는 스토퍼가 추가로 설치된 것을 특징으로 하는 소자검사장치.
  5. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 소자가압부는 소자검사장치의 가장자리 쪽에 설치되며, 상기 회전이동부는 상기 픽업툴들이 상기 소자검사장치의 가장자리 바깥쪽을 향하도록 상기 이동부재를 회전시키는 것을 특징으로 하는 소자검사장치.
  6. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 소자가압부는
    소자들을 픽업하거나 픽업된 소자들을 상기 셔틀플레이트에 적재하며 픽업된 소자들을 상기 테스트부에 가압할 때에는 상기 픽업부를 상하로 이동시키고,
    상기 픽업부의 수리 또는 교체가 필요할 때 회전이동시켜 상기 픽업부의 저면이 수직을 이루도록 하는 것을 특징으로 하는 소자검사장치.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 테스트부는 m×n(m, n은 2 이상의 자연수)으로 배치된 다수의 테스트소켓을 가지며,
    상기 셔틀플레이트는 소자가 적재되는 소자적재위치가 m×2n 배치되며, 상기 소자적재위치가 이루는 열간간격은 상기 테스트소켓이 이루는 열간간격의 1/2을 이루며, 소자들이 상기 소자적재위치에 일열을 건너뛰면서 m×n 배열로 안착되며,
    상기 소자가압부는 상기 셔틀플레이트가 상기 테스트부의 상측에 위치되었을 때 상기 셔틀플레이트의 상기 소자적재위치의 빈자리에 테스트를 마친 소자를 안착시킨 후, 상기 셔틀플레이트의 소자적재위치에 안착된 테스트가 수행될 소자를 픽업하고, 상기 셔틀플레이트가 상기 테스트부로부터 벗어난 후에 하강하여 상기 테스트부의 상기 테스트소켓에 접속시켜 상기 테스트부가 소자들을 테스트하도록 하는 소자검사장치.
  8. 청구항 1에 있어서,
    상기 테스트부는 m×n(m, n은 2 이상의 자연수)으로 배치된 다수의 테스트소켓을 가지며,
    상기 셔틀플레이트는 상기 테스트부의 테스트소켓에 대응되어 소자가 적재되는 소자적재위치가 m×n 배치되며 상하로 배치되어 상기 소자교환부의 일측과 상기 테스트부의 직상부 사이에서 왕복이동하는 한 쌍으로 구성되며,
    상기 한 쌍의 셔틀플레이트들 중 어느 하나는 빈 상태로 상기 테스트부의 상측으로 이동하여 상기 소자가압부로부터 소자들을 전달받아 상기 소자교환부 쪽으로 이동하여 언로딩하고, 나머지 하나는 테스트가 수행될 소자들을 상기 소자교환부로부터 전달받은 후 상기 테스트부의 상측으로 이동하여 상기 소자가압부로 소자들을 전달하며,
    상기 소자가압부는 테스트가 수행될 소자를 픽업한 후에 상기 셔틀플레이트가 상기 테스트부로부터 벗어난 후에 하강하여 상기 테스트부의 상기 테스트소켓에 접속시켜 상기 테스트부가 소자들을 테스트하도록 하는 소자검사장치.
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 테스트부, 상기 소자가압부 및 상기 셔틀부는 하나의 테스트존을 형성하며, 상기 테스트존은 복수개로 설치된 것을 특징으로 하는 소자검사장치.
  10. 청구항 9에 있어서,
    상기 복수개의 상기 테스트부와 상기 셔틀부는 상기 셔틀부의 이동방향과 수직을 이루어 평행하게 배치된 것을 특징으로 하는 소자검사장치.
  11. 소자들을 테스트하는 테스트부와; 상기 테스트부가 테스트를 수행할 수 있도록 소자들을 픽업하여 픽업된 소자들을 상기 테스트부에 가압하는 소자가압부를 포함하는 소자검사장치의 소자가압장치로서,
    저면에 소자들을 픽업하는 복수개의 픽업툴들이 설치된 하나 이상의 픽업부가 탈착가능하게 설치되는 이동부재와,
    상기 테스트부의 상부에 고정설치되며 상기 이동부재를 상하이동 및 회전이동이 가능하게 지지하는 지지부와,
    상기 이동부재의 상하이동시키는 상하이동부와, 상기 이동부재를 수평방향의 회전축을 중심으로 회전이동시키는 회전이동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자검사장치의 소자가압장치.
  12. 청구항 11에 있어서,
    상기 지지부는 한 쌍의 지지브라켓을 포함하며,
    상기 상하이동부는 상기 지지브라켓에 회전가능하게 설치되는 주회전축과; 상기 주회전축과 함께 회전되도록 상기 주회전축과 결합되며 상기 이동부재와 결합되는 캠부와; 상기 주회전축에 회전가능하게 결합되며 상기 이동부재가 선형이동이 가능하도록 결합되는 하나 이상의 가이드부재와; 상기 가이드부재가 상기 주회전축에 대하여 회전되거나 회전되는 것을 방지하는 회전방지부와; 상기 주회전축을 회전시키는 회전구동부를 포함하며,
    상기 캠부는 회전에 의하여 상기 주회전축의 반경방향으로 상기 이동부재를 선형이동하도록 상기 이동부재와 결합되어, 회전에 의하여 상기 가이드부재에 대하여 상기 이동부재를 선형이동시키는 것을 특징으로 하는 소자검사장치의 소자가압장치.
  13. 청구항 12에 있어서,
    상기 회전이동부는 일단이 상기 가이드부재에 힌지결합되고 타단이 상기 지지부에 힌지결합되며 공압 또는 유압에 의하여 그 길이를 가변시켜 상기 가이드부재가 상기 주회전축에 대하여 회전가능할 때 상기 가이드부재를 회전시키는 실린더부를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자검사장치의 소자가압장치.
  14. 청구항 12에 있어서,
    상기 픽업툴들이 하측을 향하는 소자픽업위치를 기준으로 상기 이동부재가 순방향으로만 회전되고 역방향으로 회전되는 것을 방지하기 위하여 상기 지지부는 상기 이동부재가 결합된 상기 가이드부재의 역방향회전을 방지하는 스토퍼가 추가로 설치된 것을 특징으로 하는 소자검사장치의 소자가압장치.
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