KR20120027300A - 코팅 장치 및 방법 - Google Patents

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프라운호퍼-게젤샤프트 추르 푀르데룽 데어 안제반텐 포르슝 에 파우
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Abstract

본 발명은 소개(evacuated) 가능하며 기판을 수용하기 위한 하나 이상의 용기(recipient), 용기 내에 하나 이상의 가스상 전구체를 도입할 수 있는 하나 이상의 가스 공급 장치, 및 정의 가능한 종방향 범위(longitudinal extent)를 가지며 하나 이상의 관련된 기계적 체결 장치에 의해 용기에 대해 실질적으로 고정되게 체결된 하나 이상의 가열 가능한 활성화 부재를 포함하는 코팅 장치에 관한 것이다. 전류는 적어도 두 개의 접촉 부재를 통해 활성화 부재로 공급될 수 있으며, 접촉 부재 중 하나 이상은 선택적인 접촉 지점에서 활성화 부재에 접촉하도록 설계한다. 또한 본 발명은 해당 코팅 방법에 관한 것이다.

Description

코팅 장치 및 방법 {COATING INSTALLATION AND METHOD}
본 발명은 소개(evacuated) 가능하며 기판을 수용하기 위한 하나 이상의 용기(recipient), 용기 내에 하나 이상의 가스상 전구체를 도입할 수 있는 하나 이상의 가스 공급 장치, 및 소정의 종방향 범위(longitudinal extent)를 가지며 하나 이상의 전용 기계적 체결 장치에 의해 용기에 거의 고정되게 체결된 하나 이상의 가열 가능한 활성화 부재를 포함하는 코팅 장치에 관한 것이다. 또한 본 발명은 해당 코팅 방법에 관한 것이다.
종래 기술에 따르면 초기에 언급된 유형의 코팅 장치는 열선 활성화 화학 기상 증착에 의해 기판을 코팅하기 위한 것이다. 증착된 층은 예를 들어, 탄소, 실리콘 또는 게르마늄을 포함할 수 있다. 따라서 가스상 전구체는 예를 들어, 메탄, 모노실란, 모노게르마늄, 암모니아 또는 트리메틸실란을 포함할 수 있다.
K. Honda, K. Ohdaira 및 H. Matsumura의 Jpn. J. App. Phys., Vol. 47, No. 5에서는 실리콘을 증착하기 위한 초기에 언급된 유형의 코팅 장치의 사용을 개시하고 있다. 이를 위해 가스 공급 장치에 의해 실란(SiH4)이 전구체로서 공급된다. 종래 기술에 따르면 활성화 부재의 가열된 텅스텐 표면에서 전구체는 분리되고 활성화되며, 그에 따라 실리콘층 또는 실리콘을 포함하는 층이 기판 상에 증착될 수 있다.
하지만 인용된 선행기술의 단점은 활성화 부재의 재료와 전구체의 원하지 않는 반응이 특히 활성화 부재의 저온 클램핑점에서 일어나는 것이다. 예를 들어, 전구체로서 실란 화합물의 사용은 활성화 부재 상에 실리사이드상을 형성할 수 있다.
반응 동안 나타나는 실리사이드상은 일반적으로 활성화 부재의 체적을 변화시키며 출발물질과 비교하여 부서지기 쉬우며 큰 기계적 힘에 견디질 못하고 종종 전기 저항의 변화를 나타낸다. 이는 몇 시간 가동 후 종종 활성화 부재가 이미 파괴되어버리는 결과를 나타낸다. 예를 들어, 활성화 부재는 용기에서 기계적 초기 응력 하에 사용될 수 있으며 이러한 기계적 초기 응력의 영향 아래에서 파괴된다. 기계적 초기 응력 하에서 활성화 부재의 파괴를 방지하기 위하여 종래 기술은 클램핑점을 불활성 기체로 씻는 것을 제안한다. 종래 기술은 사용 수명이 다소 연장되는 것을 보여주지만 그럼에도 불구하고 비교적 긴 코팅 과정을 실행하는 경우 또는 수회의 짧은 코팅 과정들을 바로 연달아 수행하기에는 여전히 불충분하다. 또한 사용되는 불활성 기체는 코팅 과정에 영향을 미친다.
따라서 본 발명은 코팅 과정에 불리한 영향을 끼침이 없이 열선 활성화 화학 기상 증착을 위한 코팅 장치에서 활성화 부재의 사용 수명을 연장하는 목적에 기초한다. 또한 본 발명의 목적은 코팅 과정의 안정성을 증가시키고 및/또는 제조 과정의 제어를 단순화하는 것이다.
상기 목적은 본 발명에 따른 청구항 1에 따른 코팅 장치 및 청구항 8에 따른 코팅 방법에 의해 달성된다.
본 발명에 따르면 코팅될 기판을 그 자체로 주지된 방식으로 소개(evacuated) 가능한 용기 내에 도입하는 것을 제안한다. 예를 들어, 용기는 알루미늄, 고급강, 세라믹 및/또는 유리로 이루어질 수 있다. 용기는 예를 들어, 금속 또는 폴리머 부재를 밀봉함으로써 또는 용접되고 납땜된 또는 땜질된 연결들에 의해 그 자체로 주지된 방식으로 실질적으로 기밀하게 폐쇄된다. 용기는 진공 펌프에 의해 소개될 수 있다.
소정의 분압을 가진 하나 이상의 가스상 전구체가 가스 공급 장치에 의해 용기 내로 도입된다. 예를 들어, 전구체는 메탄, 실란, 게르마늄, 암모니아, 트리메틸실란, 산소 및/또는 수소를 포함할 수 있다.
층의 증착을 위해 용기 내부 공간에 배열된 하나 이상의 활성화 부재가 가열된다. 특히 활성화 부재의 가열은 전자충돌 가열 및/또는 전기저항 가열에 의해 이루어질 수 있다. 활성화 부재는 실질적으로 내열성 금속 예를 들어, 몰리브덴, 니오븀, 텅스텐 또는 탄탈륨, 또는 이러한 금속들의 합금을 포함한다. 또한 활성화 부재는 불가피한 불순물을 나타내거나 또는 합금화 성분으로서 활성화 부재의 특성을 원하는 특성으로 순응시키는 추가적인 화학 원소를 포함할 수 있다. 활성화 부재는 선, 판, 튜브, 실린더 및/또는 다른 보다 복잡한 기하학적 구조의 형태일 수 있다.
가스상 전구체 분자들이 활성화 부재의 표면에서 적어도 부분적으로 분리되거나 여기(excited)된다. 여기 및/또는 분리는 활성화 부재 표면의 촉매 특성에 의해 증진된다. 이러한 방법으로 활성화된 분자들은 기판의 표면에 도달하여 원하는 코팅을 형성한다. 또한 가스상 전구체의 분자들은 적어도 부분적으로 활성화 부재의 재료와 반응할 수 있다. 활성화 부재의 온도에 따라 여기 및/또는 분리 및/또는 활성화 부재의 재료와의 반응은 억제되거나 또는 가속될 수 있다.
전류를 활성화 부재에 공급하기 위하여 활성화 부재를 전류 또는 전압원에 연결할 수 있는 적어도 2개의 접촉 부재가 제공된다. 균질한 재료 조성 및 일정한 횡단면을 가진 활성화 부재에서, 전류가 통과하여 흐를 때 축적된 열에너지가 종방향 범위(longitudinal extent)를 따라 균일하게 도입된다.
접촉 부재의 증가된 열 전도율 및/또는 증가된 열 방산으로 인해 활성화 부재는 접촉 부재로부터 더 먼 거리에 있는 부분과 비교하여, 접촉 부재의 주변부에서 더 낮은 온도를 가질 수 있다. 이 경우 활성화 부재의 온도는 활성화 부재의 재료가 우선적으로 전구체와 화학 반응하는 접촉 부재 주변부에서 매우 크게 하강할 수 있다. 예를 들어, 텅스텐을 포함하는 활성화 부재는 실리콘을 포함하는 전구체와 함께 텅스텐-실리사이드상을 형성할 수 있다.
이 문제를 해결하기 위해, 본 발명에 따르면 변화하는 접촉 지점들에서 하나 이상의 이동 가능한 접촉 부재에 의해 활성화 부재를 접촉시키는 것이 제안된다. 이런 식으로 접촉 부재의 이동은 이들 접촉 지점들의 이동을 수반하며 이들 접촉 지점에서 활성화 부재는 감소된 온도를 가진다. 그 결과 활성화 부재는 원하지 않는 상전환(phase transformation) 또는 이와 같은 상전환의 촉진을 코팅 과정의 전체 지속 동안 동일한 지점에서 겪지 않는다. 본 발명의 일부 실시태양에서, 초기에 발생하는 원하지 않는 상전환, 예를 들어, 카바이드 또는 실리사이드의 형성은 원하지 않는 방향으로 전환된 활성화 부재의 표면 영역 또는 부분을 이후 높은 온도로 가열하는 경우 다시 역으로 되돌릴 수 있다. 이런 식으로 활성화 부재의 사용 수명이 원하는대로 증가된다.
본 발명에 따르면 변화하는 접촉 지점의 형성은 접촉 부재의 이동에 의해 야기되는 반면 활성화 부재는 주위의 용기에 대해 고정된 상태로 있다. 본 명세서의 취지에서 활성화 부재는 또한 열팽창에 따른 작은 길이의 변화를 겪더라도 움직이지 않는다. 본 발명에 따르면 활성화 부재는 이동 가능한 체결 부재를 통하여 움직이지 않는다.
본 발명의 일부 실시태양에서, 긴(elongate) 활성화 부재는 전구체를 활성화시키기 위해 사용되는 영역보다 큰 길이를 가질 수 있다. 접촉 부재를 바꾸어 놓음으로써 활성화 부재의 각각의 바뀐 부분이 가열된다. 접촉 부재는 여기서 동일한 방향으로 바꾸어질 수 있으며, 그에 따라 접촉 부재들 사이에 배열된 가열된 부분이 각각의 경우에 일정하게 남아있게 된다. 이는 활성화 부재의 전기 제어를 단순하게 한다.
본 발명의 일 실시태양에서, 접촉 부재는 활성화 부재의 종방향 범위를 따라 배열되며 활성화 부재를 향해 이동할 수 있는 복수의 접촉핀을 포함할 수 있다. 이런 식으로 접촉 부재는 필연적으로 활성화 부재의 종방향 범위 방향으로 움직일 필요는 없다. 오히려 움직임의 방향이 활성화 부재의 종방향 범위에 대하여 실질적으로 수직인 복수의 접촉핀들 중 하나 이상의 접촉핀을 활성화 부재 쪽으로 이동시키거나 또는 활성화 부재로부터 들어올리면 충분하다. 이는 활성화 부재 상에 국소적으로 변화하는 접촉 지점이 간단하고 신뢰할 수 있는 방법으로 구현되게 한다.
본 발명의 일부 실시태양에서, 활성화 부재는 하나 이상의 선(wire)을 포함할 수 있다. 본 발명의 취지에서 선은 원형, 타원형 또는 다각형의 횡단면을 가질 수 있다. 이런 식으로 활성화 부재의 표면 대 체적의 비율은 증가할 수 있다. 본 발명의 일부 실시태양에서, 이와 같은 활성화 부재는 하나 이상의 롤러에 의해 가이드되거나 또는 편향될 수 있다. 롤러는 접촉 부재의 일부일 수 있고, 활성화 부재를 전류 또는 전압원과 전기적으로 접촉시킨다.
본 발명의 내용 중에 포함되어 있음.
본 발명의 예시적인 실시태양 및 첨부 도면에 의해 이하에 보다 상세히 설명되지만 본 발명의 전반적인 사상은 이에 제한되지 않는다.
도 1은 본 발명에 따른 코팅 장치의 기본적인 구성을 도시한다.
도 2는 본 발명에 따라 제안된 활성화 부재의 예시적인 실시태양을 도시한다.
도 3은 본 발명에 따라 제안된 활성화 부재의 다른 예시적인 실시태양을 도시한다.
도 4는 각각 복수의 접촉핀을 포함하는 두 개의 접촉 부재들을 도시한다.
도 1은 코팅 장치(1)의 횡단면을 보여준다. 코팅 장치(1)는 예를 들어, 고급강, 알루미늄, 유리 또는 이들 재료의 조합으로 제조된 용기(10)를 포함한다. 용기(10)는 주변 환경으로부터 실질적으로 기밀하게 폐쇄된다. 진공 펌프(도시되지 않음)가 펌프 플랜지(103)를 통해 연결될 수 있다. 예를 들어,용기(10)는 100 mbar 미만, 10-2 mbar 미만 또는 10-6 mbar 미만의 압력으로 소개될 수 있다.
기판(30)을 올려놓을 수 있는 지지 장치(104)가 용기(10) 내에 위치한다. 기판(30)은 예를 들어, 유리, 실리콘, 플라스틱, 세라믹, 금속 또는 합금으로 이루어질 수 있다. 기판은 반도체 웨이퍼, 판유리 또는 공구일 수 있다. 기판은 평면 또는 곡면을 가질 수 있다. 상기 언급된 재료들은 단지 예로써 언급된 것이다. 본 발명은 해결책을 제공하기 위한 원리로서 특정 기판의 사용을 교시하지 않는다. 코팅 장치(1)가 작동 중일 때, 코팅(105)이 기판(30) 상에 증착된다.
코팅(105)의 조성물은 가스상 전구체의 선택에 의해 영향을 받는다. 본 발명의 일 실시태양에서, 전구체는 메탄을 포함할 수 있고, 그에 따라 코팅(105)은 다이아몬드 또는 다이아몬드상 탄소를 포함한다. 본 발명의 다른 실시태양에서, 전구체는 모노실란 및/또는 모노게르마늄을 포함할 수 있고, 그에 따라 코팅은 결정질 또는 비정질 실리콘 및/또는 게르마늄을 포함한다.
가스상 전구체는 하나 이상의 가스 공급 장치(20)를 통해 용기(10)의 내부에 도입된다. 가스 공급 장치(20)는 저장 용기(21)로부터 가스상 전구체를 획득한다. 저장 용기(21)에서 추출된 전구체의 양은 조절 밸브(22)를 통해 좌우된다. 코팅(105)이 복수의 다양한 전구체들로 구성되는 경우, 저장 용기(21)는 제조된 가스 혼합물을 포함할 수 있고, 또는 각각의 경우 만들어진 전구체 성분을 용기(10)에 도입하는 복수의 가스 공급 장치(20)가 구비될 수 있다.
조절 밸브(22)를 통해 가스 공급 장치(20)에 공급된 전구체의 양은 조절 장치(101)를 통해 모니터링된다. 조절 장치(101)에는 측정 장치(100)에 의해 분압 또는 절대압의 실제 값이 공급된다.
활성화 장치(40)가 가스상 전구체의 활성화하기 위해 사용될 수 있다. 활성화 부재(40)는 예를 들어, 금속 시트 또는 선 형태의 촉매 활성면을 하나 이상 포함한다. 예를 들어, 활성화 부재(40)는 텅스텐, 몰리브덴, 및 니오븀 및/또는 탄탈륨을 포함할 수 있다.
활성화 부재(40)는 하나 이상의 지지 부재(44)에 체결된다. 지지 부재(44)는 활성화 부재(40)를 소정의 위치에서 및/또는 소정의 기계적 응력(mechanical stress)으로 고정시킨다. 활성화 부재에 소정의 전위를 적어도 부분적으로 일으키기 위하여 하나 이상의 지지 부재(44)가 전기적으로 절연된 방식으로 구성될 수 있다.
활성화 부재가 가동하는 동안 용기(10) 내부에 활성 영역(50)이 형성되며 여기서 분리 및/또는 여기된 전구체 성분들을 검출할 수 있다. 활성화 부재(40)의 표면 활성은 실온 보다 상승된 온도에서 이루어진다. 활성화 부재(40)를 가열하기 위해 도 1에 따르면 적어도 두 개의 전기 접촉 부재(43)를 제공하는 것이 고찰된다. 접촉 부재(43)에 의해 활성화 부재의 하나 이상의 단부가 진공-밀봉 리드스루(108)(vacuum-tight leadthrough)에 의해 전원(107)에 연결된다. 이 경우 활성화 부재(40)의 가열은 저항 가열에 의해 이루어진다. 활성화 부재가 균질한 재료로 이루어지고 균일한 두께를 가지는 경우 활성화 부재의 종방향 범위 x를 따라 도입되는 가열 전력(heating power) E는 상수(constant):
Figure pct00001
이다.
지지 부재(44) 및/또는 접촉 부재(43)의 열 전도 및/또는 열 방산으로 인해, 가열 전력이 선의 길이에 걸쳐 실질적으로 일정할 때 활성화 부재(40)의 온도는 기하학적 중심으로부터 주변부를 향해 감소한다. 이 경우 온도는 접촉 부재(43) 근처에서 설정될 수 있고 상기 온도에서 활성화 부재(40)의 재료는 바람직하지 않은 상, 예를 들어, 카바이드 및/또는 실리사이드 및/또는 게르마니드를 형성하기 위해 가스상 전구체와 가속된 속도로 반응한다.
활성화 부재 상의 전구체의 유해한 영향을 최소화하기 위해, 도 1에 따라 활성 영역(50)의 치수보다 기하학적 치수(geometrical dimensions)가 큰 활성화 부재(40)를 사용하는 것이 제안된다. 활성화 부재(40)는 지지 부재(44)에 의해 전기적으로 절연된 방식으로 용기(10) 내에 설치된다. 두 개의 접촉 부재(43)는 예를 들어, 롤러(rollers), 롤(rolls), 미끄럼 접촉(sliding contacts) 또는 유사한 부재들에 의해 활성화 부재(40)와 접촉해 있다.
접촉 부재(43)는 활성화 부재(40)의 종방향 범위를 따라 움직이는 수송 방향(49)(transporting direction)을 따라 이동이 가능하다. 도 1에 나타난 실시태양에서, 접촉 부재(43)들 모두는 활성화 부재(40)를 따라 이동한다. 이 경우 이동은 동일한 방향으로 일어날 수 있으며 그에 따라 접촉 부재들(43) 사이에 국한된 활성화 부재(40) 부분은 대체적으로 일정하게 유지되거나, 아니면 이동은 서로 반대 방향 또는 서로 관련되지 않은 방식으로 일어나며 그에 따라 접촉 부재(43)에 의해 제한된 부분은 좌우로 다양할 수 있다. 수송 방향(49)에 따른 접촉 부재(43)의 이동은 조화를 이루거나 또는 조화를 이루지 않을 수 있으며, 연속적으로 일어나거나 또는 간헐적인 중단을 가지고 일어날 수 있다.
접촉 부재(43)의 이동은 활성화 부재(40) 상의 접촉 부재(43)의 접촉점 근처에서 형성되는 낮은 온도의 위치가 국소적으로 변화하는 효과를 나타낸다. 이런 식으로 활성화 부재(40) 상의 전구체의 유해한 영향이 활성화 부재의 넓은 표면 영역에 걸쳐 분배되고 그에 따라 활성화 부재의 전체적인 수명이 증가된다. 본 발명의 일부 실시태양에서, 낮은 온도에서 전구체의 존재로 인해 손상되지만 접촉 부재(43)가 멀리 이동할 때 온도를 증가시킴으로써 다시 재생되는 영역이 추가적으로 제공될 수 있으며, 이러한 점에서 활성화 부재(40)의 원하지 않는 상이 갱신되는 반응(renewed reaction)을 겪을 수 있다.
도 2는 활성화 부재(40)의 예시적인 실시형태를 보다 구체적인 그림으로 보여준다. 본 발명의 이 실시태양에서, 활성화 부재(40)의 활성 표면은 예를 들어, 텅스텐, 니오븀, 몰리브덴 또는 탄탈륨을 포함하는 선(41)에 의해 형성된다. 또한 도 2는 그 사이에 활성화 부재(40)가 고정된 두 개의 지지 부재(44)를 보여준다. 지지 부재(44)는 활성화 부재(40)를 절연 방식으로 수용할 수 있다. 지지 부재(44) 상에 활성화 부재를 체결하는 것이 예를 들어, 클램핑, 용접에 의해 그 밖에 또는 스프링에 의해 수행된다. 이런 식으로 기계적 응력이 활성화 부재(40)에서 일정하게 유지될 수 있다.
선(41)을 접촉시키기 위하여, 두 개의 접촉 부재(43)를 이용할 수 있으며 이들은 서로 다른 전위에서 유지된다. 서로 다른 전위는 선(41)을 가열하기 위한 전류가 접촉 부재들(43) 사이의 선을 통과하여 흐르게 하는 효과를 나타낸다. 선(41)과 접촉 부재(43) 사이의 전기적 접촉은 롤러(46)에 의해 이루어진다. 롤러(46)는 회전 가능하게 롤러 운반기(47)에 설치된다. 롤러(46)는 롤러의 원주면을 따라 선(41)을 수용할 수 있는 홈을 가질 수 있으며 선(41)이 롤러(46)를 벗어나지 않는 신뢰성 있는 전기적 접촉을 확보한다. 우수한 전기 전도율과 낮은 열 전도율을 겸비한 재료 예를 들어, 고급강이 롤러(46)에 사용될 수 있다.
롤러 운반기(47)는 실질적으로 선(41)에 대해 나란하게 움직이는 수송 방향(49)을 따라 움직인다. 이러한 목적을 위하여 롤러 운반기(47)는 예를 들어, 레일(rail), 기둥 가이드(pillar guide), 톱니 모양의 랙(toothed rack) 또는 나사골(threaded rod)에 의해 가이드될 수 있다. 롤러 운반기(47)의 이동은 활성화 부재(40)의 한 단부로부터 다른 단부까지 방향이 변화하면서 또는 단일 방향성으로 일어날 수 있다.
활성화 부재(40)의 다른 예시적인 실시태양이 도 3에 나타나있다. 도 3은 두 개의 지지 부재(44)에 의해 기계적으로 고정된 선(41)을 다시 한번 보여준다. 선(41)에 예를 들어, 미끄럼 접촉(sliding contacts)을 가진 두 개의 접촉 부재들(43)이 위치한다. 미끄럼 접촉은 일정한 압력을 보증하기 위해 예를 들어, 선(41)에 대한 스프링력에 의해 가이드될 수 있다.
도 3에 따르면 접촉 부재(43b)는 선(41)에 대해 나란한 움직임의 방향(49)에 따라 가이드된다. 이런 식으로 접촉 위치(contact point)는 선(41)을 따라 옮겨질 수 있으며 그에 따라 가장 낮은 온도를 가진 일부분은 선(41)을 따라 다양할 수 있다.
도 3의 좌측에 표시된 접촉 부재(43a)는 선(41)의 종방향 범위에 대해 거의 수직 이동하는 방향으로 움직인다. 이런 식으로 접촉 부재(43)는 선(41)에 접촉하거나 또는 접촉하지 않을 수 있다. 접촉 부재(43)가 선(41)에서 들어올려진 경우 회로(circuit)는 전기적으로 전도성인 지지 부재(44a)에 의해 중단된다. 이런 식으로 선(41) 위의 접촉 지점은 좀 더 구체적으로 지지 부재(44a)의 말단 지점에서 또는 접촉 부재(43a)의 탭(tap) 중 하나에서 변경될 수 있다.
도 4는 각각 복수의 접촉핀들(45)을 포함하는 두 개의 접촉 부재(43)를 보여준다. 접촉핀들(45)은 활성화 부재(40) 또는 선(41)의 종방향 범위를 따라 배열된다. 접촉핀(45)은 선(41)의 종방향 범위에 대해 거의 직각 이동하는 움직임 방향을 따라 옮겨질 수 있도록 설치된다. 접촉핀들(45)은 이 움직임 방향을 따라 예를 들어, 선(41)에 대한 스프링력에 의해 가이드될 수 있다. 하나 이상의 접촉핀을 움직임으로써 개별적인 단계들에서 선(41) 위의 접촉 위치는 변화할 수 있다. 필요가 없는 접촉핀들(45)은 선(41)에서 들어올려질 수 있으며 그에 따라 이들은 열교(heat bridge)를 나타내지 않는다. 이런 식으로 선(41)의 온도는 원하지 않는 유해한 상이 한 지점에서 짧은 시간 안에 형성될 수 없는 것과 같은 조절 방식으로 유지될 수 있다.
도 2 내지 도 4에 도시된 특징부들이 조합되어 본 발명에 따른 활성화 부재의 다른 실시형태를 달성할 수 있음은 말할 필요도 없다. 그러므로 전술한 설명은 제한이 아닌 설명의 의도로 고려된다. 후술하는 청구범위는 명시된 특징부가 본 발명의 적어도 하나의 실시형태에 존재하는 것으로 이해되어야 한다. 이는 다른 특징부의 존재를 배제하지 않는다. 청구범위가 “제1”및“제2”특징부를 정의하는 경우 이러한 명칭은 2개의 동일한 특징부를 구별하기 위한 것으로 우선 순위를 나타내지 않는다.

Claims (13)

  1. 소개 가능하며 기판(30)을 수용하기 위한 하나 이상의 용기(10), 용기(10) 내에 하나 이상의 가스상 전구체를 도입할 수 있는 하나 이상의 가스 공급 장치(20, 21, 22), 및 소정의 종방향 범위(longitudinal extent)를 가지며 하나 이상의 전용 기계적 체결 장치(44)에 의해 용기(10)에 거의 고정되게 체결된 하나 이상의 가열 가능한 활성화 부재(40)를 포함하는 코팅 장치(1)로서,
    전류는 적어도 두 개의 접촉 부재(43)를 통해 활성화 부재로 공급될 수 있으며, 접촉 부재(43) 중 하나 이상은 변화하는 접촉 지점에서 활성화 부재(40)에 접촉하도록 설계되는 것을 특징으로 하는 코팅 장치(1).
  2. 제 1 항에 있어서,
    접촉 부재(43)는 활성화 부재(40)의 종방향 범위를 따라 배열되며 활성화 부재(40)를 향해 이동할 수 있는 복수의 접촉핀(45)을 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅 장치(1).
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    활성화 부재(40)는 하나 이상의 선(41)을 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅 장치(1).
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    접촉 부재(43)는 활성화 부재(40)와의 접촉을 위해 제공되는 하나 이상의 롤러(46)를 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅 장치(1).
  5. 제 3 항 또는 제 4 항에 있어서,
    선(41)은 활성 영역(50)을 통해 여러 번 이어지는 것을 특징으로 하는 코팅 장치(1).
  6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    소정의 전위차(electrical potential difference)가 각각 인가될 수 있는 복수의 접촉 부재(43)가 활성화 부재(40)의 종방향 범위를 따라 배열되는 것을 특징으로 하는 코팅 장치(1).
  7. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    기계적 체결 장치(44)는 전기적으로 절연인 것을 특징으로 하는 코팅 장치(1).
  8. 소개 가능한 용기(10) 내에 기판(30)을 도입하고, 하나 이상의 가스 공급 장치(20, 21, 22)에 의해 용기(10) 내에 하나 이상의 가스상 전구체를 도입하며, 하나 이상의 전기적으로 가열된 활성화 부재(40)에 의해 상기 가스상 전구체를 활성화하고, 적어도 두 개의 접촉 부재(43)에 의해 활성화 부재(40)에 전류를 공급하는 기판(30)의 코팅(105) 형성 방법으로서,
    활성화 부재(40)는 용기에 거의 고정되게 배열되며 상대적인 움직임은 하나 이상의 접촉 부재(43) 및 활성화 부재(40) 사이에서 일어나는 것을 특징으로 하는 기판(30)의 코팅(105) 형성 방법.
  9. 제 8 항에 있어서,
    움직임은 진동 방식(oscillating manner)으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 방법.
  10. 제 8 항 또는 제 9 항에 있어서,
    접촉 부재(43)는 활성화 부재(40)의 종방향 범위를 따라 배열되며 활성화 부재(40)를 향해 선택적으로 이동하는 복수의 접촉핀(45)을 포함하는 방법.
  11. 제 8 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,
    활성화 부재(40)는 하나 이상의 선(41)을 포함하는 방법.
  12. 제 11 항에 있어서,
    선(41)은 활성 영역(50)을 여러 번 통과하는 방법.
  13. 제 8 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서,
    활성화 부재(40)의 종방향 범위를 따라 위치한 복수의 접촉 부재(43)는 활성화 부재와 접촉하며 소정의 전위차가 각각의 접촉 부재(43)에 인가되는 방법.
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