KR20120003005A - 스프링들에 의해 안정화된 진공 그리퍼 조립체 - Google Patents

스프링들에 의해 안정화된 진공 그리퍼 조립체 Download PDF

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KR20120003005A
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Abstract

일 측면에 따르면, 물체를 잡기 위한 진공 그리퍼 조립체가 제공되는데, 상기 진공 그리퍼 조립체는, 편평한 플레이트를 포함하는 그리퍼 핑거; 진공 패드; 상기 그리퍼 핑거에 관하여 상기 진공 패드를 지지하는 지지 시스템; 및 상기 진공 그리퍼 조립체가 상기 물체를 잡지 않고 있을 때 상기 그리퍼 핑거의 상기 편평한 플레이트에 관하여 대체로 편평한 방향으로 상기 적어도 하나의 진공 패드를 안정화하도록 구성된 안정화 구조를 포함하는 진공 그리퍼 조립체를 포함한다.

Description

스프링들에 의해 안정화된 진공 그리퍼 조립체{VACUUM GRIPPER ASSEMBLY STABILIZED BY SPRINGS}
본 출원은 진공 그리퍼 조립체에 관한 것으로서, 특히 솔라(solar) 웨이퍼들에 사용되는 진공 그리퍼 조립체에 관한 것이다.
본 출원서는 2009년 3월 31일에 출원된 미국 가출원 제61/165,117호로부터 우선권을 주장하고, 이 가출원은 그 전체로 여기에 참조에 의해 반영된다.
종래의 진공 그리퍼 조립체는 통상 하나 또는 그 이상의 진공 그리핑 요소들을 구비한 일반적으로 편평한 플레이트를 포함한다. 이러한 진공 그리핑 요소는 예를 들어, 상기 플레이트의 개구부(opening)에 지지되는 플라스틱 패드일 수 있다. 상기 플라스틱 패드에는 진공 호스를 위한 입구(inlet), 및 그 표면 상에 복수의 더 작은 구멍들이 마련되어 있는데, 이 구멍들을 통해 국소 영역의 감소된 압력(진공)을 생성하기 위해 석션(suction)이 적용된다. 때때로 매우 얇은 웨이퍼들의 파손을 막기 위해, 뿐만 아니라 웨이퍼 두께 및/또는 포지셔닝에 변화를 허용하기 위해, 이러한 패드에는 통상 상기 패드가 X, Y, 및 Z 방향들로 조금씩 움직일 수 있도록 하는 충격 흡수 메커니즘이 마련되어 있다. 일 예로, 상기 패드는 상기 플레이트의 개구부 안에서 상기 패드의 감쇠 운동을 허용하는 스프링들을 이용하여 상기 플레이트에 마운트될 수 있다. 상기 패드를 조금씩 움직일 수 있는 능력은 상기 웨이퍼가 상기 플레이트와 상기 패드 근처에 가져가질 때 상기 웨이퍼에 견고한 진공 그립을 제공하기 위해, 뿐만 아니라 상기 웨이퍼가 다른 물체에 접촉하고 상기 웨이퍼와 상기 그리퍼 사이에 상대적 변위(displacement)가 발생할 수 있을 때 상기 웨이퍼에서 상기 패드가 미끄러지지 않도록 하기 위해, 상기 패드가 웨이퍼와 같은 형상이 되도록 하기 위한 것이다.
특히 상기에서 설명한, 종래의 진공 그리퍼들에 있어서, 상대적으로 많은 양의 낭비가 있는 것처럼 보인다. 이것은 진공 그리퍼가 적절하기 웨이퍼에 부착되지 않은 경우에 발생하는 것 같다. 본 산업계에서 이러한 문제를 해결하려는 노력들은 성공적이지 않았다. 예를 들어, 웨이퍼 부착의 결핍을 극복하기 위해 더 큰 진공 압력을 제공하는 것은 이러한 진공 압력의 세기가 너무 크기 때문에 추가적인 파손으로 귀결될 수 있다.
나아가, 스프링들에 의해 지지되는 패드를 갖는 그리퍼의 조립 및 유지보수 또한 비용 및 시간이 많이 든다.
이와 같이, 개선된 진공 그리퍼 조립체에 대한 필요가 있다.
일 측면에 따르면, 물체를 잡기 위한 진공 그리퍼 조립체가 제공되는데, 상기 진공 그리퍼 조립체는, 편평한 플레이트를 포함하는 그리퍼 핑거; 진공 패드; 상기 그리퍼 핑거에 관하여 상기 진공 패드를 지지하는 지지 시스템; 및 상기 진공 그리퍼 조립체가 상기 물체를 잡지 않고 있을 때 상기 그리퍼 핑거의 상기 편평한 플레이트에 관하여 대체로 편평한 방향으로 상기 적어도 하나의 진공 패드를 안정화하도록 구성된 안정화 구조를 포함하는 진공 그리퍼 조립체를 포함한다.
특별한 경우에 있어서, 상기 안정화 구조는 적어도 2차원(two dimensions)으로 안정화하도록 구성될 수 있다.
다른 특별한 경우에 있어서, 상기 안정화 구조는 평면으로 상기 진공 패드와 접촉하도록 구성된 안정화 보강재(stabilization armature)일 수 있다. 이 경우에 있어서, 상기 안정화 보강재는 겹판 스프링(leaf spring)일 수 있다.
어떤 경우들에 있어서, 상기 지지 시스템은 상기 진공 패드와 상기 그리퍼 핑거의 상기 편평한 플레이트 사이를 직접 또는 간접으로 연결하는 복수의 겹판 스프링들 또는 복수의 장력 스프링들(tension springs)을 포함할 수 있다.
다른 특별한 경우에 있어서, 상기 진공 그리퍼 조립체는 진공 소스를 상기 진공 패드에 연결하는 호스를 더 포함하고, 상기 안정화 구조는 상기 진공 그리퍼 조립체가 물체를 잡고 있지 않을 때 상기 호스의 위치에 의하여 상기 진공 패드에 가해지는 힘들에 대하여 상기 진공 패드를 안정화시키는 데 충분한 힘을 제공하도록 구성될 수 있다.
다른 특별한 경우에 있어서, 상기 지지 시스템 및 상기 안정화 구조는 결합된 시스템(때때로 결합된 지지 및 안정화 구조로 지칭되기도 함)을 포함할 수 있다. 이 경우에 있어서, 상기 지지 시스템은 상기 안정화 구조를 통해 상기 진공 패드를 상기 편평한 플레이트에 연결하는 측면 탄성 부분 및 수직 탄성 부분을 포함할 수 있다. 특히, 상기 결합된 시스템의 요소들은 복수의 겹판 스프링들을 포함할 수 있다.
다른 특별한 경우에 있어서, 상기 안정화 구조는 잡고 있을 때 상기 X, Y, 및 Z 방향들로의 이동을 허용하도록 구성되고 잡고 있지 않을 때 미리 설정된 위치로 복귀하도록 바이어스될 수 있다.
어떤 경우들에 있어서, 상기 안정화 구조는 상기 진공 패드 상에 상기 편평한 플레이트로부터 연장된 플랜지에 인접하도록 구성된 패드 플랜지를 더 포함할 수 있다.
다른 측면에 따르면, 물체를 잡기 위한 진공 그리퍼 조립체가 제공되는데, 상기 진공 그리퍼 조립체는 진공 그리퍼 핑거 플레이트; 지지 시스템에 의해 상기 진공 그리퍼 핑거 플레이트에 부착된 적어도 하나의 진공 패드. 상기 지지 시스템은 측면 탄성 부분 및 수직 탄성 부분을 포함한다; 진공 소스를 상기 적어도 하나의 진공 패드에 연결하는 호스; 및 상기 진공 그리퍼 조립체가 상기 물체를 잡지 않고 있을 때 상기 진공 그리퍼 핑거 플레이트에 관하여 대체로 편평한 방향으로 상기 적어도 하나의 진공 패드를 안정화하도록 구성된 안정화 구조를 포함한다.
특별한 경우에 있어서, 상기 지지 시스템 및 상기 안정화 구조는 결합된 시스템일 수 있다.
다른 특별한 경우에 있어서, 상기 진공 패드는 상기 진공 그리퍼 핑거 플레이트로부터 연장된 플랜지에 인접하도록 구성된 패드 플랜지를 더 포함할 수 있다.
다른 측면에 따르면, 물체를 잡기 위한 진공 그리퍼 핑거 조립체가 제공되는데, 상기 진공 그리퍼 핑거 조립체는 진공 그리퍼 핑거 플레이트; 상기 진공 그리퍼 핑거 플레이트에 유연하게 연결된 적어도 하나의 진공 패드; 및 상기 진공 그리퍼 핑거 조립체가 상기 물체를 잡지 않고 있을 때 상기 진공 그리퍼 핑거 플레이트에 관하여 대체로 편평한 방향으로 상기 적어도 하나의 진공 패드를 안정화하도록 구성된 안정화 구조를 포함한다.
다른 측면에 따르면, 편평한 플레이트에 관하여 진공 패드를 지지하고 안정화하는 결합된 지지 및 안정화 구조가 제공되는데, 상기 구조는 제1차원으로 상기 진공 패드를 유연하기 지지하기 위해 상기 진공 패드의 측면들에 접촉하도록 구성된 측면 탄성 부분; 제2차원으로 상기 진공 패드를 지지하기 위해 상기 진공 패드의 표면에 접촉하고 상기 측면 탄성 부분에 연결하도록 구성된 수직 탄성 부분; 및 제3차원으로 상기 진공 패드에 지지를 제공하고 상기 수직 탄성 부분과 연결되도록 구성된 안정화 부재를 포함한다.
상기 목적에 따라, 본 발명에 따르면, 성공적으로 웨이퍼들을 잡고 재료의 파손 또는 낭비 없이 웨이퍼들을 다루는 개선된 성능의 그리퍼 조립체를 제공할 수 있다.
여기서 설명된 실시예들의 더 나은 이해를 위해 또한 어떻게 결과로 수행될 수 있는지를 보다 명확하게 보여주기 위해, 단지 예시로서, 대표적인 실시예들이 도시된 첨부된 도면들을 참조할 것이다.
도 1은, 진공 그리퍼 조립체의 일 실시예의 투시도이다. 여기서 상기 진공 그리퍼 조립체는 실리콘 웨이퍼들을 잡고 있는 것으로 도시되어 있다.
도 2는, 도 1의 진공 그리퍼 조립체의 그리퍼 핑거의 저면 투시도이다.
도 3은, 도 2의 그리퍼 핑거의 상면 투시도이다.
도 4는, 도 2의 그리퍼 핑거의 진공 패드 부분의 투시도이다.
도 5는, 도 2의 그리퍼 핑거의 진공 패드 부분의 단면도이다.
도 6은, 안정화 보강재의 다른 실시예를 갖는 진공 그리퍼 조립체의 다른 실시예가 도시된 도면이다.
도 7은, 도 6의 안정화 보강재의 확대 투시도이다.
설명의 단순화 및 명확성을 위해, 적절함을 고려하여, 대응하거나 또는 유사한 요소들 또는 단계들을 지시하기 위해 도면들에서 참조부호가 반복되어 사용될 수 있다. 이에 더하여, 여기서 설명된 대표적인 실시예들의 철저한 이해를 제공하기 위해 다양한 특정 상세사항들이 발생한다. 그러나, 이러한 실시예들은 이러한 특정 상세사항들 없이도 구현될 수 있음을 당업자라면 이해할 것이다. 다른 예들에 있어서, 여기서 설명하는 실시예들을 모호하게 하지 않기 위해 잘 알려진 방법들, 절차들 및 성분들은 상세하게 설명하지 않는다. 나아가, 이 설명은 여기서 설명하는 실시예들의 범위를 한정하는 것으로 여겨져서는 안되고, 여기서 설명되는 다양한 실시예들의 구현을 설명하기 위한 것에 불과하다.
도 1은 종래의 진공 그리퍼들의 적어도 몇 가지의 문제점들을 극복하기 위한 개선된 진공 그리퍼 조립체(2)를 보여준다. 도 1에 있어서, 상기 진공 그리퍼 조립체(2)는 복수의 웨이퍼들(5)을 작고 있는 것으로 도시되어 있다. 특히, 상기 웨이퍼들(5)은 실리콘 웨이퍼들일 수 있다. 상기 진공 그리퍼 조립체(2)는 하나 또는 그 이상의 그리퍼 핑거 조립체들(7)로 구성되어 있다(이 경우에 있어서 20개가 도시되어 있으나, 적절한 수는 응용제품에 따라 선택될 수 있다). 도 1에 도시된 바와 같이, 각 그리퍼 핑거 조립체(7)는 진공을 이용해 상기 웨이퍼(5)와 접촉하고 이를 잡고 있다. 이러한 종류의 진공 그리퍼 조립체(2)는 특히 플라즈마 강화 화학 증기 증착(plasma enhanced chemical vapor deposition, PECVD) 프로세스들에서 사용되는 특화된 보트(미도시) 안에 로딩 또는 언로딩 동안, 그리핑 솔라셀 웨이퍼들에 적용된다.
도 2는 그리퍼 핑거 조립체(7)의 일 예의 저면 투시도이다. 이 경우에 있어서, 상기 그리퍼 핑거 조립체(7)는 그리퍼 핑거 플레이트(10) 및 다른 수의 진공 패드들도 고려할 수 있음에도 불구하고, 3개의 진공 패드들(15)로 구성된다. 각각의 진공 패드(15)는 유연한 호스(30)에 의해 진공 소스(미도시)에 연결되어 있다. 각각의 진공 패드(15)는 지지 시스템(20)에 의해 상기 그리퍼 핑거 플레이트(10)에 관하여 지지된다. 도 2에 도시된 실시예에 있어서, 상기 지지 시스템(20)은 상기 그리퍼 핑거 플레이트(10)에 상기 진공 패드(15)를 지지하고 부착하는 4개의 장력 스프링들을 포함한다. 다른 지지 시스템들(20)이 가능함은 물론이다. 상기 지지 시스템(20)은 상기 X, Y, 및 Z 방향들로(즉, 3차원으로) 상기 진공 패드(15)의 약간의 이동 또는 회전을 허용하도록 구성된다.
도 3은, 상기 그리퍼 핑거 조립체(7)의 상면 투시도이다. 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 진공 패드(15)는 상기 웨이퍼(5)를 잡기 위해 감소된 압력(진공)이 적용되는 진공 개구부(35)를 포함한다.
종래 진공 그리퍼들을 연구하다 보면 이전에 인식되지 않았던 문제들을 확인할 수 있다. 업계에는 인식되지 않았지만, 종래 진공 그리퍼들이 가진 문제점들 중 하나는, 작동시, 진공 소스와 진공 패드 사이에 연결된 유연한 튜브 또는 호스가 종종 다른 부품 또는 상기 진공 그리퍼 조립체의 움직임에 의해 움직이거나 흔들리므로, 진공 패드는 정지 상태일 때(즉, 웨이퍼를 잡으려는 시도를 하지 않을 때)의 대체로 편평한 위치에 그대로 남아 있지 않게 된다. 이러한 상황은 진공 그리퍼가 부적절하게 웨이퍼를 잡도록 야기시키거나, 또는 어떤 경우들에 있어서는, 진공 그리퍼가 웨이퍼에 인접하게 삽입될 때 해당 웨이퍼의 파손이 야기될 수 있다.
이러한 문제점의 확인 후, 상기 진공 패드(15)에 있어서는 상기 진공 그리퍼 조립체(2)가 웨이퍼(5)를 잡고 있지 않을 때 상기 그리퍼 핑거 플레이트(10)에 관하여 실질적으로 편평한 방향으로 있거나 복귀되는 것에 중요하다고 판단되었다. 상기 진공 패드(15)는 상기 웨이퍼(5)를 효과적이고 효율적으로 잡도록 하기 위해 상기 웨이퍼(5)에 부드럽고 정확하게 접촉할 수 있는 그리핑 상태에 있을 때, 여전히 X, Y, 및 Z 방향들로 움직일 수 있는 것이 필요하다. 상기 진공 패드(15)가 정지 상태에 있을 때 상기 그리퍼 핑거 플레이트(10)에 실질적으로 편평한 방향으로 있도록 보장하기 위해, 안정화 구조(25)가 상기 진공 패드(15)에 바이어스력(biasing force)을 적용하기 위해 사용될 수 있다. 적절한 재료와 힘 프로파일을 선택함으로써, 상기 안정화 구조(25)는 상기 X, Y, 및 Z 방향들로 약간의 움직임을 허용하지만, 상기 진공 패드(15)를 안정화하고, 정지 상태에서 상기 그리퍼 핑거 플레이트에 관하여 대체적으로 편평한 위치에 계속 남도록 허용하도록 구성될 수 있다. 특히, 상기 안정화시키는 힘은 일반적으로 상기 그리퍼 핑거 플레이트(10) 또는 상기 호스(30)의 움직임 또는 흔들림에 의해 상기 진공 패드(15) 상에 배치되는 힘들을 극복하기에 충분해야 한다.
도 4는 상기 지지 시스템(장력 스프링들)(20)과 함께, 3개의 진공 패드들(15), 및 상기 안정화 구조(25)를 포함하는, 상기 그리퍼 핑거 조립체(7) 끝단의 보다 상세한 상세도이다. 도 4의 실시예에 있어서, 상기 안정화 구조(25)는 상기 그리퍼 핑거 플레이트(10)에 연결되고 상기 진공 패드(15)에 접촉하는 안정화 보강재이다. 상기 안정화 보강재(25)는 상기 진공 패드가 정지 상태에 있고 상기 진공이 적용되지 않을 때, 예를 들어 웨이퍼가 존재하지 않을 때 상기 플레이트(10)에 관하여 실질적으로 편평한 위치에 상기 진공 패드(15)를 안정화시키는 데 충분한 바이어스력을 제공하도록 구성된다. 하지만, 상기 안정화 보강재(25)는 또한 상기 웨이퍼(5)를 잡도록 하기 위해 진공이 적용될 때 상기 진공 패드(15)가 상기 X, Y, 및 Z 방향들로 유연하게 움직일 수 있도록 구성된다. 이 특정 실시예에 있어서, 상기 안정화 보강재(25)는 상기 그리퍼 핑거 플레이트(10)에 관하여 상기 진공 패드(15)를 안정화하기 위해 2차원 평면으로 나타나는 접촉점을 가지고 상기 진공 패드(15)에 접촉하는 상기 핑거 그리퍼 플레이트(10)로부터 연장된 겹판 스프링이다. 이러한 배치로, 상기 안정화 보강재(25)는 3차원으로 상기 진공 패드(15)를 안정화하도록 배치된다.
도 5는 상기 진공 개구부(35)와 소통하는 상기 진공 호스(30)가 도시되어 있는, 상기 그리퍼 핑거 조립체(7) 및 진공 패드(15)의 단면도이다. 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 진공 패드(15)는 상기 안정화 보강재(25)가 상기 진공 패드를 누를 수 있도록 하는 기준 평면을 제공하기 위해 상기 진공 핑거 플레이트(10)에 제공되는 플레이트 플랜지(65)에 인접하는 패드 플랜지(60)를 포함한다. 어떤 경우들에 있어서, 상호작용하는 상기 패드 플랜지(60) 및 상기 플레이트 플랜지(65)는 상기 핑거 그리퍼 플레이트(10)에 관하여 편평한 방향으로 상기 진공 패드(15)를 유지하도록 도와줄 수 있다는 점에서 상기 안정화 구조(25)의 요소들로 간주될 수 있다.
도 4 및 도 5의 상기 그리퍼 핑거 조립체(7)는, 그리퍼 핑거 조립체(7)의 예일 뿐이고, 그리퍼 핑거 조립체(7)는 서로 다른 형상 또는 배치를 가질 수 있고, 상기 그리퍼 핑거 조립체(7)가 사용되는 특정 응용제품의 필요에 따라 하나 또는 그 이상의 진공 패드들(15)를 가질 수 있음은 물론이다. 도 4 및 도 5가 하나의 안정화 보강재(25)에 의해 형성된 안정화 구조(25)를 갖는 진공 패드(15)를 도시하고 있지만, 상기 안정화 구조(25)는 상기 진공 패드(15)의 일 측에, 또는 동일 측에 부착되는 것이 가능한, 상기 진공 그리퍼 핑거 조립체(7)에 제공되는 복수의 안정화 보강재들(미도시)를 포함할 수 있음은 물론이다. 상기 진공 패드(15)에 관하여 상기 안정화 구조(25)의 위치는 상기 진공 호스(30)가 상기 진공 패드(15)에 진입하는 위치에 관하여 변경될 수 있다. 이와 유사하게, 상기 패드 플랜지(60) 및 상기 플레이트 플랜지(65)는 서로 다른 형상들 또는 구성들로 형성되고, 상기 안정화 보강재(25)의 바이어스가 지지될 수 있는 맞물림 표면(meshing surface)을 제공하는 기능도 유지할 수 있다. 본 실시예들에 대한 지식이 있다면, 이러한 변형들은 본 출원서의 범위 안에서 당업자에 의해 일반적으로 이해될 것이다.
안정화 구조의 사용은 성공적으로 웨이퍼들을 잡고 재료의 파손 또는 낭비 없이 웨이퍼들을 다루는 상기 그리퍼의 능력에 있어서 상당한 개선을 제공할 것으로 기대된다.
결합된 지지 및 안정화 구조(70)를 사용하는 상기 그리퍼 핑거 플레이트(10)의 다른 실시예는, 도 6에 도시되어 있다. 도 7은 도 6의 상기 결합된 지지 및 안정화 구조(70)의 확대도이다. 이 실시예에 있어서, 상기 결합된 지지 및 안정화 구조(70)는 안정화 구조(40) 및 지지 시스템(42)을 포함한다. 특히, 상기 안정화 구조(40)는 측면 탄성 부분(side compliance portion, 45) 및 수직 탄성 부분(normal compliance portion, 50)이 결합된 안정화 보강재(40)이다. 이 실시예에 있어서, 상기 측면 탄성 부분(45) 및 상기 수직 탄성 부분(50)은 일반적으로 상기 장력 스프링들(20)의 기능을 대체하기 위한 것이다. 상기 측면 탄성 부분(45)은 상기 진공 패드(15)의 측면들 주위에 잘 맞도록 구성되어 있고, 상기 수직 탄성 부분(50)은 상기 진공 패드(15)의 일 면, 이 경우에 있어서는 뒷면 주위에 잘 맞도록 구성되어 있다. 여기서, 상기 측면 탄성 부분(45) 및 상기 수직 탄성 부분(50)은 또한 겹판 스프링들로 형성된다. 상기 결합된 지지 및 안정화 구조(70)의 이러한 구성은 상기 진공 패드의 X, Y, 및 Z 움직임들이 상기 다양한 겹판 스프링들에 의해 제어되도록 허용하지만, 상기 그리퍼 핑거 플레이트(10)에 관하여 편평한 방향으로 복귀하도록 바이어스된다.상기 복수축 결합된 지지 및 안정화 구조(70)의 이 실시예는 상기 장력 스프링들(20)을 부착/해제할 필요가 없어 진공 패드들(15)이 보다 용이하게 교체가능하기 때문에, 보다 용이한 진공 그리퍼 유지보수 및 조립 시간을 제공하기 위한 것이다.
상기 실시예들을 이해하기만 하면, 당업자에게는 상기 진공 패드에 필요한 안정화를 제공하기 위해 다양한 형태의 안정화 구조들 또는 다른 장치들이 명백할 것이고, 그 모든 것들은 본 출원에 포함되는 것이다.
본 출원의 개념을 벗어나지 않으면서, 다양한 다른 변형들이 여기서 설명된 대표적인 실시예들에 수행될 수 있음은 물론이다. 상기의 실시예들에 의해 개시된 내용에 기초한 다른 실시예들은 당업자에게 명백함은 물론이다. 특히, 실시예들은 디스크 형상의 진공 패드들을 갖는 진공 그리퍼들로 설명되었지만, 이러한 실시예들은 다른 형상의 진공 패드들 등에 일반적으로 적용가능함은 물론이다.
2 : 진공 그리퍼 조립체 5 : 웨이퍼 7 : 그리퍼 핑거 조립체
10 : 그리퍼 핑거 플레이트 15 : 진공패드 20 : 지지 시스템
25 : 안정화 구조 30 : 호스 35 : 진공 개구부

Claims (16)

  1. 물체를 잡기 위한 진공 그리퍼 조립체에 있어서,
    편평한 플레이트를 포함하는 그리퍼 핑거;
    진공 패드;
    상기 그리퍼 핑거에 관하여 상기 진공 패드를 지지하는 지지 시스템; 및
    상기 진공 그리퍼 조립체가 상기 물체를 잡지 않고 있을 때 상기 그리퍼 핑거의 상기 편평한 플레이트에 관하여 대체로 편평한 방향으로 상기 적어도 하나의 진공 패드를 안정화하도록 구성된 안정화 구조를 포함하는 진공 그리퍼 조립체.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 안정화 구조는 적어도 2차원으로 안정화하도록 구성된 진공 그리퍼 조립체.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 안정화 구조는 평면으로 상기 진공 패드와 접촉하도록 구성된 안정화 보강재인 진공 그리퍼 조립체.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 안정화 보강재는 겹판 스프링인 진공 그리퍼 조립체.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 지지 시스템은 상기 진공 패드를 상기 편평한 플레이트에 연결하는 복수의 장력 스프링들인 진공 그리퍼 조립체.
  6. 제1항에 있어서,
    진공 소스를 상기 진공 패드에 연결하는 호스를 더 포함하고, 상기 안정화 구조는 상기 진공 그리퍼 조립체가 물체를 잡고 있지 않을 때 상기 호스의 위치에 의하여 상기 진공 패드에 가해지는 힘들에 대하여 상기 진공 패드를 안정화시키는 데 충분한 힘을 제공하도록 구성된 진공 그리퍼 조립체.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 지지 시스템 및 상기 안정화 구조는 결합된 시스템을 포함하는 진공 그리퍼 조립체.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 지지 시스템은 상기 안정화 구조를 통해 상기 진공 패드를 상기 편평한 플레이트에 연결하는 측면 탄성 부분 및 수직 탄성 부분을 포함하는 진공 그리퍼 조립체.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 측면 탄성 부분, 상기 수직 탄성 부분 및 상기 안정화 구조는 복수의 겹판 스프링들을 포함하는 진공 그리퍼 조립체.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 안정화 구조는 잡고 있을 때 상기 X, Y, 및 Z 방향들로의 이동을 허용하도록 구성되고 잡고 있지 않을 때 미리 설정된 위치로 복귀하도록 바이어스된 진공 그리퍼 조립체.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 안정화 구조는 상기 진공 패드 상에 상기 편평한 플레이트로부터 연장된 플랜지에 인접하도록 구성된 패드 플랜지를 더 포함하는 진공 그리퍼 조립체.
  12. 물체를 잡기 위한 진공 그리퍼 조립체에 있어서,
    진공 그리퍼 핑거 플레이트;
    지지 시스템에 의해 상기 진공 그리퍼 핑거 플레이트에 부착된 적어도 하나의 진공 패드. 상기 지지 시스템은 측면 탄성 부분 및 수직 탄성 부분을 포함한다;
    진공 소스를 상기 적어도 하나의 진공 패드에 연결하는 호스; 및
    상기 진공 그리퍼 조립체가 상기 물체를 잡지 않고 있을 때 상기 진공 그리퍼 핑거 플레이트에 관하여 대체로 편평한 방향으로 상기 적어도 하나의 진공 패드를 안정화하도록 구성된 안정화 구조를 포함하는 진공 그리퍼 조립체.
  13. 제13항에 있어서,
    상기 지지 시스템 및 상기 안정화 구조는 결합된 시스템을 포함하는 진공 그리퍼 조립체.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 진공 패드는 상기 진공 그리퍼 핑거 플레이트로부터 연장된 플랜지에 인접하도록 구성된 패드 플랜지를 더 포함하는 진공 그리퍼 조립체.
  15. 물체를 잡기 위한 진공 그리퍼 핑거 조립체에 있어서,
    진공 그리퍼 핑거 플레이트;
    상기 진공 그리퍼 핑거 플레이트에 유연하게 연결된 적어도 하나의 진공 패드; 및
    상기 진공 그리퍼 핑거 조립체가 상기 물체를 잡지 않고 있을 때 상기 진공 그리퍼 핑거 플레이트에 관하여 대체로 편평한 방향으로 상기 적어도 하나의 진공 패드를 안정화하도록 구성된 안정화 구조를 포함하는 진공 그리퍼 핑거 조립체.
  16. 편평한 플레이트에 관하여 진공 패드를 지지하고 안정화하는 결합된 지지 및 안정화 구조에 있어서,
    제1차원으로 상기 진공 패드를 유연하기 지지하기 위해 상기 진공 패드의 측면들에 접촉하도록 구성된 측면 탄성 부분;
    제2차원으로 상기 진공 패드를 지지하기 위해 상기 진공 패드의 표면에 접촉하고 상기 측면 탄성 부분에 연결하도록 구성된 수직 탄성 부분; 및
    제3차원으로 상기 진공 패드에 지지를 제공하고 상기 수직 탄성 부분과 연결되도록 구성된 안정화 부재를 포함하는 결합된 지지 및 안정화 구조.
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