KR20110133191A

KR20110133191A - 도금 장치

Info

Publication number: KR20110133191A
Application number: KR1020100052790A
Authority: KR
Inventors: 강대경
Original assignee: 삼성전기주식회사
Priority date: 2010-06-04
Filing date: 2010-06-04
Publication date: 2011-12-12

Abstract

본 발명은 도금 장치에 관한 것으로, 본 발명에 따른 도금 장치는 도금액이 채워지는 도금조 및 도금조 내 상기 도금액에 복수의 기판들을 수직하게 세워서 침지시키고 기판들의 면들이 동일 평면 상에 놓여지게 지지하는 음극 구조체를 포함하되, 음극 구조체는 상기 기판들의 상하부 가장자리로부터 이격되며 상하부 가장자리에 평행하게 배치된 수평 프레임, 수평 프레임의 양끝단을 지지하며 상하 수직하게 배치된 수직 프레임, 그리고 기판들 중 최외곽 기판들의 측부 가장자리에 대향되도록 수평 프레임 및 상기 수직 프레임 중 어느 하나에 결합된 제1 보조음극 프레임을 포함한다.

Description

도금 장치{plating apparatus}

본 발명은 도금 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 도금 대상물 전반에 균일한 두께의 도금막을 형성하는 도금 장치에 관한 것이다.

일반적으로 도금 공정은 소정의 도금 대상물에 원하는 두께 및 물질의 도금막을 형성하는 기술이다. 일 예로서, 인쇄회로기판(Printed Circuit Board:PCB)과 같은 회로 기판을 제조하는 공정은 상기 회로 기판의 기초가 되는 박판 상에 회로 배선으로 사용되는 동도금막을 형성하는 도금 공정을 포함한다. 상기 도금 공정을 수행하는 장치는 도금액이 수용된 도금조, 도금조 내에 구비되는 음극과 양극, 그리고 회로 기판을 지지하기 위한 지지체로 구성된다. 여기서, 상기 음극은 상기 지지체를 대신하여, 상기 기판을 지지하는 지지체로 사용될 수 있다.

그러나, 상기와 같은 구조의 도금 장치로 도금 공정을 수행하면, 회로 기판의 영역별로 불균일한 두께의 도금막이 형성될 수 있다. 보다 구체적으로, 최근 도금 공정의 처리량 증가를 위해, 한번의 도금 공정시 복수의 회로 기판들을 동시에 도금하는 기술이 널리 사용된다. 이에 따라, 상기 도금 공정시 상기 도금조 내에는 상기 회로 기판들은 상하 수직하게 배치됨과 더불어, 복수개가 일렬로 평행하게 배치된 상태에서 도금 공정이 수행될 수 있다. 이를 위해, 상기 음극은 복수의 회로 기판들을 그 면들이 동일 평면 상에 위치되도록 일렬 배치시켜 지지하도록 구성될 수 있다. 그러나, 이 경우 상기 도금 공정시 상기 회로 기판들 중 상대적으로 최외곽에 배치되는 회로 기판들에 전류가 집중되는 것을 피할 수 없다. 따라서, 상기 전류가 집중되는 상기 최외곽 회로 기판들에는 다른 회로 기판들에 비해, 두꺼운 두께의 도금막이 형성되는 문제점이 발생된다.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 도금 대상물에 균일한 도금막을 형성하는 도금 장치를 제공하는 것에 있다.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 도금 공정시 도금 대상물의 특정 영역에 전류가 집중되는 것을 방지하는 도금 장치를 제공하는 것에 있다.

본 발명에 따른 도금 장치는 도금액이 채워지는 도금조 및 상기 도금조 내 상기 도금액에 복수의 기판들을 수직하게 세워서 침지시키는, 그리고 상기 기판들의 면들이 동일 평면 상에 놓여지게 지지하는 음극 구조체를 포함하되, 상기 음극 구조체는 상기 기판들의 상하부 가장자리로부터 이격되며, 상기 상하부 가장자리에 평행하게 배치된 수평 프레임, 상기 수평 프레임의 양끝단을 지지하며, 상하 수직하게 배치된 수직 프레임, 그리고 상기 기판들 중 최외곽 기판들의 측부 가장자리에 대향되도록, 상기 수평 프레임 및 상기 수직 프레임 중 어느 하나에 결합된 제1 보조음극 프레임을 포함한다.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 음극 구조체는 상기 수평 프레임을 따라 배치되어, 상기 기판들의 모서리 부분을 클램핑하는 기판 클램프들 및 상기 보조음극 프레임을 클램핑하는 보조음극 클램프들을 포함하되, 상기 보조음극 클램프들은 상기 기판 클램프들을 사이에 두고 상기 기판 클램프들로부터 이격되어 배치되고, 상기 보조음극 프레임은 상기 보조음극 클램프들로부터 상하 방향으로 연장된 제1 로드, 상기 제1 로드로부터 상기 기판을 향해 수평 방향으로 연장된 제2 로드, 그리고 상기 제2 로드로부터 상기 상하 방향으로 연장되며, 상기 기판들 중 최외곽 기판의 측부 가장자리에 대향되어 배치된 제3 로드를 포함할 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제3 로드와 상기 기판들 중 최외곽 기판의 측부 가장자리 간의 간격은 3mm 내지 10mm일 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제3 로드의 상기 수평 방향으로의 폭은 10mm 내지 20mm일 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제1 로드는 상기 보조음극 클램프들에 결합 및 분리가 가능하도록 구비될 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 기판 클램프들은 두 개의 상기 기판들의 인접한 모서리 부분들을 함께 지지할 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 음극 구조체는 상기 기판들의 상하부 가장자리에 대향되도록, 상기 수평 프레임에 결합되는 제2 보조음극 프레임을 더 포함할 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제2 보조음극 프레임은 상기 수평 프레임과 상기 기판들의 상하부 가장자리 사이에서, 상기 기판들의 상하부 가장자리에 평행하게 배치될 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 음극 구조체는 상기 수평 프레임을 따라 배치되어, 상기 기판들의 모서리 부분을 클램핑하는 기판 클램프들을 포함하되, 상기 제2 보조음극 프레임은 상기 기판 클램프들에 결합 및 분리가 가능하게 구비될 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 수평 프레임은 상기 기판들의 상부 가장자리로부터 이격된 상부 프레임 및 상기 기판들의 하부 가장자리로부터 이격된 하부 프레임을 포함하고, 상기 수직 프레임은 상기 기판들 중 가장 좌측에 배치된 기판의 좌측 가장자리에 대향되는 좌측 프레임 및 상기 기판들 중 가장 우측에 배치된 기판의 우측 가장자리에 대향되는 우측 프레임을 포함하되, 상기 상부 프레임, 상기 하부 프레임, 상기 좌측 프레임, 그리고 상기 우측 프레임은 상기 기판들로 이루어진 전체 기판 구조의 테두리를 감싸는 사각 틀 형상을 가질 수 있다.

본 발명에 따른 도금 장치는 도금액이 채워지는 도금조 및 상기 도금조 내 상기 도금액에 복수의 기판들을 상기 기판들의 면들이 동일 평면 상에 놓여지게 지지하는 음극 구조체를 포함하고, 상기 음극 구조체는 상기 기판들의 가장자리로부터 일정 간격이 이격되어 대향되도록 배치되는 바(bar) 형상의 보조음극 프레임을 포함하되, 상기 보조음극 프레임은 상기 최외곽 기판들의 측부 가장자리에 대향되도록 배치되는 제1 보조음극 프레임 및 상기 기판들의 상하부 가장자리에 대향되도록 배치되는 제2 보조음극 프레임 중 적어도 어느 하나를 포함한다.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제1 보조음극 프레임과 상기 제2 보조음극 프레임은 상기 기판들로 이루어진 전제 기판 구조의 테두리를 감싸는 사각 틀 형상을 가질 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 음극 구조체는 상기 수평 프레임을 따라 배치되어, 상기 기판들의 모서리 부분을 클램핑하는 기판 클램프들 및 상기 보조음극 프레임을 클램핑하는 보조음극 클램프들을 포함하되, 상기 보조음극 프레임은 상기 기판 클램프들 및 상기 보조음극 클램프들 중 어느 하나에 선택적으로 결합될 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제1 보조음극 프레임은 상기 보조음극 프레임에 결합되고, 상기 제2 보조음극 프레임은 상기 기판 클램프에 결합될 수 있다.

본 발명에 따른 도금 장치는 도금조 및 상기 도금조 내에서 회로 기판들을 상하 수직하게, 또한 그 면들이 동일 평면상에 놓여지도록 일렬로 지지하는 음극 구조체를 구비하되, 상기 음극 구조체는 상기 회로 기판들 중 최외곽 회로기판들에 전류가 집중되는 것을 방지하는 보조 음극 프레임을 포함할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 도금 장치는 복수의 회로 기판들에 동시에 도금막을 형성하는 도금 공정에 있어서, 상기 회로 기판들 전반에 균일한 두께의 도금막을 형성하여, 도금 공정 효율을 향상시킬 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 도금 장치를 보여주는 도면이다.
도 2는 도 1에 도시된 A영역을 확대한 도면이다.
도 3은 도 1에 도시된 도금 장치의 일 변형예를 보여주는 도면이다.
도 4는 도 1에 도시된 도금 장치의 다른 변형예를 보여주는 도면이다.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 기술 등은 첨부되는 도면들과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있다. 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 함과 더불어, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공될 수 있다. 명세서 전문에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.

본 명세서에서 사용된 용어들은 실시예를 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 '포함한다(comprise)' 및/또는 '포함하는(comprising)'은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.

도 1은 본 발명에 따른 도금 장치를 보여주는 도면이고, 도 2는 도 1에 도시된 A영역을 확대한 도면이다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 도금 장치(100)는 도금조(110), 음극 구조체(120), 그리고 양극 구조체(미도시됨)를 포함할 수 있다. 상기 음극 구조체(120) 및 상기 양극 구조체는 도금 공정시 상기 도금조(110) 내에서 서로 대향되도록 배치되는 구성일 수 있다. 상기 양극 구조체는 상기 도금 공정을 위한 필수 구성으로서, 그 형태는 다양하게 변경 및 변형이 가능하며, 이러한 양극 구조체의 다양한 구조는 널리 알려진 것이므로, 본 실시예에서는 생략한다.

상기 도금조(110)는 내부에 도금액을 수용하는 공간을 가질 수 있다. 상기 공간은 도금 대상물에 소정의 도금막을 형성하는 도금 공정이 수행되는 공정 공간일 수 있다. 상기 도금조(110)는 개방된 상부(112)를 가지며, 상기 개방된 상부(112)는 상기 도금 대상물을 상기 공정 공간에 반입시키거나, 상기 공정 공간으로부터 반출시키는 통로로 사용될 수 있다.

한편, 상기 도금 대상물은 다양한 종류의 기판일 수 있다. 예컨대, 상기 도금 대상물은 인쇄회로기판(Printed Circuit Board:PCB)과 같은 박판 형태의 회로 기판(10)일 수 있다. 상기 회로 기판(10)은 대체로 사각 플레이트 형상을 가지며, 상하 수직하게 세워져 지지될 수 있다. 이에 따라, 상기 회로 기판(10)은 상하부 가장자리(12) 및 측부 가장자리리(14)로 이루어진 테두리를 가질 수 있다. 상기 상하부 가장자리(12)는 상부 가장자리(12a) 및 하부 가장자리(12b)를 포함하고, 상기 하부 가장자리리(14)는 좌측 가장자리(14a) 및 우측 가장자리(14b)를 포함할 수 있다. 상기 도금 대상물이 상기와 같은 회로 기판(10)은 경우, 상기 도금 공정은 상기 회로 기판(10) 상에 회로 배선으로 사용되는 동도금막을 형성하는 공정일 수 있다.

상기 음극 구조체(120)는 상기 도금 공정시 음극으로 사용되는 구성임과 더불어 상기 회로 기판(10)을 지지하는 지지체일 수 있다. 이를 위해, 상기 음극 구조체(120)는 상기 도금 공정시, 상기 회로 기판(10)을 상기 도금조 내 상기 도금액에 침지시키도록, 소정의 구동 장치(미도시됨)에 의해 구동될 수 있다.

상기 음극 구조체(120)는 상기 회로 기판(10)을 다양한 형태로 지지할 수 있다. 예컨대, 상기 음극 구조체(120)는 복수의 상기 회로 기판들(10)을 상기 회로 기판들(10) 각각의 테두리가 동일 선상에 놓여지도록, 배치시킬 수 있다. 이 경우 상기 회로 기판들(10)은 상기 도금 공정시, 상기 회로 기판들(10)의 표면들이 동일 평면 상에 놓여지도록 배치될 수 있다. 이에 더하여, 상기 회로 기판들(10)은 상기 회로 기판들(10)의 면 방향으로 복수의 회로 기판들(10)이 서로 일렬로 나란하도록 배치도리 수 있다.

상기와 같은 배치로 상기 회로 기판들(10)을 지지하기 위해, 상기 음극 구조체(120)는 상기 회로 기판들(10)의 상하부 가장자리(12)에 대향되어 대체로 수평하게 배치되는 수평 프레임(122) 및 상기 수평 프레임(122)의 양끝단을 지지하며, 대체로 상하 수직하게 배치되는 수직 프레임(124)을 포함할 수 있다.

상기 수평 프레임(122)은 상기 회로 기판들(10)을 기준으로 상부에 배치된 상부 프레임(122a) 및 하부에 배치된 하부 프레임(122b)을 포함할 수 있다. 상기 상부 프레임(122a)은 상기 상부 가장자리(12a)로부터 이격되어 배치되며, 상기 하부 프레임(122b)은 상기 하부 가장자리(12b)로부터 이격되어 배치될 수 있다. 상기 수직 프레임(124)은 상기 회로 기판들(10)을 기준으로 좌측에 배치되는 좌측 프레임(124a) 및 우측에 배치되는 우측 프레임(124b)을 포함할 수 있다. 상기와 같은 구조의 프레임들(122a, 122b, 124a, 124b)은 상기 회로 기판들(10)로 이루어진 전체 기판 구조의 테두리를 둘러싸는 사각 틀 구조를 제공할 수 있다.

여기서, 상기 수평 프레임(122)에는 상기 회로 기판들(10)의 모서리 부분을 선택적으로 클램핑(clamping)하는 기판 클램프들(122c)이 구비될 수 있다. 상기 기판 클램프들(122c)은 상기 상부 프레임(122a) 및 상기 하부 프레임(122b)을 따라 일정 간격으로 배치될 수 있다. 상기 기판 클램프들(122c) 각각은 두 개의 상기 회로 기판들(10)의 모서리 부분들을 함께 지지할 수 있도록 구성될 수 있다. 이에 따라, 두 개의 상기 회로 기판들(10)의 인접하는 모서리 부분들은 하나의 상기 기판 클램프(122c)에 의해 지지될 수 있다.

한편, 상기 음극 구조체(120)는 상기 회로 기판들(10)의 균일한 도금막 형성을 위한 보조 음극 프레임(126)을 더 포함할 수 있다. 상기 보조 음극 프레임(126)은 상기 회로 기판들(10) 중 가장 좌측에 배치되는 회로 기판(이하, '최좌측 회로기판'이라 함:10a) 및 가장 우측에 배치되는 회로 기판(이하, '최우측 회로기판'이라 함:10b)에 전류가 집중되는 것을 방지하기 위한 구성일 수 있다. 일 예로서, 상기 보조 음극 프레임(126)은 상기 회로 기판들(10)을 기준으로 양측에 각각 배치될 수 있다. 상기 회로 기판들(10)을 기준으로 좌측에 배치되는 보조 음극 프레임(126)과 우측에 배치되는 보조 음극 프레임(126)은 좌우 대칭 구조를 가질 수 있다. 여기서, 상기 보조 음극 프레임(126)은 상기 상부 프레임(122a)과 상기 하부 프레임(122b)에 각각 결합 및 분리가 가능하도록 구비될 수 있다. 이를 위해, 상기 기판 클램프들(122c)과 같은 구조의 보조음극 클램프들(122d)을 상기 수평 프레임(122)에 더 제공할 수 있다. 상기 보조음극 클램프들(122d)은 상기 기판 클램프들(122c) 중 가장 좌측 및 우측에 배치되는 기판 클램프들(122c)로부터 일정 간격이 이격되어 배치될 수 있다.

상기 보조 음극 프레임(126)은 제1 로드(126a), 제2 로드(126b), 그리고 제3 로드(126c)로 구성될 수 있다. 상기 제1 로드(126a)는 상기 보조음극 클램프들(122d)로부터 상하로 수직하게 연장된 구조를 가질 수 있다. 상기 제2 로드(126b)는 상기 제1 로드(126a)의 끝단으로부터 상기 최외곽 회로기판들(10a, 10b)을 향해 좌우로 수평하게 연장된 구조를 가질 수 있다. 그리고, 상기 제3 로드(126c)는 상기 제2 로드(126b)의 끝단으로부터 상하로 수직하게 연장된 구조를 가질 수 있다.

상기 제3 로드(126c)는 상기 최좌측 회로기판(10a)의 좌측 가장자리(14a) 및 상기 최우측 회로기판(10b)의 우측 가장자리(14b)로부터 일정 간격이 이격되도록 배치될 수 있다. 일 예로서, 상기 제3 로드(126c)는 상기 좌측 가장자리(14a) 및 상기 우측 가장자리(14b)로부터 대략 3mm 내지 10mm이내에서 이격되도록 배치될 수 있다. 상기 제3 로드(126c)가 상기 10mm 보다 더 이격되는 경우에는 상기 도금 공정시 상기 회로 기판들(10a)에 전류가 집중되는 것을 방지하는 기능이 떨어질 수 있다. 또한, 상기 제3 로드(126c)와 상기 최외곽 회로기판들(10a, 10b)의 가장자리와의 간격(D)이 가까울수록, 상기 전류 제어 효율이 향상될 수 있으나, 3mm보다 더 인접하게 상기 제3 로드(126c)가 상기 회로 기판(10a)에 인접하게 배치되면, 상기 보조 음극 프레임(126)에 의한 전류 집중을 개선하는 효과가 오히려 떨어질 수 있다. 따라서, 상기 제3 로드(126c)와 상기 최외곽 회로기판들(10a, 10b)의 가장자리와의 간격(D)은 최대한 3mm에 가깝게 유지하는 것이 바람직할 수 있다.

또한, 상기 제3 로드(126c)는 상기 수평 방향으로의 폭(W)이 대략 10mm 내지 20mm로 조절될 수 있다. 상기 제3 로드(126c)의 폭(W)이 10mm에 비해 작은 경우, 상기 도금 공정시 상기 제3 로드(126c)가 뒤틀리거나 휘어져, 상기 최외곽 회로기판들(10a, 10b)로의 전류 집중을 방지하는 기능이 저하될 수 있다. 이에 더하여, 상기 제3 로드(126c)의 폭(W)이 10mm에 비해 작은 경우, 상기 보조 음극 프레임(126)의 전류에 의한 전류 밀도 제어의 영향이 매우 적어져, 상기 최외곽 회로기판들(10a, 10b)의 가장자리에 집중되는 전류를 균일하게 하기 어려울 수도 있다. 이와 반대로, 상기 제3 로드(126c)의 폭(W)이 10mm에 비해 큰 경우, 상기 보조 음극 프레임(126)의 전류에 의한 전류 밀도 제어의 영향이 과도하게 커져, 상기 최외곽 회로기판들(10a, 10b)의 가장자리에 집중되는 전류를 균일하게 하기 어려울 수 있다.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 도금 장치(100)는 상기 회로 기판들(10)을 지지하는 음극 구조체(120)를 구비하되, 상기 음극 구조체(120)는 상기 회로 기판들(10)의 특정 부분에 전류가 집중되는 것을 방지하기 위한 보조 음극 프레임(126)을 포함할 수 있다. 특히, 상기 보조 음극 프레임(126)은 상기 회로 기판들(10)을 그 면이 동일 평면에 놓여지도록 일렬로 배치시켜 도금 공정을 수행하는 과정에서, 상기 최외곽 회로기판들(10a, 10b)에 집중되는 전류의 집중을 방지할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 도금 장치(100)는 상기 회로 기판들(10) 전반에 균일한 두께의 도금막을 형성할 수 있다.

계속해서, 본 발명의 변형예들에 대해 상세히 설명한다. 여기서, 앞서 살펴본 도금 장치(100)에 대해 중복되는 내용은 생략하거나 간소화할 수 있다.

도 3은 도 1에 도시된 도금 장치의 일 변형예를 보여주는 도면이다. 도 3을 참조하면, 일 변형예에 따른 도금 장치(100a)는 도금조(110) 및 음극 구조체(120a)를 포함하되, 상기 음극 구조체(120a)는 앞서 도 1을 참조하여 설명한 도금 장치(100)의 보조음극 프레임(126)과 달리, 상하로 수직한 바(bar) 형상의 보조음극 프레임(127)을 구비할 수 있다. 상기 보조음극 프레임(127)은 상기 최외곽 회로기판들(10a, 10b)의 측부 가장자리(14)에 대향되도록 배치될 수 있다. 여기서, 상기 보조음극 프레임(127)과 상기 최외곽 회로기판들(10a, 10b)의 측부 가장자리(14) 간의 간격(D)은 대략 3mm 내지 10mm로 조절될 수 있다. 또한, 상기 보조음극 프레임(127)의 상기 회로 기판들(10)의 면 방향으로의 폭(W)은 대체로 10mm 내지 20mm로 조절될 수 있다.

힌편, 상기 보조음극 프레임(127)은 기판 클램프들(122c) 중 상기 최외곽 회로기판들(10a, 10b)을 지지하는 기판 클램프들(122c)에 결합 및 분리가 가능하도록 구비될 수 있다. 이에 따라, 상기와 같은 구조의 음극 구조체(120a)는 도 1에 따른 음극 구조체(120)에 비해, 보조음극 클램프(도1의 122d)의 구성이 구비되지 않을 수 있다. 본 실시예에서는 상기 보조음극 프레임(127)이 상기 기판 클램프들(122c)에 구비되는 경우를 예로 들어 설명하였으나, 상기 보조음극 프레임(127)은 상기 음극 구조체(120a)의 다양한 위치에 결합될 수 있다.

상기와 같은 본 발명의 일 변형예에 따른 도금 장치(100a)는 최외곽 회로기판들(10a, 10b)을 클램핑하는 기판 클램프들(122c)에 결합 및 분리가능하도록 구비되어, 상기 최외곽 회로기판들(10a, 10b)의 측부 가장자리(14)에 대향되도록 구비되는 바(bar) 형상의 보조음극 프레임(127)을 구비할 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 일 변형예에 따른 도금 장치(100a)는 앞서 도 1을 참조하여 설명한 도금 장치(100)에 비해, 단순한 구조를 가지고, 보조음극 클램프(도1의 122d)의 구성이 필요 없을 수 있다.

도 4는 도 1에 도시된 도금 장치의 다른 변형예를 보여주는 도면이다. 도 4를 참조하면, 본 발명의 다른 변형예에 따른 도금 장치(100b)는 도금조(110) 및 음극 구조체(120b)를 포함하되, 상기 음극 구조체(120b)는 수평 프레임(122), 수직 프레임(124), 제1 보조음극 프레임(126), 그리고 제2 보조음극 프레임(128)을 포함할 수 있다. 여기서, 상기 제1 보조음극 프레임(126)은 각각 앞서 도 1을 참조하여 설명한 보조음극 프레임(126)과 동일한 구성이며, 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.

상기 제2 보조음극 프레임(128)은 상기 회로 기판들(10)의 상하부 가장자리(12)로부터 일정 간격이 이격되도록 배치될 수 있다. 여기서, 상기 제2 보조음극 프레임(128)은 상기 회로 기판들(10)로부터 3mm 내지 10mm의 간격으로 이격되도록 배치될 수 있다. 또한, 상기 제2 보조음극 프레임(128)의 상기 회로 기판들(10)의 면 방향으로의 폭(W)은 대체로 10mm 내지 20mm로 조절될 수 있다.

상기 제1 보조음극 프레임(126)은 앞서 도 1을 참조하여 설명한 바와 같이, 최외곽 회로기판들(10a, 10b)의 측부 가장자리(14)에 대향되어 상하 수직하게 배치되는 구조를 가질 수 있다. 또한, 상기 제2 보조음극 프레임(128)은 상기 회로 기판들(10)의 상하부 가장자리(12)로부터 일정 간격이 이격되어 좌우 수평하게 배치되는 구조를 가질 수 있다. 이에 따라, 상기 제1 보조음극 프레임(126)과 상기 제2 보조음극 프레임(128)은 상기 회로 기판들(10)로 이루어진 전제 기판 구조의 테두리를 감싸는 사각 틀 형상을 가질 수 있다.

한편, 상기 제2 보조음극 프레임(128)은 기판 클램프들(122c)에 결합 및 분리가 가능하도록 구비될 수 있다. 예컨대, 상기 기판 클램프들(122c)에는 상기 회로 기판들(10)의 모서리 부분을 클램핑하는 부분 이외에, 별도의 상기 제2 보조음극 프레임(128)을 클램핑하는 부분이 구비될 수 있다. 이에 따라, 상기 제2 보조음극 프레임(128)은 상기 기판 클램프들(122c)에 결합 및 분리가 가능하도록 구비될 수 있다.

상기와 같은 본 발명의 다른 변형예에 따른 도금 장치(100b)는 상기 최외곽 회로기판들(10a, 10b)의 측부 가장자리(14)에 대향되는 제1 보조음극 프레임(126) 및 상기 회로 기판들(10)의 상하부 가장자리(12)에 대향되는 제2 보조음극 프레임(128)을 포함할 수 있다. 상기 제1 보조음극 프레임(126)은 상기 최외곽 회로기판들(10a, 10b)로의 전류 집중을 방지하고, 상기 제2 보조음극 프레임(128)은 상기 회로 기판들(10)의 상하부 가장자리로의 전류 집중을 방지할 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 다른 변형예에 따른 도금 장치(100b)는 도 1을 참조하여 설명한 도금 장치(100)에 비해, 상기 최외곽 회로기판들(10a, 10b)로의 전류 집중을 방지함과 더불어, 상기 회로 기판들(10)의 상하부 가장자리(12)로의 전류 집중을 방지하여, 회로 기판들(10)에 전반에 균일한 도금막을 형성할 수 있다.

이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내고 설명하는 것에 불과하며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉, 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위 내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 전술한 실시예들은 본 발명을 실시하는데 있어 최선의 상태를 설명하기 위한 것이며, 본 발명과 같은 다른 발명을 이용하는데 당업계에 알려진 다른 상태로의 실시, 그리고 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서, 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.

10 : 회로 기판들
10a : 최좌측 회로기판
10b : 최우측 회로기판
12 : 상하부 가장자리
12a : 상부 가장자리
12b : 하부 가장자리
14 : 측부 가장자리
14a : 좌측 가장자리
14b : 우측 가장자리
100 : 도금 장치
110 : 도금조
120 : 음극 구조체
122 : 수평 프레임
122a : 상부 프레임
122b : 하부 프레임
122c : 기판 클램프들
122d : 보조음극 클램프들
124 : 수직 프레임
124a : 좌측 프레임
124b : 우측 프레임
126 : 보조음극 프레임
126a : 제1 로드
126b : 제2 로드
126c : 제3 로드

Claims

도금액이 채워지는 도금조; 및
상기 도금조 내 상기 도금액에 복수의 기판들을 수직하게 세워서 침지시키는, 그리고 상기 기판들의 면들이 동일 평면 상에 놓여지게 지지하는 음극 구조체를 포함하되,
상기 음극 구조체는:
상기 기판들의 상하부 가장자리로부터 이격되며, 상기 상하부 가장자리에 평행하게 배치된 수평 프레임;
상기 수평 프레임의 양끝단을 지지하며, 상하 수직하게 배치된 수직 프레임; 및
상기 기판들 중 최외곽 기판들의 측부 가장자리에 대향되도록, 상기 수평 프레임 및 상기 수직 프레임 중 어느 하나에 결합된 제1 보조음극 프레임을 포함하는 도금 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 음극 구조체는:
상기 수평 프레임을 따라 배치되어, 상기 기판들의 모서리 부분을 클램핑하는 기판 클램프들; 및
상기 보조음극 프레임을 클램핑하는 보조음극 클램프들을 포함하되,
상기 보조음극 클램프들은 상기 기판 클램프들을 사이에 두고 상기 기판 클램프들로부터 이격되어 배치되고,
상기 보조음극 프레임은:
상기 보조음극 클램프들로부터 상하 방향으로 연장된 제1 로드;
상기 제1 로드로부터 상기 기판을 향해 수평 방향으로 연장된 제2 로드; 및
상기 제2 로드로부터 상기 상하 방향으로 연장되며, 상기 기판들 중 최외곽 기판의 측부 가장자리에 대향되어 배치된 제3 로드를 포함하는 도금 장치.
제 2 항에 있어서,
상기 제3 로드와 상기 기판들 중 최외곽 기판의 측부 가장자리 간의 간격은 3mm 내지 10mm인 도금 장치.
제 2 항에 있어서,
상기 제3 로드의 상기 수평 방향으로의 폭은 10mm 내지 20mm인 도금 장치.
제 2 항에 있어서,
상기 제1 로드는 상기 보조음극 클램프들에 결합 및 분리가 가능하도록 구비되는 도금 장치.
제 2 항에 있어서,
상기 기판 클램프들은 두 개의 상기 기판들의 인접한 모서리 부분들을 함께 지지하는 도금 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 음극 구조체는 상기 기판들의 상하부 가장자리에 대향되도록, 상기 수평 프레임에 결합되는 제2 보조음극 프레임을 더 포함하는 도금 장치.
제 7 항에 있어서,
상기 제2 보조음극 프레임은 상기 수평 프레임과 상기 기판들의 상하부 가장자리 사이에서, 상기 기판들의 상하부 가장자리에 평행하게 배치되는 도금 장치.
제 7 항에 있어서,
상기 음극 구조체는 상기 수평 프레임을 따라 배치되어, 상기 기판들의 모서리 부분을 클램핑하는 기판 클램프들을 포함하되,
상기 제2 보조음극 프레임은 상기 기판 클램프들에 결합 및 분리가 가능하게 구비되는 도금 장치.
제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 수평 프레임은:
상기 기판들의 상부 가장자리로부터 이격된 상부 프레임; 및
상기 기판들의 하부 가장자리로부터 이격된 하부 프레임을 포함하고,
상기 수직 프레임은:
상기 기판들 중 가장 좌측에 배치된 기판의 좌측 가장자리에 대향되는 좌측 프레임; 및
상기 기판들 중 가장 우측에 배치된 기판의 우측 가장자리에 대향되는 우측 프레임을 포함하되,
상기 상부 프레임, 상기 하부 프레임, 상기 좌측 프레임, 그리고 상기 우측 프레임은 상기 기판들로 이루어진 전체 기판 구조의 테두리를 감싸는 사각 틀 형상을 갖는 도금 장치.
도금액이 채워지는 도금조; 및
상기 도금조 내 상기 도금액에 복수의 기판들을 상기 기판들의 면들이 동일 평면 상에 놓여지게 지지하는 음극 구조체를 포함하고,
상기 음극 구조체는 상기 기판들의 가장자리로부터 일정 간격이 이격되어 대향되도록 배치되는 바(bar) 형상의 보조음극 프레임을 포함하되,
상기 보조음극 프레임은 상기 최외곽 기판들의 측부 가장자리에 대향되도록 배치되는 제1 보조음극 프레임 및 상기 기판들의 상하부 가장자리에 대향되도록 배치되는 제2 보조음극 프레임 중 적어도 어느 하나를 포함하는 도금 장치.
제 11 항에 있어서,
상기 제1 보조음극 프레임과 상기 제2 보조음극 프레임은 상기 기판들로 이루어진 전제 기판 구조의 테두리를 감싸는 사각 틀 형상을 갖는 도금 장치.
제 11 항에 있어서,
상기 음극 구조체는 상기 수평 프레임을 따라 배치되어, 상기 기판들의 모서리 부분을 클램핑하는 기판 클램프들 및 상기 보조음극 프레임을 클램핑하는 보조음극 클램프들을 포함하되,
상기 보조음극 프레임은 상기 기판 클램프들 및 상기 보조음극 클램프들 중 어느 하나에 선택적으로 결합되는 도금 장치.
제 13 항에 있어서,
상기 제1 보조음극 프레임은 상기 보조음극 프레임에 결합되고,
상기 제2 보조음극 프레임은 상기 기판 클램프에 결합되는 도금 장치.