JP2019014955A - レギュレーションプレート、アノードホルダ、及び基板ホルダ - Google Patents

レギュレーションプレート、アノードホルダ、及び基板ホルダ Download PDF

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Abstract

【課題】形基板へのめっき膜厚を部分的又は局所的に制御する。
【解決手段】アノードと角形基板との間の電流を調整するためのレギュレーションプレートが提供される。このレギュレーションプレートは、電流が通過する角形開口を形成する縁部を有する本体部と、角形開口の少なくとも一部を遮蔽するための着脱可能な遮蔽部材と、を有する。
【選択図】図６

Description

本発明は、レギュレーションプレート、アノードホルダ、及び基板ホルダに関する。
従来、半導体ウェハやプリント基板等の基板の表面に配線やバンプ（突起状電極）等を形成したりすることが行われている。この配線及びバンプ等を形成する方法として、電解めっき法が知られている。
電解めっき法に用いるめっき装置では、一般的には例えば３００ｍｍの直径を有するウェハ等の円形基板にめっき処理を行っている。しかしながら、近年の半導体市場では、費用対効果の観点から、このような円形基板に限らず、角形基板の需要が増加しており、角形基板にめっき等をすることが求められている。角形基板にめっきするめっき装置は、例えば特許文献１に開示されている。
特開２０１７−０４３８１５号公報
円形基板へのめっきは、一般的に基板表面に均一な膜厚のめっき膜を形成することが求められる。一方で、角形基板では、角形基板上に設けられる配線パターン等が一様ではなく、パターン密度又はパターン形状が場所によって異なる場合があり得る。この場合、角形基板へのめっきにおいては、円形基板へのめっきと異なり、角形基板上の所定部分のみめっき膜厚を厚く又は薄くしたりする必要がある。したがって、角形基板へのめっきにおいては、基板の面内で部分的又は局所的にめっきの膜厚を意図的に制御できることが好ましい。
本発明は上記問題に鑑みてなされたものである。その目的の一つは、角形基板へのめっき膜厚を部分的又は局所的に制御することである。
本発明の一形態によれば、アノードと角形基板との間の電流を調整するためのレギュレーションプレートが提供される。このレギュレーションプレートは、電流が通過する角形開口を形成する縁部を有する本体部と、前記角形開口の少なくとも一部を遮蔽するための着脱可能な遮蔽部材と、を有する。
本発明の他の一形態によれば、アノードを保持するように構成されたアノードホルダが提供される。このアノードホルダは、前記アノードを保持するホルダ本体部と、前記ホルダ本体部に取り付けられ、角形開口を有し、前記アノードの周辺部を遮蔽するアノードマスクと、前記角形開口の少なくとも一部を遮蔽するための着脱可能な遮蔽部材と、を有する。
本発明の他の一形態によれば、角形基板を保持するための基板ホルダが提供される。この基板ホルダは、保持した前記角形基板を露出させるための角形開口を形成する縁部を有するホルダ本体部と、前記角形開口の少なくとも一部を遮蔽するための着脱可能な遮蔽部材と、を有する。
本実施形態に係るめっき装置の全体配置図である。 図１に示した処理部のめっき槽及びオーバーフロー槽を示す概略縦断正面図である。 レギュレーションプレートの概略斜視図である。 アノードホルダの概略平面図である。 基板ホルダの概略平面図である。 本実施形態に係る遮蔽部材を取り付けたレギュレーションプレート、アノードホルダ、及び基板ホルダを収納しためっき槽の概略断面図である。 レギュレーションプレート、アノードホルダ、及び基板ホルダに取り付けることができる遮蔽部材の例を示す概略平面図である。 レギュレーションプレート、アノードホルダ、及び基板ホルダに取り付けることができる遮蔽部材の例を示す概略平面図である。 レギュレーションプレート、アノードホルダ、及び基板ホルダに取り付けることができる遮蔽部材の例を示す概略平面図である。 レギュレーションプレート、アノードホルダ、及び基板ホルダに取り付けることができる遮蔽部材の例を示す概略平面図である。 レギュレーションプレート、アノードホルダ、及び基板ホルダに取り付けることができる遮蔽部材の例を示す概略平面図である。 レギュレーションプレート、アノードホルダ、及び基板ホルダに取り付けることができる遮蔽部材の例を示す概略平面図である。 遮蔽部材の他の例を示す概略平面図である。 遮蔽部材の他の例を示す概略平面図である。 遮蔽部材の他の例を示す概略平面図である。 遮蔽部材の他の例を示す概略平面図である。 図８Ａの遮蔽部材をレギュレーションプレートに取り付けた場合の、角形基板に形成されるめっき膜の膜厚分布の例を示す。 図８Ｂの遮蔽部材をレギュレーションプレートに取り付けた場合の、角形基板に形成されるめっき膜の膜厚分布の例を示す。 図８Ｃの遮蔽部材をレギュレーションプレートに取り付けた場合の、角形基板に形成されるめっき膜の膜厚分布の例を示す。 図８Ｄの遮蔽部材をレギュレーションプレートに取り付けた場合の、角形基板に形成されるめっき膜の膜厚分布の例を示す。
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。以下で説明する図面において、同一の又は相当する構成要素には、同一の符号を付して重複した説明を省略する。図１は、本実施形態に係るめっき装置の全体配置図である。図１に示すように、このめっき装置１００は、基板ホルダに角形基板をロードし、又は基板ホルダから角形基板をアンロードするロード／アンロード部１０１と、角形基板を処理する処理部１０２と、洗浄部１２０とに大きく分けられる。処理部１０２は、さらに、角形基板の前処理及び後処理を行う前処理・後処理部１０２Ａと、角形基板にめっき処理を行うめっき処理部１０２Ｂとを含む。めっき装置１００のロード／アンロード部１０１と処理部１０２と、洗浄部１２０とは、それぞれ別々のフレーム（筐体）で囲まれている。
ロード／アンロード部１０１は、２台のカセットテーブル１２５と、基板脱着機構１２９とを有する。カセットテーブル１２５は、角形基板を収納したカセット１２５ａを搭載する。基板脱着機構１２９は、角形基板を図示しない基板ホルダに着脱するように構成される。また、基板脱着機構１２９の近傍（例えば下方）には基板ホルダを収容するためのストッカ１３０が設けられる。これらのユニット１２５，１２９，１３０の中央には、こ
れらのユニット間で角形基板を搬送する搬送用ロボットからなる基板搬送装置１２７が配置されている。基板搬送装置１２７は、走行機構１２８により走行可能に構成される。
洗浄部１２０は、めっき処理後の角形基板を洗浄して乾燥させる洗浄装置１２０ａを有する。基板搬送装置１２７は、めっき処理後の角形基板を洗浄装置１２０ａに搬送し、洗浄及び乾燥された角形基板を洗浄装置１２０ａから取り出すように構成される。
前処理・後処理部１０２Ａは、プリウェット槽１３２と、プリソーク槽１３３と、プリリンス槽１３４と、ブロー槽１３５と、リンス槽１３６と、を有する。プリウェット槽１３２では、角形基板が純水に浸漬される。プリソーク槽１３３では、角形基板の表面に形成したシード層等の導電層の表面の酸化膜がエッチング除去される。プリリンス槽１３４では、プリソーク後の角形基板が基板ホルダと共に洗浄液（純水等）で洗浄される。ブロー槽１３５では、洗浄後の角形基板の液切りが行われる。リンス槽１３６では、めっき後の角形基板が基板ホルダと共に洗浄液で洗浄される。プリウェット槽１３２、プリソーク槽１３３、プリリンス槽１３４、ブロー槽１３５、リンス槽１３６は、この順に配置されている。
めっき処理部１０２Ｂは、オーバーフロー槽１３８を備えた複数のめっき槽１３９を有する。各めっき槽１３９は、内部に一つの角形基板を収納し、内部に保持しためっき液中に角形基板を浸漬させて角形基板の表面に銅めっき等のめっきを行う。ここで、めっき液の種類は、特に限られることはなく、用途に応じて様々なめっき液が用いられる。
めっき装置１００は、これらの各機器の側方に位置して、これらの各機器の間で基板ホルダを角形基板とともに搬送する、例えばリニアモータ方式を採用した基板ホルダ搬送装置１３７を有する。この基板ホルダ搬送装置１３７は、基板脱着機構１２９、プリウェット槽１３２、プリソーク槽１３３、プリリンス槽１３４、ブロー槽１３５、リンス槽１３６、及びめっき槽１３９との間で基板ホルダを搬送するように構成される。
図２は、図１に示しためっき処理部１０２Ｂのめっき槽１３９及びオーバーフロー槽１３８を示す概略縦断正面図である。図２に示すように、めっき槽１３９は、内部にめっき液Ｑを保持する。オーバーフロー槽１３８は、めっき槽１３９の縁から溢れ出ためっき液Ｑを受け止めるようにめっき槽１３９の外周に備えられている。オーバーフロー槽１３８の底部には、ポンプＰを備えためっき液供給路１４０の一端が接続される。めっき液供給路１４０の他端は、めっき槽１３９の底部に設けられためっき液供給口１４３に接続されている。これにより、オーバーフロー槽１３８内に溜まっためっき液Ｑは、ポンプＰの駆動に伴ってめっき槽１３９内に戻される。めっき液供給路１４０には、ポンプＰの下流側に、めっき液Ｑの温度を調節する恒温ユニット１４１と、めっき液内の異物を除去するフィルタ１４２が設けられている。
めっき槽１３９には、角形基板Ｓ１を保持した基板ホルダ１１が収納される。基板ホルダ１１は、角形基板Ｓ１が鉛直状態でめっき液Ｑに浸漬されるように、めっき槽１３９内に配置される。めっき槽１３９内の角形基板Ｓ１に対向する位置には、アノードホルダ６０に保持されたアノード６２が配置される。アノード６２としては、例えば、含リン銅が使用され得る。アノードホルダ６０の前面側（角形基板Ｓ１と対向する側）には、アノード６２の一部を遮蔽するアノードマスク６４が設けられる。アノードマスク６４は、アノード６２と角形基板Ｓ１との間の電気力線を通過させる開口を有する。角形基板Ｓ１とアノード６２は、めっき電源１４４を介して電気的に接続され、角形基板Ｓ１とアノード６２との間に電流を流すことにより角形基板Ｓ１の表面にめっき膜（銅膜）が形成される。
角形基板Ｓ１とアノード６２との間には、角形基板Ｓ１の表面と平行に往復移動してめ
っき液Ｑを攪拌するパドル１４５が配置される。めっき液Ｑをパドル１４５で攪拌することで、十分な銅イオンを角形基板Ｓ１の表面に均一に供給することができる。また、パドル１４５とアノード６２との間には、角形基板Ｓ１の全面に亘る電位分布をより均一にするための誘電体からなるレギュレーションプレート５０が配置される。レギュレーションプレート５０は、平板状の本体部５２を有する。また、この本体部５２は、電気力線を通過させるための開口を形成する筒状の縁部５１と、を有する。レギュレーションプレート５０は、アノード６２と角形基板Ｓ１との間の電流を調整するように構成される。
次に、図２に示したレギュレーションプレート５０、アノードホルダ６０、及び基板ホルダ１１の形状について説明する。図３は、レギュレーションプレート５０の概略斜視図である。図３に示すように、レギュレーションプレート５０の本体部５２は、全体として略矩形の板状である。レギュレーションプレート５０の上部の左右端部には、図１及び図２に示しためっき槽１３９の周壁上面にレギュレーションプレート５０を吊下げるための一対の吊下げ部５３を有する。また、本体部５２は、その略中央部に角形開口５２ａを有する。この角形開口５２ａは、本体部５２及び本体部５２に設けられた縁部５１により形成される。
図４は、図２に示したアノードホルダ６０の概略平面図である。図４に示すように、アノードホルダ６０は、平板状のアノードホルダ本体６１と、アノードホルダ本体６１に連結されたアーム部６３とを有する。アーム部６３は、一対の台座６６を有し、図１に示しためっき槽１３９の周壁上面に台座６６を設置することで、アノードホルダ６０が垂直に吊下げ支持される。また、アーム部６３には、めっき槽１３９の周壁上面に台座６６を設置したときに、めっき槽１３９に設けられた電気接点と接触するように構成されたコネクタ部６５が設けられる。これにより、アノードホルダ６０は図２に示しためっき電源１４４と電気的に接続され、アノード６２に電圧・電流が印加される。
アノードホルダ６０は、アノード６２を保持し、このアノード６２の周辺部がアノードマスク６４により遮蔽される。図４に示すように、アノードマスク６４は、矩形の開口（角形開口）を有する。したがって、図４に示す平面図においてアノード６２はアノードマスク６４の角形開口から露出されるように、アノードホルダ６０に保持される。
図５は、基板ホルダ１１の概略平面図である。図５に示すように、基板ホルダ１１は、例えば塩化ビニル製で平板状の基板ホルダ本体１２と、基板ホルダ本体１２に連結されたアーム部１３とを有する。アーム部１３は、一対の台座１４を有し、図１に示した各処理槽の周壁上面に台座１４を設置することで、基板ホルダ１１が垂直に吊下げ支持される。また、アーム部１３には、めっき槽１３９の周壁上面に台座１４を設置したときに、めっき槽１３９に設けられた電気接点と接触するように構成されたコネクタ部１５が設けられる。これにより、基板ホルダ１１は図２に示しためっき電源１４４と電気的に接続され、基板ホルダ１１に保持された角形基板Ｓ１に電圧・電流が印加される。
基板ホルダ１１は、図５に示す角形基板Ｓ１の被めっき面が露出されるように、角形基板Ｓ１を保持する。言い換えれば、基板ホルダ１１は、保持した角形基板Ｓ１を露出させるための角形開口を形成する縁部１６を有する。基板ホルダ１１は、角形基板Ｓ１の表面に接触する図示しない電気接点を有する。角形基板Ｓ１を基板ホルダ１１が保持したとき、この電気接点は、例えば角形基板Ｓ１の対向する二辺に沿って、角形基板Ｓ１の表面と接触する。なお、角形基板Ｓ１の形状は、正方形または長方形である。長方形の角形基板の場合、電気接点は長方形の角型基板の長辺または短辺のいずれかの対向する二辺に接触するように構成される。
ところで、上述したように、角形基板Ｓ１では、角形基板Ｓ１上に設けられる配線パタ
ーン等が一様ではなく、パターン密度又はパターン形状が場所によって異なる場合があり得る。この場合、角形基板Ｓ１へのめっきにおいては、円形基板へのめっきと異なり、角形基板Ｓ１上の所定部分のみめっき膜厚を厚く又は薄くしたりする必要がある。したがって、角形基板Ｓ１へのめっきにおいては、基板の面内で部分的又は局所的にめっきの膜厚を意図的に制御できることが好ましい。そこで、本実施形態では、角形基板Ｓ１に形成するめっきの膜厚を部分的又は局所的に制御するために、レギュレーションプレート５０、アノードホルダ６０、及び基板ホルダ１１の少なくとも一つに取り付ける遮蔽部材を使用する。
図６は、本実施形態に係る遮蔽部材を取り付けたレギュレーションプレート５０、アノードホルダ６０、及び基板ホルダ１１を収納しためっき槽１３９の概略断面図である。なお、図６においては、図２に示した一部の構成が図示省略される。図６に示すように、レギュレーションプレート５０、アノードホルダ６０、及び基板ホルダ１１には遮蔽部材７０が着脱可能に取り付けられる。具体的には、遮蔽部材７０は、レギュレーションプレート５０の縁部５１の基板ホルダ１１に近い先端に取り付けられて、レギュレーションプレート５０の角形開口５２ａの一部を遮蔽している。なお、遮蔽部材７０は、レギュレーションプレート５０の基板ホルダ１１に遠い側に取り付けられてもよい。しかしながら、遮蔽部材７０は、図６に示すように、レギュレーションプレート５０の基板ホルダ１１に近い側に取り付けたほうが、角形基板Ｓ１に形成されるめっき膜の厚さの調節を効果的に行うことができる。また、遮蔽部材７０は、アノードホルダ６０のアノードマスク６４に取り付けられて、アノードマスク６４の角形開口の一部を遮蔽している。同様に、遮蔽部材７０は、基板ホルダ１１の縁部１６にも取り付けられ、基板ホルダ１１の角形開口の一部を遮蔽している。
遮蔽部材７０は、例えば誘電体材料等で形成され、アノードホルダ６０、レギュレーションプレート５０、及び基板ホルダ１１の間の電場を調節することができる。なお、図６に示す例では、レギュレーションプレート５０、アノードホルダ６０、及び基板ホルダ１１のそれぞれに遮蔽部材７０が取り付けられているが、これには限られない。即ち、レギュレーションプレート５０、アノードホルダ６０、及び基板ホルダ１１の少なくとも一つに遮蔽部材７０を取り付けることで、角形基板Ｓ１に形成されるめっき膜の厚さを部分的又は局所的に厚く又は薄くすることができる。
図７Ａから図７Ｆは、レギュレーションプレート５０、アノードホルダ６０、及び基板ホルダ１１に取り付けることができる遮蔽部材７０の例を示す概略平面図である。遮蔽部材７０は、レギュレーションプレート５０の角形開口５２ａ、アノードホルダ６０の角形開口、及び基板ホルダ１１の角形開口を通過する電流の一部を遮蔽するように、それぞれに取り付けられ得る。図７Ａから図７Ｆに示す縁部７２は、レギュレーションプレート５０の角形開口５２ａ、アノードホルダ６０の角形開口、及び基板ホルダ１１の角形開口を形成する縁部の総称として用いられる。
図７Ａ及び図７Ｂに示す例では、遮蔽部材７０の一例である区画部材７４が、縁部７２に取り付けられ得る。図示の例では、区画部材７４は真っ直ぐな棒状の部材であり、角形開口を複数の区画に分割するように構成される。図７Ａに示す例では、縁部７２の一方から他方に横断するように、上下方向に２本、左右方向に１本取り付けられる。また、図７Ｂに示される例では、縁部７２の一方から他方に横断するように、上下方向に１本、左右方向に１本、対角線上に２本の区画部材７４が取り付けられる。区画部材７４は、ボルト又はネジ等の任意の固定手段により、縁部７２に取り付けることができる。所定の配線パターンを有する区画が角形基板Ｓ１上に複数形成されている場合には、図７Ａ及び図７Ｂに示すように、区画部材７４で角形開口を複数の区画に分割することにより、それぞれの区画に応じて膜厚を調整することができる。なお、区画部材７４は、縁部７２に取り付け
るのではなく、レギュレーションプレート５０の本体部５２、アノードホルダ６０のアノードホルダ本体６１、又は基板ホルダ１１の基板ホルダ本体１２等、任意の場所に取り付けることができる。
図７Ｃ及び図７Ｄに示す例では、縁部７２には、遮蔽部材７０の一例である区画部材７５が取り付けられ得る。図示の例では、区画部材７５は枠状の部材である。したがって、区画部材７５が縁部７２に取り付けられることで、角形開口を複数の区画に分割することができる。図７Ｃに示す例では、縁部７２の角に一致するように、区画部材７５が取り付けられる。図７Ｄに示す例では、一つの区画部材７５が縁部７２の角に一致するように取り付けられ、他の一つの区画部材７４が縁部７２の辺に一致するように取り付けられる。なお、区画部材７５は、縁部７２に取り付けるのではなく、レギュレーションプレート５０の本体部５２、アノードホルダ６０のアノードホルダ本体６１、又は基板ホルダ１１の基板ホルダ本体１２等、任意の場所に取り付けることができる。
図７Ｅ及び図７Ｆに示す例では、縁部７２には、軸状の支持部材７６が設けられる。図７Ｅ及び図７Ｆに示すように、支持部材７６は、角形開口を横断するように、上下方向に１本、及び左右方向に１本取り付けられる。支持部材７６は、ボルト又はネジ等の任意の固定手段により、縁部７２に取り付けることができる。支持部材７６は、角形開口を通過する電流への影響を無視できる程度に細い部材で形成される。したがって、支持部材７６が角形開口を横断するように設けられても、角形基板Ｓ１に形成されるめっき膜の膜厚分布に対する支持部材７６による影響はほぼない。なお、支持部材７６は、縁部７２に取り付けるのではなく、レギュレーションプレート５０の本体部５２、アノードホルダ６０のアノードホルダ本体６１、又は基板ホルダ１１の基板ホルダ本体１２等、任意の場所に取り付けることができる。
図７Ｅに示されるように、支持部材７６には、枠状の区画部材７５が着脱可能に取り付けられる。また、図７Ｆに示されるように、支持部材７６には、遮蔽部材７０の一例である遮蔽板７７が着脱可能に取り付けられる。区画部材７５及び遮蔽板７７は、ボルト又はネジ等の任意の固定手段により、支持部材７６に取り付けることができる。このように、図７Ｅ及び図７Ｆに示した例では、支持部材７６を介して区画部材７５及び遮蔽板７７を角形開口上に配置することができるので、区画部材７５及び遮蔽板７７を縁部７２に直接取り付ける必要がない。これは、角形基板Ｓ１の外周近傍のめっき膜に区画部材７５及び遮蔽板７７による影響を与えることが望まれない場合に特に有益である。なお、遮蔽板７７は、区画部材７５に任意の固定手段で取り付けられてもよい。
図８Ａから図８Ｄは、遮蔽部材７０の他の例を示す概略平面図である。図８Ａから図８Ｄに示す例では、遮蔽部材７０の一例である枠状の区画部材７５が縁部７２の角に一致するように取り付けられる。また、この区画部材７５の開口を横断するように、上下方向に１本の支持部材７６と、左右方向に１本の支持部材７６とが設けられる。支持部材７６は、区画部材７５にボルト又はネジ等の任意の固定手段により取り付けることができる。
図８Ａに示す例では、２本の支持部材７６の交差部分に遮蔽板７７ａが取り付けられる。図８Ｂに示す例では、２本の支持部材７６の交差部分に遮蔽板７７ａよりも面積が大きい遮蔽板７７ｂが取り付けられる。図８Ｃに示す例では、２本の支持部材７６の交差部分に遮蔽板７７ｂよりも面積が大きい遮蔽板７７ｃが取り付けられる。図８Ｄに示す例では、２本の支持部材７６の交差部分に遮蔽板７７ｃよりも面積が大きい遮蔽板７７ｄが取り付けられる。
図９Ａから図９Ｄは、それぞれ、図８Ａから図８Ｄの遮蔽部材７０をレギュレーションプレート５０に取り付けた場合の、角形基板Ｓ１に形成されるめっき膜の膜厚分布の例を
示す。図９Ａに示す膜厚分布図によれば、図８Ａに示す遮蔽板７７ａに対応する部分の膜厚が他の箇所に比べて薄くなっている。図９Ｂ、図９Ｃ、及び図９Ｄに示す膜厚分布図によれば、遮蔽板７７ｂ、遮蔽板７７ｃ、及び遮蔽板７７ｄによる遮蔽面積が大きくなるにつれて、膜厚が薄い部分の領域が広がっている。これに伴い、最も遮蔽面積が大きい遮蔽板７７ｄにより角形開口が遮蔽された場合、図９Ｄによれば、遮蔽された部分に対応する角形基板Ｓ１の部分の膜厚が最も薄くなっている。
以上で説明したように、本実施形態によれば、区画部材７４、区画部材７５、及び遮蔽板７７等を含む遮蔽部材７０を、レギュレーションプレート５０、アノードホルダ６０、及び基板ホルダ１１の少なくとも一つに取り付けて角形開口の一部を遮蔽することができる。これにより、角形基板Ｓ１へのめっき膜厚を部分的又は局所的に制御することができる。ひいては、円形基板の場合は通常求められない、膜厚を敢えて不均一にすることを実現することができる。
特に、角形基板Ｓ１には、ひとまとまりの所定の配線パターンが複数形成されている場合がある。このような場合は、隣接する一対の配線パターンの境界に対応するように、区画部材７４又は区画部材７５で角形開口を複数の区画に分割することで、それぞれの区画に応じて膜厚を調整することができる。
さらに、支持部材７６を使用することで、縁部７２から離間した位置に遮蔽部材７０を取り付けることができるから、角形基板Ｓ１上の所望の位置のめっき膜厚を調節することができる。これは、角形基板Ｓ１の周辺近傍のめっき膜に遮蔽部材７０による影響を与えることが望まれない場合に特に有益である。
また、図８Ａ−図８Ｄに示したように、区画部材７４又は区画部材７５によって区画された領域内に、支持部材７６を介して遮蔽板７７を配置することもできる。したがって、角形開口を複数の区画に分割するとともに、各区画内に遮蔽板７７を配置することで、各区画に対応する角形基板Ｓ１上のめっき膜厚を調節することもできる。なお、区画部材７４又は区画部材７５によって角形開口を区画した場合において、図８Ａ−図８Ｄに示したように支持部材７６を介して遮蔽板７７を配置するのではなく、遮蔽板７７を区画部材７４又は区画部材７５に直接取り付けてもよい。
以上、本発明の実施形態について説明したが、上述した発明の実施の形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定するものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更、改良され得るとともに、本発明にはその等価物が含まれることはもちろんである。また、上述した課題の少なくとも一部を解決できる範囲、または、効果の少なくとも一部を奏する範囲において、特許請求の範囲及び明細書に記載された各構成要素の任意の組み合わせ、又は省略が可能である。
以下に本明細書が開示する形態のいくつかを記載しておく。

第１形態によれば、アノードと角形基板との間の電流を調整するためのレギュレーションプレートが提供される。このレギュレーションプレートは、電流が通過する角形開口を形成する縁部を有する本体部と、前記角形開口の少なくとも一部を遮蔽するための着脱可能な遮蔽部材と、を有する。
第１形態によれば、遮蔽部材をレギュレーションプレートに取り付けて、角形開口の一部を遮蔽することができる。これにより、角形基板へのめっき膜厚を部分的又は局所的に制御することができる。ひいては、円形基板の場合は通常求められない、膜厚を敢えて不均一にすることを実現することができる。
第２形態によれば、第１形態のレギュレーションプレートにおいて、前記遮蔽部材は、前記角形開口を複数の区画に分割するように構成される区画部材を含む。
角形基板には、ひとまとまりの所定の配線パターンが複数形成されている場合がある。第２形態によれば、このような場合に、配線パターンと配線パターンとの境界に対応するように、区画部材で角形開口を複数の区画に分割することで、それぞれの区画に応じて膜厚を調整することができる。

第３形態によれば、第１又は第２形態のレギュレーションプレートにおいて、前記角形開口を横断するように設けられる軸状の支持部材を有し、前記遮蔽部材は、前記支持部材に着脱可能に取り付けられる遮蔽板を含む。
第３形態によれば、支持部材を使用することで、レギュレーションプレートの縁部から離間した位置に遮蔽部材を取り付けることができる。これにより、角形基板上の所望の位置のめっき膜厚を調節することができる。これは、角形基板の周辺近傍のめっき膜に遮蔽部材による影響を与えることが望まれない場合に特に有益である。
第４形態によれば、第３形態のレギュレーションプレートにおいて、前記遮蔽板は、前記本体部に接触しないように前記支持部材に着脱可能に取り付けられる。
第４形態によれば、支持部材を使用することで、レギュレーションプレートの縁部から離間した位置に遮蔽部材を取り付けることができる。これにより、角形基板上の所望の位置のめっき膜厚を調節することができる。これは、角形基板の周辺近傍のめっき膜に遮蔽部材による影響を与えることが望まれない場合に特に有益である。

第５形態によれば、第２形態のレギュレーションプレートにおいて、前記区画部材は、前記角形開口を区画して複数の開口を形成する。前記レギュレーションプレートは、さらに、前記複数の開口の少なくとも一つを横断するように設けられる軸状の支持部材を有する。前記遮蔽部材は、前記支持部材に着脱可能に取り付けられる遮蔽板を含む。
第５形態によれば、角形開口を複数の区画に分割するとともに、各区画内に遮蔽板を配置することで、各区画に対応する角形基板上のめっき膜厚を調節することができる。
第６形態によれば、アノードを保持するように構成されたアノードホルダが提供される。このアノードホルダは、前記アノードを保持するホルダ本体部と、前記ホルダ本体部に取り付けられ、角形開口を有し、前記アノードの周辺部を遮蔽するアノードマスクと、前記角形開口の少なくとも一部を遮蔽するための着脱可能な遮蔽部材と、を有する。
第６形態によれば、遮蔽部材をアノードホルダに取り付けて、角形開口の一部を遮蔽することができる。これにより、角形基板へのめっき膜厚を部分的又は局所的に制御することができる。ひいては、円形基板の場合は通常求められない、膜厚を敢えて不均一にすることを実現することができる。
第７形態によれば、第６形態のアノードホルダにおいて、前記遮蔽部材は、前記角形開口を複数の区画に分割するように構成される区画部材を含む。
角形基板には、ひとまとまりの所定の配線パターンが複数形成されている場合がある。第７形態によれば、このような場合に、配線パターンと配線パターンとの境界に対応する
ように、区画部材で角形開口を複数の区画に分割することで、それぞれの区画に応じて膜厚を調整することができる。

第８形態によれば、第６又は第７形態のアノードホルダにおいて、前記角形開口を横断するように設けられる軸状の支持部材を有し、前記遮蔽部材は、前記支持部材に着脱可能に取り付けられる遮蔽板を含む。
第８形態によれば、支持部材を使用することで、アノードマスクの縁部から離間した位置に遮蔽部材を取り付けることができる。これにより、角形基板上の所望の位置のめっき膜厚を調節することができる。これは、角形基板の周辺近傍のめっき膜に遮蔽部材による影響を与えることが望まれない場合に特に有益である。

第９形態によれば、第８形態のアノードホルダにおいて、前記遮蔽板は、前記ホルダ本体部及び前記アノードマスクに接触しないように前記支持部材に着脱可能に取り付けられる。
第９形態によれば、支持部材を使用することで、アノードマスクの縁部から離間した位置に遮蔽部材を取り付けることができる。これにより、角形基板上の所望の位置のめっき膜厚を調節することができる。これは、角形基板の周辺近傍のめっき膜に遮蔽部材による影響を与えることが望まれない場合に特に有益である。

第１０形態によれば、第７形態のアノードホルダにおいて、前記区画部材は、前記角形開口を区画して複数の開口を形成する。前記アノードホルダは、さらに、前記複数の開口の少なくとも一つを横断するように設けられる軸状の支持部材を有する。前記遮蔽部材は、前記支持部材に着脱可能に取り付けられる遮蔽板を含む。
第１０形態によれば、角形開口を複数の区画に分割するとともに、各区画内に遮蔽板を配置することで、各区画に対応する角形基板上のめっき膜厚を調節することができる。
第１１形態によれば、角形基板を保持するための基板ホルダが提供される。この基板ホルダは、保持した前記角形基板を露出させるための角形開口を形成する縁部を有するホルダ本体部と、前記角形開口の少なくとも一部を遮蔽するための着脱可能な遮蔽部材と、を有する。
第１１形態によれば、遮蔽部材を基板ホルダに取り付けて、角形開口の一部を遮蔽することができる。これにより、角形基板へのめっき膜厚を部分的又は局所的に制御することができる。ひいては、円形基板の場合は通常求められない、膜厚を敢えて不均一にすることを実現することができる。

第１２形態によれば、第１１形態の基板ホルダにおいて、前記遮蔽部材は、前記角形開口を複数の区画に分割するように構成される区画部材を含む。
角形基板には、ひとまとまりの所定の配線パターンが複数形成されている場合がある。第１２形態によれば、このような場合に、配線パターンと配線パターンとの境界に対応するように、区画部材で角形開口を複数の区画に分割することで、それぞれの区画に応じて膜厚を調整することができる。

第１３形態によれば、第１１又は第１２形態の基板ホルダにおいて、前記角形開口を横
断するように設けられる軸状の支持部材を有し、前記遮蔽部材は、前記支持部材に着脱可能に取り付けられる遮蔽板を含む。
第１３形態によれば、支持部材を使用することで、基板ホルダの縁部から離間した位置に遮蔽部材を取り付けることができる。これにより、角形基板上の所望の位置のめっき膜厚を調節することができる。これは、角形基板の周辺近傍のめっき膜に遮蔽部材による影響を与えることが望まれない場合に特に有益である。

第１４形態によれば、第１３形態の基板ホルダにおいて、前記遮蔽板は、前記ホルダ本体部に接触しないように前記支持部材に着脱可能に取り付けられる。
第１４形態によれば、支持部材を使用することで、基板ホルダの縁部から離間した位置に遮蔽部材を取り付けることができる。これにより、角形基板上の所望の位置のめっき膜厚を調節することができる。これは、角形基板の周辺近傍のめっき膜に遮蔽部材による影響を与えることが望まれない場合に特に有益である。

第１５形態によれば、第１２形態の基板ホルダにおいて、前記区画部材は、前記角形開口を区画して複数の開口を形成する。前記基板ホルダは、さらに、前記複数の開口の少なくとも一つを横断するように設けられる軸状の支持部材を有する。前記遮蔽部材は、前記支持部材に着脱可能に取り付けられる遮蔽板を含む。
第１５形態によれば、角形開口を複数の区画に分割するとともに、各区画内に遮蔽板を配置することで、各区画に対応する角形基板上のめっき膜厚を調節することができる。
Ｓ１…角形基板
１１…基板ホルダ
１２…基板ホルダ本体
１６…縁部
５０…レギュレーションプレート
５１…縁部
５２…本体部
５２ａ…角形開口
６０…アノードホルダ
６１…アノードホルダ本体
６２…アノード
６４…アノードマスク
７０…遮蔽部材
７２…縁部
７４…区画部材
７５…区画部材
７６…支持部材
７７，７７ａ，７７ｂ，７７ｃ，７７ｄ…遮蔽板

Claims (15)


  1. アノードと角形基板との間の電流を調整するためのレギュレーションプレートであって、
    電流が通過する角形開口を形成する縁部を有する本体部と、
    前記角形開口の少なくとも一部を遮蔽するための着脱可能な遮蔽部材と、を有する、レギュレーションプレート。
  2. 請求項１に記載されたレギュレーションプレートにおいて、
    前記遮蔽部材は、前記角形開口を複数の区画に分割するように構成される区画部材を含む、レギュレーションプレート。
  3. 請求項１又は２に記載されたレギュレーションプレートにおいて、
    前記角形開口を横断するように設けられる軸状の支持部材を有し、
    前記遮蔽部材は、前記支持部材に着脱可能に取り付けられる遮蔽板を含む、レギュレーションプレート。
  4. 請求項３に記載されたレギュレーションプレートにおいて、
    前記遮蔽板は、前記本体部に接触しないように前記支持部材に着脱可能に取り付けられる、レギュレーションプレート。
  5. 請求項２に記載されたレギュレーションプレートにおいて、
    前記区画部材は、前記角形開口を区画して複数の開口を形成し、
    前記レギュレーションプレートは、さらに、前記複数の開口の少なくとも一つを横断するように設けられる軸状の支持部材を有し、
    前記遮蔽部材は、前記支持部材に着脱可能に取り付けられる遮蔽板を含む、レギュレーションプレート。
  6. アノードを保持するように構成されたアノードホルダであって、
    前記アノードを保持するホルダ本体部と、
    前記ホルダ本体部に取り付けられ、角形開口を有し、前記アノードの周辺部を遮蔽するアノードマスクと、
    前記角形開口の少なくとも一部を遮蔽するための着脱可能な遮蔽部材と、を有する、アノードホルダ。
  7. 請求項６に記載されたアノードホルダにおいて、
    前記遮蔽部材は、前記角形開口を複数の区画に分割するように構成される区画部材を含む、アノードホルダ。
  8. 請求項６又は７に記載されたアノードホルダにおいて、
    前記角形開口を横断するように設けられる軸状の支持部材を有し、
    前記遮蔽部材は、前記支持部材に着脱可能に取り付けられる遮蔽板を含む、アノードホルダ。
  9. 請求項８に記載されたアノードホルダにおいて、
    前記遮蔽板は、前記ホルダ本体部及び前記アノードマスクに接触しないように前記支持部材に着脱可能に取り付けられる、アノードホルダ。
  10. 請求項７に記載されたアノードホルダにおいて、
    前記区画部材は、前記角形開口を区画して複数の開口を形成し、
    前記アノードホルダは、さらに、前記複数の開口の少なくとも一つを横断するように設けられる軸状の支持部材を有し、
    前記遮蔽部材は、前記支持部材に着脱可能に取り付けられる遮蔽板を含む、アノードホルダ。
  11. 角形基板を保持するための基板ホルダであって、
    保持した前記角形基板を露出させるための角形開口を形成する縁部を有するホルダ本体部と、
    前記角形開口の少なくとも一部を遮蔽するための着脱可能な遮蔽部材と、を有する、基板ホルダ。
  12. 請求項１１に記載された基板ホルダにおいて、
    前記遮蔽部材は、前記角形開口を複数の区画に分割するように構成される区画部材を含む、基板ホルダ。
  13. 請求項１１又は１２に記載された基板ホルダにおいて、
    前記角形開口を横断するように設けられる軸状の支持部材を有し、
    前記遮蔽部材は、前記支持部材に着脱可能に取り付けられる遮蔽板を含む、基板ホルダ。
  14. 請求項１３に記載された基板ホルダにおいて、
    前記遮蔽板は、前記ホルダ本体部に接触しないように前記支持部材に着脱可能に取り付けられる、基板ホルダ。
  15. 請求項１２に記載された基板ホルダにおいて、
    前記区画部材は、前記角形開口を区画して複数の開口を形成し、
    前記基板ホルダは、さらに、前記複数の開口の少なくとも一つを横断するように設けられる軸状の支持部材を有し、
    前記遮蔽部材は、前記支持部材に着脱可能に取り付けられる遮蔽板を含む、基板ホルダ。
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