JP2013142169A - 電気めっき用保持具およびこの保持具を用いた電気めっき装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】一方側治具6aと他方側治具6bとからなり、一方側治具と他方側治具とを重ね合わせ且つ固定して形成された、内側が開口した枠体形状の電気めっき用保持具であって、枠体を形成する一方側治具の枠部19aと枠体を形成する他方側治具の枠部19bとの各重ね合わせ面で、被処理物の外端部を挟んで固定することにより、被処理物を保持するものであり、一方側治具の枠部と他方側治具の枠部との外側表面から略垂直な方向に突出した、ひさし状の突出部10を有する。
【選択図】図3
Description
しかし、被処理物が薄板状の形態である場合、処理槽中での処理液の対流や、成膜されためっき膜からの膜応力に起因した変形が生じてしまうことがある。
また、めっき時の被処理物の変形は、めっき処理後に被処理物の形状を矯正する必要があるとの問題も生じた。
このような、被処理物の端部での電界集中を緩和させる手段は、遮蔽板を用いる手段と、補助陰極を用いる手段とが一般的である。
補助陰極を用いる手段では、陰極近傍に導電性を確保した補助陰極を配し、補助陰極に電流を流すことで被処理物への電界集中を緩和する。
すなわち、これらの遮蔽板や補助電極の適応範囲は予め決定した被処理物の配置条件にのみ対応した限定されたものとなっており、被処理物の形状が同様であっても、配置や個数等の条件の変更に対応できないという問題があった。
するものである。
図1は、本発明の実施の形態1に係わる電気めっき用保持具が用いられた電気めっき装置の側面断面模式図である。
図2は、図1のA−A断面の模式図である。
図1と図2とに示すように、本実施の形態の電気めっき用保持具が用いられる電気めっき装置100は、めっき液である処理液2を溜める処理槽1と、導線9で電源3の正極と電気的につながるとともに処理槽1の対向する側壁の各々の内側近傍に配設された陽極4と、被処理物5を保持する電気めっき用保持具(保持具と記す)6と、保持具6を吊り下げるとともに両陽極間の略中間点の位置に配設された吊枠7と、吊枠7をつり吊り下げるとともに導線9で電源3の負極と電気的につながったブスバー8とを備えている。
また、保持具6が、枠部7aの吊り下げ部に吊り下げられ、且つ枠部7aで囲まれた開口に配設されている。
また、吊枠7は導体で形成されており、処理液2に浸漬される領域の表面が、保持具6との接点を除いて絶縁コーティング材等で被覆されている。
本実施の形態では、吊枠7は格子状であるが、保持具6を吊り下げる吊り下げ部と吊枠7をブスバー8に架ける懸架部7bを備えていれば、格子状に限定されない。
図3では、被処理物5も示している。
図3に示すように、本実施の形態の保持具6は、被処理物5を挟持する、一方側治具6aと他方側治具6bとからなる。
一方側治具6aと他方側治具6bとは、中央に処理液2を被処理物5に接触させるための開口10aを有しており、一方側治具6aの枠部19aと他方側治具6bの枠部19bとにおける各重ね合わせ面20a,20bにパッキン11を設置するパッキン用溝12が形成されている。
一方側治具6aと他方側治具6bとの枠部19a,19bは、保持具6の枠体を形成する。
また、一方側治具の重ね合わせ面20aに位置あわせ用孔を設け、他方側治具の重ね合わせ面20bに位置あわせ用突起部を設けても良い。
また、位置あわせ用突起部13と位置あわせ用孔14と設ける場所は、各治具の重ね合わせ面であれば、四隅に限定されない。
本実施の形態では、特に、突出部10の形状は、外側表面から突出したひさし部が一体である、中央部が開口10aとなっている角錐台状である。
しかし、電界遮蔽用の突出部10の形状は角錐台状に限定されるものではなく、各外側表面から、突出方向に向かって外形が窄まる形状であれば良い。
本実施の形態では、一方側治具6aの枠部19aの外周部に固定具15が設けられ、他方側治具6bの枠部19bに固定具用の溝16が設けられているが、他方側治具6bの枠部19bの外周部に固定具が設けられ、一方側治具6aの枠部19aに固定具用の溝が設けられていても良い。
また、本実施の形態の保持具6は、他方側治具6bの枠部19bに、保持具6を吊枠7に吊り下げるための引っ掛け部18が設けられている。
図4に示すように、本実施の形態の保持具6における、他方側治具6bに設けられた引っ掛け部18は、枠部19bの外周から略垂直な方向に突出している。そして、他方側治具6bの引っ掛け部18の内部には、他方側治具6bの枠部19bから延在する治具内配線17が設けられている。
すなわち、保持具6は治具内配線17が処理液2に触れない構造となっている
本実施の形態では、引っ掛け部18は、他方側治具6bの外枠部に設けているが、一方側治具6aの外枠部に、同様にして設けても良い。
まず、一方側治具6aの重ね合わせ面20aに設けられたパッキン用溝12にパッキン11を嵌め込む。次に、一方側治具6aの重ね合わせ面20aに被処理物5を載置する。
次に、一方側治具6aの位置合わせ用突起部13を、他方側治具6bの位置あわせ用孔14に嵌ることにより、位置合わせを行い、他方側治具6bを一方側治具6aに重ね合わせ、一方側治具6aと他方側治具6bとで被処理物5を挟む。
最後に、保持具6の引っ掛け部18を吊枠7に懸けることにより、被処理物5をその外周側の端部(外端部と記す)全体を固定して保持した保持具6を、電気めっき装置にセットする。この時、保持具6の外枠が被処理物5の外周を囲んでいる。
被処理物5が他方側治具6bの重ね合わせ面20bに露出した治具内配線17接触しており、他方側治具6bの引っ掛け部18の部分に露出した治具内配線17が吊枠7と接触しており、吊枠7の懸架部7bがブスバー8と接触しており、ブスバー8が導線9で電源3の負極とつながっている。
すなわち、被処理物5は電気めっき装置における陰極となり、陽極4から処理液2を介して流れてきた電流が、上記各部を順に導通して、電源3の負極に流れる。
また、保持具6は、治具内配線17を除き非導電性の材料で形成されているとともに、治具内配線17が処理液2に触れない構造となっているので、被処理物5以外の領域に電界が集中することがなく、保持具6によって電位分布の均一性が阻害されることはない。
また、突出部10が、根元から突出方向に向かって外形が窄まる形状であるので、吊枠7に吊るされた状態で、保持具6を処理液2中から取り出した際に、保持具6に処理液2が溜まることがほとんどない。
本発明の保持具が有する効果は、本実施例のモデルで示した寸法の電気めっき装置に限定されるものではなく、被処理物の数や配置に対応して適宜変更しても同様の効果を奏する。
図6は、図5の電気めっき装置に用いられる電気めっき用保持具の側面断面模式図である。
図5に示す、本実施例のモデルにおける電気めっき装置200では、電源とブスバーと導線とは図示されていない。
図7(a)に示すように、本実施例のモデルでは、各被処理物5A,5B,5Cは、保持具6に取り付けられて処理液2中にセットされている。
また、図7(c)に示すように、比較例2のモデルでは、比較例1のモデルにおいて、被処理物5A,5B,5Cの配列方向に対して直角方向にある処理槽1の両側壁の内面の、配列した被処理物5A,5B,5Cで形成される面を延長した部分の両側に、幅100mm×高さ1000mm×厚さ40mmの遮蔽板22が設けられている。
電位分布は、高電位側を陽極4とし、低電位側を被処理物5A,5B,5Cとし、処理槽1と遮蔽板22と保持具6を非導電領域として求めた。
ちなみに、電位は陽極4を1と仮定し、被処理物5A,5B,5Cを0と仮定して、電位分布を計算し、電流密度は被処理物5にかかる電流密度の平均値を100%として規格化した。
また、比較例1と比較例2において、めっき中に被処理物5A,5B,5Cが変形しないとしている。
図8の電位分布図中には、陽極4と被処理物5A,5B,5Cと遮蔽板22と保持具6との位置を示しており、特に電界集中が起こっている領域に矢印を記している。
図8(b)の電位分布図と図8(c)の電位分布図から、比較例1のモデルと比較例2のモデルでは、被処理物5の端部で電界集中がおきていることが予測される。
しかし、図8(a)の電位分布図に示すように、実施例のモデルでは、各被処理物5A,5B,5Cのいずれの被処理物においても両端部における電界の回りこみが遮断されている。
電位分布から予測したように、図9(b)に示す比較例1のモデルでは、中央部に配置された被処理物5Bは、表面にかかる電流密度の変化が平均の電流密度値に対して85%〜120%程度であり、両側に配置された被処理物5A,5Cは、側壁側端部での電界集中が大きく、表面にかかる電流密度の変化が平均の電流密度値に対して85%〜140%程度と大きくなっている。
そして、各被処理物5A,5B,5Cとも、電流密度値が大きい部分は、少なくとも両端部であり、これらの部分に電界集中が生じていることを示している。
しかし、中央部に配置された被処理物5Bは、表面にかかる電流密度の変化が平均の電流密度値に対して90%〜130%程度と、比較例1のモデルと同程度であり、遮蔽板22の効果がほとんど認められない。
そして、両側に配置された被処理物5A,5Cの電流密度値が大きい部分は、少なくとも被処理物5Bと隣り合う端部であり、中央部に配置された被処理物5Bの電流密度値が大きい部分は、少なくとも両端部であり、これら部分に電界集中が生じていることを示している。
遮蔽板により、中央部の被処理物の電界集中を緩和させる等、さらなる電界集中の緩和効果を得るには、遮蔽板の構造を複雑化する必要がある。
しかし、遮蔽板の構造を複雑化すると、処理液の対流を阻害するとの問題および被処理物の個数や配置の変更に対応できないという問題が発生する。
すなわち、本実施の形態の保持具を用いると、めっき処理時の被処理物の端部への電界集中を大きく緩和できることを示している。
本実施例では、処理槽の深さ方向の電界遮蔽効果については特に説明していないが、本実施の形態の保持具は、被処理物の電界集中に対して、同様の緩和効果を得ることが可能である。
また、本実施の形態の保持具は、被処理物がメッシュ構造である場合でも、被処理物自体に張力がかからないので、破損させることがない。
また、本実施の形態の保持具は、中央に処理液を被処理物に接触させるための開口が形成されており、被処理物が処理液を通しうるメッシュ構造である場合、メッシュを貫通させるような処理液を対流せることができ、メッシュ間に生じた気泡溜まりを効果的に取り除くことが可能である。
図10は、本発明の実施の形態2に係わる電気めっき用保持具を構成する上部保持具(a)と、下部保持具(b)と、側部保持具(c)との正面模式図である。
図11は、図10における、上部保持具のC−C断面(a)と、下部保持具のD−D断面(b)と、側部保持具におけるE−E断面(c)とである。
本実施の形態の電気めっき用保持具(保持具と記す)30を形成する、上部保持具40と下部保持具50と側部保持具60とは、後述する治具内配線を除き、非導電性の材料で形成されている。
また、図10(c)に示すように、側部保持具60は、保持具形成時に枠体となる第3の枠体61と、第3の枠体61の両端から略垂直に同方向に突出するとともに、第1の被処理物保持部42と第2の被処理物保持部52とに挟着され、上部保持具40と下部保持具50とを固定する挟着部62とを備えている。
本実施の形態の保持具30では、側部保持具60は2個用いられている。
また、一方側上部治具の重ね合わせ面における第1の枠体41の部分には、上部保持具固定用孔45が形成されており、他方側上部治具の重ね合わせ面における第1の枠体41の部分には、上部保持具固定用突起部46が形成されている。
また、この突出部47は根元から突出方向に向かって厚さが薄くなっている。
また、一方側上部治具40aと他方側上部治具40bとにおける、第1の被処理物保持部42の部分に、側部保持具60を取り付ける第1の側部保持具取り付け孔48が形成されている。
そして、治具内配線39における、引っ掛け部側端部と第1の被処理物保持部側端部とが、他方側上部治具40bから露出している。
また、一方側下部治具の重ね合わせ面における第2の枠体51の部分には、下部保持具固定用孔55が形成されており、他方側下部治具の重ね合わせ面における第2の枠体51の部分には、下部保持具固定用突起部56が形成されている。
また、この突出部は根元から突出方向に向かって厚さが薄くなっている。
また、一方側下部治具50aと他方側下部治具50bとにおける、第2の被処理物保持部52の部分に、側部保持具60を取り付ける第2の側部保持具取り付け孔58が形成されている。
そして、一方側側部治具60aと他方側側部治具60bとの各重ね合わせ面は、第3の枠体61を形成する部分にある。
また、この突出部は根元から突出方向に向かって厚さが薄くなっている。
また、一方側側部治具60aと他方側側部治具60bとの挟着部62の部分における、外側表面の反対側の面(挟着面と記す)は、一方側側部治具60aと他方側側部治具60bとの重ね合わせ面と段差があり、外側表面側に凹んでいる。
そして、一方側側部治具60aと他方側側部治具60bとの挟着面には、側部保持具60を上部保持具40と下部保持具50とに取り付ける側部保持具取り付け用突起部68が設けられている。
図12(a)に示すように、まず、被処理物5を準備する。
次に、円形の溝43にパッキン44が設けられた一方側上部治具40aの重ね合わせ面に、被処理物5の上部両隅部を載置し、円形の溝53にパッキン54が設けられた一方側下部治具50aの重ね合わせ面に被処理物5の下部両隅部を載置する。
このような工程により、被処理物5が本実施の形態の保持具30に保持される。
本実施の形態では、各保持具固定用孔45,55,65と各保持具固定用突起部46,56,66とは、各治具の外枠部部分の両端部に各1個の2個であるが、各治具に形成可能な範囲であれば2個以上であっても良い。
また、保持具30は、治具内配線39を除き非導電性の材料で形成されているとともに、治具内配線39が処理液に触れない構造となっているので、被処理物5以外の領域に電界が集中することがなく、保持具30により電位分布の均一性が阻害されることはない。
また、各突出部が、根元から突出方向に向かって厚さが薄くなっているので、保持具30を処理液中から取り出した際に、保持具30に処理液が溜まることがほとんどない。
図13は、本発明の実施の形態3に係わる電気めっき用保持具の側面断面模式図である。
図13では、被処理物5が設置された状態を示している。
図13に示すように、本実施の形態の電気めっき用保持具70は、一方側治具70aと他方側治具70bとの各々の枠部の外側表面から突出した突出部が、一方側治具70aと他方側治具70bとにおける、上部と下部と側部との各枠部の外側表面に別個に設けられており、且つ各突出部の面と枠体の開口面とのなす角度を変えることができるよう回動可能に、上部と下部と側部との各枠部に取り付けられている以外、実施の形態1の保持具と同様である。
各突出部は、例えば、枠部の外側表面に設けられた軸受け(図示せず)に、突出部の端部に設けられた軸75を嵌めることにより、回動可能に取り付けられる。
さらに、例えば、図13における矢印Iの方向、すなわち、枠体の開口面となす角度を小さくする方向に、上部突出部72と下部突出部74とを回動すると、被処理物端部での電界集中が抑制され、被処理物端部での膜厚を薄くでき、逆に、矢印Oの方向に、すなわち、枠体の開口面となす角度を大きくする方向に、上部突出部72と下部突出部74とを回動すると、被処理物端部での電界集中が増加され、被処理物端部での膜厚を厚くできる。
すなわち、被処理物周囲の電位分布の制御をより精密に行うことができる。
本実施の形態の保持具も、実施の形態1に示した電気めっき装置に用いることができ、本実施の形態の保持具を用いた電気めっき装置も、実施の形態1の保持具を用いた電気めっき装置と同様な効果を有する。
なお、本発明は、その発明の範囲内において、各実施の形態を自由に組み合わせたり、各実施の形態を適宜、変形、省略することが可能である。
6a 一方側治具、6b 他方側治具、7 吊枠、7b 懸架部、8 ブスバー、
9 導線、10 突出部、10a 開口、17 治具内配線、18 引っ掛け部、
19a,19b 枠部、30 保持具、39 治具内配線、40 上部保持具、
40a 一方側上部治具、40b 他方側上部治具、41 第1の枠体、
42 第1の被処理物保持部、47 突出部、49 引っ掛け部、50 下部保持具、
50a 一方側下部治具、50b 他方側下部治具、51 第2の枠体、
52 第2の被処理物保持部、57 突出部、60 側部保持具、
60a 一方側側部治具、60b 他方側側部治具、61 第3の枠体、62 挟着部、
67 突出部、70 保持具、70a 一方側治具、70b 他方側治具、
71 上部枠部、72 上部突出部、73 下部枠部、74 下部突出部、75 軸、
100 電気めっき装置。
Claims (10)
- 一方側治具と他方側治具とからなり、上記一方側治具と上記他方側治具とを重ね合わせ且つ固定して形成された、内側が開口した枠体形状の電気めっき用保持具であって、
上記枠体を形成する上記一方側治具の枠部と上記枠体を形成する上記他方側治具の枠部との各重ね合わせ面で、被処理物の外端部を挟んで固定することにより、上記被処理物を保持するものであり、
上記枠体が、上記被処理物の外周部を囲むようになっており、
上記枠体に、上記一方側治具の枠部と上記他方側治具の枠部とにおける各重ね合わせ面の反対側の外側表面から略垂直な方向に突出した、ひさし状の突出部と、上記被処理物に通電する通電手段とを有しており、
上記通電手段以外が非導電性の材料で形成されている電気めっき用保持具。 - 上記一方側治具が一体で形成され、上記他方側治具も一体で形成されており、上記一方側治具と上記他方側治具とで被処理物の外端部全体を挟んで固定するものであり、上記一方側治具と上記他方側治具との各外側表面に設けられた突出部が、一体物であり且つ上記各外側表面から突出方向に向かって外形が窄まる形状であることを特徴とする請求項1に記載の電気めっき用保持具。
- 上記一方側治具と上記他方側治具とが矩形状であり、開口も矩形状であり、突出部が角錐台状であることを特徴とする請求項2に記載の電気めっき用保持具。
- 別体である、上部保持具と下部保持具と側部保持具とが組み合わされて、枠体形状を形成しており
上記上部保持具が一方側上部治具と他方側上部治具とでなり、上記下部保持具が一方側下部治具と他方側下部治具とでなり、上記側部保持具が一方側側部治具と他方側側部治具とでなり、
上記一方側上部治具と上記他方側上部治具とが、被処理物の上部両隅部を挟んで固定するものであり、上記一方側下部治具と上記他方側下部治具とが、上記被処理物の下部両隅部を挟んで固定するものであり、上記一方側側部治具と上記他方側側部治具とが、上記上部保持具と上記下部保持具とを挟んで固定するものであり、
上記一方側治具と上記他方側治具との各外側表面に設けられた各々の突出部が、上記上部保持具部分と上記下部保持具部分と上記側部保持具部分とに分割されていることを特徴とする請求項1に記載の電気めっき用保持具。 - 上記一方側上部治具と上記他方側上部治具とが、上部保持具の枠体である第1の枠体を形成する枠部と、上記枠部の両端から略垂直に同方向に突出した、第1の被処理物保持部の部分とを有しており、
上記一方側下部治具と上記他方側下部治具とが、下部保持具の枠体である第2の枠体を形成する枠部と、上記枠部の両端から略垂直に同方向に突出した、第2の被処理物保持部の部分とを有しており、
上記一方側側部治具と上記他方側側部治具とが、側部保持具の枠体である第3の枠体を形成する枠部と、上記枠部の両端から略垂直に同方向に突出した、装着部となる部分とを有しており、
上記一方側上部治具の第1の被処理物保持部の部分と上記他方側上部治具の第1の被処理物保持部の部分とが、被処理物の上部両隅部を挟んで固定するものであり、
上記一方側下部治具の第2の被処理物保持部の部分と上記他方側下部治具の第2の被処理物保持部の部分とが、被処理物の下部両隅部を挟んで固定するものであり、
上記一方側側部治具の装着部の部分と上記他方側側部治具の装着部の部分とが、上記上部保持具と上記下部保持具の両端部で挟んで、上記上部保持具と上記下部保持具とを固定するものであることを特徴とする請求項4に記載の電気めっき用保持具。 - 上記突出部が、一方側治具と他方側治具とにおける、上部と下部と側部との各枠部の外側表面から、別個に突出しており、上記突出部の面と枠体の開口面とのなす角度を変えることができるよう回動可能に、上記上部と下部と側部との枠部に、取り付けられていることを特徴とする請求項1に記載の電気めっき用保持具。
- 上記一方側治具と上記他方側治具とにおける、上部と下部と側部との枠部が一体物であり、上記一方側治具と上記他方側治具とで被処理物の外端部全体を挟んで固定するものであることを特徴とする請求項6に記載の電気めっき用保持具。
- 上記一方側治具と上記他方側治具とにおける、上部と下部と側部との枠部が別体物であり、上記一方側治具と上記他方側治具との枠部が、上記上部と下部と側部との枠部を組み合わせて形成されており、
上記一方側治具と上記他方側治具との上部枠部が、被処理物の上部両隅部を挟んで固定するものであり、上記一方側治具と上記他方側治具との下部枠部が、上記被処理物の下部両隅部を挟んで固定するものであり、上記一方側治具と上記他方側治具との側部枠部が、上記上部枠部と上記下部枠部とを挟んで固定するものであることを特徴とする請求項6に記載の電気めっき用保持具。 - 上記一方側治具の枠部または上記他方側治具の枠部のどちらかの枠部の外周部に、この外周部から略垂直方向に突出した引っ掛け部を設け、上記枠体と上記引っ掛け部との内部に、被処理物に通電する通電手段である治具内配線を設け、上記枠体の上記被処理物と接する部分と、上記引っ掛け部の先端部に、上記治具内配線を露出させていることを特徴とする請求項1ないし請求項8のいずれか1項に記載の電気めっき用保持具。
- 処理液を溜める処理槽と、導線で電源の正極と電気的につながるとともに上記処理槽の対向する側壁の各々の内側近傍に配設された陽極と、被処理物を保持する電気めっき用保持具と、上記電気めっき用保持具を吊り下げるとともに上記両陽極間の略中間点の位置に配設された吊枠と、上記吊枠をつり吊り下げるとともに導線で上記電源の負極と電気的につながったブスバーとを備えており、上記電気めっき用保持具が請求項9に記載の電気めっき用保持具であり、上記電気めっき用保持具が、その引っ掛け部を上記吊枠に懸けて、設置されたことを特徴とする電気めっき装置。
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