KR20110107387A - 탄탈륨 커패시터의 양극 리드용 탄탈륨 와이어 및 그 제조방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 탄탈륨 커패시터의 양극 리드용 탄탈륨 와이어에 관한 것으로, 탄탈륨 와이어의 단면이 대략적인 직사각형 혹은 정규 직사각형인 것을 특징으로 한다. 본 발명은 공급원료 탄탈륨 와이어를 제공하는 단계; 상기 공급원료 탄탈륨을 열처리하는 단계; 열처리된 탄탈륨 와이어 상에 산화물 멤브레인을 형성하기 위해서 상기 열처리된 탄탈륨 와이어를 표면 전처리하는 단계; 압연된 탄탈륨 와이어의 단면이 대략적인 직사각형 혹은 정규 직사각형을 이루게 하기 위해서 상기 표면 전처리된 와이어를 윤활유하에서 압연하는 단계; 그리고 탄탈륨 와이어를 최종 어닐링하는 단계;를 포함하는 탄탈륨 와이어의 제조방법을 또한 제공한다.
Description
본 발명은 탄탈륨 커패시터의 양극 리드용 탄탈륨 와이어 및 그 제조방법에 관한 것이다.
탄탈륨 커패시터는 통신, 컴퓨터, 자동차, 가전제품, 항공기 등의 분야에서 널리 사용되어 왔다. 탄탈륨 분말을 양극으로 그리고 탄탈륨 와이어를 양극 리드로 사용하여 제조되는 탄탈륨 전해 커패시터들은 작은 체적, 큰 전기용량, 고도의 칩 타입, 양호한 신뢰성 및 긴 수명의 장점들을 가지며, 그에 따라서 (세라믹, 알루미늄 시이트 커패시터 등과 같은) 많은 다른 커패시터들이 작동할 수 없는 극한의 조건하에서 정상적으로 작동할 수 있다.
탄탈륨 커패시터들의 양극 리드용 탄탈륨 와이어에 대해서는 커패시터들에서의 엄격한 요구사항을 만족시키는 기계적 성질 및 전기적 성질과 함께 높은 화학적 순도, 양호한 표면 마감성 및 정확한 치수를 갖는 것이 요구된다. 예를 들면, 탄탈륨 와이어의 표면 마감성에서의 특별한 요구사항은, 표면은 60배율이상의 현미경으로 관찰하는 경우에 홈, 깔쭉깔쭉한 부분 및 연마 홈과 같은 명백한 결점들을 갖지 않아야 하는 것이며, 전기적 특성들에 대한 특별한 요구사항은 누설전류가 작을수록 좋다는 것이다.
전자 기술의 발전에 따라 탄탈륨 커패시터에 대한 요구사항은 증가추세에 있다. 탄탈륨 커패시터는 사용된 탄탈륨 분말이 점점 높아지는 비용량을 가지면서 소형화하고, 칩-타입 및 고 용량의 형태로 단계적으로 발전하고 있다. 상기한 내용은 탄탈륨 커패시터의 양극 펠렛의 소결온도를 제한한다. 만일 소결온도가 너무 높으면, 탄탈륨 분말의 다공성이 크게 줄어들게 되고, 이에 의해서 탄탈륨 커패시터의 비용량이 감소하게 된다.
그러나, 만일 종래의 원형 양극 리드가 저온 소결 탄탈륨 커패시터에 사용되면, 원형 탄탈륨 와이어를 사용하여 제조된 양극 리드는 그것의 상대적인 작은 표면적으로 인하여 탄탈륨 양극 펠렛에 대하여 작은 접촉면적을 갖게 되고 이에 의해서 낮은 접촉강도와 탄탈륨 커패시터의 과도한 누설 전류를 야기하는 문제점이 있고, 이것은 심지어 탄탈륨 커패시터의 실패를 초래하게 되는 양극 펠렛으로부터 탄탈륨 와이어의 발산(shedding)을 야기한다. 탄탈륨 커패시터의 최소화가 더욱 발전함에 따라서, 탄탈륨 커패시터의 리드 와이어의 낮은 뽑힘 강도(pullout strength)의 문제점은 탄탈륨 커패시터의 전자적 특성 및 신뢰성에 더욱 나쁜 영향을 끼치게 된다.
이러한 문제를 해결하기 위해서 원형 단면의 현존 탄탈륨 와이어를 대체하기 위해서 비원형 단면의 탄탈륨 와이어가 사용되는 것이 21세기 초에 제안된 바 있다. 그러나, 지금까지, 탄탈륨 커패시터 제조기술들 중에, 대부분의 모든 탄탈륨 와이어들은 원형 단면을 갖는다. 그 이유는 제조업자들 중 어느 누구도 탄탈륨 커패시터의 요구조건을 만족시킬 수 있는 화학적 순도, 표면 마감성, 기계적 성질과 전자적 성질을 갖는 특별한 형상의 탄탈륨 와이어를 만들어낼 수 없었기 때문이다. 대부분의 경우에 있어서, 표면 마감성, 기계적 성질 및/또는 전자적 성질들은 탄탈륨 커패시터의 엄격한 요구조건들을 충족시킬 수 없었다.
종래기술에 존재하는 하나 또는 그 이상의 많은 문제점들에 대해서, 본 발명은 탄탈륨 커패시터의 양극 리드의 엄격한 요구조건들을 충족시키는 특별 형상의 탄탈륨 와이어 및 그 제조방법을 제공하려는 것이다.
특히, 본 발명은 탄탈륨 커패시터의 양극 리드용 탄탈륨 와이어를 제공하는데, 이때 탄탈륨 와이어의 단면이 대략적인 직사각형 혹은 정규 직사각형인 것을 특징으로 한다.
본 발명은
(1) 공급원료 탄탈륨 와이어를 제공하는 단계;
(2) 상기 공급원료 탄탈륨을 열처리하는 단계;
(3) 열처리된 탄탈륨 와이어 상에 산화물 멤브레인을 형성하기 위해서 상기 열처리된 탄탈륨 와이어를 표면 전처리하는 단계;
(4) 압연된 탄탈륨 와이어의 단면이 대략적인 직사각형 혹은 정규 직사각형을 이루게 하기 위해서 상기 표면 전처리된 와이어를 윤활유하에서 압연하는 단계; 그리고
(5) 탄탈륨 와이어를 최종 어닐링하는 단계;를 포함하는 탄탈륨 와이어의 제조방법을 또한 제공한다.
도 1은 본 발명에 따른 탄탈륨 와이어의 단면 사진(100배 배율); 그리고
도 2는 본 발명에 따른 탄탈륨 와이어의 압연을 나타내는 개략적인 다이어그램.
도 2는 본 발명에 따른 탄탈륨 와이어의 압연을 나타내는 개략적인 다이어그램.
상기한 설명 및 다음의 실시 예들은 단지 예시적인 설명임을 이해할 수 있을 것이다. 해당 기술분야의 숙련된 당업자는 본 발명의 사상 및 영역을 벗어나지 않는 범위 내에서 이 실시 예들에 대한 다양한 개선, 변형 또는 변경을 만들어낼 수 있다.
본 발명에 있어서, 다음의 매개변수들로 성형된 후에 전자적 특성들의 측정은 GB3463 -1995 tantalum wire , the National Standard of PRC의 방법을 기초하여 수행되었고, 뽑힘 강도(pullout strength)의 특성은 GB3463 -1995 tantalum wire에 따른 기계적 특성 측정방법에 의해서 테스트하였다:
1. 성형 장비: 탄탈륨 전해 커패시터를 위한 자동 성형기
2. 쉘 타입: E
3. 분말 양: 381-392mg
4. 양극 펠렛크기: 5.7 x 4.1 x 2.9 mm
5. 탄탈륨 와이어 삽입 양: 1.6-1.9 mm
6. 성형 후 밀도: 5.5-5.6 g/cm3
본 발명의 바람직한 실시 예에 있어서, 전자적 특성에 대해서, 본 발명에 따른 탄탈륨 와이어의 누설전류는 0.95ｕA/cm2 보다 많지 않고, 바람직하게는 0.90ｕA/cm2 보다 많지 않고, 더욱 바람직하게는 0.80ｕA/cm2 보다 많지 않고, 더욱 바람직하게는 0.60ｕA/cm2 보다 많지 않고, 더욱 바람직하게는 0.50ｕA/cm2 보다 많지 않고, 특히 바람직하게는 0.30ｕA/cm2 보다 많지 않고, 더욱 특히 바람직하게는 0.20ｕA/cm2 보다 많지 않고, 더욱 특히 바람직하게는 0.15ｕA/cm2 보다 많지 않고, 특별히 0.10ｕA/cm2 보다 많지 않다.
본 발명의 다른 바람직한 실시 예에 있어서, 기계적인 특성에 관해서, 본 발명에 따른 탄탈륨의 뽑힘 강도는 150 MPa 또는 그 이상, 바람직하게는 160 MPa 또는 그 이상, 더욱 바람직하게는 170MPa 또는 그 이상, 더욱 바람직하게는 175 MPa 또는 그 이상, 더욱 바람직하게는 180 MPa 또는 그 이상, 특히 바람직하게는 185 MPa 또는 그 이상, 더욱 특히 바람직하게는 190 MPa 또는 그 이상, 가장 바람직하게는 195 MPa 또는 그 이상이다.
본 발명의 다른 바람직한 실시 예에 있어서, 탄탈륨 와이어의 단면이 대략적으로 직사각형인 경우, 단면의 단면크기는 0.5-4mm 길이, 바람직하게는 1-3mm 길이, 0.015-1mm 폭, 바람직하게는 0.02-0.5mm 폭이며, 폭방향으로 2개 면은 만곡되어 있다.
본 발명의 다른 바람직한 실시 예에 있어서, 탄탈륨 와이어의 단면이 정규 직사각형인 경우, 단면의 단면크기는 0.5-4mm 길이, 바람직하게는1-3mm 길이, 0.015-1 mm 폭, 바람직하게는 0.02-0.5 mm 폭이다.
본 발명의 다른 바람직한 실시 예에 있어서, 공급원료 탄탈륨 와이어의 열처리는 재결정 온도 또는 그 이상의 온도, 바람직하게는1000-1450oC, 바람직하게는 1200-1400oC로 30-60 분, 바람직하게는 40-60분으로 가열하여 수행된다.
본 발명의 실시 예에 있어서, 공급원료 탄탈륨 와이어의 단면은 원형이다.
이와 동시에, 본 발명의 바람직한 실시 예에 있어서, 와이어 재료의 산화 및 그로 인하여 공급원료 탄탈륨 와이어로부터 불순물이 발달하는 것을 방지하기 위해서, 진공 어닐링이 채용될 수 있다. 본 발명의 바람직한 실시 예에 있어서, 진공 어닐링 단계의 진공도는 5.0 x 10-2 Pa 보다 크고 누설은 0.5Pa/min 보다 작다.
본 발명의 바람직한 실시 예에 있어서, 탄탈륨 금속의 압연동안에 롤 점착이 일어나고 이에 의해서 특별히 형상화된 탄탈륨 와이어 제품의 표면 질에 악영향을 끼치는 것을 방지하기 위해서, 원형 탄탈륨 와이어는 산소분위기하에서 고온으로 표면 전처리를 받게 된다.
본 발명의 바람직한 실시 예에 있어서, 원형 탄탈륨 와이어는 정밀 압연 밀을 사용하여 압연된다. 본 발명의 다른 바람직한 실시 예에 있어서, 패스 리덕션(pass reduction)은 30-95%(두께 감소) 및 하나 또는 그 이상의 패스(pass)가 원하는 크기로 수행될 수 있다.
본 발명의 바람직한 실시 예에 있어서, 압연과정 동안의 균등하지 않은 윤활로 인하여 특별히 형상화된 탄탈륨 와이어 제품의 표면 질에 악영향을 끼치는 것을 방지하기 위해서, 압연과정 동안의 윤활을 위해 윤활유가 채용된다.
본 발명의 바람직한 실시 예에 있어서, 윤활유는 유기 풀루오로-클로로 윤활유이다. 본 발명의 바람직한 실시 예에 있어서, 작업 롤은 홈 롤러 또는 플랫 롤러가 될 수 있다.
본 발명의 바람직한 실시 예에 있어서, 압연효과를 향상시키기 위해서, 아크형 롤 및 오목 롤과 같이 특별한 형상의 롤이 채용될 수 있다.
본 발명의 바람직한 실시 예에 있어서, 압연된 특별히 형상화된 탄탈륨 와이어는 그리스제거제로 세정되고 깨끗한 물로 세척된다. 한편, 필요한 경우, 초음파가 적용될 수도 있다.
본 발명의 바람직한 실시 예에 있어서, 압연된 특별히 형상화된 탄탈륨 와이어는 연속적인 와이어 인발 어닐링을 사용하여 재결정온도 또는 그 이상의 온도로 가열함에 의해서 어닐링된다. 본 발명의 다른 바람직한 실시 예에 있어서, 작업은 아르곤과 같은 불활성 가스의 보호하에서 수행된다.
본 발명의 바람직한 실시 예에 있어서, 압연된 특별히 형상화된 탄탈륨 와이어 제품의 온도는 1600-2000oC이고 그 비율은5-10m/min이다.
본 발명에 따르면, 와이어 릴의 곡률은 너무 크지 않으며, 특별히 형상화된 탄탈륨 와이어 제품은 큰 범위로 구부러질 것이며, 그러므로 요구조건들을 충족시킬 수 없다. 본 발명의 바람직한 실시 예에 있어서, 사용된 와이어 릴은 Φ200mm 내지 Φ300mm의 직경을 갖는다.
예 1
0.97mm의 직경을 갖는 원형 탄탈륨 와이어가 300mm 직경의 스풀에 감겨져 있고 어닐링 로 내로 위치하였다. 로는 진공펌프로 배기되었다. 로 내에서 진공도가 5.0x10-2 Pa에 도달하는 경우, 로는 1380oC의 온도로 60분동안 전기적으로 가열되었다. 가열이 중단된 후, 로는 자연 냉각되었다. 로가 180oC의 온도로 냉각되면, 냉각을 가속화하여 효율을 증가시키기 위해서, 아르곤과 같은 불활성가스가 로 내로 도입될 수 있다.
어닐링된 원형 탄탈륨 와이어는 머플 로 내에서 표면 전처리를 받았다. 어닐링된 원형 탄탈륨 와이어는 머플 로 내에 위치하였다. 99% 고순도 산소가 로 내로 도입된 후, 로는 600oC 의 온도로 10분동안 가열되었고, 그래서 원형 탄탈륨 와이어는 표면 전처리를 받았다. 전처리된 원형 탄탈륨 와이어는 직선화되었고 트레이 상에 감겨졌다. 전체 탄탈륨 와이어는 구부러지지 않는다.
트레이 상에 감겨진 탄탈륨 와이어는 텐션을 유지하면서 와이어 릴리스 장치 상에 위치하였고, 12개 롤 정밀 압연기를 사용하여 압연되었다. 압연과정 동안에 윤활을 위해서 유기 플루오로-클로로 윤활유가 사용되었다.
압연과정 동안에, 제 1 패스는 38%의 감소율로 수행되었고 압연후 크기는 0.60x1.11mm이다. 제 2 패스는 43%의 감소율로 수행되었고 압연후 크기는 0.34x1.36mm이다. 압연된 탄탈륨 와이어의 표면은 양호한 표면 마감성을 가졌으며, 압연 눌림, 테두리 균열, 홈이나 연마 홀과 같은 결함을 갖지 않는다.
압연된 특별한 형상의 탄탈륨 와이어는 텐션을 유지하면서 와이어 릴리스 장치상에 위치하였다. 특별한 형상의 탄탈륨 와이어의 표면 상에 있는 기름얼룩과 다른 불순물들은 적당한 농도로 희석된 그리이스 제거제와 물을 사용하여 초음파의 작용하에서 세척되었다. 탄탈륨 와이어는 와이어 수용 장치 상에 감겨졌다. 세척된 특별한 형상의 탄탈륨 와이어는 텐션하에서 와이어 릴리스장치 상에 위치되었고 연속적인 와이어 인발 어닐링을 거친다. 어닐링 온도는 1750℃이고 인발 비율은 5m/min이다. 와이어 릴리스 장치 상에 있는 전체의 특별한 형상의 탄탈륨 와이어가 와이어 수용장치상에 모두 감겨질 때까지 탄탈륨 와이어는 와이어 수용장치 상에서 감겨지고, 그러므로 특별한 형상의 탄탈륨 와이어의 제조가 완료된다.
예 2
공급원료(원형 탄탈륨 와이어)는 0.78mm의 직경을 가지며, 3개의 패스 압연이 수행되었다. 남은 단계들은 예 1에서 설명한 것과 동일하다. 각각의 패스의 치수는 다음과 같이 변했다:
Φ0.78 - 0.43 x 1.19 - 0.27 x 1.22 - 0.23 x 1.24
예 3
공급원료(원형 탄탈륨 와이어)는 0.65mm의 직경을 가지며, 3개의 패스 압연이 수행되었다. 남은 단계들은 예 1에서 설명한 것과 동일하다. 각각의 패스의 치수는 다음과 같이 변했다:
Φ0.65 - 0.37 x 1.09 - 0.20 x 1.11 - 0.15 x 1.12
비교 예 1
공급원료(원형 탄탈륨 와이어)는 0.97mm의 직경을 갖는다. 표면 전처리는 수행하지 않았다. 압연을 위한 화이트 오일이 압연과정 동안에 윤활 및 냉각을 위해서 채용되었다. 남은 단계들은 예 1에서 설명한 것과 동일하다.
비교 예 2
공급원료(원형 탄탈륨 와이어)는 0.78mm의 직경을 갖는다. 표면 전처리는 수행하지 않았다. 압연을 위한 화이트 오일이 압연과정 동안에 윤활 및 냉각을 위해서 채용되었다. 남은 단계들은 예 2에서 설명한 것과 동일하다.
비교 예 3
공급원료(원형 탄탈륨 와이어)는 0.65mm의 직경을 갖는다. 표면 전처리는 수행하지 않았다. 압연을 위한 화이트 오일이 압연과정 동안에 윤활 및 냉각을 위해서 채용되었다. 남은 단계들은 예 3에서 설명한 것과 동일하다.
비교 예 4
0.34 x 1.36 mm, 0.23 x 1.24 mm 및 0.15 x 1.12 mm의 특별히 형상화된 탄탈륨 와이어와 동일한 단면을 갖는 탄탈륨 커패시터들의 양극 리드용 제한적인 원형 탄탈륨 와이어들이 채용되었으며, 이들의 직경은 각각 Φ0.767mm, Φ0.603mm 및 Φ0.463mm이다.
예들에서 원형 탄탈륨 와이어들 및 특별히 형상화된 탄탈륨 와이어들의 특성들이 다음과 같이 테스트되었다:
| 번호 | 치수 (mm) | 단면적 (mm2) | 뽑힘력(N) | 뽑힘강도 (MPa) | 비고 |
| 1 | 0.34x1.36 | 0.462 | 86.5 | 187.3 | 예 1 |
| 2 | Φ0.767 | 0.462 | 65.1 | 140.9 | 비교예4 |
| 3 | 0.23x1.24 | 0.285 | 55.6 | 195.0 | 예 2 |
| 4 | Φ0.603 | 0.285 | 40.6 | 142.5 | 비교예4 |
| 5 | 0.15x1.12 | 0.168 | 33.9 | 201.6 | 예 3 |
| 6 | Φ0.463 | 0.168 | 24.4 | 145.3 | 비교예4 |
표 1: 예들에 있어서 원형 탄탈륨 와이어들 및 특별히 형상화된 탄탈륨 와이어들의 뽑힘 강도
| 번호 | 치수(mm) | 누설전류(mA/cm2) | 비고 |
| 1 | 0.34x1.26 | 0.10 | 예 1 |
| 2 | 0.34x1.26 | 1.26 | 비교예1 |
| 3 | 0.23x1.24 | 0.09 | 예 2 |
| 4 | 0.23x1.24 | 0.98 | 비교예2 |
| 5 | 0.15x1.12 | 0.11 | 예 3 |
| 6 | 0.15x1.12 | 1.26 | 비교예3 |
표 2: 예들에 있어서 원형
탄탈륨
와이어들
및 특별히 형상화된
탄탈륨
와이어들의
전자적 특성들
Claims (12)
- 탄탈륨 커패시터의 양극 리드용 탄탈륨 와이어로서,
상기 탄탈륨 와이어의 단면이 대략적인 직사각형 또는 정규 직사각형인 것을 특징으로 하는 탄탈륨 커패시터의 양극 리드용 탄탈륨 와이어. - 제 1 항에 있어서, 상기 탄탈륨 와이어의 누설전류는 0.95ｕA/cm2 보다 많지 않고, 바람직하게는 0.90ｕA/cm2 보다 많지 않고, 더욱 바람직하게는 0.80ｕA/cm2 보다 많지 않고, 더욱 바람직하게는 0.60ｕA/cm2 보다 많지 않고, 더욱 바람직하게는0.50A/cm2 보다 많지 않고, 특히 바람직하게는 0.30ｕA/cm2 보다 많지 않고, 더욱 특히 바람직하게는 0.20ｕA/cm2 보다 많지 않고, 더욱 특히 바람직하게는 0.15ｕA/cm2 보다 많지 않고, 특히 바람직하게는 0.13ｕA/cm2보다 많지 않은 것을 특징으로 하는 탄탈륨 커패시터의 양극 리드용 탄탈륨 와이어.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 탄탈륨 와이어의 뽐힘 강도는 150MPa 또는 그 이상, 바람직하게는 160MPa 또는 그 이상, 더욱 바람직하게는 170MPa 또는 그 이상, 더욱 바람직하게는 175MPa 또는 그 이상, 더욱 바람직하게는 180MPa 또는 그 이상, 특히 바람직하게는 185MPa 또는 그 이상인 것을 특징으로 하는 탄탈륨 커패시터의 양극 리드용 탄탈륨 와이어.
- 제 1 항 내지 제 3 항들 중 어느 한 항에 있어서,
(1) 공급원료 탄탈륨 와이어를 제공하는 단계;
(2) 상기 공급원료 탄탈륨을 열처리하는 단계;
(3) 열처리된 탄탈륨 와이어 상에 산화물 멤브레인을 형성하기 위해서 상기 열처리된 탄탈륨 와이어를 표면 전처리하는 단계;
(4) 압연된 탄탈륨 와이어의 단면이 대략적인 직사각형 혹은 정규 직사각형을 이루게 하기 위해서 상기 표면 전처리된 와이어를 윤활유하에서 압연하는 단계; 그리고
(5) 탄탈륨 와이어를 최종 어닐링하는 단계;를 포함하는 탄탈륨 와이어의 제조방법. - 제 4 항에 있어서, 상기 열처리 단계는 1000-1450oC, 바람직하게는 1200-1400oC의 온도에서 30-60분, 바람직하게는 40-60분 동안 진공 어닐링하는 단계인 것을 특징으로 하는 탄탈륨 와이어의 제조방법.
- 제 4 항 또는 제 5 항에 있어서, 상기 표면처리단계는 산소분위기하에서 고온으로, 바람직하게는 500-700oC의 온도에서 99% 순수 산소하에서 1분 내지 1시간, 바람직하게는 5분 내지 30분 동안 수행되는 것을 특징으로 하는 탄탈륨 와이어의 제조방법.
- 제 4 항 내지 제 6 항들 중 어느 한 항에 있어서, 상기 압연단계는 다중 패스 압연이고, 각각의 패스의 감소율은 20-95%, 바람직하게는 20-90%, 더욱 바람직하게는 22-85%인 것을 특징으로 하는 탄탈륨 와이어의 제조방법.
- 제 4 항 내지 제 7 항들 중 어느 한 항에 있어서, 어닐링 단계는 응력을 제거하기 위해서 압연단계 동안에 개입되는 것을 특징으로 하는 탄탈륨 와이어의 제조방법.
- 제 4 항 내지 제 8 항들 중 어느 한 항에 있어서, 상기 어닐링 단계는 1000-1450oC의 온도, 바람직하게는 1200-1400oC의 온도로 30-60분, 바람직하게는 40-60분 동안 수행되는 것을 특징으로 하는 탄탈륨 와이어의 제조방법.
- 제 4 항 내지 제 9 항들 중 어느 한 항에 있어서, 상기 탄탈륨 와이어는 압연단계 후 및 최종 어닐링 단계 전에 세척되는 것을 특징으로 하는 탄탈륨 와이어의 제조방법.
- 제 4 항 내지 제 10 항들 중 어느 한 항에 있어서, 상기 최종 어닐링 단계는 1600-2000oC의 온도, 바람직하게는 1700-1800oC의 온도와 5-10m/min의 와이어 인발 비율로 연속적인 와이어 인발 어닐링인 것을 특징으로 하는 탄탈륨 와이어의 제조방법.
- 제 4 항 내지 제 11 항들 중 어느 한 항에 있어서, 상기 윤활유는 유기 플루오로-클로로 윤활유인 것을 특징으로 하는 탄탈륨 와이어의 제조방법.
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