KR20110074615A - 진공 처리 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 물품(12)들을 진공 처리하는 장치와 관련한다. 장치는 공정 압력 및 물품들이 주위 압력에서 장치 내로 로딩될 수 있는 로딩 영역(18)에서 물품들이 진공 처리될 수 있는 공정 영역(14)을 포함한다. 복수의 물품 캐리어(20)들은 물품들이 진공 처리될 수 있도록 밀봉된 통로(24)를 따라 로딩 영역으로부터 공정 영역으로 물품을 운반하도록 제공된다. 캐리어(20)들은 통로를 따라 물품들을 운반할 때 통로의 내면에 대해 밀봉하는 각각의 밀봉 수단(26)을 포함한다. 밀봉 수단(26)은 로딩 영역에서 주위 압력으로 로딩되고 공정 영역에서 운반되는 물품물품정 압력에서 진공 처리될 수 있도록 로딩 영역으로부터 공정 영역으로 통로를 따라서 밀봉 수단을 거쳐 가스 또는 증기의 흐름을 억제한다.

Description

진공 처리 장치{VACUUM PROCESSING APPARATUS}

본 발명은 진공 또는 매우 낮은 압력 아래 물품(article)을 처리하는 장치에 관련하나, 어떠한 차별적인 압력 공정에 역시 적용될 수 있다.

낮은 압력 또는 진공 처리는, 물질에 화학 물질을 적용시키기 위해, 또는 예를 들면 냉동 건조(freeze drying)와 같은 낮은 압력 조건 하에 물질 또는 품목(item)에 대한 몇몇의 다른 공정을 수행하기 위해, 예를 들면 폴리에스테르 필름 상에 알루미늄의 스퍼터링(sputtering), 경도를 증가시키기 위한 강(steel)의 질화처리(nitriding), 투명한 전극을 형성하기 위해 글래스 상에 ITO(indium tin oxide)의 스퍼터 코팅, 접착제를 향하여 반응성을 향상시키기 위한 차가운 플라즈마 공정을 통해 제조에 있어서 처리하는 것이 넓게 적용되거나 물질의 특성을 변형시키는 데 적용된다. 상기의 대기 처리의 예들은 살균, 저온살균(pasteurisation), 렌더링(rendering), 특별 화학 물질 제조 등을 포함한다.

제품 또는 중간 물질을 진공 처리하기 위해, 주위 압력에서의 홀딩 영역으로부터 공정 압력에서의 처리 챔버로 제품을 이송하는 것이 필수적이다. 이송이 달성될 수 있는 하나의 방법은 처리 챔버에 제품(또는 무리의 제품)을 배치하고 이어서 공정 압력으로 챔버를 비움으로써 단순화된다. 처리를 따름으로써, 챔버 압력은 주위 압력으로 상승되고 제품은 제거될 수 있다. 이러한 공정은 챔버 내의 압력이 주위 및 제품 또는 무리의 제품의 처리되는 공정 사이에서 순환되어야 하기 때문에 비효율적이다. 압력을 순환시키는 것은 에너지를 요구하고 시간이 집중적이다; 그리고 이로 인해 제품 쓰루풋(throughput)이 크고 비싼 챔버가 사용되지 않는다면 낮다. 높은 제품 밀도를 갖는 큰 챔버들은 공정을 동일화하기에 이롭지 않을 수도 있다.

공정은 주위와 공정 사이에서 압력이 순환하는 하나 또는 이상의 로드락 챔버(load lock chamber)들을 포함함으로써 개선될 수 있다. 로드락 챔버가 공정 압력에 있을 때 제품들은 로드락으로부터 처리 챔버로 이송될 수 있다. 로드락 챔버가 주위 압력일 때 제품들은 로드락 챔버에서/로부터 이송될 수 있다. 이러한 후자의 공정은 처리 챔버가 상대적으로 연속적인 처리가 달성되는 것을 허용하는 공정 압력에서 유지될 수 있다. 그러나, 이러한 공정에서 로드락 챔버는 주위 및 공정 압력 사이에서 순화되어야 하고 자동의 회전 이동을 갖는 게이트 밸브들은 복잡성, 비용 및 실패에 대한 잠재력을 증가시키는 챔버들 사이의 이동을 가능하게 하는 것을 요구된다.

제품이 평평하거나 또는 2차원(예를 들면 얇은 유연한 시트 또는 강하고 딱딱한 반-연속적인 시트)이라면, 제품들은 처리 챔버의 비움을 허용하는 다수의 실(seal)들을 통해 처리 챔버에서/로부터 이송될 수 있다. 실들은 제품이 실들을 통해 전달될 때 평평한 제품들의 평평한 표면에 대해 봉한다.

휘파람 또는 미로 무늬(labyrinth) 실들은 이러한 목적으로 대개 사용되었고, 제품의 평평도에 의존하고, 이동 시 제품에 대해 가압하거나 높은 압력 지역으로부터 낮은 압력 지역으로 가스의 진입을 제한하기 위해 충분히 차단된 복수 개이면서 때때로 유연한 실들로 구성한다. 이러한 공정은 평평하지 않거나 불규칙한 형상이거나 다공성이거나 또는 쉽게 변형되는 3차원 제품의 처리에는 적합하지 않다.

미국 등록특허 US 5 425 264(Grenci et al)은 플라스틱 구성이 고진공에 노출되거나 시간의 연장된 기간 동안 초고진공에 노출되는 플라스틱 물질, 특히 PVC, CPVC로부터 진공 구성을 만드는 방법을 개시하며, 방출가스 비율은 고진공 및 초고진공을 위한 요구되는 한계가 있는 수준에서 상당히 떨어진다.

미국 공개특허 2005/0111936는 로드락 챔버들이 진공 내에서 공기로부터 샘플을 이송하고 로봇들이 하나의 챔버로부터 다른 챔버로 샘플들을 이동시키는 멀티-챔버 시스템을 묘사한다. 의도는 풋프린트를 감소시키고 쓰루풋을 증가시키고 진공 체적을 감소시키고 시스템이 확장되는 것을 가능케 하는 것이다.

국제 공개특허 WO-A-2005/0111936은 종래의 진공 게이트 및 순환 배열에서 로보틱스와 결합된 캐리어의 사용을 가르친다.

일본 공개특허 JP-A-2001196437는 진공 게이트 및 로봇 아암을 갖는 종래의 로드락들을 사용하여 기판을 이송하는 시스템을 묘사한다. 일본 공개특허 JP-A-2001196437은 과도한 조작에 의해 야기되는 기판의 파손을 감소시키는 것을 의도한다.

본 명세서 내에 포함되어 있음.

본 발명의 제1 측면에 따르면 물품을 진공 처리하는 장치가 제공되며, 다음을 구비한다:

대기 압력에서 로딩 영역에 적어도 하나의 캐리어를 수용하도록 적용되는 유체 통로;

처리하는 동안 하나 또는 이상의 물품이 수용되는 매개 체적을 사용 시 정의하는 적어도 하나의 실(seal)을 갖는 캐리어들;

상기 통로를 정의하며 압력이 대기 압력에 비해 낮은 공정 영역;

상기 로딩 영역으로부터 상기 공정 영역 및 이후의 출구 영역으로 상기 통로를 따라서 캐리어들을 배치하는 수단; 및

사용 시 상기 통로와 유체 소통되고, 상기 로딩 영역을 중개하는 상기 통로 내에서 캐리어의 내부 압력을 감소시키도록 작동하며 상기 공정 영역 및 상기 출구 영역을 중재하는 상기 통로 내에서 캐리어의 내부 압력을 상승시키도록 작동하는 적어도 하나의 펌프.

이상적으로, 캐리어는 그의 단부에 위치되는 2개의 실(seal)을 포함한다.

따라서, 압력에서 점진적인 감소는 그들이 로딩 영역으로부터 공정 영역으로 전달함으로써 캐리어들(그리고 그들의 콘텐트들)에 의해 겪어지는 것이 명백하다. 캐리어들이 공정 영역에 매우 낮은 압력 또는 진공으로 도달할 때, 공정은 각각의 캐리어에 저장된 물품들에 수행될 수 있다. 공정을 따르면서, 캐리어들은 출구 영역으로 몰리고 출구 영역은 역시 대기 압력에 있으며, 물품이 캐리어들로부터 제거될 수 있다.

통로는 이상적으로 단면이 캐리어의 실에 일치하는 벽에 의해 정의된다.

바람직하게는, 실들은 캐리어의 제1 단부 및 제2 단부 주위에 연장한 변형 가능한 플랜지부로부터 형성되고, 이로 인해 사용 시 압력 차이는 플랜지를 가로 질러 발생된다. 이상적으로, 실은 원형의 단면을 갖는 파이프와 일치하기 위해 디스크 형상을 가지나 컵 형상을 가질 수 있으며, 유연한 물질의 고리를 보이기 위해 2개의 평평한 디스크들 사이에 끼인 유연한 물질의 형태를 유익하게 갖는다.

통로의 내벽들은 이상적으로 부드럽고 연마되었고, 실들과 벽 사이의 마찰을 감소시키나 밀폐된(거의 밀폐된) 밀봉을 유지시키기 위하여, 선택적으로 폴리-테트라플루오르에텐(PTFE, poly-tetrafluoroethene)과 같은 물질로 코팅될 수 있다. 그러나, 감소된 마찰은 부드러운 벽의 마이크로-거칠어짐(micro-roughening)에 의해 나누어질 수 있다. 이러한 예에서, 그렇게 거칠어진 내벽들은 압력 차이가 예를 들면 500mba보다 작게 그리고 보다 바람직하게는 10mba보다 작은 영역에 있어야 한다.

비록 참조가 진공 또는 매우 낮은 압력 고정에서 만들어질지라도, 본 발명이 대기 압력 이상의 압력으로 사용 시 수정될 수 있음은 이해된다.

따라서, 본 발명의 제2 측면에 따르면, 상승되는 압력에서 물품을 처리하는 장치가 제공되며, 다음을 포함한다:

물품이 상승되는 공정 압력에서 처리될 수 있는 공정 영역;

주위 압력에서 물품들이 상기 장치에 로딩될 수 있는 로딩 영역;

물품이 상승되는 압력에서 처리될 수 있도록 밀봉된 통로를 따라서 상기 로딩 영역으로부터 상기 공정 영역으로 물품을 운반하는 복수 개의 물품 캐리어;를 포함하며,

상기 캐리어들은 상기 통로를 따라 물품들을 운반할 때 상기 통로의 내면에 대해 밀봉하는 각각의 밀봉 수단을 포함하며, 상기 밀봉 수단은

상기 로딩 영역에서 주위 압력에서 로딩되고 상기 공정 영역에서 운반되는 상기 물품이 공정 압력에서 처리될 수 있도록 상기 로딩 영역으로부터 상기 공정 영역으로 상기 통로를 따라서 상기 밀봉 수단 전에 가스의 흐름 또는 증기를 제한한다.

본 발명의 장점은, 압력이 공정 영역을 향하여 원하는 비율로 감소되고(또는 증가되고) 출구 영역을 향하여 원하는 비율로 상승(감소)하는 것을 허용하도록 유체 통로 길이가 조절될 수 있기 때문에, 압력을 조절하기 위한 자동 조절 밸브들의 필요의 부족이다. 아울러 장점은 하나 또는 이상의 공정들이 평행하게 이루어질 수 있고 캐리어들의 각각의 실들에 의해 서로 분리되게 유지되는 것이다.

그러나, 밸브들은 간격을 두고 유체 통로의 벽에 위치될 수 있고, 캐리어의 실들과 유체 통로의 벽 사이에 정의된 체적 내에서 압력을 감소시키도록 작용하는 하나 또는 이상의 펌프들로 연결될 수 있다.

캐리어들을 배치시키는 수단과 동시에 펌프들 및/또는 밸브들을 작동시키기 위해 작동하는 제어 수단이 선택적으로 제공되며, 제1 위치로부터 제2 위치로 하나 또는 이상의 캐리어들의 위치에, (유체 통로의 벽들 및 캐리어의 실들을 중개하는 체적에 의해 정의되는 바와 같은), 펌프들 및/또는 밸브들이 캐리어의 외부 위치에 대해 캐리어 내의 위치 사이에서 압력 차이가 적어도 유지하도록 가압된다.

바람직하게는, 캐리어 이부 위치에 대하여 캐리어 내에서 위치 사이의 압력 차이는 캐리어가 공정 영역을 향하여 배치되기 때문에 증가된다.

공정 영역은 플라즈마 공정 영역일 수 있다. 변경적으로, 다른 낮은 압력 공정들은 공정 영역에서 이루어질 수 있으며 이것들은 포함한다: 진공 증착 및/또는 식각 공정, 건조 보존(desiccation), 투입 또는 냉동 건조 또는 사용할 수 있는 어떠한 조합.

캐리어들은 이상적으로 대개 0.1MPa를 초과하는 압력 차이에 의해 발생되는 높은 압축력을 견딜 수 있는 견고한 물질로부터 형성된다.

이상적으로 캐리어들은 원통형이고 파이프 또는 튜브형 통로 내측에 맞추어 적용되고, 중공이고, 처리되거나 공정될 품목들을 받을 형상이다. 캐리어들은 통로의 형상을 차지하고 거기에 일치하는 물질로부터 유익하게 형성되는 외면 주위에 위치되는 실을 포함하여, 캐리어가 통로에 길게 배치될 때 오직 작은 범위에서 변형한다. 최고의 크기가 실 종류 및 물질, 벽을 형성하는 물질 및 특별한 압력 체제의 주어진 조합으로 존재한다는 것은 이해된다.

힘을 받을 때 변형하는 적절한 물질의 하나의 예는 폴리우레탄(polyurethane)이며, 2 내지 10mm 사이의 두께의 플랜지로 배치되면, 효율적인 밀봉을 발생시킨다. 보다 복잡한 실들은, 예를 들면 유연한 모서리들과 더 두껍고 더 굳은 중앙 단면, 컵 형상의 디스크 또는 예를 들면 폴리우레탄 및 PTFE 박판 또는 폴리우레탄으로 도프 처리(doped)된 윤활유를 통해 마찰을 줄이는 복합성 재질의 실들을 갖는 복합의 단면 폴리우레탄 디스크가 사용될 수 있다.

캐리어들을 배치하는 수단은 다음을 포함한다: 인접한 캐리어의 트레인을 밀도록 배치되는 수압 또는 공압식의 램, 전자기 액츄에이터, 볼 스크루 또는 동일한 액츄에이터, 하나 또는 이상의 동력화된 컨베이어들; 및 상호간의 맞물림 훅들, 가르쳐진 와이어 또는 랙 그리고 피니언 시스템과 같은 직접 기계적 맞물림 수단.

유익하게는, 처리될 물품 또는 제품을 내장하는 캐리어들은 배치되어 사용 시 하나가 다른 하나에 바로 접촉됨으로써 로딩 영역으로부터 공정 영역 및 거기서부터 출구로 밀봉된 통로를 따라 몰아지는 일련의 캐리어들 또는 연결된 캐리어들을 한정한다. 이것은 이상적으로는 예를 들면 하나의 캐리어로부터 인접한 캐리어로 전해지는 수압식 램으로부터의 단축의 힘의 적용에 의해서 달성된다.

본 발명의 다른 바람직한 그리고/또는 선택적인 특징은 수반하는 청구항들에 정의된다.

본 발명은 도면의 참조와 함께 오직 예들로 지금 묘사될 것이다.

본 명세서 내에 포함되어 있음.

도 1은 진공 처리 장치를 보여준다;
도 2는 도 1에 도시된 진공 처리 장치의 캐리어를 보여준다;
도 3은 변경적인 진공 처리 장치를 보여준다;
도 4는 장치의 선형적인 버전의 변경적인 실시예 형태를 개략적으로 보여준다; 및
도 5는 닫힌 회로 또는 루프 내에서 장치의 추가적인 변경 실시예를 보여준다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 물품 또는 제품(12)을 진공 처리하는 장치(10)가 보여진다. 처리 장치는 예를 들면 133Pa 내지 0.1Pa의 범위의 압력에서, 비록 이러한 범위 외의 압력이 적용될 수 있을지라도, 저압 또는 진공을 포함하는 3Bar의 압력 차이까지 주위 대기의 압력 차이에서 물품을 처리하기에 적합하다. 진공 처리는 스퍼터링(sputtering), 물품을 변형하는 것(예를 들면, 경도를 증가시키기 위해 강을 질화처리하고, 플라즈마 처리하거나 물품들에 화학 물질을 적용함으로써), 조제약, 식료품 및 식용의 품목들과 같은 품목들을 건조(desiccating)하거나 냉동 건조(freeze drying)하는 것과 같은 기능을 하는 기술들을 포함한다.

장치는 많은 물품들을 빨리 처리하기에 요구되고 바라는 기술에 특히 적합하다.

장치(10)는 물품들이 매우 낮거나 거의 진공인 공정 압력에서 처리될 수 있는 공정 영역(14)을 포함한다. 공정 영역은 하나 또는 이상의 진공 펌프들(16)에 의해서 진공 포트(15)들을 통해 비워진다. 게다가 다른 펌프들 또는 하나 또는 이상의 밸브들에 의해 제어되는 밸런스 있는 공기 배출 시스템이 인렛(inlet) 또는 (대기 또는 주이 압력인) 로딩 영역으로부터 매우 낮은 압력이거나 진공이 공정 영역으로 압력을 점차 감소(또는 증가)시키도록 작용한다.

공정 영역은 진공 챔버를 포함할 수 있으며, 진공 챔버는 미처리된 물품들이 챔버로 이송되고 처리한 물품이 챔버로부터 제거될 수 있는 개구를 포함한다; 변경적으로 그것은 높은 공기(또는 다른 가스) 압력에 있을 수 있다. 공정 영역(14)은, 아래에서 자세하게 후술하겠지만 물품들이 챔버로 이송될 수 있고 공정 영역에서 중대하게 압력 변화 없이 그로부터 제거될 수 있기 때문에, 많은 물품들의 처리를 통해 요구되는 공정 압력에서 대개 유지될 수 있다.

물품(12)들은 로딩 영역(18)에서 주위 압력에서 장치(10)에 로딩된다. 이와 관련하여, 복수 개의 물품 캐리어(20)들은 로딩 영역(18)으로부터 공정 영역(14)으로 물품을 운반하도록 제공된다(도 2에 자세히 도시됨). 캐리어(20)들은 처리될 물품(12)들이 로딩될 수 있는 각각의 구획부(22)를 포함한다. 도시된 것처럼, 캐리어들은 대개 늘어나고 정확한 원형의 실린더이나 차단된 단부들 및 벽 및 측부들이 강한 강도를 갖는 어떠한 구조일 수 있다. 구획부(22)는 각각의 단부로부터 이격된 캐리어의 뒤쪽 범위를 따라서 형성될 수 있다. 구획부(22)는 물품의 큰 표면의 진공 처리가 공정 영역에서 달성될 수 있도록 빽빽하지 않게 물품들을 받도록 크기를 가지며 배치된다.

장치는 소위 3차원 물품(예를 들면, 글래스 또는 금속의 쉬트들과 같이 평평하지 않은 물품들)들을 운반하는 데 적합하다. 캐리어들은 물품들이 전형적으로 구획부(22) 내에 완전히 맞추어져서 캐리어의 외측 뒤쪽 범위를 넘어서 연장하지 않도록 크기를 가지며 배치된다. 물품들이 캐리어의 외측 뒤쪽 범위를 넘어서 연장한다면 통로의 내면과 간섭할 것이고 (아래 묘사되는) 밀봉 수단에 의한 밀봉을 방지한다는 것은 고려될 것이다.

캐리어(20)들은 밀봉된 통로(24)를 따라 로딩 영역(18)으로부터 공정 영역으로 로딩된 물품들을 운반한다. 본 실시예에서, 밀봉된 통로(24)는 일반적으로 원통형의 내면을 갖는 튜브이다.

도 2를 참조하면, 캐리어(20)들은 캐리어들이 통로를 따라 이동할 때 통로(24)의 내면에 대하여 밀봉하는 각각의 밀봉 수단(26)을 포함한다. 그러므로, 밀봉 수단은 로딩 영역으로부터 공정 영역 그리고 너머 캐리어들과 이동하는 통로에 밀폐를 제공한다.

밀봉 수단(26)은 로딩 영역으로부터 공정 영역으로 통로를 따라서 밀봉 수단(26)을 거쳐 가스 또는 증기의 흐름을 억제하는 마찰 실들과 같은 하나 또는 이상의 실들을 포함할 수 있다. 따라서, 캐리어들의 밀봉 수단은 로딩 영역에서 주입 압력으로 로딩되고 공정 영역으로 운반되는 물품들이 공정 압력에서 진공 처리될 수 있도록 공정 영역의 중대한 비움을 할 수 있다.

공정 영역에서 가스의 다소의 제한된 누출이 (실들의 질에 의존하여) 밀봉 수단을 거쳐 발생할 수 있음은 고려될 것이다. 아울러, 캐리어가 공정 영역에 들어갈 때 공정 영역으로의 인입에 앞서 캐리어가 공정 압력보다 큰 압력으로 있을 수 있으므로 공정 영역이 압력에서 약각 상승할 것이다. 압력 변화는 제품의 기체를 빼는 특성의 역할이며 중간 영역(28)들의 길이의 선택 및 실(26)들의 수의 선택에 따라 조절될 수 있다.

도 2에서, 밀봉 수단은 2개의 실(34, 36)들을 포함한다. 제1 실(34)은 구획부(22)의 앞에 위치되고 (도 2에서 화살표로 도시된) 이동의 방향에 대해 구획부의 앞 통로에 대하여 밀봉한다. 제2 실(36)은 구획부의 뒤에 위치되고 구획부의 뒤 통로에 대하여 밀봉한다. 따라서, 실(34, 36)들은 구획부(22)에서 압력을 유지한다. 각각의 실은 실들이 통로(24)의 내면에 맞물림될 수 있도록 캐리어의 앞 및 뒤의 외부 측면 부근의 주변에 연장한다. 통로(24)의 내면이 (도시된 것처럼) 원통형이라면 실들은 대개 원이거나 통로의 내부 형상에 대응하는 내경의 바람직하게는101 내지 107%이다.

실들의 동일 중심성 및 유효성을 유지하기 위해 캐리어(20)의 외경의 적어도 2개의 부분이 통로(24)의 내경의 95 및 99% 사이에서 만들어질 수 있다. 변경적으로, 같은 크기의 반(semi) 견고한 스페이서 디스크는 실들이 통로(24) 내경의 101 내지 107%인 실(26)들의 그룹에서 포함될 수 있다.

변경적인 배열로, 각각의 캐리어(20)는 구획부의 앞 또는 뒤에 위치되는 하나의 실을 포함할 수도 있다. 이러한 경우에, 캐리어의 구획부의 압력은 캐리어 및 인접한 캐리어 상의 다른 실에서 하나의 실에 의해 유지된다.

도 1에 도시된 경로(24)는 주위 압력 및 공정 압력 사이의 압력에서 유지되도록 적용되는 중간 공정 압력(28)을 포함한다. 이와 관련하여, 경로는 하나 또는 이상의 진공 펌프(32)들과 연결되는 진공 포트(30, 31)들을 포함한다. 펌프(32, 16)들은 일체일 수 있고 이러한 경우에 진공 포트(30, 31)들은 진공 펌프의 중간 인렛에 연결될 수 있고 반면에 공정 영역은 펌프의 메인 인렛에 연결된다.

중간 영역들은 로딩 영역으로부터 공정 영역으로 압력에 있어서 꾸준한 감소(또는 증가)를 제공한다. 이러한 방식에서, 통로에서 캐리어들의 밀봉 수단을 가로지르는 압력 차이는 주위 및 공정 압력 사이의 압력 차이보다 작다. 따라서, 주위 압력 및 공정 영역 사이의 몇몇의 중간 영역(들)의 제공은 각각의 실이 상대적으로 더 작은 압력 차이를 견디어야 한다는 것을 의미한다. 공정 영역에서 13.3Pa로 유지되고 로딩 영역에서 대기로 유지되면, 중간 영역은 133Pa 내지 13.3Pa로 유지될 수 있다.

중간 압력 영역(28)은 다른 압력을 갖는 2개의 보조-영역들을 포함한다. 제1 보조-영역은 통로(24)에서 압력이 공정 영역을 향하여 단계적으로 감소하도록 진공 포트(30)를 통해 비워지는 제2 보조-영역보다 높은 압력으로 진공 포트(31)를 비운다. 2개 이상의 보조-영역들이 제공될 수 있다. 일반적으로, 예를 들면 진공 포트(31)를 통해 비워지는 제1 보조-영역은 공기의 부피를 제거할 것이고 독립적으로 펌프(33)에 의해 펌프될 것이다.

캐리어(20)들은 통로를 따라서 하나의 캐리어의 이동이 상기 통로를 따라 체인 연결된 다른 캐리어들의 이동을 야기시키도록 통로를 따라 일련의 또는 체인의 캐리어들을 형성하기 위해 인접한 캐리어와 접촉하도록 배치된다. 요구된다면, 캐리어들은 캐리어들을 이격시키는 이격 수단을 포함할 수 있다. 캐리어들은 예를 들어 주위 압력에 위치되는 수압식 램에 의해 통로를 따라 이동되거나 푸쉬된다. 변경적으로 캐리어들은 통로를 따라 연결되고 당겨질 수 있다.

장치(10)는 물품(12)들이 주위 압력에서 장치로부터 언로딩될 수 있는 언로딩 영역(38)을 더 포함한다. 밀봉된 제2 통로(40)는 공정 영역(14)으로부터 언로딩 영역(38)으로 연장한다. 밀봉된 제2 통로는 통로와 동일하며, 같은 특징은 간결함을 위해 상세하게 설명되지 않을 것이다. 캐리어(20)들은 공정 영역으로부터 언로딩 영역으로 처리된 물품들을 운반하는 제2 통로를 따라서 이동될 수 있다.

캐리어들의 밀봉 수단(26)은 제2 통로를 따라서 물품들을 운반할 때 밀봉된 제2 통로(40)의 내면에 대해 밀봉한다. 밀봉 수단은 공정 압력에서 처리되고 언로딩 영역으로 운반될 물품들이 주위 압력에서 언로딩될 수 있도록 언로딩 영역으로부터 공정 영역으로 제2 통로를 따라 밀봉 수단을 거쳐 가스 또는 증기의 흐름을 억제한다. 이러한 방식으로, 공정 영역은 처리된 물품들이 장치로부터 제거되는 동안 공정 압력에서 대개 유지될 수 있다.

통로에서 밀봉 수단이 언로딩(unloaded) 영역으로부터 공정 영역으로 가스 또는 증기의 흐름을 억제하고(도 1의 우측에 도시됨), 제2 통로에서 언로딩(unloading) 영역으로부터 공정 영역으로 가스 또는 증기의 흐름을 억제한다(도 1의 좌측에 도시됨). 따라서 밀봉 수단(26)은 캐리어(20)들의 이동의 방향에 대해 양 방향으로 흐름을 제한하는 데 적합해야 한다.

제1 통로(24)와 유사하게, 제2 경로는 제2 경로에서 캐리어들의 밀봉 수단을 가로지르는 압력 차이가 주위 및 공정 압력의 압력 차이보다 작도록 주위 압력 및 공정 압력 사이의 압력에서 유지되도록 적용되는 중간 압력 영역(42)를 포함한다.

중간 압력 영역(42)은 상기 공정 영역을 향하는 상기 통로를 따라서 하나의 보조-영역으로부터 다음의 보조-영역으로 각각의 압력에서 유지되도록 적용되는 복수 개의 보조-영역을 포함할 수 있다. 이와 관련하여, 제2 통로는 진공 포트(44, 46)들을 통해 비워질 수 있다. 포트(46)와 연결된 보조-영역은 통로(40)에서 압력이 공정 영역으로부터 언로딩 영역(38)으로 단계적으로 상승되도록 포트(44)와 연결된 보조-영역보다 높은 압력에서 유지된다. 제2 통로(40)는 진공 펌프(32)에 의해 비워질 수 있다.

바람직한 실시예에서, 중간 영역(42)은 공정 영역(14)으로 인접한 하나의 진공 포트가 없었더라면 활동적으로 펌프되지 않는다. 이러한 방식으로, 어떠한 공정 유출물이 예를 들면 진공 포트(44)를 통해 캐리어들/제품으로부터 제거될 수 있다. 압력에서 꾸준한 증가는 캐리어들이 언로딩 영역으로 진행함으로써 자연스럽게 영역(42)에서 발생할 것이다. 압력에서의 증가는 중간 영역(42)의 길이 및 실들 그리고 캐리어들의 수에 의해 조절된다. 컨트롤러는 영역들이 밸브를 통과할 때 어느 일측의 실들의 영역들이 효율적으로 펌프될 수 있도록 액츄에이터의 스트로크와 동시에 통로를 비우도록 배치될 수 있다.

장치(10)는 사용 시 지금 묘사될 것이다.

도 1에 도시된 것처럼, 캐리어(20)들은 공정 영역(14)을 통해 제1 경로(24)를 따라서 그리고 제2 경로(40)를 따라서 위치된다. 캐리어(20)들의 밀봉 수단(26)은 로딩 영역(18)으로부터 언로딩 영역(38)으로 공정 영역을 밀봉한다. 진공 펌프(16, 32, 33)들은 공정 영역이 공정 압력에 있고 제1 및 제2 통로들이 중간 압력에 있도록 공정 영역(14) 및 통로(24, 40)들을 각각 비우도록 작동한다. 물품(12)들은 로딩 영역(18)에서 하나 또는 이상의 캐리어(20)들의 구획부(22)에 로딩된다.

캐리어들은 통로를 따라서 이동된다. 캐리어의 제1 실(34)이 제1 통로에서 진공 포트(31)를 넘어 전달할 때, 가스 또는 증기가 제1 실(34) 및 제2 실(36) 사이로부터 비워짐으로써 구획부(22)에서 제1 중간 압력(예를 들면, 150Pa)으로 압력을 감소시킬 수 있다. 제1 실(34)이 제1 통로에서 진공 포트(30)를 넘어 전달할 때, 가스 똔ㄴ 증기가 제1 실(34) 및 제2 실(36) 사이로부터 비워짐으로써 구획부(22)에서 제2 중간 압력(예를 들면, 15Pa)으로 압력을 감소시킬 수 있다. 캐리어(20)의 연속적인 이동은 제1 실(34)이 공정 영역으로 들어가는 것을 야기하고, 가스 또는 증기는 제1 실(34) 및 제2 실(36)로부터 비워짐으로써 구획부에서 제2 중간 압력에서 공정 압력(예를 들면 13Pa)으로 압력을 감소시킬 수 있다.

물품의 진공 처리는 공정 영역에서 행해진다. 캐리어(20)들은 연속적으로 또는 반-연속적으로 이동하고 공정 영역의 길이는 수행되는 공정 시 공정 영역에서 캐리어의 충분한 거주를 허용하도록 선택되어야 한다. 변경적으로, 캐리어(20)들은 공정이 수행되는 기간 동안 공정 영역에서 정지하는 것이 야기될 수 있다.

밀봉된 통로의 길이를 따라서 몇몇의 공정 보조-영역이 있을 수 있고, 각각의 영역은 각 영역에서 캐리어의 거주 기간이 적절한 공정을 완료하기에 충분하도록 길이를 선택할 수 있다. 제품의 로딩 및 언로딩을 포함한 모든 공정이 평행하게 이루어지기 때문에, 제품을 처리하는 데 걸리는 시간은 밀봉된 통로의 길이에 실질적으로 종속적이다. 밀봉된 통로의 길이가 길수록 제품을 내장하는 어느 하나의 캐리어를 위한 공정 시간을 짧아지고 전체적인 쓰루풋이 더 빨라진다.

공정을 따르면서, 가스 낭비 없이 캐리어로부터 제거된다고 가정하면 캐리어들은 제2 통로(40)를 따라 이동된다. 제1 실(34)이 진공 포트(44)를 거쳐 이동할 때, 가스 또는 증기는 제2 중간 압력(예를 들면 500Pa)으로 구획부(22)에서 압력을 상승시키는 제1 실(34) 및 제2 실(36) 사이로 인입한다. 제1 실(34)이 진공 포트(46)를 거쳐 이동할 때, 가스 또는 증기는 제1 중간 압력(예를 들면 1000Pa)으로 구획부(22)에서 압력을 상승시키는 제1 실(34) 및 제2 실(36) 사이로 인입한다. 제1 실(34)이 언로딩 영역으로 이동할 때, 가스 또는 증기는 물품들이 언로딩되는 것을 허용하는 주위 압력(예를 들면 대기압)으로 구획부(22)에서 압력을 상승시키는 제1 실(34) 및 제2 실(36) 사이로 인입한다.

공정의 바람직한 방법은 진공 포트(44)를 통해 가스를 낭비하는 것을 제거하지 않고 제2 통로(40)에서 캐리어들의 몇몇을 활동적으로 비우지 않는다. 이후에 활동적인 펌핑 없이 제2 통로(40)에서 실(34, 36)들은 언로딩 영역으로부터 점차 공기를 누출한다. 통로(40)의 길이는 누출 비율이 작고 대략 0의 누출이 공정 영역에서 보여지도록 선택된다.

도 3에 도시된 변경적인 배열에서, 밀봉된 통로(24, 40)들은 물품들이 로딩 및 언로딩될 수 있고 공정 영역(14)이 물품이 처리될 수 있는 공정 압력에서 유지되는 주위 압력 사이에서 캐리어(20)들이 순환할 수 있는 회로를 따라서 형성한다.

도 5는 선형의 닫힌 회로 또는 루프 공정 시스템을 포함하는 장치를 보여주며, 같은 부분은 같은 참조 번호를 가지며, 자동 오프(off) 로더(25) 및 자동 로더(27)를 갖는다. 캐리어(20)들은 캐리어들이 진공 또는 저압인 공정 영역(14)에서 통과하는 통로 내에서 대기의 입구 또는 로딩 위치(18)로부터 몰아진다. 캐리어(20)들 내에서 품목(12)들이 처리된 후에, 캐리어들은 출구 위치(38)로 상승하는 압력(42)의 영역들로 지나간다. 출구 위치에서 통로는 잘라 내고/내거나 약간의 기울임을 가지며, 몇몇의 다른 액츄에이터는 캐리어들이 공정 통로로부터 멀리 이동하고 회전하거나 컨베이어(50)로 지나는 것을 야기하거나 허용하도록 제공된다. 출구 영역(38)에서 처리된 제품은 제거되고, 지금 미처리된 제품은 컨베이어(50)의 영역(58)으로 지금 지나는 캐리어에 배치된다.

컨베이어는 예를 들면 램(ram) 시스템, 영역(18)에서 캐리어들을 되돌리는 어떠한 운반 방법을 구성할 수도 있으며, 캐리어들은 한쪽 끝과 다른 한쪽 끝은 잇도록 유지되며 따라서 컨베이어를 따라서 하나를 밀면, 벨트, 공압 또는 다른 이동 시스템에 의해서 캐리어들 사이의 갭이 있는 곳으로 이송된다. 유익하게는, 컨베이어는 밀봉될 수 있으며, 캐리어들 내에서 제품에 예를 들면 건조, 가열, 코팅, 분사 등이 적용되는 하나 또는 이상의 전조건(pre-conditioning) 공정을 구비할 수 있다. 영역(14)에서 제품의 진공 처리 시 컨베이어(50)를 따라 적용될 수 있는 특별히 유용한 전조건 단계는 영역(52)에서 진공 건조이다.

영역(56)에서 압력을 낮추기 위해 영역(58)에서 대기를 구분하고 영역(25)에서 대기로 되돌아가는 컨베이어를 따라서 다수의 낮은 압력 단계가 있을 수 있다. 영역(56)에서 낮은 압력을 가져오기 위해, 진공 포트(54)는 컨베이어(50)를 가로지름으로써 제품의 기체를 빼도록 하는 하나의 펌프 또는 복수의 펌프(70)들에 연결될 수 있다. 출구 위치(25)에서 통로는 잘라내고/내거나 약간의 기울임을 가지거나 몇몇의 다른 액츄에이터는 캐리어가 컨베이어 통로(50)로부터 멀리 이동하고 회전하거나 로딩 영역(18) 상에서 지나고 순환이 다시 시작하는 것을 야기하거나 허용하도록 제공된다.

유익하게는 캐리어들의 내용물(12)-즉 처리된 품목들-은 (예를 들면 포장을 위한) 영역(38)에서 캐리어로부터 품목들을 제거하는 누군가에게 제공되거나; 기계적인 수단이 품목을 제거하기 위해 제공된다. 유익하게는, 처리된 새로운 품목들은 로딩 및 언로딩이 같은 위치에서 발생하도록 처리된 품목을 교체할 수 있다.

진공 처리를 수행하는 시스템의 다른 변형들은 도 5에 도시된 예에서 단순한 선형의 공정 라인을 포함한다.

도 4는 선형의 공정 시스템을 포함하는 장치를 보여주며, 같은 부분은 같은 참조 번호를 가지며, 로딩 위치(18) 및 언로딩 위치(38)를 갖는다. 캐리어(20)들은 대기압의 입구 또는 로딩 위치(18)로부터 매우 낮은 압력인 공정 영역(14)으로 캐리어가 지나도록 통로(24) 내측으로 몰아진다. 캐리어(20)들 내에서 품목(12)들이 처리된 후, 캐리어들은 캐리어들이 통로(40)로부터 제거되고 처리된 제품(12)이 캐리어로부터 제거된 출구 위치(38)로 증가하는 압력의 영역(42)으로 지나간다. 그리고 나서 캐리어들은 로딩 위치(18)로부터 뒤로 이송된다. 새로운 미처리된 제품(12)은 캐리어 구멍(22) 내에 놓이고 순환이 다시 시작한다.

다음의 예는 본 발명을 더 설명한다;

실시예 1 : - 도 4 및 도 2를 참조하면, 24cm x 24cm 인 면 직물의 예들(12)은 캐리어 내에서 각각 놓인다. 캐리어(20)들은 폴리비닐클로라이드(PVC, polyvinylchloride)로 제조되고, 통로 내경의 97%이고, 42cm의 길이를 갖는다, 도 2에 도시된 것처럼, 통로 내경의 102%인 폴리우레탄 디스크 실(34)들은 각각의 캐리어의 어느 한 끝에 위치된다. 면 직물의 예를 각각 내장하는 18개의 캐리어(20)들은 로딩 영역(18)에서 연속적으로 놓이고 램에 의해 통로(24) 내로 몰아진다. 진공은 3개의 펌프들에 의해 적용되고 이로써 133Pa의 압력이 진공 포트(33)에, 250Pa의 압력이 제1 중간 영역(28)에, 10Pa의 압력이 공정 영역(14)에 보유된다. 성취된 진공으로 플라즈마는 외부의 전극을 사용하여 영역(14)에 가둔다; 13.56MHz 소스 및 플루오르-모노머는 같은 영역으로 유입된다. 면 직물 예들을 포함하는 캐리어들은 로딩 스테이션에서 연속적으로 공급되고 통로(24)의 길이를 따라서 푸쉬되고 또한 출구 영역(38)으로부터 제거된다. 캐리어들이 출구 영역으로부터 벗어난 후, 예를 들면 보이는 플라즈마와 공정 화학 물질을 갖는 제1 "처리된" 캐리어는 출구 영역(38)의 밖으로 푸쉬된다.

면 예들은 소수성의 효과들을 보여준다. 후에 8개의 캐리어들이 통로를 가로지르는 것이 야기되고 만족할 수 있게 처리된다. 공정 영역(14)에서 압력은 대략 10Pa로 유지된다.

실시예 2 : - 신발은 진공 챔버에 놓일 때 전형적으로 물 및 용제를 빼내는 물질로부터 제조되고 이러한 빼냄은 CVD 및 PECVE 공정을 방해할 수 있다. 도 5에 보여지는 영역을 참조하여, 50쌍의 스포츠 (트레이닝) 스타일 신발들은 캐리어에 각각 한 쌍씩 놓이고 본 발명의 닫힌 회로의 연속적인 기계의 로딩 스테이션에 공급된다. 대략 1200Pa의 진공이 동적으로 적용되는 전처리 컨베이어의 영역(52)을 통해 한 쌍의 신발들을 포함하는 캐리어들이 이동된다. 캐리어들은 대략 6.5분 동안 진공 건조 영역에 놓인다.

영역(25, 18)들은 대기압에 있으며, 연결되고 컨베이어(50)로부터 공정 라인 영역(28, 14, 42)로 캐리어들을 이송할 때 물 흡수를 피하고 깨끗하고 건조한 공기를 포함하도록 밀봉된다. 그리고 나서 캐리어들은 공정 라인 영역(28 내로 그리고 공정 영역(14)을 거쳐 그리고 출구 영역(38) 상에서 몰아진다. 한 쌍의 신발들을 위한 순환 주기는 30초이고 18Pa의 압력이 공정 영역(14)에서 유지된다. 우수하고 균일한 공정 효과가 달성된다.

동일한 묶음으로부터 신발들은 묶음 기계를 사용하여 처리되고, 전-건조 신발은 10시간 동안 건조한 공기를 사용하여 처리된다. 달성되는 공정 압력은 30Pa 이고 한 쌍을 위한 공정 순환 주기는 90초이다, 다양한 공정 효과가 달성된다.

본 발명은 수정 및 변형을 갖는 여러 실시예들로 묘사되었으나, 이러한 서술을 읽고 이해함으로써 구체화 및 수정이 기술에 숙련된 자에게 명백할 것이다. 이러한 모든 구체화 및 변형들은 수반한 청구항들을 정의함으로써 본 발명의 범위 내에 해당하는 경향이 있다.

예를 들면, 리퍼런스가 매우 낮은 압력 또는 진공에서 공정이 이루어질지라도 장치는 높은 압력에서 처리되도록 변형될 수 있다. 마찬가지로 의류 및 스포츠 신발보다 다른 품목들이 처리될 수 있다. 예를 들면, 연구 장치, 유리 제품과 같은 고체의 품목, 젖음이 불리한 피펫, 튜브 및 좁은 관 또는 유체 경로와 같은 고체의 품목이 처리될 수 있다.

Claims (31)

1. 대기 압력에서 로딩 영역에 적어도 하나의 캐리어를 수용하도록 적용되는 유체 통로;
   처리하는 동안 하나 또는 이상의 물품(article)이 수용되는 매개 체적이 사용 시 정의되는 적어도 하나의 실(seal)을 갖는 캐리어들;
   상기 통로를 정의하며 압력이 대기 압력에 비해 낮거나 높은 공정 영역;
   상기 로딩 영역으로부터 상기 공정 영역 및 이후의 출구 영역으로 상기 통로를 따라서 캐리어들을 배치하는 수단; 및
   사용 시 상기 통로와 유체 소통되고, 상기 로딩 영역 및 상기 출구 영역을 중개하는 상기 통로 내에서 캐리어들의 내부 압력을 감소시키거나 증가시키도록 작동하는 적어도 하나의 펌프 또는 압력 구별 수단을 포함하는, 물품들을 진공 처리하는 장치.
   
2. 제1항에 있어서,
   상기 통로의 단면은 상기 캐리어의 단면에 대응하는 장치.
   
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   실들은 상기 캐리어의 제1 단부 및 제2 단부 주변으로 연장하는 변형 가능한 플랜지부로부터 형성되며, 이로써 사용 시 압력 차이는 상기 플랜지를 가로질러 발생되는 장치.
   
4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   실들은 상기 캐리어의 제1 단부 및 제2 단부로부터 연장하는 공압의 "U", "T" 또는 "V" 타입의 실들로부터 형성되며, 사용 시 압축 차이가 플랜지를 가로질러 발생되는 장치.
   
5. 제3항에 있어서,
   상기 실은 원형의 단면을 갖는 파이프에 일치하기 위하여 디스크 형상인 장치.
   
6. 제1항에 있어서,
   상기 실은 2개의 평평한 디스크들 사이에 끼이는 유연성 물질을 포함하며, 유연성 물질의 고리를 드러내는 장치.
   
7. 제1항에 있어서
   사용 시 밀폐된(또는 거의 밀폐된) 실을 유지하는 동안 상기 실들과 상기 벽 사이의 마찰을 감소시키기 위해, 상기 실은 폴리-테트라플루오르에탄(PTFE, poly-tetrafluoroethane) 또는 몰리브덴 이황화물(molybdenum disulphide)과 같은 불소 중합체(fluoropolymer)로 구성되거나 박판화되는 유연성 물질을 포함하는 장치.
   
8. 제7항에 있어서,
   사용 시 상기 실을 기밀된(거의 기밀된) 실로 유지하는 것을 허용하는 동안, 상기 실 물질에 의한 공정의 오염을 줄이기 위해, 상기 실은 유연한 불활성의 덮개에 의해 공정 환경으로부터 보호되는 하는 장치.
   
9. 제1항 내지 제8항에 있어서,
   상기 통로의 내벽들은 이상적으로 매끈하고 연마 처리된 장치.
   
10. 제9항에 있어서,
    사용 시 밀폐된(또는 거의 밀폐된) 실을 유지하는 동안 상기 실들과 상기 벽 사이의 마찰을 감소시키기 위해, 상기 벽들은 폴리-테트라플루오르에탄(PTFE, poly-tetrafluoroethane)과 같은 물질로 코팅되는 장치.
    
11. 공정 압력에서 물품들이 진공 처리될 수 있는 공정 영역;
    주위 압력에서 물품들이 장치에 로딩될 수 있는 로딩 영역; 및
    물품들이 진공 처리될 수 있도록 밀봉된 통로를 따라서 상기 로딩 영역으로부터 상기 공정 영역으로 물품을 운반하는 복수 개의 물품 캐리어들;
    을 포함하며,
    상기 캐리어들은 상기 통로를 따라 운반할 때 상기 통로의 내면에 대해 밀봉하는 각각의 밀봉 수단을 포함하며, 상기 밀봉 수단은 상기 로딩 영역에서 주위 압력으로 로딩되고 상기 공정 영역에서 운반되는 물품들이 공정 압력에서 진공 처리될 수 있도록 상기 로딩 영역으로부터 상기 공정 영역으로 통로를 따라서 상기 밀봉 수단을 거쳐 가스 또는 증기의 흐름을 억제하는, 물품들을 진공 처리하는 장치.
    
12. 제11항에 있어서,
    상기 통로를 따라 캐리어들을 몰도록 배치되는 액츄에이터를 포함하는 장치.
    
13. 제1항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,
    밸브들이 각각의 펌프에 연결되는 상기 유체 통로의 내벽에서 간격을 두고 위치되어, 캐리어의 상기 실들과 상기 유체 통로의 벽 사이의 제한되는 체적 내에서 압력을 감소시키도록 작용하는 장치.
    
14. 제13항에 있어서,
    밸브들은 제어 신호에 응답하여 열리고 닫히는 상기 유체 통로의 내벽에서 간격을 두고 위치되는 장치.
    
15. 제14항에 있어서,
    상기 캐리어를 배치시키는 수단과 동기하여 펌프들 및/또는 밸브들을 가동시키도록 작동하는 제어 수단이 제공되며, 제1 위치로부터 제2 위치로의 하나 이상의 캐리어들의 배치 상에, 상기 캐리어 외부 위치에 대해, (상기 유체 통로의 벽들 및 상기 캐리어의 실들을 중개하는 체적에 의해 정의되는 바와 같은), 캐리어 내 위치 사이의 압력 차이를 적어도 유지하도록 펌프들 및/또는 밸브에 에너지가 가해지는 장치
    
16. 제1항 내지 15항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 공정 영역은 플라즈마 공정 영역인 장치.
    
17. 제1항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 공정 영역은 진공 증착인 장치.
    
18. 제1항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 공정 영역은 건조(desiccation)인 장치.
    
19. 제1항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 공정 영역은 주입을 포함하는 장치.
    
20. 제1항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 공정 영역을 냉동 건조(freeze drying)인 것을 특징으로 하는 장치.
    
21. 이상적으로는 0.1MPa를 초과하는 압력 차이에 의해 전형적으로 발생되는 높은 압축력을 견딜 수 있는 견고한 물질로부터 형성되는 캐리어들.
    
22. 제1항 내지 제21항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 통로의 내면은 일반적으로 원통형이고 상기 밀봉 수단은 일반적으로 원형이고 상기 캐리어들의 주변에 대해 연장하는 장치.
    
23. 제22항에 있어서,
    캐리어들은 원통형이거나 로딩을 위한 개구를 갖는 중공 형상인 장치.
    
24. 제1항 내지 제23항 중 어느 한 항에 있어서,
    캐리어들을 배치하는 수단은, 수압식 램; 공압식 램; 전자기 액츄에이터; 볼 또는 롤러 스크루 액츄에이터; 하나 또는 이상의 동력화 컨베이어들; 및 직접 기계적인 맞물림 수단을 포함하는 그룹으로부터의 액츄에이터들을 포함하는 장치.
    
25. 제1항 내지 제24항 중 어느 한 항에 있어서,
    주위 압력에서 상기 장치로부터 물품이 언로딩(unloading)될 수 있는 언로딩 영역(unloading region); 및
    상기 캐리어들이 새로운 미처리된 물품을 상기 로딩 영역에 운반하는 밀봉된 제2 전조건(pre-conditioning) 통로를 포함하는 장치.
    
26. 제25항에 있어서,
    상기 제2 통로를 따라서 물품이 이동할 때, 상기 밀봉 수단이 상기 언로딩 영역으로부터 상기 공정 영역으로 상기 제2 통로를 따라서 상기 밀봉 수단을 거쳐 가스 또는 증기의 흐름을 제한하여 물품이 공정 압력에서 전조건화되고 주위 압력에서 로딩하는 동안 상기 로딩 영역으로 이동되도록, 상기 캐리어들의 상기 밀봉 수단은 상기 밀봉된 제2 전조건 통로의 내면에 대해 밀봉하는 장치.
    
27. 제25항 또는 제26항에 있어서,
    상기 제2 전조건 통로는, 상기 제2 통로에서 캐리어들의 상기 밀봉 수단을 가로지르는 압력 차이가 주위 및 공정 압력 사이의 압력 차이보다 작도록 주위 압력 및 공정 압력 사이의 압력에서 유지되도록 적용되는 중간 압력 영역을 포함하는 장치.
    
28. 제27항에 있어서,
    상기 중간 압력 영역은 상기 공정 영역을 향하는 상기 통로를 따라서 하나의 보조-영역으로부터 다음의 보조 영역으로 각각의 압력에서 유지되도록 적용되는 복수 개의 보조-영역을 포함하는 장치.
    
29. 제25항 내지 제28항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 밀봉된 통로들은, 물품들이 처리될 수 있는 공정 압력에서 물품들이 로딩되고 언로딩되고 공정 영역에 있을 수 있는 주위 압력 영역들 사이에서 상기 캐리어들을 순환시키는 회로를 따라서 형성하는 장치.
    
30. 처리될 하나 또는 이상의 물품들을 가지며 공정 시 하나 또는 이상의 물품들이 수용되는 매개 체적을 정의하는 제1 및 제2 실들을 갖는 캐리어를 로딩하고, 대기 압력에서 로딩 영역에서의 통로에서 상기 캐리어를 배치하는 단계;
    상기 캐리어가 실질적으로 진공인 공정 영역으로 도달할 때까지 제1 압력의 영역으로부터 더 낮은 압력의 영역으로 통로를 따라서 캐리어들을 모는 단계;
    상기 공정 영역에서 상기 캐리어에 위치되는 상기 물품들을 처리하는 단계; 및
    상기 공정 영역에서 출구 영역으로 캐리어를 이동시키는 단계;
    를 포함하는 물품을 진공 처리하는 방법.
    
31. 제30항의 방법에 따라 진공 처리되는 물품.

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