JP7024503B2 - 気密処理装置 - Google Patents
気密処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7024503B2 JP7024503B2 JP2018037018A JP2018037018A JP7024503B2 JP 7024503 B2 JP7024503 B2 JP 7024503B2 JP 2018037018 A JP2018037018 A JP 2018037018A JP 2018037018 A JP2018037018 A JP 2018037018A JP 7024503 B2 JP7024503 B2 JP 7024503B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sealing liquid
- passage
- chamber
- intermediate chamber
- processing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Description
(1)本発明は、ワークを処理する処理室と、該処理室と外界との間に設けられる第1中間室と、該処理室と該第1中間室の間に設けられる略U字状の第1連通路と、該第1中間室と該外界または該第1中間室の該外界側にある第2中間室との間に設けられる略U字状の第2連通路と、該第1連通路に入れた第1封液と、該第2連通路に入れた第2封液と、該第1連通路と該第2連通路を貫いて、該処理室に対して該ワークを搬送する搬送手段と、を備える気密処理装置である。
特に断らない限り本明細書でいう「x~y」は下限値xおよび上限値yを含む。本明細書に記載した種々の数値または数値範囲に含まれる任意の数値を新たな下限値または上限値として「a~b」のような範囲を新設し得る。
気密処理装置の一形態例(搬送手段は省略)を図1に示した。なお、説明の便宜上、図1には、処理室と外界(大気雰囲気)との間に中間室を一つだけ設けた場合を例示しているが、同様な中間室を2以上介設してもよい。
PtA1+ρ1H1A1=P1A1 → Pt+ρ1H1=P1 (式1)
P1A2+ρ2H2A2=P0A2 → P1+ρ2H2=P0 (式2)
式1、式2により、P0-Pt= ρ1H1+ρ2H2 (式3)
(1)封液は、水でもよいが、水よりも密度(比重)が大きい重液であると、液面の高低差を抑制できて好ましい。このような重液として、装置の使用温度域で液体となる金属(単に「液体金属」という。)、ポリマー等がある。
連通路は、ワークの移動が可能であって、底側に貯留されている封液の液面が左右で高低差を形成できる形状であればよい。本明細書でいう「略U字状」は、そのような形状である限り、具体的な形態を問わない。例えば、連通路の底部は、略円弧状でも方形状等でもよい。
処理室は、ワークの処理内容により、その形態、気圧、内包ガス等が適宜選択される。中間室は処理室と外界との間の気圧調整だけに用いられてもよいし、処理室でなされる本処理に対する前処理または後処理に中間室が用いられてもよい。
搬送手段は、湾曲または屈曲した連通路を通じて、外界と処理室の間でワークの搬入または搬出を行える限り、その形態や機構は問わない。搬送手段は、例えば、ロール、ベルト、チェーン等の連続体と、連続体の駆動源と、ワークの保持や受渡等を行う治具や機構とを備えると好ましい。
封液を通過したワーク等に、封液が残存し得るときは、その封液を除去する封液除去手段を設けると好ましい。封液除去手段は、例えば、ワークを加振したり、ワークを回転または姿勢変化させたり、ワークへ噴流(気流)を付与したりするものである。封液の除去は、封液を通過したワークが処理室へ搬入されるときのみならず、封液を通過したワークが他の中間室へ搬入されるときや外界へ搬出されるときになされてもよい。
気密処理装置の具体例を挙げつつ、本発明をさらに詳しく説明する。本発明に係る一実施例である気密処理装置S(単に「装置S」という。)を図3に示した。
装置Sを用いて、処理室1tを陽圧(正圧)とする場合を図4に示した。この場合、先ず、真空ポンプpにより処理室1tおよび各中間室11~13を排気する。その後、各室に所望のガスを所定圧となるまで導入する。こうして処理室1t内のガス圧を、大気圧に対して段階的に大きくしている。従って、本実施例の場合も封液の液面の高低差は抑制され、装置Sが過大になることが回避される。なお、高圧な処理室1t内で行う処理として、食品加工、浸炭、窒化、水熱合成、超臨界処理等がある。
大気圧を4分割した液中で支えられることを検証した。この実験の様子を図5に示した。封液には全てGaを用いた。4つの真空室は4つのU字管により形成した。U字状管には、内径10mmの塩化ビニル樹脂チューブを用いた。Gaを入れたU字管は、湯槽に漬けて約50℃に保温した。
1t 処理室
11 中間室
21 連通路
3 ベルトコンベア(搬送手段)
Claims (6)
- ワークを処理する処理室と、
該処理室と外界との間に設けられる第1中間室と、
該処理室と該第1中間室の間に設けられる略U字状の第1連通路と、
該第1中間室と外界との間に設けられる略U字状の第2連通路と、
該第1連通路に入れた第1封液と、
該第2連通路に入れた第2封液と、
該第1連通路と該第2連通路を貫いて、該処理室に対して該ワークを搬送する搬送手段とを備え、
該第1封液は、Gaからなり、
該第1中間室には、Gaの酸化防止ガスが導入されており、
該第2封液は、大気と反応しない液体である気密処理装置。 - ワークを処理する処理室と、
該処理室の外界側に設けられる第1中間室と、
該処理室と該第1中間室の間に設けられる略U字状の第1連通路と、
該第1中間室の外界側に設けられる一以上の第2中間室と、
該第1中間室と該第2中間室の間および該第2中間室と外界の間に設けられる略U字状の第2連通路と、
該第1連通路に入れた第1封液と、
該第2連通路に入れた第2封液と、
該第1連通路と該第2連通路を貫いて、該処理室に対して該ワークを搬送する搬送手段とを備え、
該第1封液および該第1中間室と該第2中間室の間にある該第2連通路に入れられた該第2封液は、Gaからなり、
該第1中間室および該第2中間室には、Gaの酸化防止ガスが導入されており、
該第2中間室と外界の間にある該第2連通路に入れられた該第2封液は、大気と反応しない液体である気密処理装置。 - 前記酸化防止ガスの圧力は、前記処理室から外界に向って順に段階的に単調変化している請求項1または2に記載の気密処理装置。
- 前記搬送手段は、封液に対する撥液性を有する材質からなる請求項1~3のいずれかに記載の気密処理装置。
- さらに、前記ワークの搬出側に、該ワークに残存した封液を除去する封液除去手段を備える請求項1~4のいずれかに記載の気密処理装置。
- 前記酸化防止ガスは、Arガスであり、
前記大気と反応しない液体は、水である請求項1~5のいずれかに記載の気密処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018037018A JP7024503B2 (ja) | 2018-03-02 | 2018-03-02 | 気密処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018037018A JP7024503B2 (ja) | 2018-03-02 | 2018-03-02 | 気密処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019151882A JP2019151882A (ja) | 2019-09-12 |
JP7024503B2 true JP7024503B2 (ja) | 2022-02-24 |
Family
ID=67948373
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018037018A Active JP7024503B2 (ja) | 2018-03-02 | 2018-03-02 | 気密処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7024503B2 (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006022922A (ja) | 2004-07-09 | 2006-01-26 | Ebara Corp | 薄膜材料処理装置用シール装置及び該シール装置を具備してなる薄膜材料化学反応処理装置 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5894674A (ja) * | 1981-12-01 | 1983-06-04 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 液体金属浴シ−ル装置 |
JPS58128137A (ja) * | 1982-01-26 | 1983-07-30 | Sando Iron Works Co Ltd | シ−ト状物質の連続減圧処理装置 |
JPS6155064U (ja) * | 1984-09-12 | 1986-04-14 | ||
JPS63111175A (ja) * | 1986-10-28 | 1988-05-16 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 真空装置 |
JPS63179067A (ja) * | 1987-01-21 | 1988-07-23 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 真空装置 |
JPH0768622B2 (ja) * | 1991-07-02 | 1995-07-26 | 中外炉工業株式会社 | 連続式真空処理装置のシール装置 |
-
2018
- 2018-03-02 JP JP2018037018A patent/JP7024503B2/ja active Active
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006022922A (ja) | 2004-07-09 | 2006-01-26 | Ebara Corp | 薄膜材料処理装置用シール装置及び該シール装置を具備してなる薄膜材料化学反応処理装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2019151882A (ja) | 2019-09-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101884510B1 (ko) | 에칭 방법 | |
TWI619836B (zh) | Film forming device, gas supply device and film forming method | |
JP2006229085A (ja) | プラズマ処理装置、熱処理装置、処理システム、前処理装置及び記憶媒体 | |
JP7109165B2 (ja) | エッチング方法 | |
JP6040075B2 (ja) | 真空成膜装置及び成膜方法 | |
EP2441857A2 (en) | Vacuum processing apparatus | |
CN110071040B (zh) | 蚀刻方法 | |
KR20190117739A (ko) | 기판 처리 방법 및 기억 매체 | |
JP2006310561A (ja) | 真空処理装置および真空処理方法 | |
TWI590311B (zh) | 磊晶成長的方法 | |
JP7024503B2 (ja) | 気密処理装置 | |
CN107533998B (zh) | 基板处理装置以及清洗腔室的方法 | |
TWI671428B (zh) | 排氣管無害化方法及成膜裝置 | |
JP2009182206A (ja) | 基板処理装置及び半導体装置の製造方法、並びに処理管 | |
JP2005019739A (ja) | 被処理体の搬送方法 | |
KR940006208A (ko) | 열처리 방법 | |
JP2006032610A (ja) | 成膜装置 | |
WO2015186319A1 (ja) | 成膜装置、成膜方法及び記憶媒体 | |
JP2020205304A (ja) | エッチング方法およびエッチング装置 | |
JP6417916B2 (ja) | 基板搬送方法、基板処理装置、及び記憶媒体 | |
JP2002305190A (ja) | 熱処理装置及びその清浄方法 | |
JP2012126976A (ja) | 真空成膜装置及び成膜方法 | |
JP7262287B2 (ja) | 成膜方法 | |
JP2022184370A (ja) | 原料ガス供給システム、粉体原料補充機構、および粉体原料補充方法 | |
JP2005325372A (ja) | 真空浸炭炉及び浸炭用ガス排気方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180612 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210125 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20211012 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20211019 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20211112 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220111 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220124 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7024503 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |