JPH0768622B2 - 連続式真空処理装置のシール装置 - Google Patents
連続式真空処理装置のシール装置Info
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- JPH0768622B2 JPH0768622B2 JP3161598A JP16159891A JPH0768622B2 JP H0768622 B2 JPH0768622 B2 JP H0768622B2 JP 3161598 A JP3161598 A JP 3161598A JP 16159891 A JP16159891 A JP 16159891A JP H0768622 B2 JPH0768622 B2 JP H0768622B2
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
- C23C14/562—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks for coating elongated substrates
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C21—METALLURGY OF IRON
- C21D—MODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
- C21D9/00—Heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering, adapted for particular articles; Furnaces therefor
- C21D9/52—Heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering, adapted for particular articles; Furnaces therefor for wires; for strips ; for rods of unlimited length
- C21D9/54—Furnaces for treating strips or wire
- C21D9/56—Continuous furnaces for strip or wire
- C21D9/562—Details
- C21D9/565—Sealing arrangements
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/54—Apparatus specially adapted for continuous coating
- C23C16/545—Apparatus specially adapted for continuous coating for coating elongated substrates
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、連続式真空処理装置の
シール装置に関するものである。
シール装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術と発明が解決しようとする課題】従来、帯
状材の連続式真空処理装置においては、装入口と抽出口
とにシール装置を設置して、真空処理室内と大気とを遮
断するようにしている。そして、このシール装置として
は、種々の形式のものが提案されているが、その一例と
して、特開昭６３−２４０６７号公報等に開示のベルト
シール方式のものがある。しかしながら、前記従来のベ
ルトシール方式においては、処理材とベルト間およびベ
ルトとハウジング間にどうしても間隙が形成され、完全
に真空処理室内に大気が流入するのを防止することがで
きなかった。また、シール装置自体も複雑な構成となり
高価なものであった。したがって、本発明は構成が簡単
で、かつ、外気の連続式真空処理室内への侵入をほぼ完
全に阻止することのできる連続式真空処理装置のシール
装置を提供することを目的とする。
状材の連続式真空処理装置においては、装入口と抽出口
とにシール装置を設置して、真空処理室内と大気とを遮
断するようにしている。そして、このシール装置として
は、種々の形式のものが提案されているが、その一例と
して、特開昭６３−２４０６７号公報等に開示のベルト
シール方式のものがある。しかしながら、前記従来のベ
ルトシール方式においては、処理材とベルト間およびベ
ルトとハウジング間にどうしても間隙が形成され、完全
に真空処理室内に大気が流入するのを防止することがで
きなかった。また、シール装置自体も複雑な構成となり
高価なものであった。したがって、本発明は構成が簡単
で、かつ、外気の連続式真空処理室内への侵入をほぼ完
全に阻止することのできる連続式真空処理装置のシール
装置を提供することを目的とする。
【０００３】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、連続式真空処理装置の装入口あるいは抽
出口に配設するシール装置において、前記装入口あるい
は抽出口に液体金属からなる封液を貯留した略Ｕ字型シ
ール槽を連設して、前記シール槽の真空側および大気側
の封液面の上方に、２本１組の反転ロールを２組互いに
４５°の角度でハ字形に対向配設する一方、前記封液中
にガイドロールを配設し、両縁部に互いに接離可能な接
離手段を備えた２本の幅広な撥液性無端ベルトの各々
を、前記封液中において互いに接合するように前記各ロ
ールに巻回して、前記２本の無端ベルト間に帯状材を挾
んで走行させ、前記シール槽の下流側の封液面上方で帯
状材を開放させるようにしたものである。
成するために、連続式真空処理装置の装入口あるいは抽
出口に配設するシール装置において、前記装入口あるい
は抽出口に液体金属からなる封液を貯留した略Ｕ字型シ
ール槽を連設して、前記シール槽の真空側および大気側
の封液面の上方に、２本１組の反転ロールを２組互いに
４５°の角度でハ字形に対向配設する一方、前記封液中
にガイドロールを配設し、両縁部に互いに接離可能な接
離手段を備えた２本の幅広な撥液性無端ベルトの各々
を、前記封液中において互いに接合するように前記各ロ
ールに巻回して、前記２本の無端ベルト間に帯状材を挾
んで走行させ、前記シール槽の下流側の封液面上方で帯
状材を開放させるようにしたものである。
【０００４】
【実施例】つぎに、本発明にかかる連続式真空処理装置
のシール装置を図面にしたがって説明する。図１から図
６までは、本発明の第１実施例を示し、１は連続式真空
処理装置（以下、真空処理室という）、たとえば鋼帯の
連続真空蒸着装置で、３は前記真空処理室１の装入口２
ａおよび抽出口２ｂに設置した本発明にかかるシール装
置である。前記シール装置３は、大略、内部に封液Ｗを
貯えた略Ｕ字型シール槽４と、このシール槽４内に浸漬
設置した駆動兼ガイドロール５と、２本１組の２組から
なる第１、第２反転ロール６，７と、両縁部に接離手段
９を備えた２本の無端ベルト８とこの無端ベルト８の接
離手段９を接合させる圧着部材１０とからなる。
のシール装置を図面にしたがって説明する。図１から図
６までは、本発明の第１実施例を示し、１は連続式真空
処理装置（以下、真空処理室という）、たとえば鋼帯の
連続真空蒸着装置で、３は前記真空処理室１の装入口２
ａおよび抽出口２ｂに設置した本発明にかかるシール装
置である。前記シール装置３は、大略、内部に封液Ｗを
貯えた略Ｕ字型シール槽４と、このシール槽４内に浸漬
設置した駆動兼ガイドロール５と、２本１組の２組から
なる第１、第２反転ロール６，７と、両縁部に接離手段
９を備えた２本の無端ベルト８とこの無端ベルト８の接
離手段９を接合させる圧着部材１０とからなる。
【０００５】前記シール槽４は略Ｕ字型をなし、一端は
前記真空処理室１の装入口２ａに連通し、他端は大気に
解放されるとともに、内部には融点が１００℃以下の比
重の大なる低融点の液体金属または合金、たとえば、水
銀、ウッドメタル等の封液Ｗが収容されている。
前記真空処理室１の装入口２ａに連通し、他端は大気に
解放されるとともに、内部には融点が１００℃以下の比
重の大なる低融点の液体金属または合金、たとえば、水
銀、ウッドメタル等の封液Ｗが収容されている。
【０００６】前記反転ロール６，７は、２本のロール６
ａ，６ａ′、６ｂ，６ｂ′（７ａ，７ａ′、７ｂ，７
ｂ′）を所定間隔に配設した１組のロールを２組、互い
に４５°の角度でハ字形に対向配設したもので、装入口
２ａの上方とシール槽４の大気に解放された他端部上方
とに、図４に示すよう真空処理室１の巾方向に設けてあ
る。
ａ，６ａ′、６ｂ，６ｂ′（７ａ，７ａ′、７ｂ，７
ｂ′）を所定間隔に配設した１組のロールを２組、互い
に４５°の角度でハ字形に対向配設したもので、装入口
２ａの上方とシール槽４の大気に解放された他端部上方
とに、図４に示すよう真空処理室１の巾方向に設けてあ
る。
【０００７】前記無端ベルト８は、撥液性材料、たとえ
ば、弗素樹脂系の弾性材料からなり、図５に示すよう
に、中央部がやや厚肉となったベルト本体の薄肉部であ
る一側縁に先端に円形部を有する凸条９ａを、また、他
側縁に前記凸条９ａと離脱可能に嵌合する凹条９ｂから
なる接離手段９を設けたものである。なお、前記無端ベ
ルト８は、平坦形状であってもよい。そして、前記各無
端ベルト８は２本の無端ベルト８ａ，８ｂからなり、図
２，図３，図４に示すように、１本の無端ベルト８ａ
を、シール槽４中のガイドロール５、真空処理室１内に
ハ字形に対向配設した反転ロール６の一方６ａ，６ａ′
およびシール槽４の上方に設けたハ字形に対向配設した
他方の反転ロール７の一方７ａ，７ａ′に、また、他の
無端ベルト８ｂもガイドロール５、反転ロール６ｂ，６
ｂ′、７ｂ，７ｂ′に、かつ、前記シール槽４の封液Ｗ
中において、前記２本の無端ベルト８ａ，８ｂが一方の
無端ベルト８ａの凸条９ａと他方の無端ベルト８ｂの凹
条９ｂと対向するように巻回されている。
ば、弗素樹脂系の弾性材料からなり、図５に示すよう
に、中央部がやや厚肉となったベルト本体の薄肉部であ
る一側縁に先端に円形部を有する凸条９ａを、また、他
側縁に前記凸条９ａと離脱可能に嵌合する凹条９ｂから
なる接離手段９を設けたものである。なお、前記無端ベ
ルト８は、平坦形状であってもよい。そして、前記各無
端ベルト８は２本の無端ベルト８ａ，８ｂからなり、図
２，図３，図４に示すように、１本の無端ベルト８ａ
を、シール槽４中のガイドロール５、真空処理室１内に
ハ字形に対向配設した反転ロール６の一方６ａ，６ａ′
およびシール槽４の上方に設けたハ字形に対向配設した
他方の反転ロール７の一方７ａ，７ａ′に、また、他の
無端ベルト８ｂもガイドロール５、反転ロール６ｂ，６
ｂ′、７ｂ，７ｂ′に、かつ、前記シール槽４の封液Ｗ
中において、前記２本の無端ベルト８ａ，８ｂが一方の
無端ベルト８ａの凸条９ａと他方の無端ベルト８ｂの凹
条９ｂと対向するように巻回されている。
【０００８】前記圧着部材１０は、前記２本の無端ベル
ト８ａ，８ｂの対向する側縁部分を圧着して前記対向す
る凸条９ａと凹条９ｂとを嵌合するもので、前記実施例
では一対のロールからなる。そして、この一対のロール
１０は、シール槽４の上流側、すなわち、大気側に位置
する反転ロール７ａ，７ｂおよび真空処理室１に位置す
る反転ロール６ａ′，６ｂ′の下方で封液Ｗより上方に
位置している。なお、前記圧着部材１０は図６に示すよ
うに２条の相対する凹凸をガイドして嵌合するファスナ
であってもよい。
ト８ａ，８ｂの対向する側縁部分を圧着して前記対向す
る凸条９ａと凹条９ｂとを嵌合するもので、前記実施例
では一対のロールからなる。そして、この一対のロール
１０は、シール槽４の上流側、すなわち、大気側に位置
する反転ロール７ａ，７ｂおよび真空処理室１に位置す
る反転ロール６ａ′，６ｂ′の下方で封液Ｗより上方に
位置している。なお、前記圧着部材１０は図６に示すよ
うに２条の相対する凹凸をガイドして嵌合するファスナ
であってもよい。
【０００９】また、シール槽４は、図２に示すように、
槽自体が略Ｕ字型をなす場合の他、内部が実質的に略Ｕ
字型をなしておればよく、かつ、ガイドロール５も複数
のロールで構成してもよい。さらに、前記実施例では真
空処理室１の装入側に設けるシール装置３について説明
したが、抽出側においても同様構成のシール装置３が配
設されている。ただし、前記圧着部材１０はシール槽４
の上流側、すなわち真空処理室１側に位置する反転ロー
ルの下方で封液Ｗより上方に設置する。
槽自体が略Ｕ字型をなす場合の他、内部が実質的に略Ｕ
字型をなしておればよく、かつ、ガイドロール５も複数
のロールで構成してもよい。さらに、前記実施例では真
空処理室１の装入側に設けるシール装置３について説明
したが、抽出側においても同様構成のシール装置３が配
設されている。ただし、前記圧着部材１０はシール槽４
の上流側、すなわち真空処理室１側に位置する反転ロー
ルの下方で封液Ｗより上方に設置する。
【００１０】つぎに、前記構成からなるシール装置の作
動を説明する。まず、前記シール槽４に封液Ｗを注入し
て、真空処理室１の装入口２ａと抽出口２ｂとを大気か
ら遮断したのち真空処理室１内を所定真空度に保持す
る。ついで、駆動兼ガイドロール５を回転させて、鋼帯
Ｓを前記反転ロール７ａ，７ｂでの両無端ベルト８ａ，
８ｂの対向面間に挿入すると、無端ベルト８ａ，８ｂの
両縁部は一対のロール１０により圧着され、対向する凸
条９ａと凹条９ｂとが嵌合し、鋼帯Ｓは無端ベルト８
ａ，８ｂの対向面間に圧着封入された状態で、無端ベル
ト８ａ，８ｂの移動とともに搬送されることになる。な
お、前記のように、内部に鋼帯Ｓを封入した無端ベルト
８ａ，８ｂの両面には封液Ｗの液圧が作用し、前記封入
状態は更に強化される。前記のようにして、ストリップ
Ｗを封入した無端ベルト８ａ，８ｂは、封液Ｗ上に位置
する反転ロール６ａ，６ｂに至ってその嵌合状態が解放
され、鋼帯Ｓは真空処理室１内に搬送され、所定の蒸着
処理を経たのち、抽出口側のシール装置３を経て外方に
搬出される。
動を説明する。まず、前記シール槽４に封液Ｗを注入し
て、真空処理室１の装入口２ａと抽出口２ｂとを大気か
ら遮断したのち真空処理室１内を所定真空度に保持す
る。ついで、駆動兼ガイドロール５を回転させて、鋼帯
Ｓを前記反転ロール７ａ，７ｂでの両無端ベルト８ａ，
８ｂの対向面間に挿入すると、無端ベルト８ａ，８ｂの
両縁部は一対のロール１０により圧着され、対向する凸
条９ａと凹条９ｂとが嵌合し、鋼帯Ｓは無端ベルト８
ａ，８ｂの対向面間に圧着封入された状態で、無端ベル
ト８ａ，８ｂの移動とともに搬送されることになる。な
お、前記のように、内部に鋼帯Ｓを封入した無端ベルト
８ａ，８ｂの両面には封液Ｗの液圧が作用し、前記封入
状態は更に強化される。前記のようにして、ストリップ
Ｗを封入した無端ベルト８ａ，８ｂは、封液Ｗ上に位置
する反転ロール６ａ，６ｂに至ってその嵌合状態が解放
され、鋼帯Ｓは真空処理室１内に搬送され、所定の蒸着
処理を経たのち、抽出口側のシール装置３を経て外方に
搬出される。
【００１１】前記実施例では、無端ベルト８に設ける接
離手段９を、互いに嵌合する凸条９ａと凹条９ｂとで形
成したが、これに限らず、封液Ｗによって汚染されず、
繰り返し接着・剥離可能な接着テープあるいは接着剤を
無端ベルト８の側縁に設けてもよく、また、前記接離手
段９および無端ベルト８ａ，８ｂは図７に示すように、
接離手段９を側縁に接着剤等により取替え可能に設ける
とともに、無端ベルト８ａ，８ｂを鋼帯Ｓに接する側に
取替え可能なベルト部材８ａ′，８ｂ′からなる張り合
わせ構成するようにしてもよい。さらに、無端ベルト８
の駆動も前記ガイドロール５に圧着する駆動ローラ５ａ
で行ってもよい。なお、前記のように、鋼帯Ｓを無端ベ
ルト８ａ，８ｂに封入しても、両無端ベルト８ａ，８ｂ
の封着部とストリップＳとの間には微細な隙間αが存在
し、この隙間α内に空気を包含することになるが、この
部分は微少で、かつ、長いため、この隙間を介して真空
処理室１内に大気が流入することは極めて少なく無視す
ることができる。
離手段９を、互いに嵌合する凸条９ａと凹条９ｂとで形
成したが、これに限らず、封液Ｗによって汚染されず、
繰り返し接着・剥離可能な接着テープあるいは接着剤を
無端ベルト８の側縁に設けてもよく、また、前記接離手
段９および無端ベルト８ａ，８ｂは図７に示すように、
接離手段９を側縁に接着剤等により取替え可能に設ける
とともに、無端ベルト８ａ，８ｂを鋼帯Ｓに接する側に
取替え可能なベルト部材８ａ′，８ｂ′からなる張り合
わせ構成するようにしてもよい。さらに、無端ベルト８
の駆動も前記ガイドロール５に圧着する駆動ローラ５ａ
で行ってもよい。なお、前記のように、鋼帯Ｓを無端ベ
ルト８ａ，８ｂに封入しても、両無端ベルト８ａ，８ｂ
の封着部とストリップＳとの間には微細な隙間αが存在
し、この隙間α内に空気を包含することになるが、この
部分は微少で、かつ、長いため、この隙間を介して真空
処理室１内に大気が流入することは極めて少なく無視す
ることができる。
【００１２】また、封液Ｗが接離手段９に付着するよう
な場合には、圧着部材である一対のロール１０の上方
に、付着封液を除去する図示しないクリーナ手段を設け
てもよく、さらに、前記一対のロール１０の上方に接離
手段９が確実に圧着するように、ベルト位置規制部材を
設けてもよい。
な場合には、圧着部材である一対のロール１０の上方
に、付着封液を除去する図示しないクリーナ手段を設け
てもよく、さらに、前記一対のロール１０の上方に接離
手段９が確実に圧着するように、ベルト位置規制部材を
設けてもよい。
【００１３】前記実施例では、真空処理室１の両端の装
入口２ａと抽出口２ｂとにシール装置３をそれぞれ配設
し、鋼帯Ｓをストレートに搬送する場合を示したが、図
８に示すように、真空処理室１内に、たとえば、ハ字形
に帯状材反転ロール１１ａ，１１ｂを設ける一方、装入
口２ａと抽出口２ｂとを真空処理室の一方側に設け、１
つのシール装置３で装入口および抽出口のシール装置を
兼用し、真空処理室１を短くするようにしてもよい。
入口２ａと抽出口２ｂとにシール装置３をそれぞれ配設
し、鋼帯Ｓをストレートに搬送する場合を示したが、図
８に示すように、真空処理室１内に、たとえば、ハ字形
に帯状材反転ロール１１ａ，１１ｂを設ける一方、装入
口２ａと抽出口２ｂとを真空処理室の一方側に設け、１
つのシール装置３で装入口および抽出口のシール装置を
兼用し、真空処理室１を短くするようにしてもよい。
【００１４】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明に
かかるシール装置では、シール槽の封液により真空処理
室の装入口あるいは抽出口は完全にシールされ、そし
て、帯状材はこの封液中を２本の撥液性無端ベルトの対
向面間に封入された状態で移動するため、封液が付着す
ることがなく、その表面を何ら汚染することなく搬送す
ることができるばかりか、空気の真空処理室への侵入を
確実に防止することができ、真空排気装置を小型化する
ことができる。
かかるシール装置では、シール槽の封液により真空処理
室の装入口あるいは抽出口は完全にシールされ、そし
て、帯状材はこの封液中を２本の撥液性無端ベルトの対
向面間に封入された状態で移動するため、封液が付着す
ることがなく、その表面を何ら汚染することなく搬送す
ることができるばかりか、空気の真空処理室への侵入を
確実に防止することができ、真空排気装置を小型化する
ことができる。
【図１】 本発明のシール装置を備えた連続式真空処理
装置の第１実施例を示す平面図。
装置の第１実施例を示す平面図。
【図２】 図１の装入口近傍の拡大側面図。
【図３】 図２の部分拡大正面図。
【図４】 図２の要部拡大平面図。
【図５】 接離手段の説明用拡大図。
【図６】 接離手段の変形例を示す図。
【図７】 接離手段の変形例を示す図。
【図８】 第２実施例を示す平面図。
１…連続式真空処理装置、２ａ…装入口、２ｂ…抽出
口、３…シール装置、４…シール槽、５…ガイドロー
ル、６（６ａ，６ｂ、６ａ′，６ｂ′）…第１反転ロー
ル、７（７ａ，７ｂ、７ａ′，７ｂ′）…第２反転ロー
ル、８（８ａ，８ｂ）…無端ベルト、９…接離手段、Ｓ
…帯状材、Ｗ…封液。
口、３…シール装置、４…シール槽、５…ガイドロー
ル、６（６ａ，６ｂ、６ａ′，６ｂ′）…第１反転ロー
ル、７（７ａ，７ｂ、７ａ′，７ｂ′）…第２反転ロー
ル、８（８ａ，８ｂ）…無端ベルト、９…接離手段、Ｓ
…帯状材、Ｗ…封液。
Claims (1)
- 【請求項１】 連続式真空処理装置の装入口あるいは抽
出口に配設するシール装置において、前記装入口あるい
は抽出口に液体金属からなる封液を貯留した略Ｕ字型シ
ール槽を連設して、前記シール槽の真空側および大気側
の封液面の上方に、２本１組の反転ロールを２組互いに
４５°の角度でハ字形に対向配設する一方、前記封液中
にガイドロールを配設し、両縁部に互いに接離可能な接
離手段を備えた２本の幅広な撥液性無端ベルトの各々
を、前記封液中において互いに接合するように前記各ロ
ールに巻回して、前記２本の無端ベルト間に帯状材を挾
んで走行させ、前記シール槽の下流側の封液面上方で帯
状材を開放させるようにしたことを特徴とする連続式真
空処理装置のシール装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3161598A JPH0768622B2 (ja) | 1991-07-02 | 1991-07-02 | 連続式真空処理装置のシール装置 |
| DE69208542T DE69208542T2 (de) | 1991-07-02 | 1992-06-29 | Dichtungsvorrichtung für kontinuierliche Vakuumbehandlungsanlage |
| EP92111003A EP0521438B1 (en) | 1991-07-02 | 1992-06-29 | Sealing apparatus for continuous vacuum treating equipment |
| US07/907,111 US5252135A (en) | 1991-07-02 | 1992-07-01 | Sealing apparatus for continuous vacuum treating equipment |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3161598A JPH0768622B2 (ja) | 1991-07-02 | 1991-07-02 | 連続式真空処理装置のシール装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH059730A JPH059730A (ja) | 1993-01-19 |
| JPH0768622B2 true JPH0768622B2 (ja) | 1995-07-26 |
Family
ID=15738195
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3161598A Expired - Fee Related JPH0768622B2 (ja) | 1991-07-02 | 1991-07-02 | 連続式真空処理装置のシール装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5252135A (ja) |
| EP (1) | EP0521438B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0768622B2 (ja) |
| DE (1) | DE69208542T2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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