CN105925943A - 玻璃溅射单元 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种玻璃溅射单元，其中，所述玻璃溅射单元包括运输仓，所述运输仓内设置有运输机构，所述运输仓的上表面沿所述运输机构的传送方向顺次设置有第一泵吸单元、溅射单元和第二泵吸单元，所述运输机构上放置有镀膜玻璃，所述第一泵吸单元通过第一阀门机构与所述溅射单元连通，所述第二泵吸单元通过第二阀门机构与所述溅射单元连通，所述第二泵吸单元还通过第三阀门机构与所述运输仓连通。解决了普通的溅射单元中溅射设备和泵吸设备设置不当，导致玻璃镀膜时真空不完全，影响后续的镀膜质量的问题。
Description
技术领域
本发明涉及玻璃镀膜设备，具体地，涉及玻璃溅射单元。
背景技术
在玻璃镀膜工艺中，真空镀膜是一种常见的方法，其主要是在真空室内将材料的原子从加热源离析出来打到玻璃的表面上。玻璃的真空镀膜是在溅射单元内进行的，根据镀膜的技术需要，镀膜时要保证真空环境，如果溅射设备和泵吸设备设置不当，会导致玻璃镀膜时真空不完全，影响后续的镀膜质量。
因此，提供一种合理设置溅射设备和泵吸设备，保证玻璃镀膜时完全处于真空环境，以大大提高镀膜质量的玻璃溅射单元是本发明亟需解决的问题。
发明内容
本发明的目的是提供一种玻璃溅射单元，解决了普通的溅射单元中溅射设备和泵吸设备设置不当，导致玻璃镀膜时真空不完全，影响后续的镀膜质量的问题。
为了实现上述目的，本发明提供了一种玻璃溅射单元，其中，所述玻璃溅射单元包括运输仓，所述运输仓内设置有运输机构，所述运输仓的上表面沿所述运输机构的传送方向顺次设置有第一泵吸单元、溅射单元和第二泵吸单元，所述运输机构上放置有镀膜玻璃，所述第一泵吸单元通过第一阀门机构与所述溅射单元连通，所述第二泵吸单元通过第二阀门机构与所述溅射单元连通，所述第二泵吸单元还通过第三阀门机构与所述运输仓连通。
优选地，所述运输机构包括多个顺次设置的辊筒，且多个所述辊筒通过输送带连接，多个所述辊筒中的一个通过转杆连接电机，使得所述电机能带动所述辊筒转动。
优选地，所述第一泵吸单元包括第一泵吸仓，所述第一泵吸仓的上表面设置有第一吸泵，所述第一泵吸仓的侧壁上设有与所述溅射单元相连通的所述第一阀门机构。
优选地，所述第二泵吸单元包括第二泵吸仓，所述第二泵吸仓的上表面设置有第二吸泵，所述第二泵吸仓的侧壁上设有与所述溅射单元相连通的所述第二阀门机构，所述第二泵吸仓的下表面设置有与所述运输仓相连通的所述第三阀门机构。
优选地，所述第一泵吸仓和所述第二泵吸仓的外表面上固定有冷却管。
优选地，所述输送带的表面上设置有多个卡夹机构，镀膜玻璃通过所述卡夹机构固定在所述输送带的表面上。
优选地，所述卡夹机构的数量为5-10个。
根据上述技术方案，本发明提供了一种玻璃溅射单元，其中，所述玻璃溅射单元包括运输仓，所述运输仓内设置有运输机构，所述运输仓的上表面沿所述运输机构的传送方向顺次设置有第一泵吸单元、溅射单元和第二泵吸单元，所述运输机构上放置有镀膜玻璃，所述第一泵吸单元通过第一阀门机构与所述溅射单元连通，所述第二泵吸单元通过第二阀门机构与所述溅射单元连通，所述第二泵吸单元还通过第三阀门机构与所述运输仓连通。本发明通过合理设置泵吸单元和溅射单元的位置，保证整个镀膜过程中，玻璃处于完全真空状态，大大提高了玻璃的镀膜质量。
本发明的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。
附图说明
附图是用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本发明，但并不构成对本发明的限制。在附图中：
图1是本发明提供的一种玻璃溅射单元的结构示意图。
附图标记说明
1第一泵吸单元 2第二泵吸单元
3-溅射单元 4-第三阀门机构
5-镀膜玻璃 11-第一吸泵
21-第二吸泵 41第一阀门机构
42-第二阀门机构
具体实施方式
以下结合附图对本发明的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本发明，并不用于限制本发明。
如图1所示，本发明提供了一种玻璃溅射单元，其中，所述玻璃溅射单元包括运输仓，所述运输仓内设置有运输机构6，所述运输仓的上表面沿所述运输机构6的传送方向顺次设置有第一泵吸单元1、溅射单元3和第二泵吸单元2，所述运输机构6上放置有镀膜玻璃5，所述第一泵吸单元1通过第一阀门机构41与所述溅射单元3连通，所述第二泵吸单元2通过第二阀门机构42与所述溅射单元3连通，所述第二泵吸单元2还通过第三阀门机构4与所述运输仓连通。本发明通过合理设置泵吸单元和溅射单元的位置，保证整个镀膜过程中，玻璃处于完全真空状态，大大提高了玻璃的镀膜质量。
在本发明的一种优选的实施方式中，为了更为顺畅的运送镀膜玻璃5，所述运输机构6包括多个顺次设置的辊筒，且多个所述辊筒通过输送带连接，多个所述辊筒中的一个通过转杆连接电机，使得所述电机能带动所述辊筒转动。
在本发明的一种优选的实施方式中，所述第一泵吸单元1包括第一泵吸仓，所述第一泵吸仓的上表面设置有第一吸泵11，所述第一泵吸仓的侧壁上设有与所述溅射单元3相连通的所述第一阀门机构41，当溅射单元3需要抽真空时，打开第一吸泵11并打开第一阀门机构41。
在本发明的一种优选的实施方式中，所述第二泵吸单元2包括第二泵吸仓，所述第二泵吸仓的上表面设置有第二吸泵21，所述第二泵吸仓的侧壁上设有与所述溅射单元3相连通的所述第二阀门机构42，所述第二泵吸仓的下表面设置有与所述运输仓相连通的所述第三阀门机构4，第二吸泵21通过第二阀门机构42与溅射单元3连通，二台吸泵对溅射单元3进行抽真空，能完全保证玻璃在溅射单元3镀膜时完全真空，所述第二泵吸仓的下表面设置有与所述运输仓相连通的所述第三阀门机构4，打开第三阀门机构4时，第二吸泵42能对运输仓进行抽真空，保证玻璃在运输时也处于真空状态。
在本发明的一种更为优选的实施方式中，玻璃溅射镀膜会产生高温，为了进一步降低镀膜的环境温度，提高镀膜质量，所述第一泵吸仓和所述第二泵吸仓的外表面上固定有冷却管，通过对冷却管内注入循环冷却水来实现水冷效果。
在本发明的一种优选的实施方式中，为了保证镀膜玻璃5在溅射时不发生晃动，提高镀膜质量，所述输送带的表面上设置有多个卡夹机构，镀膜玻璃5通过所述卡夹机构固定在所述输送带的表面上，优选的，所述卡夹机构的数量为5-10个，当然，这里卡夹机构的数量可以根据本领域人员的需求进行调整。
以上结合附图详细描述了本发明的优选实施方式，但是，本发明并不限于上述实施方式中的具体细节，在本发明的技术构思范围内，可以对本发明的技术方案进行多种简单变型，这些简单变型均属于本发明的保护范围。
另外需要说明的是，在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合，为了避免不必要的重复，本发明对各种可能的组合方式不再另行说明。
此外，本发明的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合，只要其不违背本发明的思想，其同样应当视为本发明所公开的内容。
Claims (7)
1.一种玻璃溅射单元，其特征在于，所述玻璃溅射单元包括运输仓，所述运输仓内设置有运输机构(6)，所述运输仓的上表面沿所述运输机构(6)的传送方向顺次设置有第一泵吸单元(1)、溅射单元(3)和第二泵吸单元(2)，所述运输机构(6)上放置有镀膜玻璃(5)，所述第一泵吸单元(1)通过第一阀门机构(41)与所述溅射单元(3)连通，所述第二泵吸单元(2)通过第二阀门机构(42)与所述溅射单元(3)连通，所述第二泵吸单元(2)还通过第三阀门机构(4)与所述运输仓连通。
2.根据权利要求1所述的玻璃溅射单元，其特征在于，所述运输机构(6)包括多个顺次设置的辊筒，且多个所述辊筒通过输送带连接，多个所述辊筒中的一个通过转杆连接电机，使得所述电机能带动所述辊筒转动。
3.根据权利要求1所述的玻璃溅射单元，其特征在于，所述第一泵吸单元(1)包括第一泵吸仓，所述第一泵吸仓的上表面设置有第一吸泵(11)，所述第一泵吸仓的侧壁上设有与所述溅射单元(3)相连通的所述第一阀门机构(41)。
4.根据权利要求1所述的玻璃溅射单元，其特征在于，所述第二泵吸单元(2)包括第二泵吸仓，所述第二泵吸仓的上表面设置有第二吸泵(21)，所述第二泵吸仓的侧壁上设有与所述溅射单元(3)相连通的所述第二阀门机构(42)，所述第二泵吸仓的下表面设置有与所述运输仓相连通的所述第三阀门机构(4)。
5.根据权利要求1所述的玻璃溅射单元，其特征在于，所述第一泵吸仓和所述第二泵吸仓的外表面上固定有冷却管。
6.根据权利要求2所述的玻璃溅射单元，其特征在于，所述输送带的表面上设置有多个卡夹机构，镀膜玻璃(5)通过所述卡夹机构固定在所述输送带的表面上。
7.根据权利要求6所述的玻璃溅射单元，其特征在于，所述卡夹机构的数量为5-10个。
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- 2016-04-27 CN CN201610268676.8A patent/CN105925943A/zh active Pending
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