JP2013189707A5 - 成膜装置 - Google Patents

Claims (5)

1. 成膜室内に設けられた蒸着源と、
   前記成膜室内で前記蒸着源と離れて設けられたプラズマ源と、
   前記蒸着源を前記プラズマ源から隔離する仕切り弁と、
   被成膜体及びシャドーマスク、又は前記シャドーマスクのみを、前記蒸着源から成膜材料が噴出する領域と、前記プラズマ源からプラズマが照射される領域とに搬送することができる機能を有するシャドーマスク搬送機構と、を有し、
   前記シャドーマスク搬送機構が前記被成膜体と前記シャドーマスクを重ね合わせた状態で搬送しながら、前記蒸着源から噴出する前記成膜材料を前記被成膜体に成膜する第１のモードと、
   前記蒸着源を前記仕切り弁によって前記プラズマ源から隔離し、前記シャドーマスク搬送機構が前記シャドーマスクを保持した状態で搬送しながら、前記プラズマ源がプラズマを前記シャドーマスクに照射する第２のモードと、を有する成膜装置。
2. 成膜室内に設けられた蒸着源と、
   除去室内に設けられたプラズマ源と、
   前記成膜室と前記除去室の間に互いに離れて設けられた第１の仕切り弁と第２の仕切り弁と、
   被成膜体及びシャドーマスクを、前記蒸着源から成膜材料が噴出する領域に搬送することができ、前記シャドーマスクを、前記プラズマ源からプラズマが照射される領域に搬送することができる機能を有するシャドーマスク搬送機構と、を有し、
   前記シャドーマスク搬送機構が前記被成膜体と前記シャドーマスクを重ね合わせた状態で搬送しながら、前記蒸着源から噴出する前記成膜材料を前記被成膜体に成膜する第１のモードと、
   前記蒸着源を前記第１の仕切り弁と前記第２の仕切り弁によって前記プラズマ源から隔離し、前記シャドーマスク搬送機構が前記シャドーマスクを保持した状態で搬送しながら、前記プラズマ源がプラズマを前記シャドーマスクに照射する第２のモードと、を有する成膜装置。
3. 前記第１の仕切り弁と前記除去室の間に、第３の仕切り弁で前記除去室と仕切られる第１の圧力調整室と、
   前記第２の仕切り弁と前記除去室の間に、第４の仕切り弁で前記除去室と仕切られる第２の圧力調整室と、を有する請求項２記載の成膜装置。
4. 前記シャドーマスクに電気的に接続する電源と、
   前記プラズマ源が発するプラズマの一部を前記シャドーマスクに引き寄せるように前記シャドーマスクの電位を制御する前記第２のモードと、を有する請求項１乃至請求項３のいずれか一に記載の成膜装置。
5. 前記仕切り弁を介して前記成膜室と接続される格納室と、を有し、
   前記成膜室と前記格納室の間を、前記シャドーマスク搬送機構の動作と交差する方向に互いに平行して移動する蒸着源群の蒸着源と、を有する請求項１に記載の成膜装置。