JP2017125837A5 - - Google Patents

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  1. 前記少なくとも２種類の前駆体ガスからの保護層の付着を誘起するために、前記加工物の表面に少なくとも２種類の前駆体ガスを供給すること、ならびに前記基板に向かって荷電粒子ビームを導くことが、
    前記加工物の表面に第１の前駆体ガスを供給すること、
    前記第１の前駆体ガスからの、第１のスパッタリング速度を有する第１の材料の付着を誘起するために、前記基板に向かって荷電粒子ビームを導くこと、
    前記加工物の表面に第２の前駆体ガスを供給すること、
    前記第２の前駆体ガスからの、第２のスパッタリング速度を有する第２の材料の付着を誘起するために、前記基板に向かって前記荷電粒子ビームを導くこと、ならびに
    それによって、前記第１の材料の層および前記第２の材料の層を有する保護層を形成すること
    を含む、請求項１に記載の方法。
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