CN109628886B - 一种蒸镀装置、蒸镀方法、混合层和显示面板 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种蒸镀装置、蒸镀方法、混合层和显示面板，蒸镀装置包括：第一蒸发线源，用于蒸镀第一材料；第二蒸发线源，用于蒸镀第二材料；第一蒸发线源的喷嘴和第二蒸发线源的喷嘴均朝向待蒸镀的基板；第一蒸发线源和第二蒸发线源的之间的水平距离大于预设值，第一蒸发线源的待蒸镀区和第二蒸发线源的待蒸镀区完全重叠；第一蒸发线源以及第二蒸发线源相对于待蒸镀的基板的运动方向，平行于X轴正方向，以使在所述基板上蒸镀的薄膜中所述第一材料的体积浓度沿远离所述基板的方向上逐渐增加，所述第二材料的体积浓度沿远离所述基板的方向上逐渐较小。本发明以实现降低有机发光显示面板的驱动电压的目的。

Description

一种蒸镀装置、蒸镀方法、混合层和显示面板

技术领域

本发明实施例涉及显示技术，尤其涉及一种蒸镀装置、蒸镀方法、混合层和显示面板。

背景技术

有机发光显示面板(Organic Light-Emitting Display，简称OLED)具有主动发光、轻薄、视角大、响应速度快、节能、温度耐受范围大、可实现柔性显示和透明显示等优点。有机发光显示面板为平面光源，不需要导光板或扩散板；驱动电压低，散热量较小；有机发光显示面板较容易实现透明和柔性显示，可应用于特殊场合并开拓出新的照明市场，因此被视为下一代最具潜力的新型平板显示技术。

在有机发光显示面板中，由于不同功能层的材料的能级不同，载流子在传输过程中在不同功能层的材料界面存在势垒跳变，这将会导致有机发光显示面板的驱动电压上升。

发明内容

本发明实施例提供一种蒸镀装置、蒸镀方法、混合层和显示面板，以形成包括两种不同材料且两种不同材料呈梯度变化的混合层，从而实现降低有机发光显示面板的驱动电压的目的。

第一方面，本发明实施例提供一种蒸镀装置，所述蒸镀装置包括：

第一蒸发线源，用于蒸镀第一材料；

第二蒸发线源，用于蒸镀第二材料；

其中，所述第一蒸发线源的喷嘴和所述第二蒸发线源的喷嘴均朝向待蒸镀的基板；所述第一蒸发线源和所述第二蒸发线源的之间的水平距离大于预设值，所述第一蒸发线源的待蒸镀区和所述第二蒸发线源的待蒸镀区完全重叠；

所述第一蒸发线源以及所述第二蒸发线源相对于待蒸镀的基板的运动方向，平行于X轴正方向，以使在所述基板上蒸镀的薄膜中所述第一材料的体积浓度沿远离所述基板的方向上逐渐增加，所述第二材料的体积浓度沿远离所述基板的方向上逐渐较小；其中，所述X轴正方向平行于所述基板所在平面；所述第一蒸发线源沿所述X轴正方向的蒸镀速率逐渐减小，所述第二蒸发线源沿所述X轴正方向的蒸镀速率逐渐增大。

可选地，所述第一蒸发线源还包括第一坩埚、第一角度板和第二角度板；所述第一坩埚用于放置所述第一材料；所述第一角度板位于所述第一蒸发线源的喷嘴远离所述第二蒸发线源的一侧；所述第二角度板位于所述第一蒸发线源的喷嘴邻近所述第二蒸发线源的一侧；

所述第一角度板的一端与所述第一蒸发线源的喷嘴的一端的延长线在垂直于所述基板的方向上重叠；

所述第二角度板的一端和所述第一蒸发线源的喷嘴的一端的延长线，与所述基板形成锐角；

所述第二蒸发线源还包括第二坩埚、第三角度板和第四角度板；所述第二坩埚用于放置所述第二材料；所述第三角度板位于所述第二蒸发线源的喷嘴远离所述第一蒸发线源的一侧；所述第四角度板位于所述第二蒸发线源的喷嘴邻近所述第一蒸发线源的一侧；

所述第三角度板的一端与所述第二蒸发线源的喷嘴的一端的延长线在垂直于所述基板的方向上重叠；

所述第四角度板的一端和所述第二蒸发线源的喷嘴的一端的延长线，与所述基板形成锐角。

可选地，所述第一材料为空穴传输材料，所述第二材料为空穴注入材料。

可选地，所述预设值的取值范围为20cm-100cm。

第二方面，本发明实施例提供一种蒸镀方法，由蒸镀装置执行，所述蒸镀装置包括第一蒸发线源和第二蒸发线源；所述第一蒸发线源用于蒸镀第一材料；所述第二蒸发线源用于蒸镀第二材料；所述第一蒸发线源的喷嘴和所述第二蒸发线源的喷嘴均朝向待蒸镀的基板；所述第一蒸发线源和所述第二蒸发线源的之间的水平距离大于预设值，所述第一蒸发线源的待蒸镀区和所述第二蒸发线源的待蒸镀区完全重叠；

所述蒸镀方法包括：

控制所述第一蒸发线源和所述第二蒸发线源共同蒸镀；

控制所述第一蒸发线源以及所述第二蒸发线源相对于待蒸镀的基板的运动方向，平行于X轴正方向，以使在所述基板上蒸镀的薄膜中所述第一材料的体积浓度沿远离所述基板的方向上逐渐增加，所述第二材料的体积浓度沿远离所述基板的方向上逐渐较小；其中，所述X轴正方向平行于所述基板所在平面。

可选地，所述蒸镀装置还包括基板承载台；所述待蒸镀的基板固定于所述基板承载台上，且所述基板承载台固定；

控制所述第一蒸发线源以及所述第二蒸发线源相对于待蒸镀的基板的运动方向，平行于X轴正方向，包括：

控制所述第一蒸发线源以及所述第二蒸发线源沿所述X轴正方向移动。

第三方面，本发明实施例提供一种混合层，所述混合层包括第一材料和第二材料；

沿所述混合层的厚度方向上，所述第一材料的体积浓度逐渐增加，所述第二材料的体积浓度逐渐减小；或者，沿所述混合层的厚度方向上，所述第一材料的体积浓度逐渐减小，所述第二材料的体积浓度逐渐增加。

第四方面，本发明实施例提供一种显示面板，所述显示面板包括叠层设置的衬底基板、阳极、空穴注入与传输混合层、发光材料层、电子传输层、电子注入层和阴极；

所述空穴注入与传输混合层包括空穴注入材料和空穴传输材料；所述空穴注入与传输混合层中，所述空穴注入材料的体积浓度沿远离所述衬底基板的方向上逐渐减小，所述空穴传输材料的体积浓度沿远离所述衬底基板的方向上逐渐增加。

第五方面，本发明实施例提供一种显示面板，所述显示面板包括叠层设置的衬底基板、阳极、空穴注入层、空穴传输层、发光材料层、电子注入与传输层混合层和阴极；

所述电子注入与传输层混合层包括电子注入材料和电子传输材料；所述电子注入与传输层混合层中，所述电子注入材料的体积浓度沿远离所述衬底基板的方向上逐渐增大，所述电子传输材料的体积浓度沿远离所述衬底基板的方向上逐渐减小。

本发明实施例中，蒸镀装置包括第一蒸发线源和第二蒸发线源，第一蒸发线源和第二蒸发线源之间的水平距离大于预设值，也就是说，第一蒸发线源中的第一坩埚和第二蒸发线源中的第二坩埚间隔开一定的距离。隔开一定距离的第一蒸发线源与第二蒸发线源在待蒸镀的基板不同位置处的蒸镀速率发生了变化。第一蒸发线源沿X轴正方向的蒸镀速率逐渐减小，第二蒸发线源沿X轴正方向的蒸镀速率逐渐增大。蒸发到基板上一点的速率越小，该点处的蒸发材料的体积浓度越小；蒸发到基板上一点的速率越大，该点处的蒸发材料的体积浓度越大。本发明实施例中还设置第一蒸发线源和第二蒸发线源的待蒸镀区完全重叠，从而形成包括第一材料和第二材料这两种不同材料的混合层，且由于第一蒸发线源以及第二蒸发线源相对于待蒸镀的基板平行于X轴正方向运动，使第一蒸发线源和第二蒸发线源通过扫描沉积的方式形成的第一材料和第二材料的体积浓度均沿远离基板方向上呈梯度变化。能级在混合层中缓慢变化，不存在现有技术中空穴注入层和空穴传输层的交界面处存在能级跳变的情况，本发明实施例实现了降低有机发光显示面板的驱动电压的目的。

附图说明

图1为本发明实施例提供的一种蒸镀装置的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的一种蒸镀示意图；

图3为对比例中提供的一种有机发光显示面板的能级图；

图4为本发明实施例提供的一种有机发光显示面板的能级图；

图5为本发明实施例提供的另一种蒸镀装置的结构示意图；

图6为本发明实施例提供的另一种蒸镀示意图；

图7为本发明实施例提供的另一种蒸镀示意图；

图8为本发明实施例提供的另一种蒸镀示意图；

图9为本发明实施例提供的一种蒸镀方法的流程图；

图10为本发明实施例提供的一种混合层的结构示意图；

图11为本发明实施例提供的一种有机发光显示面板的结构示意图；

图12为本发明实施例提供的另一种有机发光显示面板的结构示意图；

图13为本发明实施例提供的另一种有机发光显示面板的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明，而非对本发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部结构。

图1为本发明实施例提供的一种蒸镀装置的结构示意图，参考图1，蒸镀装置包括第一蒸发线源210和第二蒸发线源220。第一蒸发线源210用于蒸镀第一材料。第二蒸发线源220用于蒸镀第二材料，第一材料和第二材料为两种不同的材料。其中，第一蒸发线源210的喷嘴和第二蒸发线源220的喷嘴均朝向待蒸镀的基板10。待蒸镀的基板10例如可以为玻璃基板，且在玻璃基板朝向第一蒸发线源210以及第二蒸发线源220一侧可以设置有多个薄膜晶体管、数据线、扫描线和像素电极等结构。第一蒸发线源210和第二蒸发线源220的之间的水平距离大于预设值，第一蒸发线源210与第二蒸发线源220之间的水平距离指的是，沿X轴方向上，第一蒸发线源210的喷嘴与第二蒸发线源220的喷嘴之间的水平距离。图1中示例性地，第一蒸发线源210以及第二蒸发线源220沿Y轴方向延伸，第一蒸发线源210与第二蒸发线源220之间的水平距离为L，L大于预设值。也就是说，第一蒸发线源210与第二蒸发线源220并未紧靠在一起，而是间隔开一定的距离。第一蒸发线源210的待蒸镀区(图1中粗虚线所示)和第二蒸发线源220的待蒸镀区(图1中粗虚线所示)完全重叠，第一蒸发线源210的待蒸镀区为第一蒸发线源210的蒸镀扇面在待蒸镀的基板10上的截面，第二蒸发线源220的待蒸镀区为第二蒸发线源220的蒸镀扇面在待蒸镀的基板10上的截面。第一蒸发线源210以及第二蒸发线源220相对于待蒸镀的基板10的运动方向，平行于X轴正方向，以使在基板10上蒸镀的薄膜中第一材料的体积浓度沿远离基板10方向上逐渐增加，第二材料的体积浓度沿远离基板10方向上逐渐较小。也就是说，沿Z轴正方向上，在基板10上蒸镀的薄膜中第一材料的体积浓度逐渐减小，第二材料的体积浓度逐渐增加。其中，Z轴正方向垂直于基板10所在平面，X轴、Y轴和Z轴构成笛卡尔坐标系。第一材料的体积浓度指的是，第一材料的体积占某一点处薄膜材料体积的百分比；第二材料的体积浓度指的是，第二材料的体积占某一点处薄膜材料体积的百分比。该选定点处薄膜材料的体积为第一材料的体积和第二材料的体积之和。

为了清晰起见，本发明实施例对第一蒸发线源210以及第二蒸发线源220形成梯度体积浓度变化的第一材料以及第二材料的原理做简要的介绍。图2为本发明实施例提供的一种蒸镀示意图，参考图2，第一蒸发线源210沿X轴正方向的蒸镀速率逐渐减小，第二蒸发线源220沿X轴正方向的蒸镀速率逐渐增大。蒸镀速率与沉积体积浓度成正比。即，蒸镀速率大的地方沉积体积浓度大；蒸镀速率小的地方沉积体积浓度小。因此，第一材料沿X轴正方向的沉积体积浓度逐渐减小，第二材料沿X轴正方向的蒸镀速率逐渐增大。对于待蒸镀的基板10上一点A处，当第一蒸发线源210和第二蒸发线源220沿X轴正方向运动时，初始时刻A点处沉积了体积浓度最低的第一材料和体积浓度最高的第二材料，下一时刻A点处沉积了体积浓度比较低的第一材料和体积浓度比较高的第二材料，下一时刻A点处沉积了体积浓度中等的第一材料和体积浓度中等的第二材料，下一时刻A点处沉积了体积浓度较高的第一材料和体积浓度较低的第二材料，结束时刻A点处沉积了体积浓度最高的第一材料和体积浓度最低的第二材料。由于整个过程发生在A点处的不同时刻，且在A点处形成的薄膜为沿着Z轴负方向(或者说，沿着远离基板10的方向)不断生长，因此在基板10上蒸镀的薄膜中第一材料的体积浓度沿远离基板10方向上逐渐增加，第二材料的体积浓度沿远离基板10方向上逐渐较小。需要说明的是，由于篇幅限制，图2仅示例性地示出了初始时刻A点处沉积情况、结束时刻A点处沉积情况以及初始时刻和结束时刻之间的某一时刻A点处沉积情况。这里的初始时刻和结束时刻仅对应A点而言，并非整个蒸镀过程的初始时刻和结束时刻。且固定待蒸镀的基板10并使第一蒸发线源210以及第二蒸发线源220沿X轴正方向运动仅为一种示例，并非对本发明的限定。

本发明实施例中，蒸镀装置包括第一蒸发线源和第二蒸发线源，第一蒸发线源和第二蒸发线源之间的水平距离大于预设值，也就是说，第一蒸发线源中的第一坩埚和第二蒸发线源中的第二坩埚间隔开一定的距离。隔开一定距离的第一蒸发线源与第二蒸发线源在待蒸镀的基板不同位置处的蒸镀速率发生了变化。第一蒸发线源沿X轴正方向的蒸镀速率逐渐减小，第二蒸发线源沿X轴正方向的蒸镀速率逐渐增大。蒸发到基板上一点的速率越小，该点处的蒸发材料的体积浓度越小；蒸发到基板上一点的速率越大，该点处的蒸发材料的体积浓度越大。本发明实施例中还设置第一蒸发线源和第二蒸发线源的待蒸镀区完全重叠，从而形成包括第一材料和第二材料这两种不同材料的混合层，且由于第一蒸发线源以及第二蒸发线源相对于待蒸镀的基板平行于X轴正方向运动，使第一蒸发线源和第二蒸发线源通过扫描沉积的方式形成的第一材料和第二材料均沿远离基板方向上呈梯度变化。能级在混合层中缓慢变化，不存在现有技术中空穴注入层和空穴传输层的交界面处存在能级跳变的情况，本发明实施例实现了降低有机发光显示面板的驱动电压的目的。

图3为对比例中提供的一种有机发光显示面板的能级图，参考图3，LUMO是未占有电子的能级最低的轨道，是英文“Lowest Unoccupied Molecular Orbital”的缩写。HOMO是已占有电子的能级最高的轨道称为最高已占轨道，是英文“Highest Occupied MolecularOrbital”的缩写。有机发光显示面板包括阳极320、空穴注入层381、空穴传输层382、电子阻挡层383、发光材料层340和阴极370。图3中省略了电子传输层、电子注入层和空穴阻挡层等膜层结构。由于空穴注入层381和空穴传输层382是独立的膜层，空穴注入层381和空穴传输层382的交界面处存在能级跳变，空穴注入层381和空穴传输层382的交界面处的势垒为ΔE，0.3eV≤ΔE≤0.6eV。空穴不容易从空穴注入层381传递到空穴传输层382。这将会导致有机发光显示面板的驱动电压上升。

图4为本发明实施例提供的一种有机发光显示面板的能级图，与图3相同之处不再赘述，参考图4，有机发光显示面板包括阳极320、空穴注入与传输混合层330、电子阻挡层383、发光材料层340和阴极370。图4中省略了电子传输层、电子注入层和空穴阻挡层等膜层结构。空穴注入与传输混合层330代替了空穴注入层和空穴传输层，空穴注入与传输混合层330包括空穴传输材料和空穴注入材料。空穴传输材料和空穴注入材料在空穴注入与传输混合层330中混合，且具有体积浓度梯度。沿远离阳极320的方向上，空穴注入材料的浓度梯度从100％递减至0，空穴传输材料的浓度从0递增至100％。靠近阳极320一侧的空穴注入与传输混合层330中拥有更高体积浓度的空穴注入材料且更低体积浓度的空穴传输材料；靠近发光材料层340一侧的空穴注入与传输混合层330中拥有更高体积浓度的空穴传输材料且更低体积浓度的空穴注入材料。因此不存在现有技术中空穴注入层和空穴传输层的交界面处存在能级跳变的情况，实现了降低有机发光显示面板的驱动电压的目的。

可选地，参考图1，如果第一蒸发线源210和第二蒸发线源220之间的水平距离过小(L＜20cm)，蒸发到基板10上一点的第一材料的蒸镀速率与第二材料的蒸镀速率接近，第一材料和第二材料接近均匀混合的状态。在基板10上蒸镀的薄膜中第一材料和第二材料无法在薄膜的厚度方向上形成体积浓度梯度变化。也就是说，L＜20cm时，第一蒸发线源210邻近第二蒸发线源220，邻近的第一蒸发线源210与第二蒸发线源220在待蒸镀的基板10不同位置处的蒸镀速率不会发生变化，从而形成了第一材料和第二材料完全均匀混合的薄膜。如果第一蒸发线源210和第二蒸发线源220之间的水平距离过大(L＞100cm)，虽然可以形成包括第一材料和第二材料且第一材料和第二材料呈梯度变化的混合层，但是由于待蒸镀的基板10的面积有限，待蒸镀区的面积大于待蒸镀的基板10的面积，从而导致第一材料和第二材料的浪费。因此，本发明实施例中，预设值的取值范围为20cm-100cm，即20cm≤L≤100cm。

图5为本发明实施例提供的另一种蒸镀装置的结构示意图，参考图5，第一蒸发线源210还包括第一坩埚21、第一角度板31和第二角度板32。第一坩埚21用于放置第一材料。第一角度板31位于第一蒸发线源210的喷嘴远离第二蒸发线源220的一侧。第二角度板32位于第一蒸发线源210的喷嘴邻近第二蒸发线源220的一侧。第一角度板31和第二角度板32位于第一蒸发线源210的喷嘴的相对两侧。沿X轴正方向上，第一角度板31的一端与第一蒸发线源210的喷嘴的一端的延长线在垂直于基板10的方向上重叠，从而使第一蒸发线源210的蒸镀扇面的一个边缘L1与待蒸镀的基板10垂直。第二角度板32的一端和第一蒸发线源210的喷嘴的一端的延长线，与基板10形成锐角，从而使第一蒸发线源210的蒸镀扇面的另一个边缘L2与待蒸镀的基板10形成锐角。沿X轴正方向上，第一材料的蒸镀速率逐渐减小。

第二蒸发线源220还包括第二坩埚22、第三角度板33和第四角度板34。第二坩埚22用于放置第二材料。第三角度板33位于第二蒸发线源220的喷嘴远离第一蒸发线源210的一侧。第四角度板34位于第二蒸发线源220的喷嘴邻近第一蒸发线源210的一侧。第三角度板33和第四角度板34位于第二蒸发线源220的喷嘴的相对两侧。沿X轴正方向上，第三角度板33的喷嘴的一端与第二蒸发线源220的喷嘴的一端的延长线在垂直于基板10的方向上重叠，从而使第二蒸发线源220的蒸镀扇面的一个边缘L3与待蒸镀的基板10垂直。第四角度板34的一端和第二蒸发线源220的喷嘴的一端的延长线，与基板10形成锐角，从而使第二蒸发线源220的蒸镀扇面的另一个边缘L4与待蒸镀的基板10形成锐角。沿X轴正方向上，第二材料的蒸镀速率逐渐增加。

可选地，参考图5，第一角度板31包括第一子角度板311和第二子角度板312。第一子角度板311的一端连接第一坩埚21，第一子角度板311的另一端与第二子角度板312的一端连接，第二子角度板312的另一端悬空。第一子角度板311垂直于待蒸镀的基板10，第二子角度板312与待蒸镀的基板10之间的夹角大于零，且第二子角度板312朝向第一蒸发线源210的喷嘴弯折。第二角度板32垂直于待蒸镀的基板10。第三角度板33包括第三子角度板331和第四子角度板332。第三子角度板331的一端连接第二坩埚22，第三子角度板331的另一端与第四子角度板332的一端连接，第四子角度板34的另一端悬空。第三子角度板331垂直于待蒸镀的基板10，第四子角度板332与待蒸镀的基板10之间的夹角大于零，且第四子角度板332朝向第二蒸发线源220的喷嘴弯折。第四角度板34垂直于待蒸镀的基板10。需要说明的是，本发明实施例示例性地给出了可以实现“在基板10上蒸镀的薄膜中第一材料的体积浓度沿远离基板10方向上逐渐增加，第二材料的体积浓度沿远离基板10方向上逐渐较小”的一种可选的第一蒸发线源210和第二蒸发线源220结构，但并不以此为限，在其他实施例中，例如可以将第一角度板31设置为平板而不是弯折结构，平板状的第一角度板31与待蒸镀的基板10垂直。

图6为本发明实施例提供的一种蒸镀示意图，参考图6，蒸镀装置还包括基板承载台40，待蒸镀的基板10固定于基板承载台40上，且基板承载台40固定。第一蒸发线源210以及第二蒸发线源220沿X轴正方向移动。由于基板承载台40固定，固定于基板承载台40的待蒸镀的基板10也是固定的，通过移动第一蒸发线源210以及第二蒸发线源220完成蒸镀过程。由于待蒸镀的基板10的待蒸镀一侧往往放置掩模板(图6中未示出)，保持掩模板和待蒸镀的基板10两者的相对位置固定，可以提高蒸镀质量。因此本发明实施例中，通过固定待蒸镀的基板10，移动第一蒸发线源210以及第二蒸发线源220完成蒸镀过程，提高了蒸镀质量。

图7为本发明实施例提供的另一种蒸镀示意图，参考图7，蒸镀装置还包括基板承载台40，待蒸镀的基板10固定于基板承载台40上。第一蒸发线源210以及第二蒸发线源220固定，基板承载台40沿X轴负方向移动。由于基板承载台40移动，固定于基板承载台40的待蒸镀的基板10也是移动的，通过移动待蒸镀的基板10完成蒸镀过程。

图8为本发明实施例提供的另一种蒸镀示意图，参考图8，蒸镀装置还包括基板承载台40，待蒸镀的基板10固定于基板承载台40上。第一蒸发线源210以及第二蒸发线源220沿X轴正方向移动。基板承载台40沿X轴负方向移动。通过移动移动第一蒸发线源210、第二蒸发线源220和待蒸镀的基板10完成蒸镀过程。

在上述各实施例的基础上，可选地，第一材料为空穴传输材料，第二材料为空穴注入材料。

本发明实施例还提供一种蒸镀方法，由上述任一实施例中的蒸镀装置执行，蒸镀装置包括第一蒸发线源和第二蒸发线源，第一蒸发线源用于蒸镀第一材料，第二蒸发线源用于蒸镀第二材料。第一蒸发线源的喷嘴和第二蒸发线源的喷嘴均朝向待蒸镀的基板，第一蒸发线源和第二蒸发线源的之间的水平距离大于预设值，第一蒸发线源的待蒸镀区和第二蒸发线源的待蒸镀区完全重叠。图9为本发明实施例提供的一种蒸镀方法的流程图，参考图1-图7，以及图9，蒸镀方法包括如下步骤：

S110、控制第一蒸发线源210和第二蒸发线源220共同蒸镀。

S120、控制第一蒸发线源210以及第二蒸发线源220相对于待蒸镀的基板10的运动方向，平行于X轴正方向。

控制第一蒸发线源210以及第二蒸发线源220相对于待蒸镀的基板10的运动方向，平行于X轴正方向，以使在所述基板上蒸镀的薄膜中所述第一材料的体积浓度沿远离所述基板的方向上逐渐增加，所述第二材料的体积浓度沿远离所述基板的方向上逐渐较小；其中，所述X轴正方向平行于所述基板所在平面。

本发明实施例中，第一蒸发线源和第二蒸发线源共同蒸镀，待蒸镀区完全重叠，从而形成包括第一材料和第二材料这两种不同材料的混合层，且第一材料和第二材料沿远离待蒸镀的基板10方向上均呈梯度变化。本发明实施例实现了降低有机发光显示面板的驱动电压的目的。

可选地，参考图6以及图9，蒸镀装置还包括基板承载台40，待蒸镀的基板10固定于基板承载台40上，且基板承载台40固定。控制第一蒸发线源210以及第二蒸发线源220相对于待蒸镀的基板10的运动方向，平行于X轴正方向(即步骤S120)包括：控制第一蒸发线源210以及第二蒸发线源220沿X轴正方向移动。也就是说，由第一蒸发线源210位于第二蒸发线源220远离基板10一侧的状态为起始状态，第一蒸发线源210以及第二蒸发线源220沿着X轴正方向运动，至第二蒸发线源220位于第一蒸发线源210远离基板10一侧的状态为结束状态，以完成第一材料和第二材料的蒸镀。

可选地，第一材料为空穴传输材料，第二材料为空穴注入材料。

图10为本发明实施例提供的一种混合层的结构示意图，参考图10，混合层包括第一材料11和第二材料12。沿混合层的厚度方向上，第一材料11的体积浓度逐渐增加，第二材料12的体积浓度逐渐减小。或者也可以说，沿混合层的厚度方向上，第一材料11的体积浓度逐渐减小，第二材料12的体积浓度逐渐增加。图10中的混合层可以采用本发明任一实施例中的蒸镀装置以及本发明任一实施例中的蒸镀方法来形成。

图11为本发明实施例提供的一种有机发光显示面板的结构示意图，空穴注入与传输混合层可以采用本发明任一实施例中的蒸镀装置以及本发明任一实施例中的蒸镀方法来形成，参考图11，有机发光显示面板包括叠层设置的衬底基板310、阳极320、空穴注入与传输混合层330、发光材料层340、电子传输层350、电子注入层360和阴极370。发光材料层340可以包括红色发光材料层341、绿色发光材料层342和蓝色发光材料层343。阳极320注入的空穴和阴极370注入的电子在红色发光材料层341中复合并发出红光；阳极320注入的空穴和阴极370注入的电子在绿色发光材料层342中复合并发出绿光；阳极320注入的空穴和阴极370注入的电子在蓝色发光材料层343中复合并发出蓝光。空穴注入与传输混合层330包括空穴传输材料和空穴注入材料。沿空穴注入与传输混合层330远离衬底基板310方向上(即沿Z轴负方向)，空穴传输材料在空穴注入与传输混合层330中的体积浓度逐渐增加，空穴传输材料的体积浓度由0逐渐增加到100％；空穴注入材料在空穴注入与传输混合层330中的体积浓度逐渐减小，空穴注入材料的体积浓度由100％逐渐减小到0。空穴注入与传输混合层330在与阳极320的交界面处，空穴注入与传输混合层330中的空穴注入材料的体积浓度为100％。空穴注入与传输混合层330与发光材料层340交界面处，空穴注入与传输混合层330中的空穴传输材料的体积浓度为100％。空穴注入与传输混合层330相对于空穴传输层和空穴注入层两个膜层叠层来说，不存在现有技术中空穴注入层和空穴传输层的交界面处存在能级跳变的情况，实现了降低有机发光显示面板的驱动电压的目的。需要说明的是，在空穴注入与传输混合层330与发光材料层340之间还可以包括电子阻挡层，在发光材料层340和电子传输层350之间还可以包括空穴阻挡层，衬底基板310可以为上述待蒸镀的基板10，第一材料并不限于空穴传输材料，第二材料也不限于空穴注入材料。在其他实施方式中，第一材料例如可以为电子注入材料，第二材料例如可以为电子传输材料。

图12为本发明实施例提供的另一种有机发光显示面板的结构示意图，电子注入与传输混合层可以采用本发明任一实施例中的蒸镀装置以及本发明任一实施例中的蒸镀方法来形成，参考图12，有机发光显示面板包括叠层设置的衬底基板310、阳极320、空穴注入层310、空穴注入与传输混合层330、发光材料层340、电子注入与传输混合层390和阴极370。发光材料层340可以包括红色发光材料层341、绿色发光材料层342和蓝色发光材料层343。阳极320注入的空穴和阴极370注入的电子在红色发光材料层341中复合并发出红光；阳极320注入的空穴和阴极370注入的电子在绿色发光材料层342中复合并发出绿光；阳极320注入的空穴和阴极370注入的电子在蓝色发光材料层343中复合并发出蓝光。电子注入与传输混合层390包括电子传输材料和电子注入材料。沿电子注入与传输混合层390远离衬底基板310方向上(即沿Z轴负方向)，电子传输材料在电子注入与传输混合层390中的体积浓度逐渐减小，电子传输材料的体积浓度由100％逐渐减小到0；电子注入材料在电子注入与传输混合层390中的体积浓度逐渐增加，电子注入材料的体积浓度由0逐渐增加到100％。电子注入与传输混合层390在与阴极370的交界面处，电子注入与传输混合层390中的电子注入材料的体积浓度为100％。电子注入与传输混合层390与发光材料层340交界面处，电子注入与传输混合层390中的电子传输材料的体积浓度为100％。电子注入与传输混合层330相对于电子传输层和电子注入层两个膜层叠层来说，不存在现有技术中电子注入层和电子传输层的交界面处存在能级跳变的情况，实现了降低有机发光显示面板的驱动电压的目的。需要说明的是，在电子注入与传输混合层390与发光材料层340之间还可以包括空穴阻挡层，在发光材料层340和空穴传输层382之间还可以包括电子阻挡层，第一材料并不限于空穴传输材料，第二材料也不限于空穴注入材料。

图13为本发明实施例提供的另一种有机发光显示面板的结构示意图，空穴注入与传输混合层可以采用本发明任一实施例中的蒸镀装置以及本发明任一实施例中的蒸镀方法来形成，电子注入与传输混合层可以采用本发明任一实施例中的蒸镀装置以及本发明任一实施例中的蒸镀方法来形成，与图11以及图12中相同的部分在此不再赘述，参考图13，有机发光显示面板包括叠层设置的衬底基板310、阳极320、空穴注入与传输混合层330、发光材料层340、电子注入与传输混合层390和阴极370。沿空穴注入与传输混合层330远离衬底基板310方向上(即沿Z轴负方向)，空穴传输材料在空穴注入与传输混合层330中的体积浓度逐渐增加，空穴传输材料的体积浓度由0逐渐增加到100％；空穴注入材料在空穴注入与传输混合层330中的体积浓度逐渐减小，空穴注入材料的体积浓度由100％逐渐减小到0。空穴注入与传输混合层330在与阳极320的交界面处，空穴注入与传输混合层330中的空穴注入材料的体积浓度为100％。空穴注入与传输混合层330与发光材料层340交界面处，空穴注入与传输混合层330中的空穴传输材料的体积浓度为100％。空穴注入与传输混合层330相对于空穴传输层和空穴注入层两个膜层叠层来说，不存在现有技术中空穴注入层和空穴传输层的交界面处存在能级跳变的情况，实现了降低有机发光显示面板的驱动电压的目的。沿电子注入与传输混合层390远离衬底基板310方向上(即沿Z轴负方向)，电子传输材料在电子注入与传输混合层390中的体积浓度逐渐减小，电子传输材料的体积浓度由100％逐渐减小到0；电子注入材料在电子注入与传输混合层390中的体积浓度逐渐增加，电子注入材料的体积浓度由0逐渐增加到100％。电子注入与传输混合层390在与阴极370的交界面处，电子注入与传输混合层390中的电子注入材料的体积浓度为100％。电子注入与传输混合层390与发光材料层340交界面处，电子注入与传输混合层390中的电子传输材料的体积浓度为100％。电子注入与传输混合层330相对于电子传输层和电子注入层两个膜层叠层来说，不存在现有技术中电子注入层和电子传输层的交界面处存在能级跳变的情况，实现了降低有机发光显示面板的驱动电压的目的。需要说明的是，在电子注入与传输混合层390与发光材料层340之间还可以包括空穴阻挡层，在发光材料层340和空穴注入与传输混合层330之间还可以包括电子阻挡层，第一材料并不限于空穴传输材料，第二材料也不限于空穴注入材料。

注意，上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本发明不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整、相互结合和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明，但是本发明不仅仅限于以上实施例，在不脱离本发明构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。

Claims (9)

1.一种蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置包括：

第一蒸发线源，用于蒸镀第一材料；

第二蒸发线源，用于蒸镀第二材料；

其中，所述第一蒸发线源的喷嘴和所述第二蒸发线源的喷嘴均朝向待蒸镀的基板；所述第一蒸发线源和所述第二蒸发线源间隔开一定距离，所述第一蒸发线源的待蒸镀区和所述第二蒸发线源的待蒸镀区完全重叠；

所述第一蒸发线源以及所述第二蒸发线源相对于待蒸镀的基板的运动方向，平行于X轴正方向，以使在所述基板上蒸镀的薄膜中所述第一材料的体积浓度沿远离所述基板的方向上逐渐增加，所述第二材料的体积浓度沿远离所述基板的方向上逐渐较小；其中，所述X轴正方向平行于所述基板所在平面；所述第一蒸发线源沿所述X轴正方向的蒸镀速率逐渐减小，所述第二蒸发线源沿所述X轴正方向的蒸镀速率逐渐增大。

2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述第一蒸发线源还包括第一坩埚、第一角度板和第二角度板；所述第一坩埚用于放置所述第一材料；所述第一角度板位于所述第一蒸发线源的喷嘴远离所述第二蒸发线源的一侧；所述第二角度板位于所述第一蒸发线源的喷嘴邻近所述第二蒸发线源的一侧；

所述第一角度板的一端与所述第一蒸发线源的一端的延长线在垂直于所述基板的方向上重叠；

所述第二角度板的一端和所述第一蒸发线源的喷嘴的一端的延长线，与所述基板形成锐角；

所述第二蒸发线源还包括第二坩埚、第三角度板和第四角度板；所述第二坩埚用于放置所述第二材料；所述第三角度板位于所述第二蒸发线源的喷嘴远离所述第一蒸发线源的一侧；所述第四角度板位于所述第二蒸发线源的喷嘴邻近所述第一蒸发线源的一侧；

所述第三角度板的一端与所述第二蒸发线源的喷嘴一端的延长线在垂直于所述基板的方向上重叠；

所述第四角度板的一端和所述第二蒸发线源的喷嘴的一端的延长线，与所述基板形成锐角。

3.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述第一材料为空穴传输材料，所述第二材料为空穴注入材料。

4.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述第一蒸发线源和所述第二蒸发线源间隔开一定距离的预设值的取值范围为20cm-100cm。

5.一种蒸镀方法，其特征在于，蒸镀装置包括第一蒸发线源和第二蒸发线源；所述第一蒸发线源用于蒸镀第一材料；所述第二蒸发线源用于蒸镀第二材料；所述第一蒸发线源的喷嘴和所述第二蒸发线源的喷嘴均朝向待蒸镀的基板；所述第一蒸发线源和所述第二蒸发线源间隔开一定距离，所述第一蒸发线源的待蒸镀区和所述第二蒸发线源的待蒸镀区完全重叠；

所述蒸镀方法包括：

控制所述第一蒸发线源和所述第二蒸发线源共同蒸镀；

控制所述第一蒸发线源以及所述第二蒸发线源相对于待蒸镀的基板的运动方向，平行于X轴正方向，以使在所述基板上蒸镀的薄膜中所述第一材料的体积浓度沿远离所述基板的方向上逐渐增加，所述第二材料的体积浓度沿远离所述基板的方向上逐渐较小；其中，所述X轴正方向平行于所述基板所在平面。

6.根据权利要求5所述的蒸镀方法，其特征在于，所述蒸镀装置还包括基板承载台；所述待蒸镀的基板固定于所述基板承载台上，且所述基板承载台固定；

控制所述第一蒸发线源以及所述第二蒸发线源相对于待蒸镀的基板的运动方向，平行于X轴正方向，包括：

控制所述第一蒸发线源以及所述第二蒸发线源沿所述X轴正方向移动。

7.一种混合层，其特征在于，采用权利要求1-4中任一所述的蒸镀装置形成，所述混合层包括第一材料和第二材料；

沿所述混合层的厚度方向上，所述第一材料的体积浓度逐渐增加，所述第二材料的体积浓度逐渐减小；或者，沿所述混合层的厚度方向上，所述第一材料的体积浓度逐渐减小，所述第二材料的体积浓度逐渐增加。

8.一种显示面板，其特征在于，采用权利要求1-4中任一所述的蒸镀装置形成，所述显示面板包括叠层设置的衬底基板、阳极、空穴注入与传输混合层、发光材料层、电子传输层、电子注入层和阴极；

所述空穴注入与传输混合层包括空穴注入材料和空穴传输材料；所述空穴注入与传输混合层中，所述空穴注入材料的体积浓度沿远离所述衬底基板的方向上逐渐减小，所述空穴传输材料的体积浓度沿远离所述衬底基板的方向上逐渐增加。

9.一种显示面板，其特征在于，采用权利要求1-4中任一所述的蒸镀装置形成，所述显示面板包括叠层设置的衬底基板、阳极、空穴注入层、空穴传输层、发光材料层、电子注入与传输层混合层和阴极；

所述电子注入与传输层混合层包括电子注入材料和电子传输材料；所述电子注入与传输层混合层中，所述电子注入材料的体积浓度沿远离所述衬底基板的方向上逐渐增大，所述电子传输材料的体积浓度沿远离所述衬底基板的方向上逐渐减小。

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