CN206751911U - 一种方便运输镀膜的真空镀膜机 - Google Patents
一种方便运输镀膜的真空镀膜机 Download PDFInfo
- Publication number
- CN206751911U CN206751911U CN201720638108.2U CN201720638108U CN206751911U CN 206751911 U CN206751911 U CN 206751911U CN 201720638108 U CN201720638108 U CN 201720638108U CN 206751911 U CN206751911 U CN 206751911U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- membrane cavity
- plating membrane
- transport
- roller group
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
本实用新型涉及一种方便运输镀膜的真空镀膜机,包括机架,所述机架从左往右依次包括第一镀膜腔、第二镀膜腔以及第三镀膜腔,所述第一镀膜腔、第二镀膜腔以及第三镀膜腔之间通过隔板连接,且上端设有流通的走道,所述第一镀膜腔上端设有进料口,所述第三镀膜腔上设有出料口,所述第一镀膜腔、第二镀膜腔以及第三镀膜腔之间通过“U”型运输辊组连通,且进料口内连接有进料辊组,出料口内连接有出料辊组,所述“U”型运输辊组之间设有加热座,所述加热座连接电弧溅射源。优点是:在镀膜过程中,工件可随着“U”型运输辊组向前运输移动,简化了运输,提高了工作效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种真空蒸发镀膜技术领域,尤其涉及一种方便运输镀膜的真空镀膜机。
背景技术
真空镀膜技术广泛应用于塑料、金属工件上,镀膜不仅能保护工件,防止工件磨损、氧化,而且使工件表面光滑,装饰性强;现有的镀膜技术是,将薄膜材料由固态转化成气态,最后沉积到工件表面上形成薄膜,现有的真空镀膜机在工件进行镀膜过程中运输困难,且浪费时间,工作效率低。
因此,需要寻求一种新的技术方案来解决上述问题。
发明内容
本实用新型的目的是:提供一种方便运输镀膜的真空镀膜机。
为实现上述目的,本实用新型采用的技术方案是:
一种方便运输镀膜的真空镀膜机,包括机架,所述机架从左往右依次包括第一镀膜腔、第二镀膜腔以及第三镀膜腔,所述第一镀膜腔、第二镀膜腔以及第三镀膜腔之间通过隔板连接,且上端设有流通的走道,所述第一镀膜腔上端设有进料口,所述第三镀膜腔上设有出料口,所述第一镀膜腔、第二镀膜腔以及第三镀膜腔之间通过“U”型运输辊组连通,且进料口内连接有进料辊组,出料口内连接有出料辊组,所述“U”型运输辊组之间设有加热座,所述加热座连接电弧溅射源。
在上述技术方案中,在镀膜过程中,工件可随着“U”型运输辊组向前运输移动,简化了运输,提高了工作效率,在移动过程中还会受到镀膜,且由于工件会依次经过第一镀膜腔、第二镀膜腔以及第三镀膜腔,延长了镀膜时间,使得镀膜均匀。
所述进料口和出料口上均设有上盖,所述上盖与进料口以及出料口之间通过密封圈连接。
在上述技术方案中,上盖与进料口以及出料口之间设有密封圈,可加强机架内的密封性。
所述机架底部设有底座,所述底座内设有连通机架的抽真空管,所述抽真空管延伸至外连接有真空吸泵,所述抽真空管上设有单向气阀。
附图说明
附图1为本实用新型实施例一的主视图。
以上附图中:1-机架、2-第一镀膜腔、3-第二镀膜腔、4-第三镀膜腔、5-隔板、6-走道、7-进料口、8-出料口、9-“U”型运输辊、10-进料辊组、11-出料辊组、12-加热座、13-电弧溅射源、14-上盖、15-密封圈、16-抽真空管、17-真空吸泵、18-单向气阀、19-底座。
具体实施方式
下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述。
实施例一:
如图1所述,本实用新型的一种方便运输镀膜的真空镀膜机,包括机架1,所述机架1从左往右依次包括第一镀膜腔2、第二镀膜腔3以及第三镀膜腔4,所述第一镀膜腔2、第二镀膜腔3以及第三镀膜腔4之间通过隔板5连接,且上端设有流通的走道6,所述第一镀膜腔2上端设有进料口7,所述第三镀膜腔4上设有出料口8,所述第一镀膜腔2、第二镀膜腔3以及第三镀膜腔4之间通过“U”型运输辊9组连通,且进料口7内连接有进料辊组10,出料口8内连接有出料辊组11,所述“U”型运输辊组9之间设有加热座12,所述加热座12连接电弧溅射源13。
在上述技术方案中,在镀膜过程中,工件可随着“U”型运输辊组9向前运输移动,简化了运输,提高了工作效率,在移动过程中还会受到镀膜,且由于工件会依次经过第一镀膜腔2、第二镀膜腔3以及第三镀膜腔4,延长了镀膜时间,使得镀膜均匀。
所述进料口7和出料口8上均设有上盖14,所述上盖14与进料口7以及出料口8之间通过密封圈15连接。
在上述技术方案中,上盖14与进料口7以及出料口8之间设有密封圈15,可加强机架1内的密封性。
所述机架1底部设有底座19,所述底座19内设有连通机1架的抽真空管16,所述抽真空管16延伸至外连接有真空吸泵17,所述抽真空管16上设有单向气阀18。
上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点,其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施,并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (3)
1.一种方便运输镀膜的真空镀膜机,其特征在于:包括机架,所述机架从左往右依次包括第一镀膜腔、第二镀膜腔以及第三镀膜腔,所述第一镀膜腔、第二镀膜腔以及第三镀膜腔之间通过隔板连接,且上端设有流通的走道,所述第一镀膜腔上端设有进料口,所述第三镀膜腔上设有出料口,所述第一镀膜腔、第二镀膜腔以及第三镀膜腔之间通过“U”型运输辊组连通,且进料口内连接有进料辊组,出料口内连接有出料辊组,所述“U”型运输辊组之间设有加热座,所述加热座连接电弧溅射源。
2.根据权利要求1所述的一种方便运输镀膜的真空镀膜机,其特征在于:所述进料口和出料口上均设有上盖,所述上盖与进料口以及出料口之间通过密封圈连接。
3.根据权利要求2所述的一种方便运输镀膜的真空镀膜机,其特征在于:所述机架底部设有底座,所述底座内设有连通机架的抽真空管,所述抽真空管延伸至外连接有真空吸泵,所述抽真空管上设有单向气阀。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201720638108.2U CN206751911U (zh) | 2017-06-02 | 2017-06-02 | 一种方便运输镀膜的真空镀膜机 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201720638108.2U CN206751911U (zh) | 2017-06-02 | 2017-06-02 | 一种方便运输镀膜的真空镀膜机 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN206751911U true CN206751911U (zh) | 2017-12-15 |
Family
ID=60620703
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201720638108.2U Expired - Fee Related CN206751911U (zh) | 2017-06-02 | 2017-06-02 | 一种方便运输镀膜的真空镀膜机 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN206751911U (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN115407432A (zh) * | 2022-08-29 | 2022-11-29 | 歌尔光学科技有限公司 | 一种真空镀膜系统 |
-
2017
- 2017-06-02 CN CN201720638108.2U patent/CN206751911U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN115407432A (zh) * | 2022-08-29 | 2022-11-29 | 歌尔光学科技有限公司 | 一种真空镀膜系统 |
CN115407432B (zh) * | 2022-08-29 | 2023-12-22 | 歌尔光学科技有限公司 | 一种真空镀膜系统 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10590538B2 (en) | Vacuum treatment apparatus | |
US9157538B2 (en) | Method of operating a valve | |
CN106637112B (zh) | 用于燃料电池金属双极板的卧式磁控溅射系统及镀膜工艺 | |
CN203411602U (zh) | 用于圆筒内壁的钟罩式镀膜设备 | |
CN206751911U (zh) | 一种方便运输镀膜的真空镀膜机 | |
US20150194259A1 (en) | Method for manufacturing NdFeB rare earth permanent magnetic device with composite plating | |
CN109518153B (zh) | 连续真空镀膜装置及镀膜系统 | |
JP6215171B2 (ja) | 微粒子生成装置 | |
CN106756850B (zh) | 一种高效紧凑型磁控镀膜装置及方法 | |
CN111433389A (zh) | 用于输送基板载体的真空锁和方法 | |
CN106119800A (zh) | 一种镀膜机 | |
CN109576652A (zh) | 一种电弧离子镀膜装置 | |
CN208240622U (zh) | 用于装载及卸载基板的负载锁定腔室和直列基板处理系统 | |
JP6353602B2 (ja) | 真空コーティングプラントにおいて搬送速度を増加させつつエネルギをセーブする方法及び装置 | |
CN104359309A (zh) | 一种全自动真空预热炉 | |
US10770275B2 (en) | Film forming unit for sputtering apparatus | |
CN110904408A (zh) | 一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备 | |
WO2019161579A1 (zh) | 一种多真空室电子束焊接设备 | |
CN219326828U (zh) | 连续镀膜生产线 | |
CN220034647U (zh) | 一种燃料电池金属双极板连续镀膜设备 | |
CN107604327A (zh) | 一种改进的溅镀机防着板结构 | |
CN110512179A (zh) | 一种便于传送的半导体溅镀机 | |
CN109559962A (zh) | 一种窄束型线性离子源 | |
CN210886206U (zh) | 一种双室磁控溅射真空镀膜机 | |
CN219568047U (zh) | 一种真空镀膜设备 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20171215 Termination date: 20200602 |