CN106119800A - 一种镀膜机 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种镀膜机，包括装料机构、真空炉、传动输送机构、溅射靶组、真空抽吸组及控制中心，装料机构设置于真空炉顶端靠近边缘处，装料机构的底部与真空炉连通；溅射靶组位于真空炉顶端且与装料机构相邻处；传动输送机构设置于真空炉内且与溅射靶组对应，传动输送机构的底端与真空炉的底部内侧可拆卸连接；真空抽吸组位于真空炉的外侧并通过管道与真空炉相通；装料机构内侧壁上设置有一加热系统；传动输送机构、溅射靶组、真空抽吸组及加热系统均与控制中心电连接。本发明中的镀膜机分三个阶段抽真空，保证抽真空时不产生明显压差，避免粉末飞起；传动输送机构一体设置便于拆卸替换或清理，还可根据粉体颗粒的大小进行合适的振动源的调节。

Description

一种镀膜机

技术领域

本发明涉及真空镀膜技术领域，特别是涉及一种镀膜机。

背景技术

镀膜能够对被镀膜体起到一定的保护作用，从而有效地提高被镀膜体的性能，延长使用寿命。现有的镀膜机多用于对工件或者玻璃等大体积大面积的镀膜，很少有专用于粉体的镀膜机；并且即使存在有少量的粉体镀膜机，但现有的粉体镀膜机大多数都存在抽真空时易导致粉末飞起、不便于对镀膜机内进行清理等一系列的问题，导致镀膜效果差，镀膜效率不高。

针对上述现有技术中存在的技术问题，而设计以下的镀膜机，用于解决上述存在的技术问题。

发明内容

本发明的目的是提供一种镀膜机，以解决上述现有技术存在的问题，该镀膜机用于真空粉体镀膜，能够有效的避免抽真空时引起的粉末飞起，且可根据粉体颗粒的大小进行振动频率等的调整，改善粉体流动性，从而使得该镀膜机粉体涂覆效率高，漏粉率低，整体包裹性好，并且工作效率高。

为实现上述目的，本发明提供了如下方案：本发明一种镀膜机，包括装料机构、真空炉、传动输送机构、溅射靶组、真空抽吸组及控制中心，所述装料机构设置于所述真空炉顶端靠近边缘处，所述装料机构的底部与所述真空炉相连通；所述溅射靶组位于所述真空炉顶端且所述溅射靶组的一侧与所述装料机构相邻，所述溅射靶组的另一侧靠近所述真空炉顶端的另一边缘处；所述传动输送机构设置于所述真空炉内且与所述溅射靶组相对应，所述传动输送机构的底端与所述真空炉的底部内侧可拆卸的连接；所述真空抽吸组位于所述真空炉的外侧并通过管道与所述真空炉相通；所述装料机构内侧壁上设置有一加热系统；所述传动输送机构、溅射靶组、真空抽吸组及加热系统均与所述控制中心电连接。

可选的，所述装料机构包括有两级漏斗及撒粉漏斗，所述两级漏斗包括第一漏斗与第二漏斗，所述第一漏斗位于所述第二漏斗的顶端，且所述第一漏斗与所述第二漏斗之间间隔有空隙，所述第一漏斗与所述第二漏斗通过螺杆焊接固定，所述螺杆固定在所述装料机构的内侧壁上；所述撒粉漏斗位于所述两级漏斗的底部，所述撒粉漏斗通过螺杆与所述两级漏斗固定连接，所述撒粉漏斗的底端位于所述装料机构与所述真空炉的连通处。

可选的，所述装料机构的顶部设置有一观察窗，所述装料机构的外壁上固定设置有一单独振源，所述单独振源中的振动棒伸入所述装料机构内并与所述撒粉漏斗的相抵接。

可选的，所述传动输送机构包括振动输送器、传粉板及隔离减震台，所述隔离减震台可拆卸的设置于所述真空炉的腔室底部，所述振动输送器通过螺栓固定在所述隔离减震台的顶端，所述振动输送器顶端固定所述传粉板；所述振动输送器、传粉板及隔离减震台为一体式设置，所述振动输送器与所述控制中心电连接。

可选的，位于所述传粉板的末端的下方设置有接粉槽，所述接粉槽的底端固定设置在所述隔离减震台上。

可选的，所述溅射靶组包括若干溅射靶，相邻所述溅射靶交错倾斜设置，且所述溅射靶的溅射口对应所述传粉板。

可选的，所述真空抽吸组包括手动调节阀、第一预抽管道、第一预抽阀及机械泵，所述第一预抽管道设置于所述真空炉的腔室底端的一侧且与所述真空炉的腔室相连通，所述手动调节阀设置于所述第一预抽管道上靠近所述真空炉的一端，所述第一预抽阀设置于所述第一预抽管道上并位于远离所述真空炉的一端，所述第一预抽管道的末端与所述机械泵相连接；所述机械泵与所述控制中心电连接。

可选的，所述真空抽吸组还包括第二预抽阀及第二预抽管道，所述第二预抽管道设置于所述真空炉的腔室底端并与所述真空炉的腔室相连通，所述第二预抽管道与所述第一预抽管道并排设置，所述第二预抽阀设置于所述第二预抽管道上，所述第二预抽管道的末端与所述第一预抽管道的末端连通后与所述机械泵相连接。

可选的，所述第一预抽管道的管径小于所述第二预抽管道的管径。

可选的，所述真空抽吸组还包括前级阀、分子泵及主阀，所述分子泵设置于所述真空炉的腔室的底端中部并与所述真空炉的腔室相连通，所述主阀设置于所述分子泵上靠近所述真空炉的一端，所述分子泵与所述机械泵相连接，所述前级阀设置在所述机械泵与所述分子泵相连接的管道上；所述分子泵与所述控制中心电连接。

本发明相对于现有技术取得了以下技术效果：

本发明镀膜机的直线给料粉体镀膜系统集除气、撒粉、传粉于一体，通过真空加热除湿除气克服粉体团聚、真空吸引等问题，两级漏斗形成的流动排气比静态排气更有利于排除粉体存储堆积之间杂气，散粉漏斗振动撒粉使粉体流速控制可调范围更广，同时是多面体结构粉体颗粒之间的机械互锁现象。直线导轨振动送粉，振动频率和振幅可调，送粉板角度可调，也可根据撒粉流速联合调整，使粉体镀膜整体包裹性更好。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明镀膜机的整体结构示意图；

图2为图1的左视图；

图3为本发明镀膜机的生产过程中的应用图一；

图4为本发明镀膜机的生产过程中的应用图二；

其中，1为真空炉；2加热系统；3两级漏斗；4撒粉漏斗；5振动输送器；6传粉板；7隔离减震台；8接粉槽；9溅射靶组；10第一预抽管道；11第一预抽阀；12第二预抽管道；13第二预抽阀；14机械泵；15前级阀；16分子泵；17主阀；18手动调节阀；19单独振源。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

本发明的目的是提供一种镀膜机，以解决上述现有技术存在的问题，该镀膜机用于真空粉体镀膜，能够有效的避免抽真空时引起的粉末飞起，且可根据粉体颗粒的大小进行振动频率等的调整，改善粉体流动性，从而使得该镀膜机粉体涂覆效率高，漏粉率低，整体包裹性好，并且工作效率高。

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。

请参考图1-4，其中，图1为本发明镀膜机的整体结构示意图；图2为图1的左视图；图3为本发明镀膜机的生产过程中的应用图一；图4为本发明镀膜机的生产过程中的应用图二。

实施例一

如图1-4所示，本实施例提供一种镀膜机，包括装料机构、真空炉1、传动输送机构、溅射靶组9、真空抽吸组及控制中心，装料机构设置于真空炉1顶端靠近边缘处，装料机构的底部与真空炉1相连通；溅射靶组9位于真空炉1顶端且溅射靶组9的一侧与装料机构相邻，溅射靶组9的另一侧靠近真空炉1顶端的另一边缘处；传动输送机构设置于真空炉1内且与溅射靶组9相对应，传动输送机构的底端与真空炉1的底部内侧可拆卸的连接；真空抽吸组位于真空炉1的外侧并通过管道与真空炉1相通；装料机构内侧壁上设置有一加热系统2；传动输送机构、溅射靶组9、真空抽吸组及加热系统2均与控制中心电连接。

本实施例中的镀膜机用于粉体镀膜，首先装料，由装料机构进行装料及撒粉，真空抽吸组进行抽真空，加热系统2对粉体进行预加热处理，以排出粉体中的气体，对粉体进行前处理后，粉体撒落到传动输送机构进行粉体传输，在传输的过程中溅射靶组9对粉体进行镀膜进行粉体镀膜，最后流动镀膜的粉体流入接粉槽8中。

实施例二

如图1-4所示，本实施例提供一种镀膜机，在实施例一的基础上，本实施例中的镀膜机还具有以下特点：

装料机构包括有两级漏斗3及撒粉漏斗4，两级漏斗3包括第一漏斗与第二漏斗，第一漏斗位于第二漏斗的顶端，且第一漏斗与第二漏斗之间间隔有空隙，第一漏斗与第二漏斗的底端都设置有挡板，第一漏斗与第二漏斗通过螺杆焊接固定，螺杆固定在装料机构的内侧壁上；撒粉漏斗4位于两级漏斗3的底部，撒粉漏斗4通过螺杆与两级漏斗3固定连接，撒粉漏斗4的底端位于装料机构与真空炉1的连通处，撒粉漏斗4是一普通漏斗，不过漏斗孔径比较细，可以准备几个不同直径和斜率的漏斗，根据粉体粒径、装粉量选择合适漏孔直径和漏斗斜率。

装料机构的顶部设置有一观察窗，装料机构的外壁上固定设置有一单独振源19，单独振源19中的振动棒伸入装料机构内并与撒粉漏斗4的相抵接，第一漏斗与第二漏斗得外壁也设置有与之相抵接的振动源。

传动输送机构包括振动输送器5、传粉板6及隔离减震台7，隔离减震台7可拆卸的设置于真空炉1的腔室底部，振动输送器5通过螺栓固定在隔离减震台7的顶端，振动输送器5顶端固定传粉板6；振动输送器5、传粉板6及隔离减震台7为一体式设置，振动输送器5与控制中心电连接；振动输送器5与真空炉1非刚性连接会导致振动器自己位移，与真空炉1刚性连接会将振动传至真空炉1，损耗振能同时不利于真空密封，要做好隔离减震，在振动输送器5与真空室间加一重物支撑座保证振动时该支撑座不位移，而重物支撑座与真空炉1之间采用橡胶等柔性材料减震，如此便将振动与真空室隔离开。

位于传粉板6的末端的下方设置有接粉槽8，接粉槽8的底端固定设置在隔离减震台7上。

溅射靶组9包括若干溅射靶，相邻溅射靶交错倾斜设置，且溅射靶的溅射口对应传粉板6；溅射靶组9中的溅射靶为磁控靶，靶接中频电源阴极，阳极接腔室，磁控溅射镀膜，其原理是：腔室通氩气，形成一定工作气压，打开中频电源，电子在电场的作用下，在飞向基片过程中与氩原子发生碰撞，使其电离产生出Ar正离子和新的电子；新电子飞向基片，Ar离子在电场作用下加速飞向阴极靶，并以高能量轰击靶表面，使靶材发生溅射。在溅射粒子中，中性的靶原子或分子沉积在基片上形成薄膜。

真空抽吸组包括手动调节阀18、第一预抽管道10、第一预抽阀11及机械泵14，第一预抽管道10设置于真空炉1的腔室底端的一侧且与真空炉1的腔室相连通，手动调节阀18设置于第一预抽管道10上靠近真空炉1的一端，第一预抽阀11设置于第一预抽管道10上并位于远离真空炉1的一端，第一预抽管道10的末端与机械泵14相连接；机械泵14与控制中心电连接。

真空抽吸组还包括第二预抽阀13及第二预抽管道12，第二预抽管道12设置于真空炉1的腔室底端并与真空炉1的腔室相连通，第二预抽管道12与第一预抽管道10并排设置，第二预抽阀13设置于第二预抽管道12上，第二预抽管道12的末端与第一预抽管道10的末端连通后与机械泵14相连接。

第一预抽管道10的管径小于第二预抽管道12的管径。

真空抽吸组还包括前级阀15、分子泵16及主阀17，分子泵16设置于真空炉1的腔室的底端中部并与真空炉1的腔室相连通，主阀17设置于分子泵16上靠近真空炉1的一端，分子泵16与机械泵14相连接，前级阀15设置在机械泵14与分子泵16相连接的管道上；分子泵16与控制中心电连接。

抽真空时，打开机械泵14，打开第一预抽阀11，通过第一预抽管道10进行初抽空，待抽到100帕以下，关闭第一预抽阀11，打开第二预抽阀13，通过第二预抽管道12抽空，待抽到5帕以下，关闭第二预抽阀13，打开前级阀15，开分子泵16，开主阀17，进行精抽空，待抽至0.02帕，打开加热系统2加热，使两级漏斗3均处于加热环境内，辐射加热漏斗传递至粉体，待真空优于10^-3Pa时，打开挡板撒粉至第二漏斗，再进行撒粉。

本发明中的镀膜机的具体工作过程如下：

首先装料，由装料机构中的第一漏斗底端的档板进行存粉，然后抽真空，打开机械泵14，打开第一预抽阀11，通过第一预抽管道10进行初抽空，待抽到100帕以下，关闭第一预抽阀11，打开第二预抽阀13，通过第二预抽管道12抽空，待抽到5帕以下，关闭第二预抽阀13，打开前级阀15，开分子泵16，开主阀17，进行精抽空，待抽至0.02帕，打开加热系统2加热，使两级漏斗3均处于加热环境内，辐射加热漏斗传递至粉体，待真空优于10^-3Pa时，打开挡板撒粉至第二漏斗，装料机构中第二漏斗底端的挡板继续存粉；在此撒落转移过程中，粉体完成流动状态下的分离排气。当粉体前处理完毕后，由两级漏斗3中的第二漏斗将粉体撒向撒粉漏斗4，撒粉漏斗4是一普通漏斗，不过漏斗孔径比较细，可以准备几个不同直径和斜率的漏斗，根据粉体粒径、装粉量选择合适漏孔直径和漏斗斜率，在撒粉漏斗4上布置单独振源19，在腔室外连接振源控制器，通过在控制器上设置不同参数，可调式振源频率和参数，布置单独振源19，可通过调试振幅和频率，来控制粉体流速。溅射靶组9中的溅射靶为磁控靶，调节通氩气量和腔压、靶电流、电压和功率，选择合适参数，开靶，调整合适镀膜参数，进入撒粉、传粉步骤。传粉步骤粉体以合适流速撒入传粉板6，打开传粉板6振动输送器5，调整振幅和频率，使粉体在轨道上以散开、铺平、连续滚动状态流动经过溅射靶组9，进行粉体镀膜，最后流动镀膜的粉体流入接粉槽8中。

本发明中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处。综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。

Claims (10)

1.一种镀膜机，其特征在于：包括装料机构、真空炉、传动输送机构、溅射靶组、真空抽吸组及控制中心，所述装料机构设置于所述真空炉顶端靠近边缘处，所述装料机构的底部与所述真空炉相连通；所述溅射靶组位于所述真空炉顶端且所述溅射靶组的一侧与所述装料机构相邻，所述溅射靶组的另一侧靠近所述真空炉顶端的另一边缘处；所述传动输送机构设置于所述真空炉内且与所述溅射靶组相对应，所述传动输送机构的底端与所述真空炉的底部内侧可拆卸的连接；所述真空抽吸组位于所述真空炉的外侧并通过管道与所述真空炉相通；所述装料机构内侧壁上设置有一加热系统；所述传动输送机构、溅射靶组、真空抽吸组及加热系统均与所述控制中心电连接。

2.根据权利要求1所述的一种镀膜机，其特征在于：所述装料机构包括有两级漏斗及撒粉漏斗，所述两级漏斗包括第一漏斗与第二漏斗，所述第一漏斗位于所述第二漏斗的顶端，且所述第一漏斗与所述第二漏斗之间间隔有空隙，所述第一漏斗与所述第二漏斗通过螺杆焊接固定，所述螺杆固定在所述装料机构的内侧壁上；所述撒粉漏斗位于所述两级漏斗的底部，所述撒粉漏斗通过螺杆与所述两级漏斗固定连接，所述撒粉漏斗的底端位于所述装料机构与所述真空炉的连通处。

3.根据权利要求2所述的一种镀膜机，其特征在于：所述装料机构的顶部设置有一观察窗，所述装料机构的外壁上固定设置有一单独振源，所述单独振源中的振动棒伸入所述装料机构内并与所述撒粉漏斗的相抵接。

4.根据权利要求1所述的一种镀膜机，其特征在于：所述传动输送机构包括振动输送器、传粉板及隔离减震台，所述隔离减震台可拆卸的设置于所述真空炉的腔室底部，所述振动输送器通过螺栓固定在所述隔离减震台的顶端，所述振动输送器顶端固定所述传粉板；所述振动输送器、传粉板及隔离减震台为一体式设置，所述振动输送器与所述控制中心电连接。

5.根据权利要求4所述的一种镀膜机，其特征在于：位于所述传粉板的末端的下方设置有接粉槽，所述接粉槽的底端固定设置在所述隔离减震台上。

6.根据权利要求4所述的一种镀膜机，其特征在于：所述溅射靶组包括若干溅射靶，相邻所述溅射靶交错倾斜设置，且所述溅射靶的溅射口对应所述传粉板。

7.根据权利要求1所述的一种镀膜机，其特征在于：所述真空抽吸组包括手动调节阀、第一预抽管道、第一预抽阀及机械泵，所述第一预抽管道设置于所述真空炉的腔室底端的一侧且与所述真空炉的腔室相连通，所述手动调节阀设置于所述第一预抽管道上靠近所述真空炉的一端，所述第一预抽阀设置于所述第一预抽管道上并位于远离所述真空炉的一端，所述第一预抽管道的末端与所述机械泵相连接；所述机械泵与所述控制中心电连接。

8.根据权利要求7所述的一种镀膜机，其特征在于：所述真空抽吸组还包括第二预抽阀及第二预抽管道，所述第二预抽管道设置于所述真空炉的腔室底端并与所述真空炉的腔室相连通，所述第二预抽管道与所述第一预抽管道并排设置，所述第二预抽阀设置于所述第二预抽管道上，所述第二预抽管道的末端与所述第一预抽管道的末端连通后与所述机械泵相连接。

9.根据权利要求8所述的一种镀膜机，其特征在于：所述第一预抽管道的管径小于所述第二预抽管道的管径。

10.根据权利要求9所述的一种镀膜机，其特征在于：所述真空抽吸组还包括前级阀、分子泵及主阀，所述分子泵设置于所述真空炉的腔室的底端中部并与所述真空炉的腔室相连通，所述主阀设置于所述分子泵上靠近所述真空炉的一端，所述分子泵与所述机械泵相连接，所述前级阀设置在所述机械泵与所述分子泵相连接的管道上；所述分子泵与所述控制中心电连接。