JP2000356472A - 連続真空乾燥炉 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 所定の処理量を確保しつつ、設置面積がコン
パクトな連続真空乾燥炉を提供する。 【解決手段】 入口パージ室Ｐ１及び出口パージ室Ｐ
２、並びに、上加熱室Ｈ１及び下加熱室Ｈ２を、それぞ
れ上下２段に構成し、上加熱室Ｈ１から搬出されたワー
ク３を下加熱室Ｈ２へ搬送する下降室Ｈｄを設けること
により、立体的に折り返しで連続した炉を構成する。ま
た、ドライルーム２から供給されたワーク３を入口パー
ジ室Ｐ１に搬入するコンベア５を昇降可能として、出口
パージ室Ｐ２から搬出されたワーク３を上昇させて、ド
ライルーム２に戻す。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、有機溶剤を含んだ
ワークの真空乾燥を行うための連続真空乾燥炉に関す
る。

【０００２】

【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】例え
ば、電池の製造過程では、有機溶剤を含んだワークの真
空乾燥を行う必要がある。従来、このような真空乾燥
は、空調作業室内にバッチ式の真空オーブンを多数設置
して行っていた。しかし、この場合、空調作業室内の作
業スペースが狭くなり、生産量が増大すると、作業が困
難になる。一方、空調作業室外に連続炉を設置してもよ
いが、その場合、処理量を多くしようとすると炉長が長
くなり、設置面積が増大するという問題点がある。

【０００３】上記のような従来の問題点に鑑み、本発明
は、所定の処理量を確保しつつ、設置面積がコンパクト
な連続真空乾燥炉を提供することを目的とする。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明は、パージ室及び
加熱室がそれぞれ構造上２段に構成された連続真空乾燥
炉であって、一方の段を甲段、他方の段を乙段とすると
き、甲段に配置され、被処理物を受け入れると、真空排
気して当該被処理物を真空乾燥させた後搬出する入口パ
ージ室と、甲段に配置され、前記入口パージ室から搬出
された被処理物を搬送しつつ真空乾燥させる第１加熱室
と、前記第１加熱室から搬出された被処理物を甲段から
乙段に移動させる段移動室と、乙段に配置され、前記段
移動室から搬出された被処理物を搬送しつつ真空乾燥さ
せる第２加熱室と、乙段に配置され、前記第２加熱室か
ら搬出された被処理物を受け入れて、気圧を回復させた
後搬出する出口パージ室と、空調作業室に隣接して設け
られ、この空調作業室から供給される被処理物を前記入
口パージ室に搬入するとともに、前記出口パージ室から
搬出された被処理物を前記空調作業室へ搬出する搬入・
搬出手段とを備えたものである（請求項１）。このよう
に構成された連続真空乾燥炉では、入口パージ室及び出
口パージ室、並びに、第１加熱室及び第２加熱室がそれ
ぞれ２段に構成され、段移動室により第１加熱室と第２
加熱室とが連絡される。従って、真空乾燥処理が甲乙２
段の折り返し搬送の間に連続的に行われ、被処理物は空
調作業室側に戻って来る。

【０００５】また、上記連続真空乾燥炉は入口パージ
室、出口パージ室及び搬入・搬出手段を、それら以外の
部分と気密に遮蔽する間仕切り構造を有するものであっ
てもよい（請求項２）。この場合、炉体のうち、入口パ
ージ室、出口パージ室及び搬入・搬出手段を含む部分の
みが空調作業室と同レベルのドライ状態に維持される。
これにより、炉体のそれ以外の部分は、空調作業室と同
レベルのドライ状態に扱う必要がなくなる。

【０００６】また、上記連続真空乾燥炉（請求項１）に
おいて、入口パージ室は、近赤外線ランプからなるヒー
タを備えていてもよい（請求項３）。この場合、近赤外
線ランプの特性を生かして被処理物を急速に昇温させる
ことが可能となる。従って、当該ヒータを設ける入口パ
ージ室が占める炉長を短縮することができる。

【０００７】また、本発明の連続真空乾燥炉は、往路、
及び、これに沿った復路を有する折り返し搬送路上で被
処理物の真空乾燥を行う真空乾燥処理手段と、前記真空
乾燥処理手段への被処理物の搬入、及び、前記真空乾燥
処理手段からの被処理物の搬出を行う搬入・搬出手段と
を備えたものであってもよい（請求項４）。この場合、
真空乾燥処理は、折り返し搬送路で連続的に行われる。
従って、上下方向に折り返し搬送路を設けた場合には、
処理量を確保しつつ、設置面積をコンパクトにすること
ができる。折り返し搬送路を上下方向に複数設けた場合
には、設置面積をさらにコンパクトにすることも可能で
ある。また、搬入・搬出手段により、所定の設備と真空
乾燥処理手段との間での、被処理物の搬入及び搬出が行
われる。なお、上下方向と水平方向との折り返しを併用
して３次元的な折り返し搬送路を設けた場合にも、設置
面積を比較的コンパクトにして充分な炉長を確保するこ
とが可能である。

【０００８】

【発明の実施の形態】図１は、本発明の一実施形態によ
る連続真空乾燥炉の側面図である。図において、連続真
空乾燥炉１は空調作業室２に隣接して配置されており、
上下２段で、立体的に折り返す搬送構造である。具体的
には、当該連続真空乾燥炉１は、上段に配置され、ワー
ク（被処理物）３を受け入れると、真空排気して当該ワ
ーク３を真空乾燥させた後搬出する入口パージ室Ｐ１
と、上段に配置され、入口パージ室Ｐ１から搬出された
ワーク３を搬送しつつ真空乾燥させる上加熱室Ｈ１と、
上加熱室Ｈ１から搬出されたワーク３を下段に下降させ
る段移動室としての下降室Ｈｄと、上加熱室Ｈ１の下段
に配置され、下降室Ｈｄから搬出されたワーク３を搬送
しつつ真空乾燥させる下加熱室Ｈ２と、入口パージ室Ｐ
１の下段に配置され、下加熱室Ｈ２から搬出されたワー
ク３を受け入れて、気圧を回復させた後搬出する出口パ
ージ室Ｐ２と、空調作業室２に隣接して設けられ、この
空調作業室２の出口（扉４）から供給されるワーク３を
入口パージ室Ｐ１に搬入するとともに、出口パージ室Ｐ
２から搬出されたワーク３を前記出口へ搬出する昇降可
能な搬入・搬出手段（５，２４）とを主要な構成部分と
して構成されている。

【０００９】上記入口パージ室Ｐ１は、入口扉６、コン
ベア７、ワーク３の上下に複数本配置された近赤外線ラ
ンプ８、上加熱室Ｈ１との仕切部分に設けられた上中間
扉９、及び、上下動可能な動作部を有する入口ストッパ
１０を備えている。近赤外線ランプ８はワーク３の予熱
用ヒータとして設けられたものであり、急速な昇温が可
能である（例えば、５０℃から１００℃まで７０秒以
内）。上記上加熱室Ｈ１は、ワーク３の上下に多数配置
されたヒータＨＴ、コンベア１３、タクト搬送を行うた
めの複数（７個）の上ストッパ１１、及び、上下動可能
な動作部を有する上中後部ストッパ１２を備えている。
上記ヒータＨＴは、小電力のシーズヒータであり、ワー
ク３の搬送方向（図の右方向）と直交する水平方向に平
行に、等間隔で密に配置されている。これにより、ワー
ク３に対する輻射熱を均等にしている。上加熱室Ｈ１
は、搬送方向に３つのゾーンＨ１１、Ｈ１２及びＨ１３
に分かれていて、それぞれ独立して温度制御されてい
る。なお、最初のゾーンＨ１１におけるヒータＨＴの
み、省エネルギー効果の高い遠赤外線シーズヒータが採
用されている。

【００１０】上記下降室Ｈｄは、上加熱室Ｈ１との仕切
部分に設けられた後部上扉１４、下加熱室Ｈ２との仕切
部分に設けられた後部下扉１７、ワーク３を下降させる
下降リフタ１６、及び、前述のものと同様のヒータＨＴ
が、ワーク３の両側面において、ワーク３の搬送方向
（図の下方向）と直交する水平幅方向（紙面に垂直な方
向）と平行に、等間隔で縦配置されている。これによ
り、ワーク３に対する輻射熱を均等にしている。また、
下降室Ｈｄに隣接して、アーム１５ａをスライド及び回
転動作させるプーラ１５、及び、アーム１８ａをスライ
ド動作させるプッシャ１８が設けられている。

【００１１】一方、下加熱室Ｈ２は、搬送方向が図の左
方向であり、上加熱室Ｈ１と同様にワーク３の上下に多
数配置されたヒータＨＴ（シーズヒータ）、コンベア１
９、及び、タクト搬送を行うための複数（７個）の下ス
トッパ２１を備えている。下加熱室Ｈ２も、搬送方向に
３つのゾーンＨ２１、Ｈ２２及びＨ２３に分かれてい
て、それぞれ独立して温度制御されている。上記出口パ
ージ室Ｐ２は、下加熱室Ｈ２との仕切部分に設けられた
下中間扉２０、コンベア２２、及び、出口扉２３を備え
ている。

【００１２】上記搬入・搬出手段は、入口パージ室Ｐ１
と空調作業室２との間に設けられたコンベア５、及び、
コンベア５を入口パージ室Ｐ１と出口パージ室Ｐ２との
間で昇降させるエレベータ２４を備えている。入口パー
ジ室Ｐ１、出口パージ室Ｐ２及び上記搬入・搬出手段を
収納する炉体１ａと、上加熱室Ｈ１及び下加熱室Ｈ２を
収納する炉体１ｂとの間には、隔壁２５が設けられてお
り、双方は互いに気密に遮蔽されている。炉体１ａ内に
は空調作業室２の空気が導入され、この空気が入口パー
ジ室Ｐ１及び出口パージ室Ｐ２にも導入される。従っ
て、炉体１ａの部分は空調作業室２と同レベルのドライ
状態に維持される。このような構成によれば、空調作業
室２から炉体１ａまでを空調作業室用の建物の中に収
め、隔壁２５より右側の部分を建物の外に露出させるこ
とができるので、連続真空乾燥炉１の存在により空調作
業室２のスペースが圧縮されることを最小限度にとどめ
ることができる。

【００１３】上記各コンベア５、７、１３及び１９とし
ては、熱の輻射を遮る量が少ないチェーンコンベアが採
用されている。また、タクト搬送を迅速に行うため、上
加熱室Ｈ１のコンベア１３及び下加熱室Ｈ２のコンベア
１９には、倍速チェーンが採用されている。

【００１４】図２は、上記連続真空乾燥炉１を操作する
ために、空調作業室２内に設置されたタッチパネル５０
を示す図であり、上記入口パージ室Ｐ１、上加熱室Ｈ
１、下降室Ｈｄ、下加熱室Ｈ２及び出口パージ室Ｐ２に
対する真空排気系統等の接続を示している。図におい
て、入口パージ室Ｐ１には、入口真空弁５１、コールド
トラップ（冷凍機）６６、ドライポンプ（真空ポンプ）
６４、Ｎ_２弁６３、入口リーク弁５３及び入口復圧弁５
２が図示のように接続され、入口パージ室Ｐ１の真空排
気及び復圧が可能になっている。また、出口パージ室Ｐ
２には、出口真空弁６０、ドライポンプ（真空ポンプ）
６４、Ｎ_２弁６３、出口リーク弁６２及び出口復圧弁６
１が図示のように接続され、出口パージ室Ｐ２の真空排
気及び復圧が可能になっている。入口パージ室Ｐ１及び
出口パージ室Ｐ２に用いられている各ドライポンプ６４
は、排気速度が充分に大きいタイプのものであり、各パ
ージ室Ｐ１,Ｐ２の内圧を、大気圧から１Ｔｏｒｒまで
２０秒以内に下げる能力を有している。

【００１５】上加熱室Ｈ１には、上加熱室真空弁５４、
コールドトラップ（冷凍機）６６、メカニカルブースタ
ポンプ（図２ではメカブと略記）６５、ドライポンプ
（真空ポンプ）６４及び上加熱室リーク弁５５が図示の
ように接続され、上加熱室Ｈ１の真空排気が可能になっ
ている。同様に、下降室Ｈｄには、下降室真空弁５６、
コールドトラップ６６、メカニカルブースタポンプ６
５、ドライポンプ６４及び下降室リーク弁５７が図示の
ように接続され、下降室Ｈｄの真空排気が可能になって
いる。下加熱室Ｈ２には、下加熱室真空弁５８、コール
ドトラップ６６、ドライポンプ６４及び下加熱室リーク
弁５９が図示のように接続され、下加熱室Ｈ２の真空排
気が可能になっている。

【００１６】上記コールドトラップ６６により、ワーク
３から蒸発した有機溶剤等を凝縮させて回収することが
できる。また、液体窒素が供給されるドライポンプ６４
においても、残留する有機溶剤を凝縮させてこれを回収
し、大気中への拡散を防止することができる。

【００１７】次に、上記のように構成された連続真空乾
燥炉１の動作について説明する。図２を参照した図１に
おいて、扉４が開かれ、空調作業室２からワーク３がコ
ンベア５上に載せられる。次に、扉４が閉鎖され、タッ
チパネル５０から入口復圧弁５２が開弁される。これに
より、真空に保たれていた入口パージ室Ｐ１内の気圧が
大気圧に回復する。その後、入口扉６が開かれる。

【００１８】次に、コンベア５及び７が運転され、ワー
ク３は入口パージ室Ｐ１に搬入される。搬入後、入口扉
６及び入口復圧弁５２が閉じられ、コンベア５及び７が
停止される。なお、ドライポンプ６４、メカニカルブー
スタポンプ６５及びコールドトラップ６６は予め全て運
転状態にあり、上加熱室真空弁５４、下降室真空弁５６
及び下加熱室真空弁５８は常時開かれている。従って、
上加熱室Ｈ１、下降室Ｈｄ及び下加熱室Ｈ２は、真空排
気された状態である。続いて、入口真空弁５１が開かれ
ることにより、入口パージ室Ｐ１の真空排気が開始され
る。また、これと同時に近赤外線ランプ８が点灯され、
ワーク３が所定時間加熱される。

【００１９】入口パージ室Ｐ１の気圧が１Ｔｏｒｒにま
で低下したことが圧力センサ（図示せず）によって確認
され、かつ、設定時間の真空排気が完了したら、上中間
扉９が開かれる。また、入口ストッパ１０及び上ストッ
パ１１が下げられる。このとき、上中後部ストッパ１２
は上げた状態とされている。この状態でコンベア７及び
１３が運転され、ワーク３が入口パージ室Ｐ１から上加
熱室Ｈ１へ搬送される。コンベア１３が運転開始されて
からすぐにストッパ１１が上げられ、ワーク３は１タク
ト分だけ進む。上加熱室Ｈ１の１タクト目にワーク３が
来たことが光電センサ（図示せず）により確認された
ら、コンベア７及び１３が停止される。コンベア停止と
ともに、上中間扉９が閉鎖される。その後、入口真空弁
５１が閉じられ、入口復圧弁５２が開かれる。これによ
り、入口パージ室Ｐ１内の気圧が回復する。なお、入口
ストッパ１０は上げた状態とされる。

【００２０】一方、上加熱室Ｈ１の８タクト目まで到達
したワーク３に対しては、後部上扉１４が開かれ、スト
ッパ１２が下げられる。次に、プーラ１５がアーム１５
ａを前進させる。プーラ１５は、アーム１５ａを前進端
まで進めると、これを回転させて先端の爪をワーク３の
トレイ（図示せず）に引っかけるとともに、後退してワ
ーク３を下降室Ｈｄに引き込む。ワーク３を引き込んだ
ら、プーラ１５は、アーム１５ａを回転させて、先端の
爪を解除位置に戻す。また、扉１４が閉鎖され、ストッ
パ１２が上昇する。次に、下降リフタ１６が１ピッチ分
下げられる。

【００２１】また、下降リフタ１６の最下位まで来たワ
ーク３に対しては、後部下扉１７が開かれ、プッシャ１
８のアーム１８ａが前進して、ワーク３は下加熱室Ｈ２
のコンベア１９上に押し出される。プッシャ１８のアー
ム１８ａが後退した後、後部下扉１７が閉鎖される。そ
の後、ワーク３は下加熱室Ｈ２において、１タクト搬送
され、加熱される。

【００２２】下加熱室Ｈ２の８タクト目まで来たワーク
３は、出口パージ室Ｐ２に搬出される。このときの出口
パージ室Ｐ２は、予め、出口真空弁６０が開かれること
によって真空排気されている。出口パージ室Ｐ２及び下
加熱室Ｈ２が共に真空状態であることが圧力センサ（図
示せず）により確認されたら、下中間扉２０が開かれ、
下ストッパ２１が下げられる。続いてコンベア１９及び
２２が運転されるが、運転開始後すぐに下ストッパ２１
が上げられ、ワーク３は１タクト進む。出口パージ室Ｐ
２の光電センサ（図示せず）がワーク３を検出したら、
コンベア１９及び２２が停止され、下中間扉２０が閉鎖
される。次に、出口真空弁６０が閉じられ、出口復圧弁
６１が開かれることにより、出口パージ室Ｐ２内の気圧
が回復する。出口パージ室Ｐ２の内部が大気圧に復圧し
たことが圧力センサ（図示せず）により確認されたら、
出口扉２３が開かれる。

【００２３】一方、エレベータ２４は下降運転され、コ
ンベア５が点線で図示する位置まで下降する。そして、
コンベア５が逆回転方向に運転されるとともに、コンベ
ア２２も運転される。ワーク３が出口パージ室Ｐ２から
搬出され、光電センサ（図示せず）によって、コンベア
５上の所定位置でワーク３が検出されたら、コンベア５
及び２２は停止される。続いて、エレベータ２４が上昇
運転され、コンベア５が実線で図示する位置まで上昇す
る。そして、扉４が開かれ、ワーク３が空調作業室２内
に取り出される。一方、出口パージ室Ｐ２側では出口扉
２３が閉鎖され、出口復圧弁６１が閉じられるととも
に、出口真空弁６０が開かれることにより、再び真空排
気される。

【００２４】以上の各動作は、１サイクル（例えば６０
秒）内にすべて行われ、この１サイクル動作が繰り返さ
れる。なお、１サイクル（タクトタイム）を短縮するこ
とにより、処理能力を容易に増大させることができる。
また、上記動作は１タクト送りであるが、２タクト送り
で動作させてもよい。

【００２５】上記実施形態においては、ワーク３は、上
段の入口パージ室Ｐ１から入って下段の出口パージ室Ｐ
２から出てくる搬送形態であるが、逆の搬送形態であっ
てもよい。すなわち、入口パージ室Ｐ１を下段に、出口
パージ室Ｐ２を上段にそれぞれ設け、搬送方向を上記実
施形態と逆にしてもよい。この場合、下降室Ｈｄは上昇
室となることはいうまでもない。また、加熱室及び段移
動室を上下方向に複数設けて、搬送路の最初と最後にの
みそれぞれ入口パージ室及び出口パージ室を設けた場合
には、設置面積をさらにコンパクトにすることも可能で
ある。さらに、上下方向と水平方向との折り返しを併用
して３次元的な折り返し搬送路を設けた場合にも、設置
面積を比較的コンパクトにして充分な炉長を確保するこ
とが可能である。要するに、往路、及び、これに沿った
復路を有する折り返し搬送路上でワーク３の真空乾燥を
行う真空乾燥処理手段（例えば、搬送路始端の入口パー
ジ室（Ｐ１）、所定数の加熱室（Ｈ１，Ｈ２）、加熱室
同士を連絡する上下左右への移動室（Ｈｄ）、及び、搬
送路終端の出口パージ室（Ｐ２））と、空調作業室２等
の所定の設備と真空乾燥処理手段との間で、ワーク３を
搬入・搬出する搬入・搬出手段（５，２４）とを備えた
構成であればよい。なお、水平方向にのみ折り返しの搬
送路を設けた場合は、設置面積は増えるが、高さ方向に
コンパクトな構成とすることができる。

【００２６】

【発明の効果】以上のように構成された本発明は以下の
効果を奏する。請求項１の連続真空乾燥炉によれば、入
口パージ室及び出口パージ室、並びに、第１加熱室及び
第２加熱室がそれぞれ２段に構成され、段移動室により
第１加熱室と第２加熱室とが連絡されるので、真空乾燥
処理は、甲乙２段の折り返し搬送の間に連続的に行われ
る。従って、所定の炉長を立体的に構成し、処理量を確
保しつつ、設置面積をコンパクトにすることができる。
また、折り返し搬送により戻って来た被処理物は、搬入
・搬出手段により、空調作業室に回収させることができ
るので、便利である。

【００２７】請求項２の連続真空乾燥炉によれば、入口
パージ室、出口パージ室及び搬入・搬出手段を含む炉体
部分以外の炉体部分については、空調作業室と同レベル
のドライ状態に扱う必要がなくなるので、空調作業室の
建物外に設けることができる。従って、連続真空乾燥炉
の存在により空調作業室のスペースが圧縮されることを
最小限度にとどめることができる。

【００２８】請求項３の連続真空乾燥炉によれば、近赤
外線ランプの特性を生かして被処理物を急速に昇温させ
ることが可能となるので、入口パージ室が占める炉長を
短縮することができる。従って、設置面積をさらにコン
パクトにすることができる。

【００２９】請求項４の連続真空乾燥炉によれば、真空
乾燥処理は、折り返し搬送路で連続的に行われる。従っ
て、上下方向に折り返し搬送路を設けた場合には、処理
量を確保しつつ、設置面積をコンパクトにすることがで
きる。折り返し搬送路を上下方向に複数設けた場合に
は、設置面積をさらにコンパクトにすることができる。
また、折り返し搬送により戻って来た被処理物は、搬入
・搬出手段により、被処理物を供給した所定の設備に回
収させることができるので、便利である。なお、上下方
向と水平方向との折り返しを併用して３次元的な折り返
し搬送路を設けた場合にも、設置面積を比較的コンパク
トにして充分な炉長を確保することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の連続真空乾燥炉の構成を示す側面図で
ある。

【図２】上記連続真空乾燥炉を操作するために、空調作
業室内に設置されるタッチパネルを示す図であり、真空
排気系統等の接続を示す。

【符号の説明】

１ 連続真空乾燥炉 ２ 空調作業室 ３ ワーク ４ 扉 ５ コンベア ２４ エレベータ Ｈ１ 上加熱室 Ｈ２ 下加熱室 Ｈｄ 下降室 Ｐ１ 入口パージ室 Ｐ２ 出口パージ室

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山口 和嘉 奈良県天理市嘉幡町229番地 光洋リンド バーグ株式会社内 (72)発明者 柴田 康雄 奈良県天理市嘉幡町229番地 光洋リンド バーグ株式会社内 (72)発明者 市村 英男 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 荒金 淳 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 Ｆターム(参考） 4K050 AA00 AA05 BA16 CA07 CA09 CA12 CC02 CC03 CC10 CD22 CF03 CF04 CF06 CF14 CF16 CG08 DA07 EA07 4K063 AA09 AA16 BA12 CA04 DA19 DA20 DA23 DA31 DA33

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】パージ室及び加熱室がそれぞれ構造上２段
   に構成された連続真空乾燥炉であって、一方の段を甲
   段、他方の段を乙段とするとき、 甲段に配置され、被処理物を受け入れると、真空排気し
   て当該被処理物を真空乾燥させた後搬出する入口パージ
   室と、 甲段に配置され、前記入口パージ室から搬出された被処
   理物を搬送しつつ真空乾燥させる第１加熱室と、 前記第１加熱室から搬出された被処理物を甲段から乙段
   に移動させる段移動室と、 乙段に配置され、前記段移動室から搬出された被処理物
   を搬送しつつ真空乾燥させる第２加熱室と、 乙段に配置され、前記第２加熱室から搬出された被処理
   物を受け入れて、気圧を回復させた後搬出する出口パー
   ジ室と、 空調作業室に隣接して設けられ、この空調作業室から供
   給される被処理物を前記入口パージ室に搬入するととも
   に、前記出口パージ室から搬出された被処理物を前記空
   調作業室へ搬出する搬入・搬出手段とを備えたことを特
   徴とする連続真空乾燥炉。
2. 【請求項２】前記連続真空乾燥炉は、前記入口パージ
   室、出口パージ室及び搬入・搬出手段を、それら以外の
   部分と気密に遮蔽する間仕切り構造を有することを特徴
   とする請求項１記載の連続真空乾燥炉。
3. 【請求項３】前記入口パージ室は、近赤外線ランプから
   なるヒータを備えていることを特徴とする請求項１記載
   の連続真空乾燥炉。
4. 【請求項４】往路、及び、これに沿った復路を有する折
   り返し搬送路上で被処理物の真空乾燥を行う真空乾燥処
   理手段と、 前記真空乾燥処理手段への被処理物の搬入、及び、前記
   真空乾燥処理手段からの被処理物の搬出を行う搬入・搬
   出手段とを備えたことを特徴とする連続真空乾燥炉。