KR20110047148A - 잉크젯 도포 장치 및 방법 - Google Patents

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KR20110047148A
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가부시키가이샤 히타치플랜트테크놀로지
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Abstract

본 발명의 과제는, 필름의 양 측변부의 컬 교정이 이루어진 상태에서, 이 필름에의 도포재의 도포를 행할 수 있도록 하여, 필름의 도포 품질을 높이는 것이다.
권출측 필름 롤(2)로부터 권출된 필름(1)은, 권취측 필름 롤(3)에 권취되어, 그 도포 대상 에어리어가 도포부(17)에서 흡착 테이블(10) 상에 위치하도록 반송된다. 도포 대상 에어리어가 흡착 테이블(10) 상에 위치하면, 필름(1)이 정지하여 흡착 테이블(10) 상에 적재되는 동시에, 그 길이 방향으로 텐션이 가해져 느슨함 등이 제거된다. 그러나 이에 의해, 도포 대상 에어리어의 양 측변부에 컬이 발생된다. 따라서, 도포 대상 에어리어가 흡착 테이블(10) 상에 적재되는 동시에, 흡착 테이블(10)의 양측에 설치된 컬 교정 바(13, 14)가 도포 대상 에어리어의 컬부로 이동하고, 이 부분을 흡착 테이블의 흡착면에 압박하여 컬 교정을 행한다.

Description

잉크젯 도포 장치 및 방법{INK JET APPLICATION APPARATUS AND METHOD}
본 발명은, 잉크젯 도포에 의한 가요성 재료의 제조에 사용하는 롤투롤(roll to roll) 방식의 잉크젯 도포 장치에 관한 것으로, 특히 비실리콘계의 반도체 재료(예를 들어, CIGS 박막)가 설치된 태양 전지 필름에 전극이나 절연막 등의 형성에 사용되는 잉크젯 도포 장치 및 방법에 관한 것이다.
종래, 프린트 장치의 일례로서, 프린트 매체를, 컬 제거와 폭 방향의 위치 정렬을 행하면서 도입하는 도입부와, 이 도입부에 인접하여 배치되고, 프린트 매체에 대향하여 배치되어 프린트 매체를 벨트에 의해 반송하는 반송부와, 프린트 매체에 대향하여 배치되고, 색의 종류 수만큼의 복수열의 라인 헤드를 갖는 프린트부와, 이 프린트부에서의 프린트 매체의 반송 방향의 하류측에 배치되어, 프린트 후의 프린트 매체를 건조시키는 건조부를 구비한 프린트 장치가 알려져 있다(예를 들어, 특허 문헌 1 참조).
이러한 프린트 장치에서는, 시트 형상의 프린트 매체[예를 들어, 롤 형상 혹은 상자에 수납된 직물(布帛)]를 복수의 롤러에 의해 컬을 제거하고, 반송 방향 중앙으로의 센터링이나 천의 결 교정, 양단부(직물의 양 에지)의 컬 시정이 행해진다.
이 경우, 복수의 롤러에 의해 직물에 장력이 가해져, 직물의 양 에지의 컬도 시정되는 것이지만, 장력의 방향은 구조상, 직물의 길이 방향이 커서, 직물의 길이 방향에 대해 직각 방향인 양 측변부의 컬에 대한 장력은 약간 작게 되어 있다.
또한, 이 컬 시정은 이 직물에 프린트하는 장소보다도 전방 위치가 되는 반입부에서 행해지는 것이며, 이 반입부를 통과한 후 프린트부에 이르기까지의 구간 및 프린트부의 구간에 있어서는, 직물의 양 측변부에서의 컬의 시정을 위한 장력이 일단 개방된 것에 가까운 상태로 되어 버린다.
[특허 문헌 1] 일본 특허 출원 공개 평9-239968호 공보
롤투롤 방식으로 권출되어 반송되는 필름 중에는, 그 표면에 반도체 재료가 증착되어 있는 부위와 그것이 증착되어 있지 않은 부위가 있고, 이로 인해 필름의 폭 방향의 양 측변부는 둥글게 된(컬된) 상태로 되어 있다. 이와 같이 롤로부터 권출된 필름을, 도포재량의 도포를 위해 흡착 테이블에서 흡착 유지할 때, 이와 같이 그 양 측변부에 컬이 있으면, 필름은 흡착 테이블에 평탄하게 흡착되기 어려워져, 컬이나 느슨함이 발생한다고 하는 문제가 있다. 이와 같이, 컬이나 느슨함이 발생하면, 도포용 잉크젯 등의 노즐 선단부면이 필름에 접촉하여, 노즐면이 손상될 우려가 있다.
본 발명의 목적은, 이러한 문제를 해소하여, 필름의 양 측변부의 컬이 시정된 상태에서, 이 필름에의 도포재의 도포를 행할 수 있고, 필름에의 도포 품질을 높일 수 있도록 한 잉크젯 도포 장치 및 방법을 제공하는 데 있다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 롤 형상의 필름을 권출하여 반송하는 상류측의 가이드 롤과, 권출된 필름을 흡착 유지하는 흡착 테이블과, 흡착 테이블에 흡착 유지된 필름 상에 액상의 도포재를 도포하는 도포 헤드와, 도포재가 도포된 필름을 반송하여 롤 형상으로 권취하는 하류측의 가이드 롤로 이루어지는 잉크젯 도포 장치이며, 필름의 흡착 테이블의 흡착면에 적재된 도포 대상 에어리어에서의 양 측변부를 흡착 테이블의 흡착면에 압박하여 흡착 테이블의 측변측으로 넓히는 컬 교정 바를 설치하고, 필름의 도포 대상 에어리어에서의 양 측변부에 발생하는 컬부를 컬 교정 바에 의해 교정하여, 도포 대상 에어리어 전체를 평탄 형상으로 하여 흡착 테이블의 흡착면에 균일하게 흡착 유지시키는 것을 특징으로 한다.
또한, 흡착 테이블의 흡착면은, 필름의 반송 방향에 수직한 방향에 관하여, 중앙부 영역과 중앙 영역의 양측의 주변 영역으로 구분되고, 중앙부 영역의 진공 흡착 구멍의 동작과, 주변 영역의 진공 흡착 구멍의 동작을 제어하는 제어부를 구비하고, 제어부의 제어에 의해 흡착 테이블에의 필름의 도포 대상 에어리어의 적재와 함께, 중앙 영역에서의 진공 흡착 구멍을 동작시켜, 도포 대상 에어리어의 중앙 영역에 대향하는 영역을 진공 흡착 유지하고, 컬 교정 바에 의한, 흡착 테이블에 적재된 필름의 도포 대상 에어리어에서의 양 측변부의 컬 교정과 함께, 주변 영역에서의 진공 흡착 구멍을 동작시켜, 도포 대상 에어리어의 주변 영역에 대향하는 영역을 진공 흡착 유지하는 것을 특징으로 한다.
또한, 흡착 테이블에 진공 흡착된 필름의 흡착 테이블의 흡착면으로부터의 부상(浮上)을 검출하는 수단을 구비한 것을 특징으로 한다.
또한, 컬 교정 바에 의해 필름의 도포 대상 에어리어의 양 측변부를 흡착 테이블의 양 측변부측으로 눌러 넓히는 힘을 조절하기 위한, 컬 교정 바의 승강 동작을 구동시키는 승강 실린더의 공기 압력을 조정하는 수단을 구비한 것을 특징으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 상류측의 가이드 롤에서 롤 형상으로 권취되어 있는 필름을 권출하여 반송하고, 권출된 필름의 도포 대상 에어리어가 흡착 테이블의 흡착면에 탑재되어, 도포 헤드에 의해 필름의 도포 대상 에어리어에 액상의 도포재가 도포되고, 도포재가 도포된 필름이 하류측의 가이드 롤에 의해 반송되어 롤 형상으로 권취되는 잉크젯 도포 방법이며, 흡착 테이블의 흡착면에 탑재된 필름의 도포 대상 에어리어의 양 측변을 컬 교정 바에 의해 흡착면에 압박하여 흡착 테이블의 측변측으로 넓혀, 흡착면에 흡착 유지시키는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 도포 대상인 필름을 흡착 테이블에 고정시켜 위치 결정할 때, 이 필름의 양 측변부를 컬 교정 바에 의해 이 흡착 테이블에 압박하여 흡착시키는 것이므로, 이 필름의 양 측변부에 발생하는 컬이 교정되어 흡착 테이블에 평탄하게 흡착 고정되게 되고, 이러한 상태에서 이 필름에의 도포재의 도포가 행해지는 것이므로, 필름의 도포 품질이 향상된다.
도 1은 본 발명에 따른 잉크젯 도포 장치 및 방법의 제1 실시 형태의 개략 구성을 도시하는 사시도.
도 2는 도 1에 있어서의 도포부에서 발생하는 필름의 측변부의 컬 상태를 도시하는 도면.
도 3은 도 1에 도시하는 제1 실시 형태에서의 필름의 컬 교정 기구의 일 구체예를 도시하는 개략 사시도.
도 4는 도 3에 도시하는 컬 교정 바에 의한 필름의 컬 교정 동작의 일 구체예를 나타내는 흐름도.
도 5는 도 4에 도시하는 컬 교정 동작의 흐름을 도시하는 도면.
도 6은 본 발명에 따른 잉크젯 도포 장치 및 방법의 제2 실시 형태에 있어서의 흡착 테이블의 일 구체예를 도시하는 사시도.
도 7에 도 6에 도시하는 흡착 테이블을 구비한 제2 실시 형태에서의 필름의 컬 교정 동작의 일 구체예를 나타내는 흐름도.
도 8은 본 발명에 따른 잉크젯 도포 장치 및 방법의 제3 실시 형태의 주요부를 도시하는 개략 사시도.
도 9는 본 발명에 따른 잉크젯 도포 장치 및 방법의 제4 실시 형태에서의 컬 교정 장치의 일 구체예를 도시하는 개략 사시도.
이하, 본 발명의 실시 형태를 도면을 사용하여 설명한다.
또한, 이하에 설명하는 실시 형태는, 일예로서 비실리콘계의 반도체 재료(예를 들어, CIGS 박막)가 실시된 태양 전지 필름 상에 잉크젯 방식의 도포 헤드에 의해 전극재나 절연재를 도포함으로써, 전극이나 절연막 등의 막 형성을 행하도록 하는 것이다. 또한, CIGS 박막은, Cu(구리), In(인듐), Ga(갈륨), Se(셀레늄)로 이루어지는 반도체 재료의 박막이며,「CIGS」는 이들 소재의 이니셜을 배열한 것이고, 이 CIGS 박막의 막 두께는, 수 10㎛ 내지 100㎛ 정도로 얇게 할 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 잉크젯 도포 장치 및 방법의 제1 실시 형태의 개략 구성을 도시하는 사시도이다. 부호 1은 태양 전지 필름(이하, 단순히 필름이라 함), 2는 권출측 필름 롤, 3은 권취측 필름 롤, 4, 5는 가이드 롤, 6, 7은 승강 가이드 롤, 8, 9는 흡착 바, 10은 흡착 테이블, 11은 권출측 축 모터, 12는 권취측 축 모터, 13, 14는 컬 교정 바, 15는 도포 헤드, 16은 권출부, 17은 도포부, 18은 권취부이다.
도 1에 있어서, X축 방향으로 공간이 권출부(16)와 도포부(17)와 권취부(19)로 구분되어 있고, 권출부(16)에는 권출측 축 모터(11)에 의해 회전 구동되는 권출측 필름 롤(2)이나 상류측의 가이드 롤(4), 승강 가이드 롤(6), 흡착 바(8)를 X축 방향으로 순차 배열시켜 설치하고, 권취부(18)에는 하류측의 흡착 바(9)나 승강 가이드 롤(7), 가이드 롤(5), 권취측 필름 롤(3)을 X축 방향으로 순차 배열시켜 설치되어 있다. 또한, 도포부(17)에는 흡착 테이블(10)이나 도포 헤드(15), 컬 교정 바(13, 14)를 설치하고 있다.
권출부(16)에 있어서, 권출측 필름 롤(2)에는 도포부(17)에서 전극재나 절연재의 도포 대상이 되는 필름(1)을 롤 형상으로 권취하고 있다. 또한, 이 필름(1)은, 이 권출측 필름 롤(2)로부터 권출되어 도포부(17)를 통해, 권취부(18)에서 권취측 필름 롤(3)에 권취되어 있다. 이러한 상태에서, 필름(1)의 길이 방향이 X축 방향, 그 폭 방향이 Y축 방향, X축과 Y축으로 이루어지는 면에 수직한 방향이 Z축 방향이다.
도포부(17)에서는, 필름(1)이 흡착 테이블(10)에 의해 진공 흡착되어 위치 고정되고, 또한 도시하지 않은 갠트리(문형 프레임) 구조로 지지되어 있는 잉크젯식의 도포 헤드가 복수 배치되어 있어, 이들에 의해 액상의 전극재나 절연재 등(이하, 이들을 통합하여「도포재」라 함)이 필름(1)의 CIGS 박막 상에 도포되어 전극이나 절연막이 형성된다. 이 CIGS 박막에는, 홈 형상의 오목부를 형성하고 있고, 이 오목부에 도포재가 도포되어 전극이나 절연막이 형성된다.
또한, 도포 헤드(15)는 각각 XY축 평면 내에서의 이동 동작과 Z축 방향(높이 방향)의 이동 동작이 가능하고, 각각의 도포 헤드(15)의 하면에는 필름(1)을 향한 노즐 구멍이 250개 정도 형성되어 있고, 피에조 구동에 의해 도포재의 액적을 밀어내어 필름(1) 상에 사출한다. 이와 같이, 도포 헤드(15)의 노즐이 XY축 평면 내에서 이동하여 개별로 도포재를 사출함으로써, 필름(1)의 도포면에 모든 패턴으로 도포재를 정밀하게 도포하는 것이 가능해진다.
이와 같이 하여, 도포부(17)에서 필름(1)의 소정의 도포 대상 에어리어에서의 도포재의 도포가 종료되면, 권출측 필름 롤(2)로부터 필름(1)이 권출되고, 또한 권취측 필름 롤(3)에 이 필름(1)이 권취됨으로써, 이 필름(1)의 다음 도포 대상 에어리어가 도포부(17)에서 도포재의 도포를 할 수 있는 위치에 배치할 수 있도록 필름(1)이 권출측 필름 롤(2)측으로부터 권취측 필름 롤(3)측으로 반송되지만, 이때에는 권출부(16)에 있어서, 권출측 축 모터(11)에 의해 회전 구동되는 권출측 필름 롤(2)로부터 권출된 필름(1)은, 가이드 롤러(4)와 승강 가이드 롤러(6)에 의해 지지되지만, 이때 승강 가이드 롤러(6)가 흡착 테이블(10)의 흡착면보다도 높은 위치로 상승되어 있고, 또한 권취부(18)에서는 필름(1)이 승강 가이드 롤러(7)와 가이드 롤러(5)에 의해 지지되어 권취측 필름 롤(3)에 의해 권취되어 있다. 승강 가이드 롤러(7)는 흡착 테이블(10)의 흡착면보다도 높은 위치로 상승되어 있다. 이에 의해, 필름(1)은 흡착 바(8, 9)나 흡착 테이블(10)에 접촉하는 일 없이 X축 방향으로 이동한다.
이와 같이 하여, 필름(1)이 권출부(16)측으로부터 권취부(18)측으로 이송될 때에는, 승강 가이드 롤러(6, 7)에 의해 필름(1)이 들어 올려지게 되어, 필름(1)이 흡착 테이블(7)에 접촉하는 일 없이 반송되므로, 필름(1)의 이면에 마찰 흠집이 생기는 것을 방지할 수 있다.
이와 같이 하여, 필름(1)이 승강 가이드 롤러(6, 7)에 의해 흡착 바(8, 9)나 흡착 테이블(10)에 접촉하지 않은 상태에서 반송되고, 필름(1)에서의 다음 도포 대상 에어리어가 도포부(17)에 도달하면 필름(1)의 반송이 종료된다. 이 도포 대상 에어리어의 도포부(17)에서의 X축 방향의 위치 결정이 이루어지고[이 위치 결정은, 우선 권취측 필름 롤(3)의 권취량을 감시하여 대략 위치 조정한다. 계속해서, 도시하지 않지만, 필름(1)의 각 도포 대상 에어리어마다 마크를 형성하여, 이것을 도시하지 않은 카메라로 촬영하고, 그 촬영 영역의 소정의 위치에 이 마크가 위치하도록 권출측 축 모터(11)와 권취측 축 모터(12)를 제어하여 필름(1)의 X축 방향의 위치를 정밀하게 조정함], 이 위치 조정이 종료되면, 권취측 축 모터(12)에 브레이크를 걸어 필름(1)의 권취부(18)측을 고정한 상태로 한다. 그리고 이와 함께, 권출측 축 모터(11)를 필름(1)의 권출 회전 방향과는 역회전 방향으로 토크를 건 상태로 한다.
이에 의해, 필름(1)의 반송이 종료되어도, 이 필름(1)은 그 길이 방향(즉, 그것이 반송되는 X축 방향)으로 텐션이 가해진 상태로 유지되게 되어, 필름(1)에 느슨함이 발생하지 않는다.
이러한 상태에서, 도포부(17)에서는, 승강 가이드 롤(6, 7)이 상기와 같이 상승한 상태에서 흡착 바(8, 9)가 함께 상승하여, 필름(1)의 이면에 접촉하여 이 필름(1)을 흡착 유지한다. 그런 후에, 승강 가이드 롤(6, 7)이 흡착 테이블(10)의 흡착면보다도 하방으로 강하하고, 계속해서 흡착 바(8, 9)가 필름(1)을 흡착 유지한 채 강하하여, 필름(1)의 이면을 흡착 테이블(10)의 흡착면에 접촉시킨다. 이에 의해, 필름(1)은 흡착 테이블(10)에 흡착 유지되고, 도포 헤드(15)에 의해 새로운 도포 대상 에어리어에 도포재가 도포된다.
그런데, 필름(1)이 흡착 테이블(10)에 접촉하였을 때도, 필름(1)은 그 길이 방향으로 텐션이 가해진 상태에서, 그 흡착 테이블(10)의 전후의 부분이 흡착 바(8, 9)에 의해 보유 지지되어 있다. 여기서, 권출부(16)에서의 가이드 롤(4)이나 승강 가이드 롤(6)의 측면의 길이 방향이나 흡착 바(8)의 흡착면은, Y축 방향, 즉, 필름(1)의 폭 방향에 평행하며, 필름(1)의 폭 전체가 이들 가이드 롤(4)이나 승강 가이드 롤(6), 흡착 바(8)에 압박되도록 하고, 권취부(18)측에서도 마찬가지로 필름(1)의 폭 전체가 흡착 바(9), 승강 가이드 롤(7), 가이드 롤(5)에 압박되도록 하여, 필름(1)의 폭 전체가 수평, 즉, Y축에 평행하게 되도록 되어 있지만, 필름(1)에 그 길이 방향의 텐션이 가해져 흡착 바(8, 9)에 의해 보유 지지되어 있으므로, 간격이 긴 흡착 바(8, 9) 사이에는, 텐션 방향과 컬 방향의 각도 차이가 발생하여, 필름(1)의 좌우 양 측변부가 도 2에 도시하는 바와 같이 하방으로 경사진 컬부(19)가 발생한다.
필름(1)을 텐션을 건 상태에서 흡착 유지한 흡착 바(8, 9)를 강하시킴으로써, 이 필름을 흡착 테이블(10)에 접촉시키면, 이 필름(1)은 그 양 측변부에 컬(19)이 발생한 상태에서 흡착 테이블(10)에 접촉되게 되어, 흡착 테이블(10)에서 이러한 상태의 필름(1)을 흡착시켜도 양호한 흡착 상태가 얻어진다고는 할 수 없다.
도포부(17)에서 흡착 테이블(10)의 Y축 방향 양측에 설치되어 있는 컬 교정 바(13, 14)는, 필름(1)의 양 측변부에 발생하는 컬(19)을 교정하기 위해 설치되어 있는 것이다.
도 3은 도 1에 있어서의 도포부(17)에서의 컬 교정 바(13, 14) 및 그 구동 기구의 일 구체예를 개략적으로 도시하는 사시도이고, 부호 10a는 흡착 테이블(10)의 한쪽의 측변부, 20a, 20b는 승강 실린더, 21a, 21b는 실린더 축, 22a, 22b는 폭 정렬 실린더, 23a, 23b는 실린더 축이며, 도 1에 대응하는 부분에는 동일한 부호를 붙여 중복되는 설명을 생략한다.
도 3에 있어서, 컬 교정 바(14)는 그 길이 방향이 X축 방향에 평행하게, 흡착 테이블(10)의 한쪽의 측변부(10a)측에 배치되어 있다. 이 컬 교정 바(14)의 한쪽 단부측에 승강 실린더(20a)가, 다른 쪽 단부측에 승강 실린더(20b)가 각각 설치되어 있고, 이들 승강 실린더(20a, 20b)의 구동에 의해 상하 이동하는 실린더 축(21a, 21b)에 의해 컬 교정 바(14)의 양단부가 지지되어 있다. 이들 승강 실린더(20a, 20b)에는 공기압이 공급되고, 승강 실린더(20a, 20b)에서의 공기압이 가감됨으로써, 실린더 축(21a, 21b)이 동시에 신축(상하 이동)되어 컬 교정 바(14)가 X축을 따른 평행을 유지하면서 상하 이동한다.
또한, 승강 실린더(20a)에 실린더 축(23a)이 연결된 폭 정렬 실린더(22a)와, 승강 실린더(20b)에 실린더 축(23b)이 연결된 폭 정렬 실린더(22b)를 설치하고 있고, 이들 폭 정렬 실린더(22a, 22b)에도, 도시하지 않았지만, 그곳에서의 공기압을 가감 조정하기 위한 공기압 조정기를 설치하고 있다. 폭 정렬 실린더(22a, 22b)에서의 공기압을 가감함으로써, 실린더 축(23a, 23b)이 동시에 신축되어, 승강 실린더(20a, 20b)가 Y축 방향으로 진퇴 이동한다.
도 4는 도 3에 도시하는 컬 교정 바(14)에 의한 필름(1)의 컬의 교정 동작의 일 구체예를 나타내는 흐름도이다. 이하, 도 3을 참조하여 이 구체예를 설명한다.
도 4에 있어서, 컬 교정 바(14)는, 사용되지 않을 때에는, 도시하는 바와 같이, 흡착 테이블(10)의 한쪽 측변부(10a)에 거의 대향한 위치에 있고, 이 위치를 퇴피 위치라 하고, 이 위치에 있을 때의 상태를 퇴피 상태라 한다.
필름(1)의 다음 도포 대상 에어리어가 도포부(17)에 도달하면, 흡착 테이블(10)의 흡착면에 형성된 흡착 구멍이 진공 흡착 가능한 상태로 설정되어, 필름(1)의 이 도포 대상 에어리어에의 도포재의 도포를 위한 동작이 개시되고(단계 S100), 상기와 같이 필름(1)이, 그것에 텐션이 걸린 상태에서 흡착 테이블(10)에 진공 흡착되면(단계 S110), 컬 교정 바(14)를 동작시켜 필름(1)의 측변부의 컬(19)을 교정하는 경우에는, 승강 실린더(20a, 20b)와 폭 정렬 실린더(22a, 22b)를 구동시킴으로써, 컬 교정 바(14)를 실선 화살표 A로 나타내는 바와 같이, 우선 퇴피 상태로부터 Z축 방향으로 흡착 테이블(10) 상의 필름(1)보다도 상방의 제1 정위치까지 상승시키고, 그런 후에 필름(1)의 방향으로(Y축을 따라) 필름(1)에서의 흡착 테이블(10)의 측변부(10a)측의 컬부(19)(도 2)를 넘은 제2 정위치까지 수평으로 이동시키고, 그 제2 정위치에 도달하면(단계 S120), 다시 필름(1)을 흡착 테이블(10)에 압박하는 제3 정위치까지 강하시킨다(단계 S130). 그리고 필름(1)을 흡착 테이블(10)에 압박한 상태에서 컬 교정 바(14)를 흡착 테이블(10)의 측변부(10a)의 부근까지 퇴피 위치의 방향으로 복귀시키고, 필름(1)에서의 상기한 컬부(19) 전체를 외측으로 넓혀 흡착 테이블(10)의 흡착면에 압박하는 제4 정위치까지 이동시킨다(단계 S140). 이에 의해, 필름(1)에서의 흡착 테이블(10)의 측변부(10a)측의 부분도 전체적으로 평탄하게 되어 이 흡착 테이블(10)에 압박하여 진공 흡착한다.
이와 같이 하여, 컬의 교정이 종료되면, 컬 교정 바(14)를, 파선 화살표 B로 나타내는 바와 같이, 제4 정위치로부터 제5 정위치로 상승시키고, 이 제5 정위치로부터 퇴피 위치측으로 수평으로 이동시키고, 퇴피 위치의 바로 위의 제6 정위치에 도달하면, 그곳으로부터 퇴피 위치까지 강하시켜 퇴피 상태로 한다(단계 S150). 이에 의해, 이 도포 대상 에어리어에서의 컬 교정 동작을 종료한다(단계 S160).
또한, 여기서는 설명을 생략하지만, 컬 교정 바(13)에 대해서도 마찬가지이며, 그 구동 기구에 대해서는, 컬 교정 바(14)의 구동 기구에 대응하는 부분에 동일한 부호에 대시(')를 부가하여 나타내고 있다. 단, 컬 교정 바(13)는 필터(1)에서의 컬 교정 바(14)가 컬을 교정하는 측변부와는 반대측의 측변부의 컬을 교정하는 것이므로, 이 컬 교정 바(13)의 Y축을 따른 이동 방향은, 화살표 A', B'로 나타내는 바와 같이 역방향이 된다.
도 5는 컬 교정 동작의 흐름을 도시하는 도면이다.
도 5의 (a)는 도 4의 단계 S120에 의한 컬 교정 바(13, 14)의 상태를 도시하는 것이며, 이 상태에서는 이들 컬 교정 바(13, 14)가 퇴피 위치로부터 도 3에서의 실선 화살표 A', A를 따라 이동하여 제2 정위치에 있다.
도 5의 (b)는 도 4의 단계 S130에 의한 컬 교정 바(13, 14)의 상태를 도시하는 것이며, 이 상태에서는 이들 컬 교정 바(13, 14)가 제2 정위치로부터 도 3에서의 실선 화살표 A', A를 따라 강하하여, 필름(1)을 흡착 테이블(10)에 압박하는 제3 정위치에 있다.
도 5의 (c)는 도 4의 단계 S140에 의한 컬 교정 바(13, 14)의 상태를 도시하는 것이며, 이 상태에서는 이들 컬 교정 바(13, 14)가 제3 정위치로부터 도 3에서의 실선 화살표 A', A를 따라 퇴피 위치의 방향으로 이동하고, 필름(1)의 컬을 교정하여 제4 정위치에 있다.
도 5의 (d)는 도 4의 단계 S150에 있어서의 컬 교정 바(13, 14)의 제1 상태를 도시하는 것이며, 이 상태에서는 이들 컬 교정 바(13, 14)가 제4 정위치로부터 도 3에서의 파선 화살표 B', B를 따라 상승하여, 필름(1)으로부터 이격된 제5 정위치에 있다. 이때에는, 필름(1)은 컬이 교정되어 이 전체면이 흡착 테이블(10)에 균일하게 접촉하여 안정적으로 진공 흡착되어 있다.
도 5의 (e)는 도 5의 (d)에 도시하는 상태에 이어지는 도 4의 단계 S150에 있어서의 컬 교정 바(13, 14)의 제2 상태를 도시하는 것이며, 이 상태에서는, 이들 컬 교정 바(13, 14)가 제5 정위치로부터 도 3에서의 파선 화살표 B', B를 따라 퇴피 위치측으로 수평 이동하고, 이 퇴피 위치의 바로 위의 제6 정위치에 있다.
도 5의 (f)는 도 5의 (e)에 도시하는 상태에 이어지는 도 4의 단계 S150에 있어서의 컬 교정 바(13, 14)의 제3 상태를 도시하는 것이며, 이 상태에서는, 이들 컬 교정 바(13, 14)가 제6 정위치로부터 도 3에서의 파선 화살표 B', B를 따라 퇴피 위치로 강하하여, 퇴피 위치에 있다.
이와 같이, 필름(1)이 흡착 테이블(10)에 흡착되어 있는 상태에서, 도포 헤드(15)에 의해 필름(1)의 도포 대상 에어리어에서 도포재의 도포가 행해진다. 도포 동작을 종료하면, 승강 가이드 롤러(6, 7)가 상승하여 필름(1)이 흡착 테이블(10)로부터 들어 올려진다. 그리고 권출측 필름 롤(2)과 권취측 필름 롤(3)을 구동시켜, 필름(1)의 다음 도포 대상 에어리어가 도포부(17)에 위치하도록 필름(1)의 반송을 재개한다.
이상의 동작에 있어서, 도 5의 (b), (c)에 도시하는 상태에서의 컬 교정 바(13, 14)가 필름(1)을 흡착 테이블(10)에 압박하는 힘이나 필름(1)을 넓히는 힘은, 컬 교정 바(13, 14)를 이동시키는 승강 실린더(20a, 20b)의 설정 압력을 제어함으로써 컨트롤할 수 있다. 또한, 도 5의 (b)로부터 도 5의 (c)로의 필름을 넓히는 컬 교정 바(13, 14)의 속도는, 폭 정렬 실린더(22a, 22b)의 속도 제어 밸브 등의 에어 유량 제어 수단에 의해 원하는 속도로 설정할 수 있다.
이상과 같이, 이 제1 실시 형태에서는, 도포부(17)에서 필름(1) 상에 도포재를 도포할 때의 이 필름(1)의 느슨함을 없앨 수 있는 동시에, 이 느슨함을 없애기 위해 필름(1)에 텐션을 부가함으로써 발생하는 이 필름(1)의 측변부에서의 컬도 제거할 수 있어, 필름(1)이 흡착 테이블(10)에 안정적이고 또한 고정밀도로 흡착되어, 필름(1)에 도포재를 고정밀도로 도포하는 것이 가능해진다.
도 6은 본 발명에 따른 잉크젯 도포 장치 및 방법의 제2 실시 형태에 있어서의 흡착 테이블을 도시하는 사시도이다. 부호 24는 흡착면, 25는 중심 영역 흡착부, 26a, 26b는 주변 영역 흡착부, 27은 흡착 구멍, 28은 중심 영역 흡착 구멍, 29는 주변 영역 흡착 구멍이고, 도 1에 대응하는 부분에는 동일 부호를 붙여 중복되는 설명을 생략한다.
이 제2 실시 형태도, 앞의 제1 실시 형태와 마찬가지로, 도 1에 도시하는 구성을 이루는 것이지만, 흡착 테이블(10)에서의 흡착 방법(즉, 흡착 제어)이 다른 것이다.
즉, 도 6에 있어서, 흡착 테이블(10)의 흡착면(24)에는, 필름(1)을 진공 흡착하기 위한 흡착 구멍(27)이 복수 균일하게 형성되어 있지만, 이 제2 실시 형태에서는, 흡착면(10a)을, 그 폭 방향[필름(1)의 반송 방향에 대해 수직한 방향(Y축 방향)]으로 중심부의 중심 영역 흡착부(25)와 이 중심 영역 흡착부(25)의 양측의 주변 영역 흡착부(26a, 26b)의 3개의 영역으로 구분하고, 도시하지 않은 제어부의 제어하에서, 중심 영역 흡착부(25)에서의 흡착 구멍(27), 즉, 중심 영역 흡착 구멍(28)과 주변 영역 흡착부(26a, 26b)에서의 흡착 구멍(27), 즉, 주변 영역 흡착 구멍(29)의 제어를 독립적으로, 시간적으로 어긋나게 하여 행할 수 있도록 한 것이다.
이 제2 실시 형태에서도, 컬 교정 바(13, 14)의 동작은 도 5에 도시하는 앞의 제1 실시 형태의 동작과 동일하지만, 제어부는 필름(1)의 도포 대상 에어리어가 도포부(17)(도 1)에 도달한 것을 검지하면, 흡착 테이블(10)의 흡착면(24)에서의 중심 영역 흡착부(25)의 중심 영역 흡착 구멍(28)의 동작을 개시시켜, 적어도 도 5의 (a)에 도시하는 상태에서 중심 영역 흡착 구멍(28)이 동작 상태로 된다. 이에 대해, 주변 영역 흡착부(26a, 26b)에서는, 컬 교정 바(13, 14)가 도 5의 (b)에 도시하는 상태로부터 도 5의 (d)에 도시하는 상태로 되어, 필름(1)의 컬부(19)가 교정되는 동시에, 제어부가, 이 컬 교정 동작의 종료를 검출함으로써, 주변 영역 흡착 구멍(29)의 흡착 동작을 개시시키는 제어를 행하도록 한 것이다. 또한, 필름(1)의 도포 대상 에어리어에서의 도포재의 도포 동작을 종료하면, 제어부는 이것을 검지하여 중심 영역 흡착 구멍(28)과 주변 영역 흡착 구멍(29)의 흡착 동작을 종료시킨다.
도 7은 이 제2 실시 형태에서의 흡착 테이블(10)의 필름(1)의 흡착 동작을 나타내는 흐름도이다. 이것을 도 1, 도 5, 도 6을 사용하여 설명한다.
도 1에 있어서, 필름(1)이 권출측 필름 롤(2)로부터 권출되어 반송될 때에는, 도 6에 도시하는 구성의 흡착 테이블(10)에서는 모든 흡착 구멍(27)은 비동작 상태에 있다. 필름(1)의 다음 도포 대상 에어리어가 도포부(17)에 도달하면, 도 6에 있어서, 이 흡착 테이블(10)에서의 중심 영역 흡착부(25)의 중심 영역 흡착 구멍(28)이 동작을 개시하고, 이러한 상태에서 상기한 바와 같이 흡착 바(8, 9)가 강하함으로써, 필름(1)(도 1)이 흡착 테이블(10)의 흡착면(24)에 접촉한다. 이때, 흡착 테이블(10)에서의 중심 영역 흡착부(25)의 중심 영역 흡착 구멍(28)에 의해 흡착 동작하고 있으므로, 필름(1)의 이 중심 영역 흡착부(25)에 접촉하는 부분이 중심 영역 흡착 구멍(28)에 의해 진공 흡착 유지된다. 이에 대해, 흡착 테이블(10)에서의 주변 영역 흡착부(26a, 26b)의 주변 영역 흡착 구멍(29)은 동작하고 있지 않으므로, 필름(1)의 이 주변 영역 흡착부(26)에 대향하는 부분은 흡착 유지되어 있지 않다(도 7의 단계 S210).
그리고 앞의 제1 실시 형태와 마찬가지로, 컬 교정 바(13, 14)가 동작하여, 도 5의 (a)에 도시하는 제2 정위치의 상태가 되고(도 7의 단계 S220), 계속해서 도 5의 (b)에 도시하는 제3 정위치로 강하하여 필름(1)을 흡착 테이블(10)에 압박하는 상태로 되고(도 7의 단계 S230), 계속해서 제3 정위치로부터 제4 정위치로 이동하고, 도 5의 (c)에 도시하는 필름(1)의 측변부를 흡착 테이블의 측변부측으로 눌러 넓히도록 하여 이 측변부에서의 컬 교정을 행한다(도 7의 단계 S240).
이와 같이, 컬 교정 바(13, 14)가 제4 정위치에 있고, 필름(1)의 측변부의 컬이 교정되어 있는 상태에서, 흡착 테이블(10)의 흡착면(24)의 주변 영역 흡착부(26a, 26b)의 주변 영역 흡착 구멍(29)이 동작을 개시하고, 이들 주변 영역 흡착 구멍(29)에 의해 컬이 교정된 필름(1)의 측변부가 흡착 테이블(10)의 주변 영역 흡착부(26a, 26b)에서 진공 흡착 유지된다(도 7의 단계 S245). 이와 같이 하여, 필름(1)의 도포 대상 에어리어 전체가 평탄해져 흡착 테이블(10)에 진공 흡착 유지된다.
그런 후에, 컬 교정 바(13, 14)는, 앞의 제1 실시 형태와 마찬가지로, 도 5의 (c)에 도시하는 상태로부터 도 5의 (d), (e)에 도시하는 상태를 거쳐서 도 5의 (f)에 도시하는 퇴피 위치에 있는 상태로 되어(도 7의 단계 S250), 필름(1)의 컬 교정 동작을 종료한다(도 7의 단계 S260).
이와 같이, 필름(1)이 흡착 테이블(10)에 흡착되어 있는 상태에서, 도포 헤드(15)(도 1)에 의해, 필름(1)의 도포 대상 에어리어에서 도포재의 도포를 행하고, 도포 동작을 종료하면, 승강 가이드 롤러(6, 7)가 상승하여 필름(1)이 흡착 테이블(10)로부터 들어 올려져, 권출측 필름 롤(2)과 권취측 필름 롤(3)이 구동됨으로써, 필름(1)의 다음 도포 대상 에어리어가 도포부(17)에 위치하도록 필름(1)의 반송이 재개된다.
이와 같이, 이 제2 실시 형태에 있어서도, 도포부(17)에서 필름(1)을 컬 교정하여 진공 흡착 유지할 수 있어, 앞의 제1 실시 형태와 동일한 효과가 얻어지게 된다.
도 8은 본 발명에 따른 잉크젯 도포 장치 및 방법의 제3 실시 형태의 주요부를 도시하는 개략 사시도이다. 부호 30은 필름 부상 검지 장치의 필름 유무 검지 센서, 31은 필름 부상 검지 장치의 검지 구멍, 32a는 필름 부상 검지 장치의 빔 발광 장치, 32b는 필름 부상 검지 장치의 검지 센서, 33은 광 빔이며, 도 1에 대응하는 부분에는 동일한 부호를 붙여 중복되는 설명을 생략한다.
이 제3 실시 형태는, 앞의 제1, 제2 실시 형태에 컬 교정 동작이 종료되었는지 여부를 검지하는 장치를 구비한 것이다. 이하에서는, 이러한 장치를 필름 부상 검지 장치라 한다.
도 8에 있어서, 흡착 테이블(10)의 측변부에 그 상면(흡착면)으로부터 하면(이면)으로 관통하는 검지 구멍(31)이 형성되고, 이 검지 구멍(31)에 대향하여 흡착 테이블(10)의 이면측에 광학 반사식 필름 유무 검지 센서(30)가 설치되어 있고, 이들 검지 구멍(31)과 필름 유무 검지 센서(30)에 의해 필름 부상 검지 장치를 형성하고 있다.
이 검지 구멍(31)은, 필름(1)이 흡착 테이블(10)에 적재되었을 때, 이 필름(1)에 발생되어 있는 컬부(19)(도 2)의 위치에 설치되어 있는 것이며, 필름 유무 검지 센서(30)는, 이 검지 구멍(31)을 통해 광을 조사하고, 흡착 테이블(10)에 적재된 필름(1)의 이면으로부터의 반사광을 검지 구멍(31)을 통해 수광하고, 그 반사면까지의 거리에 따라서 반사광의 수광량을 검출하는 것이지만, 도 5의 (a)에 도시하는 바와 같이, 필름(1)의 측변부에 컬부(19)가 있어, 필름(1)의 측변부가 흡착 테이블(10)로부터 부상되어 있을 때와, 도 5의 (c)에 도시하는 바와 같이, 컬 교정이 행해져 필름(1)의 측변부도 평탄하게 되어 흡착 테이블(10)의 흡착면에 접촉하고 있을 때, 필름 유무 검지 센서(30)로부터 조사광이 반사하는 필름(1)의 이면까지의 거리가 다르다.
이것으로부터, 필름 유무 검지 센서(30)는, 상기한 필름(1)의 컬 교정의 동작을 종료하면, 검지 구멍(31)을 통해 광을 조사하고, 흡착 테이블(10)에 적재된 필름(1)의 이면으로부터의 반사광을 검지 구멍(31)을 통해 수광하고, 도시하지 않은 처리부가 그 수광 결과에 기초하여 이 필름(1)의 이면까지의 거리를 측정하고, 이 측정 결과를 처리하여 필름(1)의 이면이 흡착 테이블(10)로부터 부상되어 있는지, 흡착 테이블(10)에 평탄한 상태에서 접촉하고 있는지 판정하고, 필름(1)의 이면이 흡착 테이블(10)로부터 부상되어 있다는 판정 결과가 얻어지면, 필름(1)의 컬 교정이 이루어지지 않은 것으로 하여, 장치의 작업자에게 이것을 통지하는 동시에, 장치를 정지시켜 도포 작업을 정지시킨다.
이 제3 실시 형태에서는 또한, 흡착 테이블(10)의 한쪽 측변부의 외측에 빔 발광 장치(32a)를 설치하고, 다른 쪽 측변부의 외측에는 검지 센서(32b)를 각각 설치하고 있다. 그리고 빔 발광 장치(32a)로부터의 광 빔(33)이 검지 센서(32b)에 의해 수광된다. 이들 빔 발광 장치(32a)와 검지 센서(32b)는 필름 부상 검지 장치를 구성하는 것이지만, 이 경우, 빔 발광 장치(32a)와 검지 센서(32b)의 배치 위치로서는 빔 발광 장치(32a)로부터의 광 빔(33)이 흡착 테이블(10)의 상방에서 이 흡착 테이블(10)을 가로지르도록, 또한 필름(1)이 전체적으로 평탄한 상태에서 흡착 테이블(10)에 진공 흡착되어 있을 때에는, 빔 발광 장치(32a)로부터의 광 빔(33)을 검지 센서(32b)에 의해 검지할 수 있도록 하고, 컬부(19)(도 2)가 발생하여 필름(1)이 흡착 테이블의 흡착면(24)(도 6)으로부터 부상되어 있을 때에는, 빔 발광 장치(32a)로부터의 광 빔(33)이 필름(1)에 차단되어 검지 센서(32b)에 의해 수광할 수 없도록 설정한다.
이에 의해, 도시하지 않은 처리부에서는, 필름(1)의 상기 컬 교정 동작의 종료 후, 검지 센서(32b)에서 광 빔(33)의 수광 결과가 얻어진 경우는, 필름(1) 전체가 평탄한 상태에서 흡착 테이블(10)에 진공 흡착 유지되어 있는 것이라 판정한다. 그리고 이 필름(1)의 도포재의 도포 동작을 개시시키지만, 검지 센서(32b)에서 광 빔(33)의 수광 결과가 얻어지지 않는 경우에는, 필름(1)의 컬 교정을 할 수 없었던 것이라 판정한다. 그리고 이 장치의 작업자에게 그 취지를 통지하는 동시에, 장치의 동작을 정지시켜 도포 작업을 정지시킨다.
이상과 같이, 이 제3 실시 형태에서는, 필름(1)의 컬 교정을 행한 후에 있어서, 필름 부상 검지 장치에 의해 컬 교정이 확실하게 행해졌는지 여부를 확인할 수 있으므로, 컬 교정이 충분히 이루어져 있지 않은 상태에서 도포재의 도포가 행해지는 것을 방지할 수 있다.
또한, 이상의 설명에서는, 필름 유무 검지 센서(30)와 검지 구멍(31)에 의한 필름 부상 검지 장치와, 빔 발광 장치(32a)와 검지 센서(32b)로 이루어지는 필름 부상 검지 장치를 사용하고 있는 것으로 하고 있지만, 이들 필름 부상 검지 장치 중 어느 한쪽만을 사용하도록 해도 좋다. 또한, 동일한 필름 부상 검지 장치를 복수 사용하도록 해도 좋다. 이러한 필름 부상 검지 장치는, 필름(1)의 컬 상태에 따라서 구분하여 사용하는 것이다.
이들 모두에 있어서, 필름(1)의 컬이 교정되어 평탄한 상태로 되어 비로소 다음 도포 공정으로 이행할 수 있는 수순으로 함으로써, 신뢰성을 각별히 향상시킬 수 있다. 만일 컬 교정을 완료할 수 없어, 제조 공정을 일시 정지시킨 경우에는, 에러인 것을 경보기 등에 의해 작업자에게 알리게 된다. 이 경우, 생산 시간에 낭비가 발생하지만, 필름(1)이 부상된 상태에서 도포 동작을 개시하거나, 컬이 발생한 상태에서 제조물의 수율을 저하시키는 것과 같은 문제를 미연에 방지하는 것이 가능해진다.
도 9는 본 발명에 따른 잉크젯 도포 장치 및 방법의 제4 실시 형태에서의 컬 교정 장치의 일 구체예를 도시하는 개략 사시도이다. 부호 34, 35는 공기압 조정기로, 도 3에 대응하는 부분에는 동일한 부호를 붙여 중복되는 설명을 생략한다.
도 9에 있어서, 승강 실린더(20a, 20b)에는 공기압 조정기(34)를 통해 공기압이 공급된다. 마찬가지로 하여, 흡착 테이블(10)의 반대측에 설치되어 있는 컬 교정 바(13)를 상하 방향으로 이동시키는 승강 실린더[여기서는, 승강 실린더(20a')만을 도시하고 있음]에도, 공기압 조정기(35)를 통해 공기압을 공급한다.
이들 공기압 조정기(34, 35)는, 일반적으로는 전공 레귤레이터라고 불리고 있는 것이며, 도시하지 않은 제어 장치로부터의 제어 신호를 공기 압력으로 변환하여, 이 공기압을 승강 실린더(20a, 20b)나 승강 실린더(20a')에 출력하는 것이다.
따라서, 제어 장치가 공기압 조정기(34, 35)에 공급하는 제어 신호를 변화시킴으로써, 승강 실린더(20a, 20b)나 승강 실린더(20a')에의 공기압을 변화시킬 수 있다. 그리고 승강 실린더(20a, 20b)나 승강 실린더(20a')에 공급되는 공기압이 변화되면, 컬 교정 바(14, 13)의 상하 동작의 구동 압력이 변화되게 되어, 컬 교정 바(14, 13)가 필름(1)을 흡착 테이블(10)에 압박하는 압박력이 변화되게 된다.
따라서, 제어 장치에 의해 공기압 조정기(34, 35)를 제어함으로써, 컬 교정 바(14, 13)가 필름(1)을 흡착 테이블(10)에 압박하는 압박력을 조정할 수 있어, 필름(1)의 컬을 양호하게 교정하고, 필름(1)의 도포 대상 에어리어 전체를 고정밀도로 평탄한 상태로 하여 흡착 테이블(10)에 진공 흡착 유지시키는 것이 가능해진다.
1 : 필름
2 : 권출측 필름 롤
3 : 권취측 필름 롤
4, 5 : 가이드 롤
6, 7 : 승강 가이드 롤
8, 9 : 흡착 바
10 : 흡착 테이블
10a : 측변부
11 : 권출측 축 모터
12 : 권취측 축 모터
13, 14 : 컬 교정 바
15 : 도포 헤드
16 : 권출부
17 : 도포부
18 : 권취부
19 : 컬
20a, 20b : 승강 실린더
21a, 21b : 실린더 축
22a, 22b : 폭 정렬 실린더
23a, 23b : 실린더 축
24 : 흡착면
25 : 중심 영역 흡착부
26 : 주변 영역 흡착부
27 : 흡착 구멍
28 : 중심 영역 흡착 구멍
29 : 주변 영역 흡착 구멍
10b : 흡착면
25 : 중심 영역 흡착부
26 : 주변 영역 흡착부
27 : 흡착 구멍
28 : 중심 영역 흡착 구멍
29 : 주변 영역 흡착 구멍
30 : 필름 유무 검지 센서
31 : 검지 구멍
32a : 빔 발광 장치
32b : 검지 센서
33 : 광 빔
34, 35 : 공기압 조정기

Claims (5)

  1. 롤 형상의 필름을 권출하여 반송하는 상류측의 가이드 롤과, 권출된 상기 필름을 흡착 유지하는 흡착 테이블과, 상기 흡착 테이블에 흡착 유지된 상기 필름 상에 액상의 도포재를 도포하는 도포 헤드와, 도포재가 도포된 상기 필름을 반송하여 롤 형상으로 권취하는 하류측의 가이드 롤로 이루어지는 잉크젯 도포 장치에 있어서,
    상기 필름의 상기 흡착 테이블의 흡착면에 적재된 도포 대상 에어리어에서의 양 측변부를 상기 흡착 테이블의 흡착면에 압박하여 상기 흡착 테이블의 측변측으로 넓히는 컬 교정 바를 설치하고,
    상기 필름의 상기 도포 대상 에어리어에서의 양 측변부에 발생되는 컬부를 상기 컬 교정 바에 의해 교정하여, 상기 도포 대상 에어리어 전체를 평탄 형상으로 하여 상기 흡착 테이블의 상기 흡착면에 균일하게 흡착 유지시키는 것을 특징으로 하는, 잉크젯 도포 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 흡착 테이블의 상기 흡착면은, 상기 필름의 반송 방향에 수직한 방향에 관하여, 중앙부 영역과 상기 중앙 영역의 양측의 주변 영역으로 구분되고,
    상기 중앙부 영역의 진공 흡착 구멍의 동작과, 상기 주변 영역의 진공 흡착 구멍의 동작을 제어하는 제어부를 구비하고,
    상기 제어부의 제어에 의해,
    상기 흡착 테이블에의 상기 필름의 상기 도포 대상 에어리어의 적재와 함께, 상기 중앙 영역에서의 진공 흡착 구멍을 동작시켜, 상기 도포 대상 에어리어의 상기 중앙 영역에 대향하는 영역을 진공 흡착 유지하고,
    상기 컬 교정 바에 의한, 상기 흡착 테이블에 적재된 상기 필름의 상기 도포 대상 에어리어에서의 양 측변부의 컬 교정과 함께, 상기 주변 영역에서의 진공 흡착 구멍을 동작시켜, 상기 도포 대상 에어리어의 상기 주변 영역에 대향하는 영역을 진공 흡착 유지하는 것을 특징으로 하는, 잉크젯 도포 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 흡착 테이블에 진공 흡착한 상기 필름의 상기 흡착 테이블의 흡착면으로부터의 부상을 검출하는 수단을 구비한 것을 특징으로 하는, 잉크젯 도포 장치.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 컬 교정 바에 의한 상기 필름의 상기 도포 대상 에어리어의 양 측변부를 상기 흡착 테이블의 양 측변부측으로 눌러 넓히는 힘을 조절하기 위한, 상기 컬 교정 바의 승강 동작을 구동하는 승강 실린더의 공기 압력을 조정하는 수단을 구비한 것을 특징으로 하는, 잉크젯 도포 장치.
  5. 상류측의 가이드 롤에서 롤 형상으로 권취되어 있는 필름을 권출하여 반송하고, 권출된 상기 필름의 도포 대상 에어리어가 흡착 테이블의 흡착면에 탑재되어, 도포 헤드에 의해 상기 필름의 상기 도포 대상 에어리어에 액상의 도포재가 도포되고, 상기 도포재가 도포된 상기 필름이 하류측의 가이드 롤에 의해 반송되어 롤 형상으로 권취되는 잉크젯 도포 방법에 있어서,
    상기 흡착 테이블의 흡착면에 탑재된 상기 필름의 상기 도포 대상 에어리어의 양 측변을 컬 교정 바에 의해 상기 흡착면에 압박하여 상기 흡착 테이블의 측변측으로 넓혀, 상기 흡착면에 흡착 유지시키는 것을 특징으로 하는, 잉크젯 도포 방법.
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