KR20110043587A

KR20110043587A - 감광성 조성물이 충전된 용기를 포장하기 위한 포장체

Info

Publication number: KR20110043587A
Application number: KR1020117000567A
Authority: KR
Inventors: 마히토 후지타
Original assignee: 스미또모 가가꾸 가부시끼가이샤
Priority date: 2008-07-01
Filing date: 2009-06-24
Publication date: 2011-04-27
Also published as: EP2292531A4; WO2010001915A1; US20110168596A1; JP2010030681A; TW201008846A; EP2292531A1; US8420190B2; TWI451997B

Abstract

200 nm ∼ 500 nm 의 파장 영역에 있어서의 광선 투과율이 5% 이하이고, 620 ∼ 940 nm 의 파장 영역에 있어서의 광선 투과율이 10% 이상인 필름으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 감광성 조성물이 충전된 용기를 포장하기 위한 포장체.

Description

감광성 조성물이 충전된 용기를 포장하기 위한 포장체{PACKAGING MATERIAL FOR PACKAGING OF CONTAINER HAVING PHOTOSENSITIVE COMPOSITION FILLED THEREIN}

본 발명은 감광성 조성물이 충전된 용기를 포장하기 위한 포장체에 관한 것이다.

포토레지스트 조성물 등의 감광성 조성물은, 통상, 일본 공개특허공보 평10-172881호의 도 3 에 기재되어 있는 바와 같이 갤런병 등의 용기에 충전되어 있다. 상기 용기에는, 통상, 명칭, 종류, 로트 번호, 제조 회사, 제조 연월일 등의 충전된 감광성 조성물에 관한 정보가 기록된 라벨이 첩부 (貼付) 되어 있다. 그러나 상기 용기는, 용기의 파손에 의한 감광성 조성물의 누설을 방지하고, 감광성 조성물의 열화를 억제하기 위해, 통상, 흑색의 자루체로 포장되어 있기 때문에, 입수한 감광성 조성물의 관리를 위해서, 포장을 벗겨, 용기에 첩부되어 있는 라벨을 확인하여, 용기에 충전되어 있는 감광성 조성물에 관한 정보를 취득할 필요가 있었다.

또, 흑색의 자루체에도, 내부의 용기에 충전된 감광성 조성물에 관한 정보가 기록된 라벨이 첩부되어 있는 경우가 많지만, 그 경우에는, 자루체에 첩부된 라벨과 용기에 첩부된 라벨이 동일한지 여부를 확인할 필요가 있고, 또, 양자의 라벨이 상이한 경우에는, 어느 쪽이 올바른 라벨인지를 확인하는 작업이 필요하였다.

본 발명은,

<1> 200 nm ∼ 500 nm 의 파장 영역에 있어서의 광선 투과율이 5% 이하이고, 620 ∼ 940 nm 의 파장 영역에 있어서의 광선 투과율이 10% 이상인 필름으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 감광성 조성물이 충전된 용기를 포장하기 위한 포장체 ;

<2> 620 ∼ 940 nm 의 파장 영역에 있어서의 광선 투과율이 30% 이상인 <1> 에 기재된 포장체 ;

<3> 620 ∼ 940 nm 의 파장 영역에 있어서의 광선 투과율이 50% 이상인 <1> 에 기재된 포장체 ;

<4> 필름이 투명 수지와 황색 염료를 함유하는 필름인 <1> ∼ <3> 중 어느 하나에 기재된 포장체 ;

<5> 필름이 추가로 자외선 흡수제를 함유하는 <1> ∼ <4> 에 기재된 포장체 ;

<6> 자루 형상의 포장체인 <1> ∼ <5> 중 어느 하나에 기재된 포장체 ;

<7> <1> ∼ <6> 중 어느 하나에 기재된 포장체로 포장된 감광성 조성물이 충전된 용기 ;

<8> 감광성 조성물이 충전된 용기의 외표면에, 충전된 감광성 조성물에 관한 정보가 기록된 라벨이 첩부되어 있는 <7> 에 기재된 포장된 감광성 조성물이 충전된 용기 ;

<9> 충전된 감광성 조성물에 관한 정보가 바코드인 <8> 에 기재된 포장된 감광성 조성물이 충전된 용기 ;

<10> 감광성 조성물이 충전된 용기를 포장하기 위한, 200 nm ∼ 500 nm 의 파장 영역에 있어서의 광선 투과율이 5% 이하이고, 620 ∼ 940 nm 의 파장 영역에 있어서의 광선 투과율이 10% 이상인 필름으로 이루어지는 포장체의 사용 ;

<11> 200 nm ∼ 500 nm 의 파장 영역에 있어서의 광선 투과율이 5% 이하이고, 620 ∼ 940 nm 의 파장 영역에 있어서의 광선 투과율이 10% 이상인 필름으로, 감광성 조성물이 충전된 용기를 포장하는 것을 특징으로 하는 감광성 조성물이 충전된 용기의 포장 방법 ;

<12> 감광성 조성물이 충전된 용기를, 200 nm ∼ 500 nm 의 파장 영역에 있어서의 광선 투과율이 5% 이하이고, 620 ∼ 940 nm 의 파장 영역에 있어서의 광선 투과율이 10% 이상인 필름으로 이루어지는 포장체로 포장하고, 포장된 상기 용기를 보존하는 것을 특징으로 하는 감광성 조성물의 보존 방법 ; 등을 제공하는 것이다.

도 1 은 실시예 2 에서 사용한 필름의 광선 투과율을 나타낸 그래프
도 2 는 실시예 2 에서 얻어진, 흑색 자루체로 포장된 포토레지스트 조성물이 충전된 용기로부터 채취한 포토레지스트 조성물의 점도에 대한 본 발명의 포장체로 포장된 포토레지스트 조성물이 충전된 용기로부터 채취된 포토레지스트 조성물의 점도의 비의 시간 경과적 변화를 나타낸 그래프
도 3 은 실시예 2 에서 얻어진, 흑색 자루체로 포장된 포토레지스트 조성물이 충전된 용기로부터 채취한 포토레지스트 조성물의 점도에 대한 본 발명의 포장체로 포장된 포토레지스트 조성물이 충전된 용기로부터 채취된 포토레지스트 조성물의 감도의 비의 시간 경과적 변화를 나타낸 그래프
도 4 는 실시예 3 에서 사용한 필름의 광선 투과율을 나타낸 그래프

본 발명의 감광성 조성물이 충전된 용기를 포장하기 위한 포장체는 200 nm ∼ 500 nm 의 파장 영역에 있어서의 광선 투과율이 5% 이하이고, 620 nm ∼ 940 nm 의 파장 영역에 있어서의 광선 투과율이 10% 이상인 필름으로 이루어진다. 620 nm ∼ 940 nm 의 파장 영역에 있어서의 광선 투과율이 15% 이상인 것이 바람직하고, 620 nm ∼ 940 nm 의 파장 영역에 있어서의 광선 투과율이 30% 이상인 것이 보다 바람직하고, 620 nm ∼ 940 nm 의 파장 영역에 있어서의 광선 투과율이 50% 이상인 것이 특히 바람직하다.

여기에서, 광선 투과율은 JIS K 7361 로 규정되는 전광선 투과율의 시험 방법에 의해 구할 수 있다.

상기 필름의 주성분은 통상, 투명 수지이다. 투명 수지로는, 폴리프로필렌 호모폴리머, 프로필렌/에틸렌 공중합체, 프로필렌/에틸렌/α-올레핀 삼원 공중합체 등의 폴리프로필렌계 수지 ; 고밀도 폴리에틸렌 (HD-PE), 저밀도 폴리에틸렌 (LD-PE), 직사슬형 저밀도 폴리에틸렌 (LLDPE), 에틸렌/비닐아세테이트 공중합체, 에틸렌/메틸메타크릴레이트 공중합체, 에틸렌/비닐알코올 공중합 수지 등의 폴리에틸렌계 수지 ; 메틸펜텐 폴리머 ; 폴리스티렌, 아크릴로니트릴/스티렌 공중합체, 스티렌/부타디엔 공중합체, 스티렌/아크릴로니트릴/부타디엔 삼원 공중합체, 하이임펙트 폴리스티렌, 폴리(p-메틸스티렌), 폴리(α-메틸스티렌) 등의 폴리스티렌계 수지 ; 폴리클로로프렌 ; 염소화고무 ; 폴리염화비닐 ; 폴리염화비닐리덴 ; 메타크릴 수지 ; 불소 수지 ; 폴리아세탈 ; 그래프트화 폴리페닐렌에테르 수지 ; 폴리페닐렌설파이드 수지 ; 폴리우레탄 ; 폴리아미드 ; 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리부틸렌테레프탈레이트 등의 폴리에스테르 수지 ; 폴리카보네이트 ; 아크릴 수지 ; 폴리술폰 ; 폴리에테르에테르케톤 ; 폴리에테르술폰 ; 방향족 폴리에스테르 수지 ; 디알릴프탈레이트 프리폴리머 ; 실리콘 수지 ; 1,2-폴리부타디엔 ; 폴리이소프렌 ; 부타디엔/아크릴로니트릴 공중합체 ; 등을 들 수 있다. 그 중에서도, 성형 가공성이 양호한 점에서, 폴리에틸렌계 수지, 폴리프로필렌계 수지 및 폴리스티렌계 수지가 바람직하다.

본 발명에 사용되는 필름은 200 nm ∼ 500 nm 의 파장 영역에 있어서의 광선 투과율이 5% 이하, 바람직하게는 2% 이하, 보다 바람직하게는 1% 이하이다.

이러한 필름으로는, 예를 들어, 상기 투명 수지에 황색 염료를 적절히 함유시킨 것 등을 들 수 있다.

황색 염료로는, 투명 수지에 혼련할 수 있는 것이면 된다. 구체적으로는, 오일 옐로우 105 (상품명, 오리엔트 화학 공업 주식회사 제조), 오일 옐로우 107 (상품명, 오리엔트 화학 공업 주식회사 제조), 오일 옐로우 129 (상품명, 오리엔트 화학 공업 주식회사 제조, C.I.솔벤트 옐로우 29), 오일 옐로우 3G (상품명, 오리엔트 화학 공업 주식회사 제조, C.I.솔벤트 옐로우 16), 오일 옐로우 GG-S (상품명, 오리엔트 화학 공업 주식회사 제조, C.I.솔벤트 옐로우 56), 발리퍼스트 옐로우 1101 (상품명, 오리엔트 화학 공업 주식회사 제조), 발리퍼스트 옐로우 1105 (상품명, 오리엔트 화학 공업 주식회사 제조), 바리퍼스트 옐로우 4120 (상품명, 오리엔트 화학 공업 주식회사 제조, C.I.솔벤트 옐로우 82), 오레오졸 브릴리언트 옐로우 5G (상품명, 다오카 화학 공업 주식회사 제조, C.I.솔벤트 옐로우 150), 오레오졸 퍼스트 옐로우 2G (상품명, 다오카 화학 공업 주식회사 제조, C·I·솔벤트 옐로우 21), 오레오졸 퍼스트 옐로우 GCN (상품명, 다오카 화학 공업 주식회사 제조, C.I.솔벤트 옐로우 151), 아이젠 조트 옐로우 1 (상품명, 호도가야 화학 공업 주식회사 제조, C.I.솔벤트 옐로우 56), 아이젠 조트 옐로우 3 (상품명, 호도가야 화학 공업 주식회사 제조, C.I.솔벤트 옐로우 16), 아이젠 조트 옐로우 6 (상품명, 호도가야 화학 공업 주식회사 제조, C.I.솔벤트 옐로우 33), 아이젠 스피론 옐로우 GRLH (상품명, 호도가야 화학 공업 주식회사 제조), 아이젠 스피론 옐로우 3RH (상품명, 호도가야 화학 공업 주식회사 제조), 오라졸 옐로우 2GLN (상품명, 치바가이기사 제조, C.I.솔벤트 옐로우 88), 오라졸 옐로우 2RLN (상품명, 치바가이기사 제조, C.I.솔벤트 옐로우 89), 오라졸 옐로우 3R (상품명, 치바가이기사 제조, C.I.솔벤트 옐로우 25), 오라세트 옐로우 GHS (상품명, 치바가이기사 제조, C.I.솔벤트 옐로우 163), 피라미드 옐로우 R (상품명, 치바가이기사 제조, C.I.솔벤트 옐로우 21) 등을 들 수 있다.

본 발명에 사용되는 필름은, 200 nm ∼ 500 nm 의 파장 영역에 있어서의 광선 투과율이 5% 이하이고, 620 nm ∼ 940 nm 의 파장 영역에 있어서의 광선 투과율이 10% 이상인 필름이면, 안료나 흑색 염료 등의 황색 염료 이외의 염료를 함유하고 있어도 된다.

본 발명에 사용되는 필름은, 추가로 자외선 흡수제를 함유하고 있어도 된다. 자외선 흡수제로는, 벤조트리아졸계 자외선 흡수제, 살리실레이트계 자외선 흡수제, 벤조티아졸계 자외선 흡수제, 시아노아크릴레이트계 자외선 흡수제, 아조계 자외선 흡수제, 폴리엔계 자외선 흡수제, 안트라퀴논계 자외선 흡수제, 힌더드아민계 자외선 흡수제 등을 들 수 있다. 벤조페논계 자외선 흡수제로는, 2,4-디하이드록시벤조페논, 2,2',4,4'-테트라하이드록시벤조페논, 2-하이드록시-4-메톡시벤조페논, 2,2'-디하이드록시-4-메톡시벤조페논, 2,2'-디하이드록시-4,4'-디메톡시벤조페논, 2-하이드록시-4-n-옥틸옥시벤조페논, 2-하이드록시-4-메톡시-2'-카르복시벤조페논, 2-하이드록시-4-옥타데실옥시벤조페논, 4-도데실옥시-2-하이드록시벤조페논, 2-하이드록시-4-(2-하이드록시-3-메타크릴옥시)프로폭시벤조페논, N,N'-테트라메틸-4,4'-디아미노벤조페논, 2-하이드록시벤조페논, 4-하이드록시벤조페논, 4,4'-디하이드록시벤조페논, 2,3,4-트리하이드록시벤조페논, 2,4,5-트리하이드록시벤조페논, 2,4,6-트리하이드록시벤조페논, 2,4,4'-트리하이드록시벤조페논, 2,2',3,4-테트라하이드록시벤조페논, 2,3,4,4'-테트라하이드록시벤조페논, 2,2',3,4,4'-펜타하이드록시벤조페논, 2,3,3',4,4',5'-헥사하이드록시벤조페논 등을 들 수 있다.

살리실레이트계 자외선 흡수제로는, 페닐살리실레이트, p-tert-부틸페닐살리실레이트, p-옥틸페닐살리실레이트 등을 들 수 있다. 벤조트리아졸계 자외선 흡수제로는, 2-(2-하이드록시-5-메틸페닐)벤조트리아졸, 2-(2-하이드록시-5-tert-부틸페닐)벤조트리아졸, 2-(2-하이드록시-3,5-디-tert-부틸페닐)벤조트리아졸, 2-(2-하이드록시-3-tert-부틸-5-메틸페닐)-5-클로로벤조트리아졸, 2-(2-하이드록시-3,5-디-tert-부틸페닐)-5-클로로벤조트리아졸, 2-(2-하이드록시-3,5-디-tert-아미노페닐)벤조트리아졸 등을 들 수 있다. 시아노아크릴레이트계 자외선 흡수제로는, 2-에틸헥실-2-시아노-3,3-디페닐아크릴레이트, 에틸-2-시아노-3,3-디페닐아크릴레이트 등을 들 수 있다.

아조계 자외선 흡수제로는 4-디메틸아미노-4'-하이드록시아조벤젠, 1-에톡시-4-[4-(N,N-디에틸아미노)페닐아조]벤젠 등을 들 수 있다. 폴리엔계 자외선 흡수제로는 4-디메틸아미노-4'-하이드록시-3'-니트로스틸벤, 4-디에틸아미노-4'-하이드록시-3'-니트로스틸벤 등을 들 수 있다. 안트라퀴논계 자외선 흡수제로는1,2,5,8-테트라하이드록시안트라퀴논, 1,4,9,10-테트라하이드록시안트라센, 1,5-디아미노안트라퀴논 등을 들 수 있다.

이들 자외선 흡수제는 각각 단독으로 사용해도 되고, 2 종 이상 조합하여 사용해도 된다.

본 발명에 사용되는 필름은 본 발명의 효과를 저해하지 않는 범위에서, 공지된 여러 가지 첨가제를 함유하고 있어도 된다. 이와 같은 첨가제로는, 광 안정제, 산화 방지제, 금속 불활성화제, 조핵제, 활제, 대전 방지제, 가소제, 난연제, 안티블로킹제, 계면활성제, 가공 보조제, 발포제, 유화제, 스테아르산칼슘, 하이드로탈사이트 등의 중화제, 결착제 등을 들 수 있다.

본 발명에 사용되는 필름으로서 자동차용 차광 필름 등으로서 시판되고 있는, 이른바 「옐로우 필름」을 사용해도 된다.

이러한 필름의 막두께는 통상 50 ㎛ ∼ 120 ㎛ 이고, 60 ㎛ ∼ 100 ㎛ 가 바람직하다.

본 발명의 포장체는 상기 필름을, 감광성 조성물이 충전된 용기를 포장 가능한 정도의 사이즈로 절단한 것으로 해도 되고, 그 용기를 포장하기 쉽도록, 상기 필름을 자루 형상으로 성형한 것이어도 된다. 감광성 조성물이 충전된 용기를 포장 가능한 정도의 사이즈로 절단된 포장체의 형상은 한정되지 않고, 예를 들어, 삼각 형상, 사각 형상 등의 다각 형상이어도 되고, 원형이어도 되고, 타원형이어도 되고, 부정형이어도 된다. 본 발명의 포장체가 자루 형상으로 형성된 것인 경우, 개구부는 감광성 조성물이 충전된 용기의 출납이 가능한 사이즈이면 되고, 그 개구부의 형상도 한정되지 않는다. 또, 개구부에 대해 수직 방향의 단면의 형상도 한정되지 않는다.

본 발명의 포장체는 예를 들어, 투명 수지와 황색 염료와, 필요에 따라, 자외선 흡수제와 첨가제를 혼합하는 혼합 공정, 혼합 공정에서 얻어진 혼합물을 가열하면서 혼련하는 혼련 공정, 혼련 공정에서 얻어진 수지 조성물을 인플레이션 성형법, T 다이 성형법 등에 의해 필름 형상으로 성형하는 성형 공정, 및 필요에 따라, 성형 공정에서 얻어진 필름을 히트 프레스, 절단 등을 하여 자루를 만드는 자루 제조 공정을 포함하는 방법에 의해 제조할 수 있다.

본 발명의 포장체에 의해, 감광성 조성물이 충전된 용기를 포장하고, 개구부를, 끈, 테이프, 고무, 히트 시일, 수지 필름으로 피복된 철사 등의 밀봉 수단에 의해 밀봉함으로써, 본 발명의 포장체로 포장된 감광성 조성물이 충전된 용기를 얻을 수 있다.

감광성 조성물은 광산 발생제, 광중합 개시제 등의 감광성 물질을 함유하는 조성물이면 제한되지 않고, 구체적으로는, 포토레지스트 조성물, 포토스페이서용 감광성 조성물, 오버코트용 감광성 조성물, 절연막용 감광성 조성물, 컬러 레지스트 조성물, 감광성 엘리먼트용 조성물, 블랙 매트릭스용 조성물, 세퍼레이터용 감광성 조성물, 인쇄판용 감광성 조성물 등을 들 수 있다.

감광성 조성물을 충전하기 위해서 사용되는 용기는, 투명 유리나 투명 수지로 형성된 용기이어도 되고, 갈색이나 흑색 등으로 착색된 유리나 합성 수지로 형성된 용기이어도 된다. 바람직하게는, 갈색이나 흑색 등으로 착색된 유리나 합성 수지로 형성된 용기이다. 또, 이러한 용기가 종이 봉지로 포장되어 있어도 된다. 구체적으로는, 일본 공개특허공보 평7-330074호, 일본 공개특허공보 평8-113678호, 일본 공개특허공보 평08-175555호, 일본 공개특허공보 평9-95565호, 일본 공개특허공보 평10-181219호, 일본 공개특허공보 평11-290420호, 일본 공개특허공보 평11-314678호, 일본 공개특허공보 2007-22610호, 일본 공개특허공보 2007-137506호, 일본 공개특허공보 2007-197040호 등에 기재된 감광성 조성물을 충전하기 위한 용기를 들 수 있다.

이러한 용기에는, 통상, 충전되어 있는 감광성 조성물에 관한 정보가 기록된 라벨이 첩부되어 있다. 충전되어 있는 감광성 조성물에 관한 정보로는, 감광성 조성물의 종류, 로트 번호, 제조 연월일, 제조 회사, 품질 보증 기간 등을 들 수 있다. 이들 정보는, 문자 정보이어도 되고, 바코드이어도 된다. 바람직하게는 바코드이다. 또, 이들 정보가 기록된 IC 칩을 그 라벨은 포함하고 있어도 된다.

본 발명의 포장체로 감광성 조성물이 충전된 용기를 포장함으로써, 포장을 벗기지 않고, 육안에 의해 용기나 그 용기에 첩부된 라벨을 확인할 수 있다. 특히, 그 용기에 첩부된 라벨에 바코드가 인쇄되어 있는 경우에는, 포장을 벗기지 않고, 적외선 등을 사용한 바코드 리더에 의해 바코드 정보를 판독할 수 있어, 용이하게 용기에 충전되어 있는 감광성 조성물의 정보를 취득할 수 있다.

본 발명의 포장체로 감광성 조성물이 충전된 용기를 포장함으로써, 감광성 조성물을 품질 저하없이 보존할 수 있다.

또한, 용기의 파손에 의해 감광성 조성물이 누설된 경우에도, 포장을 벗기지 않고 누설을 확인할 수 있다.

실시예

이하, 실시예에 의해 본 발명을 상세하게 설명하는데, 본 발명은 실시예에 한정되지 않는다. 또한, 이하의 실시예에 있어서, 광선 투과율은, JIS K 7361 로 규정되는 전광선 투과율의 시험 방법에 의해 구하였다.

실시예 1

옐로우 필름 (린텍 주식회사 제조 루미쿨 1905, 막두께 80 ㎛) 을 2 장 겹쳐, 3 변을 히트 프레스함으로써, 자루 형상의 포장체를 얻었다.

얻어진 자루 형상의 포장체 안에, 상품명 및 로트 번호가 기재된 라벨이 첩부된 포토레지스트 조성물이 충전된 유리제 갈색 갤런병을 넣었다. 포장체의 외측으로부터, 상품명 및 로트 번호를 육안에 의해 판독할 수 있었다.

사용한 옐로우 필름이 첩합된 유리의 광선 투과율을 자외 가시 분광 광도계에 의해 측정한 결과, 280 nm ∼ 500 nm 에 있어서의 최대 투과율은 1% 였다.

실시예 2

상기 실시예 1 과 동일하게 하여, 옐로우 필름을 사용하여, 자루 형상의 포장체를 얻었다. 사용한 필름의 광선 투과율을 도 1 에 나타냈다.

라벨이 첩부된 다갈색의 유리제 갤런병에, 노볼락 수지, 감광제, 용제 등을 함유하는 포지티브형 포토레지스트 조성물을 충전하여, 밀봉하였다. 얻어진 포토레지스트 조성물이 충전된 용기를, 상기에서 얻은 자루 형상의 포장체로 포장하고, 포장체의 개구부를, 수지 필름으로 피복된 철사로 묶어, 본 발명의 포장체로 포장된 포토레지스트 조성물이 충전된 용기를 얻었다. 포장을 벗기지 않고, 용기에 첨부된 라벨을 육안으로 확인할 수 있었다. 또, 포장을 벗기지 않고, 적외선을 사용한 바코드 리더에 의해 라벨 상에 인쇄된 바코드를 판독할 수 있어, 용기에 충전된 포토레지스트 조성물에 관한 정보를 취득할 수 있었다.

상기와 동일한 포토레지스트 조성물을 다른 다갈색의 유리제 갤런병에 충전하여, 흑색의 자루체로 포장하였다.

본 발명의 포장체로 포장된 포토레지스트 조성물이 충전된 용기와 흑색 자루체로 포장된 포토레지스트 조성물이 충전된 용기를, 23 ℃, 형광등 조사하에서 보존하였다. 보존 개시 후, 1 주일마다, 각각의 용기로부터, 소정량의 포토레지스트 조성물을 채취하고, 점도를, 캐논 펜스케 점도계를 사용하여 25 ℃ 에서 측정하였다. 흑색 자루체로 포장된 포토레지스트 조성물이 충전된 용기로부터 채취한 포토레지스트 조성물의 점도에 대한 본 발명의 포장체로 포장된 포토레지스트 조성물이 충전된 용기로부터 채취된 포토레지스트 조성물의 점도의 비를 산출한 결과, 당해 비는 거의 1 로, 점도의 시간 경과적 변화에 차이가 없는 것을 알 수 있었다. 결과를 도 2 에 나타낸다.

또, 채취한 포토레지스트 조성물을, 헥사메틸디실라잔으로 처리한 실리콘 웨이퍼 상에, 건조 후의 막두께가 3.9 ㎛ 가 되도록 스핀 코트하고, 계속해서, 핫 플레이트 상에서 프리베이크하였다. 레지스트막이 형성된 각각의 웨이퍼에, 365 nm (i 선) 를 노광 광원으로 하는 축소 투영 노광기〔(주) 니콘 제조 "NSR-1755i7A", NA=0.50, σ=0.5〕를 사용하여, 노광량을 단계적으로 변화시켜 라인 앤드 스페이스 패턴을 노광하였다.

노광 후, 핫 플레이트 상에서 포스트 익스포져 베이크를 실시하고, 다시 2.38% 수산화테트라메틸암모늄 수용액으로 현상을 실시하여, 라인 앤드 스페이스 패턴을 얻었다.

감도를, 50 ㎛ 의 1 : 1 라인 앤드 스페이스 패턴의 스페이스부의 막두께가 0 이 되는 노광량으로 나타냈다.

흑색 자루체로 포장된 포토레지스트 조성물이 충전된 용기로부터 채취한 포토레지스트 조성물의 감도에 대한 본 발명의 포장체로 포장된 포토레지스트 조성물이 충전된 용기로부터 채취된 포토레지스트 조성물의 감도의 비를 산출한 결과, 당해 비는 거의 1 로, 감도의 시간 경과적 변화에 차이가 없는 것을 알 수 있었다.

결과를 도 3 에 나타낸다.

실시예 3

상기 실시예 1 과 동일하게 하여, 막두께가 상이한 옐로우 필름을 사용하여, 자루 형상의 포장체를 얻었다. 사용한 필름의 광선 투과율을 도 4 에 나타냈다.

라벨이 첩부된 다갈색의 유리제 갤런병을, 상기에서 얻은 자루 형상의 포장체로 포장하였다. 포장을 벗기지 않고, 용기에 첨부된 라벨을 육안으로 확인할 수 있었다. 또, 포장을 벗기지 않고, 적외선을 사용한 바코드 리더에 의해, 라벨 상에 인쇄된 바코드를 판독할 수 있었다.

산업상 이용가능성

본 발명의 감광성 조성물이 충전된 용기를 포장하기 위한 포장체를 사용함으로써, 포장을 벗기지 않고, 포장된 감광성 조성물이 충전된 용기나 그 라벨을 육안 등에 의해 확인할 수 있기 때문에, 감광성 조성물 제조 공장이나 반도체 제조 공장 등에 있어서, 감광성 조성물이 충전된 용기를 보다 효율적으로 관리할 수 있다.

Claims

200 nm ∼ 500 nm 의 파장 영역에 있어서의 광선 투과율이 5% 이하이고, 620 ∼ 940 nm 의 파장 영역에 있어서의 광선 투과율이 10% 이상인 필름으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 감광성 조성물이 충전된 용기를 포장하기 위한 포장체.
제 1 항에 있어서,
620 ∼ 940 nm 의 파장 영역에 있어서의 광선 투과율이 30% 이상인 포장체.
제 1 항에 있어서,
620 ∼ 940 nm 의 파장 영역에 있어서의 광선 투과율이 50% 이상인 포장체.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
필름이 투명 수지와 황색 염료를 함유하는 필름인 포장체.
제 4 항에 있어서,
필름이 추가로, 자외선 흡수제를 함유하는 포장체.
제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
자루 형상의 포장체인 포장체.
제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 기재된 포장체로 포장된 감광성 조성물이 충전된 용기.
제 7 항에 있어서,
감광성 조성물이 충전된 용기의 외표면에, 충전된 감광성 조성물에 관한 정보가 기재된 라벨이 첩부되어 있는 포장된 감광성 조성물이 충전된 용기.
제 8 항에 있어서,
충전된 감광성 조성물에 관한 정보가 바코드인 포장된 감광성 조성물이 충전된 용기.
감광성 조성물이 충전된 용기를 포장하기 위한, 200 nm ∼ 500 nm 의 파장 영역에 있어서의 광선 투과율이 5% 이하이고, 620 ∼ 940 nm 의 파장 영역에 있어서의 광선 투과율이 10% 이상인 필름으로 이루어지는 포장체의 사용.
200 nm ∼ 500 nm 의 파장 영역에 있어서의 광선 투과율이 5% 이하이고, 620 ∼ 940 nm 의 파장 영역에 있어서의 광선 투과율이 10% 이상인 필름으로, 감광성 조성물이 충전된 용기를 포장하는 것을 특징으로 하는 감광성 조성물이 충전된 용기의 포장 방법.
감광성 조성물이 충전된 용기를, 200 nm ∼ 500 nm 의 파장 영역에 있어서의 광선 투과율이 5% 이하이고, 620 ∼ 940 nm 의 파장 영역에 있어서의 광선 투과율이 10% 이상인 필름으로 이루어지는 포장체로 포장하고, 포장된 상기 용기를 보존하는 것을 특징으로 하는 감광성 조성물의 보존 방법.