JPS61126548A - 感光性材料用内部可視型容器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野〕 本発明は、例えばフォトレジストｉを形成したフォトマ
スク基４Ｈ，Ｈしくはシリコーンウェハー等の感光性材
料を収納するための容器に関するものである。

〔従来の技術〕

一般にフォトレジスト層を形成する前の基板あるいは露
光処理を経た非感光性基板を収納するためには、透明樹
脂より成る容器、あるいは外観性の点から適宜に着色し
た透明樹脂より成る容器が用いられている。しかしなが
らフォトレジスト層を形成した感光性１＆板を収納する
ために上述の如き透明樹脂より成る容器を用いると、容
器の壁を通して光線が中に入ワて感光性基板が感光して
しまう、このため、感光性基板用の容器は、不透明な材
料、例えばカーボンブランクをｒｒＡＨした、ポリエチ
レン、ポリプロピレン、ポリスチレン、強化ポリスチレ
ン、ＡＢＳ樹脂等より成る容器が用いられている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、上述のように、感光性基板等の感光性材
料を収納するための容器を不透明な容器ナオ料により構
成せしめると、当然のことながら内部を目視することが
不可能となる。然るに、感光性材料の収納状芯を外部か
ら目視し得ることの要請は、取扱いの面からも非常に重
要なことであって、例えば輸出の場合には内部をチェッ
クすることが必要になるが、外部から目視できない場合
には容器を開かざるを得す、この際感光性材料が感光し
てしまうおそれが大きい。

またを光性材料を収納する容器が静電気を帯びると、そ
の引力によってゴミやホコリが付着するため収納した感
光性材料が汚染されるおそれがあるのみならず、帯電が
激しいときは放電が生じてそのスパークにより感光性材
料が感光してしまう事故も生ずる。

本発明は、内部を目視することが可能であってしかもを
光性材料を損うことなく安定に収納することのできる感
光性材料用内部可視型容器を提供するものである。

こ問題点を解決するための手段〕 未発明容器は、光線吸収剤を含有する制電性樹脂より成
り、全光線透過率が４０％以上であり、かつ２００〜４
６０Ｉｍの波長域のすべての波長の光線を９９％以上遮
断する容器用材料によって構成されることを特徴とする
。即ち、本発明においては、フォトレジスト層が形成さ
れた基板その他の感光性材戸を収納するための容器を、
光１３適性について特定の特性を有する訓電性樹脂より
成る容器材料によって構成し、これによって感光性材料
の収納に問題を伴わず、しかもそのまま内部を目視する
ことが可能となる。

以下本発明を具体的に説明する。

本発明においては、１ｉｌＩｉｔ性を存する樹脂中に適
当な光線吸収剤を含をさせろことにより、全光線透過率
が４０％以上であってかつ２００〜４６０１−の波長域
におけるすべての波長の光線を照射したときにその９９
％以上が透過を阻止される特性の容器用材料により、例
えばフォトレジスト層を形成した基板、その他の感光性
材料を収納するための容器を構成する。容器の全部が前
記容器用材料によって形成されていることが好ましいが
、一部は他の遮光性容器用材料によって容器が形成され
ていてもよい。

以上において、全光線透過率とは、例えばＪＴＳに６７
１７の規定に準して測定される値をいう、この全光線透
過率は４０％以上であればよいが５０％以上であること
が好ましい。

また光線吸収剤を通宜含育させることにより、少なくと
も２００〜４６０Ｉｍの波長域のすべての波長の光線が
９９％以上遮断されることが必要であり、更にこの９９
％以上遮断される波長域は２００〜５６０Ｉであること
が好ましい、このような特性は、樹脂の吸収スペクトル
を考慮して選ばれるｌｆｌまたは２櫂以上の光線吸収剤
を組合せて用いることによって得ることができる。

更に樹脂の制電性は、体積電気抵抗率が５ＸＩＯ１３Ω
・値以下であればよく、特に５Ｘ１０”Ω・１以下であ
ることが望ましい。

以上の条件が満足されるのであれば当該容器用材料によ
って形成される容器壁の厚さは任意であるが、通常は２
０μ〜ＩＯａｍの範囲である。

本発明容器の材料を組成する訓電性樹脂として好ましい
ものは、アルキレンオキサイド基とエチレン系不飽和結
合を臂する単量体を構成成分として含むゴム幹重合体に
、１種以上のエチレン系不飽和単量体をグラフト共重合
して得られるグラフト共重合体を含有する樹脂である。

このグラフト共重合体を得るためのゴム幹重合体は、共
役ジエン及びアクリル酸エステルから選ばれた１種以上
の単量体５０〜９０重量％と、４〜５００個のアルキレ
ンオキサイド基とエチレン系不飽和結合を有する単量体
（以下「ポリアルキレンオキサイド４１体」という、）
１０〜５１１％及び必要により１種以上の共重合可能な
エチレン系不飽和単量体０〜５０重量％とから得られる
ゴム状の共重合体が好ましい。

上述のゴム幹重合体は共役ジエン及びアクリル酸エステ
ルから選ばれた１種以上の単量体を主成分とする。共役
ジエンとしては１，３−ブタジェン、イソプレン、クロ
ロブレン、ｌ、３−ペンタジェンが用いられ、またアク
リル酸エステルとしてはアクリル酸エチル、アクリル酸
プロピル、アクリル酸ブチル、アクリル酸ヘキシル、ア
クリル酸オクチル、アクリル酸ノニルなどが用いられる
。

共役ジエンとアクリル酸エステルは輩独又は合計量がゴ
ム幹重合体の５０重量％以上となる割合で用いることに
より、ゴム幹重合体のガラス転移温度を充分に低くする
ことができ太きな制電効果が得られる。またこの割合が
９０重量％以下でないときはポリアルキレンオキサイド
単量体の添加量が少な（なるため所要の制電効果が得ら
れなくなる場合がある。

ポリアルキレンすキサイド車量体は、エチレン不飽和基
に結合し、式 で表わされるアルキレンオキサイド８頁を持つもの（こ
こでＲｚ、Ｒｓは水素又は炭素数１〜４のアルキル基で
互に同しか又は異なる基；　ｍ、ｎは４≦ｍａｎ≦５０
０を満す整数）であり、特にＲｔ、Ｒｓの少なくとも一
方がＨであるエチレンオキサイド基を４個以上含有する
エチレンオキサイドブロックを有するものが好ましい。

またポリアルキレンオキサイド華量体としては次に示す
構造式（２）または（３）で表わされる１種以上の単量
体が好ましい。

・・・（２） 式中Ｒ＋は水素又は炭素数１〜４アルキル基、Ｘは水素
、炭素数１〜９のアルキル基、フェニル基。

ＳＯｓＭｅ＋　ＳＯｔＭ！！＋　ＰＯ３Ｎｅｔ、　ＣＩ
Ｃｌ１ＩＣＩｌＣＯＯ。

Ｒ１ であって、Ｒ，、Ｒｓ、Ｒ＆は水素又は炭素数１〜９の
アルキル基、Ｍｅは水素、　Ｎａ、　Ｌｉ又はＫを表わ
し、Ｒｓ、Ｒｓならびにｍ、ｎは式（１）におけると同
一の意味を表わす。

・−（３） 式中２は水素、炭素数１〜４０のアルキル基、炭素数３
〜６のシクロアルキル基、フェニル基、又はであって、
ｐ、ｑは４≦ｐ＋ｑ≦５００を満たす整数を表わす。

上述したように式（２）１式（３）で表わされる単量体
の中でもＲ□＋　Ｒ３の少なくとも一方がＨであり、４
個以上のエチレンオキサイド基を有するものが特に好ま
しく用いられる。

もちろん式（２）あるいは式（３）で表わされる単量体
以外のもので、エチレン系不飽和結合とポリアルキレン
オキサイド基を有しかつ共役ジエン又は／およびアクリ
ル酸との共重合により得られるゴム幹重合体の体積電気
砥抗率を下げ得る墓同体の使用も可能である。

ポリアルキレンオキサイド単量体は、アルキレンオキサ
イド基が４〜５００個含育されるものが好ましく、６〜
５０個、特に９〜５０個である場合にはより好ましい、
゛アルキレンオキサイド基の数が４より少ない場合には
十分を制電性が得られにくく、また５００より多い場合
には重合する際に水又は七ツマ−に７８Ｍしにくく、ま
た重合性も悪くなるので好ましくない。

また、ポリアルキレンオキサイド単量体はゴム幹重合体
に１０重量％以上含まれることが好ましく、これにより
充分な制電性が得られる。またこの割合が５０重量％以
下であると、ゴム幹重合体の形成あるいはグラフト共重
合における重合及び得られた重合体の酸析、塩析等の後
処理が容易である点で好ましい。

ゴム幹重合体の製造に必要に応じて用いられる共役ジエ
ン又はアクリル酸エステルと共重合可能なエチレン系不
飽和４１１体としては公知の単量体を用いることができ
る。

例えばアクリル酸アルキルエステル、メククリル酸アル
キルエステル、アクリル酸、メタクリル酸、アクリルア
ミド、メタクリルアミド、酢酸ビニル、不飽和ニトリル
、芳香族ビニル、アルキルビニルエーテル、アルキルビ
ニルケトン、２−ヒドロキンエチル（メタ）アクリル酸
エステル、ダイア七トンアクリルアミド、塩化ビニル、
塩化ヒニリデン、イタコン酸、イタコン酸アルキルエス
テｌし、イソブチン、２−アシッドホスフォキンエチル
メタクリレート、３−クロロ−２−アシッドホスフォキ
ンプロピルメタクリレート、スチレンスルフオン酸ソー
ダ等の１種以上の単量体を用いることができる。

上記共重合可能なエチレン系不飽和単量体としてアクリ
ロニトリルのように極性の大きな単量体、あるいはスル
ホン酸基、リン酸基、カルボンｆＩｌｉ等のようなアニ
オン性置換基を含む単量体を選ぶと更に良好な訓電性が
得られる。

これら共重合可能なエチレン系不飽和単量体はゴム幹重
合体のうち５０重重量板下の範囲で用いられる。このｉ
ａａを越えるとガラス転移温度が高くなりゴム状特性が
失われる。

またゴム幹重合体には必要により架ＶＲ荊として例えば
ビニル基、１．３−プタノエニル蟇、アクリル基、メタ
クリル基、アリル基等のエチレン性不飽和基の１種以上
を２個以上有する多官能性単量体を使用することもでき
る。特に４〜５００個好ましくは９〜５０個のポリアル
キレングリコール基を更に有する多官能性単量体は架橋
剤として作用するほか制電性付与荊としても作用するの
で好ましい。

かかるゴム幹重合体にグラフト共重合させるためのエチ
レン系不飽和単量体としては公知の単量体を用いること
ができる０例えばアクリル酸アルキルエステル、メタク
リル酸アルキルエステル、アクリル酸、メタクリル酸、
アクリルアミド、メタクリルアミド、酢酸ビニル、不ｉ
！［ＩＣｉＣミニトリル香族ビニル、共役ジエン、アル
キルビニルエーテル、アルキルビニルケトン、２−ヒド
ロキシエチル（メタ）アクリル酸エステル、（アルコキ
シ）ポリエチレングリコール（メタ）アクリル酸エステ
ル、ダイア七トンアクリルアミド、塩化ビニル、塩化ビ
ニリデン、イタコン酸、イタコン酸アルキルエステル、
イソブチン等の１種以上の単量体を用いることができる
。

グラフト共重合体中のゴム幹重合体と共重合体の割合は
、前者が５〜９５重量％、好ましくは８〜８４１％、後
者が５〜９５重量％、好ましくは２０〜９２重量％の範
囲とされる。ゴム幹重合体が５重量％より少ない時は１
ｌＩＩｔ性を付与することが困難となる。

本発明容器を構成する′ｌ１ＩＩｔ性樹脂は、上述のグ
ラフト共重合体またはこれと他の熱可塑性樹脂との混合
樹脂であることが好ましい、上記グラフト共重合体が他
の熱可塑性樹脂と混合されろ場合においては、当該グラ
フト共重合体の含有割合は７重量％以上であることが肝
要である。

グラフト共重合体とともに用いられる熱可塑性樹脂とし
ては、例えばポリエチレン、ポリエチレン、ポリ塩化ビ
ニル、ニトリル樹脂、ポリメチルメタクリレート及びそ
の共重合体、アクリロニトリル−スチレン−ブタジェン
樹脂、アクリロニトリル−スチレン樹脂、ポリアミド系
樹脂、ポリエステル樹脂、フン素糸樹脂等が使用される
が勿論グラフト共重合体と相溶性がよい樹脂であればこ
れ以外の熱可塑性樹脂を使用することもできる。

そして更にアニオン系若しくはノニオン系のに北側を併
用することにより、一層優れたＩＩＩｔ性樹脂全樹脂こ
とができる場合がある。

本発明においては、光線吸収剤として２００〜４６０１
１＠好ましくは２００〜５６０ｎｍの波長域において光
線を吸収する能力を育する染料、顔料若しくは紫外線吸
収側のうちから選んだものを単独で或いは複数のものを
組合わせて使用することができる。特に、異なる波長吸
収能をもつものを組合わせて使用することが好ましいこ
とが多い、これらの染料もしくは顔料としては、例えば
アゾ系、イソインドリノン系、アンスラキノン系、ノオ
キサジン系、フタロノアニン系、ペリレン系、イソイン
トリジ系、キナクリドン系、ペリノン系、キノフタロン
系等のものが用いられ、紫外線吸収側としてはベンゾト
リアゾール系、ベンゾフェノン系等のものが用いられる
、そして、感光性基板用容器として用いられるものは、
使用に先立って１．１．２−　トリクロロ−１，２，２
−トリフルオロエタン（フレオン１１３）等により内部
等洗浄することがしばしば行なわれるが、このことを考
慮すると、洗浄液に非熔解性の＃Ｊｌ料を使用すること
が好ましい、この場合における顔料の粒径は、透明性を
確保する観点からＯ，ＯＳ〜０．２μの範囲にあること
が好ましい。

光線吸収網は通常制電性樹脂１００Ｅ１１部に対して０
．０１〜１０重量部、好ましくは０．０２〜２重量部の
割合で用いられる。

本発明容器は、上述の如き樹脂組成物を用い、射出成形
法、押出成形法、圧縮成形法あるいは真空成形法等の通
常の成形加工方法を通用して、規定の特性を育するよう
に容器に成形することにより製造することができる。具
体的な容器の形状及び容器壁の厚さは特に規定されるも
のではなく、既述の条件が充足される限りいかなる形状
、厚さであってもよい、容器壁の厚さは大きい方が機械
的強度が大きくなるが、薄物により容器を製造すること
も可能である０例えば板、ノートから成形して容器とし
てもよいし、袋状でも容器として使用でき、ンート体の
場合には、これと適宜の基材層との積層体を作り、これ
によって容器を構成せしめてもよい。

〔発明の効果〕

本発明容器は以上のようｆｔｔＲ成であるから、容器用
材料の材質それ自体がｉ！１ＩＩｔ性ををしているので
、ゴミやホコリが付着することが防止されて収納された
感光性材料を汚損するおそれがなく、また静電気の放電
スパークが生ずることがな（て感光性材料が期せずして
感光してしまうことがない。

また波長２００〜４６０ｎｍ若しくは２００〜５６０ロ
鵬の光の９９％が遮断されるので、通常電子線若しくは
紫外線に対して高い感度を示すフォトレジスト層が形成
された基板等を収納したときにも感光してしまうことが
な（、しかも４０％以上の全光＆ｌＩ這遇率を育してい
るので、その部分から容器内を目視することができる。

更に、前記樹脂の訓電性は、樹脂そのものの特性であっ
て後から付加された物による性能ではないので、１１１
！電性が経時的に変化するようなことはなく、上述の効
果が安定して得られ、洗浄を行なうても特性が失われる
ことがない。

〔実施例〕

実施例１ 撹拌羽根付１０１ステンレススチール製オートクレーブ
に、 （イ）　１．３−ブタジェン　　　　　　　　　１２部
アクリル酸メチル　　　　　　　　　４部メトキシポリ
エチレングリコールメタクリレート（エチレンオキサイ
ド基の数が平均約２３個）　　　　　　　　　　　　　
　４部ジイソプロピルベンゼンハイドロパーオキサイド
　　　　　　　　　　　　０．０４部ホルムアルデヒド
ナトリウムスルホキシレー　）　　　　　　　　　　　
　　　　０．０２部硫Ｍ第１鉄・７水塩　　　　　ｏ、
ｏｏｏｓ部エチジエチレンジアミンテトラ酢酸トリウム
塩　　　　　　　　　　　０．００１２部ピロリン酸ナ
トリウム　　　　　　０．０１部ドテシルベンゼンスル
ホン酸ナトリウム０．２部 脱イオン水　　　　　　　　　　　６０部からなる水溶
液を水酸化ナトリウム水溶液でＧＩＨ７に！ｊｉ整して
仕込み、充分に窒素置換し、４０℃で２０時間撹拌した
ところ、収率９９％４で平均粒子径０．０８μのゴムラ
テックスが得られた。

Ｃ口）上記ゴムラテックス４０部（ゴム幹重合体として
は１０部）に、 メタクリル酸メチル　　　　　　　８０部ノルマルオク
チルメルカプタン　０．６４部過硫酸カリウム　　　　
　　　　０．０６４部亜硫酸水素ナトリウム　　　　　
０．０１６部ドデシルベンゼンスルホン ０、８部 脱イオン水　　　　　　　　　　２４０部を添加し、窒
素ｙｌ換し、５０℃で２０時間撹拌し、グラフト共重合
したラテックスを取出し、硫酸アルミニウム水溶液で析
出させ、ピクリン酸ナトリウム水１容液でｐｌ＋７に調
整し、脱水洗浄後５５℃で２４時間乾燥したところ、収
率９７％で白色粉末が得られた。このグラフト共重合体
粉末１００部にノオクチルコハク酸エステルスルホン酸
ナトリウムＯ，ＳＳを１０％水ｆＪ液として含浸させ充
分乾燥する。

このようにして得られた粉末１００部に、ジスアゾ系色
素ｒｓｕｓｉｔｏｎｅ　Ｆａｓｔ　Ｙｅｌｌｏｗ　ＨＲ
ＴＪ（住友化学社製）　　　　　　　　　　０．０３部
ベンゾフェノン系紫外線吸収剤ｒ　５ｅｅｓｏｒｂ１０
１ＳＪ　　（シプロ化成社製）　　　　　０．０５部を
添加して充分ブレンドした後、通常の押出機を用いてペ
レフトを作った。このベレフトを原料として通常の射出
成形機により、縦１００ｍａ、横１００１１、高さ５０
＠１、肉厚３ｓｍの箱型容器を作った。

この容器から縦５０−５横５０ｆｉ、肉厚３−鳳の板状
片を切り出して試験片とした。

この試験片について吸光スペクトルを測定した依果を第
１図に示す、また当該試験片について全光！ｉ！ｌ過率
Ｔ　ｔ　（９Ａ）及び曇価Ｈ（％）を測定し、更に試験
片を温度２３℃、相対４度２３９Ａの雰囲気下で１部間
保存した後、体積電気抵抗率をＪＩＳ　Ｋ　６９１１に
準して測定した。結果は第１表に示す通りである。

実施例２ 院拌羽根付１０ｇステンレススチール製オートクレーブ
に、 （イ）１．３−ブタジェン　　　　　　　　　２３部ア
クリル酸ブチル　　　　　　　　　２９部メトキシポリ
エチレングリコールメタクリレート（エチレンオキサイ
ド基の数が平均約２３個）　　　　　　　　　　　　　
　　１３　Ｅ６ジイソプロピルベンゼンハイドロパーオ
キサイド　　　　　　　　　　　　０．０４部ホルムア
ルデヒドナトリウムスルホキシレート　　　　　　　　
　　　　　　０．０１部硫酸第１鉄・７水塩　　　　　
０．０００８部エチレンジアミンテトラ酢酸・２ナトリ
ウム塩　　　　　　　　　　　　　０．００１５祁ビロ
リン酸ナトリウム　　　　　　０．０４部オレイン酸カ
リウム　（１５，５％水７容ｆＬ）１２．６部 脱イオン水　　　　　　　　　　２８０部からなる水溶
液を水酸化ナトリウム水溶液でｐＨ９，５に１ｍ１ｌｌ
て仕込み、充分にｉＩ素置換し、６０℃で１５時間攪拌
したところ、収率９５％で平均粒子径０．０９μのゴム
ラテフクスが得られた。

（ロ）上記ゴムラテックス３５フ、フ部（ゴム幹重合体
としては６５部）に、 メタクリル酸メチル　　　　　　　３５　ｉ！！ノルマ
ルオクチルメルカプタン　０．２８部ジイソプロピルベ
ンゼンハイドロパーオキサイド　　　　　　　　　　　
　０．０５部ホルムアルデヒドナトリウムスルホキシレ
ー）０．０１５部 オレイン酸カリウム　（１５，５％水溶液）６．８部 脱イオン水　　　　　　　　　　　３部を添加し、水酸
化ナトリウム水溶液でｐＨ９，５に調整したのちＭ素置
喚し、５０℃で１０時間ＶｉＬ拌し、グ、ラフト共重合
したラテックスを取出し、塩酸水を添加して析出させ、
水酸化ナトリウム水溶液でｐＨ６に！ｌｌ整し、脱水洗
浄後５５℃で１５時間乾燥したところ、収寡９７％で白
色粉末が得られた。

（ハ）上記グラフト共重合体４０部に、ビーズ状アクリ
ル樹脂「スミペックスＢ−ＭＨＪ　　（住友化学社製）
６０部 モノアゾレーキ系色素ｒｓｕｓｉｋａｐｒｉｎｔ　Ｒｅ
ｄＣｌｌｏ・２Ｊ　　　　　　　　Ｏ，０８部ベンゾフ
ェノン系系外外線吸収剤　５ｅｅｓｏｒｂ１０１ＳＪ　
　　　　　　　　Ｏ，０５部を添加し、実施例１と同様
にして容器を製造した。

これより同様の試験片を作り、同様の測定を行なった結
果を第２図及び第１表に示す。

実施例３ 実施例２におけると同様にして作ったグラフト共重合体
白色粉末　　　　　　４０部ビーズ状アクリル樹脂「ス
ミペックスＢ−ＭＨＧＪ（住友化学社製）６０部 ペリレン系色素「バ＾−０３−３３１１Ｊ（大日精化社
製）　　　　　　　　　０．１４部ｒｓｕｍｉｔｏｎｅ
　Ｆａｓｔ　Ｙｅｌｌｏｗ　ＨＲＴＪ　　Ｏ，０１５部
ジオクチルコハク酸エステルスルフオン酸ナトリウム　
　　　　　　　　　　１．０部以上の物質をヘンシェル
ミキサーで充分混合し、着色コンパウンドを作った。こ
の着色フンバウンドを押出成形機に投入し、通常の方法
によりペレットを作また。このときの溶融樹脂の温度は
約２５０℃であった。得られたベレットを原料とし通常
の射出成形機を用いて型締圧２００トンで縦？Ｏｎ、横
１３０關、高さ１４５＠Ｉ、肉厚３菅曽、の箱型容器を
作った。

この容器から実施例１におけると同様の試験片切り出し
、同様の測定を行なった結果を第３図及び第１表に示す
。

実施例４ 攪拌羽根付１０７ステンレススチール製オートクレーブ
に、 （イ）アクリル酸オクチル　　　　　　　　２２部スチ
レン　　　　　　　　　　　　３０部ポリエチレングリ
コールジメタクリレート１３部 エチレングリコ−ＪレジメタクＩＪレート０．６５部 ジイソプロピルベンゼンｌ＼イドロｌイーオキサイド　
　　　　　　　　　　　０．０４部ホルムアルデヒドナ
トリウムスｌレホキル−ト　　　　　　　　　　　　　
　　ｏ、ｏｔ　ｇ硫Ｍ第１鉄・７水塩　　　　　　ｏ、
ｏｏｔ部エチレンジアミンテトラ酢酸・２ナトＩＪウム
塩　　　　　　　　　　　ｏ、ｏｏｔｓ部ピロリン酸ナ
トリウム　　　　　　０．０４自５オレイン酸カリウム
（１５，５％水溶液）１２゜６部 脱イオン水　　　　　　　　　　２８０部からなる水溶
液を水酸化ナトリウム水溶液でｐＨ９，５に１１！！し
て仕込み、充分に窒素置換し、６０℃で１５時間攪拌し
たところ、収９９５％で平均粒子径０．０８５μのゴム
ラテックスが得られた。

（ロ）上記ゴムラテックス３５７．７部（ゴム＃重合体
としては６５部）に、 メタクリル酸メチル　　　　　　　　６部スチレン　　
　　　　　　　　　　　４部ジイソプロピルベンゼンハ
イドロパーオキサイド　　　　　　　　　　　　０．０
３部ホルムアルデヒドナトリウムスルホキシレー　）　
　　　　　　　　　　　　　　０．０３部オレイン酸カ
リウム（１５，５％水ｔｇ液）２部脱イオン水　　　　
　　　　　　　１部を添加し、水酸化ナトリウム水溶液
でｐＨ９，５に調整したのち窒素置換し、６０℃で５時
間撹拌、グラフト共重合したところ、収率９６％でグラ
フト共重合体が得られた。

（ハ）上記共重合体ラテックス３８０．３部（グラフト
共重合体としては７５部）に、 メタクリル酸メチル　　　　　　　２５部ノルマルオク
チルメルカプタン ジイソプロピルベンゼンハイドロパーオキサイド　　　
　　　　　　　　　０．０４部ホルムアルデヒドナトリ
ウムスルホキシレー　）　　　　　　　　　　　　　　
０．０１５部オレイン酸カリウム　（１５．５％水７８
１）４、８部 脱イオン水　　　　　　　　　　　２部を添加し、水酸
化ナトリウム水溶液でｐＨ　９．５に調整したの９Ｍ素
置換し、６０℃で５時間攪拌してグラフト共重合したラ
テックスを取出し、塩酸水を添加して析出させ、水酸化
ナトリウム水溶液でｐＨ６に調整し、脱水洗浄後５５℃
で１５時間乾燥したところ、収率９ｇ％で多段グラフト
共重合体の白色粉末が得られた。

（二）上記多段グラフト共重合体　　　　３５部ポリ塩
化ビニル（重合ｉ７００）　　　　６５部ｆｍスズ系熱
安定荊ｒＴＶｓ　Ｉ１４００Ｊ（日東化成社製）　　　
　　　　　　　４部ステアリン酸　　　　　　　　　　
０．４部ジオクチルコハク酸エステルスルフオン酸ナト
リウム　　　　　　　　　　　　１．５部ベンゾトリア
ゾール系紫外線吸収剤 ｒＡＬＮＰＪ　　（湘南化学工業社製）０．２部キナク
リドン系色素ｒＰＶ−Ｆａｓｔ　Ｒｅｄ　ＥＳＢ０２」
（ヘキストジ中パン社！！り　　０．１５部ノスアグ系
色素ｒＰＶ−Ｆａｓｔ　Ｙｅｌｌｏｗ　ＩＩＲ０２Ｊ（
ヘキストジ中パン社製）　　　　０．０４５部以上の物
質をヘンンエルミキサーにより最高温度９０℃、時間６
０分間で充分混合して着色コンパウンドを作った。この
着色コンパウンドを二軸押出成形機に投入し通常の方法
でベレットを作った。

このときの溶融樹脂の温度は２２０℃であった。このペ
レツトを原料とし、通常のＴ型ダイスを取り付けた押出
機で厚さ１．１＠＠のシートを押出した。

このときの樹脂温度は２００℃であった。このシートに
対し通常の真空成形法による浅絞り加工を施して縦１０
０菰１、横１００１、高さ２１１、肉厚１．０諷ｌのパ
レット状成形物を作り、このパレット状成形＠５２枚を
組合わせることにより怒光性基板収納容器を作った。こ
の容器から縦５０鱈、横５０酊の大きさの試験片を切出
し、この試験片について実施例１と同様の測定を行なっ
た。結果を第４図及び第１！Ｉに示す。

比較例１ ｒｓｕｓｉＬｏｎｓ　　Ｆａｓｔ　　Ｙｅｌｌｏｗ　　
）！ＲＴＪ　　　　　Ｏ，０３部ｒｓｅｅｓｏｒｂ　ｌ
０ＩＳＪ　　　　　　Ｏ，０５部の代りに ｒｓｕｍｉｔｏｎｅ　Ｆａｓｔ　Ｙｅｌｌｏｗ　ＨＲＴ
Ｊ　　Ｏ，０２部を用いた以外は実施例１と同様にして
容器を作り、試験片を作って同様の測定を行なうた。結
果を第５図及び第１表に示す、この例の容器用材料は光
線遮断性が充分ではないことが認められた。

比較例２ ｒｓｕｓｉｋａｐｒｉｎｔ　　Ｒ＠ｄ　　ＣａＯ・２Ｊ
　　　　　　　Ｏ，０８部ｒｓｓａｓｏｒｂ　ｌ０Ｉｓ
Ｊ　　　　　　Ｏ，０５部の代りに モノアゾ系色素「ｎ＾−０３−３３１２Ｊ（大日精化社
Ｉり　　　　　　　　　０．０５部を用いたこと以外は
実施例２と同様にして容器を作り、試験片を作って同様
の測定を行なった。ｖ５果を第６＠及び第１表に示す、
この例の容器用材料は透明性が著しく低（、内部を目視
することができない。

比較Ｎ５ ｒｓｕａｉｔｏｎｅ　Ｆａｓｔ　Ｙｅｌｌｏｗ　８９丁
」を除いたこと以外は実施例３と同様にして容器を作り
、試験片を作うて同様の測定を行なった。結果を第７図
及び第１表に示す、この例の容器用材料は光線遮断性が
不充分であることが認められた。

第１！！

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第７図はそれぞれ実施例及び比較例に係る容
器用材料の波長と光線遮断率との関係の概略を示すスペ
クトル図である。 韻＠狐ｆ％（− 只を駅斎静 友責 手続補正書（方式） 昭和６０年４月２４日 特許庁長官　　志　賀　　学　殿 １、事件の表示 昭和５９年特許願第２４７９７４号 ２、発明の名称 怒光性材料用内部可視型容器 ３、補正有する者 事件との関係　　特許出願人 住　所　　東京都中央区日本橋堀留町１丁巨９番１１号
名　称　　（１１０）呉羽化学工業株式会社４、代理人 昭和６０年３月２６日 ６、補正の対象 １）明細書全文 ’）　　１Ｆ７１ＦＦｉｆ４Ｆ７１ ７、補正の内容 １）願書に最初に添付した明細書の浄書・Ｍｌ＋祇のと
おり　（内容に変更なし） ２）願書に最初に添付した図面の浄書・号１１祇のとお
り　（内容に変更なし）

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）光線吸収剤を含有する制電性樹脂より成り、全光線
   透過率が４０％以上であり、かつ２００〜４６０ｎｍの
   波長域のすべての波長の光線を９９％以上遮断する容器
   用材料によって構成されることを特徴とする感光性材料
   用内部可視型容器。 ２）容器用材料は、すべての波長の光線を９９％以上遮
   断する波長域が２００〜５６０ｎｍである特許請求の範
   囲第１項記載の感光性材料用内部可視型容器。 ３）容器用材料は、アルキレンオキサイド基とエチレン
   系不飽和結合を有する単量体を構成成分として含むゴム
   幹重合体に、１種以上のエチレン系不飽和単量体をグラ
   フト共重合して得られるグラフト共重合体を含有するも
   のである特許請求の範囲第１項記載の感光性材料用内部
   可視型容器。