KR20110040965A - 외관 검사 장치 - Google Patents

외관 검사 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20110040965A
KR20110040965A KR1020117005023A KR20117005023A KR20110040965A KR 20110040965 A KR20110040965 A KR 20110040965A KR 1020117005023 A KR1020117005023 A KR 1020117005023A KR 20117005023 A KR20117005023 A KR 20117005023A KR 20110040965 A KR20110040965 A KR 20110040965A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
rgb
inspection
luminance
pixel
coordinate system
Prior art date
Application number
KR1020117005023A
Other languages
English (en)
Inventor
마사토시 사사이
Original Assignee
가부시키가이샤 메가 트레이드
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 가부시키가이샤 메가 트레이드 filed Critical 가부시키가이샤 메가 트레이드
Publication of KR20110040965A publication Critical patent/KR20110040965A/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
    • G01N21/95607—Inspecting patterns on the surface of objects using a comparative method
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/46—Measurement of colour; Colour measuring devices, e.g. colorimeters
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/46—Measurement of colour; Colour measuring devices, e.g. colorimeters
    • G01J3/463—Colour matching
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/0096—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry for measuring wires, electrical contacts or electronic systems
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
    • G06T7/00—Image analysis
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N2021/9513—Liquid crystal panels
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
    • G01N2021/95638—Inspecting patterns on the surface of objects for PCB's
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/9501—Semiconductor wafers

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Image Processing (AREA)
  • Image Analysis (AREA)

Abstract

[과제] 컬러 화상을 이용하여 검사 대상물의 형성 상태를 검사하는 경우에, 취득된 컬러 화상의 RGB에 대해 검사를 위한 문턱값을 최적인 값으로 설정하여 검사의 품질을 향상시킬 수 있도록 한다.
[해결 수단] 검사 대상물(11)을 검사하는 외관 검사 장치(1)에 있어서, 검사 대상물(11)로부터 컬러 화상을 취득하고, 당해 검사 대상물(11)의 검사 부분에 있어서 RGB 휘도 데이터를 취득하는 RGB 정보 취득 수단(3)과, 축방향을 휘도값으로 한 RGB 극좌표계에 있어서 각 검사 부분의 RGB 기준 휘도 데이터를 기억하는 기억 수단(5)과, 상기 RGB 정보 취득 수단(3)으로부터 취득된 각 검사 부분의 RGB 휘도 데이터와, 상기 기억 수단(5)에 기억된 RGB 극좌표계에 있어서 RGB 기준 휘도 데이터를 비교하고, RGB 기준 휘도 데이터 내에 검사 대상물(11)의 RGB 휘도 데이터가 포함되어 있는지의 여부에 의해 당해 검사 영역의 양부를 판정하는 판정 수단(8)을 구비하도록 한다.

Description

외관 검사 장치{VISUAL EXAMINATION APPARATUS}
본 발명은 검사 대상물로부터 컬러 화상을 취득하고, 그 검사 대상물의 양부(良否)를 검사하는 외관 검사 장치 및 그 검사 방법에 관한 것이며, 보다 상세하게는 컬러 화상의 RGB 휘도 데이터를 적정한 값으로 설정함으로써 고정밀도로 검사할 수 있도록 한 외관 검사 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 프린트 기판이나 반도체 웨이퍼, 액정 기판 등은 외관 검사 장치에 의해 그 형성 상태가 검사된다. 이와 같은 외관 검사 장치에 의해 검사 대상물을 검사하는 경우, 일반적으로, 카메라에 의해 그 표면의 화상을 취득하고, 그 취득된 화상으로부터 검사 대상물의 양부를 검사한다. 특히, 근래에는 이와 같은 검사를 행할 때에, 검사 대상물로부터 컬러 화상을 취득하고, 그 컬러 화상의 RGB 정보에 기초하여 검사를 행하도록 하고 있다(특허 문헌 1 ~ 특허 문헌 3 등).
이와 같은 외관 검사 장치에 있어서, 프린트 기판을 검사하는 경우의 일례에 대해 설명하면, 우선 프린트 기판을 검사하는 경우는, 프린트 기판으로부터 그 표면에 형성된 패드나 배선 패턴, 레지스트, 실크 등의 화상을 취득한다. 그리고 검사 대상물의 화상과 기준 화상을 위치 맞춤한 후, 검사 대상물이 있는 좌표 위치에 존재하는 화소에 대응하는 기준 화상의 화소를 찾아내고, 그 찾아낸 기준 화소의 허용 휘도폭 내에 검사 대상물의 화소의 휘도값이 들어가 있으면, 그 화소를 우량 화소라고 판단한다. 또, 반대로 허용 휘도폭 내에 들어가 있지 않으면 불량 화소라고 판단하고, 소정수 이상의 불량 화소가 인접하여 존재하고 있는 경우에, 그 프린트 기판을 불량품라고 판단한다(특허 문헌 4).
특허 문헌 1 : 일본 특개 2007-101415호 공보
특허 문헌 2 : 일본 특개 2006-78301호 공보
특허 문헌 3 : 일본 특개 2006-78300호 공보
특허 문헌 4 : 일본 특개 2007-309703호 공보
그렇지만 이와 같은 검사를 컬러 화상으로 검사하는 경우, 다음과 같은 문제를 일으킨다. 즉, 검사 대상물로부터 컬러 화상을 취득하고, 화소마다 RGB의 휘도 데이터를 검사하는 경우, RGB 각각의 기준 휘도폭 내에 그 검사 대상물의 화소가 포함되어 있는지의 여부를 판단하지만, 예를 들어, 레지스트 하층에 패턴이 존재하고 있는 경우는, 우량품이라고 해도 그 레지스트 두께의 불균일이나, 로트(lot)의 변경, 색의 조합 상태에 의해 미묘하게 RGB의 색조가 변화해 버리는 일이 있다. 특히 휘도 변화가 큰 경우는, 우량품이라고 해도 어두운 초록으로부터 밝은 초록까지의 휘도폭이 (R, G, B)=(20, 120, 60) ~ (40, 200, 150)의 범위에서 변화해 버리는 일이 있고, RGB 직교 좌표계에서 문턱값의 휘도폭을 20<R(Δx)<40, 120<G(Δy)<200, 60<B(Δz)<150으로 크게 설정해야 한다(도 9 참조). 그런데 이와 같이 문턱값의 휘도폭을 크게 설정하면, 본래 불량으로 판정해야 할 개소(箇所)를 불량으로 판정할 수 없게 될 가능성이 있다. 구체적으로, 예를 들어, 레지스트가 박리되어 패턴의 동(銅)이 노출되어 있는 불량 부분이 존재하고 있는 경우, 일반적으로, 그러한 부분은 얇은 레지스트로 덮여 있기 때문에 완전한 동색(銅色)이 아니라, 어렴풋이 붉은 빛을 띤 레지스트색(휘도값이 (R, G, B)=(35, 150, 80))으로 된다. 이 때문에, 기준 휘도 데이터의 휘도폭을 크게 하면, 도 9에 있어서 직방체의 영역이 커지고, 이 노출 부분의 휘도값은 이 기준 휘도 데이터의 휘도폭 내에 포함되어, 불량으로 판정할 수 없게 된다. 한편, 이 노출 부분을 불량으로 판정할 수 있도록 문턱값의 폭을 좁게 하면, 우량품인 것이 불량품으로 판정되어 버려, 그 후의 육안 검사에 노력이 드는 문제를 일으킨다.
그래서 본 발명은 상기 과제에 주목하여 이루어진 것으로, 컬러 화상을 이용하여 검사 대상물의 형성 상태를 검사하는 경우에, 취득된 컬러 화상의 RGB에 대해 검사를 위한 문턱값을 최적인 값으로 설정하여 검사의 품질을 향상시킬 수 있도록 한 외관 검사 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 상기 과제를 해결하기 위해, 검사 대상물로부터 취득된 화상에 기초하여 당해 검사 대상물의 형성 상태를 검사하는 외관 검사 장치에 있어서, 검사 대상물로부터 컬러 화상을 취득하고, 당해 검사 대상물의 검사 부분에 있어서 RGB 휘도 데이터를 취득하는 RGB 정보 취득 수단과; 축방향을 휘도값으로 한 RGB 극좌표계에서 각 검사 부분의 RGB 기준 휘도 데이터를 기억하는 기준 데이터 기억 수단과; 상기 RGB 정보 취득 수단으로부터 취득된 각 검사 부분의 RGB 휘도 데이터를 극좌표계의 휘도 데이터로 변환하는 변환 수단과; 당해 변환된 극좌표계의 휘도 데이터와 상기 기준 데이터 기억 수단에 기억된 RGB 극좌표계에 있어서 RGB 기준 휘도 데이터를 비교하고, RGB 기준 휘도 데이터 내에 검사 대상물의 RGB 휘도 데이터가 포함되어 있는지의 여부에 의해 당해 검사 영역의 양부를 판정하는 판정 수단을 마련하도록 한 것이다.
이와 같이 하면, 취득한 검사 영역에 있어서 RGB의 휘도값이 제품마다 크게 편차가 있다고 해도, 도 3에 나타내는 바와 같이, RGB의 휘도의 비율(색조)을 유지한 상태에서 전체적인 휘도만을 크게 설정할 수 있어, 휘도의 편차를 흡수하여 고정밀도로 검사할 수 있게 된다.
또, 이와 같은 발명에 있어서, 검사 대상물로부터 취득된 RGB 직교 좌표계의 휘도 데이터를 RGB 극좌표계로 변환시키는 변환 테이블을 기억하고, 당해 변환 테이블을 참조하여 상기 취득된 각 검사 영역의 RGB 좌표를 변환시킨다.
이와 같이 하면, 미리 준비된 변환 테이블을 참조하여 좌표를 변환하기 때문에, 검사할 때마다 좌표 변환의 연산을 할 필요가 없어, 검사 시에 있어서 처리 속도를 빨리 할 수 있다.
또한, RGB 기준 휘도 데이터를 설정하는 경우, 기준이 되는 검사 대상물의 인접하는 소정 화소수의 RGB 휘도 데이터를 포함하게 하도록 한다.
이와 같이 하면, 기준 데이터와 검사 대상물을 화소 단위로 위치 맞춤시키지 않아도 검사할 수 있고, 허보(虛報)를 줄여 검사할 수 있게 된다.
추가로, RGB의 휘도를 극좌표계의 휘도로 변환한 경우에, 1바이트에 들어가도록 휘도값을 압축 또는 확장시키도록 한다.
통상, 직교 좌표계에서, RGB의 휘도값은 「0 ~ 255」의 1바이트의 범위 내에 들어가지만, 이것을 극좌표계로 변환한 경우, 축방향으로부터의 각도 (θ, ρ)에 대해서는 0에서 2/π의 범위 내로 충분히 1바이트의 범위 내에 들어가고, 한편 원점으로부터의 거리(L)에 대해서는 0에서 255×3(1/2)의 범위 내로 1바이트를 넘어 버린다. 이 때문에, 축방향으로부터의 각도에 대해서는 (255×4/π) 배로 하고, 또 원점으로부터의 거리에 대해서는 1/3(1/2) 배로 축소한다. 이와 같이 하면, 1바이트의 범위 내에 넣어 데이터를 압축할 수 있다.
본 발명에서는, 검사 대상물로부터 취득된 화상에 기초하여 당해 검사 대상물의 형성 상태를 검사하는 외관 검사 장치에 있어서, 검사 대상물로부터 컬러 화상을 취득하고, 당해 검사 대상물의 검사 부분에 있어서 RGB 휘도 데이터를 취득하는 RGB 정보 취득 수단과; 축방향을 휘도값으로 한 RGB 극좌표계에서 각 검사 부분의 RGB 기준 휘도 데이터를 기억하는 기준 데이터 기억 수단과; 상기 RGB 정보 취득 수단으로부터 취득된 각 검사 부분의 RGB 휘도 데이터를 극좌표계의 휘도 데이터로 변환하는 변환 수단과; 당해 변환된 극좌표계의 휘도 데이터와 상기 기준 데이터 기억 수단에 기억된 RGB 극좌표계에 있어서 RGB 기준 휘도 데이터를 비교하고, RGB 기준 휘도 데이터 내에 검사 대상물의 RGB 휘도 데이터가 포함되어 있는지의 여부에 의해 당해 검사 영역의 양부를 판정하는 판정 수단을 마련하도록 했으므로, 취득한 검사 영역에 있어서 RGB의 휘도값은 제품마다 크게 편차가 있다고 해도, RGB의 휘도의 비율(색조)을 유지한 상태에서 전체적인 휘도만을 크게 설정할 수 있어, 휘도의 편차를 흡수하여 고정밀도로 검사할 수 있게 된다.
도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 있어서 검사 처리 방법의 개요를 나타내는 도면.
도 2는 동 형태에 있어서 외관 검사 장치의 기능 블록도.
도 3은 동 형태에 있어서 극좌표계의 RGB 휘도 기준 데이터를 나타내는 도면.
도 4는 동 형태에 있어서 전체 보정의 처리의 개요를 나타내는 도면.
도 5는 동 형태에 있어서 구형(矩形) 영역의 보정의 처리의 개요를 나타내는 도면.
도 6은 동 형태에 있어서 극좌표 변환 테이블을 나타내는 도면.
도 7은 동 형태에 있어서 기준 데이터의 생성 플로우를 나타내는 도면.
도 8은 동 형태에 있어서 검사 처리의 플로우를 나타내는 도면.
도 9는 종래예에 있어서 직교계의 RGB 휘도 기준 데이터를 나타내는 도면.
이하, 본 발명의 일 실시 형태에 대해 도면을 참조하면서 설명한다. 도 1은 본 실시 형태에 있어서 외관 검사의 처리 개요를 나타낸 것이고, 도 2는 그 외관 검사 장치(1)에 있어서 기능 블록도를 나타낸 것이다. 또, 도 3은 그 외관 검사 장치(1)에서 이용되는 RGB 휘도 기준 데이터를 나타낸 것이다.
이 실시 형태에 있어서 외관 검사 장치(1)는 프린트 기판이나 반도체 웨이퍼, 그 외 물품에 생긴 균열, 물품의 표면에 인쇄된 상태 등을 검사할 수 있도록 한 것이며, 이 실시 형태에서는 일례로서 프린트 기판의 형성 상태를 검사하는 경우에 대해 설명한다.
이 외관 검사 장치(1)는, 도 2의 기능 블록도에 나타내는 바와 같이, 일반적인 외관 검사 장치와 동일하게, 검사 대상물(11)로부터 표면 화상을 취득하는 촬상 수단(2)과, 이 촬상 수단(2)에 의해 취득된 화상으로부터 각 화소의 RGB 정보를 취득하는 RGB 정보 처리 수단과, 검사 대상물(11)의 화상과 기준 데이터인 화상을 위치 맞춤하는 보정 처리 수단(6)과, 이와 같이 위치 맞춤 보정된 검사 대상물(11)의 각 화소의 RGB 휘도 데이터를 이용하여 당해 화소의 양부를 판정하는 판정 수단(8)을 구비하여 이루어진다. 그리고 특징적으로, 검사 대상물(11)로부터 취득된 각 화상의 RGB 휘도 데이터를 극좌표계의 RGB 휘도 데이터로 변환하는 변환 수단(7)과, 당해 변환된 RGB 휘도 데이터와 미리 기억 수단(5)에 기억된 극좌표계의 RGB 휘도 기준 데이터를 비교하여 각 화소의 양부를 판정하고, 그 결과를 출력 수단(9)을 통하여 출력할 수 있도록 한 것이다. 이하, 이 외관 검사 장치(1)의 구체적 구성에 대해 상세하게 설명한다.
우선 촬상 수단(2)은 검사에 대해 필요한 기준 대상물(10)이나 검사 대상물(11)로부터 그 표면 화상을 취득하는 것에 의해, 컬러에 의해 그 표면 화상을 취득한다. 이 촬상 수단(2)은 경사 방향으로부터 광을 조사하고, 또한 상방에서 그 CCD 카메라 등에 의해 그 반사광을 취득한다. 이 때, 기준 대상물(10)이나 검사 대상물(11)에 대해 다른 각도 및 다른 색, 밝기를 이용하여 화상을 취득하고, 그 취득된 화상을 취사 선택하여 이용한다. 또한, 이 기준 대상물(10)은 검사 대상물(11)을 검사할 때에 기준이 되는 기준 데이터를 생성하기 위한 것으로, 육안 또는 다른 검사 장치 등에 의해 이미 우량품이라고 판정된 것을 일반적으로 이용한다.
기준 데이터 생성 수단(4)은 미리 준비된 기준 대상물(10)로부터 표면 화상을 취득하고, 그 기준 대상물(10)의 화상으로부터 기준 데이터를 생성한다. 이 생성되는 기준 데이터는 기준 대상물(10)의 전체 형상에 관한 데이터나, 그 내측의 복수 구형(矩形) 영역에 관한 데이터, 각 화소에 관한 데이터 등에 의해 구성된다. 이 중, 전체 형상에 관한 데이터로서는 프린트 기판의 종횡 길이 등에 관한 데이터, 또 구형 영역에 관한 데이터로서는 구형 영역 내의 패턴 화상 등의 데이터, 각 화소에 관한 데이터로서는 각 화소의 RGB 휘도나 허용 휘도폭 및 탐색 거리 등의 데이터 등이 이용된다. 여기서, 「허용 휘도폭」은 양부 판정이 되는 화소에 있어서 RGB 휘도의 폭을 나타내는 것이고, 예를 들어, 실크의 가장자리(緣), 패드의 가장자리, 배선 패턴의 가장자리 등과 같이 휘도 변화가 큰 부분에 대해서는 크게 설정되는 것이다. 또, 「탐색 거리」는 소정의 화소 위치를 중심으로 하여 기준 대상물(10)에 대응하는 화소가 존재하는지의 여부를 탐색하기 위한 거리를 나타내는 것으로서, 예를 들어, 실크의 가장자리, 패드의 가장자리, 배선 패턴의 가장자리 등과 같이 휘도 변화가 큰 부분에 있어서는 탐색 거리도 3 화소 내지 5 화소 등과 같이 크게 설정되는 것이다. 이러한 허용 휘도폭이나 탐색 거리는 자동적으로 설정되고, 미리 허용 휘도폭이나 탐색 거리의 상한값을 수동적으로 설정하고, 예를 들어, 도 1에 있어서는 극좌표로 표현된 허용 휘도폭을 ±Δθ, ±Δρ, ±ΔL로 설정하고, 탐색 거리를 3 화소 등으로 설정한다. 또한, 이 허용 휘도폭이나 탐색 거리에 대해서는 이러한 값으로 한정되는 것이 아니고, 수동적으로 설정해도 좋다.
도 3에, 이 기준 데이터의 개요를 나타낸다. 도 3은 각 화소의 양부를 판정할 때에 이용되는 기준 데이터를 나타낸 것이고, 각 축을 RGB의 휘도값으로 하여, 화살표의 방향을 향해 휘도값을 크게 설정하고 있다. 일반적으로, 이와 같은 RGB 직교 좌표계에서 기준 데이터를 설정하는 경우, 검사 대상물(11)의 레지스트의 불균일, 로트의 변경, 색의 조합 상태에 의해 미묘하게 RGB의 색조가 변화해 버린다. 특히, 제품에 의해 휘도 변화가 큰 경우는, 어두운 초록으로부터 밝은 초록까지의 휘도폭이 (R, G, B)=(20, 120, 60) ~ (40, 200, 150)의 범위에서 변화해 버리는 일이 있다. 이 때문에, RGB 직교 좌표계에서 기준 휘도 데이터를 설정하면, 휘도폭을 20<R<40, 120<G<200, 60<B<150과 같이 큰 눈금으로 설정해야 한다(도 9의 상태). 그런데 이와 같이 RGB 휘도 기준 데이터의 휘도폭을 크게 설정하면, 대부분의 화소가 기준 데이터의 범위 내에 포함되어 버리기 때문에, 실제로는 RGB 휘도값의 밸런스가 크게 달라 완전히 다른 색으로 보이는 것까지 기준 데이터의 범위 내에 포함되어 「양호」라고 판정되어 버린다. 보다 구체적으로, 레지스트가 박리되어 패턴의 동이 노출되고 있는 개소가 존재하고 있는 경우, 그 부분은 본래 「불량」이라고 판정되어야 되지만, 이 부분은 부분적으로 얇은 레지스트로 덮여 있기 때문에, 어렴풋이 붉은 빛을 띤 레지스트색(휘도값이 (R, G, B)=(35, 150, 80))으로 되는 일이 많다. 이 때문에, 이와 같은 부분을 RGB 직교 좌표계의 기준 데이터로 판정하면, 불량으로 판정할 수 없게 된다.
그래서 이 실시 형태에서는, 도 3에 나타내는 바와 같이, RGB 극좌표계의 공간에서 표현되는 RGB 휘도 기준 데이터를 이용한다. 이와 같은 좌표계를 이용하면, RGB 휘도값의 밸런스를 유지한 상태에서 휘도값이 전체적으로 작아진 경우에도, 그 화소를 양호 화소로 판정할 수 있다. 즉, 도 3에 나타내는 바와 같이, 휘도값이 (R, G, B)=(20, 120, 60) ~ (40, 200, 150)의 범위 내 화소를 판정하는 경우, 전체 RGB 휘도값의 밸런스를 유지하고 전체의 휘도값만 다른 화소를 양호 화소로 판정할 수 있다. 한편, (R, G, B)=(35, 150, 80) 등이라고 하는 휘도값 밸런스가 다른 화소, 즉 색조가 완전히 다른 화소를 불량 화소로 판정할 수 있게 된다. 또한, 이러한 화소의 RGB 휘도 기준 데이터를 생성하는 경우, 그 화소에 인접하는 화소의 RGB 휘도값도 포함되도록 설정한다. 그리고 이와 같이 설정된 RGB 휘도 기준 데이터를 기억 수단(5)에 격납한다.
보정 처리 수단(6)은 촬상 수단(2)에 의해 촬상된 검사 대상물(11)의 화상을, 기준 대상물(10)의 화상에 거의 일치시키기 위한 보정 처리를 행한다. 이 보정 처리에 있어서 전체 화상의 보정의 예를 도 4에 나타낸다. 도 4에 있어서, 사선이 그어진 실선 부분은 기준 대상물(10)을 나타내고, 파선은 검사 대상물(11)을 나타내고 있다. 도 4에 나타내는 바와 같이, 검사 대상물(11)이 기준 대상물(10)보다 작은 경우는(도 4(a)), 전체 형상을 δx, δy만큼 확대시키는 보정 처리를 행한다. 또, 검사 대상물(11)이 기준 대상물(10)보다 δθ만큼 회전하고 있는 경우는, 그 각도만큼 회전시키는 보정 처리를 행한다. 또, 검사 대상물(11)이 기준 대상물(10)에 대해 평행하게 어긋나 있는 경우는, 그 편차량분만큼 평행 이동 시키는 보정 처리를 행한다. 이러한 보정 처리는 예를 들어, 검사 대상물(11)이 스테이지 상의 정규 위치에 고정되어 있지 않은 경우나, 검사 대상물(11)의 치수 상에 오차가 존재하는 경우 등에 유효하게 된다.
다음에, 이 보정 처리의 다른 양태를 도 5에 나타낸다. 도 5(a)는 기준 대상물(10)이 있는 구형 영역의 예를 나타낸 것이고, 도 5(b)는 검사 대상물(11)의 동일한 위치에 있어서 구형 영역을 나타낸 것이다. 실제의 제품에서는, 도 5(b)에 나타내는 바와 같이, 검사 대상물(11)의 패드나 배선 패턴 등이, 기준 대상물(10)의 패드나 배선 패턴 등보다 소정 방향에 어긋나 있는 경우가 있다. 이와 같은 경우에, 검사 대상물(11)의 구형 영역 내 화상을 기준 대상물(10)에 거의 일치시키는 평행 이동의 보정 처리를 행한다. 이러한 보정 처리를 행하는 것에 의해, 검사 대상물(11)의 패드나 배선 패턴 등은 기준 대상물(10)의 패드나 배선 패턴 등과 거의 일치하게 되어, 별로 탐색 거리를 크게 하지 않아도 허용 휘도폭 내의 화소를 찾아낼 수 있다. 즉, 본래라면, 보정 전의 어긋난 화상의 대응하는 위치까지 탐색 거리를 넓혀서 화소를 찾아내야 하는 것을, 좁은 탐색 거리에서 대응하는 화소를 찾아낼 수 있게 된다. 그리고 이와 같이 탐색 거리를 좁히는 것에 의해, 무관계인 화소에서 우연히 휘도가 일치하는 것을 「대응하는 화소」라고 판정해 버리는 것을 방지할 수 있게 된다.
그리고 RGB 정보 취득 수단(3)은 이와 같이 보정 처리된 후의 검사 대상물(11)의 화상으로부터 각 화소의 RGB 휘도 데이터를 취득한다. 이 때, 취득된 RGB 휘도 데이터는 (R, G, B)=(0, 0, 0) ~ (255, 255, 255)의 범위 내에 포함되는 정보가 되지만, 이 직교 좌표계에서 표현된 좌표를 변환 수단(7)을 이용하여 RGB 극좌표계의 좌표로 변환한다.
변환 수단(7)을 이용하여 직교 좌표계를 극좌표계로 변환시키는 경우, 이 실시 형태에서는, 도 6에 나타내는 바와 같이, 미리 직교 좌표계의 값(x, y, z)을 극좌표계의 값(θ, ρ, L)의 값으로 변환시키는 변환 테이블을 준비하고, 이 변환 테이블을 참조하여 극좌표계의 RGB 휘도 데이터로 변환시킨다. 일반적으로, 직교 좌표와 극좌표의 관계는 다음과 같은 관계를 나타낸다.
Figure pct00001
단, x는 직교 좌표계에 있어서 R의 휘도값, y는 직교 좌표계에 있어서 G의 휘도값, z는 직교 좌표계에 있어서 B의 휘도값, θ는 극좌표계에 있어서 x축과 이루는 각도, ρ는 극좌표계에 있어서 z축과 이루는 각도, L은 극좌표계에 있어서 전체의 휘도값을 나타낸다.
그래서 이러한 관계를 역변환시키고, (x, y, z)의 값을 다음과 같은 극좌표계의 값으로 변환하고, 이러한 변환값을 변환 테이블로서 기억 수단(5)에 기억하게 한다.
Figure pct00002
그런데 이와 같이 직교 좌표계의 휘도값(0 ~ 255)을 극좌표계의 휘도값으로 변환한 경우, θ나 ρ에 대해서는 0
Figure pct00003
θ
Figure pct00004
π/2, 0
Figure pct00005
ρ
Figure pct00006
π/2로 되고, L에 대해서는 0
Figure pct00007
L
Figure pct00008
255×3(1/2)이 된다. 이 때문에, θ나 ρ에 대해서는 1바이트보다 작아지고, L에 대해서는 1바이트를 넘어 버린다. 그래서 θ나 ρ를, 정확하게 1바이트가 되도록 변환한 후의 휘도값을 255×2/π배로 하고, 또 L에 있어서는 정확하게 1바이트에 들어가도록 변환한 후의 휘도값을 1/3(1/2) 배로 압축한다.
판정 수단(8)은 기준 대상물(10)의 각 화소에 대응하는 화소가 검사 대상물(11)에 존재하는지의 여부를 판정하는 것이며, 다음에 나타내는 제1 화소 판정 수단(81)과 제2 화소 판정 수단(82)으로 이루어진 화소 판정 수단(80)과, 클러스터(cluster) 판정 수단(83)을 구비한다.
우선 제1 화소 판정 수단(81)은 기준 대상물(10)을 기준으로 하여, 그 기준 대상물(10)의 각 화소에 대응하는 검사 대상물(11)의 위치를 특정하고, 이 위치를 중심으로 하는 탐색 거리 내에, 그 화소의 휘도에 대한 허용 휘도폭 내의 화소가 존재하는지의 여부를 판정한다. 이 판정 시에는 탐색 거리 내에 RGB 휘도 기준 데이터의 허용 휘도폭 내의 화소가 하나라도 존재하는 경우는 「양호 화소」라고 판정하고, 반대로 탐색 거리 내에 허용 휘도폭 내의 화소가 전혀 존재하지 않는 경우는 「불량 화소」라고 판정한다. 통상, 보정 처리 수단(6)에 의해 기준 대상물(10)과 검사 대상물(11)을 완전하게 일치시킬 수 있으면, 기준 대상물(10)의 화소 위치에 대응하는 검사 대상물(11) 위치의 화소를 검사하면 좋다. 그렇지만 실제로는 광학적 편차나 기계적인 편차가 존재하기 때문에, 완전하게 일치시키는 것이 곤란하고, 또 분해능을 상승시킨 경우는 수 화소정도 어긋날 가능성이 있다. 이 때문에, 탐색 거리 내에 있어서 거의 휘도가 일치하는 것이 존재하면, 1차적 판단으로서 「양호 화소」라고 판정한다. 이 제1 화소 판정 수단(81)에 의한 판정 결과는 디스플레이 장치 등에 가시적(可視的)으로 표시되고, 예를 들어, 「불량 화소」라고 판정된 부분에는 기준 대상물(10)의 화상 상에 「×」표 등을 나타낸다.
제2 화소 판정 수단(82)은 이번에 반대로, 검사 대상물(11)을 기준으로 하여, 기준 대상물(10)의 위치를 중심으로 하는 탐색 거리 내에, 그 검사 대상물(11)의 화소의 휘도에 대한 허용 휘도폭 내의 화소가 존재하는지의 여부를 판정한다. 이 판정 시에도, 탐색 거리 내에 허용 휘도폭 내의 화소가 하나라도 존재하는 경우는 「양호 화소」라고 판정하고, 반대로 탐색 거리 내에 허용 휘도폭 내의 화소가 전혀 존재하지 않는 경우는 「불량 화소」라고 판정한다. 이 검사 대상물(11)을 기준으로 하여, 비교 처리를 행하는 경우, 전술한 보정 처리된 후의 검사 대상물(11)의 화상을 이용한다. 그리고 보정 처리된 후 검사 대상물(11)의 상기 위치(상기 제1 탐색 거리의 중심 위치)에 대응하는 기준 대상물(10)의 위치를 특정하고, 그 위치에 있어서 허용 휘도폭ㆍ탐색 거리를 기억 수단(5)으로부터 독출하고, 그 탐색 거리 내에 검사 대상물(11)의 그 위치의 휘도에 대한 허용 휘도폭 내의 화소가 기준 대상물(10) 상에 존재하는지의 여부를 판정한다. 이 경우, 본 발명과의 관계에 있어서, 제1 탐색 거리와 제2 탐색 거리는 일치하게 되어, 제1 허용 휘도폭과 제2 허용 휘도폭은 일치하게 된다. 통상, 보정 처리 수단(6)에 의해 기준 대상물(10)과 검사 대상물(11)을 완전하게 일치시킬 수 있으면, 기준 대상물(10)의 화소 위치에 대응하는 검사 대상물(11) 위치의 화소를 검사하면 좋다. 그렇지만 실제로는 광학적 편차나 기계적인 편차가 존재하기 때문에, 완전하게 일치시키는 것이 곤란하고, 또 분해능을 상승시킨 경우는 수 화소정도 어긋날 가능성이 있다. 이 때문에, 탐색 거리 내에 있어서 거의 휘도가 일치하는 것이 존재하고 있으면, 2차적 판단으로서 「양호 화소」라고 판정한다. 이 제2 판정 결과는 앞의 제1 판정 결과와 동일하게, 디스플레이 장치에 가시적으로 표시되고, 제1 화소 판정 수단(81)에 의한 판정 화상에 덮어쓰기하고, 「불량 화소」라고 판정된 부분에 「×」표 등을 나타낸다.
그리고 최종적으로, 화소 판정 수단(80)은 검사 대상물(11)의 탐색 거리 내에 허용 휘도폭 내의 화소가 하나라도 존재하는 것, 및 기준 대상물(10)의 탐색 거리 내에 허용 휘도폭 내의 화소가 하나라도 존재하는 것을 조건으로, 그 기준 대상물(10)의 위치에 존재하는 화소를 양호 화소로 판정한다. 또, 반대로, 검사 대상물(11)의 탐색 거리 내에 허용 휘도폭 내의 화소가 전혀 존재하지 않는 경우, 또는 기준 대상물(10)의 탐색 거리 내에 허용 휘도폭 내의 화소가 전혀 존재하지 않는 경우는, 그 기준 대상물(10)의 위치에 존재하는 화소를 불량 화소로 판정한다.
클러스터 판정 수단(83)은 이 화소 판정 수단(80)에 의해 「불량 화소」라고 판정된 기준 대상물(10)의 화소군의 크기에 기초하여, 그 검사 대상물(11)이 전체적으로 불량품인지의 여부를 판정한다. 이 양부의 판정은 「불량 화소」라고 판정된 화소가 인접하여 소정수 이상 존재하는 경우에, 불량품이라고 판정한다.
출력 수단(9)는 이 클러스터 판정 수단(83)에 의한 판정 결과를 알림 가능하게 출력한다. 그 때, 어느 부분이 불량의 클러스터인지를 이용자에게 알릴 필요가 있으므로, 클러스터 판정 수단(83)에 의해 불량 클러스터로 판정된 클러스터의 위치를 디스플레이 장치에 가시적으로 출력한다.
다음에, 이와 같이 구성된 외관 검사 장치(1)를 이용하여 검사 대상물(11)을 검사하는 방법에 대해 설명한다.
<기준 데이터의 생성 플로우>
우선 검사 대상물(11)을 검사할 때에 기준 데이터를 생성하는 경우의 플로차트를 도 7에 나타낸다. 기준 데이터를 생성하는 경우, 우선 미리 준비된 복수의 기준 대상물(10)로부터 각각의 화상을 취득한다(단계 S1). 그리고 소정 매수 이상의 기준 대상물(10)의 화상이 취입된 경우, 기준 대상물(10)마다 각각 전체 영역에 관한 데이터, 구형 영역에 관한 데이터, 화소에 관한 데이터를 생성하고(단계 S2), 복수의 기준 대상물(10)에 대해, 전체 영역에 관한 데이터의 평균값이나, 구형 영역에 관한 데이터의 평균값, 화소에 관한 RGB의 데이터의 평균값이나 표준 편차값을 연산한다(단계 S3). 그리고 다음에, 허용 휘도폭의 상한값이나 탐색 거리의 상한값을 수동적으로 입력한다(단계 S4). 또한, 이 입력은 이 단계가 아니라, 단계 S1의 전에 미리 입력해 두도록 해도 좋다.
그리고 단계 S3의 평균값이나 표준 편차값의 연산이 행해진 후, 표준 편차값이 큰 화소에 대해서는 먼저 입력된 허용 휘도폭의 상한값 및 탐색 거리의 상한값을 설정함과 아울러, 표준 편차값이 작은 화소에 대해서는 허용 휘도폭이나 탐색 거리를 작게 설정한다(단계 S5). 그리고 각 화소마다 RGB 극좌표로 RGB 휘도 기준 데이터를 생성하여, 기억 수단(5)에 격납한다(단계 S6).
<검사 대상물(11)의 검사 플로우>
다음에, 검사 대상물(11)을 검사하는 경우의 플로차트를 도 8에 나타낸다. 우선 검사 대상물(11)을 검사하는 경우, 그 검사 대상물(11)로부터 그 표면 화상을 취득한다(단계 T1). 이 촬상된 화상은 화상의 취득 방법에 따라서는 위치 어긋나 있을 가능성이 있어, 기억 수단(5)에 기억되어 있는 기준 대상물(10)의 화상 상태와는 다른 경우가 있다. 이 때문에, 화상 상태를 거의 일치시키기 위해 보정 처리를 행한다(단계 T2). 이 보정 처리 시에는 우선 전체 형상의 보정 처리를 행한다. 구체적으로, 검사 대상물(11) 상 코너의 3점을 추출하고, 그 3점으로부터 검사 대상물(11) 종횡의 길이, 회전 각도, 평행 이동 거리 등을 연산한다. 그리고 이러한 종횡 길이나 회전 각도, 평행 이동 거리 등에 기초하여, 검사 대상물(11)의 전체 화상을 기준 데이터의 전체 화상에 거의 일치시키는 보정 처리를 행한다.
다음에, 구형 영역의 보정 처리를 행한다. 이 구형 영역의 보정 처리를 행하는 경우, 기준 대상물(10)의 소정 구형 영역의 화상과 검사 대상물(11)의 대응하는 구형 영역의 화상이 거의 일치하도록 검사 대상물(11)의 화상을 평행 이동시킨다.
그리고 이러한 보정 처리가 종료된 후, 기준 대상물(10)의 위치에 존재하는 화소가 양호 화소인지의 여부를 판정한다. 이 판정 시에는 우선 기준 대상물(10)의 각 화소에 대한 위치, RGB 휘도, 허용 휘도폭, 탐색 거리를 기억 수단(5)으로부터 독출한다(단계 T3). 그리고 이 독출한 화소에 대응하는 검사 대상물(11)의 위치를 특정하고, 그 위치를 중심으로 하여, 그 탐색 거리 내에, RGB 극좌표계로 설정된 RGB 휘도 기준 데이터(허용 휘도폭) 내의 화소가 존재하는지의 여부를 판정한다(단계 T4). 이 RGB 극좌표계로 설정된 RGB 휘도 기준 데이터를 이용하는 경우, 검사 대상물(11)로부터 독출한 화소의 RGB 휘도 데이터를 변환 테이블을 참조하여 극좌표계로 변환하고, 그 극좌표계에 있어서 RGB 휘도 데이터를 비교한다. 그리고 제1 화소 판정 수단(81)에 의해, 탐색 거리 내에 허용 휘도폭 내의 화소가 하나도 존재하지 않는다고 판정된 경우는, 그 기준 대상물(10) 위치의 화소를 「불량 화소」라고 판정한다(단계 T8).
다음에, 이 제1 화소 판정이 종료된 후, 이번은 보정 처리된 후의 검사 대상물(11)의 화상을 기준으로 하여, 그 검사 대상물(11)의 위치에 대응하는 기준 대상물(10)의 위치를 중심으로 하는 탐색 거리 내에, RGB 극좌표로 설정된 RGB 휘도 기준 데이터(허용 휘도폭) 내의 화소가 존재하는지의 여부를 판정한다. 단, 검사 대상물(11)의 각 화소에 대해서는 허용 휘도폭이나 탐색 거리 등의 데이터를 기억하고 있지 않으므로, 그 검사 대상물(11)의 위치에 대응한 기준 대상물(10) 위치의 허용 휘도폭이나 탐색 거리를 이용한다.
구체적으로, 우선 그 검사 대상물(11)의 위치에 대응한 기준 대상물(10) 위치의 허용 휘도폭, 탐색 거리를 독출한다(단계 T5). 그리고 이 독출한 허용 휘도폭 및 탐색 거리에 기초하여, 대응하는 기준 대상물(10)의 위치를 중심으로 하여, 그 탐색 거리 내에, 극좌표계에서 표현된 검사 대상물(11)의 RGB 휘도 데이터에 대한 허용 휘도폭 내의 화소가 존재하는지의 여부를 판정한다(단계 T6). 이 때, 검사 대상물(11)로부터 취득된 RGB 휘도 데이터를 변환 테이블을 이용하여 극좌표계의 RGB 휘도 데이터로 변환하여 판정한다. 그리고 제2 화소 판정 수단(82)에 의해 탐색 거리 내에 허용 휘도폭 내의 휘도의 화소가 하나도 존재하지 않는다고 판정된 경우는, 그 기준 대상물(10) 위치의 화소를 「불량 화소」라고 판정한다(단계 T8).
한편, 단계 T4에서 「양호 화소」라고 판정되고, 또한 단계 T6에서 「양호 화소」라고 판정된 경우에, 그 기준 대상물(10)의 위치에 대한 화소를 「양호 화소」라고 판정한다(단계 T7).
그리고 모든 화소의 검사가 완료된 경우(단계 T9; 예), 다음에, 이 화소 판정 수단(80)에 의해 「불량 화소」라고 판정된 기준 대상물(10)의 화소 중에서, 인접하는 불량 화소의 수를 카운트하여, 소정수 이상의 불량 화소의 존재하는 경우(단계 T10), 이 검사 대상물(11)은 불량품이라는 취지의 출력을 행하고(단계 T11), 또한 모든 인접하는 불량 화소의 수가 소정수보다 작은 경우는, 우량품이라는 취지의 출력을 행한다(단계 T12).
이와 같이 상기 실시 형태에 의하면, 검사 대상물(11)로부터 취득된 화상에 기초하여 당해 검사 대상물(11)의 형성 상태를 검사하는 외관 검사 장치(1)에 있어서, 검사 대상물(11)로부터 컬러 화상을 취득하고, 당해 검사 대상물(11)의 검사 부분에 있어서 RGB 휘도 데이터를 취득하는 RGB 정보 취득 수단(3)과, 축방향을 휘도값으로 한 RGB 극좌표계에 있어서 각 검사 부분의 RGB 기준 휘도 데이터를 기억하는 기억 수단(5)과, 상기 RGB 정보 취득 수단(3)으로부터 취득된 각 검사 부분의 RGB 휘도 데이터와, 상기 기억 수단(5)에 기억된 RGB 극좌표계에 있어서 RGB 기준 휘도 데이터를 비교하고, RGB 기준 휘도 데이터 내에 검사 대상물(11)의 RGB 휘도 데이터가 포함되어 있는지의 여부에 의해 당해 검사 영역의 양부를 판정하는 판정 수단(8)을 구비하도록 했으므로, 취득한 검사 영역에 있어서 RGB의 휘도값이 제품마다 크게 편차가 있더라도, RGB의 밸런스를 유지한 상태에서 휘도만을 크게 설정할 수 있어, 휘도의 편차를 흡수하여 고품질에 검사할 수 있게 된다.
또, 검사 대상물(11)로부터 취득된 RGB 직교 좌표계의 휘도 데이터를 RGB 극좌표계로 변환시키는 변환 테이블을 기억하게 하고, 이 변환 테이블을 이용하여 상기 취득된 각 검사 영역의 RGB 좌표를 변환시키도록 했으므로, 각 화소를 검사할 때마다 좌표 변환을 위한 연산을 할 필요가 없어, 검사 시에 있어서 처리 속도를 빨리 할 수 있다.
또한, RGB 기준 휘도 데이터를 설정하는 경우, 기준이 되는 검사 대상물(11)의 인접하는 소정 화소수의 RGB 휘도 데이터를 포함하도록 했으므로, 기준 데이터와 검사 대상물(11)을 화소 단위로 위치 맞춤시키지 않아도 검사할 수 있고 허보를 줄여 검사할 수 있게 된다.
추가로, RGB의 휘도를 극좌표계의 휘도로 변환한 경우에, 1바이트에 들어가도록 휘도값을 압축 또는 확장시키도록 했으므로, 변환 후의 휘도값을 1바이트의 범위 내에 넣어 데이터를 압축할 수 있게 된다.
또한, 본 발명은 상기 실시 형태로 한정되는 일 없이, 여러 가지 양태로 실시할 수 있다.
예를 들어, 상기 실시 형태에서는 보정 처리 수단(6)을 이용하여 검사 대상물(11)의 화상을 보정 처리했지만, 기준 대상물(10)의 화상을 보정 처리하도록 해도 좋다. 또는 완전하게 위치 맞춤할 수 있는 경우는, 이와 같은 보정 처리를 행하지 않게 할 수도 있다.
또, 상기 실시 형태에서는 극좌표로 변환하는 변환 테이블을 미리 준비하고, 이 변환 테이블을 참조하여 직교 좌표계로부터 극좌표계로 변환시키도록 하고 있지만, 각 화소마다 좌표 변환을 연산하도록 해도 좋다.
또한, 상기 실시 형태에서는 프린트 기판을 검사하는 경우에 대해 설명했지만, 이외의 외관 검사를 필요로 하는 검사 대상물(11)에도 적용할 수 있다.
추가로, 상기 실시 형태에서는 각 화소마다 검사하도록 했지만, 소정의 영역마다 RGB 휘도 데이터를 수집하여 검사하도록 해도 좋다. 이 경우에 있어서, 각 영역마다 하나의 RGB 휘도 데이터를 연산하고, 이 연산 결과와 극좌표계에서 표현된 RGB 기준 휘도 데이터를 비교하도록 한다.
또, 상기 실시 형태에서는 θ나 ρ를 255×2/π배로 확장하도록 했지만, 1바이트의 범위 내에 들어가 있기 때문에, 그대로의 휘도값을 이용하도록 해도 좋다.
또, 상기 실시 형태에서는 1 픽셀의 RGB 요소를 8비트로 했기 때문에 최대값을 255로 했지만, 이것은 2의 계조(諧調) 비트승 -1의 값이며, 계조 비트에 따른 값을 이용할 수 있다.
1ㆍㆍㆍ외관 검사 장치
2ㆍㆍㆍ촬상 수단
3ㆍㆍㆍRGB 정보 취득 수단
4ㆍㆍㆍ기준 데이터 생성 수단
5ㆍㆍㆍ기억 수단
6ㆍㆍㆍ보정 처리 수단
7ㆍㆍㆍ변환 수단
8ㆍㆍㆍ판정 수단
80ㆍㆍㆍ화소 판정 수단
81ㆍㆍㆍ제1 화소 판정 수단
82ㆍㆍㆍ제2 화소 판정 수단
83ㆍㆍㆍ클러스터 판정 수단
9ㆍㆍㆍ출력 수단
10ㆍㆍㆍ기준 대상물
11ㆍㆍㆍ검사 대상물

Claims (4)

  1. 검사 대상물로부터 취득된 화상에 기초하여 당해 검사 대상물의 형성 상태를 검사하는 외관 검사 장치에 있어서,
    검사 대상물로부터 컬러 화상을 취득하고, 당해 검사 대상물의 검사 부분에 있어서 RGB 휘도 데이터를 취득하는 RGB 정보 취득 수단과,
    축방향을 휘도값으로 한 RGB 극좌표계에서 각 검사 부분의 RGB 기준 휘도 데이터를 기억하는 기준 데이터 기억 수단과,
    상기 RGB 정보 취득 수단으로부터 취득된 각 검사 부분의 RGB 휘도 데이터를 극좌표계의 휘도 데이터로 변환하는 변환 수단과,
    당해 변환된 극좌표계의 휘도 데이터와 상기 기준 데이터 기억 수단에 기억된 RGB 극좌표계에 있어서 RGB 기준 휘도 데이터를 비교하고, RGB 기준 휘도 데이터 내에 검사 대상물의 RGB 휘도 데이터가 포함되어 있는지의 여부에 의해 당해 검사 영역의 양부를 판정하는 판정 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 외관 검사 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 변환 수단이, 검사 대상물로부터 취득된 RGB 직교 좌표계의 휘도 데이터를 RGB 극좌표계로 변환시키는 변환 테이블을 기억하고, 당해 변환 테이블을 참조하여 상기 취득된 각 검사 부분의 RGB 좌표를 변환시키는 것인 외관 검사 장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 RGB 기준 휘도 데이터가, 기준으로 되는 검사 대상물의 인접하는 소정 화소수의 RGB 휘도 데이터를 포함하도록 설정된 것인 외관 검사 장치.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 변환 수단이, RGB의 휘도를 극좌표계의 휘도로 변환한 경우에, 1바이트에 들어가도록 휘도값을 압축 또는 확장시키는 것인 외관 검사 장치.
KR1020117005023A 2008-09-09 2009-09-09 외관 검사 장치 KR20110040965A (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2008-231006 2008-09-09
JP2008231006 2008-09-09

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20110040965A true KR20110040965A (ko) 2011-04-20

Family

ID=42005185

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020117005023A KR20110040965A (ko) 2008-09-09 2009-09-09 외관 검사 장치

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP5084911B2 (ko)
KR (1) KR20110040965A (ko)
CN (1) CN102138068B (ko)
WO (1) WO2010029932A1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20210128357A (ko) 2020-04-16 2021-10-26 주식회사 에이비에이치 인공지능 기반 외관 표면 품질 검사 장치 및 방법

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102881001A (zh) * 2011-07-13 2013-01-16 富士通株式会社 将彩色图像转换为灰度图像的装置和方法
CN103529041B (zh) * 2013-10-31 2015-07-29 广州华工机动车检测技术有限公司 基于图像特征的电路板新旧程度判定方法和系统
JP2016050875A (ja) * 2014-09-01 2016-04-11 明和工業株式会社 表面状態判定プログラム及び表面状態判定装置
CN104362111B (zh) * 2014-11-27 2017-02-01 阳光硅峰电子科技有限公司 一种硅片崩边的自动检测方法
KR101694337B1 (ko) * 2015-02-05 2017-01-09 동우 화인켐 주식회사 필름의 검사 방법
CN104833681B (zh) * 2015-05-13 2017-10-03 中国电子科技集团公司第三十八研究所 一种快速测量mcm基板电路图形尺寸误差的装置及方法
TWI579557B (zh) * 2015-09-18 2017-04-21 Synpower Co Ltd Image detection method for printed substrate
CN110412052B (zh) * 2019-08-12 2022-02-15 艾尔玛科技股份有限公司 一种曲面热压印质量检测方法及系统
CN110514675B (zh) * 2019-08-29 2020-12-11 珠海格力电器股份有限公司 一种标签的智能检测方法及系统
CN112785100B (zh) * 2019-11-05 2023-10-31 富联精密电子(天津)有限公司 产品检测阈值设定装置、方法及计算机可读存储介质
TWI721632B (zh) * 2019-11-05 2021-03-11 新加坡商鴻運科股份有限公司 產品檢測閾值設定裝置、方法及電腦可讀取存儲介質

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3278207B2 (ja) * 1992-09-25 2002-04-30 大日本印刷株式会社 画像検査装置
JP3587029B2 (ja) * 1997-10-03 2004-11-10 三菱電機株式会社 画像検査方法および画像検査装置
WO2003041012A1 (en) * 2001-11-07 2003-05-15 Davar Pishva Image highlight correction using illumination specific hsv color coordinates
JP3935836B2 (ja) * 2002-12-16 2007-06-27 三菱重工業株式会社 印刷物色調計測方法、印刷物色調計測装置、及びそのプログラム
JP4392268B2 (ja) * 2004-02-20 2009-12-24 新日本製鐵株式会社 表面検査装置
JP2007309703A (ja) * 2006-05-16 2007-11-29 Mega Trade:Kk ピクセルの検査方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20210128357A (ko) 2020-04-16 2021-10-26 주식회사 에이비에이치 인공지능 기반 외관 표면 품질 검사 장치 및 방법

Also Published As

Publication number Publication date
JPWO2010029932A1 (ja) 2012-02-02
WO2010029932A1 (ja) 2010-03-18
CN102138068A (zh) 2011-07-27
CN102138068B (zh) 2015-02-11
JP5084911B2 (ja) 2012-11-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20110040965A (ko) 외관 검사 장치
JP6701118B2 (ja) 画像処理装置および画像処理方法
JP3906780B2 (ja) 部品コード変換テーブルに対するデータ登録方法、基板検査データの作成装置、登録処理用のプログラムおよびその記憶媒体
KR100827906B1 (ko) 기판 검사 장치
JP2005121546A (ja) 欠陥検査方法
KR100719712B1 (ko) 범프 검사 장치 및 방법
JP2000163579A (ja) 外観検査方法およびその装置
JP3691503B2 (ja) 印刷物の検査方法およびその検査装置
JP2002243655A (ja) 電子部品の外観検査方法および外観検査装置
KR100819803B1 (ko) 솔더 페이스트 검사 방법
JP2002005850A (ja) 欠陥検査方法及びその装置、マスクの製造方法
US20040109602A1 (en) Method and apparatus for inspecting a bump electrode
JP4354173B2 (ja) 電子回路用部品の外観検査装置
JP2006284543A (ja) 実装回路基板検査方法および実装回路基板検査装置
JP2007309703A (ja) ピクセルの検査方法
JP4354174B2 (ja) 電子回路用部品の製造方法
JP4889018B2 (ja) 外観検査方法
JP2010276481A (ja) 画像処理装置
JP4275582B2 (ja) 基板検査装置
JP4484673B2 (ja) 電子部品の実装検査装置、実装検査方法および実装検査プログラム
JP2010243214A (ja) 欠陥検出方法および欠陥検出装置
JP4130848B2 (ja) ピクセルの検査方法、及び、ピクセルの検査装置
JP2005037243A (ja) プリント基板検査装置
KR19990087848A (ko) 검사영역작성방법및외관검사방법
JPH11344448A (ja) 検査領域作成方法

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E601 Decision to refuse application