JP2005037243A - プリント基板検査装置 - Google Patents
プリント基板検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005037243A JP2005037243A JP2003274445A JP2003274445A JP2005037243A JP 2005037243 A JP2005037243 A JP 2005037243A JP 2003274445 A JP2003274445 A JP 2003274445A JP 2003274445 A JP2003274445 A JP 2003274445A JP 2005037243 A JP2005037243 A JP 2005037243A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- luminance
- pixels
- printed circuit
- circuit board
- brightness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
【解決手段】プリント基板の表面を撮像して輝度毎の画素数を示すヒストグラムを生成し、暗い側に設定された第一の輝度P1よりも暗い輝度の画素数S1’と、明るい側に設定された第二の輝度P2よりも明るい輝度の画素数S2’を計数する。これに対して、あらかじめ暗い輝度に対する第一の基準画素数S1と、明るい輝度に対する第二の基準画素数S2を設定しておく。このS1とS2の設定に際しては、S1>S2となるようにする。そして、S1’>S1またはS2’>S2であれば不良品であると判定する。
【選択図】図2
Description
まず、検査対象となるプリント基板2bを検査するに際して必要となる第一の基準画素数S1・第二の基準画素数S2を生成する場合、基準プリント基板2aをプリント基板検査装置1にセットし、その基準プリント基板2aの表面に光りを照射してその表面に設けられた画像を取得する(ステップT1)。この取得された画像を前処理手段によってA/D変換し(ステップT2)、その変換された画像情報を画像メモリ5に書き込む。そして、256階調のグレースケールにて輝度150から250までの輝度の各画素数を計数し、図2(a)に示すようなヒストグラムを生成する(ステップT3)。次いで、この生成されたヒストグラムから基準平均輝度Ave0を求めて記憶手段7に記憶し(ステップT4)、また、これと同時に、あらかじめ入力手段8によって入力設定された第一の輝度P1および第二の輝度P2に対して、その第一の輝度P1・第二の輝度P2の画素数を計数し、第一の輝度P1の画素数に輝度150からP1までの輝度数を乗じた画素数S1、および、第二の輝度P2の画素数に輝度P2から250までの輝度数を乗じた画素数S2を演算する(ステップT5)。そして、この画素数S1を第一の基準画素数として記憶手段7に記憶させるとともに、画素数S2を第二の基準画素数として記憶手段7に記憶させる(ステップT6)。そして、その後、その基準プリント基板2aを取り外して、検査対象となるプリント基板2bの検査を行えるようにする。
検査対象となるプリント基板2bの形成状態を検査する場合も、同様にして、まず、そのプリント基板2bをプリント基板検査装置1にセットし、そのプリント基板2bの表面に光を照射してその表面画像を取得する(ステップT10)。そして、この取得された画像を前処理手段によってA/D変換し(ステップT11)、その情報を画像メモリ5に書き込む。そして、256階調のグレースケールにて輝度150から250までの輝度に対する各画素数を計数し、図2(b)(c)の太い実線に示すようなヒストグラムを生成し(ステップT12)、この生成されたヒストグラムから平均輝度Ave1を算出する(ステップT13)。次いで、この算出された平均輝度Ave1と前記基準プリント基板2aの基準平均輝度Ave0との差δを計算し、ステップT12で生成されたヒストグラムの各輝度をこのδ分だけシフトさせ、それぞれの平均輝度Ave0、Ave1を一致させるようにする(ステップT14)。そして、この修正されたヒストグラムに基づき、あらかじめ設定された第一の輝度P1および第二の輝度P2に基づいて、その第一の輝度P1よりも暗い輝度の各画素数S1’を計数するとともに、第二の輝度P2よりも明るい輝度の各画素数S2’を計数する(ステップT15)。そして、この計数した画素数S1’・S2’と基準プリント基板2aのS1・S2を比較し(ステップT16)、検査対象となるプリント基板2bに対する画素数S1’が基準プリント基板2aに対する画素数S1よりも大きい場合は(ステップT16:Yes)、そのプリント基板2bは不良品であると判定し、その旨を出力する(ステップT17)。また、検査対象となるプリント基板2bに対する画素数S2’が基準プリント基板2aに対する画素数S2よりも大きい場合も同様に(ステップT16:Yes)、そのプリント基板2bを不良品と判定し、その旨を出力する(ステップT17)。すなわち、第一の基準画素数S1よりもS1’の方が大きい場合は、研磨によるスリ傷以上にパッドに欠損を生じている可能性が高いため、これを不良品と判定する。また、第二の基準画素数S2よりもS2’の方が大きい場合、パッドに突起が存在している可能性が高いため、これを不良品と判定する。一方、ステップT16で、S1’≦S1、かつ、S2’≦S2であれば、そのプリント基板2bは良品であると判定し、その旨を出力する(ステップT18)。
2a、2b・・・プリント基板(2a:基準プリント基板、2b:検査対象となるプリント基板)
3・・・撮像部
6・・・第一の計数手段
7・・・記憶手段
9・・・平均値算出手段
10・・・輝度修正手段
11・・・第二の計数手段
12・・・判別手段
P1・・・第一の輝度
P2・・・第二の輝度
S1・・・第一の基準画素
S2・・・第二の基準画素
Ave0・・・基準プリント基板の基準平均輝度
Ave1・・・検査対象となるプリント基板の平均輝度
Claims (2)
- プリント基板の表面を撮像する撮像手段と、
この撮像手段によって撮像された画像について輝度毎の画素数を計数する第一の計数手段と、
あらかじめ暗い側と明るい側に設定された第一の輝度および第二の輝度に対し、第一の輝度よりも暗い輝度に対する第一の基準画素数、および、第二の輝度よりも明るい輝度に対する第二の基準画素数を記憶する記憶手段と、
前記第一の計数手段によって計数された輝度毎の画素数のうち、前記第一の輝度よりも暗い輝度の画素数を計数するとともに、前記第二の輝度よりも明るい輝度の画素数を計数する第二の計数手段と、
この第二の計数手段によって計数された第一の輝度よりも暗い輝度の画素数が前記第一の基準画素数よりも多い場合、または、前記第二の計数手段によって計数された第二の輝度よりも明るい輝度の画素数が前記第二の基準画素数よりも多い場合に、プリント基板を不良と判定する判定手段と、を設けたことを特徴とするプリント基板検査装置。 - プリント基板の表面を撮像する撮像手段と、
この撮像手段によって撮像された画像について輝度毎の画素数を計数する第一の計数手段と、
前記撮像手段によって撮像された画像の平均輝度を算出する平均輝度算出手段と、
検査に際して基準となるプリント基板の基準平均輝度、および、あらかじめ暗い側と明るい側にそれぞれ設定された第一の輝度および第二の輝度に対し、第一の輝度よりも暗い輝度に対する第一の基準画素数と、第二の輝度よりも明るい輝度に対する第二の基準画素数を記憶する記憶手段と、
前記平均輝度算出手段によって算出された平均輝度と前記基準平均輝度とを一致させるように各画素に対する輝度を修正する輝度修正手段と、
この輝度修正手段によって修正された輝度に対する画素のうち、前記第一の輝度よりも暗い輝度の画素数と、前記第二の輝度よりも明るい輝度の画素数を計数し、この計数された第一の輝度よりも暗い輝度の画素数が前記第一の基準画素数よりも多い場合、または、前記計数された第二の輝度よりも明るい輝度の画素数が前記第二の基準画素数よりも多い場合、プリント基板を不良と判定する判定手段と、を設けたことを特徴とするプリント基板検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003274445A JP4084257B2 (ja) | 2003-07-15 | 2003-07-15 | プリント基板検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003274445A JP4084257B2 (ja) | 2003-07-15 | 2003-07-15 | プリント基板検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005037243A true JP2005037243A (ja) | 2005-02-10 |
JP4084257B2 JP4084257B2 (ja) | 2008-04-30 |
Family
ID=34211395
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003274445A Expired - Lifetime JP4084257B2 (ja) | 2003-07-15 | 2003-07-15 | プリント基板検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4084257B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007256018A (ja) * | 2006-03-22 | 2007-10-04 | Mega Trade:Kk | 印刷状態検査装置、および、印刷状態検査方法 |
JP2008175545A (ja) * | 2007-01-16 | 2008-07-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電極状態判定装置および電極状態判定方法 |
WO2008143198A1 (ja) * | 2007-05-18 | 2008-11-27 | Mega Trade Corp | 外観検査システム |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05210737A (ja) * | 1992-01-31 | 1993-08-20 | Nachi Fujikoshi Corp | パターン認識方法 |
JPH05256791A (ja) * | 1992-03-13 | 1993-10-05 | Komatsu Ltd | 基板の欠陥検査装置 |
JPH07190739A (ja) * | 1993-12-27 | 1995-07-28 | Sharp Corp | 半導体チップの外観検査方法および装置 |
JPH08193959A (ja) * | 1995-01-12 | 1996-07-30 | Nachi Fujikoshi Corp | 検査対象物の表面傷検出装置及び方法 |
JPH09231362A (ja) * | 1996-02-27 | 1997-09-05 | Fuji Electric Co Ltd | 外観検査装置及びその方法 |
JPH10242227A (ja) * | 1997-02-27 | 1998-09-11 | Miyazaki Oki Electric Co Ltd | ウエハのマクロ検査方法および自動ウエハマクロ検査装置 |
JP2002277410A (ja) * | 2001-03-16 | 2002-09-25 | Olympus Optical Co Ltd | 外観検査方法 |
JP2003075366A (ja) * | 2001-09-04 | 2003-03-12 | Shibaura Mechatronics Corp | 基板検査装置及び基板検査方法 |
-
2003
- 2003-07-15 JP JP2003274445A patent/JP4084257B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05210737A (ja) * | 1992-01-31 | 1993-08-20 | Nachi Fujikoshi Corp | パターン認識方法 |
JPH05256791A (ja) * | 1992-03-13 | 1993-10-05 | Komatsu Ltd | 基板の欠陥検査装置 |
JPH07190739A (ja) * | 1993-12-27 | 1995-07-28 | Sharp Corp | 半導体チップの外観検査方法および装置 |
JPH08193959A (ja) * | 1995-01-12 | 1996-07-30 | Nachi Fujikoshi Corp | 検査対象物の表面傷検出装置及び方法 |
JPH09231362A (ja) * | 1996-02-27 | 1997-09-05 | Fuji Electric Co Ltd | 外観検査装置及びその方法 |
JPH10242227A (ja) * | 1997-02-27 | 1998-09-11 | Miyazaki Oki Electric Co Ltd | ウエハのマクロ検査方法および自動ウエハマクロ検査装置 |
JP2002277410A (ja) * | 2001-03-16 | 2002-09-25 | Olympus Optical Co Ltd | 外観検査方法 |
JP2003075366A (ja) * | 2001-09-04 | 2003-03-12 | Shibaura Mechatronics Corp | 基板検査装置及び基板検査方法 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007256018A (ja) * | 2006-03-22 | 2007-10-04 | Mega Trade:Kk | 印刷状態検査装置、および、印刷状態検査方法 |
JP2008175545A (ja) * | 2007-01-16 | 2008-07-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電極状態判定装置および電極状態判定方法 |
WO2008143198A1 (ja) * | 2007-05-18 | 2008-11-27 | Mega Trade Corp | 外観検査システム |
JP2008286692A (ja) * | 2007-05-18 | 2008-11-27 | Mega Trade:Kk | 外観検査システム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4084257B2 (ja) | 2008-04-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7978903B2 (en) | Defect detecting method and defect detecting device | |
JP4150390B2 (ja) | 外観検査方法及び外観検査装置 | |
KR100827906B1 (ko) | 기판 검사 장치 | |
JP2018004272A (ja) | パターン検査装置およびパターン検査方法 | |
JP2005121546A (ja) | 欠陥検査方法 | |
JP2004239733A (ja) | 画面の欠陥検出方法及び装置 | |
JP2006155579A (ja) | 画像処理方法および画像処理装置 | |
JP4084257B2 (ja) | プリント基板検査装置 | |
JP3788586B2 (ja) | パターン検査装置および方法 | |
JP3374030B2 (ja) | Cd印刷面検査方法 | |
JP4484673B2 (ja) | 電子部品の実装検査装置、実装検査方法および実装検査プログラム | |
JP2009150855A (ja) | 被検査物の検査方法及びその検査装置 | |
JP4275582B2 (ja) | 基板検査装置 | |
JP3941403B2 (ja) | 画像濃淡ムラ検出方法及びこの検査装置 | |
JPH09105723A (ja) | 欠点検査における検査設定値入力表示方法とその装置 | |
JP2005091330A (ja) | 色調不良検査装置および方法,ならびに薄汚れ検査装置および方法 | |
JP4889018B2 (ja) | 外観検査方法 | |
JP4653340B2 (ja) | 3板式ccdカメラを用いた缶外観検査装置 | |
JP4812482B2 (ja) | 印刷状態検査装置、および、印刷状態検査方法 | |
JP2004226212A (ja) | 透明体上のピンホール欠点および汚れ欠点を検出する方法および装置 | |
JP2000097882A (ja) | X線検査方法及びx線検査装置 | |
JP3038176B2 (ja) | パターンマッチングによる検査装置 | |
JP2006242584A (ja) | ムラ欠陥検出方法及び装置 | |
JP2002131241A (ja) | 不良検査方法及び装置 | |
CN115774022A (zh) | 检查方法、半导体装置的制造方法、检查装置、检查系统、程序产品及存储介质 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20051011 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20051122 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060627 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070306 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070507 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071204 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071211 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080212 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080214 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4084257 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110222 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140222 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |