JP4484673B2 - 電子部品の実装検査装置、実装検査方法および実装検査プログラム - Google Patents

電子部品の実装検査装置、実装検査方法および実装検査プログラム Download PDF

Info

Publication number
JP4484673B2
JP4484673B2 JP2004339179A JP2004339179A JP4484673B2 JP 4484673 B2 JP4484673 B2 JP 4484673B2 JP 2004339179 A JP2004339179 A JP 2004339179A JP 2004339179 A JP2004339179 A JP 2004339179A JP 4484673 B2 JP4484673 B2 JP 4484673B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electronic component
probability density
density function
correlation coefficient
image data
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2004339179A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2006145486A (ja
Inventor
康博 工藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nagoya Electric Works Co Ltd
Original Assignee
Nagoya Electric Works Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nagoya Electric Works Co Ltd filed Critical Nagoya Electric Works Co Ltd
Priority to JP2004339179A priority Critical patent/JP4484673B2/ja
Publication of JP2006145486A publication Critical patent/JP2006145486A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4484673B2 publication Critical patent/JP4484673B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)

Description

本発明は、基板に実装された電子部品の裏取付けを検出する電子部品の実装検査装置、実装検査方法および実装検査プログラムに関する。
従来、電子部品を搭載した基板を撮影して部品の状態を検査する方法として、未実装基板を撮影して得られた画像データの輝度情報と、検査対象の実装基板を撮影して得られた画像データの輝度情報とを比較することにより、電子部品の欠品を判定するものが知られている。(例えば、特許文献1、参照。)
より具体的には、予め未実装の基板上における検査エリアを撮影し、その画像データから輝度の平均値とピーク値と分散値とを算出しておき、これらの値と実際に実装を行った検査対象の基板上における検査エリアを撮影して得られた平均値とピーク値と分散値とを比較し、両者が近似する場合には電子部品が欠品していると判断する手法が上記文献に開示されている。
特許第3123275号公報
上述した技術において、予め未実装基板の撮影を行わなければならないという課題があった。また、未実装基板と電子部品の輝度特性が類似する場合には誤判定が多く発生するという課題もあった。
本発明は、上記課題にかんがみてなされたもので誤判定が少なく、迅速な判定が可能な電子部品の実装検査装置、実装検査方法および実装検査プログラムを提供することを目的とする。
上記目的を達成するため、請求項1にかかる発明では、少なくとも電子部品の一部が含まれる検査エリアを撮影することにより、それぞれ指標値を有する複数の画素データで構成される画像データを生成する撮影手段と、上記画像データを記憶する画像データ記憶手段と、上記指標値についての上記画素データの度数分布の特徴値から同度数分布が正規分布となると仮定した場合の確率密度関数を算出する確率密度関数算出手段と、上記度数分布と上記確率密度関数との相関係数を算出する相関係数算出手段と、上記相関係数に基づいて電子部品が裏取付けか否かを判定する裏取付け判定手段とを具備する構成としてある。
上記のように構成した請求項1の発明において、撮影手段は少なくとも電子部品の一部が含まれる検査エリアを撮影する。そして、それぞれ指標値を有する複数の画素データで構成される画像データを生成する。画像データ記憶手段は上記撮影手段にて生成した上記画像データを記憶する。確率密度関数算出手段は、上記指標値についての上記画素データの度数分布の特徴値を算出し、この特徴値に基づいて同度数分布が正規分布となると仮定した場合の確率密度関数を算出するさらに、相関係数算出手段は、上記確率密度関数算出手段が算出した上記確率密度関数と上記度数分布との相関係数を算出する。そして、裏取付け判定手段は、上記相関係数算出手段にて算出された相関係数に基づいて電子部品が裏取付けか否かを判定する。すなわち、上記指標値の分布傾向が正規分布に近いかどうかで電子部品が裏取付けか否かを判定する。従って、予め良品や不良品についての上記画像データをティーチングしておく必要もない。
また、請求項2にかかる発明では、上記裏取付け判定手段は、上記相関係数が所定の閾値よりも大きい場合に電子部品が裏取付けであると判定する構成としてある。
上記のように構成した請求項2の発明において、上記相関係数が所定の閾値よりも大きい場合に電子部品が裏取付けされていると判定する。すなわち、上記指標値の分布傾向が正規分布に近い場合に、電子部品が裏取付けであると判定する。電子部品の表側は識別性を確保するために文字や模様等が付されている場合が多く、上記指標値が偏った分布となる場合が多い。従って、上記指標値が正規分布と近似せず、上記相関係数が低い場合に、上記電子部品が表側を上にして取り付けられていることが判定できる。
さらに、請求項3にかかる発明では、上記確率密度関数算出手段は、上記度数分布の平均値と分散値とから上記確率密度関数を算出する構成としてある。
上記のように構成した請求項3の発明において、上記画像データから上記指標値の度数分布における平均値uと分散値σ2を算出する。そして、上記平均値と上記分散値から下記の数式を利用して、上記確率密度関数fiを算出することができる。
Figure 0004484673
さらに、請求項4にかかる発明では、上記撮影手段は上記検査エリアを撮影するとともに、上記検査エリアには、上記電子部品の表側において上記指標値が偏分布する特異パターンが含まれる構成としてある。
上記のように構成した請求項4の発明において、上記電子部品に特に上記指標値が偏分布する特異パターンを形成し、同特異パターンを上記検査エリアに含ませることにより、精度良く上記電子部品の取り付け方向を判定できる。例えば、上記電子部品にシルクスクリーン印刷によって文字を形成したものを上記特異パターンとして適用することができる。
さらに、請求項5にかかる発明では、上記指標値は輝度値である構成としてある。
上記のように構成した請求項5の発明において、輝度値を上記指標値として適用しても良い。
また、上述した電子部品の実装検査手法は、方法としても適用可能であり、請求項6にかかる発明においても、基本的には同様の作用となる。本発明を実施しようとする際に、実装検査装置にて所定のプログラムを実行させる場合もある。そこで、そのプログラムとしても本発明を実施可能であり、請求項7にかかる発明においても、基本的には同様の作用となる。むろん、請求項2〜請求項5に記載された構成を請求項6の方法や請求項7のプログラムに対応させることも可能である。
また、いかなる記憶媒体もプログラムを提供するために使用可能である。例えば、磁気記録媒体や光磁気記録媒体であってもよいし、今後開発されるいかなる記録媒体においても全く同様に考えることができる。また、一部がソフトウェアであって、一部がハードウェアで実現される場合においても本発明の思想において全く異なるものではなく、一部を記録媒体上に記録しておいて必要に応じて適宜読み込む形態のものも含まれる。さらに、一次複製品、二次複製品などの複製段階についても同等である。
本発明の請求項1、請求項6および請求項7の発明によれば、誤判定が少なく、迅速な判定が可能な電子部品の実装検査装置、実装検査方法および実装検査プログラムを提供することができる。
また、請求項2の発明によれば、電子部品の表裏を正確に判定することができる。
さらに、請求項3の発明によれば、確率密度関数を算出する手法を提供することができる。
また、請求項4の発明によれば、電子部品の表側を明確に判断できる。
さらに、請求項5の発明によれば、輝度値の分布傾向に基づいて電子部品の裏取付けを判定することができる。
ここでは、下記の順序に従って本発明の実施形態について説明する。
(1)本発明の構成:
(2)本発明の動作:
(3)まとめ:
(1)第一の実施形態:
図1は、本発明にかかる電子部品の実装検査装置の構成を概略的に示している。同図において、実装検査装置100は、撮影部10と判定部20とから構成されている。撮影部10は、CCDカメラ11とA/D変換器12と照明装置13とX−Yテーブル14とから構成されている。CCDカメラ11は固定されており、下方に視野を有している。X−Yテーブル14は被検査基板30を規定の位置に位置決めしつつ載置することが可能であり、載置された被検査基板30をX方向とY方向に水平移動させることが可能となっている。なお、被検査基板30上には電子部品31が実装されている。照明装置13は白色あるいは赤色のLED等によって構成され、被検査基板30上におけるCCDカメラ11の視野を照明することができる。照明装置は一台に限られず、上中下の多段照明を適用してもよい。すなわち、電子部品の表面の状態に応じて、表面反射の少ない照明装置を選択できる構成としてもよい。
この構成において、後述するプログラムに従いCCDカメラ11と照明装置13とX−Yテーブル14に判定部20からの駆動信号(図示省略)が与えられ、被検査基板30上における所望の撮影エリアにCCDカメラ11の視野が位置するように被検査基板30が移動させられる。そして、CCDカメラ11が撮影エリアについての撮影を行う。CCDカメラ11はドットマトリクス状に配列する複数の画素毎に光電素子を備えており、各光電素子にて生成された電荷を複数のCCD素子が記憶保持する。このCCD素子に記憶された電荷はA/D変換器12によってデジタル階調で表現される輝度値に変換される。
各画素についての輝度値は順次フレームメモリ21に入力され、同フレームメモリ21にてフレーム単位の画像データとして記憶される。例えば、CCDカメラ11が100万画素を有し、途中で解像度変換を行わない場合には、フレームメモリ21には100万画素分の輝度信号が各画素のアドレスに対応づけられて記憶させられる。ただし、CCDカメラ11が有する画素数と、フレームメモリ21にて記憶される画像データの画素数とは必ずしも一致しなくてもよい。
判定部20は、上述したフレームメモリ21と、CPU22とROM23とRAM24と出力部25とから構成されている。フレームメモリ21は画像データをフレーム単位で記憶するメモリであり、CPU22はROM23に記憶された検査プログラム23aにしたがって基板検査に関する演算処理を実行する。RAM24はCPU22が各処理を行う際にワークエリアとして利用するメモリであり、後述する輝度分布データ24a等も一時データとして記憶する。出力部25は、CPU22における処理結果を実装検査装置100の外部に出力するためのインターフェイスであり、例えばディスプレイやプリンタ等に出力を行うことが可能となっている。
図2は、検査プログラム23aの概略構成を示している。同図において、検査プログラム23aは、輝度分布データ記憶部M1と確率密度関数生成部M2と相関係数算出部M3と裏取付け判定部M4の各モジュールから構成されている。輝度分布データ記憶部M1はフレームメモリ21から画像データを入力し、同画像データから輝度分布データを生成する。すなわち、輝度分布データ記憶部M1は、複数の画素毎の輝度値で表現された画像データを、輝度値毎の画素の度数(画素数)で表される輝度分布データに変換する。そして、輝度分布データをRAM24に記憶させる。確率密度関数生成部M2は、RAM24に記憶した輝度分布データに基づいて輝度についての平均値uと分散値σを算出し、これらの値から確率密度関数を生成する。
相関係数算出部M3は、RAM24から輝度分布データを取得するとともに、確率密度関数生成部M2にて算出した確率密度関数を取得する。そして、輝度分布データにおける分布傾向と確率密度関数との相関係数を算出する。この相関係数は裏取付け判定部M4に入力され、同相関係数に基づいて電子部品31が裏取付けであるか正常取付けであるかを裏取付け判定部M4が判定する。
(2)本発明の動作:
図3は、本発明において実行される裏取付け判定処理の流れを示している。なお、図3のフローチャートは、本発明の電子部品の実装検査装置が起動された後に、基板が所定の撮影位置に移動してCCDカメラ11で撮影される毎に繰り返し実施される部分的なフローを示している。従って、基板上に実装された電子部品の全ての検査を行うためには、図3で示すフローチャートの処理が必要回数実施されることとなる。
ここで、図3のフローチャートにしたがって裏取付け判定処理における実装検査装置100の動作を説明する。1回の撮影によって生成された撮影エリアについての画像データがフレームメモリ21に記憶されると、CPU22はステップS100で検査エリアの選択を行う。図4は、CCDカメラ11が撮影を行う撮影エリアR1を破線により示している。同図において、被検査基板30上にCCDカメラ11の略矩形状視野が配置されており、当該視野を撮影エリアR1として撮影する。撮影エリアR1の内側には予め実装された5個のコンデンサC1〜C5と半導体部品C6とが存在している。各電子部品C1〜C6の封止容器やパッケージの表側にはスクリーン印刷によって001〜006までの部品番号が印刷されている。なお、001〜006までの部品番号が本発明にいう特異パターンに相当する。
図のように、実装後において001〜006までの部品番号が読み取り可能であれば、全ての電子部品C1〜C6が表側を上にして取り付けられており、正常な方向で実装されていることが分かる。逆に実装後において001〜006までの部品番号が読み取れないようであれば、裏取付けや欠品している可能性が高い。上述したとおり撮影エリアR1についてCCDカメラ11が撮影を行うため、撮影エリアR1についての画像データがフレームメモリ21に記憶される。
このようにフレームメモリ21に記憶される画像データには複数の電子部品C1〜C6の画像が含まれるが、ステップS100では、各電子部品C1〜C6の部品番号の画像が含まれるいずれかの領域を選択する。すなわち、検査プログラム23aには撮影エリアR1における各電子部品C1〜C6の部品番号の位置および範囲が検査エリアR2,R2・・・としてそれぞれ記憶されており、以降の処理対象とする検査エリアR2,R2・・・のいずれか一つを選択する。なお、図4の例では、各電子部品C1,C2,C3・・・の順に検査エリアR2,R2・・・が選択されるものとする。
ステップS100にてコンデンサC1についての検査エリアR2が選択されると、ステップ110において輝度分布データ記憶部M1がフレームメモリ21から検査エリアR2についての画像データを入力し、同画像データから輝度分布データを生成する。すなわち、検査エリアR2に属する画素毎の輝度値で表現された画像データを、輝度値毎の画素の度数で表される輝度分布データに変換する。さらに、輝度分布データ記憶部M1は輝度分布データをRAM24に記憶させる。図5(a)および図5(b)は、輝度分布データをグラフにして示している。同図において、横軸が輝度値iを示しており、縦軸が度数(画素数)biを示している。
なお、図5(a)は正常に取り付けられており検査エリアR2に部品番号が捉えられているときの輝度分布データを示しており、図5(b)は裏向きに取り付けられており検査エリアR2に部品の裏側が捉えられているときの輝度分布データを示している。部品番号は電子部品の封止容器やパッケージ上に樹脂インクを部分的に塗布することにより形成されている。封止容器やパッケージは反射率が高く、樹脂インクは反射率が低い。そのため、部品番号を撮影した輝度分布データにおいては偏った輝度値の分布となる。これに対して、電子部品が裏向きに取り付けられ、裏側が撮影された場合には輝度分布データはほぼ一様な反射面が撮影されるため正規的な分布となる。
ステップS120においては、確率密度関数生成部M2がRAM24に記憶された輝度分布データ24aを取得し、同輝度分布データ24aから輝度についての平均値uと分散値σ2を算出する。さらに、ステップS130において確率密度関数生成部M2は、ステップS120にて算出した平均値uと分散値σ2を下記式(1)に代入して確率密度関数fiを算出する。
Figure 0004484673
なお、確率密度関数fiは、ステップS120にて算出した平均値uと分散値σ2を満足する正規分布を表す関数である。図6(a)および図6(b)は、図5(a)および図5(b)の輝度分布データに基づいて算出された確率密度関数fiをグラフにして示している。同図において、横軸が輝度値iを示し、縦軸が度数(画素数)biを示している。
次に、ステップS140において相関係数算出部M3は、RAM24に記憶された輝度分布データ24aと上記式(1)によって導出した確率密度関数fiとの相関を下記式(2)によって相関係数rとして算出する。

Figure 0004484673
なお、このとき、カメラやA/D変換の特性、シェーディング補正等の影響による輝度分布のばらつきを補正するため、隣り合う輝度値の度数biを下記式(3)によって平滑化した度数bi’を上記式(2)のbiに適用することが望ましい。
i’=(bi-1+bi+bi+1)/3 ・・・(3)
ただし、平滑化の手法は、上記式(3)のように平均値を求めるものに限られず、例えば中心値を求める手法等を適用してもよい。次に、ステップS150〜S160で裏取付け判定部M4は、算出した相関係数rの値と所定の閾値(例えば0.9)との大小比較を実施する。図6(a)および図6(b)に示すように、それぞれ算出された正規分布を示す確率密度関数と、輝度分布データの分布傾向とが似ている場合には相関係数が高くなり、確率密度関数と輝度分布データの分布傾向とが似ていない場合には相関係数が低くなる。従って、相関係数rが閾値よりも大きい場合には輝度分布データの分布傾向が正規分布に近いことが分かるし、相関係数rが閾値よりも小さい場合には輝度分布データの分布傾向が正規分布に近くないことが分かる。
そして、算出した相関係数rの値が閾値以上の場合には、ステップS170において電子部品が裏付けされているとの判定信号を出力する。算出した相関係数rの値が閾値よりも小さい場合には、ステップS180において電子部品が正常に取り付けられているの判定信号を出力する。すなわち、電子部品が正常に取り付けられている場合には、検査エリアR2に部品番号が含まれ、同検査エリアについての輝度分布が不均一となるため、輝度分布データが正規分布に近似しないことをもって電子部品が正常な方向に取り付けられていないことを判断することができる。
ステップS190では、撮影した撮影エリアR1に含まれる全ての検査エリアR2についてステップS110〜S170の処理を実行したかどうかが判定される。そして、全ての検査エリアR2についての処理が完了している場合には当該撮影エリアR1についての処理を終了させる。一方、全ての検査エリアR2についての処理が完了していない場合には、残りの検査エリアR2についてステップS110〜S170の処理を実行させる。
ここで、実証結果について説明すると、上記の図6(a)と図6(b)では、相関係数rがそれぞれ0.618と0.997の値となり、裏取付けの場合の元の輝度分布による度数を平滑化した輝度分布と確率密度関数から求めた正規分布との間に極めて強い正の相関があることが確認され、正規分布との相関によって電子部品の裏取付けを判定する方法によって高い精度の検査が実行できることが証明された。
以上の実施例では、確率密度関数として上記式(1)を用いる場合を例示したが、図5(b)で示すように輝度分布曲線の相関(曲線の形状の相似性)を判定する場合には、上記式(1)から下記の係数
Figure 0004484673
を省略しても同じ相関係数が得られる。すなわち、確率密度関数は上記式(1)の関数に限定されるものでなく平均値uと分散値σ2から元の輝度分布の形状に近似な正規分布の曲線を生成することができる関数であればよい。また、正規分布との相関とあわせて、輝度値の偏り(モード)も参考に裏取付けの判定を行うようにしてもよい。
なお、本発明は、電子部品の裏面における輝度分布が正規分布に近似する点に着目してなされたもので、正規分布を得る指標値として他のものを適用してもよい。すなわち、上記実施形態のように白黒画像やカラー画像から求められる輝度値に限られず、例えばRGB信号から合成された輝度信号(Y信号)や輝度情報を含む色差信号(R−Y,B−Y)等を指標値として適用してもよい。さらに、隣接する画素同士の輝度差や色差などを指標値として用いてもよい。
(3)まとめ:
以上説明したように、本発明において検査エリアR2を撮影して得られた輝度分布が正規分布に近似しているかどうかによって電子部品の裏取付け判定が行われる。具体的には、検査エリアR2を撮影して得られた輝度分布から平均値uと分散値σ2を算出し、これらを満足するような正規分布の関数として確率密度関数fiする。そして、確率密度関数fiと元の輝度分布の分布傾向との相関係数rを算出し、この相関係数rの大小によって電子部品の裏取付け判定を行うことができる。従って、予め不良品や良品の輝度分布のティーチング等を行うことなく、正確な判定を実現することができる。
本発明の電子部品の実装検査装置の概略ブロック図である。 本発明の電子部品の実装検査装置のソフトウェアブロック図である。 電子部品の裏取付け判定処理のフローチャートである。 電子部品の検査エリアを説明する説明図である。 撮影した輝度情報に対する輝度分布図(ヒストグラム)である。(a)電子部品が正常に取付けられている場合(b)電子部品が裏面取付けされている場合 撮影した輝度情報による輝度分布と確率密度関数とを比較した説明図である。(a)電子部品が正常に取付けられている場合(b)電子部品が裏面取付けされている場合
符号の説明
10…撮影部
11…カメラ
12…A/D変換器
13…照明装置
14…X−Yテーブル
20…判定部
21…フレームメモリ
22…CPU
23…ROM
23a…検査プログラム
24…ROM
24a…輝度分布データ
25…出力部
30…被検査基板
31…電子部品
100…実装検査装置
C1〜C5…コンデンサ
C6…半導体部品
C6電子部品
M1…輝度分布データ記憶部
M2…確率密度関数生成部
M3…相関係数算出部
M4…判定部
R1…撮影エリア
R2…検査エリア

Claims (7)

  1. 少なくとも電子部品の一部が含まれる検査エリアを撮影することにより、それぞれ指標値を有する複数の画素データで構成される画像データを生成する撮影手段と、
    上記画像データを記憶する画像データ記憶手段と、
    上記指標値についての上記画素データの度数分布の特徴値から同度数分布が正規分布となると仮定した場合の確率密度関数を算出する確率密度関数算出手段と、
    上記度数分布と上記確率密度関数との相関係数を算出する相関係数算出手段と、
    上記相関係数に基づいて電子部品が裏取付けか否かを判定する裏取付け判定手段とを具備することを特徴とする電子部品の実装検査装置。
  2. 上記裏取付け判定手段は、
    上記相関係数が所定の閾値よりも大きい場合に電子部品が裏取付けであると判定することを特徴とする請求項1に記載の電子部品の実装検査装置。
  3. 上記確率密度関数算出手段は、上記度数分布の平均値と分散値とから上記確率密度関数を算出することを特徴とする請求項1または請求項2のいずれかに記載の電子部品の実装検査装置。
  4. 上記撮影手段は上記検査エリアを撮影するとともに、
    上記検査エリアには、上記電子部品の表側において上記指標値が偏分布する特異パターンが含まれることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載した電子部品の実装検査装置。
  5. 上記指標値は輝度値であることを特徴とした請求項1から請求項4のいずれかに記載した電子部品の実装検査装置。
  6. 少なくとも電子部品の一部が含まれる検査エリアを撮影することにより、それぞれ指標値を有する複数の画素データで構成される画像データを生成する撮影工程と、
    上記画像データを記憶する画像データ記憶工程と、
    上記指標値についての上記画素データの度数分布の特徴値から同度数分布が正規分布となると仮定した場合の確率密度関数を算出する確率密度関数算出工程と、
    上記度数分布と上記確率密度関数との相関係数を算出する相関係数算出工程と、
    上記相関係数に基づいて電子部品が裏取付けか否かを判定する裏取付け判定工程とを具備することを特徴とする電子部品の実装検査方法。
  7. 少なくとも電子部品の一部が含まれる検査エリアを撮影することにより、それぞれ指標値を有する複数の画素データで構成される画像データを生成する撮影機能と、
    上記画像データを記憶する画像データ記憶機能と、
    上記指標値についての上記画素データの度数分布の特徴値から同度数分布が正規分布となると仮定した場合の確率密度関数を算出する確率密度関数算出機能と、
    上記度数分布と上記確率密度関数との相関係数を算出する相関係数算出機能と、
    上記相関係数に基づいて電子部品が裏取付けか否かを判定する裏取付け判定機能とをコンピュータに実現させることを特徴とする電子部品の実装検査プログラム。
JP2004339179A 2004-11-24 2004-11-24 電子部品の実装検査装置、実装検査方法および実装検査プログラム Expired - Fee Related JP4484673B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004339179A JP4484673B2 (ja) 2004-11-24 2004-11-24 電子部品の実装検査装置、実装検査方法および実装検査プログラム

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004339179A JP4484673B2 (ja) 2004-11-24 2004-11-24 電子部品の実装検査装置、実装検査方法および実装検査プログラム

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2006145486A JP2006145486A (ja) 2006-06-08
JP4484673B2 true JP4484673B2 (ja) 2010-06-16

Family

ID=36625341

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004339179A Expired - Fee Related JP4484673B2 (ja) 2004-11-24 2004-11-24 電子部品の実装検査装置、実装検査方法および実装検査プログラム

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4484673B2 (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009092626A (ja) * 2007-10-12 2009-04-30 Univ Osaka Sangyo 異物検出装置、異物検出方法、及びコンピュータプログラム
KR102457527B1 (ko) * 2018-01-25 2022-10-21 한화정밀기계 주식회사 플립 칩의 플럭스 도포 상태 검사 방법

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0590365A (ja) * 1991-09-27 1993-04-09 Hitachi Ltd 検査装置
JPH06201603A (ja) * 1993-01-08 1994-07-22 Matsushita Electric Ind Co Ltd 電子部品の欠品検査における検査データの作成方法および電子部品の欠品検査方法
JPH0814846A (ja) * 1994-06-29 1996-01-19 Yokogawa Electric Corp 半田接合部の検査装置
JPH08210820A (ja) * 1995-02-01 1996-08-20 Hitachi Denshi Ltd 部品実装基板の外観検査装置における被検査部の認識方法及び装置
JPH0972854A (ja) * 1995-09-05 1997-03-18 Hioki Ee Corp X−y方式インサーキットテスタの基板外観検査装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0590365A (ja) * 1991-09-27 1993-04-09 Hitachi Ltd 検査装置
JPH06201603A (ja) * 1993-01-08 1994-07-22 Matsushita Electric Ind Co Ltd 電子部品の欠品検査における検査データの作成方法および電子部品の欠品検査方法
JPH0814846A (ja) * 1994-06-29 1996-01-19 Yokogawa Electric Corp 半田接合部の検査装置
JPH08210820A (ja) * 1995-02-01 1996-08-20 Hitachi Denshi Ltd 部品実装基板の外観検査装置における被検査部の認識方法及び装置
JPH0972854A (ja) * 1995-09-05 1997-03-18 Hioki Ee Corp X−y方式インサーキットテスタの基板外観検査装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2006145486A (ja) 2006-06-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7978903B2 (en) Defect detecting method and defect detecting device
US7680320B2 (en) Image processing method, substrate inspection method, substrate inspection apparatus and method of generating substrate inspection data
US7602967B2 (en) Method of improving image quality
KR101036066B1 (ko) 웨이퍼 수납 카세트 검사 장치 및 방법
CN112446864A (zh) 瑕疵检测方法、装置、设备和存储介质
TW563389B (en) Compensation system for use in a printed circuit board inspection system
KR20110040965A (ko) 외관 검사 장치
KR100827906B1 (ko) 기판 검사 장치
JP2018004272A (ja) パターン検査装置およびパターン検査方法
JP2006115445A (ja) 画像処理装置、画像処理プログラム、電子カメラ、および画像処理方法
JP4244046B2 (ja) 画像処理方法および画像処理装置
JP4484673B2 (ja) 電子部品の実装検査装置、実装検査方法および実装検査プログラム
JP6506638B2 (ja) 基板高さ解析装置、基板高さ解析方法および基板高さ解析プログラム
KR101946581B1 (ko) 패널 검사 방법
JP4084257B2 (ja) プリント基板検査装置
US20040109602A1 (en) Method and apparatus for inspecting a bump electrode
JP3374030B2 (ja) Cd印刷面検査方法
JPH08327497A (ja) カラー液晶表示パネルの検査方法
JP2005091330A (ja) 色調不良検査装置および方法,ならびに薄汚れ検査装置および方法
JP4275582B2 (ja) 基板検査装置
JP2002357558A (ja) 量子誤差を考慮したマッチング処理方法
JP2002357559A (ja) 3板式ccdカメラを用いた缶外観検査装置
JP2016161377A (ja) 保護フィルムのギラツキ評価方法及び保護フィルムのギラツキ評価装置
JP2005130000A (ja) 画像処理装置
JP6804022B2 (ja) 変化度合い導出装置、変化度合い導出方法及びプログラム

Legal Events

Date Code Title Description
RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20061031

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20070918

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20091210

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20100323

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20100323

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4484673

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130402

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160402

Year of fee payment: 6

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees