JP2000097882A - Ｘ線検査方法及びｘ線検査装置 - Google Patents
Ｘ線検査方法及びｘ線検査装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 Ｘ線の画像信号をコンピュータに取り込み、
認識判定処理により良否判定を行い、迅速で良否判定精
度の良いＸ線検査装置を提供することである。 【解決手段】 あらかじめ登録されたマスタ画像と被検
査画像とをパターンマッチング処理により比較し、マス
タ画像の２つ以上のハンダボールに被検査画像の１つの
ハンダボールが重なったときにブリッジであると判定す
る。次に個々のハンダボールに対してマスタ画像と被検
査画像とを結び付けし、マスタ画像のハンダボール面積
に対して被検査画像のハンダボール面積が許容判定値を
満たさなかったときにハンダ過多、過少であると判定す
る。また被検査画像のハンダボールがマスタ画像のどの
ハンダボールにも結びつかない場合にそれを異物混入と
判定する。次に被検査画像のハンダボールの黒色部の外
周のドットを判定してエリア内のスキャンを行い、その
中に白色部のエリアがある場合にボイドと判定する。
認識判定処理により良否判定を行い、迅速で良否判定精
度の良いＸ線検査装置を提供することである。 【解決手段】 あらかじめ登録されたマスタ画像と被検
査画像とをパターンマッチング処理により比較し、マス
タ画像の２つ以上のハンダボールに被検査画像の１つの
ハンダボールが重なったときにブリッジであると判定す
る。次に個々のハンダボールに対してマスタ画像と被検
査画像とを結び付けし、マスタ画像のハンダボール面積
に対して被検査画像のハンダボール面積が許容判定値を
満たさなかったときにハンダ過多、過少であると判定す
る。また被検査画像のハンダボールがマスタ画像のどの
ハンダボールにも結びつかない場合にそれを異物混入と
判定する。次に被検査画像のハンダボールの黒色部の外
周のドットを判定してエリア内のスキャンを行い、その
中に白色部のエリアがある場合にボイドと判定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、Ｘ線検査方法、特
にプリント基板上のパッド状に形成されたバンプをＸ線
の透過により検査するＸ線検方法に関する。
にプリント基板上のパッド状に形成されたバンプをＸ線
の透過により検査するＸ線検方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】携帯電話やビデオカメラ等のプリント基
板に於いて実装電子部品の微小化、高密度化が進んでい
る。これに使用する、例えばフリップチップでは、接続
部が半径数ミクロンの微細なバンプで形成されているた
め、光学検査によるハンダ付け状態の外観検査では検査
が不可能である。
板に於いて実装電子部品の微小化、高密度化が進んでい
る。これに使用する、例えばフリップチップでは、接続
部が半径数ミクロンの微細なバンプで形成されているた
め、光学検査によるハンダ付け状態の外観検査では検査
が不可能である。
【０００３】図１１は従来のＸ線検査装置を説明するた
めの概念図である。Ｘ線発生部１からＸ線が照射され、
プリント基板２上に実装された被写体３ｂを透過したＸ
線は、センサ４で検出される。検出信号は画像処理部５
にて多値化され、濃淡画像が得られる。その画像をモニ
タ６にて出力し、人の経験的判断により、ハンダ付け状
態の良否を判定する。
めの概念図である。Ｘ線発生部１からＸ線が照射され、
プリント基板２上に実装された被写体３ｂを透過したＸ
線は、センサ４で検出される。検出信号は画像処理部５
にて多値化され、濃淡画像が得られる。その画像をモニ
タ６にて出力し、人の経験的判断により、ハンダ付け状
態の良否を判定する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記のように従来のＸ
線検査装置では、人の判断によりハンダ付け状態の良否
を判定していたが、人による経験的な差により良否判定
を正確に判定できない問題がある。また、大量生産品を
全数判定するには時間的にも不可能である。
線検査装置では、人の判断によりハンダ付け状態の良否
を判定していたが、人による経験的な差により良否判定
を正確に判定できない問題がある。また、大量生産品を
全数判定するには時間的にも不可能である。
【０００５】したがって、この発明の目的は、Ｘ線の画
像信号をコンピュータに取り込み、認識判定処理により
良否判定を行い、迅速で良否判定精度の良いＸ線検査装
置を提供することである。
像信号をコンピュータに取り込み、認識判定処理により
良否判定を行い、迅速で良否判定精度の良いＸ線検査装
置を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明はあらかじめ良品のハンダ付け状態の画像信
号をコンピュータに記録しておき、２値化レベル、接着
剤の島の面積の許容範囲等の設定値に基づき、被検査物
の画像信号と比較し、予想される不良ハンダ付け状態を
プログラム化した認識判定処理により自動判定するもの
である。
に、本発明はあらかじめ良品のハンダ付け状態の画像信
号をコンピュータに記録しておき、２値化レベル、接着
剤の島の面積の許容範囲等の設定値に基づき、被検査物
の画像信号と比較し、予想される不良ハンダ付け状態を
プログラム化した認識判定処理により自動判定するもの
である。
【０００７】
【発明の実施の形態】図１は本発明の検査装置の構成を
示すブロック図である。図１において１はパーソナルコ
ンピュータ、２は画像処理ボード、３は制御ユニット、
４は記憶装置、５は入出力ユニット、６はＸ線発生装
置、７はＣＣＤセンサ、８はＸＹテーブル、９は表示装
置、１０はキーボードである。画像処理ボード２、制御
ユニット３、記憶装置４はパーソナルコンピュータ１内
に配置されている。図２は本検査装置の検査フローを示
すブロック図である。以下図１及び図２を用いて本発明
の検査の流れを説明する。検査ソフトウェアを起動後、
基準となる良品プリント基板を検査位置ＸＹテーブル８
にてＣＣＤセンサ７の位置する検査位置に移動する。こ
のときのＸＹ座標位置を入出力ユニット５、制御ユニッ
ト３を通じて、記憶装置４に記憶する。次にＸ線発生装
置６によりＸ線を照射し、前記基準プリント基板のＸ線
撮影を行う。Ｘ線画像はＣＣＤセンサ７により映像信号
に変換され、画像処理ボード２でデジタル画像信号に変
換され、１２ビットの基準画像情報として記憶装置４に
保管される。次に前記基準画像を２値化を、しきい値を
設定することにより行う。例えばしきい値７００を設定
した場合、７００以下の信号レベルの部位が黒に、それ
以上が白になり画像が２値化される。例えば接着剤とし
てはんだを用いた場合、このはんだの島（以下本実施の
形態においてハンダボールという）を撮影した場合はは
んだ部のＸ線画像の濃度は濃く、他の部分の濃度は薄く
なる。このしきい値を最適値に設定することにより、半
田部が黒、他の部位が白の２値化画像が表示される。最
適しきい値は検査者が表示装置９を見ながらハンダボー
ルが適度な大きさになるよう判断し、調整し設定する。
または、ハンダボールの適度な面積値をあらかじめ登録
し、その面積値になるように自動的に最適なしきい値を
算出し、設定しても良い。次に画像の検査する範囲を四
角枠で囲み、検査対象範囲を設定する。ハンダボール等
の面積の許容範囲（０〜１００％）を設定する。これら
の設定を記憶装置４に検査パラメータとして登録すると
同時にこれらの設定値に従った、あるいは、予め良品を
画像化した画像をマスタ画像として登録する。
示すブロック図である。図１において１はパーソナルコ
ンピュータ、２は画像処理ボード、３は制御ユニット、
４は記憶装置、５は入出力ユニット、６はＸ線発生装
置、７はＣＣＤセンサ、８はＸＹテーブル、９は表示装
置、１０はキーボードである。画像処理ボード２、制御
ユニット３、記憶装置４はパーソナルコンピュータ１内
に配置されている。図２は本検査装置の検査フローを示
すブロック図である。以下図１及び図２を用いて本発明
の検査の流れを説明する。検査ソフトウェアを起動後、
基準となる良品プリント基板を検査位置ＸＹテーブル８
にてＣＣＤセンサ７の位置する検査位置に移動する。こ
のときのＸＹ座標位置を入出力ユニット５、制御ユニッ
ト３を通じて、記憶装置４に記憶する。次にＸ線発生装
置６によりＸ線を照射し、前記基準プリント基板のＸ線
撮影を行う。Ｘ線画像はＣＣＤセンサ７により映像信号
に変換され、画像処理ボード２でデジタル画像信号に変
換され、１２ビットの基準画像情報として記憶装置４に
保管される。次に前記基準画像を２値化を、しきい値を
設定することにより行う。例えばしきい値７００を設定
した場合、７００以下の信号レベルの部位が黒に、それ
以上が白になり画像が２値化される。例えば接着剤とし
てはんだを用いた場合、このはんだの島（以下本実施の
形態においてハンダボールという）を撮影した場合はは
んだ部のＸ線画像の濃度は濃く、他の部分の濃度は薄く
なる。このしきい値を最適値に設定することにより、半
田部が黒、他の部位が白の２値化画像が表示される。最
適しきい値は検査者が表示装置９を見ながらハンダボー
ルが適度な大きさになるよう判断し、調整し設定する。
または、ハンダボールの適度な面積値をあらかじめ登録
し、その面積値になるように自動的に最適なしきい値を
算出し、設定しても良い。次に画像の検査する範囲を四
角枠で囲み、検査対象範囲を設定する。ハンダボール等
の面積の許容範囲（０〜１００％）を設定する。これら
の設定を記憶装置４に検査パラメータとして登録すると
同時にこれらの設定値に従った、あるいは、予め良品を
画像化した画像をマスタ画像として登録する。
【０００８】次に検査するプリント基板をセットし、記
憶装置４に記憶された検査位置情報を、制御ユニット
３、入出力ユニット５を介してＸＹテーブルに伝え検査
位置に移動する。その後、前記基準プリント基板の撮影
と同様にＸ線発生装置６からＸ線を照射し、ＣＣＤセン
サ７にてＸ線画像を撮影し、画像処理ボード２で１２ビ
ットデジタル信号に変換される。予め設定し記憶装置４
に記憶されたしきい値をもとに２値化処理が行われ２値
化画像に変換する。この２値化画像とあらかじめ登録し
ておいたマスタ画像との比較により良否が判定される。
憶装置４に記憶された検査位置情報を、制御ユニット
３、入出力ユニット５を介してＸＹテーブルに伝え検査
位置に移動する。その後、前記基準プリント基板の撮影
と同様にＸ線発生装置６からＸ線を照射し、ＣＣＤセン
サ７にてＸ線画像を撮影し、画像処理ボード２で１２ビ
ットデジタル信号に変換される。予め設定し記憶装置４
に記憶されたしきい値をもとに２値化処理が行われ２値
化画像に変換する。この２値化画像とあらかじめ登録し
ておいたマスタ画像との比較により良否が判定される。
【０００９】（実施の形態１）図３にブリッジ状態の判
定原理を示す。図３（ａ）は被検査画像、図３（ｂ）は
マスタ画像である。図４は本発明の検査装置のブリッジ
判定を示すフローチャートである。以下、この発明のＸ
線検査装置の第１の実施の形態を図３及び図４に基づい
て説明する。
定原理を示す。図３（ａ）は被検査画像、図３（ｂ）は
マスタ画像である。図４は本発明の検査装置のブリッジ
判定を示すフローチャートである。以下、この発明のＸ
線検査装置の第１の実施の形態を図３及び図４に基づい
て説明する。
【００１０】図３のように、被検査画像の各ハンダボー
ルをＳｉ、マスタ画像の各ハンダボールをＭｉとする。
このＳｉの２値化データと記憶手段から引き出されたマ
スタ画像Ｍｉの２値化データとを、例えば制御ユニット
内に設けられた比較手段によって比較する。図３には被
検査画像のハンダボールＳｉの少なくとも１画素が、そ
の画素の座標に位置しているマスタ画像中の２つのハン
ダボールＭｉ及び、Ｍｉ＋１に属していること、言い換
えると重なっていることを比較手段によって判断する。
このように被検査画像のハンダボールが２つ以上のマス
タ画像のハンダボールに重なるときにブリッジであると
判定する。
ルをＳｉ、マスタ画像の各ハンダボールをＭｉとする。
このＳｉの２値化データと記憶手段から引き出されたマ
スタ画像Ｍｉの２値化データとを、例えば制御ユニット
内に設けられた比較手段によって比較する。図３には被
検査画像のハンダボールＳｉの少なくとも１画素が、そ
の画素の座標に位置しているマスタ画像中の２つのハン
ダボールＭｉ及び、Ｍｉ＋１に属していること、言い換
えると重なっていることを比較手段によって判断する。
このように被検査画像のハンダボールが２つ以上のマス
タ画像のハンダボールに重なるときにブリッジであると
判定する。
【００１１】本実施例におけるＸ線検査装置によれば人
が判断することなく簡単にブリッジを判定することがで
きる。
が判断することなく簡単にブリッジを判定することがで
きる。
【００１２】（実施の形態２）図５にハンダ過多・過少
状態の判定原理を示す。図５（ａ）は被検査画像、図５
（ｂ）はマスタ画像である。図６は本発明のハンダ過多
・過少判定のフローチャートである。以下、この発明の
Ｘ線検査装置の第２の実施の形態を図５及び図６に基づ
いて説明する。
状態の判定原理を示す。図５（ａ）は被検査画像、図５
（ｂ）はマスタ画像である。図６は本発明のハンダ過多
・過少判定のフローチャートである。以下、この発明の
Ｘ線検査装置の第２の実施の形態を図５及び図６に基づ
いて説明する。
【００１３】まず、記憶手段４から引き出されたマスタ
画像のハンダボールＭｉと被検査画像のはんだボールＳ
ｉとを結び付ける。例えば、この結び付けは図５に示す
ように、被検査画像のハンダボールＳｉ、Ｓｉ＋１、Ｓ
ｉ＋２を夫々、マスタ画像のハンダボールＭｉ、Ｍｉ＋
１、Ｍｉ＋２とを対応させ、夫々の対応について両者の
関連付けを行なうことにより実現される。図５のよう
に、被検査画像のハンダボールＳｉはマスタ画像のハン
ダボールＭｉに属している。このＳｉがＭｉに属してい
ることは、Ｓｉの画素数が４９であるのに対し、記憶手
段から引き出されたマスタ画像Ｍｉの画素数が２５であ
ることから判断される。この時、マスタ画像のハンダボ
ールの面積に対する被検査画像のハンダボールの面積を
制御ユニット内に設けられた比較手段によって比較する
が、その比較は図６のフローチャートに示すように行わ
れる。
画像のハンダボールＭｉと被検査画像のはんだボールＳ
ｉとを結び付ける。例えば、この結び付けは図５に示す
ように、被検査画像のハンダボールＳｉ、Ｓｉ＋１、Ｓ
ｉ＋２を夫々、マスタ画像のハンダボールＭｉ、Ｍｉ＋
１、Ｍｉ＋２とを対応させ、夫々の対応について両者の
関連付けを行なうことにより実現される。図５のよう
に、被検査画像のハンダボールＳｉはマスタ画像のハン
ダボールＭｉに属している。このＳｉがＭｉに属してい
ることは、Ｓｉの画素数が４９であるのに対し、記憶手
段から引き出されたマスタ画像Ｍｉの画素数が２５であ
ることから判断される。この時、マスタ画像のハンダボ
ールの面積に対する被検査画像のハンダボールの面積を
制御ユニット内に設けられた比較手段によって比較する
が、その比較は図６のフローチャートに示すように行わ
れる。
【００１４】即ち、被検査画像のハンダボールの面積を
マスタ画像のハンダボールの面積で割り算した時の商を
１００倍した値（値Ａ）と１００から所定の許容判定値
を引いた値（値Ｂ）の大小を比較し、値Ａが大きい場合
はハンダ過小と判定し、値Ｂが大きい場合はハンダ過多
と判定する。
マスタ画像のハンダボールの面積で割り算した時の商を
１００倍した値（値Ａ）と１００から所定の許容判定値
を引いた値（値Ｂ）の大小を比較し、値Ａが大きい場合
はハンダ過小と判定し、値Ｂが大きい場合はハンダ過多
と判定する。
【００１５】例えば、マスタ画像のＭｉの画素数が２５
被検査画像のＳｉの画素数が４９である場合は、その面
積比は１９６％であるので、あらかじめ登録しておいた
検査パラメータの許容判定値が９６％以下に設定されて
いる場合、ハンダ過多と判定する。同様に、被検査画像
のハンダボールＳｉ＋１はマスタ画像のハンダボールＭ
ｉ＋１に属している。Ｓｉ＋１の画素数が６に対し、Ｍ
ｉの画素数は２５である。この時、マスタ画像のハンダ
ボールに対する被検査画像のハンダボールの面積比は２
４％であるので、あらかじめ登録しておいた検査パラメ
ータの許容判定値が７６％以上に設定されている場合、
ハンダ過少と判定する。
被検査画像のＳｉの画素数が４９である場合は、その面
積比は１９６％であるので、あらかじめ登録しておいた
検査パラメータの許容判定値が９６％以下に設定されて
いる場合、ハンダ過多と判定する。同様に、被検査画像
のハンダボールＳｉ＋１はマスタ画像のハンダボールＭ
ｉ＋１に属している。Ｓｉ＋１の画素数が６に対し、Ｍ
ｉの画素数は２５である。この時、マスタ画像のハンダ
ボールに対する被検査画像のハンダボールの面積比は２
４％であるので、あらかじめ登録しておいた検査パラメ
ータの許容判定値が７６％以上に設定されている場合、
ハンダ過少と判定する。
【００１６】本実施例におけるＸ線検査装置によれば人
が判断することなく簡単にハンダ過多、過少を判定する
ことができる。
が判断することなく簡単にハンダ過多、過少を判定する
ことができる。
【００１７】（実施の形態３）図７に異物混入状態の判
定原理を示す。図７（ａ）は被検査画像、図７（ｂ）は
マスタ画像である。図８は本発明の検査装置の異物混入
判定を示すフローチャートである。以下、この発明のＸ
線検査装置の第３の実施の形態を図７及び図８に基づい
て説明する。
定原理を示す。図７（ａ）は被検査画像、図７（ｂ）は
マスタ画像である。図８は本発明の検査装置の異物混入
判定を示すフローチャートである。以下、この発明のＸ
線検査装置の第３の実施の形態を図７及び図８に基づい
て説明する。
【００１８】まず、記憶手段４から引き出されたマスタ
画像のハンダボールＭｉと被検査画像のはんだボールＳ
ｉとを結び付ける。例えば、この結び付けは図５に示す
ように、被検査画像のハンダボールＳｉ、Ｓｉ＋１、を
夫々、マスタ画像のハンダボールＭｉ、Ｍｉ＋１、とを
対応させ、夫々の対応について両者の関連付けを行なう
ことにより実現される。
画像のハンダボールＭｉと被検査画像のはんだボールＳ
ｉとを結び付ける。例えば、この結び付けは図５に示す
ように、被検査画像のハンダボールＳｉ、Ｓｉ＋１、を
夫々、マスタ画像のハンダボールＭｉ、Ｍｉ＋１、とを
対応させ、夫々の対応について両者の関連付けを行なう
ことにより実現される。
【００１９】次に、被検査画像のハンダボールＳｉがマ
スター画像のハンダボールＭｉに重なっているかどうか
を判断し、被検査画像のハンダボールのみが単独で存在
しマスター画像のハンダボールと重なっていない部分が
あった場合に異物混入があると判断する。
スター画像のハンダボールＭｉに重なっているかどうか
を判断し、被検査画像のハンダボールのみが単独で存在
しマスター画像のハンダボールと重なっていない部分が
あった場合に異物混入があると判断する。
【００２０】例えば、図７のように、被検査画像のハン
ダボールＳｉ＋２を記憶手段４から引き出されたマスタ
画像とを、例えば制御ユニット中に設けられた比較手段
によって比較すると、Ｓｉ＋２はマスタ画像中のどのハ
ンダボールにも属していない。すなわち、マスタ画像中
に対応するハンダボールがない。この場合を異物混入と
判定する。
ダボールＳｉ＋２を記憶手段４から引き出されたマスタ
画像とを、例えば制御ユニット中に設けられた比較手段
によって比較すると、Ｓｉ＋２はマスタ画像中のどのハ
ンダボールにも属していない。すなわち、マスタ画像中
に対応するハンダボールがない。この場合を異物混入と
判定する。
【００２１】本実施例におけるＸ線検査装置によれば人
が判断することなく簡単に異物混入を判定することがで
きる。
が判断することなく簡単に異物混入を判定することがで
きる。
【００２２】（実施の形態４）図９にボイド状態の判定
原理を示す。図９（ａ）は被検査画像である。図１０は
本発明の検査装置のボイド判定を示すフローチャートで
ある。以下、この発明のＸ線検査装置の第４の実施の形
態を図９及び図１０に基づいて説明する。
原理を示す。図９（ａ）は被検査画像である。図１０は
本発明の検査装置のボイド判定を示すフローチャートで
ある。以下、この発明のＸ線検査装置の第４の実施の形
態を図９及び図１０に基づいて説明する。
【００２３】被検査画像のハンダボールのエリア内のス
キャンを行い、ハンダボールＳｉのの2値化データの中
に白色を表すデータがないかを検査する。このとき図９
のように、被検査画像のハンダボールＳｉ及びＳｉ＋１
の内部に白色部が存在する場合は、白色部の面積、例え
ば２値化データ中の白色を表すデータがいくつあるかを
検査する。このとき、図９の例では、この白色部の画素
数がＳｉは２４、Ｓｉ＋１は４である。この時、ボイド
として認識するボイドの許容判定値例えば２０と設定し
ておけば、Ｓｉがボイドとして判定される。
キャンを行い、ハンダボールＳｉのの2値化データの中
に白色を表すデータがないかを検査する。このとき図９
のように、被検査画像のハンダボールＳｉ及びＳｉ＋１
の内部に白色部が存在する場合は、白色部の面積、例え
ば２値化データ中の白色を表すデータがいくつあるかを
検査する。このとき、図９の例では、この白色部の画素
数がＳｉは２４、Ｓｉ＋１は４である。この時、ボイド
として認識するボイドの許容判定値例えば２０と設定し
ておけば、Ｓｉがボイドとして判定される。
【００２４】本実施例におけるＸ線検査装置によれば人
が判断することなく簡単にボイドを判定することができ
る。
が判断することなく簡単にボイドを判定することができ
る。
【００２５】実施の形態１〜４における各値は、説明を
明確にするものであって、固定値である必要はない。
明確にするものであって、固定値である必要はない。
【００２６】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、人の判断によらずコンピュータの自動認識判
定を行うことにより、人の経験的な差による誤判定を防
ぐことができる。また、迅速で良否判定精度の良いＸ線
検査装置を提供することができる。
によれば、人の判断によらずコンピュータの自動認識判
定を行うことにより、人の経験的な差による誤判定を防
ぐことができる。また、迅速で良否判定精度の良いＸ線
検査装置を提供することができる。
【図１】この発明の検査装置の構成を示すブロック図
【図２】この発明の第１〜第４の実施の形態におけるＸ
線検査装置の判定処理フローチャート
線検査装置の判定処理フローチャート
【図３】第１の実施の形態におけるブリッジ判定の原理
図
図
【図４】第１の実施の形態におけるブリッジ判定処理の
フローチャート
フローチャート
【図５】第２の実施の形態におけるハンダ過多、過少判
定の原理図
定の原理図
【図６】第２の実施の形態におけるハンダ過多、過少判
定処理のフローチャート
定処理のフローチャート
【図７】第３の実施の形態における異物混入判定の原理
図
図
【図８】第３の実施の形態における異物混入判定処理の
フローチャート
フローチャート
【図９】第４の実施の形態におけるボイド判定の原理図
【図１０】第４の実施の形態におけるボイド判定処理の
フローチャート
フローチャート
【図１１】従来のＸ線検査装置の構成を示すブロック図
１ Ｘ線照射部 ２ プリント基板 ３ａ，３ｂ，３ｃ 被写体 ４ センサ ５ 画像処理部 ６ モニタ ７ 照射野
Claims (8)
- 【請求項１】 マスタ画像と被検査画像とを比較し、マ
スタ画像に写るの２つ以上の接着剤の島に被検査画像の
１つの接着剤の島が重なったときにブリッジであると判
定するＸ線検査方法。 - 【請求項２】 マスタ画像の接着剤の島の面積と被検査
画像の接着剤の島の面積との比が許容値を満足しなかっ
たときにハンダ過多、過少であると判定するＸ線検査方
法。 - 【請求項３】 接着剤の島の略黒色部の外周のドットを
判定してエリア内のスキャンを行い、その中に略白色部
のエリアがある場合にボイドと判定するＸ線検査方法。 - 【請求項４】 マスタ画像と被検査画像の接着剤の島の
画像を比較し、被検査画像のハンダボールがマスタ画像
のどのハンダボールにも属さない場合に異物混入と判定
するＸ線検査方法。 - 【請求項５】 マスタ画像を記憶する記憶手段と、前記
記憶手段から引き出された前記マスタ画像と被検査画像
とを比較する比較手段とを有し、マスタ画像に写るの２
つ以上の接着剤の島に被検査画像の１つの接着剤の島が
重なったときにブリッジであると判定することを特徴と
するＸ線検査装置。 - 【請求項６】 マスタ画像を記憶する記憶手段と、前記
記憶手段から引き出された前記マスタ画像の接着剤の島
の面積と、被検査画像の接着剤の島の面積との比較する
手段と、この比が許容値を満足しなかったときにハンダ
過多、過少であると判定することを特徴とするＸ線検査
装置。 - 【請求項７】 撮影された被検査画像の接着剤の島の略
黒色部の外周のドットを判定する判定手段と、ドットエ
リア内のスキャンを行い、その中に略白色部のエリアが
ある場合にボイドと判定するボイド判定手段とを有する
Ｘ線検査装置。 - 【請求項８】 マスタ画像を記憶する記憶手段と、前記
記憶手段から引き出されたマスタ画像と被検査画像の接
着剤の島の画像とを比較する比較手段とを有し、被検査
画像の接着剤の島がマスタ画像のどの接着剤の島にも対
応しない場合に異物混入と判定するＸ線検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10266519A JP2000097882A (ja) | 1998-09-21 | 1998-09-21 | Ｘ線検査方法及びｘ線検査装置 |
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Cited By (5)
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|---|---|---|---|---|
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| JP2005207827A (ja) * | 2004-01-21 | 2005-08-04 | Nagoya Electric Works Co Ltd | Ｘ線検査装置、ｘ線検査方法およびｘ線検査装置の制御プログラム |
| CN108181328A (zh) * | 2017-12-08 | 2018-06-19 | 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 | 一种用于检测x光机材料分辨力的方法及系统 |
| JPWO2019150585A1 (ja) * | 2018-02-05 | 2020-02-06 | 三菱電機株式会社 | 太陽電池モジュールの製造方法、太陽電池モジュールの製造装置および太陽電池モジュール |
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-
1998
- 1998-09-21 JP JP10266519A patent/JP2000097882A/ja active Pending
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| CN111816579B (zh) * | 2020-07-10 | 2023-04-07 | 英特尔产品（成都）有限公司 | 用于检测被助焊剂残留物污染的芯片的方法和装置 |
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