KR20110000735A

KR20110000735A - 유기 전계발광 소자의 제조 방법, 유기 전계발광 소자 및 조명 장치

Info

Publication number: KR20110000735A
Application number: KR1020107021699A
Authority: KR
Inventors: 고우이찌 로꾸하라
Original assignee: 스미또모 가가꾸 가부시키가이샤
Priority date: 2008-03-31
Filing date: 2009-03-10
Publication date: 2011-01-05
Also published as: CN101982016A; US8277273B2; US20110025200A1; TW200950175A; JP5314314B2; WO2009122871A1; JP2009245777A; EP2278858A1

Abstract

본 발명에 따른 유기 EL 소자의 제조 방법은 적어도 양극과, 음극과, 양극 및 음극 사이에 설치되는 유기 발광층을 적층함으로써 유기 전계발광 소자를 제조하는 방법으로서, 상기 유기 발광층이 형성되는 발광층 형성 영역에 대응하는 형상의 볼록부를 갖는 볼록판 인쇄판을 이용하여, 유기 발광 재료와 용매를 포함하는 유기 발광 잉크를 상기 발광층 형성 영역에 도포하여 유기 발광층을 형성하는 유기 발광층 형성 공정을 갖고, 상기 볼록부가 표면부에 복수체의 오목홈을 갖는 것을 특징으로 한다. 본 발명의 제조 방법에 의해, 면적이 큰 유기 발광층의 형성 영역으로 볼록판 인쇄법에 의해 유기 발광 잉크를 도포할 때의 도포 불균일을 방지하고, 균일한 막 두께의 유기 발광층을 형성할 수 있다.

Description

유기 전계발광 소자의 제조 방법, 유기 전계발광 소자 및 조명 장치{METHOD FOR MANUFACTURING ORGANIC ELECTROLUMINESCENCE ELEMENT, ORGANIC ELECTROLUMINESCENCE ELEMENT AND LIGHTING DEVICE}

본 발명은 유기 전계발광 소자(이하, 유기 EL 소자라고 적는 경우도 있음) 소자의 제조 방법, 상기 제조 방법을 이용하여 얻어진 유기 EL 소자, 및 상기 유기 EL 소자를 포함하는 조명 장치에 관한 것이다. 더욱 상세하게는, 본 발명은 그의 면적이 큰 유기 발광층의 형성 영역으로 볼록판 인쇄법에 의해 유기 발광 잉크를 도포할 때의 도포 불균일을 방지하고, 균일한 막 두께의 유기 발광층을 형성할 수 있는 유기 EL 소자의 제조 방법, 상기 제조 방법을 이용하여 얻어진 유기 EL 소자, 및 상기 유기 EL 소자를 포함하는 조명 장치에 관한 것이다.

주지와 같이, 유기 EL 소자는 기본적인 구조로서, 제1 전극(양극 또는 음극) 및 제2 전극(음극 또는 양극)과, 이들 전극 사이에 설치되는 유기 발광층을 갖고 있다. 이러한 구조에 있어서, 상기 유기 발광층을 사이에 두고 서로 대향하는 전극 사이에 전류를 흘림으로써 상기 유기 발광층이 발광한다.

유기 EL 소자의 용도로서는 표시 장치나 조명 장치가 있다. 표시 장치에서는 복수의 유기 EL 소자가 기판 상에 배치되어, 각 유기 EL 소자가 각각 화소로서 기능한다(예를 들면 특허 문헌 1 참조). 이러한 표시 장치용의 유기 EL 소자는 요구되는 해상도에 따라서 크기가 결정되고, 통상 각 유기 발광층의 폭 및 길이가 마이크로미터 오더이다. 한편, 조명 장치에서는 표시 장치용의 유기 EL 소자와 같이 작은 유기 EL 소자를 이용할 필요가 없고, 폭 및 길이가 센티미터 오더의 유기 발광층을 구비하는 1 또는 복수의 유기 EL 소자가 기판 상에 배치되어 있다.

일본 특허 공개 제2006-286243호 공보

상술한 표시 장치용의 유기 EL 소자로서는 유기 발광층이 형성되는 발광층 형성 영역의 크기가 μm²오더의 극소이기 때문에, 유기 발광 재료를 포함하는 유기 발광 잉크의 농도나 인쇄 속도 등을 적절하게 설정함으로써, 볼록판 인쇄법을 이용하여 유기 발광 잉크를 화소 내에서 균일하게 도포할 수 있다.

그러나, 예를 들면 표시 장치용의 유기 EL 소자의 발광층 형성 영역이 100 μm×100 μm 정도로 하면, 조명 장치용의 유기 EL 소자로서는 발광층 형성 영역이 1 cm×1 cm 이상 정도가 되고, 면적으로서 예를 들면 10000배 이상의 광범위한 영역에 유기 발광 잉크를 도포할 필요가 생겨, 이러한 광범위한 영역에 유기 발광 잉크를 도포하는 경우에, 표시 장치용의 유기 EL 소자를 형성하는 기술을 그대로 전용하여, 볼록판 인쇄법을 이용하여 유기 발광 잉크를 도포했다고 해도, 발광층 형성 영역 내에서 도포 불균일이 생기는 경우가 있어, 종래부터 이용되어 온 볼록판 인쇄법을 적용할 수 없다. 이러한 도포 불균일의 발생은 발광층 형성 영역의 크기가 1 cm×1 cm를 초과하면 현저하게 된다.

도포 불균일에 기인하여 유기 발광층의 막 두께에 불균일이 생기면, 나아가서는 발광에도 불균일이 생겨, 경우에 따라서는 발광 불량이 생김으로써, 조명 장치의 성능이 현저히 저하되게 된다.

본 발명은 상기 종래의 사정에 감안하여 이루어진 것으로, 그의 과제는 면적이 큰 유기 발광층의 형성 영역에, 볼록판 인쇄법에 의해 유기 발광 잉크를 도포할 때의 도포 불균일을 방지하고, 균일한 막 두께의 유기 발광층을 형성할 수 있는 유기 EL 소자의 제조 방법, 상기 제조 방법을 이용하여 얻어진 유기 EL 소자, 및 상기 유기 EL 소자를 포함하는 조명 장치를 제공하는 데에 있다.

상술한 과제를 해결하기 위해서, 본 발명은 하기의 구성을 채용한 유기 전계발광 소자의 제조 방법, 유기 전계발광 소자 및 조명 장치를 제공한다.

[1] 적어도 양극과, 음극과, 양극 및 음극 사이에 설치되는 유기 발광층을 구비하는 유기 전계발광 소자의 제조 방법으로서, 상기 유기 발광층이 형성되는 발광층 형성 영역에 대응하는 형상의 볼록부를 가짐과 동시에 상기 볼록부의 표면부에 복수체의 오목홈이 형성되어 있는 볼록판 인쇄판을 이용하여, 유기 발광 재료와 용매를 포함하는 유기 발광 잉크를 상기 발광층 형성 영역에 도포하여 유기 발광층을 형성하는 유기 발광층 형성 공정을 포함하는, 유기 전계발광 소자의 제조 방법.

[2] 상기 복수체의 오목홈의 길이 방향의 적어도 일단이 상기 볼록부의 측면으로 개방되어 있는 상기 [1]에 기재된 유기 전계발광 소자의 제조 방법.

[3] 상기 발광층 형성 영역의 면적이 1 cm×1 cm 이상인 상기 [1] 또는 [2]에 기재된 유기 전계발광 소자의 제조 방법.

[4] 상기 [1] 내지 [3] 중 어느 하나에 기재된 제조 방법을 이용하여 얻어진 유기 전계발광 소자.

[5] 상기 [4]에 기재된 유기 전계발광 소자를 포함하는 조명 장치.

본 발명에 따르면, 발광면에서의 발광 불균일이나 발광 불량의 발생이 없는 발광 특성이 우수한 유기 EL 소자 및 상기 유기 EL 소자를 갖는 조명 장치를 효율적으로 제조할 수 있다.

[도 1] 도 1은 종래의 유기 EL 소자의 제조에 있어서 유기 발광층을 형성하기 위해서 이용되고 있는 볼록판 인쇄판의 볼록부의 표면 구조를 나타내는 상기 볼록부의 단면 구성도이다.
[도 2] 도 2는 본 발명의 유기 EL 소자의 제조에 있어서 유기 발광층을 형성하기 위해서 이용되고 있는 볼록판 인쇄판의 볼록부의 표면 구조를 나타내는 상기 볼록부의 단면 구성도이다.
[도 3] 도 3은 도 2에 나타낸 볼록판 인쇄판의 볼록부 표면의 확대 단면 구성도이다.
<부호의 설명>
3 유기 발광 잉크
11 볼록판 인쇄판
12 볼록부
12a 볼록조
12b 볼록홈

이하에, 본 발명 방법이 대상으로 하는 유기 EL 소자의 구조에 대해서 설명하고, 그 후, 본 발명에 따른 유기 EL 소자의 제조 방법에 대해서, 더욱 자세히 설명한다. 얻어지는 유기 EL 소자는, 예를 들면 조명 장치에 이용된다. 또한, 이하의 설명에 있어서 나타낸 도면에 있어서의 각 부재의 축척은 실제와 다른 경우가 있다.

(기판)

유기 EL 소자에 이용하는 기판은 전극을 형성하고, 유기물의 층을 형성할 때에 변화되지 않는 것일 수 있고, 예를 들면 유리, 플라스틱, 고분자 필름, 실리콘 기판, 이들을 적층한 것 등이 이용된다. 또한, 플라스틱, 고분자 필름 등에 저투수화 처리를 실시한 것을 이용할 수도 있다. 상기 기판으로서는 시판되고 있는 것이 사용 가능하고, 또한 공지된 방법에 의해 제조할 수도 있다.

(전극 및 유기 발광층)

유기 EL 소자는 적어도 양극과, 음극과, 상기 양극 및 음극 사이에 위치하는 유기 발광층이 적층되어 구성된다. 또한 적어도 양극 및 음극 중 어느 한쪽이 광 투과성을 갖는 전극을 포함한다. 상기 유기 발광층에는 저분자 및/또는 고분자의 유기 발광 재료가 이용된다. 본 발명의 유기 EL 소자로서는 유기 발광층을 볼록판 인쇄에 의해 형성되는 것이고, 유기 발광층용의 유기 발광 재료로서는 고분자 발광 재료가 적합하다.

유기 EL 소자에 있어서, 양극 및 음극 사이에는 복수의 발광층이 설치되어 있을 수도 있고, 또한 발광층 이외의 층이 설치되어 있을 수도 있다. 이하, 음극과 발광층 사이에 설치하는 층을 음극측 인터레이어라고 하고, 양극과 발광층 사이에 설치하는 층을 양극측 인터레이어라고 하는 경우가 있다.

양극과 발광층 사이에 설치하는 양극측 인터레이어로서는 정공 주입층ㆍ정공 수송층, 전자 블록층 등을 들 수 있다.

상기 정공 주입층은 음극으로부터의 정공 주입 효율을 개선하는 기능을 갖는 층이고, 상기 정공 수송층이란, 정공 주입층 또는 양극에 보다 가까운 층(정공 수송층)으로부터의 정공 주입을 개선하는 기능을 갖는 층이다. 또한, 정공 주입층 또는 정공 수송층이 전자의 수송을 막는 기능을 갖는 경우에는 이들 층을 전자 블록층이라고 부르는 경우가 있다. 전자의 수송을 막는 기능을 갖는 것은, 예를 들면 전자 전류만을 흘리는 소자를 제작하여, 그의 전류치의 감소로 막는 효과를 확인하는 것이 가능하다.

음극과 발광층 사이에 설치하는 음극측 인터레이어로서는 전자 주입층, 전자 수송층, 정공 블록층 등을 들 수 있다.

상기 전자 주입층은 음극으로부터의 전자 주입 효율을 개선하는 기능을 갖는 층이고, 상기 전자 수송층은 전자 주입층 또는 음극에 보다 가까운 층(전자 수송층)으로부터의 전자 주입을 개선하는 기능을 갖는 층이다. 또한, 전자 주입층 또는 전자 수송층이 정공의 수송을 막는 기능을 갖는 경우에는 이들 층을 정공 블록층이라고 부르는 경우가 있다. 정공의 수송을 막는 기능을 갖는 것은, 예를 들면 홀 전류만을 흘리는 소자를 제작하여, 그의 전류치의 감소로 막는 효과를 확인하는 것이 가능하다.

상기한 바와 같은 양극과 음극 사이에 설치되는 각 층의 적층 구성으로서는 양극과 발광층 사이에 정공 수송층을 설치한 구성, 음극과 발광층 사이에 전자 수송층을 설치한 구성, 음극과 발광층 사이에 전자 수송층을 설치하고, 양극과 발광층 사이에 정공 수송층을 설치한 구성 등을 들 수 있다. 예를 들면, 구체적으로는 이하의 a) 내지 d)의 적층 구조를 들 수 있다.

a) 양극/발광층/음극

b) 양극/정공 수송층/발광층/음극

c) 양극/발광층/전자 수송층/음극

d) 양극/정공 수송층/발광층/전자 수송층/음극

(여기서, /는 각 층이 인접하여 적층되어 있는 것을 나타냄. 이하 동일)

상기 구성에 있어서, 상술한 바와 같이, 발광층이란 발광하는 기능을 갖는 층이고, 정공 수송층이란 정공을 수송하는 기능을 갖는 층이고, 전자 수송층이란 전자를 수송하는 기능을 갖는 층이다. 또한, 전자 수송층과 정공 수송층을 총칭하여 전하 수송층이라고 부르는 경우도 있다. 발광층, 정공 수송층, 전자 수송층은 각각 독립적으로 2층 이상 이용할 수도 있다. 또한, 전극에 인접하여 설치한 전하 수송층 중, 전극으로부터의 전하 주입 효율을 개선하는 기능을 갖고, 소자의 구동 전압을 내리는 효과를 갖는 것은 특히 전하 주입층(정공 주입층, 전자 주입층)이라고 불리는 경우가 있다.

또한, 전극과의 밀착성 향상이나 전극으로부터의 전하 주입의 개선을 위해, 전극에 인접하여 상기 전하 주입층 또는 막 두께 2 nm 이하의 절연층을 설치할 수도 있고, 또한 계면의 밀착성 향상이나 혼합의 방지 등을 위해 전하 수송층이나 발광층의 계면에 얇은 버퍼층을 삽입할 수도 있다. 적층하는 층의 순서나 수 및 각 층의 두께에 대해서는 발광 효율이나 소자 수명을 감안하여 적절히 설정할 수 있다.

또한, 전하 주입층(전자 주입층, 정공 주입층)을 설치한 유기 EL 소자로서는 음극에 인접하여 전하 주입층을 설치한 유기 EL 소자, 양극에 인접하여 전하 주입층을 설치한 유기 EL 소자를 들 수 있다. 예를 들면, 구체적으로는 이하의 e) 내지 p)의 구조를 들 수 있다.

e) 양극/전하 주입층/발광층/음극

f) 양극/발광층/전하 주입층/음극

g) 양극/전하 주입층/발광층/전하 주입층/음극

h) 양극/전하 주입층/정공 수송층/발광층/음극

i) 양극/정공 수송층/발광층/전하 주입층/음극

j) 양극/전하 주입층/정공 수송층/발광층/전하 주입층/음극

k) 양극/전하 주입층/발광층/전하 수송층/음극

l) 양극/발광층/전자 수송층/전하 주입층/음극

m) 양극/전하 주입층/발광층/전자 수송층/전하 주입층/음극

n) 양극/전하 주입층/정공 수송층/발광층/전하 수송층/음극

o) 양극/정공 수송층/발광층/전자 수송층/전하 주입층/음극

p) 양극/전하 주입층/정공 수송층/발광층/전자 수송층/전하 주입층/음극

(양극)

상기 양극으로는, 예를 들면 투명 전극 또는 반투명 전극으로서, 전기 전도도가 높은 금속 산화물, 금속 황화물이나 금속의 박막을 사용할 수 있고, 투과율이 높은 것을 바람직하게 이용할 수 있고, 이용하는 유기층에 따라 적절하게 선택하여 이용한다. 구체적으로는 산화인듐, 산화아연, 산화주석, 인듐 주석 산화물(Indium Tin Oxide: 약칭 ITO), 인듐 아연 산화물(Indium Zinc Oxide: 약칭 IZO), 금, 백금, 은, 및 구리 등의 박막이 이용되고, 이들 중에서도 ITO, IZO, 산화주석이 바람직하다.

또한, 상기 양극으로서, 폴리아닐린 또는 그의 유도체, 폴리티오펜 또는 그의 유도체 등의 유기의 투명 도전막을 이용할 수도 있다. 또한, 상기 유기의 투명 도전막에 이용되는 재료, 금속 산화물, 금속 황화물, 금속 및 카본 나노 튜브 등의 탄소 재료로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1종 이상을 포함하는 혼합물을 포함하는 박막을 양극에 사용할 수도 있다.

또한, 상기 양극에 광을 반사시키는 재료를 이용할 수도 있고, 이러한 재료로서는 일함수가 3.0 eV 이상인 금속, 금속 산화물, 금속 황화물이 바람직하다.

양극의 제작 방법으로서는 진공 증착법, 스퍼터링법, 이온 플레이팅법, 도금법 등을 들 수 있다.

양극의 막 두께는 광의 투과성과 전기 전도도를 고려하여, 적절하게 선택할 수 있고, 예를 들면 5 nm 내지 10 μm이고, 바람직하게는 10 nm 내지 1 μm이고, 더욱 바람직하게는 20 nm 내지 500 nm이다.

(양극측 인터레이어)

상술한 바와 같이, 상기 양극과 발광층 사이에 필요에 따라서, 정공 주입층, 정공 수송층 등의 양극측 인터레이어가 적층된다.

(정공 주입층)

정공 주입층은 상술한 바와 같이, 양극과 정공 수송층 사이, 또는 양극과 발광층 사이에 설치할 수도 있다. 정공 주입층을 형성하는 재료로서는 공지된 재료를 적절하게 이용할 수도 있고, 특별히 제한은 없다. 예를 들면, 페닐아민계, 스타버스트형 아민계, 프탈로시아닌계, 히드라존 유도체, 카르바졸 유도체, 트리아졸 유도체, 이미다졸 유도체, 아미노기를 갖는 옥사디아졸 유도체, 산화바나듐, 산화탄탈, 산화텅스텐, 산화몰리브덴, 산화루테늄, 산화알루미늄 등의 산화물, 비정질 카본, 폴리아닐린, 폴리티오펜 유도체 등을 들 수 있다.

또한, 이러한 정공 주입층의 두께로서는 5 내지 300 nm 정도인 것이 바람직하다. 이 두께가 5 nm 미만이면, 제조가 곤란해지는 경향이 있고, 한편 300 nm를 초과하면, 구동 전압, 및 정공 주입층에 인가되는 전압이 커지는 경향이 된다.

(정공 수송층)

정공 수송층을 구성하는 재료로서는 특별히 제한은 없지만, 예를 들면 N,N'-디페닐-N,N'-디(3-메틸페닐)4,4'-디아미노비페닐(TPD), 4,4'-비스[N-(1-나프틸)-N-페닐아미노]비페닐(NPB) 등의 방향족 아민 유도체, 폴리비닐카르바졸 또는 그의 유도체, 폴리실란 또는 그의 유도체, 측쇄 또는 주쇄에 방향족 아민을 갖는 폴리실록산 유도체, 피라졸린 유도체, 아릴아민 유도체, 스틸벤 유도체, 트리페닐디아민 유도체, 폴리아닐린 또는 그의 유도체, 폴리티오펜 또는 그의 유도체, 폴리아릴아민 또는 그의 유도체, 폴리피롤 또는 그의 유도체, 폴리(p-페닐렌비닐렌) 또는 그의 유도체, 또는 폴리(2,5-티에닐렌비닐렌) 또는 그의 유도체 등을 들 수 있다.

이들 중에서도, 정공 수송층에 이용하는 정공 수송 재료로서는 폴리비닐카르바졸 또는 그의 유도체, 폴리실란 또는 그의 유도체, 측쇄 또는 주쇄에 방향족 아민 화합물기를 갖는 폴리실록산 유도체, 폴리아닐린 또는 그의 유도체, 폴리티오펜 또는 그의 유도체, 폴리아릴아민 또는 그의 유도체, 폴리(p-페닐렌비닐렌) 또는 그의 유도체, 또는 폴리(2,5-티에닐렌비닐렌) 또는 그의 유도체 등의 고분자 정공 수송 재료가 바람직하고, 더욱 바람직하게는 폴리비닐카르바졸 또는 그의 유도체, 폴리실란 또는 그의 유도체, 측쇄 또는 주쇄에 방향족 아민을 갖는 폴리실록산 유도체이다. 저분자의 정공 수송 재료의 경우에는 고분자 결합제에 분산시켜 이용하는 것이 바람직하다.

정공 수송층의 두께는 특별히 제한되지 않지만, 목적으로 하는 설계에 따라서 적절하게 변경할 수 있고, 1 내지 1000 nm 정도인 것이 바람직하다. 이 두께를 상기 하한치 미만으로 하면, 제조가 곤란하게 되거나, 또는 정공 수송의 효과가 충분히 얻어지지 않는 등의 경향이 있고, 한편 상기 상한치를 초과하면, 구동 전압 및 정공 수송층에 인가되는 전압이 커지는 경향이 있다. 따라서 정공 수송층의 두께는 상술한 바와 같이, 바람직하게는 1 내지 1000 nm이지만, 보다 바람직하게는 2 nm 내지 500 nm이고, 더욱 바람직하게는 5 nm 내지 200 nm이다.

(유기 발광층)

유기 발광층은 통상 주로 형광 또는 인광을 발광하는 유기물(저분자 화합물 및 고분자 화합물)을 포함한다. 또한, 추가로 도펀트 재료를 포함하고 있을 수도 있다. 본 발명에 있어서 이용되는 유기 발광층을 형성하는 재료로서는, 예를 들면 이하의 색소계 재료, 금속 착체계 재료, 고분자계 재료, 및 도펀트 재료 등을 들 수 있다.

상기 색소계 재료로서는, 예를 들면 시클로펜다민 유도체, 테트라페닐부타디엔 유도체 화합물, 트리페닐아민 유도체, 옥사디아졸 유도체, 피라졸로퀴놀린 유도체, 디스티릴벤젠 유도체, 디스티릴아릴렌 유도체, 퀴나크리돈 유도체, 쿠마린 유도체, 피롤 유도체, 티오펜환 화합물, 피리딘환 화합물, 페리논 유도체, 페릴렌 유도체, 올리고티오펜 유도체, 옥사디아졸 이량체, 피라졸린 이량체 등을 들 수 있다.

상기 금속 착체계 재료로서는, 예를 들면 이리듐 착체, 백금 착체 등의 삼중항 여기 상태로부터의 발광을 갖는 금속 착체, 알루미늄퀴놀리놀 착체, 벤조퀴놀리놀베릴륨 착체, 벤조옥사졸릴아연 착체, 벤조티아졸아연 착체, 아조메틸아연 착체, 포르피린아연 착체, 유로퓸 착체 등, 중심 금속으로 Al, Zn, Be 등 또는 Tb, Eu, Dy 등의 희토류 금속을 갖고, 배위자로 옥사디아졸, 티아디아졸, 페닐피리딘, 페닐벤조이미다졸, 퀴놀린 구조 등을 갖는 금속 착체 등을 들 수 있다.

상기 고분자계 재료로서는, 예를 들면 폴리파라페닐렌비닐렌 유도체, 폴리티오펜 유도체, 폴리파라페닐렌 유도체, 폴리실란 유도체, 폴리아세틸렌 유도체, 폴리플루오렌 유도체, 폴리비닐카르바졸 유도체, 상기 색소체나 금속 착체계 발광 재료를 고분자화한 것 등을 들 수 있다.

상기 유기 발광층 형성 재료 중 청색으로 발광하는 재료로서는, 예를 들면 디스티릴아릴렌 유도체, 옥사디아졸 유도체, 및 이들의 중합체, 폴리비닐카르바졸 유도체, 폴리파라페닐렌 유도체, 폴리플루오렌 유도체 등을 들 수 있다. 그 중에서도 고분자 재료의 폴리비닐카르바졸 유도체, 폴리파라페닐렌 유도체나 폴리플루오렌 유도체 등이 바람직하다.

또한, 상기 유기 발광층 형성 재료 중 녹색으로 발광하는 재료로서는, 예를 들면 퀴나크리돈 유도체, 쿠마린 유도체, 및 이들의 중합체, 폴리파라페닐렌비닐렌 유도체, 폴리플루오렌 유도체 등을 들 수 있다. 그 중에서도 고분자 재료의 폴리파라페닐렌비닐렌 유도체, 폴리플루오렌 유도체 등이 바람직하다.

또한, 상기 발광층 형성 재료 중 적색으로 발광하는 재료로서는, 예를 들면 쿠마린 유도체, 티오펜환 화합물, 및 이들의 중합체, 폴리파라페닐렌비닐렌 유도체, 폴리티오펜 유도체, 폴리플루오렌 유도체 등을 들 수 있다. 그 중에서도 고분자 재료의 폴리파라페닐렌비닐렌 유도체, 폴리티오펜 유도체, 폴리플루오렌 유도체 등이 바람직하다.

상기 유기 발광층 중에 발광 효율의 향상이나 발광 파장을 변화시키는 등의 목적으로, 도펀트를 첨가할 수도 있다. 이러한 도펀트로서는, 예를 들면 페릴렌 유도체, 쿠마린 유도체, 루브렌 유도체, 퀴나크리돈 유도체, 스쿠아릴륨 유도체, 포르피린 유도체, 스티릴계 색소, 테트라센 유도체, 피라졸론 유도체, 데카시클렌, 페녹사존 등을 들 수 있다.

또한, 이러한 유기 발광층의 두께는, 통상 2 nm 내지 200 nm이다.

(음극측 인터레이어)

상술한 바와 같이, 상기 발광층과 후술의 음극 사이에 필요에 따라서, 전자 주입층, 전자 수송층 등의 음극측 인터레이어가 적층된다.

(전자 수송층)

전자 수송층을 형성하는 재료로서는 공지된 것을 사용할 수 있고, 예를 들면 옥사디아졸 유도체, 안트라퀴노디메탄 또는 그의 유도체, 벤조퀴논 또는 그의 유도체, 나프토퀴논 또는 그의 유도체, 안트라퀴논 또는 그의 유도체, 테트라시아노안트라퀴노디메탄 또는 그의 유도체, 플루오레논 유도체, 디페닐디시아노에틸렌 또는 그의 유도체, 디페노퀴논 유도체, 또는 8-히드록시퀴놀린 또는 그의 유도체의 금속 착체, 폴리퀴놀린 또는 그의 유도체, 폴리퀴녹살린 또는 그의 유도체, 폴리플루오렌 또는 그의 유도체 등을 들 수 있다.

이들 중에서, 옥사디아졸 유도체, 벤조퀴논 또는 그의 유도체, 안트라퀴논 또는 그의 유도체, 또는 8-히드록시퀴놀린 또는 그의 유도체의 금속 착체, 폴리퀴놀린 또는 그의 유도체, 폴리퀴녹살린 또는 그의 유도체, 폴리플루오렌 또는 그의 유도체가 바람직하고, 2-(4-비페닐릴)-5-(4-t-부틸페닐)-1,3,4-옥사디아졸, 벤조퀴논, 안트라퀴논, 트리스(8-퀴놀리놀)알루미늄, 폴리퀴놀린이 더욱 바람직하다.

(전자 주입층)

전자 주입층은 먼저 말한 것처럼, 전자 수송층과 음극 사이, 또는 발광층과 음극 사이에 설치된다. 전자 주입층으로서는 발광층의 종류에 따라서, 예를 들면 알칼리 금속이나 알칼리 토금속, 또는 상기 금속을 1종 이상 포함하는 합금, 또는 상기 금속의 산화물, 할로겐화물 및 탄산화물, 또는 상기 물질의 혼합물 등이 이용된다.

상기 알칼리 금속 또는 그의 산화물, 할로겐화물, 탄산화물의 예로서는, 예를 들면 리튬, 나트륨, 칼륨, 루비듐, 세슘, 산화리튬, 불화리튬, 산화나트륨, 불화나트륨, 산화칼륨, 불화칼륨, 산화루비듐, 불화루비듐, 산화세슘, 불화세슘, 탄산리튬 등을 들 수 있다.

상기 알칼리 토금속 또는 그의 산화물, 할로겐화물, 탄산화물의 예로서는, 예를 들면 마그네슘, 칼슘, 바륨, 스트론튬, 산화마그네슘, 불화마그네슘, 산화칼슘, 불화칼슘, 불화칼슘, 산화바륨, 불화바륨, 산화스트론튬, 불화스트론튬, 탄산마그네슘 등을 들 수 있다.

또한, 금속, 금속 산화물, 금속염을 도핑한 유기 금속 화합물 및 유기 금속 착체 화합물, 또는 이들 혼합물도 전자 주입층의 재료로서 사용할 수 있다.

이 전자 주입층은 2층 이상을 적층한 적층 구조를 가질 수도 있다. 구체적으로는 Li/Ca 등을 들 수 있다. 이 전자 주입층은 증착법, 스퍼터링법, 인쇄법 등에 의해 형성된다.

이 전자 주입층의 막 두께로서는 1 nm 내지 1 μm 정도가 바람직하다.

(음극)

음극의 재료로서는 일함수가 작고, 발광층으로의 전자 주입이 용이한 재료 및/또는 전기 전도도가 높은 재료 및/또는 가시광 반사율이 높은 재료가 바람직하다. 이러한 음극 재료로서는, 구체적으로는 예를 들면 금속, 금속 산화물, 합금, 흑연 또는 흑연 층간 화합물, 산화아연(ZnO) 등의 무기 반도체 등을 들 수 있다.

상기 금속으로서는 알칼리 금속이나 알칼리 토금속, 전이 금속이나 주기 표의 13족 금속 등을 사용할 수 있다. 이들 금속의 구체적예로서는 리튬, 나트륨, 칼륨, 루비듐, 세슘, 베릴륨, 마그네슘, 칼슘, 스트론튬, 바륨, 금, 은, 백금, 구리, 망간, 티탄, 코발트, 니켈, 텅스텐, 주석, 알루미늄, 스칸듐, 바나듐, 아연, 이트륨, 인듐, 세륨, 사마륨, 유로퓸, 테르븀, 이테르븀 등을 들 수 있다.

또한, 합금으로서는 상기 금속의 적어도 1종을 포함하는 합금을 들 수 있고, 구체적으로는, 예를 들면 마그네슘-은 합금, 마그네슘-인듐 합금, 마그네슘-알루미늄 합금, 인듐-은 합금, 리튬-알루미늄 합금, 리튬-마그네슘 합금, 리튬-인듐 합금, 칼슘-알루미늄 합금 등을 들 수 있다.

음극은 필요에 따라서 투명 전극 또는 반투명 전극이 되지만, 이들의 재료로서는, 예를 들면 산화인듐, 산화아연, 산화주석, ITO, IZO 등의 도전성 산화물; 폴리아닐린 또는 그의 유도체, 폴리티오펜 또는 그의 유도체 등의 도전성 유기물을 들 수 있다.

또한, 음극을 2층 이상의 적층 구조로 할 수도 있다. 또한, 전자 주입층이 음극으로서 이용되는 경우도 있다.

음극의 막 두께는 전기 전도도나 내구성을 고려하여 적절하게 선택할 수 있고, 예를 들면 10 nm 내지 10 μm이고, 바람직하게는 20 nm 내지 1 μm이고, 더욱 바람직하게는 50 nm 내지 500 nm이다.

(상부 밀봉막)

상술한 바와 같이 음극이 형성된 후, 기본 구조로서 양극-발광층-음극을 갖고 이루어지는 발광 기능부를 보호하기 위해서, 상기 발광 기능부를 밀봉하는 상부 밀봉막이 형성된다. 이 상부 밀봉막은, 통상 적어도 하나의 무기층과 적어도 하나의 유기층을 갖는다. 적층수는 필요에 따라서 결정되고, 기본적으로는 무기층과 유기층은 교대로 적층된다.

또한, 기판 및 상부 밀봉막에 의해 발광 기능부가 피포되어 있어도, 플라스틱 기판은 유리 기판과 비교하여 가스 및 액체의 투과성이 높고, 또한 유기 발광층 등의 발광 물질은 산화되기 쉽고, 물과 접촉함으로써 열화되기 쉽기 때문에, 상기 기판으로서 플라스틱 기판이 이용되는 경우에는 플라스틱 기판 상에 가스 및 액체에 대한 배리어성이 높은 하부 밀봉막을 적층하고, 그 후, 이 하부 밀봉막 상에 상기 발광 기능부를 적층한다. 이 하부 밀봉막은, 통상 상기 상부 밀봉막과 동일한 구성, 동일한 재료로 형성된다.

[유기 EL 소자의 제조 방법]

이하, 본 발명에 따른 유기 EL 소자의 제조 방법에 대해서, 더욱 자세히 설명한다.

(양극 형성 공정)

상술한 어느 하나의 기판 재료를 포함하는 기판을 준비한다. 가스 및 액체의 투과성이 높은 플라스틱 기판을 이용하는 경우에는, 필요에 따라서 기판 상에 하부 밀봉막을 형성하여 놓는다.

다음으로, 준비한 기판 상에 상술한 어느 하나의 양극 재료를 이용하여, 양극을 패턴 형성한다. 이 양극을 투명 전극으로 하는 경우에는 상술한 바와 같이, ITO, IZO, 산화주석, 산화아연, 산화인듐, 아연알루미늄 복합 산화물 등의 투명 전극 재료를 사용한다. 전극의 패턴 형성은, 예를 들면 ITO를 이용하는 경우, 스퍼터링법에 의해 기판 상에 균일한 퇴적막으로서 형성되고, 계속해서 포토리소그래피에 의해 패터닝된다.

(발광층 형성 영역의 형성 공정)

양극의 형성된 기판 상에 절연막을 형성하고, 이어서 패터닝함으로써, 기판의 두께 방향의 한쪽에서 보아, 유기 발광층이 형성되는 발광층 형성 영역을 둘러싸는 격벽을 형성하는 경우가 흐른다. 발광층 형성 영역은 발광 영역에 상당한다. 유기 EL 소자를 조명 장치의 광원에 이용하는 경우, 상기 발광층 형성 영역(발광 영역)은, 통상 0.5 cm×0.5 cm 이상의 면적에 형성된다.

상기 절연막의 역할은 복수의 유기 EL 소자를 기판 상에 형성하는 경우, 각 유기 EL 소자 사이의 전기 절연성을 확보함과 동시에, 발광 영역을 규정하는 데에 있다. 그 때문에, 통상 그의 두께 치수로서는 0.1 내지 0.2 μm로 설정된다.

상기 절연막의 제작 방법은, 통상 감광성 재료(포토레지스트 조성물)를 이용하여 포토리소그래피에 의해 형성한다.

상기 감광성 재료(포토레지스트 조성물)의 도포는 스핀 코터, 바 코터, 롤 코터, 다이 코터, 그라비아 코터, 슬릿 코터 등을 이용한 코팅법에 의해 행할 수 있다.

상기 절연막을 형성하는 절연성 감광성 재료는 포지티브형 레지스트, 네가티브형 레지스트의 어느 쪽일 수도 있다. 이 절연성을 나타내는 감광성 재료로서는, 구체적으로는 폴리이미드계, 아크릴 수지계, 노볼락 수지계의 각 감광성 화합물을 사용할 수 있다. 또한, 이 감광성 재료로는 유기 EL 소자의 표시 품위를 올리는 목적으로, 광 차광성을 나타내는 재료를 함유시킬 수도 있다.

이 절연막의 표면에 발잉크성을 부여하기 위해서, 격벽 형성용의 감광성 재료에 발잉크성 물질을 가할 수도 있다. 또는, 절연막을 형성한 후, 그의 표면에 발잉크성 물질을 피복시킴으로써, 격벽 표면에 발잉크성을 부여할 수도 있다. 이 발잉크성은 후술하는 인터레이어용의 잉크에 대해서도, 유기 발광층용의 잉크에 대해서도, 발성인 것이 바람직하다.

(양극측 인터레이어 형성 공정)

절연성 격벽 형성 후, 필요에 따라서, 상술한 정공 수송층 등의 유기 재료층(양극측 인터레이어)을 형성한다.

양극측 인터레이어의 성막 방법으로서는 특별히 제한은 없지만, 저분자 재료로서는, 예를 들면 고분자 결합제와의 혼합 용액으로부터의 성막에 의한 방법을 들 수 있다. 또한, 고분자 재료로서는, 예를 들면 용액으로부터의 성막에 의한 방법을 들 수 있다.

용액으로부터의 성막에 이용하는 용매로서는 상술한 양극측 인터레이어용의 재료를 용해시키는 것이면, 특별히 제한은 없다. 이러한 용매로서, 예를 들면 클로로포름, 염화메틸렌, 디클로로에탄 등의 염소계 용매, 테트라히드로푸란 등의 에테르계 용매, 톨루엔, 크실렌 등의 방향족 탄화수소계 용매, 아세톤, 메틸에틸케톤 등의 케톤계 용매, 아세트산에틸, 아세트산부틸, 에틸셀로솔브아세테이트 등의 에스테르계 용매를 들 수 있다.

상기 용액으로부터의 성막 방법으로서는 볼록판 인쇄법을 이용하는 것이 바람직하다. 그 중에서도 플렉소 인쇄법이 바람직하다.

상기 혼합하는 고분자 결합제로서는 전하 수송을 극도로 저해하지 않는 것이 바람직하고, 또한 가시광에 대한 흡수가 강하지 않은 것이 바람직하게 이용된다. 이러한 고분자 결합제로서, 예를 들면, 폴리카보네이트, 폴리아크릴레이트, 폴리메틸아크릴레이트, 폴리메틸메타크릴레이트, 폴리스티렌, 폴리염화비닐, 폴리실록산 등을 들 수 있다.

(유기 발광층 형성 공정)

종래의 유기 EL 소자의 제조 방법에 있어서의 유기 발광층의 형성 공정에서는 도 1에 나타낸 바와 같이, 상기 볼록판 인쇄판 (1)의 볼록부 (2)의 볼록면 (2a)를 상기 유기 발광층의 형성 영역에 대응하는 형상 및 치수로 형성하고, 이 볼록면 (2a) 상에 유기 발광 잉크 (3)을 부착시켜, 이 유기 발광 잉크 (3)을 상기 유기 발광층의 형성 영역에 전사하고 있었다.

이것에 대하여, 본 발명의 유기 EL 소자의 제조 방법에 있어서의 유기 발광층 형성 공정의 특징은 도 2에 나타낸 바와 같이, 유기 발광층이 형성되는 발광층 형성 영역에 대응하는 형상의 볼록부 (12)를 갖는 볼록판 인쇄판 (11)을 이용하여, 유기 발광 재료와 용매를 포함하는 유기 발광 잉크를 상기 발광층 형성 영역에 도포함으로써 유기 발광층을 형성하고, 상기 볼록부 (12)가 표면부에 복수체의 오목홈 (12b)를 갖는다. 상기 볼록부 (12)의 표면부에서, 복수체의 오목홈 (12b)는 각각 짧은 방향으로 소정의 간격을 두고 스트라이프형으로 배치되는 것이 바람직하고, 또한 상기 소정의 간격이 일정한 간격인 것이 바람직하다. 여기서 짧은 방향이란, 오목홈의 깊이 방향, 및 오목홈이 연장되는 방향(길이 방향)에 각각 수직인 방향이다. 이하, 인접하여 배치되는 오목홈 (12b)와 오목홈 (12b) 사이의 부위를 볼록조 (12a)라고 한다. 따라서 후술하는 볼록조 (12a)의 폭이란, 상기 소정의 간격 또는 상기 일정한 간격에 상당한다. 복수체의 오목홈 (12b)를 짧은 방향으로 소정의 간격을 두고 스트라이프형으로 배치하면, 표면부에서 오목홈 (12b)와 볼록조 (12a)가 교대로 형성된다. 또한 발광층 형성 영역에 대응하는 형상이란, 볼록부 (12)의 표면의 윤곽이 발광층 형성 영역의 윤곽과 대략 일치하는 형상이다.

이들 볼록조 (12a)와 오목홈 (12b)란, 등간격으로 설치할 수도 있고, 등간격으로 설치하지 않을 수도 있지만, 상기 볼록부의 표면부에서, 상기 복수체의 오목홈이 각각 짧은 방향으로 일정한 간격을 두고 스트라이프형으로 배치되는 것이 바람직하다. 또한, 복수체의 오목홈 (12b)의 길이 방향의 적어도 일단이 상기 볼록부 (12)의 측면으로 개방하는 것이 바람직하다. 즉, 복수체의 오목홈 (12b)의 길이 방향의 적어도 일단이 상기 볼록부 (12)의 측면에까지 도달하는 것이 바람직하고, 또한 상기 볼록부 (12)의 표면부에서, 오목홈 (12b)가 볼록부 (12)의 양측면 사이에 걸쳐 형성되는 것이 바람직하다. 오목홈 (12b)의 길이 방향의 적어도 일단이 개방되어 있음으로써, 유기 발광 잉크의 전사시에 도막에 생기는 부압을 완화할 수 있는 것으로 추찰된다.

상기 볼록조 (12a)와 오목홈 (12b)의 치수, 즉 스트라이프의 라인 앤드 스페이스의 치수의 바람직한 범위는 특별히 한정되지 않지만, 잉크 농도, 점도, 용매 증발 속도 등에 따라서 적절히 설정된다. 도 3을 참조하여 설명하면, 상기 볼록조 (12a)의 높이 치수(오목홈 (12b)의 깊이) (h)로서는 5 μm 내지 50 μm가 바람직하고, 볼록조 (12a)의 폭 치수(라인의 폭 치수)로서는 10 μm 내지 100 μm가 바람직하고, 오목홈 (12b)의 폭 치수(스페이스의 폭 치수, 오목홈의 짧은 방향의 폭)로서는 10 μm 내지 100 μm가 바람직하다.

상기 오목홈 (12b)의 길이 방향, 즉 스트라이프의 형성 방향은 특별히 한정되지 않지만, 볼록판 인쇄의 인쇄 방향으로 평행인 것이 바람직하다.

상기 유기 발광 잉크는 유기 발광 재료를 용제에 용해 또는 안정적으로 분산시켜 제조한다. 이 유기 발광 재료를 용해 또는 분산하는 용제로서는, 예를 들면 톨루엔, 크실렌, 아세톤, 아니솔, 메틸에틸케톤, 메틸이소부틸케톤, 시클로헥사논 등의 단독 또는 이들 혼합 용제를 들 수 있다. 그 중에서도 톨루엔, 크실렌, 아니솔이라고 하는 방향족 유기 용제가 유기 발광 재료의 양호한 용해성을 갖는 점에서 바람직하다.

또한, 유기 발광 잉크에는 필요에 따라서, 계면활성제, 산화 방지제, 점도 조정제, 자외선 흡수제 등을 첨가할 수도 있다.

또한, 발광층 형성 영역의 면적이 1 cm×1 cm 이상인 것이 바람직하다. 이러한 넓은 면적이라도, 유기 발광 잉크를 균일하게 도포할 수 있기 때문에, 넓은 발광 면적을 갖는 유기 EL 소자를 도포법으로 간이하게 제조할 수 있다.

(음극측 인터레이어 형성 공정)

상기 유기 발광층의 형성 후, 필요에 따라서, 전자 수송층이나 전자 주입층 등의 음극측 인터레이어를 형성한다.

이 음극측 인터레이어의 형성 방법은 전자 수송층의 경우, 특별히 제한은 없지만, 저분자 전자 수송 재료로서는 분말로부터의 진공 증착법, 또는 용액 또는 용융 상태로부터의 성막에 의한 방법이 예시되고, 고분자 전자 수송 재료로서는 용액 또는 용융 상태로부터의 성막에 의한 방법이 예시된다. 용액 또는 용융 상태로부터의 성막시에는 고분자 결합제를 병용할 수도 있다. 용액으로부터 전자 수송층을 성막하는 방법으로서는 상술한 용액으로부터 정공 수송층을 성막하는 방법과 동일한 성막법을 사용할 수 있다.

또한, 전자 주입층의 경우, 증착법, 스퍼터링법, 인쇄법 등을 이용하여 형성된다.

(음극 형성 공정)

음극은 상술한 어느 하나의 재료를 이용하여, 예를 들면 진공 증착법, 스퍼터링법, CVD법, 이온 플레이팅법, 레이저 박리법, 및 금속 박막을 압착하는 라미네이트법 등에 의해 형성한다.

상술한 바와 같이 하여, 음극을 형성한 후, 기본 구조로서 양극-발광층-음극을 갖고 이루어지는 발광 기능부를 보호하기 위해서, 상기 발광 기능부를 밀봉하는 상부 밀봉막을 형성한다. 이 상부 밀봉막은 필요에 따라서, 적어도 하나의 무기층과 적어도 하나의 유기층으로 구성된다. 이들 적층수는 필요에 따라서 결정되고, 기본적으로는 무기층과 유기층은 교대로 적층한다.

<실시예>

이하, 본 발명의 실시예를 나타내지만, 이하에 나타내는 실시예는 본 발명을 설명하기 위한 바람직한 예시로서, 하등 본 발명을 한정할 만한 것은 아니다.

(실시예 1)

볼록판 인쇄판을 이용하여, 유리 기판 상에 유기 발광 잉크를 도포하였다. 유리 기판에는 200 mm(세로)×200 mm(가로)×0.7 mm(두께)의 투명 유리판을 이용하였다.

또한 잉크로서, 아니솔과 시클로로헥실벤젠을 중량비 1:1로 혼합한 혼합 용매에, 고분자 발광 재료(서메이션 제조, 상품명 「GP1300」)를 용해하여 유기 발광 잉크를 조정하였다. 유기 발광 잉크에 있어서의 고분자 발광 재료의 농도를 1 중량％로 하였다.

인쇄에 이용한 인쇄기는 닛본 샤싱 인사쯔(주) 제조의 「옹스트로머 SDR-0023(상품명), 판드럼 직경: 80 mm」였다. 인쇄 속도는 50 mm/초로 하였다.

판과 기판이 접촉하는 상태를 인쇄 압입양 0 μm로서, 그 위치에서 판을 50 μm 압박한 상태(인쇄 압입양=50 μm)에서 인쇄하였다.

인쇄판으로서 폴리에스테르계 수지제의 플렉소 인쇄판을 이용하였다. 이 플렉소 인쇄판의 표면부에는 등간격으로 배치된 복수체의 오목홈이 형성되어 있다. 볼록조의 짧은 방향의 폭(라인)은 40 μm이고, 오목홈의 짧은 방향의 폭(스페이스)은 40 μm이었다(라인/스페이스=40 μm/40 μm). 볼록조의 높이는 15 μm였다.

(실시예 2)

플렉소 인쇄판만을 달리하여, 실시예 1과 동일하게 유리 기판 상에 유기 발광 잉크를 도포하였다.

이용한 플렉소 인쇄판의 표면부에는 등간격으로 배치된 복수체의 오목홈이 형성되어 있다. 볼록조의 짧은 방향의 폭(라인)은 30 μm이고, 오목홈의 짧은 방향의 폭(스페이스)은 50 μm였다(라인/스페이스=30 μm/50 μm). 볼록조의 높이는 15 μm였다.

(비교예 1)

플렉소 인쇄판만을 달리하여, 실시예 1과 동일하게 유리 기판 상에 유기 발광 잉크를 도포하였다. 플렉소 인쇄판은 표면이 평탄한 판(베타판)을 이용하였다.

(비교예 2 내지 6)

플렉소 인쇄판만을 달리하여, 실시예 1과 동일하게 유리 기판 상에 유기 발광 잉크를 도포하였다. 비교예 2 내지 6에서는 망판을 이용하였다. 비교예 2, 3, 4, 5, 6에서는 각각 100/인치, 200/인치, 400/인치, 600/인치, 900/인치의 망판을 이용하였다. 망점의 높이는 15 μm였다.

(평가)

자외선을 인쇄물에 쬐어, 도포막으로부터의 형광(PL)의 강도 분포를 광학 현미경으로 관찰하고, 인쇄막 두께 분포(인쇄 불균일)를 평가하였다. 이 평가 결과를 표 1에 나타내었다.

또한, 표 1에 있어서, 기호 「○」는 인쇄 불균일이 없었던 것을 나타내고, 기호 「×」는 인쇄 불균일이 있었던 것을 나타낸다.

이상의 결과로부터, 볼록판 인쇄판의 볼록부 표면에 복수체의 오목홈을 형성함으로써, 균일한 막 두께로 유기 발광 잉크를 도포할 수 있는 것이 확인되었다.

이상과 같이, 본 발명에 따르면, 발광면에서의 발광 불균일이나 발광 불량의 발생이 없는 발광 특성이 우수한 유기 EL 소자 및 상기 유기 EL 소자를 갖는 조명 장치를 효율적으로 제조할 수 있다.

Claims

적어도 양극과, 음극과, 양극 및 음극 사이에 설치되는 유기 발광층을 구비하는 유기 전계발광 소자의 제조 방법으로서,
상기 유기 발광층이 형성되는 발광층 형성 영역에 대응하는 형상의 볼록부를 가짐과 동시에 상기 볼록부의 표면부에 복수체의 오목홈이 형성되어 있는 볼록판 인쇄판을 이용하여, 유기 발광 재료와 용매를 포함하는 유기 발광 잉크를 상기 발광층 형성 영역에 도포하여 유기 발광층을 형성하는 유기 발광층 형성 공정을 포함하는, 유기 전계발광 소자의 제조 방법.
제1항에 있어서, 상기 복수체의 오목홈의 길이 방향의 적어도 일단이 상기 볼록부의 측면으로 개방되어 있는 유기 전계발광 소자의 제조 방법.
제1항에 있어서, 상기 발광층 형성 영역의 면적이 1 cm×1 cm 이상인 유기 전계발광 소자의 제조 방법.
제1항에 기재된 제조 방법을 이용하여 얻어진 유기 전계발광 소자.
제4항에 기재된 유기 전계발광 소자를 포함하는 조명 장치.