KR20100088694A

KR20100088694A - 페이스트 도포장치

Info

Publication number: KR20100088694A
Application number: KR1020107012641A
Authority: KR
Inventors: 유주루 이나바; 오사무 오쿠다
Original assignee: 파나소닉 주식회사
Priority date: 2007-12-10
Filing date: 2008-11-17
Publication date: 2010-08-10
Also published as: US20100258591A1; CN101896284A; US8302821B2; DE112008003338T5; CN101896284B; JP5082813B2; JP2009136826A; WO2009075064A1

Abstract

주사기의 배치에 기인하는 전유 공간의 증가 등, 튜브의 열화의 문제점을 해결한다. 주사기(16) 내에 수용된 페이스트(7)를 도포대상물에 도포하는 페이스트 도포유닛(15)(페이스트 도포장치)에 있어서, 회전 부재(32)의 하단에 설치된 토출 나사부(32b)를 케이싱부(31)에 설치된 토출 공간(31b) 내에, 축선(AZ)을 중심으로 회전 가능하게 페이스트(7)를 압송하는 펌프 기구(18)를 형성하고, 케이싱부(31)의 단부에 토출 공간(31b)과 연통하는 토출 구멍(17a)을 설치하고, 회전 부재(32)와 동일한 축으로 주사기(16)를 배치하여 착찰 가능하게 접속하는 구성을 채용한다. 이로인해, 주사기(16)를 펌프 기구(18)와 병렬로 배치하는 경우에 발생하는 전유 공간의 증가 등, 튜브의 열화의 문제점을 해결할 수 있다.

Description

페이스트 도포장치{PASTE APPLICATION DEVICE}

본 발명은 주사기 내에 저류된 페이스트를 토출시켜서 도포대상물에 도포하는 페이스트 도포장치에 관한 것이다.

반도체장치제조의 다이 본딩(die bonding) 공정에서는, 리드 프레임 등의 기판에 반도체 팁을 접착하기 위한 페이스트가 도포된다. 종래부터 이 페이스트 도포는 디스펜서에 의해 페이스트를 토출함으로써 행하여지고, 디스펜서로서, 주사기 내에 저류된 페이스트를 공기압에 의해 밀어내어, 페이스트 토출 나사에 의해 토출 구멍으로부터 토출시키는 구성이 알려져 있다(일본특허공개 제2003-117484호 공보의 도 9 참조). 이 특허문헌에 나타난 선행 기술에 있어서는, 페이스트 토출 나사를 이용한 펌프 기구를 갖는 토출 유닛과 병렬로 주사기를 배열하고, 주사기로부터 토출 유닛까지 가요성 튜브를 매개로 페이스트를 공급하도록 하고 있다.

그런데 도포대상의 팁에 따라서는 페이스트의 도포점이 동일 팁에 복수로 설정되어 있어, 이러한 도포대상에는, 복수의 도포점에 일괄해서 도포를 행할 수 있도록, 복수의 토출 구멍이 설치된 도포 노즐을 쓸 경우가 있다. 이 경우에는, 도포 노즐의 토출 구멍은 점대칭으로 배치되지 않고 방향성을 갖는 배치가 되도록, 기판에 있어서의 도포대상의 팁의 방향에 맞추어, 도포 노즐을 회전시킬 필요가 있다. 이러한 경우, 특허문헌에 개시된 선행 기술에 있어서는, 페이스트를 공급하기 위한 튜브도 토출 유닛과 일체로 회전한다. 이 때문에, 장치가동 시간의 경과에 따라 튜브에는 회전에 수반되는 굴곡이 반복해서 작용하고, 튜브 재질이 차츰 열화(劣化) 된다. 그리고 이러한 열화에 의해, 예기치 않는 타이밍에서 튜브가 파손되어 페이스트의 누설 등, 장치의 정지를 필요로 하는 불량이 생길 경우가 있었다. 이에 따라, 종래의 페이스트 도포장치에는, 주사기를 토출 유닛과 병렬로 배치하는 것에 기인하여, 페이스트 도포장치의 전유(專有) 공간이 증대하는 레이아웃 상의 난점과 함께, 주사기를 접속하는 튜브의 열화에 기인하는 상술한 문제가 있었다.

여기서 본 발명은, 주사기의 배치에 기인하여 독점되는 공간의 증가나 튜브의 열화 문제를 해결할 수 있는 페이스트 도포장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 페이스트 도포장치는, 주사기 내에 수용된 페이스트를 도포대상물에 도포하는 페이스트 도포장치로서, 대체로 원통 형상의 상기 주사기의 축선과 동일한 축 위치에 축선이 일치되게 배치되고, 상기 주사기의 하단부에 설치된 페이스트 공급구멍이 착탈 가능하게 접속되는 회전 부재; 상기 회전 부재를 상기 축선을 중심으로 회전 가능하게 보유하고, 이 회전 부재의 하부에 설치된 토출 나사부가 결합하는 토출 공간이 형성되고, 상기 토출 나사부를 상기 토출 공간 내에서 상기 축선을 중심으로 회전시킴으로써 상기 페이스트를 압송하는 펌프 기구를 형성하는 케이싱부; 상기 케이싱부의 단부에 상기 토출 공간과 연통하여 설치된 토출 구멍; 상기 회전 부재를 축 방향으로 관통하고, 상기 페이스트 공급구멍과 상기 토출 나사부에 개방되어 설치된 페이스트 배출구멍을 연통시켜 형성되어, 상기 주사기로부터 상기 펌프 기구에 페이스트를 공급하는 페이스트 공급로; 상기 주사기의 내부에 이 주사기의 축선을 중심으로 하는 회전을 허용하는 상태로 공기압을 공급함으로써, 상기 주사기 내의 페이스트를 상기 페이스트 공급로를 매개로 상기 펌프 기구에 공급하는 공기압 공급수단; 및 상기 회전 부재를 상기 케이싱부에 대하여 소정방향으로 상대적으로 회전시킴으로써, 상기 펌프 기구를 작동시켜서 상기 공급된 페이스트를 상기 토출 구멍으로부터 토출시키는 토출용 회전구동기구를 포함한다.

본 발명에 따르면, 주사기 내에 수용된 페이스트를 도포대상물에 도포하는 페이스트 도포장치에 있어서, 회전 부재의 하부에 설치된 토출 나사부를 케이싱부에 설치된 토출 공간 내에서 축선을 중심으로 회전시킴으로써 페이스트를 압송하는 펌프 기구를 형성하고, 케이싱부의 단부에 토출 공간과 연통하는 토출 구멍을 설치하고, 회전 부재와 동일 축에 주사기를 배치하여 착탈 가능하게 접속하는 구성을 채용함으로써, 주사기의 배치에 기인하는 전유 공간의 증가나 튜브의 열화의 문제점을 해결할 수 있다.

도 1은 본 발명의 한 실시형태의 다이 본딩 장치의 투시도이고,
도 2는 본 발명의 한 실시형태의 페이스트 도포장치의 측면도이고,
도 3은 본 발명의 한 실시형태의 페이스트 도포장치의 부분 단면도이고,
도 4는 본 발명의 한 실시형태의 페이스트 도포장치의 펌프 기구의 설명도이고,
도 5는 본 발명의 한 실시형태의 페이스트 도포장치에 있어서 페이스트 도포동작의 설명도이고,
도 6은 본 발명의 한 실시형태의 페이스트 도포장치에 있어서 페이스트 도포 동작의 설명도이다.

다음에서 본 발명의 실시의 형태를 도면을 참조하여 설명한다. 도 1은 본 발명의 한 실시형태의 다이 본딩 장치의 투시도이고, 도 2는 본 발명의 한 실시형태의 페이스트 도포장치의 측면도이고, 도 3은 본 발명의 한 실시형태의 페이스트 도포장치의 부분 단면도이고, 도 4는 본 발명의 한 실시형태의 페이스트 도포장치의 펌프 기구의 설명도이고, 도 5는 및 도 6은 본 발명의 한 실시형태의 페이스트 도포장치에 있어서 페이스트 도포 동작의 설명도이다.

먼저, 도 1을 참조하여 다이 본딩 장치의 구조를 설명한다. 도 1에 있어서 팁 공급부(1)에는 웨이퍼 시트(2)가 보유 테이블(도시 생략)에 의해 보유되어 있다. 웨이퍼 시트(2)에는 복수의 반도체 팁(3)이 격자배열로 점착되어 있다. 팁 공급부(1)의 측 방향으로는 반송로(5)가 배설되어 있고, 반송로(5)는 리드 프레임(6)을 반송해 페이스트 도포위치 및 본딩 위치에 리드 프레임(6)을 위치 결정한다. 팁 공급부(1)의 위쪽에는 본딩 헤드(4)가 배설되어 있고, 본딩 헤드(4)는, 헤드 이동 기구(도시 생략)에 의해 수평이동 및 상하이동 한다.

반송로(5)의 측 방향으로는 페이스트 도포부(9)가 배설되어 있다. 페이스트 도포부(9)는, 이동 테이블(10)에, 대략 원통 형상의 용기인 주사기(16) 내의 페이스트(7)를 토출하여 도포하는 기능을 갖는 페이스트 도포 유닛(15)을 장착하여 구성되어 있다. 이동 테이블(10)은 Y축 테이블(11) 위로 X축 테이블(12)을 적층하고, 아울러 그 위에 L 형태 브래킷(13)을 매개로 Z축 테이블(14)을 수직방향으로 결합하여 구성되어 있다. Y 축 테이블(11), X축 테이블(12), Z축 테이블(14)은, 각각 Y축 모터(11a), X축 모터(12a), Z축 모터(14a)를 구비하고 있다. X축 모터(12a), Y축 모터(11a) 및 Z축 모터(14a)를 구동함으로써 페이스트 도포 유닛(15)은 리드 프레임(6) 위에서 수평방향 및 상하방향으로 이동한다.

페이스트 도포 유닛(15)에 장착된 주사기(16)의 내부에는, 반도체 팁(3)을 리드 프레임(6)에 접착하는 페이스트(7)가 잔류하고 있다. 주사기(16) 내의 페이스트(7)는 튜브(19)로부터 공급되는 공기압에 의해 공급되고, 아울러 페이스트 도포 유닛(15)에 구비된 펌프 기구(18)(도 2 참조)에 의해 페이스트(7)는 하단부에 설치된 도포 노즐(17)로부터 토출 된다. 리드 프레임(6) 표면의 반도체 팁(3)이 본딩되는 팁 본딩 부위(6a)는 페이스트가 도포되는 도포 영역(6a)이며, 도포 노즐(17)의 토출 구멍을 도포 영역(6a) 안에 위치시켜, 도포 노즐(17)로부터 페이스트(7)를 토출시키면서 페이스트 도포 유닛(15)을 이동시킴으로써, 리드 프레임(6)의 표면의 팁 탑재 위치에 설정된 도포 영역(6a) 안에는 소정의 도포 패턴으로 페이스트(7)가 도포된다. 페이스트 도포 후, 리드 프레임(6)은 반송로(5) 상의 본딩 위치(8)에 보내져, 위치 결정된다. 그리고 도포 영역(6a) 안에 도포된 페이스트(7) 위로, 본딩 헤드(4)의 노즐(4a)에 의해 팁 공급부(1)로부터 픽업된 팁(3)이 본딩 된다.

다음으로, 도 2, 도 3, 도 4를 참조하여 페이스트 도포 유닛(15)의 구조를 설명한다. 도 3의 (a), (b), (c)는 도 2에 있어서의 A-A단면, B-B단면 및 C-C단면을 각각 나타내고 있다. 페이스트 도포 유닛(15)은, 주사기(16) 내에 수용된 페이스트를 도포대상물인 리드 프레임(6)에 도포하는 페이스트 도포장치로 되어 있다. 도 2에 있어서, 수직에 배설된 Z축 테이블(14)의 측면에는 승강 부재(20)가 장착되어 있다, 승강 부재(20)의 상부 및 하부에는, 보유 블록(21) 및 모터 브래킷(22)이 Y방향으로 연장되어 설치되어 있다. 모터 브래킷(22)에는, 모터(23A, 23B)가 수직자세로 배설되어 있고, 모터(23A, 23B)는 제어부(41)에 의해 회전 제어된다.

도 3의 (a)에 도시된 바와 같이, 모터(23A, 23B)는 주사기(16)의 중심선(화살표 b)에 대하여 대칭위치에 배치되어 있다. 커플링(24)을 매개로 모터(23A, 23B)에 각각 연결된 구동 축(25A, 25B)의 하단부에는, 구동기어(26A, 26B)가 결합되어 있다. 구동기어(26A, 26B)는 종동기어(27A, 27B)와 각각 치합되어 있다.

보유 블록(21)에는, 대략 원통 형상의 케이싱부(31)가 베어링(30)을 매개로 수직자세로 축 지지되어 있다. 케이싱부(31)의 내부에는 수직한 축선(AZ)을 따라 결합 구멍(31a)이 형성되어 있고, 케이싱부(31)의 하단부에는, 페이스트 토출을 위한 토출 구멍(17a)(도 4의 (b) 참조)이 형성된 도포 노즐(17)이 돌출되어 설치되어 있다. 결합 구멍(31a)에는, 중심축을 따라 내부 구멍(32a)이 형성된 회전 부재(32)가 결합되어 있고, 회전 부재(32)는 케이싱부(31)에 결합한 베어링(35)을 매개로 수직자세로 축 지지되어, 케이싱부(31)에 대하여 회전 가능하게 되어 있다.

회전 부재(32)의 상단부에는 원판형상의 주사기 장착판(33)이 결합되어 있고, 주사기 장착판(33)에는 주사기(16)의 하단부에 설치된 장착부(16b)가 착탈 가능하게 장착된다. 주사기 장착판(33)의 표면에는 외주에 나사부가 형성되고, 장착 나사부(33a)가 위쪽으로 돌출되게 설치되며, 장착부(16b)에는 장착 나사부(33a)와 나사 결합하는 암 나사부가 형성된 장착 암 나사부(16d)가 설치되어 있다. 장착 암 나사부(16d)를 장착 나사부(33a)에 나사 결합하여 체결한 주사기 장착 상태에서는, 주사기(16)는 수직한 축선(AZ)을 회전 부재(32)의 축선(AZ)과 일치시킨 동일한 축 위치에 있다.

이 주사기 장착 상태에 있어서, 장착 암 나사부(16d) 안에 아래쪽으로 돌출되어 설치된 페이스트 공급 돌출부(16c)는, 주사기 장착판(33)을 관통해서 설치된 결합 구멍(33b) 안으로 끼워진다. 페이스트 공급 돌출부(16c)에는 주사기(16) 내부와 연통하는 페이스트 공급구멍(16e)이 설치되어 있고, 주사기(16)의 내부는 페이스트 공급구멍(16e)을 매개로 내부 구멍(32a)과 연통한다. 상기 구성에 있어서, 회전 부재(32)는 대략 원통 형상의 주사기(16)의 축선(AZ)과 동일한 축 위치에 축선이 일치되게 배치되어, 주사기(16)의 하단부에 설치된 페이스트 공급구멍(16e)이 착탈 가능하게 접속되어 있다. 그리고 케이싱부(31)는 회전 부재(32)를 베어링(35)을 매개로 축선(AZ)을 중심으로 회전 가능하게 보유한다.

주사기(16)의 상단부에는 측 방향으로 연장된 플랜지부(16a)가 설치되어 있고, 플랜지부(16a)에는 주사기(16)의 표면의 개구를 폐쇄하기 위한 덮개 부재(37)가 장착되어 있다. 덮개 부재(37)에 설치된 공기공급 구멍(37a)에는, 회전 이음쇠(39)를 매개로 튜브(19)(도 1 참조)가 접속되어 있고, 아울러 튜브(19)는 공기공급원(38)에 접속되어 있다. 공기공급원(38)을 작동시킴으로써, 튜브(19)와 공기공급 구멍(37a)을 매개로 주사기(16)의 내부에 공기압이 공급된다. 공기압의 공급은, 공기압 제어밸브를 제어부(41)에 의해 제어하는 형태의 공기압 제어부(도시 생략)에 의해 온·오프 및 강약이 제어된다.

주사기(16)의 내부에는 피스톤(40)이 장착되어 있고, 공급된 공기압에 의해 피스톤(40)에는 아래쪽으로 밀어 내리는 힘(화살표 a)이 작용한다. 이 밀어 내리는 힘에 의해, 주사기(16) 안에 저류된 페이스트(7)는 아래쪽으로 밀리고, 페이스트 공급구멍(16e)을 매개로 회전 부재(32)의 내부 구멍(32a) 안으로 공급된다. 공기공급원(38)과 튜브(19)는, 주사기(16)의 내부에 이 주사기(16)의 축선(AZ)을 중심으로 회전을 허용하는 상태에서 공기압을 공급함으로써, 주사기(16) 안의 페이스트(7)를 페이스트 공급로인 내부 구멍(32a)을 매개로 펌프 기구(18)에 공급하는 공기압공급 수단을 구성한다.

주사기 장착판(33)은 결합 부재(34)를 매개로 종동기어(27B)에 결합되어 있다. 종동기어(27B)는 베어링(36)을 매개로 케이싱부(31)의 외주에 결합되어, 케이싱부(31)에 대하여 회전 가능하게 축 지지되어 있다. 도 3의 (b)에 도시된 바와 같이, 종동기어(27B)는 구동기어(26B)와 치합되어 있어, 모터(23B)를 구동하고, 구동 축(25B)을 매개로 구동기어(26B)를 회전(화살표 c)시킴으로써 종동기어(27B)가 회전되고, 이 회전은 결합 부재(34)와 주사기 장착판(33)을 매개로 회전 부재(32)에 전달된다(화살표 D). 그리고 회전 부재(32)가 회전함으로써, 이하에 설명하는 펌프 기구(18)에 의해 페이스트(7)가 토출된다. 케이싱부(31)의 외주에는, 종동기어(27A)가 결합되어 있다. 종동기어(27A)는 구동기어(26A)와 치합되어 있어, 모터(23A)를 구동하고, 구동 축(25A)를 매개로 구동기어(26A)를 회전(화살표 e)시킴으로써 종동기어(27A)가 회전되고, 이것에 의해 케이싱부(31)가 회전한다(화살표 f).

도 4를 참조하여 펌프 기구(18)에 대해서 설명한다. 도 4의 (a)에 도시된 바와 같이, 회전 부재(32)의 하부에는, 페이스트(7)를 축 방향 아래쪽으로 이송하는 스크류 홈이 형성된 토출 나사부(32b)가 설치되어 있고, 토출 나사부(32b)는 결합 구멍(31a)의 하부의 토출 공간(31b)에 결합된다. 토출 나사부(32b)에는 내부 구멍(32a)의 하단부와 연통된 페이스트 배출구멍(32c)이 개방되어 있다. 따라서, 주사기(16)로부터 내부 구멍(32a)을 매개로 이송된 페이스트(7)는 토출 공간(31b) 안으로 공급된다.

모터(23B)를 구동해서 회전 부재(32)를 회전시켜, 토출 나사부(32b)를 토출 공간(31b) 안에서 페이스트 이송방향(도 4에 도시된 화살표방향)으로 회전시킴으로써, 페이스트 배출구멍(32c)으로부터 토출 공간(31b) 안으로 공급된 페이스트(7)는, 토출 나사부(32b)의 회전에 의해 축 방향 아래쪽으로 압송된다. 토출 공간(31b)이 설치된 케이싱부(31) 및 토출 나사부(32b)가 설치된 회전 부재(32)는, 토출 나사부(32b)를 토출 공간(31b) 안에서 축선(AZ)을 중심으로 회전시킴으로써 페이스트(7)를 압송하는 펌프 기구(18)를 형성한다.

펌프 기구(18)에 의해 압송된 페이스트(7)는, 토출 구멍(17a)으로부터 토출된다. 토출 구멍(17a)은, 케이싱부(31)의 단부에 토출 공간(31b)과 연통하여 설치되어 있다. 상기 구성에 있어서, 내부 구멍(32a)은, 회전 부재(32)를 축 방향으로 관통하여, 페이스트 공급구멍(16e)과 토출 나사부(32b)로 개구되어 설치된 페이스트 배출구멍(32c)을 연통시켜 형성되고, 주사기(16)로부터 펌프 기구(18)에 페이스트를 공급하기 위한 페이스트 공급로로 되어 있다. 그리고 모터(23B), 구동기어(26B), 종동기어(27B)는, 회전 부재(32)를 케이싱부(31)에 대하여 소정방향으로 상대적으로 회전시킴으로써, 펌프 기구(18)를 작동시켜 공급된 페이스트(7)를 토출 구멍(17a)으로부터 토출시키는 토출용 회전 구동 기구를 구성한다.

도 4의 (b)의 화살표 D 시선 방향에 도시된 바와 같이, 도포 노즐(17)에는 복수(여기서는 2개)의 토출 구멍(17a)이 설치되어 있고, 이를 통해, 도포 노즐(17)로부터 페이스트(7)를 토출시켜서 리드 프레임(6)의 도포 영역(6a)에 도포하는 페이스트 도포동작에 있어서, 복수의 도포점에 동시에 페이스트(7)를 도포하는 것이 가능하다. 도포 노즐(17)에는, 복수의 토출 구멍(17a)의 배열에 있어서의 방향기준선(화살표 g)이 설정되어 있고, 여기에서는 2개의 토출 구멍(17a)을 결합하는 방향이 방향기준선과 일치하고 있다. 페이스트 도포동작에 있어서는, 리드 프레임(6)의 도포 영역(6a)에 있어서 소정의 방향으로 이 방향기준선을 맞추는 방향맞춤 동작을 행한다.

즉, 제어부(41)에 의해 모터(23A)를 제어하고, 도 5의 (a)에 도시된 바와 같이, 케이싱부(31)를 회전 구동함으로써, 토출 구멍(17a)의 방향기준선을 도포대상의 도포 영역(6a)에 있어서의 도포방향에 맞춘다. 도 5의 (b)와 (c)는, 도 4의 (b)에 도시된 방향기준선(화살표 g)을 도포 영역(6a)에 있어서의 도포방향에 맞추고, 토출 구멍(17a)으로부터 페이스트(7)를 토출시켜서 도포 영역(6a)에 도포한 예를 나타내고 있다. 상기 구성에 있어서, 모터(23A), 구동기어(26A), 종동기어(27A)는, 축선(AZ)을 중심으로 회전 가능하게 설치된 케이싱부(31)를 회전시킴으로써, 복수의 토출 구멍(17a)의 배열에 있어서의 방향기준선을 원하는 회전 위치에 위치 결정하는 케이싱부 회전 구동 기구를 구성한다.

여전히 모터(23A)를 구동해서 케이싱부(31)를 회전시키는 때에는, 제어부(41)에 의해 모터(23A, 23B)를 제어함으로써, 모터(23A, 23B)를 동시에 구동하고, 회전 부재(32)를 케이싱부(31)와 동시에 회전시켜, 회전 부재(32)가 케이싱부(31)에 대하여 상대적으로 회전하지 않도록 한다. 이로 인해, 케이싱부(31)의 회전 동작에 있어서 페이스트(7)가 불필요하게 토출되는 것을 방지할 수 있다.

전술한 페이스트 도포동작에 있어서 펌프 기구(18)를 작동시킬 때나, 토출 구멍(17a)의 방향맞춤을 위한 케이싱부의 회전 동작에 있어서는, 주사기(16)도 일체로 회전한다(도 6에 도시된 화살표 참조). 이때, 도 6에 도시된 바와 같이, 주사기(16) 안에 공기압을 공급하는 튜브(19)는 회전 이음쇠(39)를 매개로 접속되어 있으므로, 주사기(16)의 회전시에도 튜브(19)는 고정 상태로 있다. 따라서, 주사기를 토출 유닛과 병렬로 배치하고 있었던 종래 기술에 있어서 발생하던 튜브의 굴곡의 문제가 생기지 않는다. 즉, 튜브(19)에는 주사기(16)의 회전에 따르는 굴곡이 작용하지 않고, 따라서 튜브(19)의 재질이 열화하지 않고, 이 열화에 의해, 예기하지 않은 타이밍에서 튜브가 파손해서 페이스트의 누설 등, 장치의 정지를 필요로 하는 불량이 생기는 일이 없다. 또한, 펌프 기구(18)와 주사기(16)를 동일 축에 배치하고 있으므로, 페이스트 도포장치의 전유 공간을 감소시키는 것이 가능해 진다.

아울러, 상기 구성에 있어서, 제어부(41)에 의해 모터(23A, 23B)를 제어함으로써, 주사기(16)를 임의의 회전 동작 패턴으로 회전시킬 수 있다. 즉 펌프 기구(18)를 작동시키지 않고, 주사기(16)만을 회전시키는 것이 가능하고, 이 주사기(16)의 회전에 의해 내부에 저류된 페이스트(7)를 점성에 의해 주사기(16)의 회전에 수반하는 회전 방향으로 유동시킬 수 있다. 이 페이스트(7)의 동반 회전에 있어서 주사기(16)의 회전 동작의 패턴, 즉 회전 방향의 반전이나 가감속도를 조합시킴으로써, 페이스트(7)의 도포를 위한 토출에 앞서, 주사기(16) 내의 페이스트(7)의 점도의 조정을 목적으로 하는 교반·혼련 동작을, 각종의 패턴으로 행하게 하는 것이 가능하다.

본 발명을 상세하게 또한 특정한 실시 태양을 참조하여 설명했지만, 본 발명의 사상과 범위를 일탈하지 않는 여러 가지 변경이나 수정을 추가할 수 있는 것은 당업자에 있어서 명확하다.

본 출원은 2007년 12월 10일 일본 특허출원 제2007-318132호에 근거하는 것이며, 그 내용은 여기에 참조로서 포함되어 있다.

산업상의 이용 가능성

본 발명의 페이스트 도포장치는, 토출 유닛과 주사기의 배치에 기인하는 문제를 배제하는 동시에, 전유 공간을 삭감할 수 있는 효과를 가지며, 다이 본딩용의 페이스트 도포 등, 전자기기제조 분야에 있어서의 접합용의 페이스트 도포분야에 유용하다.

3 반도체 칩
6 리드 프레임
6a 도포 영역
7 페이스트
9 페이스트 도포부
10 이동 테이블
15 페이스트 도포 유닛
16 주사기
16e 페이스트 공급구멍
17 도포 노즐
17a 토출 구멍
18 펌프기구
19 튜브
23A, 23B 모터
26A, 26B 구동기어
27A, 27B 종동기어
31 케이싱부
31b 토출 공간
32 회전 부재
32a 내부 구멍
32b 토출 나사부
32c 페이스트 배출구멍
39 회전 이음쇠

Claims

주사기 내에 수용된 페이스트를 도포대상물에 도포하는 페이스트 도포장치로서,
대체로 원통 형상의 상기 주사기의 축선과 동일한 축 위치에 축선이 일치되게 배치되고, 상기 주사기의 하단부에 설치된 페이스트 공급구멍이 착탈 가능하게 접속되는 회전 부재;
상기 회전 부재를 상기 축선을 중심으로 회전 가능하게 보유하고, 이 회전 부재의 하부에 설치된 토출 나사부가 결합하는 토출 공간이 형성되고, 상기 토출 나사부를 상기 토출 공간 내에서 상기 축선을 중심으로 회전시킴으로써 상기 페이스트를 압송하는 펌프 기구를 형성하는 케이싱부;
상기 케이싱부의 단부에 상기 토출 공간과 연통하여 설치된 토출 구멍;
상기 회전 부재를 축 방향으로 관통하고, 상기 페이스트 공급구멍과 상기 토출 나사부에 개방되어 설치된 페이스트 배출구멍을 연통시켜 형성되어, 상기 주사기로부터 상기 펌프 기구에 페이스트를 공급하는 페이스트 공급로;
상기 주사기의 내부에 이 주사기의 축선을 중심으로 하는 회전을 허용하는 상태로 공기압을 공급함으로써, 상기 주사기 내의 페이스트를 상기 페이스트 공급로를 매개로 상기 펌프 기구에 공급하는 공기압 공급수단; 및
상기 회전 부재를 상기 케이싱부에 대하여 소정방향으로 상대적으로 회전시킴으로써, 상기 펌프 기구를 작동시켜서 상기 공급된 페이스트를 상기 토출 구멍으로부터 토출시키는 토출용 회전구동기구를 포함하는 것을 특징이라고 하는 페이스트 도포장치.
청구항 1에 있어서,
상기 케이싱부에는 복수의 상기 토출 구멍이 설치되어 있어, 상기 축선을 중심으로 회전 가능하게 설치된 상기 케이싱부를 회전시킴으로써, 상기 복수의 토출 구멍의 배열에 있어서의 방향기준선을 원하는 회전 위치로 위치 결정하는 케이싱부 회전구동기구를 포함하는 것을 특징이라고 하는 페이스트 도포장치.