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Technisches Gebiet
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Die
vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Ausgeben einer
in einer Spritze gespeicherten Paste und zum Auftragen der Paste
auf einem Auftragungszielmaterial.
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Stand der Technik
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In
einem Die-Bonding-Prozess für die Herstellung von Halbleiter-Bauelementen
wird eine Paste zum Bonden eines Halbleiterchips auf einem Substrat
wie etwa einem Leitungsrahmen aufgetragen. Herkömmlicherweise
wird das Auftragen der Paste implementiert, indem eine Paste aus
einem Spender ausgegeben wird, wobei der Spender etwa derart konfiguriert
sein kann, dass eine in einer Spritze gespeicherte Paste durch einen
Luftdruck herausgedrückt wird, um durch eine Pastenausgabeschraube über
eine Ausgabeöffnung ausgegeben zu werden (siehe 9 des Patentdokuments 1). In dem in dem Patentdokument
beschriebenen Stand der Technik ist die Spritze neben einer Ausgabeeinheit
angeordnet, die einen die Pastenausgabeschraube verwendenden Pumpmechanismus
enthält, wobei die Paste von der Spritze über
ein flexibles Rohr zu der Ausgabeeinheit zugeführt wird.
- Patentdokument 1: JP-A-2003-117484
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Beschreibung der Erfindung
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Problemstellung der Erfindung
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In
Abhängigkeit von den Auftragungszielchips kann eine Vielzahl
von Auftragungspunkten auf demselben Chip vorgesehen sein, wobei
eine Auftragungsdüse mit einer Vielzahl von Auftragungsöffnungen
für ein derartiges Auftragungsziel verwendet wird, um die
Paste gleichzeitig auf der Vielzahl von Auftragungspunkten aufzutragen.
Weil dabei die Ausgabeöffnungen der Auftragungsdüse
nicht punktsymmetrisch, sondern mit einer bestimmten Ausrichtung
angeordnet sind, muss die Auftragungsdüse unter Umständen
gedreht werden, um der Ausrichtung zu entsprechen, mit der die Auftragungszielchips
auf dem Substrat angeordnet sind. Dabei wird in dem Stand der Technik,
wie er in dem Patentdokument beschrieben ist, das Rohr zum Zuführen
der Paste zusammen mit der Ausgabeeinheit gedreht. Deshalb wird
das Rohr in Verbindung mit der Drehung während des Betriebs
der Auftragungsvorrichtung wiederholt gebogen, sodass das Rohr allmählich
verschleißt. Ein derartiger Verschleiß kann dazu
führen, dass das Rohr zu einem unerwarteten Zeitpunkt ausfällt,
sodass der Betrieb der Auftragungsvorrichtung unterbrochen werden
muss, oder kann ein Lecken der Paste verursachen. Bei der herkömmlichen
Vorrichtung zum Auftragen einer Paste ist zusätzlich zu dem
vorstehend genannten Problem eines Verschleißes des mit
der Spritze verbundenen Rohrs weiterhin auch ein Problem hinsichtlich
des Layouts gegeben, da die Vorrichtung zum Auftragen einer Paste
einen größeren Raum einnimmt, weil die Spritze
und die Ausgabeeinheit parallel zueinander angeordnet sind.
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Es
ist eine Aufgabe der Erfindung, eine Vorrichtung zum Auftragen einer
Paste anzugeben, die das Problem einer durch die Anordnung einer
Spritze bedingten Vergrößerung des eingenommenen Raums
und das Problem eines Verschleißes des Rohrs beseitigen
kann.
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Problemlösung
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Eine
Vorrichtung zum Auftragen einer Paste gemäß der
Erfindung dient zum Auftragen einer in einer Spritze gespeicherten
Paste auf einem Auftragungszielmaterial und umfasst: ein Drehglied,
dessen Achse koaxial zu der Achse der im wesentlichen zylindrischen
Spritze angeordnet ist und mit dem eine Pastenzuführöffnung
an einem unteren Endteil der Spritze entfernbar verbunden ist; einen
Gehäuseteil, der das Drehglied derart hält, dass
es um seine Achse gedreht werden kann, wobei in dem Gehäuseteil ein
Ausgaberaum ausgebildet ist, in den ein an einem unteren Teil des
Drehglieds vorgesehener Ausgabeschraubenteil gepasst werden kann,
wobei der Gehäuseteil einen Pumpmechanismus bildet, der
die Paste unter Druck setzt, indem der Ausgabeschraubenteil innerhalb
des Ausgaberaums um seine Achse gedreht wird, und wobei an einem
Endteil des Gehäuseteils eine Ausgabeöffnung vorgesehen
ist, die mit dem Ausgaberaum verbunden ist; einen Pastenzuführpfad,
der sich in einer Axialrichtung durch das Drehglied erstreckt und
derart ausgebildet ist, dass er mit dem Pastenauslassloch, das sich
zu der Pastenzuführöffnung öffnet, und
mit dem Ausgabeschraubenteil verbunden ist, um die Paste von der
Spritze zu dem Pumpmechanismus zuzuführen; und eine Luftdruckquelle
zum Zuführen der Paste aus der Spritze über den
Pastenzuführpfad zu dem Pumpmechanismus, indem ein Luftdruck
in das Innere der Spritze geführt wird, sodass eine Drehung
der Spitze um ihre Achse gestattet wird; und einen Ausgabe-Drehantriebsmechanismus
zum Betätigen des Pumpmechanismus, der eine Drehung des
Drehglieds in einer vorbestimmten Richtung relativ zu dem Gehäuseteil
veranlasst, um den Pumpenmechanismus zu betätigen und dadurch
die zugeführte Paste an der Ausgabeöffnung auszugeben.
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Gemäß der
Erfindung wird in der Vorrichtung zum Auftragen einer in der Spritze
gespeicherten Paste auf einem Auftragungszielmaterial eine Konfiguration
verwendet, bei der in dem Pumpmechanismus die Paste unter Druck
zugeführt wird, indem der Ausgabeschraubenteil an dem unteren
Teil des Drehglieds innerhalb des Ausgaberaums in dem Gehäuseteil
um seine Achse gedreht wird, wobei die mit dem Ausgaberaum verbundene
Ausgabeöffnung an dem Endteil des Gehäuseteils
vorgesehen ist und die Spritze koaxial zu dem Drehglied für
eine entfernbare Verbindung angeordnet ist. Auf diese Weise können das
Problem einer Vergrößerung des eingenommen Raums
aufgrund der Anordnung der Spritze und das Problem eines Verschleißes
des Rohrs beseitigt werden.
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Kurzbeschreibung der Zeichnungen
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1 ist
eine perspektivische Ansicht eines Die-Bonding-Systems gemäß einer
Ausführungsform der Erfindung.
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2 ist
eine Seitenansicht einer Vorrichtung zum Auftragen einer Paste gemäß der
Ausführungsform der Erfindung.
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3 ist
eine Teilschnittansicht der Vorrichtung zum Auftragen einer Paste
gemäß der Ausführungsform der Erfindung.
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4 ist
ein Diagramm, das den Pumpmechanismus der Vorrichtung zum Auftragen
einer Paste gemäß der Ausführungsform
der Erfindung erläutert.
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5 ist
ein Diagramm, das den Betrieb der Vorrichtung zum Auftragen einer
Paste gemäß der Ausführungsform der Erfindung
erläutert.
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6 ist
ein weiteres Diagramm, das den Betrieb der Vorrichtung zum Auftragen
einer Paste gemäß der Ausführungsform
der Erfindung erläutert.
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Erläuterungen der Bezugszeichen
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- 3 ... Halbleiterchip; 6 ... Leitungsrahmen; 6a ...
Auftragungsbereich; 7 ... Paste; 9 ... Pastenauftragungsteil; 10 ...
beweglicher Tisch; 15 ... Pastenauftragungseinheit; 16 ...
Spritze; 17 ... Auftragungsdüse; 17a ... Ausgabeöffnung; 18 ...
Pumpenmechanismus; 19 ... Rohr; 23A, 23B ...
Motor; 26A, 26B ... Antriebszahnrad; 27A, 27B ...
angetriebenes Zahnrad; 31 ... Gehäuseteil; 31b ...
Ausgaberaum; 32 ... Drehglied; 32a ... Innenloch; 32b ...
Ausgabeschraubenteil; 32c ... Pastenauslassloch; 39 ...
Drehverbindung.
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Bevorzugte Ausführungsform
der Erfindung
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Im
Folgenden wird eine Ausführungsform der Erfindung mit Bezug
auf die Zeichnungen beschrieben. 1 ist eine
perspektivische Ansicht eines Die-Bonding-Systems gemäß einer
Ausführungsform der Erfindung. 2 ist eine
Seitenansicht einer Vorrichtung zum Auftragen einer Paste gemäß der
Ausführungsform der Erfindung. 3 ist eine
Teilschnittansicht der Vorrichtung zum Auftragen einer Paste gemäß der
Ausführungsform der Erfindung. 4 ist ein
Diagramm, das einen Pumpenmechanismus der Vorrichtung zum Auftragen
einer Paste gemäß der Ausführungsform
der Erfindung erläutert. 5 und 6 sind
Diagramme, die den Betrieb der Vorrichtung zum Auftragen einer Paste gemäß der
Ausführungsform der Erfindung erläutern.
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Zuerst
wird mit Bezug auf 1 der Aufbau des Die-Bonding-Systems
beschrieben. Wie in 1 gezeigt, wird eine Waferplatte 2 durch
einen Haltetisch (nicht gezeigt) in einem Chipzuführteil 1 gehalten.
Eine Vielzahl von Halbleiterchips 3 wird in einer Gitteranordnung
auf der Waferplatte 2 fixiert. Ein Transportpfad 5 ist
auf einer Seite des Chipzuführteils 1 angeordnet.
Der Transportpfad 5 transportiert einen Leitungsrahmen 6 und
positioniert den Leitungsrahmen 6 an einer Pastenauftragungsposition und
einer Bondingposition. Ein Bondingkopf 4 ist über
dem Chipzuführteil 1 angeordnet. Der Bondingkopf 4 wird
durch einen Kopfbewegungsmechanismus (nicht gezeigt) horizontal
und vertikal bewegt.
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Ein
Pastenauftragungsteil 9 ist auf einer Seite des Transportpfads 5 angeordnet.
Der Pastenauftragungsteil 9 umfasst eine Pastenauftragungseinheit 15 mit
einer Funktion zum Ausgeben einer Paste 7 aus einer Spritze 16,
die ein im wesentlichen zylindrisch geformter Behälter
ist und auf einem beweglichen Tisch 10 montiert ist. Der
bewegliche Tisch 10 umfasst einen X-Achsen-Tisch 12 auf
einem Y-Achsen-Tisch 11 und weiterhin einen Z-Achsen-Tisch 14, der
vertikal über eine L-Klammer 14 mit dem Y-Achsen-Tisch 11 verbunden
ist. Der Y-Achsen-Tisch 11, der X-Achsen-Tisch 12 und
der Z-Achsen-Tisch 14 weisen jeweils einen Y-Achsen-Motor 11a,
einen X-Achsen-Motor 12a und einen Z-Achsen-Motor auf. Die
Pastenauftragungseinheit 15 bewegt sich horizontal und
vertikal auf dem Leitungsrahmen 6, indem der X-Achsen-Motor 12a,
der Y-Achsen-Motor 12a und der Z-Achsen-Motor 14a betrieben
werden.
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Die
Paste 7, mit der der Halbleiter 3 auf den Leitungsrahmen 6 gebondet
wird, ist in der Spitze 16 gepseichert, die an der Pastenauftragungseinheit 15 montiert
ist. Die in der Spritze 16 gespeicherte Paste 7 wird
durch einen aus einem Rohr 19 zugeführten Luftdruck
befördert und weiterhin mittels eines Pumpmechanismus 18 (siehe 2)
in der Pastenanwendungseinheit 15 von einer Auftragungsdüse 17 an
einem unteren Endteil ausgegeben. Die Chipbondingpositionen 6a an
einer oberen Fläche des Leitungsrahmens 6, an
denen Halbleiterchips 3 gebondet werden, bilden die Auftragungsbereiche 6,
in denen die Paste aufgetragen wird. Wenn die Auftragungsdüse 17 in
einem Auftragungsbereich 6a positioniert ist, wird die
Pastenauftragungseinheit 15 bewegt; während die
Paste 7 aus der Auftragungsdüse 17 ausgegeben
wird, sodass die Paste 7 mit einem vorbestimmten Auftragungsmuster
in dem Auftragungsbereich 6a an einer Chipinstallationsposition auf
einer Fläche des Leitungsrahmens 6 aufgetragen wird.
Nach dem Auftragen der Paste wird der Leitungsrahmen 6 zu
einer Bondingposition 8 auf dem Transportpfad 5 transportiert
und dort positioniert. Dann wird ein durch eine Düse 4a des
Bondingkopfs 4 aus dem Chipzuführteil 1 aufgegriffener
Chip 3 auf der in dem Auftragungsbereich 6a aufgetragenen Paste 7 gebondet.
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Im
Folgenden wird der Aufbau der Pastenauftragungseinheit 115 mit
Bezug auf 2, 3, 4 beschrieben. 3(a), (b), (c) sind Schnittansichten jeweils
entlang der Linie A-A, entlang der Linie B-B und entlang der Linie
C-C in 2. Die Pastenauftragungseinheit 15 bildet
eine Pastenauftragungseinrichtung zum Auftragen der Paste aus der Spritze 16 an
dem als Auftragungszielmaterial vorgesehenen Leitungsrahmen 6.
In 2 ist ein Hubglied 20 auf einer Seite
des vertikal angeordneten Z-Achsen-Tisches 14 installiert.
Eine Motorklammer 22 und ein Halteblock 21 sind
jeweils an einem oberen Teil und einem unteren Teil des Hubglieds 20 vorgesehen und
erstrecken sich in der Y-Richtung. Ein Motor 23A und ein
Motor 23B sind vertikal an der Motorklammer 22 angeordnet.
Die Motoren 23A und 23B werden durch eine Steuereinheit 41 für
eine Drehung gesteuert.
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Wie
in 3(a) gezeigt, sind die Motoren 23A, 23B an
symmetrischen Positionen in Bezug auf eine Mittellinie (durch den
Pfeil b angegeben) der Spritze 16 angeordnet. Antriebszahnränder 26A, 26B sind
jeweils mit unteren Endteilen von Antriebswellen 25A, 25B verbunden,
die wiederum über Verbindungsteile 24 jeweils
mit den Motoren 23A, 23B verbunden sind. Die Antriebszahnräder 26A, 26B greifen
jeweils in angetriebene Zahnräder 27A, 27B ein.
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Ein
im wesentlichen zylindrischer Gehäuseteil 31 wird
durch ein Lager 30 schwenkbar in einer vertikalen Haltung
an dem Halteblock 21 gehalten. Ein Passloch 31a ist
entlang einer vertikalen Achse AZ im Inneren des Gehäuseteils 31 ausgebildet.
Die Auftragungsdüse 17, in der Ausgabeöffnungen 17a (siehe 4(b)) zum Ausgeben der Paste ausgebildet
sind, ist an einem unteren Endteil des Gehäuseteils 31 vorgesehen
und steht von demselben vor. Ein Drehglied 32, in dem ein
Innenloch 32a entlang der Mittelachse ausgebildet ist,
ist in das Passloch 31a gepasst. Das Drehglied 32 wird
durch ein Lager 35 schwenkbar in einer vertikalen Haltung
gehalten, wobei das Lager 35 derart in den Gehäuseteil 31 gepasst
ist, dass es sich frei relativ zu dem Gehäuseteil 31 drehen
kann.
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Eine
scheibenförmige Spritzenmontageplatte 33 ist mit
einem oberen Endteil des Drehglieds 32 verbunden. Ein Montageteil 16b an
einem unteren Endteil der Spritze ist entfernbar an der Spritzenmontageplatte 33 montiert.
Ein Montage-Außengewindeteil 33a, an dessen Außenumfang
ein Außengewinde ausgebildet ist, ist an einer oberen Fläche
der Spritzenmontageplatte derart vorgesehen, dass er von der Spritzenmontageplatte
nach oben vorsteht. Ein Montage-Innengewindeteil 16d, an
dem ein Innengewinde ausgebildet ist, ist an dem Montageteil 16b vorgesehen,
um in den Montage-Außengewindeteil geschraubt zu werden.
Wenn die Spritze montiert ist, indem der Montage-Innengewindeteil 16d in
den Montage-Außengewindeteil 33a geschraubt ist
und dadurch an demselben fixiert ist, ist die Spritze 16 koaxial
ausgerichtet, wobei die vertikale Achse AZ mit der Achse AZ des
Drehglieds 32 zusammenfällt.
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In
dem montierten Zustand der Spritze ist ein Pastenzuführ-Vorsprungsteil 16c,
der in dem Montage-Innengewindeteil 16d nach unten vorsteht,
in ein Passloch 33b gepasst, das sich durch die Spritzenmontageplatte 33 erstreckt.
Eine Pastenzuführöffnung 16e, die mit
dem Inneren der Spritze 16 verbunden ist, ist in dem Pastenzuführ-Vorsprungsteil 16c ausgebildet,
wobei das Innere der Spritze 16 über die Pastenzuführöffnung 16e mit
dem Innenloch 32a verbunden ist. In der oben beschriebenen
Konfiguration ist das Drehglied 32 koaxial ausgerichtet,
wobei seine Achse mit der Achse AZ der im wesentlichen zylindrischen
Spritze 16 zusammenfällt, sodass die Pastenzuführöffnung 16e an
dem unteren Endteil der Spritze 16 entfernbar mit dem Drehglied 32 verbunden
ist. Der Gehäuseteil 31 hält das Drehglied 32,
um sich über das Lager 35 frei um die Achse AZ
zu drehen.
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Ein
Flanschteil 16a ist an dem oberen Endteil der Spritze 16 vorgesehen
und erstreckt sich seitlich. Ein Deckel 37 ist an dem Flanschteil 16a montiert, um
eine Öffnung am oberen Ende der Spritze 16 zu schließen.
Das Rohr 19 (siehe auch 1) ist über eine
Drehverbindung 39 mit einem Luftzufuhrloch 37a in
dem Deckelglied 37 verbunden. Das Rohr 19 ist
weiterhin mit einer Luftzufuhr 38 verbunden. Ein Luftdruck
wird über das Rohr 19 und das Luftzufuhrloch 37a in
das Innere der Spritze 19 geführt, wenn die Luftzufuhr 38 aktiviert
wird. Die Luftzufuhr wird durch eine Luftdruck-Steuereinheit (nicht
gezeigt) ein- und ausgeschaltet und stärker oder schwächer vorgesehen.
In der Luftdruck-Steuereinheit wird ein Drucksteuerventil durch
die Steuereinheit 41 gesteuert.
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Ein
Kolben 40 ist im Inneren der Spritze 16 montiert,
wobei eine durch den zugeführten Luftdruck erzeugte Kraft
(durch den Pfeil a angegeben) den Kolben 40 nach unten
drückt. Die in der Spritze 16 gespeicherte Paste 7 wird
durch die nach unten wirkende Kraft nach unten gedrückt
und über die Pastenzuführöffnung 16e zu
dem Innenloch 32a in dem Drehglied 32 befördert.
Die Luftzufuhr 38 und das Rohr 19 bilden eine
Luftdruckquelle zum Zuführen der Paste 7 in der
Spritze 16 über das Innenloch 32a zu
dem Pumpmechanismus 18. Dabei dient das Innenloch 32a als
Pastenzuführpfad, wobei der Luftdruck in das Innere der
Spritze 16 geführt wird, während eine
Drehung der Spritze 16 um die Achse AZ gestattet wird.
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Die
Spritzenmontageplatte 33 ist über ein Verbindungsglied 34 mit
dem angetriebenen Zahnrad 27B verbunden. Das angetriebene
Zahnrad 27B ist über ein Lager 36 auf
einen Außenumfang des Gehäuseteils 31 gepasst
und wird schwenkbar gehalten, sodass es sich frei relativ zu dem
Gehäuseteil 31 drehen kann. Wie in 3(b) gezeigt, greift das angetriebene
Zahnrad 27b in das Antriebszahnrad 26B ein, sodass
sich das angetriebene Zahnrad 27B dreht, wenn der Motor 23B betrieben
wird, um das Antriebszahnrad 26 über die Antriebswelle 25B zu drehen
(Pfeil c). Die Drehung des angetriebenen Zahnrads 27B wird
dann über das Verbindungsglied 34 und die Spritzenmontageplatte 33 auf
das Drehglied 32 übertragen. Wenn sich das Drehglied 32 dreht,
wird die Paste 7 durch den nachfolgend beschriebenen Pumpmechanismus 18 ausgegeben. Das
angetriebene Zahnrad 27A ist mit einem Außenumfang
des Gehäuseteils 31 verbunden. Das angetriebene
Zahnrads 27 greift in das Antriebszahnrad 26A ein,
sodass das angetriebene Zahnrad 27A durch den Motor 23A gedreht
wird, der betrieben wird, um das Antriebszahnrad 26A zu
drehen (Pfeil e), das wiederum den Gehäuseteil 31 dreht
(Pfeil f).
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Der
Pumpenmechanismus 18 wird im Folgenden mit Bezug auf 4 beschrieben.
Wie in 4(a) gezeigt, ist ein Ausgabeschraubenteil 32b, in
dem eine Spiralrille für eine axial nach unten gerichtete
Bewegung der Paste 7 ausgebildet ist, an einem unteren
Teil des Drehglieds 32 vorgesehen. Der Ausgabeschraubenteil 32a passt
in einen Ausgaberaum 31b an einem unteren Teil des Passlochs 31a des
Ausgabeschraubenteils 32b. Ein Pastenauslassloch 32c,
das mit einem unteren Endteil des Innenlochs 32a kommuniziert, öffnet
sich in dem Ausgabeschraubenteil 32b. Folglich wird die
aus der Spritze 16 ausgegebene Paste 7 über
das Innenloch 32a zu dem Ausgaberaum 31b geführt.
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Indem
der Motor 23B betrieben wird, um das Drehglied 32 zu
drehen und dadurch den Ausgabeschraubenteil 32b in dem
Ausgaberaum 31b in einer Pastenzuführrichtung
(in der durch den Pfeil in 4 angegebenen
Richtung) zu drehen, wird die aus dem Pastenauslassloch 32c in
den Ausgaberaum 31b geführte Paste 7 durch
die Drehung des Ausgabeschraubenteils 32b unter einem Druck
axial nach unten befördert. Der Gehäuseteil 31,
in dem der Ausgaberaum 31b vorgesehen ist, und das Drehglied 32,
in dem der Ausgabegewindeteil 32b vorgesehen ist, bilden
den Pumpmechanismus 18, der die Paste 7 unter
einem Druck nach unten sendet, indem der Ausgabegewindeteil 32b in
dem Ausgaberaum 31b um die Achse AZ gedreht wird.
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Die
Paste 7, die unter einem Druck durch den Pumpmechanismus 18 befördert
wird, wird von den Ausgabeöffnungen 17a ausgegeben.
Die Ausgabeöffnungen 17a sind an einem Endteil
des Gehäuseteils 31 vorgesehen und mit dem Ausgaberaum 31b verbunden.
In der oben beschriebenen Konfiguration ist das Innenloch 32a derart
ausgebildet, dass es sich in einer Axialrichtung durch das Drehglied 32 erstreckt
und mit dem Pastenauslassloch 32c, das sich zu der Pastenzuführöffnung 16e und
dem Ausgabeschraubenteil 32b öffnet, verbunden
ist, um einen Pastenzuführpfad zum Zuführen der
Paste aus der Spritze 16 zu dem Pumpmechanismus 18 zu
bilden. Außerdem bilden der Motor 23B, das Antriebszahnrad 26B und
das angetriebene Zahnrad 26B einen Ausgabe-Drehantriebsmechanismus
zum Ausgeben der Paste 7 an der Ausgabeöffnung 17,
wenn das Drehglied 23 in einer vorbestimmten Richtung relativ
zu dem Gehäuseteil 31 gedreht wird, um den Pumpmechanismus 18 zu
aktivieren.
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4(b) zeigt aus der Perspektive des Pfeils D
eine Vielzahl von (hier: zwei) Ausgabeöffnungen 17a,
die in der Auftragungsdüse 17 vorgesehen sind, wobei
die Paste 7 in einer Pastenauftragungsoperation aus der
Auftragungsdüse 17 ausgegeben wird, um auf dem
Auftragungsbereich 6a des Leitungsrahmens 6 aufgetragen
zu werden. Dabei kann die Paste 7 gleichzeitig auf eine
Vielzahl von Auftragungspunkten aufgetragen werden. Eine Richtungsbezugslinie
(durch den Pfeil g angegeben) wird durch die Anordnung der Vielzahl
von Ausgabeöffnungen 17a vorgegeben, wobei die
Richtung, in der die zwei Ausgabeöffnungen 17a miteinander
verbunden sind, mit der Richtungsbezugslinie zusammenfällt.
Während der Pastenauftragungsoperation wird eine Operation
zum Ausrichten der Richtungsbezugslinie mit einer vorbestimmten
Richtung in dem Auftragungsbereich 6a des Leitungsrahmens 6 ausgeführt.
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Indem
der Motor 23A durch die Steuereinheit 41 derart
gesteuert wird, dass der Gehäuseteil 31 wie in 5(a) gezeigt gedreht wird, wird die Richtungsbezugslinie
der Ausgabeöffnungen 17a mit der Auftragungsrichtung
in dem Auftragungsbereich 6a des Auftragungsziels ausgerichtet. 5(b) und 5(c) zeigen
ein Beispiel, in dem durch das Ausrichten der Richtungsbezugslinie
(durch den Pfeil b angegeben) von 4(b) mit
der Auftragungsrichtung des Auftragungsbereichs 6a die
Paste 7 aus den Ausgabeöffnungen 17a ausgegeben
und auf dem Auftragungsbereich 6a aufgetragen wird. In
der oben beschriebenen Konfiguration bilden der Motor 23A,
das Antriebszahnrad 26A und das angetriebene Zahnrad 27A einen
Gehäuseteil-Drehantriebsmechanismus zum Drehen des frei
um die Achse AZ drehbaren Gehäuseteils 31, um
die Richtungsbezugslinie in der Anordnung der Vielzahl von Ausgabeöffnungen 17a an
einer gewünschten Drehposition zu positionieren.
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Wenn
der Motor 23A betrieben wird, um den Gehäuseteil 31 zu
drehen, werden die Motoren 23A, 23B gleichzeitig
betrieben, wobei die Motoren 23A, 23B durch die
Steuereinheit 41 gesteuert werden. Dabei wird das Drehglied 32 synchron
zu dem Gehäuseteil 31 gedreht, sodass sich das
Drehglied 31 nicht relativ zu dem Gehäuseteil 31 dreht.
Dadurch kann eine unerwünschte Ausgabe der Paste 7 während
der Drehung des Gehäuseteils 31 verhindert werden.
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Wenn
der Pumpenmechanismus 18 für die oben beschriebene
Pastenauftragungsoperation betrieben wird oder die Gehäuseteil-Drehoperation
für die Ausrichtung der Richtung der Ausgabeöffnungen 17a ausgeführt
wird, dreht sich auch die Spritze 16 (siehe den Pfeil in 6).
Weil dabei wie in 6 gezeigt das Rohr 19 zum
Zuführen eines Luftdrucks in die Spritze 16 über
die Drehkopplung 39 mit der Spritze 16 verbunden
ist, bleibt das Rohr 19 auch dann in einem fixierten Zustand,
wenn sich die Spritze 16 dreht. Folglich wird kein Problem
aufgrund einer Biegung des Rohrs verursacht, wie es im Stand der
Technik der Fall ist, in dem die Spritze parallel zu der Ausgabeeinheit
angeordnet ist. Es wirkt also keine Biegung in Verbindung mit der
Drehung der Spritze 16 auf das Rohr 19, sodass
das Material des Rohrs 19 nicht verschleißt. Es
ist also nicht erforderlich, die Auftragungsvorrichtung anzuhalten,
weil das Rohr zu einem unerwarteten Zeitpunkt ausfällt
oder ein Lecken der Paste verursacht. Und weil der Pumpenmechanismus 18 und
die Spritze 16 koaxial angeordnet sind, kann der durch
die Pastenauftragungsvorrichtung eingenommene Raum reduziert werden.
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Indem
in der oben beschriebenen Konfiguration die Motoren 23A, 23B durch
die Steuereinheit 41 gesteuert werden, kann die Spritze 16 in
einem beliebigen Drehoperationsmuster gedreht werden. Dabei kann
die Spritze 16 gedreht werden, ohne dass der Pumpmechanismus 18 betrieben
wird, wobei die im Inneren der Spritze 16 gespeicherte
Paste 7 aufgrund ihrer Viskosität in der Flussrichtung
der Spritze 16 fließen kann, wenn sich die Spritze 16 dreht. Durch
eine Kombination der Drehoperationsmuster der Spritze 16,
d. h. durch eine Kombination aus einer Umkehrung der Drehrichtung
und aus einer Beschleunigung oder Verlangsamung können
vor der Ausgabe der Paste 7 für die Auftragung
verschiedene Rühr- und Knetoperationen ausgeführt
werden, um die Viskosität der Paste 7 in der Spritze 16 zu
variieren.
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Die
Erfindung wurde im Detail mit Bezug auf eine spezifische Ausführungsform
beschrieben, wobei dem Fachmann deutlich sein sollte, dass verschiedene Änderungen
und Modifikationen vorgenommen werden können, ohne dass
deshalb der Erfindungsumfang verlassen wird.
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Die
vorliegende Patentanmeldung beruht auf der
japanischen Patentanmeldung Nr. 2007-3181321 vom
10. Dezember 2007, deren Inhalt hier unter Bezugnahme eingeschlossen
ist.
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Industrielle Anwendbarkeit
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Die
Vorrichtung zum Auftragen einer Paste gemäß der
vorliegenden Erfindung bietet den Vorteil, dass der durch die Anordnung
der Ausgabeeinheit und der Spritze eingenommene Raum reduziert werden
kann. Die Vorrichtung zum Auftragen einer Paste kann nützlich
für das Auftragen von Bonding-Pasten während der
Herstellung von elektronischen Geräten eingesetzt werden.
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Zusammenfassung
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Es
wird eine Vorrichtung zum Auftragen einer Paste angegeben, die das
Problem einer durch die Anordnung einer Spritze bedingten Vergrößerung des
eingenommenen Raums und das Problem eines Verschleißes
eines Rohrs beseitigen kann.
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In
einer Pastenauftragungseinheit 15 (einer Vorrichtung zum
Auftragen einer Paste) zum Auftragen einer in einer Spritze 17 gespeicherten
Paste 7 auf einem Auftragungszielmaterial wird eine Konfiguration
verwendet, in der ein Pumpmechanismus 18 zum Befördern
der Paste 7 unter Druck vorgesehen ist, der einen Ausgabeschraubenteil 32b,
der an einem unteren Teil eines Drehglieds 32 vorgesehen
ist, um eine Achse AX innerhalb eines Ausgaberaums 32b in
einem Gehäuseteil 31 dreht, wobei eine Ausgabeöffnung 17a,
die mit dem Ausgaberaum 31b verbunden ist, an einem Endteil
des Gehäuseteils 31 vorgesehen ist und wobei die
Spritze 16 koaxial zu dem Drehglied 32 angeordnet
und entfernbar mit demselben verbunden ist. Dank dieser Konfiguration können
das Problem einer Vergrößerung des eingenommen
Raums, die bei einer parallelen Anordnung der Spritze 16 zu
dem Pumpmechanismus 18 gegeben ist, und das Problem eines
Verschleißes des Rohrs beseitigt werden.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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- - JP 2003-117484
A [0002]
- - JP 2007-3181321 [0034]