KR20100116666A

KR20100116666A - 액체 재료의 토출 장치, 및 그 도포 장치 및 도포 방법

Info

Publication number: KR20100116666A
Application number: KR1020107020615A
Authority: KR
Inventors: 가즈마사 이쿠시마
Original assignee: 무사시 엔지니어링 가부시키가이샤
Priority date: 2008-02-21
Filing date: 2009-02-20
Publication date: 2010-11-01
Also published as: JPWO2009104421A1; WO2009104421A1; HK1150996A1; TW200946243A; TWI457181B; KR101534118B1; JP5340181B2; CN102006943B; CN102006943A

Abstract

본 발명은, 도포 작업 중에 있어서의 재흡인 동작을, 토출 정밀도를 저하시키지 않고, 최소한으로 한다. 액체 재료의 저류부(40)와, 플런저(30·31)가 삽통(揷通)되는 복수 개의 계량부(32·33)와, 플런저 구동 장치(20)와, 각 계량부(32·33)와 1 대 1로 대응하는 복수 개의 노즐(55·56)을 구비하고, 계량부(32·33)에 충전한 액체 재료를 복수회에 걸쳐 토출하는 액체 재료의 토출 장치로서, 상기 플런저 구동 장치(20)가 모든 플런저(30·31)를 동시에 진퇴(進退) 이동시키는 하나의 플런저 구동 장치로 구성되어 있다.

Description

액체 재료의 토출 장치 및 토출 방법{DEVICE AND METHOD FOR DISCHARGING LIQUID MATERIAL}

본 발명은, 액체 재료를 미량으로 양호한 정밀도로 적하(滴下) 또는 비적(飛滴)시켜 토출하는 토출 장치 및 토출 방법에 관한 것이며, 보다 구체적으로는, 도포 작업 중에 있어서의 재흡인 동작을 토출 정밀도를 저하시키지 않고 최소한으로 하는 것을 가능하게 하는 토출 장치 및 토출 방법에 관한 것이다.

액체 재료를 미량으로 양호한 정밀도로 적하 또는 비적시켜 토출하는 종래의 장치로서는, 예를 들면, 출원인이 개발한 하기 특허 문헌 1 내지 특허 문헌 4에 개시되어 있는 장치가 있다.

상기 종래의 토출 장치는, 계량부에 흡인한 액체 재료를 수밀(水密)하게 배치한 플런저의 간헐적인 복수회의 전진 동작에 의해, 전진 동작마다 방울을 비적 토출시키는 토출 방식이다.

일본공개특허 제2003-190871호 공보

일본공개특허 제2004-160314호 공보

일본공개특허 제2004-160276호 공보

일본공개특허 제2005-40770호 공보

종래의 장치에 있어서의 토출 방식은, 계량관(計量管)에 흡인하는 양에 한계가 있고, 공작물 전체에 필요한 양의 액체 재료를 흡인시킬 수 없는 경우가 있었다. 이 경우, 도포 작업의 도중에 재흡인 동작을 행할 필요가 있어, 생산성이 저하되는 문제가 있었다.

여기서, 계량관의 사이즈를 크게 하는 것은, 다음과 같은 문제점을 가지고 있었다.

즉, 계량관의 직경을 크게 하여 액체 재료의 흡입량을 증가시키면, 플런저의 직경도 크게 할 필요가 생기므로, 근소한 플런저의 이동에 의해 다량의 액체 재료가 적하되고, 그 결과 미량 토출을 행하는 것이 어려워지는 문제점이 있었다.

한편, 계량관의 길이를 길게 하면, 장치가 대형화되는 점 외에, 토출 정밀도를 향상시키기 어려운 문제점이 있었다.

본 발명은, 도포 작업 중에 있어서의 재흡인 동작을 토출 정밀도를 저하시키지 않고 최소한으로 하는 것을 가능하게 하는 토출 장치 및 토출 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 장치는 다음과 같이 구성되어 있다. 즉,

제1 발명은, 액체 재료의 저류부와, 플런저가 삽통(揷通)되는 복수 개의 계량부와, 플런저 구동 장치와, 각 계량부와 1 대 1로 대응하는 복수 개의 노즐을 구비하고, 계량부에 충전한 액체 재료를 복수회에 걸쳐 토출하는 액체 재료의 토출 장치로서, 상기 플런저 구동 장치가 모든 플런저를 동시에 진퇴(進退) 이동시키는 하나의 플런저 구동 장치인 것을 특징으로 하는 액체 재료의 토출 장치이다.

제2 발명은, 제1 발명에 있어서, 상기 계량부를 모두 같은 용량으로 구성한 것을 특징으로 한다.

제3 발명은, 제1 발명 또는 제2 발명에 있어서, 상기 계량부 각각에 대하여, 계량부와 노즐을 연통시키는 제1 위치 및 계량부와 저류부를 연통시키는 제2 위치를 가지는 전환 밸브를 설치하고, 각 전환 밸브의 위치를 동시에 전환하는 하나의 밸브 구동 장치를 설치한 것을 특징으로 한다.

제4 발명은, 제3 발명에 있어서, 상기 플런저 구동 장치 및 상기 밸브 구동 장치를 복수 개의 상기 계량부에 대하여 연직(鉛直) 방향으로 배치한 것을 특징으로 한다.

제5 발명은, 제3 발명 또는 제4 발명에 있어서, 상기 전환 밸브가 설치된 블록을 설치하고, 상기 블록에 상기 저류 용기로부터 각 전환 밸브에 액체 재료를 분기(分岐)하여 유입하는 유로(流路)를 설치한 것을 특징으로 한다.

제6 발명은, 제5 발명에 있어서, 상기 계량부를 상기 블록에 장착 가능한 계량관에 의해 구성하고, 또한 서로 인접하여 배치한 것을 특징으로 한다.

제7 발명은, 제5 발명에 있어서, 상기 블록에 계량부를 형성한 것을 특징으로 한다.

제8 발명은, 제7 발명에 있어서, 상기 블록에 저류부를 형성한 것을 특징으로 한다.

제9 발명은, 테이블이 설치된 가대(架臺)와, 가대 상에 연신(延伸)되고, 일방향으로 이동 가능한 프레임을 구비하고, 상기 프레임에 제1 발명 내지 제8 발명 중 어느 하나의 발명에 관한 토출 장치가 설치된 도포 장치이다.

본 발명의 방법은 다음과 같이 구성되어 있다. 즉,

제10 발명은, 저류부로부터 플런저가 삽통되는 계량부 내에 액체 재료를 충전하고, 플런저의 진출 이동 및 진출 정지를 반복함으로써 상기 계량부 내의 액체 재료를 복수회에 걸쳐 토출하는 액체 재료의 토출 방법에 있어서, 복수 개의 계량부 및 각 계량부와 1대 1로 대응하는 복수 개의 노즐을 설치하고, 하나의 플런저 구동 장치에 의해 복수 개의 플런저를 동시에 이동시킴으로써 모든 계량부 내의 액체 재료를 동시에 토출하는 것을 특징으로 하는 액체 재료의 토출 방법이다.

제11 발명은, 제10 발명에 있어서, 상기 계량부의 각각에 대하여, 계량부와 노즐을 연통시키는 제1 위치 및 계량부와 저류부를 연통시키는 제2 위치를 가지는 전환 밸브를 설치하고, 각 전환 밸브를 하나의 구동 장치에 의해 동시에 전환하면서 액체 재료의 토출을 행하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 의하면, 미량인 액체 재료를 양호한 정밀도로 복수 개의 노즐로부터 적하할 수 있다.

또한, 2개의 구동원에 의해 장치를 구성할 수 있고, 또한 이것을 세로로 배치함으로써 장치를 슬림하게 구성할 수 있다.

또한, 공급된 액체 재료를 장치 내에서 분기하여 복수 개의 계량부에 도입시킬 수 있으므로, 저류부 내에 잔류하는 액체 재료의 양을 감소시킬 수 있어, 액체 재료를 낭비하지 않고 사용할 수 있다.

도 1은 실시예 1에 관한 적하 장치의 정면 외관도이다.
도 2는 도 1에 나타낸 장치의 측면 외관도이다.
도 3은 도 2의 파선 위치의 정면 단면도이다.
도 4는 도 1의 파선 위치의 측면 단면도이다.
도 5는 도 1에 나타낸 적하 장치를 탑재한 도포 장치의 사시도이다.
도 6은 실시예 2에 관한 적하 장치의 정면 외관도이다.
도 7은 도 6에 나타낸 장치의 측면 외관도이다.
도 8은 도 7의 파선 위치의 정면 단면도이다.

최선의 형태의 본 발명은, 예를 들면, 인접하여 배치된 복수 개의 계량부를 구비하는 액체 재료의 토출 장치로서, 상기 계량부는, 각각 플런저와 노즐을 구비하고, 복수 개의 플런저를 동시에 진퇴 이동시키는 구동 장치를 구비하는 액체 재료의 토출 장치이다.

상기 계량부는, 플런저의 진출 이동에 의해 노즐로부터 토출되는 액체 재료가 일시적으로 저류되는 공간이며, 그 체적은 미량인 액체 재료를 양호한 정밀도로 토출하는 데 적합한 크기로 구성한다. 계량부를 복수 개로 한 것은, 하나의 계량부의 체적을 크게 하지 않고, 계량부 전체의 체적을 크게 하기 위해서이다. 상기 계량부의 구성으로서는, 예를 들면, 복수 개의 계량부가 밸브 블록에 장착된 복수 개의 계량관이며, 밸브 블록은, 저류 용기로부터 각 계량관에 액체 재료를 분기하여 유입하는 유로를 구비하는 태양이 개시되어 있다. 상기 계량부의 다른 구성으로서는, 계량 블록에 복수 개의 계량공과, 저류 용기로부터 각 계량공에 액체 재료를 분기하여 유입하는 유로를 설치하는 태양이 개시된다. 어느 태양에 있어서도, 노즐의 선단의 수평 방향의 위치는 정렬하여 배치한다.

계량부와 노즐을 1 대 1로 대응하는 구성으로 한 것은, 하나의 계량부로부터 2개의 노즐에 분기하여 적하하는 태양에서는, 계량부 내에 있어서 플런저에 의해 가압된 액체 재료의 미묘(微妙)한 유체 밸런스에 의해, 양쪽의 노즐에 균등하게 액체가 유동하지 않는 경우가 있기 때문이다. 이 점, 각 계량부가 각각 노즐을 가지는 구성으로 하면, 각 계량부로부터 노즐의 토출구에 이를 때까지의 유로를 모두 동일한 닫은 형상(단, 전환 밸브가 개재되어도 됨)으로 하는 것이 가능하므로 양호한 정밀도로 토출을 행하는 것이 가능해진다.

또한, 액체 재료의 충전 시에 플런저의 선단과 전환 밸브까지의 용량을 같 게 하면, 계량부 내를 슬라이드 이동하는 플런저를 동시에 진출시켜 토출을 행함으로써, 플런저의 진출에 의한 유로 내의 체적 감소를 같은 비율로 할 수 있다. 모든 계량부를 같은 용량으로 하고, 모든 노즐로부터 같은 양의 액체 재료를 동시에 토출하도록 해도 된다.

또한, 플런저의 선단부에 로드보다 광폭의 실링부(직경이 큰 돌기부)를 형성하면, 슬라이드 이동 면적이 작아지므로 플런저를 고속으로 이동시키는 것이 가능하다. 이 때, 계량부와 노즐을 연통시키는 유로를 실질적으로 직선이 되도록 구성하는 것이 바람직하다.

또한, 바람직하게는, 상기 계량부는, 각각 전환 밸브를 구비하고, 각 전환 밸브를 동시에 전환하는 구동 장치를 구비하는 것을 특징으로 한다. 전환 밸브는, 슬라이드형, 일방향 회전형, 또는 왕복이동 회전형 중 어느 것이어도 된다.

이하에서는, 본 발명의 상세를 실시예에 의해 설명하지만, 본 발명은 이들 실시예에 한정되는 것은 아니다.

[실시예 1]

《전체 구조》

본 실시예 1의 장치를, 도 1 내지 도 4를 참조하여 설명한다. 그리고, 도 4에 있어서는, 플런저 B(31)의 배면에 플런저 A(30)가 있고, 노즐 B(56)의 배면에 노즐 A(55)가 있고, 밸브 B(58)의 배면에 밸브 A(57)가 있고, 밸브 삽착공(揷着孔) B(62)의 배면에 밸브 삽착공 A(61)가 있다.

본 실시예 1의 토출 장치는, 베이스(10)에 판 A(11), 판 B(12) 및 판 C(13)가 장착되어 프레임이 구성되며, 상기 프레임에, [1] 플런저 구동부, [2] 플런저부, [3] 액체 이송부 및 [4] 밸브부가 설치된다.

[1] 플런저 구동부는, 모터 A(20), 슬라이드 베이스(21), 슬라이더(22)로 구성된다.

플런저 구동부는, 판 B(12)에 고정되는 모터 A(20)의 회전 구동에 의해, 슬라이더(22)가, 베이스(10)에 고정되는 슬라이드 베이스(21) 상을 슬라이드 베이스(21)의 연신 방향으로 이동 가능하게 구성된다. 플런저 구동부의 각 요소는, 베이스(10)의 중심축에 대하여 선대칭으로 배치되어 있다.

[2] 플런저부는, 플런저 A(30), 플런저 B(31), 계량관 A(32), 계량관 B(33)로 구성된다.

플런저부는, 플런저 A(30) 및 플런저 B(31)가, 나사 A(34) 및 나사 B(35)에 의해 각각 플런저 구동부의 슬라이더(22)에 고정된다. 플런저 A(30)가 계량관 A(32)의 내벽면에 밀착되어 슬라이드 이동하도록 삽입되고, 플런저 B(31)가 계량관 B(33)의 내벽면에 밀착되어 슬라이드 이동하도록 삽입되어 구성된다.

계량관 A(32) 및 계량관 B(33)는, 밸브 블록(50)의 상면에 천설된 구멍에 장착 고정되어 있고, 모터 A(20)의 구동에 의해, 플런저 A(30) 및 플런저 B(31)가, 각각 계량관 A(32) 및 계량관 B(33)의 내벽면에 밀착되어 슬라이드 이동한다.

여기서, 플런저 A(30) 및 플런저 B(31) 각각의 계량관 측 선단은, 계량관 내의 밀착을 확실하게 하기 위해, 플런저 보디부의 직경보다 광폭의 직경으로 구성하는(즉, 실링부를 설치하는) 것이 가능하다.

계량관 A(32) 및 계량관 B(33)는, 베이스(10)의 중심축에 대하여 선대칭으로 또한 서로 근접하여 배치되어 있다. 이와 같이, 본 실시예 1에서는 1개의 계량관을 길게 하거나 직경을 크게 하지 않고, 복수 개 설치함으로써 토출량을 증가시킴으로써 토출 장치의 대형화를 피하고 있다.

본 실시예 1의 장치는, 모터 A(20)의 회전 동작에 의해, 플런저 A(30)와 플런저 B(31)가 동시에 계량관 내를 전진 이동 또는 후퇴 이동하도록 구성되어 있다. 즉, 플런저 A(30)가 계량관 A(32) 내를 전진 이동할 때, 플런저 B(31)도 동시에 계량관 B(33) 내를 전진 이동하고, 플런저 A(30)가 계량관 A(32) 내를 후퇴 이동할 때, 플런저 B(31)도 동시에 계량관 B(33) 내를 후퇴 이동한다.

[3] 액체 이송부는, 저류 용기(40) 및 액체 이송 튜브(41)로 구성된다.

보다 상세하게는, 액체 이송부는, 액체 재료가 저류되는 저류 용기(40)와, 저류 용기(40)와 밸브 블록(50)을 연통시키는 액체 이송 튜브(41)로 구성된다.

액체 이송 튜브(41)는, 저류 용기(40)의 저부로 연신되는 액체 이송 파이프(43)와 연통되고, 저류 용기(40)의 상부에 이르는 압력 공급관(42)으로부터 공급되는 공압(空壓)의 작용에 의해, 저류 용기(40)에 저류되는 액체 재료를 밸브 블록(50)으로 압송(壓送)한다. 저류 용기(40)는, 판 B(12) 상에 경사를 가지고 탑재되고, 판 A(11)에 의해 보디부가 지지되어 장착 및 분리 가능하게 고정된다.

[4] 밸브부는, 밸브 블록(50), 모터 B(51), 기어 세트(52), 샤프트 A(53), 샤프트 B(54), 노즐 A(55), 노즐 B(56), 회전 검지 기구(70)로 구성된다.

밸브부는, 베이스(10)에 지지되는 모터 B(51)의 회전 구동에 의해, 기어 세트(52)를 통하여, 병행하여 배치된 2개의 샤프트 즉 샤프트 A(53) 및 샤프트 B(54)를 회전시키고, 판 C(13)에 고정되는 밸브 블록(50)의 밸브 삽착공 A(61) 및 밸브 삽착공 B(62) 내에 설치되는 2개의 밸브 즉 밸브 A(57) 및 밸브 B(58)를 회전시킬 수 있도록 구성된다. 각 밸브는, 각 계량관과 각 노즐을 연통시키는 관통공과, 상기 관통공과 직교하는 주위면에, 밸브의 길이 방향(수평 방향)으로 연장되는 홈을 가지고, 상기 각 홈은 각 밸브 삽착공의 내벽면과 협동하여 각 계량관과 저류 용기(40)를 연통시키는 유로를 구성한다.

회전 검지 기구(70)는, 센서(71)와 검지판(72)으로 구성된다. 검지판(72)은 절결부(切缺部)가 형성된 원반(圓盤)이며, 모터 B(51)의 회전에 따라 회전한다. 「ㄷ」자형으로 형성된 포토 센서인 센서(71)의 오목부에 검지판(72)이 위치하도록 구성되어 있다. 센서(71)는, 오목부의 상부가 발광부, 오목부의 하부가 수광부로 되어 있고, 검지판(72)의 절결에 의해, 상기 발광부로부터 발해진 광을, 상기 수광부에 대하여, 투광 또는 차광시킬 수 있다. 이로써, 센서(71)의 수광부에 대한 발광부로부터의 광의 차광 개시 위치, 또는 투광 개시 위치에 기초하여 밸브 B(58)의 회전 위치를 제어한다.

밸브 블록(50)의 저부에는, 노즐 A(55)와 노즐 B(56)가 장착 및 분리 가능하게 설치된다.

밸브 블록(50)의 상면에 천설된 구멍에는, 계량관 A 및 계량관 B가 장착 고정된다. 그리고, 밸브 블록(50)의 상면에 천설된 구멍 그 자체를 계량관으로서 구성하는 것도 물론 가능하다.

밸브 블록(50)은, 액체 이송 튜브(41)와 연통되는 액체 재료 공급구(59)로부터 공급된 액체 재료를, 밸브 A(57) 및 밸브 B(58)의 각각에 보내기 위한 분기로를 구비하는 유로를 가진다. 이와 같이, 공급된 밸브 블록(50)에서 분기하여 계량관 A 및 계량관 B에 유입시키는 구성이므로, 저류 용기를 복수 개 설치할 필요가 없다.

샤프트 A(53)는, 밸브 A(57)와 장착 및 분리 가능하게 연결되어 구성된다(그리고, 도 2 및 도 4에서는, 샤프트 A(53)는 샤프트 B(54)의 배면에 위치하고 있다). 밸브 A(57)는, 샤프트 A(53)의 회전 동작에 의해, 계량관 A(32)와 액체 이송 튜브(41)를 연통시키는 제1 위치와, 계량관 A(32)와 노즐 A(55)를 연통시키는 제2 위치를 취할 수 있다.

샤프트 B(54)는, 밸브 B(58)와 장착 및 분리 가능하게 연결되어 구성된다. 밸브 B(58)는, 샤프트 B(54)의 회전 동작에 의해, 계량관 B(33)와 액체 이송 튜브(41)를 연통시키는 제1 위치와, 계량관 B(33)와 노즐 B(56)를 연통시키는 제2 위치를 취할 수 있다.

밸브 A(57) 및 밸브 B(58)는, 모터 B(51)의 회전 동작에 의해, 동시에 각각의 제1 위치 및 제2 위치로 전환되도록 구성된다.

그런데, 모터 A(20), 모터 B(51)는, 제어 장치(60)와 접속되어 있고, 제어 장치(60)로부터의 지령에 의해 동작한다.

이와 같이, 본 실시예 1의 장치는, 2개의 모터를 구비한다. 그리고, 하나의 모터로 복수 개의 플런저를 동시에 이동시키고, 다른 한쪽의 모터로 복수 개의 밸브를 동시에 동작시킨다. 이와 같은 구성에 있어서, 모터 A(20)와 모터 B(51)는, 슬라이더를 통하여 상하로 배치된다. 이와 같은 배치로 함으로써, 장치를 슬림하게 구성할 수 있다. 그리고, 모터 A(20)와 모터 B(51)는, 베이스(10)의 중심 내지는 중심 근방의 동축(同軸) 상에 배치하는 것이 바람직하다.

XY 방향으로 이동하는 이동 로봇에 본 적하 장치를 복수 개 탑재하는 데 있어서는, 이와 같은 슬림한 구성으로 하는 것은, 적하 장치의 탑재수를 많게 할 수 있어 바람직하다.

또한, 2개의 모터로 모든 플런저 및 모든 밸브를 동작시킬 수 있으므로, 장치를 경량으로 구성할 수 있고, 상기 적하 장치를 탑재한 도포 장치에 있어서, 적하 장치를 X 방향 또는 Y 방향으로 이동시키는 경우에 있어서 바람직하다.

《액재(液材) 토출 작업》

모터 B(51)를 회동(回動) 동작시켜, 밸브 A(57) 및 밸브 B(58)를 제1 위치에 세팅하고, 계량관 A(32) 및 계량관 B(33)의 각각을 액체 이송 튜브(41)와 연통시킨다.

다음에, 모터 A(20)를 회전 동작시키고, 플런저 A(30) 및 플런저 B(31)를 후퇴 이동시켜, 계량관 A(32) 및 계량관 B(33)에, 액체 재료를 필요한만큼 흡입한다.

이어서, 밸브 A(57) 및 밸브 B(58)가 제2 위치로 되도록 모터 B(51)를 동작시켜, 계량관과 노즐을 연통시킨다. 즉, 계량관 A(32)와 노즐 A(55)를 연통시키고, 계량관 B(33)와 노즐 B(56)를 연통시킨다.

원하는 양의 액체 재료를 토출시키기 위해, 모터 A(20)를 회전 동작시키고, 플런저 A(30) 및 플런저 B(31)를 규정량만큼 전진 이동시켜, 노즐 A(55) 및 노즐 B(56)로부터 액체 재료를 토출한다.

이 때, 플런저 A(30) 및 플런저 B(31)는, 급속 전진에 이어서, 급격하게 정지시킴으로써, 미소량의 액체 재료를 양호한 정밀도로 노즐로부터 적하시킬 수 있다. 급속 전진에 계속되는 급격 정지의 동작을 연속하여 행함으로써, 연속적으로 액체 재료를 적하시킬 수 있다.

액체 재료를 연속하여 적하시키는 것이면, 필요량을 사전에 흡인해 두는 것이 필요한 것은 물론이다.

여기서, 플런저의 급격 전진에 계속되는 급격한 정지에 의해, 미소량의 액체 재료를 양호한 정밀도로 노즐로부터 적하시킨다. 예를 들면, 계량관의 내벽면에 밀착되어 슬라이드 이동하는 플런저의 진출 이동 및 진출 정지에 의해, 상기 계량관과 연통되는 토출구로부터 토출되는 액적의 토출량을 조정하는 액적량의 조정 방법으로서, 상기 토출구에서 토출되는 액적이 토출마다 일정한 양으로 되도록, 상기 진출 이동하는 플런저가 감속을 개시하고 나서 정지하기까지의 이동 속도를 조정하는 액적량의 조정 방법이며, 여기서는, 상기 플런저를 후퇴 이동시켜 상기 계량관 내에 액재를 저류 용기로부터 흡입하고, 상기 플런저의 진출 이동 및 진출 정지를 반복함으로써 상기 계량관 내의 액체 재료가 복수회에 걸쳐 토출이 행해진다. 그리고, 이 토출 방법에 대해서는, 출원인이 이미 특허 문헌 4에서 개시하고 있다.

원하는 횟수의 적하 동작을 행한 후에는, 다시, 모터 B(51)를 회동 동작시켜 밸브 A(57) 및 밸브 B(58)를 제1 위치에 세팅하고, 전술한 동작을 반복함으로써, 토출 작업을 연속하여 행할 수 있다.

본 실시예 1의 적하 장치(1)를 복수 개 탑재한 도포 장치(5)를 도 5에 나타낸다.

도포 장치(5)는, 공작물이 탑재되는 테이블(6)을 가지는 가대(架臺)(7)와, 가대(1) 상에 고정 설치된 한쌍의 지지체에 지지되고, 가대(1)의 폭방향(X 방향)을 횡단하는 가동 프레임 A(81)과, 동일하게 가대(1)의 X 방향을 횡단하는 가동 프레임 B(82)를 구비한다. 가동 프레임 A(81) 및 가동 프레임 B(82)의 측면에는 가동자(可動子)를 통하여 복수 개의 적하 장치(1)가 X 방향으로 이동 가능하게 장착되어 있다. 적하 장치(1)는, 토출 장치와 토출 장치를 상하 방향(Z 방향)으로 이동 가능하게 하는 Z 방향 구동 장치에 의해 구성되어 있다. 테이블(6)은, X 가이드 레일에 의해 X 방향으로 이동 가능하게 구성되어 있고, 또한 X 가이드 레일이 설치된 Y 슬라이더 및 Y 가이드 레일에 의해 Y 방향으로 이동 가능하게 구성되어 있다. 그리고, 테이블(6)에, 공작물을 θ축 방향으로 이동시켜 소정 각도로 위치결정하기 위한 θ회전 수단을 설치해도 된다. X 방향 및 Y 방향의 가이드 레일로서는, 리니어 모터용 마그넷 및 직동(直動) 가이드를 구비하는 구성이 예시되지만, 이 구성에 한정되지 않고, 예를 들면, 슬라이드 베이스에 모터와 모터와 연동하여 회전하는 볼 나사를 구비하고, 슬라이더에 볼 나사의 회전에 연동하여 직진 이동하는 너트를 구비하는 구성으로 해도 된다.

본 실시예 1에 있어서 중요한 것은, 하나의 계량관으로부터 2개의 노즐에 분기하여 적하되는 태양이 아닌 점이다. 즉, 노즐, 계량관 및 플런저가 하나의 세트로서 구성되며, 이 세트를 토출 장치가 복수 개 구비하고 있는 점이다.

하나의 계량관으로부터 2개의 노즐에 분기하여 적하하는 태양에서는, 계량관 내에 있어서 플런저에 의해 가압된 액체 재료의 미묘한 유체 밸런스에 의해, 양쪽의 노즐에 균등하게 액체가 유동하지 않는 경우가 있지만, 본 실시예 1과 같은 구성으로 함으로써, 확실하게 액체 재료를 적하시키는 가능하게 한다.

본 실시예 1에서는, 2개의 노즐을 배치한 토출 장치의 구성을 예시했지만, 본 실시예 1의 기술적 사상에는, 2개 이상의 노즐을 배치한 토출 장치의 태양이 포함되는 것은 물론이다.

또한, 노즐, 계량관 및 플런저는 하나의 세트이므로, 노즐의 수와 같은 수의 계량관 및 플런저를 필요로 하는 것도 물론이다.

[실시예 2]

《전체 구조》

실시예 2의 장치를, 도 6 내지 도 8을 참조하여 설명한다. 그리고, 도 8에 있어서는, 플런저 B(31)의 배면에 플런저 A(30)가 있고, 노즐 B(56)의 배면에 노즐 A(55)가 있고, 밸브 B(58)의 배면에 밸브 A(57)가 있고, 밸브 삽착공 B(62)의 배면에 밸브 삽착공 A(61)이 있고, 계량공 B(65)의 배면에 계량공 A(64)가 있다.

본 실시예 2의 토출 장치는, 밸브 삽착공 A(61) 및 B(62), 저류부(63), 및 계량공(A64) 및 계량공(B65)가 형성된 계량 블록(36)을 구비하고 있는 점에서, 실시예 1의 토출 장치와 상위하다.

계량 블록(36)은, 판 C(13)에 고정되어 있고, 상면에는 플런저 A(31) 및 플런저 B(31)가 삽입되는 구멍이 형성되어 있고, 측면에는 액체 이송 튜브(41)와 연통되는 액체 재료 공급구(59)가 설치되어 있다. 액체 재료 공급구(59)로부터 공급된 액체 재료는, 계량 블록(36)의 내부에 형성된 저류부(63)에 일시적으로 저류된다. 저류부(63)에 저류된 액체 재료는, 밸브 A(57) 및 밸브 B(58)의 각 주위면에 형성된 홈을 통하여 계량공 A(64) 및 계량공 B(65)에 송출된다. 본 토출 장치에 있어서의 액체 흡인의 수순은, 실시예 1과 같고, 저류부(63)와 계량공 A(64) 및 계량공 B(65)를 연통 상태로 하고, 모터 A(20)에 의해 플런저 A(30) 및 플런저 B(31)를 동시에 후퇴 이동시킴으로써 행해진다.

토출 장치에 있어서의 액체 토출의 수순도 실시예 1과 같다. 먼저, 베이스(10)에 지지되는 모터 B(51)의 회전 구동에 의해, 기어 세트(52)를 통하여, 병행하여 배치된 2개의 샤프트, 즉 샤프트 A(53) 및 샤프트 B(54)를 회전시킴으로써, 각 계량공과 각 노즐을 각 밸브에 형성된 관통공에 의해 연통시킨다. 그리고, 모터 A(20)에 의해 플런저 A(30) 및 플런저 B(31)를 동시에 급격 전진시키고, 그에 계속되는 급격한 정지에 의해, 미소량의 액체 재료를 양호한 정밀도로 노즐로부터 적하시킨다. 이 동작을, 계량공 A(64) 및 계량공 B(65) 내에 흡인된 액체 재료가 없어질 때까지 복수회에 걸쳐 반복하여 토출 작업을 행한다.

본 실시예 2의 토출 장치에 있어서도 계량공, 플런저 및 노즐을 2이상 배치하는 것은 가능하다. 또한, 본 실시예 2의 토출 장치를 실시예 1의 도포 장치(5)에 탑재하는 것도 물론 가능하다.

[산업상의 이용 가능성]

본 발명은, 플랫 패널 디스플레이 제조 단계, 예를 들면, 액정 패널 제조 단계에 있어서의 액정 적하 단계 등의 분야에 바람직하다.

1: 적하 장치, 5: 도포 장치, 6: 테이블, 7: 가대, 10: 베이스, 11: 판 A, 12: 판 B, 13: 판 C, 20: 모터 A, 21: 슬라이드 베이스, 22: 슬라이더, 30: 플런저 A, 31: 플런저 B, 32: 계량관 A, 33: 계량관 B, 34: 나사 A, 35: 나사 B, 36: 계량 블록, 40: 저류 용기, 41: 액체 이송 튜브, 42: 압력 공급관, 43: 액체 이송 파이프, 44: 액체 재료, 50: 밸브 블록, 51: 모터 B, 52: 기어 세트, 53: 샤프트 A, 54: 샤프트 B, 55: 노즐 A, 56: 노즐 B, 57: 밸브 A, 58: 밸브 B, 59: 액체 재료 공급구, 60: 제어 장치, 61: 밸브 삽착공 A, 62: 밸브 삽착공 B, 63: 저류부, 64: 계량공 A, 65: 계량공 B, 70: 회전 검지 기구, 71: 센서, 72: 검지판, 81: 가동 프레임 A, 82: 가동 프레임 B

Claims

액체 재료의 저류부와, 플런저가 삽통(揷通)되는 복수 개의 계량부와, 플런저 구동 장치와, 각 계량부와 1대 1로 대응하는 복수 개의 노즐을 구비하고, 상기 계량부에 충전한 액체 재료를 복수회에 걸쳐 토출하는 액체 재료의 토출 장치로서,
상기 플런저 구동 장치는 모든 플런저를 동시에 진퇴(進退) 이동시키는 하나의 플런저 구동 장치인, 액체 재료의 토출 장치.
제1항에 있어서,
상기 계량부를 모두 같은 용량으로 구성한, 액체 재료의 토출 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 계량부 각각에 대하여, 상기 계량부와 상기 노즐을 연통시키는 제1 위치 및 상기 계량부와 상기 저류부를 연통시키는 제2 위치를 가지는 전환 밸브를 설치하고, 각각의 상기 전환 밸브의 위치를 동시에 전환하는 하나의 밸브 구동 장치를 설치한, 액체 재료의 토출 장치.
제3항에 있어서,
상기 플런저 구동 장치 및 상기 밸브 구동 장치를 복수 개의 상기 계량부에 대하여 연직(鉛直) 방향으로 배치한, 액체 재료의 토출 장치.
제3항 또는 제4항에 있어서,
상기 전환 밸브가 설치된 블록을 설치하고, 상기 블록에 상기 저류 용기로부터 각각의 상기 전환 밸브에 액체 재료를 분기(分岐)하여 유입하는 유로를 설치한, 액체 재료의 토출 장치.
제5항에 있어서,
상기 계량부를 상기 블록에 장착 가능한 계량관(計量管)에 의해 구성하고, 또한 서로 인접하여 배치한, 액체 재료의 토출 장치.
제5항에 있어서,
상기 블록에 상기 계량부를 형성한, 액체 재료의 토출 장치.
제7항에 있어서,
상기 블록에 상기 저류부를 형성한, 액체 재료의 토출 장치.
테이블이 설치된 가대(架臺)와, 상기 가대 상에 연신(延伸)되고, 일방향으로 이동 가능한 프레임을 구비하고, 상기 프레임에 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 기재된 토출 장치가 설치된, 도포 장치.
저류부로부터 플런저가 삽통(揷通)되는 계량부 내에 액체 재료를 충전하고, 상기 플런저의 진출 이동 및 진출 정지를 반복함으로써 상기 계량부 내의 액체 재료를 복수회에 걸쳐 토출하는 액체 재료의 토출 방법에 있어서,
복수 개의 계량부 및 각각의 상기 계량부와 1대 1로 대응하는 복수 개의 노즐을 설치하고, 하나의 플런저 구동 장치에 의해 복수 개의 플런저를 동시에 이동시킴으로써 모든 계량부 내의 액체 재료를 동시에 토출하는, 액체 재료의 토출 방법.
제10항에 있어서,
상기 계량부의 각각에 대하여, 상기 계량부와 상기 노즐을 연통시키는 제1 위치 및 상기 계량부와 상기 저류부를 연통시키는 제2 위치를 가지는 전환 밸브를 설치하고, 각각의 상기 전환 밸브를 하나의 구동 장치에 의해 동시에 전환하면서 액체 재료의 토출을 행하는, 액체 재료의 토출 방법.