JP2001287798A - 切換弁の漏洩を防止した液体の定量吐出方法および装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 切換弁の漏洩防止を簡潔にして液体を高速に
高精度に吐出すること。 【解決手段】 プランジャロッドの後退動作により貯留
容器から液体をシリンダに吸引し、前記プランジャロッ
ドの進出動作により前記液体をシリンタ゛からノズルに排出し
て吐出するに際し、吐出すべき液体の圧力に応じたシー
ル力を作り出すことによりシリンタ゛と貯留容器またはノズル
とを連通する切換弁の漏洩を防止する。液体吐出ノズル
と、液体貯留容器と、シリンタ゛と、その内部に進退するプラ
ンジャロッドと、その駆動手段と、シリンダと貯留容器
またはノズルとを連通する切替弁とで構成した液体の定
量吐出装置において、シリンダブロックと押さえブロッ
クの間に、流路を有するバルブブロックを摺動自在に配
置した液体の定量吐出装置における切替弁において、吐
出すべき高圧液体の一部をバルブブロックの背面に作用
させて、バルブブロックをシリンダブロックに形成した
弁座面に押し付けることを、さらには、バルブブロック
と押さえブロックとの間に、Ｏリングで囲繞された高圧
液体受け入れ空隙を設けたことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、あらゆる粘度の液
体、たとえば、水、アルコール等の低粘性物質から、接
着剤、ペースト状もしくはクリーム状の工業用材料とい
った高粘調流体にいたるまでの、液体を高速に高精度に
吐出する方法および装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、液体を定量に吐出する装置には、
調圧された圧縮空気を貯留容器内の液体に所望時間だけ
適用して、ノズル先端の吐出口から所望量の液体を吐出
する、空気圧式吐出装置や、貯留容器内の液体に液密に
配設したプランジャを移動させて前記液体を加圧し、ノ
ズル先端の吐出口から所望量の液体を吐出する、プラン
ジャ式吐出装置が開発されている。

【０００３】さらには、貯留容器とノズルとの間にシリ
ンダを設け、このシリンダ内に設けられた複数の貫通孔
は一の貫通孔に一のプランジャが進退するよう施されて
おり、プランジャの退行移動により貯留容器から液体が
シリンダ内に吸入され、プランジャの進行移動により液
体がシリンダからノズルへ排出される機構において、前
記複数のプランジャが順に液体に作用して液体を加圧す
ることにより、ノズル先端の吐出口から所望量の液体を
吐出する、多連プランジャポンプ式吐出装置も開発され
ている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、これらの技術
では、現在求められているような高速なタクトタイム
で、高精度にかつ定量性を維持して吐出することは不可
能であり、半導体製造におけるダイボンディング工程な
どにおいては、サイズの高機能を有する大きなデバイス
の出現と、生産性を向上させるためのさらなる高タクト
化の要求から、短時間に多量を吐出することが求めら
れ、一方で高品質な製品が要求されることから高精度な
吐出および精細な塗布が求められているので、このよう
な要求を満たすために、前記従来の装置に用いられてい
た切換弁ではいずれにも問題があった。

【０００５】たとえば、空気圧式吐出装置は、液体を吐
出する圧力源に空気圧を利用するが、空気圧は圧縮性に
富んでいるため、短い時間に大きく圧力を変化させるこ
とが非常に難しく、従って高速なタクトで吐出すること
は不向きであり、また、短時間に多量の液体を吐出する
場合および特に吐出する液体が高粘度液剤である場合の
ように、液体に高い圧力を適用する必要がある場合にお
いても、急激な貯留容器内の圧力変化が必要であるた
め、吐出時間を短くするには限界があり、高速なタクト
で吐出することができない問題があった。

【０００６】また、プランジャ式吐出装置は、貯留容器
内の液体水頭付近に液密に配設されたプランジャが、貯
留されている液体すべてを加圧して吐出する方式であ
り、加圧される液体量は貯留容器内の残液量に依存され
るから、液剤を加圧して所望圧力とするときの所望圧力
到達時間は残液量が少量である場合は速く、残液量が多
量である場合は遅くなる。このように、吐出時の圧力変
化が貯留容器内の残液量によって異なるから、これに起
因して吐出量のばらつきが生じる問題があり、また、予
め貯留する液体量を少量とすると、短い周期で貯留容器
を交換する作業が必要となり作業効率が悪くなる問題が
あった。

【０００７】さらに、多連プランジャポンプ式吐出装置
は、複数のプランジャが順に連続して液体を加圧動作す
る方式であり、一のプランジャから他の一のプランジャ
に制御が移行する場合、液体は同時に２本のプランジャ
により加圧されるために、与える力が均一とならず、よ
って吐出される液体には脈動が発生し流速が均一となら
ないという問題がある。このため、この装置でワーク上
に液体を線形状に塗布描画すると、線の幅および線高に
ムラ、歪みが発生し均一な塗布形状を形成させることが
できないから、高精細なパターン形状を描画する場合に
は、塗布形成させることが実質的に不可能である。

【０００８】そこで本発明者は、液体の高速かつ高精度
な定量吐出にかかるこれら問題を解決すべく、液体を高
速に高精度に吐出する装置に適した切換弁を提供した
（特願平１１−３５０３６９号）。

【０００９】ところで、上記発明における液体の定量と
出装置は、図６に示すとおり、モータＡ２０は、ボール
ネジＡ２３とギアＡ２１を介して接続されている。プラ
ンジャロッドＡ２７はモータＡ２０の回転動作によりシ
リンダＡ２９に内接して進退動作するよう、プランジャ
ロッド取付板Ａ２５に付けられている。プランジャロッ
ドＢ２８はボールネジＢ２４の回転によりシリンダＢ３
０に内接して進退動作するよう、プランジャロッド取付
板Ｂ２６に取りつけられており、プランジャロッドＡ２
７が進出移動するときにはプランジャロッドＢ２８が退
行移動するように、プランジャロッドＡ２７が退行移動
するときにはプランジャロッドＢ２８が進出移動するよ
うに、ボールネジＢ２４に連結したギアＢ２２はギアＡ
２１と連結している。

【００１０】また、上記装置に用いる切換弁は、バルブ
ブロック３４、シリンダブロック３１およびシリンダブ
ロック３１と協同してバルブブロック３４を摺動自在に
保持する押さえブロック３５により構成されており、シ
リンダＡ２９と貯留容器が連結するにあたってシリンダ
Ｂ３０とノズル１５が連通するように、またシリンダＡ
２９とノズル１５が連通するにあたってはシリンダＢ３
０と貯留容器１４が連通するように、エア制御手段１０
からの信号に基づいてシリンダブロック３１に対してバ
ルブブロック３４をスライドさせて流路の切換を行って
いる。

【００１１】上記切換弁の漏洩防止は、エアシリンダＡ
３６先端の押さえブロック３５は、シリンダブロックを
エア制御手段１０から供給されるエア圧力により加圧固
定しているから、バルブブロック３４は、シリンダブロ
ック３１および押さえブロック３５に密接して、相対的
にスライド動作することができ、不要な液体の漏出を防
止するので、エアシリンダＡ３６および押さえブロック
３５に押圧力を発生させるためのエアシリンダＡ３６お
よび同シリンダに高圧空気を供給する配管４７、４８を
必要とし、さらに、エアシリンダＡ３６に供給する高圧
空気量を制御する手段を必要とし、構造が複雑である。

【００１２】そこで本発明は、液体の高速かつ高精度な
定量吐出にかかるこれら問題を解消し、液体を高速に高
精度に吐出する吐出方法およびその装置を提供すること
を目的とする。より具体的には、本発明は、液体の高速
かつ高精度な定量吐出にかかるこれら問題を解消し、さ
らに、切換弁の漏洩防止を簡潔にした液体を高速に高精
度に吐出する方法および装置を提供することを目的とす
る。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明は、プランジャロ
ッドの後退動作により貯留容器から液体をシリンダに吸
引し、前記プランジャロッドの進出動作により前記液体
をシリンダからノズルに排出して吐出する液体の定量吐
出方法であって、吐出すべき液体の圧力に応じたシール
力を作り出すことによりシリンダと貯留容器またはノズ
ルとを連通する切換弁の漏洩を防止することを特徴とす
る方法を要旨としている。

【００１４】前記プランジャロッドの進出動作により排
出する液体の流路が２分岐しており、一の流路は吐出口
へ、他の流路はシール力を作り出すように通じており、
その場合、本発明は、プランジャロッドの後退動作によ
り貯留容器から液体をシリンダに吸引し、前記プランジ
ャロッドの進出動作により前記液体をシリンダからノズ
ルに排出して吐出する液体の定量吐出方法であって、前
記プランジャロッドの進出動作により排出する液体の流
路が２分岐しており、一の流路は吐出口へ、他の流路は
シール力を作り出すように通じさせ、吐出すべき液体の
圧力に応じたシール力を作り出すことによりシリンダと
貯留容器またはノズルとを連通する切換弁の漏洩を防止
することを特徴とする方法である。

【００１５】一回の吐出をプランジャロッドの一回の吸
入動作および一回の排出動作で行っており、その場合、
本発明は、プランジャロッドの後退動作により貯留容器
から液体をシリンダに吸引し、前記プランジャロッドの
進出動作により前記液体をシリンダからノズルに排出し
て吐出し、一回の吐出をプランジャロッドの一回の吸入
動作および一回の排出動作で行う液体の定量吐出方法で
あって、吐出すべき液体の圧力に応じたシール力を作り
出すことにより、好ましくは、前記プランジャロッドの
進出動作により排出する液体の流路が２分岐しており、
一の流路は吐出口へ、他の流路はシール力を作り出すよ
うに通じさせ、吐出すべき液体の圧力に応じたシール力
を作り出すことにより、シリンダと貯留容器またはノズ
ルとを連通する切換弁の漏洩を防止することを特徴とす
る方法である。

【００１６】プランジャロッドの液体吸入開始位置と液
体排出終了位置を等しくしており、その場合、本発明
は、プランジャロッドの後退動作により貯留容器から液
体をシリンダに吸引し、前記プランジャロッドの進出動
作により前記液体をシリンダからノズルに排出して吐出
し、プランジャロッドの液体吸入開始位置と液体排出終
了位置を等しくする、好ましくは、一回の吐出をプラン
ジャロッドの一回の吸入動作および一回の排出動作で行
う液体の定量吐出方法であって、吐出すべき液体の圧力
に応じたシール力を作り出すことにより、好ましくは、
前記プランジャロッドの進出動作により排出する液体の
流路が２分岐しており、一の流路は吐出口へ、他の流路
はシール力を作り出すように通じさせ、吐出すべき液体
の圧力に応じたシール力を作り出すことにより、シリン
ダと貯留容器またはノズルとを連通する切換弁の漏洩を
防止することを特徴とする方法である。

【００１７】吐出毎のプランジャロッドの液体吸入開始
位置を同一の位置に、かつ吐出毎のプランジャロッドの
液体吸入終了位置を同一の位置にする、および／または
吐出毎のプランジャロッドの液体吐出開始位置を同一の
位置に、かつ吐出毎のプランジャロッドの液体吐出終了
位置を同一の位置にしており、その場合、本発明は、プ
ランジャロッドの後退動作により貯留容器から液体をシ
リンダに吸引し、前記プランジャロッドの進出動作によ
り前記液体をシリンダからノズルに排出して吐出し、吐
出毎のプランジャロッドの液体吸入開始位置を同一の位
置に、かつ吐出毎のプランジャロッドの液体吸入終了位
置を同一の位置にする、および／または吐出毎のプラン
ジャロッドの液体吐出開始位置を同一の位置に、かつ吐
出毎のプランジャロッドの液体吐出終了位置を同一の位
置にする、好ましくは、プランジャロッドの液体吸入開
始位置と液体排出終了位置を等しくする、および／また
は、一回の吐出をプランジャロッドの一回の吸入動作お
よび一回の排出動作で行う液体の定量吐出方法であっ
て、吐出すべき液体の圧力に応じたシール力を作り出す
ことにより、好ましくは、前記プランジャロッドの進出
動作により排出する液体の流路が２分岐しており、一の
流路は吐出口へ、他の流路はシール力を作り出すように
通じさせ、吐出すべき液体の圧力に応じたシール力を作
り出すことにより、シリンダと貯留容器またはノズルと
を連通する切換弁の漏洩を防止することを特徴とする方
法である。

【００１８】また、本発明は、液体を吐出するノズル
と、液体を貯留する貯留容器と、プランジャロッドを備
えたシリンダが装着されているシリンダブロックと、プ
ランジャロッドを駆動する駆動手段と、シリンダと貯留
容器またはノズルとを連通する切換弁とを具える液体の
定量吐出装置であって、上記の切換弁は、バルブブロッ
ク、シリンダブロックおよびシリンダブロックと協同し
てバルブブロックを摺動自在に保持する押さえブロック
により、吐出すべき高圧液体の一部をバルブブロックの
背面に作用させて、バルブブロックをシリンダブロック
に形成した弁座面に押し付けるように構成したことを特
徴とする装置を要旨としている。

【００１９】切替弁は図３（ａ）、（ｂ）に示すよう
に、サブブロック５０に設けたシリンダブロック３１と
押さえブロック３５との間に摺動自在に装着したバルブ
ブロック３４とで構成されており、シリンダブロック３
１には、等間隔に３本の流路３１ａ、３１ｂ、３１ｃが
設けられており、また、バルブブロック３４には、貯留
容器取付口３２とシリンダＡ２９又はシリンダＢ３０の
いずれかとを連通させる流路３４ａと、シリンダブロッ
ク３１に設けられた３１ａ又は３１ｃを介して、シリン
ダＡ２９又はシリンダＢ３０のいずれかと、ノズル１５
に液体を圧送する液送チューブＡ４０の取付口に連通す
る流路３４ｃとを連通する流路３４ｂが設けられてい
る。

【００２０】さらに、押さえブロック３５には、バルブ
ブロック３４の切替動作に伴い移動する流路３４ｄを常
時囲繞するようにＯリング３５ａ取付溝が設けられてお
り、該溝には、吐出作業中バルブブロック３４と押さえ
ブロック３５との間から液体が漏洩するのを防止するＯ
リング３５ａが嵌合されている。

【００２１】上記のとおり構成された本発明の実施例１
の定量吐出装置は、まず、制御部１１からの作業開始信
号にもとづき、プランジャロッドＡ２７を最下位置に
し、切替弁を図３（ａ）の状態に切替る。この状態でモ
ータ２０を回転させプランジャロッドＡ２７を上昇させ
ると、シリンダＡ２９はシリンダブロック３１に設けた
流路３１ａ、３１ｂ、バルブブロック３４に設けた流路
３４ａ及び貯留容器取付口３２を介して貯留容器１４に
連通しているので、貯留容器１４内の液体はシリンダＡ
２９内に吸引され、プランジャロッドＢ２８は下降し、
プランジャロッドＡ２７が最上位置に達するのと同時に
最下位置に達し、図２に示す塗布可能な状態になる。

【００２２】次いで、上記プランジャロッドＡ２７が最
上位置に達すると、制御部１１から制御信号が発せら
れ、切替弁を図３（ｂ）に示す切替位置に切替えられる
と、シリンダＡ２９はシリンダブロック３１に設けた流
路３１ａ及びバルブブロック３４に設けた流路、３４
ｂ、３４ｃを介してノズル１５に連通し、シリンダＢ３
０は、シリンダブロック３１に設けた流路３１ｃ、３１
ｂ、バルブブロック３４に設けた流路３４ａ及び貯留容
器取付口３２を介して貯留容器１４に連通する。この状
態で、制御部１１からの制御信号によりモータ２０の回
転方向を反転すると、プランジャロッドＡ２７は下降し
てシリンダＡ２９内の液体をノズル１５方向に押し出
し、プランジャロッドＢ２８は上昇して貯留容器１４内
の液体をシリンダＢ３０内に吸引する。

【００２３】以下、上記モータ２０の回転方向制御及び
切替弁の切替操作を繰り返し行い、吐出作業を継続する
が、この作業中バルブブロック３１に設けた流路３１ａ
又は３１は、液体吐出作業中のシリンダ２９又は３０
と、バルブブロック３４に設けた流路３４ｂ、３４ｄと
を連通させ、シリンダ２９又は３０から吐出された液体
の一部はバルブブロック３４と押さえブロック３５との
間のＯリング３５ａで囲繞された領域内に流入し、バル
ブブロック３４をシリンダブロック３１方向に押し、シ
リンダブロック３１とバルブブロック３４とを密着さ
せ、両ブロック間から液体が漏洩するのを防止する。

【００２４】バルブブロックと押さえブロックとの間
に、Ｏリングで囲繞された高圧液体受け入れ空隙を設け
たことを特徴としており、その場合、本発明は、液体を
吐出するノズルと、液体を貯留する貯留容器と、プラン
ジャロッドを備えたシリンダが装着されているシリンダ
ブロックと、プランジャロッドを駆動する駆動手段と、
シリンダと貯留容器またはノズルとを連通する切換弁と
を具える液体の定量吐出装置であって、上記の切換弁
は、バルブブロック、シリンダブロックおよびシリンダ
ブロックと協同してバルブブロックを摺動自在に保持す
る押さえブロック、バルブブロックと押さえブロックと
の間に設けたＯリングで囲繞された高圧液体受け入れ空
隙により、吐出すべき高圧液体の一部をバルブブロック
の背面に作用させて、バルブブロックをシリンダブロッ
クに形成した弁座面に押し付けるように構成したことを
特徴とする装置である。

【００２５】貯留容器と切換弁、および／またはノズル
と切換弁とを液送管を介して連通すべく構成しており、
その場合、本発明は、液体を吐出するノズルと、液体を
貯留する貯留容器と、プランジャロッドを備えたシリン
ダが装着されているシリンダブロックと、プランジャロ
ッドを駆動する駆動手段と、貯留容器と切換弁、および
／または、ノズルと切換弁とを液送管を介して連通すべ
く構成したシリンダと貯留容器またはノズルとを連通す
る切換弁とを具える液体の定量吐出装置であって、上記
の切換弁は、バルブブロック、シリンダブロックおよび
シリンダブロックと協同してバルブブロックを摺動自在
に保持する押さえブロックにより、好ましくはさらにバ
ルブブロックと押さえブロックとの間に設けたＯリング
で囲繞された高圧液体受け入れ空隙により、吐出すべき
高圧液体の一部をバルブブロックの背面に作用させて、
バルブブロックをシリンダブロックに形成した弁座面に
押し付けるように構成したことを特徴とする装置であ
る。

【００２６】貯留容器の液体を加圧する加圧手段を具え
たことを特徴としており、その場合、本発明は、液体を
吐出するノズルと、液体を貯留する貯留容器と、プラン
ジャロッドを備えたシリンダが装着されているシリンダ
ブロックと、プランジャロッドを駆動する駆動手段と、
貯留容器と切換弁、および／または、ノズルと切換弁と
を液送管を介して連通すべく構成したシリンダと貯留容
器またはノズルとを連通する切換弁と、貯留容器の液体
を加圧する加圧手段とを具える液体の定量吐出装置であ
って、上記の切換弁は、バルブブロック、シリンダブロ
ックおよびシリンダブロックと協同してバルブブロック
を摺動自在に保持する押さえブロックにより、好ましく
はさらにバルブブロックと押さえブロックとの間に設け
たＯリングで囲繞された高圧液体受け入れ空隙により、
吐出すべき高圧液体の一部をバルブブロックの背面に作
用させて、バルブブロックをシリンダブロックに形成し
た弁座面に押し付けるように構成したことを特徴とする
装置である。

【００２７】プランジャロッド径がシリンダ内径をほぼ
等しくしたこと、好ましくはプランジャロッドがシリン
ダに内接したこと、さらに好ましくはプランジャロッド
径のシリンダに内接する外郭断面形状が円形状としたこ
とを特徴としており、その場合、本発明は、液体を吐出
するノズルと、液体を貯留する貯留容器と、その径がシ
リンダ内径とほぼ等しい、好ましくはシリンダに内接し
た、さらに好ましくはその径のシリンダに内接する外郭
断面形状が円形状であるプランジャロッドを備えたシリ
ンダが装着されているシリンダブロックと、プランジャ
ロッドを駆動する駆動手段と、貯留容器と切換弁、およ
び／または、ノズルと切換弁とを液送管を介して連通す
べく構成したシリンダと貯留容器またはノズルとを連通
する切換弁と、好ましくは貯留容器の液体を加圧する加
圧手段とを具える液体の定量吐出装置であって、上記の
切換弁は、バルブブロック、シリンダブロックおよびシ
リンダブロックと協同してバルブブロックを摺動自在に
保持する押さえブロックにより、好ましくはさらにバル
ブブロックと押さえブロックとの間に設けたＯリングで
囲繞された高圧液体受け入れ空隙により、吐出すべき高
圧液体の一部をバルブブロックの背面に作用させて、バ
ルブブロックをシリンダブロックに形成した弁座面に押
し付けるように構成したことを特徴とする装置である。

【００２８】切換弁を、貯留容器に連通する第一孔およ
びノズルに連通する第二孔とを有するバルブブロックを
備えるスライド弁、好ましくは圧力を作用させて密着さ
せるスライドバルブ、さらに好ましくはその摺動面は接
触面積を最小にしており、その場合、本発明は、液体を
吐出するノズルと、液体を貯留する貯留容器と、その径
がシリンダ内径とほぼ等しい、好ましくはシリンダに内
接した、さらに好ましくはその径のシリンダに内接する
外郭断面形状が円形状であるプランジャロッドを備えた
シリンダが装着されているシリンダブロックと、プラン
ジャロッドを駆動する駆動手段と、貯留容器に連通する
第一孔およびノズルに連通する第二孔とを有するバルブ
ブロックを備えるスライド弁、好ましくは圧力を作用さ
せて密着させるスライドバルブ、さらに好ましくはその
摺動面は接触面積を最小にした、貯留容器と切換弁と、
および／または、ノズルと切換弁とを液送管を介して連
通すべく構成したシリンダと貯留容器またはノズルとを
連通する切換弁と、好ましくは貯留容器の液体を加圧す
る加圧手段とを具える液体の定量吐出装置であって、上
記の切換弁は、バルブブロック、シリンダブロックおよ
びシリンダブロックと協同してバルブブロックを摺動自
在に保持する押さえブロックにより、好ましくはさらに
バルブブロックと押さえブロックとの間に設けたＯリン
グで囲繞された高圧液体受け入れ空隙により、吐出すべ
き高圧液体の一部をバルブブロックの背面に作用させ
て、バルブブロックをシリンダブロックに形成した弁座
面に押し付けるように構成したことを特徴とする装置で
ある。

【００２９】また、本発明の装置は、駆動手段および／
または切換弁が、制御部の信号に基づいて作動すべく構
成したことを特徴としている。また、本発明の装置は、
プランジャロッドを複数としたこと、好ましくは駆動手
段をプランジャロッドの数と等しくしたこと、さらに好
ましくは複数のプランジャロッドのロッド先端の相対距
離を保持したまま、切換弁との相対距離を調節するプラ
ンジャロッド位置調整手段を具えたことおよび／または
プランジャロッドは、独立して制御可能に構成したこと
を特徴としている。さらにまた、本発明の装置は、プラ
ンジャロッドのいずれか一の吐出作動にあたって、他の
プランジャロッドを吸引作動または停止作動させるこ
と、および／またはプランジャロッドの吐出作動速度を
他のプランジャロッドの吸引作動速度と異なる速度とし
てなることを特徴としている。

【００３０】

【発明の実施の形態】本発明は、プランジャロッドの後
退動作により貯留容器から液体をシリンダに吸引し、前
記プランジャロッドの進出動作により前記液体をシリン
ダからノズルに排出して吐出する液体の吐出方法におい
て、一回の吐出をプランジャロッドの一回の吸入動作お
よび一回の排出動作で行う液体の吐出方法である。よっ
て、液体は同時に複数本のプランジャにより加圧させる
ことが無いから、液体に適用する加圧力が一定となり、
よって吐出される液体に脈動が発生せず、流速が均一と
なる。このため、ワーク上に液体を線形状に塗布描画し
ても、線の幅および線高にムラ、歪みが発生せず、均一
な塗布形状を形成させることができ、高精細がパターン
形状を塗布形成させることができる。

【００３１】上記の方法において、吐出すべき液体の圧
力に応じたシール力を作り出すことによりシリンダと貯
留容器またはノズルとを連通する切換弁の漏洩を防止す
ることを特徴とする。前記プランジャロッドの進出動作
により排出する液体の流路が２分岐しており、一の流路
は吐出口へ、他の流路はシール力を作り出すように通じ
ている。

【００３２】また、吐出とは、液体を加圧して誘起され
た液体と大気圧との圧力差によってノズルから液体が流
出することであるから、圧力差を効果的に誘起するため
には、加圧される液体の体積は少量であるほど好まし
く、より急峻に液体圧力を上昇させることができ、短時
間に多量の液体を吐出する場合および特に吐出する液体
が高粘度液剤である場合に効果的である。従って、複数
回の吐出量に相当する液体量を加圧することよりも、一
回の吐出量をシリンダ内に液体を吸引して加圧すること
が好ましい。より好ましくは、プランジャロッドの液体
排出終了後のシリンダ内には液体残量が無いことであ
る。

【００３３】ここで、プランジャロッドの液体吸入開始
位置と液体排出終了位置を吐出毎で等しくすることが好
ましい。吐出毎の加圧する液体量を常に一定ならしめる
ことは、加圧される液体量が貯留容器内の残液量に依存
されることが無く、吐出時のプランジャロッドが液体を
加圧するときの液体圧力が上昇するプロセスを吐出毎に
等しくすることができるから、貯留容器内の残液量に依
存する吐出量のばらつきが無い。より好ましくは、さら
に吐出毎のプランジャロッドの液体吐出開始位置を同一
の位置に、かつ吐出毎のプランジャロッドの液体吐出終
了位置を同一の位置にする。さらに好ましくは、さらに
吐出毎のプランジャロッドの液体吸入開始位置を同一の
位置に、かつ吐出毎のプランジャロッドの液体吸入終了
位置を同一の位置にする。

【００３４】具体的な装置構成は、液体を吐出するノズ
ルと、液体を貯留する貯留容器と、内部に空間を有する
シリンダと、前記シリンダに内接して進退するプランジ
ャロッドと、プランジャロッドを駆動する駆動手段と、
シリンダと貯留容器またはノズルとを連通する切換弁
と、を具える液体定量吐出装置である。上記の切換弁
は、バルブブロック、シリンダブロックおよびシリンダ
ブロックと協同してバルブブロックを摺動自在に保持す
る押さえブロックにより、吐出すべき高圧液体の一部を
バルブブロックの背面に作用させて、バルブブロックを
シリンダブロックに形成した弁座面に押し付けるように
構成したことを特徴とする。すなわち、吐出装置が液体
を吐出するノズルと、液体を貯留する貯留容器と、シリ
ンダと、前記シリンダの内部に進退するプランジャロッ
ドと、プランジャロッドを駆動する駆動手段と、シリン
ダと貯留容器またはノズルとを連通する切換弁とで構成
した液体の定量吐出装置において、シリンダブロックと
押さえブロックの間に、流路を有するバルブブロックを
摺動自在に配置した液体の定量吐出装置における切換弁
において、吐出すべき高圧液体の一部をバルブブロック
の背面に作用させて、バルブブロックをシリンダブロッ
クに形成した弁座面に押し付けることを特徴とし、さら
には、バルブブロックと押さえブロックとの間に、Ｏリ
ングで囲繞された高圧液体受け入れ空隙を設けたことを
特徴とする。

【００３５】この装置では、駆動手段に連結されたプラ
ンジャロッドが内壁に接して進退移動し、プランジャロ
ッドが吐出量に等しい量だけ退行移動して貯留容器より
シリンダに液体を吸入し、プランジャロッドが吐出量に
等しい量だけ進行移動してシリンダからノズルへ液体を
排出することにより吐出を行う。このとき切換弁は、プ
ランジャロッドが後退移動してシリンダに液体を吸入す
るときはシリンダと貯留容器を連通し、プランジャロッ
ドが進出移動してシリンダから液体を排出するときはシ
リンダとノズルを連通するよう作動する。

【００３６】貯留容器と切換弁とを液送管を介して連通
することにより、液剤貯留部と吐出機構部とを分離する
ことができるため、取る扱いやすい場所に貯留容器を配
置することが可能であり、たとえば、貯留容器内の液体
の残量が少なくなった場合に、液体貯留容器に液体を補
充する、または予め液体が充填されている貯留容器ごと
交換する作業を容易に行うことが可能となる。さらに
は、容器内に貯留する液体量は使用する液体のポットラ
イフや一日の作業量から考察して、計画的に適切な量を
貯留しておくことができるため、一日の作業における液
体の補充作業を不用とすることも、適宜補充することも
可能である。

【００３７】さらに、ノズルと切換弁とを液送管を介し
て連通することにより、吐出機構部と吐出口を分離する
ことができるため、吐出機構部は固定部に設置し、ノズ
ルを可動部、たとえばロボットに搭載して作業すること
が可能となるため、可動部を極めて軽量に構成すること
ができる。これにより塗布作業、たとえばワーク表面上
に所望するパターン形状に塗布する描画作業を極めて高
速に行うことが可能となる。

【００３８】貯留容器内の液体が高粘性流体である場
合、またはシリンダ内に速やかに液体を吸引させる場合
などには、貯留容器の液体をシリンダに液送するために
プランジャロッドの後退移動による吸引力を補助するた
めに貯留容器内の液体を加圧する加圧装置を具えること
が好ましい。

【００３９】また、ピストン内部に滑りこむプランジャ
ロッド径はシリンダ内径とはほぼ等しいことが好まし
い。より好ましくは、プランジャロッドがシリンダに内
接する。また、プランジャロッド径のシリンダに内接す
る外郭断面形状を円形状とすることもできる。

【００４０】切換弁はボールバルブとすることができ
る。好ましくは、切換弁を、貯留容器とを連通する第一
孔およびノズルとを連通する第二孔とを有しスライドし
て連通する部位を切換えるバルブブロックを具えるスラ
イド弁とする。前記第一孔と第二孔は隣接するほど、切
換時のロスタイムを短縮することができ高速なタクトタ
イムで吐出することができる。

【００４１】駆動手段および／または切換弁が、制御部
の信号に基づいて動作することができる。好ましくは、
吐出時においてはプランジャロッドがノズルに連通する
よう切換弁を制御し、さらに駆動手段を制御して液体を
加圧し、また吸引時においてはプランジャロッドが貯留
容器と連通するよう切換弁を制御し、さらに駆動手段を
制御して液体を吸引する。

【００４２】プランジャロッドの本数は複数とすること
ができる。このとき、複数回の吐出においては、毎回異
なったプランジャロッドで行うことができるから、プラ
ンジャロッドのいずれか一の吐出動作にあたって、他の
プランジャロッドが吸引または停止動作することによ
り、次の吐出時には、液体を吸引したプランジャロッド
が液体を速やかに吐出することができるから、効果的に
液体の吸引にかかる時間を不用ならしめ、より高速なタ
クトタイムができる。

【００４３】さらには、駆動手段をプランジャロッドの
数と等しくすることが可能である。また、プランジャロ
ッドを独立して制御を可能とすることができる。このと
き、一のプランジャロッドが液体を吐出するときのプラ
ンジャロッドの吐出作動速度と、他のプランジャロッド
が液体をシリンダ内に吸引するときの吸引作動速度と、
を異なる速度に容易に調整可能であるから、複数のプラ
ンジャロッドのうち一のプランジャロッドが吐出に携わ
るときには吐出に好適な、吸引に携わるときには吸引に
好適な速度とすることが可能であり好ましい。

【００４４】

【作用】図１にもとづいて本発明の作動原理を説明す
る。切換弁を構成する、押さえブロック５およびシリン
ダブロック１はベース板に固定されており、両ブロック
５、１間にバルブブロック４が摺動可能に配置されてお
り、その、シリンダブロック１には、プランジャロッド
３を備えたシリンダ２が装着されている。また、シリン
ダブロック１には、液体源からバルブブロック４の流路
４ｂに通じる流路１ｂが設けられている。さらに、押さ
えブロック５には、バルブブロック４に設けられた押さ
えブロック５に通じる流路４ｂの開口部を常時囲むよう
にＯリングが設けられている。

【００４５】また、バルブブロック４には、流路４ａ
と、一方が吐出口に通じ他方が押さえブロック５へ通じ
る、分岐した流路４ｂが設けられており、それらの流路
は、プランジャロッド３により液体を吸引する際には、
シリンダ２と流路１ｂとを連通させ、液体を吐出する際
には、シリンダ２と流路４ｂとを連通させるように配置
されているので、シリンダ２内の液体をプランジャロッ
ド３の進出動作により加圧されてバルブブロック４へ流
出すると、液体の一部がバルブブロック４と押さえブロ
ック５の間のＯリング６で囲まれた空隙内に流入して、
バルブブロック４をシリンダブロック１方向に移動さ
せ、両者を密着させ両者間における液体の漏洩を防止す
ることができる。

【００４６】

【実施例】図にもとづいて、本願発明の詳細を実施例で
説明するに、本願発明はこれら実施例によって何ら限定
されるものではない。

【００４７】実施例１ モータＡ２０は、ボールネジＡ２３とギアＡ２１を介し
て接続されている。プランジャロッドＡ２７は、モータ
Ａ２０の回転動作によりシリンダＡ２９に内接して進退
動作するよう、プランジャロッド取付板Ａ２５に付けら
れている。プランジャロッドＢ２８は、ボールネジＢ２
４の回転によりシリンダＢ３０に内接して進退動作する
よう、プランジャロッド取付板Ｂ２６に取りつけられて
おり、プランジャロッドＡ２７が進出移動するときには
プランジャロッドＢ２８が退行移動するように、プラン
ジャロッドＡ２７が退行移動するときにはプランジャロ
ッドＢ２８が進出移動するように、ボールネジＢ２４に
連結したギアＢ２２はギアＡ２１と連結している。

【００４８】切換弁は、バルブブロック３４およびシリ
ンダブロック３５により構成されており、シリンダＡ２
９と貯留容器が連結するにあたってシリンダＢ３０とノ
ズル１５が連通するように、またシリンダＡ２９とノズ
ル１５が連通するにあたってはシリンダＢ３０と貯留容
器１４が連通するように、エア制御手段１０からの信号
に基づいてシリンダブロック３１に対してバルブブロッ
ク３４がスライドして切換作動する。

【００４９】上記切換弁は、図３に示すとおり、サブブ
ロック５０に設けたシリンダブロック３１と押さえブロ
ック３５との間にバルブブロック３４を摺動自在に装着
されている。シリンダブロック３１には等間隔に３本の
流路３１ａ、３１ｂ、３１ｃが設けられている。バルブ
ブロック３４には貯留容器取付口３２とシリンダＡ２
９、シリンダＢ３０のいずれかとを選択的に連通させる
流路３４ａが設けられている。他方のシリンダと吐出口
３４ｃとを連通させる流路３４ｂが設けられている。流
路３４ｄは分岐してバルブブロック３４と押さえブロッ
ク３５の接触面に開口している。押さえブロック３５に
は、吐出口３４ｃとを連通させる流路３４ｂの開口部を
常時囲むＯリング３５ａが設けられている。

【００５０】この実施例における切換弁は、上記の構成
により、シリンダＡ２９またはシリンダＢ３０から液体
を吐出すると、液体はノズル１５方向に圧送されるが、
そのとき液体の一部はバルブブロック３４と押さえブロ
ック３５との間のＯリング３５ａで囲まれた領域内に流
入しバルブブロック３４をシリンダブロック３１方向に
押圧し、３１と３４とを密着させ、両ブロック間から液
体が漏洩するのを防止する。

【００５１】モータＢ３８はボールネジＣ３９と連結し
ており、モータＢ３８の回転動作によりベースブロック
４９とサブブロック５０との相対距離をボールネジＣ３
９の軸方向に変えることができ、ベースブロック４９に
は、モータＡ２０、ボールネジＡ２３、ボールネジＢ２
４、プランジャロッドＡ２７、プランジャロッドＢ２
８、プランジャロッド取付板Ａ２５、プランジャロッド
取付板Ｂ２６が固定されており、サブブロック５０には
シリンダＡ２９、シリンダＢ３０、シリンダブロック３
１、ノズル１５およびバルブブロック３４が固定されて
いる。

【００５２】したがって、ベースブロック４９とサブブ
ロック５０との相対距離をボールネジＣ３９の回転方向
に移動できることは、プランジャロッドＡ２７およびプ
ランジャロッドＢ２８の相対距離を一定としたまま、プ
ランジャロッドＡ２７およびプランジャロッドＢ２８と
バルブブロック３４との相対距離を調節できるから、微
量吐出を行うようなプランジャロッドが僅かにしか変位
しない場合には、プランジャロッド位置をバルブブロッ
ク３４に近づけることが可能となり、不要な液体をシリ
ンダ内に残留することを効果的に除去することができ
る。

【００５３】また、プランジャロッドの進退移動する最
大ストローク量の中央が、プランジャロッドＡ２７先端
およびプランジャロッドＢ２８先端が揃う位置であると
したとき、最大ストロークを必要としない量を吐出する
場合、例えば微量を吐出する場合には、プランジャロッ
ドの最大ストローク量と比べて僅かな量しか進退動作を
しない。このとき吐出終了時のプランジャロッド先端位
置からバルブブロック３４までの液体はバッファとして
働くため、高速タクトで吐出を行う場合には特にバッフ
ァとなる液体は排除されることが好ましい。

【００５４】なお、実施例１において、貯留容器１４へ
は適宜液体を補充することも、液体が貯留された別の貯
留容器１４に交換することも可能である。エアシリンダ
Ｂ３７はエア制御手段１０に接続されていて、必要に応
じてエアを供給することも可能であり、また、エア制御
手段１０とモータＡ２０とモータＢ３８とは、制御部１
１に接続されており、制御部１１の信号に基づいて動作
する。

【００５５】次ぎに、上記装置の吐出作業を計時的に説
明する。 １．プランジャロッドＡ２７およびプランジャロッドＢ
２８の先端がシリンダブロックから等距離にある位置
（揃う位置）に調節する。この位置を基礎位置とする。 ２．プランジャロッドＡ２７を所望吐出量の半分の体積
量だけモータＡ２０を駆動して進出移動させる。このと
きモータＡ２０の回転は、プランジャロッドＢ２８が所
望吐出量の半分の体積量だけ後退移動するように、ギア
Ａ２１を介してギアＢ２２に伝わる。

【００５６】３．このときのプランジャロッドＡ２７の
基準位置からの進出量は、前記所望とする量を吐出する
場合においては最大であるから、前記プランジャロッド
Ａ２７の先端位置をバルブブロック３４に近づけるよう
にモータＢ３８を駆動して、シリンダＡ２９内の液体残
量が最小となるよう、好ましくはゼロとなるようにベー
スブロック４９とサブブロック５０の相対距離を調節す
る。この時、モータＢ３５の駆動により、プランジャロ
ッドＡ２７およびプランジャロッドＢ２８は一体的に並
進移動するから、前記プランジャロッドＡ２７および前
記プランジャロッドＢ２８の相対距離は変わらない。 ４．ここで、貯留容器とシリンダＡ２９とを連通するよ
うに、すなわちノズル１５とシリンダＢ３０が連通する
ようにバルブブロック３４の位置を調節する。 ５．次に、シリンダＢ３０を所望吐出体積量だけモータ
Ａ２０を駆動して進出移動させる。このときモータＡ２
０の回転は、プランジャロッドＡ２７が所望吐出体積量
だけ後退移動するから、貯留容器１４の液体がシリンダ
内に吸引される。

【００５７】６．さらに、貯留容器１４とシリンダＢ３
０とを連通するように、すなわちノズル１５とシリンダ
Ａ２９が連通するようにバルブブロック３４の位置を調
節する。 ７．シリンダＡ２９を所望吐出体積量だけモータＡ２０
を駆動して進出移動させる。シリンダＡ２９には所望量
の液体が充填されていたから、前記モータＡ２０の駆動
によりノズル１５先端の吐出口から液体が吐出される。
また、貯留容器１４とシリンダＢ３０が連通しており、
このときモータＡ２０の回転によりプランジャロッドＢ
２８は所望吐出体積量だけ後退移動するから、貯留容器
１４の液体がシリンダＢ３０内に吸引される。以下、上
記５〜７の動作を繰り返して液体の吐出が継続し、所望
の塗布パターンを形成することができ、このように、一
のプランジャの進出により吐出が行われると同時に、他
の一のプランジャが液体をシリンダ内に吸引されるか
ら、高速なタクトで吐出作業を行うことができる。

【００５８】実施例２ 実施例２は、２つのプランジャロッド２７、２８それぞ
れにモータ６０、６１が接続され、さらに貯留容器１４
からシリンダ２９、３０に液体が速やかに充填できるよ
う、貯留容器１４内の液体に空圧を適用した例である。
（図４（ａ）と図４（ｂ）はともに実施例２を表す装置
図であり、同じ装置を、角度を変えて記してある。な
お、図４（ａ）には、貯留容器１４とエア制御手段１０
とノズル１５が描かれてなく、また、図４（ｂ）には、
制御部１１が記されていないが、本来は、図４（ａ）、
図４（ｂ）ともに、貯留容器１４、エア制御手段１０、
ノズル１５、制御部１１が取り付けられてある。また、
エア制御手段１０も制御部１１につながれていて、制御
部１１によって制御される。これらの図では角度によっ
て、わかりにくくならないようにするために、省略し
た。）

【００５９】実施例２の主な特徴は以下の通りである。 ２つボールネジ２３、２４のそれぞれに、モータ６
０、６１を接続しているので、２本のプランジャロッド
２７、２８をそれぞれ独立して動かすことができる。こ
れにより、吐出と吸入の速度を変化させることができる
ので、吸入に時間がかかるような液体において、吐出速
度を変化させずに、充填速度を遅くすることが可能であ
り、液体に不適な吸引力を作用させることがなく、キャ
ビテーションなどが発生するのを抑えることができる。 独立している２つのモータ６０、６１を同じ方向に
回転させることによって、プランジャロッドＡ２７とプ
ランジャロッドＢ２８との相対距離を一定にしたまま、
プランジャロッドＡ２７およびプランジャロッドＢ２８
とバルブブロック３４との相対距離を調整できるから、
本実施例２においては、実施例１のような、ベースブロ
ックとサブブロックにわけてこれをモータによってスラ
イドさせることを不用とする。 貯留容器１４からシリンダ２９、３０に液体が速や
かに吸入できるよう、貯留容器１４内部の空気をエア制
御手段１０によって加圧することができることから、シ
リンダへの液体の供給を高速とすることが可能となり、
より高速なタクトタイムで吐出作業を行うことができ
る。高粘度液体を吐出する場合に効果が大きい。また、
貯留容器１４とシリンダブロック３１とが液送チューブ
６４でつながれていおり、バルブブロック３４とノズル
１５とが液送チューブ４０でつながれているので、貯留
容器１４と、ポンプ本体とノズル１５とを離れた位置に
置くことができ、ポンプ本体が手の届かない場所に設置
しなければならない場合においても、貯留容器１４を手
元に設置することができるので、液体がなくなったりし
て貯留容器１４を交換するときに便利である。

【００６０】図５は、実施例２の定量吐出装置をＸＹＺ
ロボット（塗布ロボット）７２に使用する実施例であ
り、ポンプ本体７０のバルブブロック３４から液送チュ
ーブ６４を介して接続されているノズル１５をＸＹＺロ
ボット７２に搭載されており、ポンプ本体７０のシリン
ダブロック３１からは、液送チューブ６４を介して貯留
容器１４に接続されており、貯留容器１４は、エアチュ
ーブ６３を介してエア制御機能を有する制御部７１に接
続され、この制御部７１は、ポンプ本体の各モータに接
続されていてこのモータを制御することができる。従っ
て、従来のように貯留容器ごとＸＹＺロボットに搭載し
ていたのに比べ、ＸＹＺロボットのヘッドを軽くするこ
とができるので、ノズルとワークテーブルとの相対移動
を高速にかつ円滑に行うことができるので、安定した塗
布を行うことができ、また、図からわかるとおり、ノズ
ル１５、ポンプ本体７０、制御部７１および貯留容器１
４が異なる場所に配置することができるから、制御部７
１および貯留容器１４など頻繁に取り扱うものは作業の
しやすい場所に配置することができる。

【００６１】

【発明の効果】以上のとおり本発明は、バルブブロック
とシリンダブロックとの間のシールに吐出する液体の圧
力を利用するため、他の力源、たとえば特願平１１−３
５０３６９号の発明のようにエアシリンダ等部材を不要
ならしめ、さらに、液体圧力とシール力、すなわちバル
ブブロックとシリンダブロックとの密着力が比例するた
め、液体圧力に応じたシール力を作り出すことができ、
過剰な密着力によるバルブブロックの動作不良、または
密着力不足による液体の漏出を防止することができる。

【００６２】一回の吐出を一回のプランジャロッドの移
動で行うので、吐出される液体に脈動が無く、一定した
流速で液体を吐出させることが可能であることから、所
望する描画形状を均一かつ高精細に塗布形成させること
ができる。また、吐出毎の吐出開始および吐出終了にお
けるプランジャロッドの位置が常に一定であることか
ら、液体圧縮量が容器に貯留された液体量に依存されず
常に一定となり、安定した高精度な吐出が行うことがで
きる。

【００６３】さらに、一回に吐出する量の液体をシリン
ダに吸入し、シリンダ内の前記液体をプランジャロッド
の移動により圧力を適用させて吐出することから、加圧
する液体量を最小限にすることが可能であり、よって液
体に起因する影響を効果的に排除ならしめ、さらには液
体を加圧してから液体がノズルより吐出されるまでの時
間を大幅に短縮することが可能であり、高速な吐出を可
能とする。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の作動原理を説明する概略図である。

【図２】本発明の漏洩防止装置を施した液体の定量吐出
装置の実施例１の全体図である。

【図３】図２の要部拡大図である。

【図４】本発明の漏洩防止装置を施した液体の定量吐出
装置の実施例２の全体図である。

【図５】実施例２の本発明の漏洩防止装置をＸＹＺロボ
ットに搭載施した液体の定量吐出装置の全体図である。

【図６】先願発明の１実施例の全体図である。

【符号の説明】

１ シリンダブロック ２ シリンダ ３ プランジャロッド ４ バルブブロック ５ 押さえブロック ６ Ｏリング １０ エア制御手段 １１ 制御部 １２ エアチューブＡ １３ エアチューブＢ １４ 貯留容器 １５ ノズル ２０ モータＡ ２１ ギアＡ ２２ ギアＢ ２３ ボールネジＡ ２４ ボールネジＢ ２５ プランジャロッド取付板Ａ ２６ プランジャロッド取付板Ｂ ２７ プランジャロッドＡ ２８ プランジャロッドＢ ２９ シリンダＡ ３０ シリンダＢ ３１ シリンダブロック ３２ 貯留容器取付口 ３３ 支持アーム ３４ バルブブロック ３５ 押さえブロック ３６ エアシリンダＡ ３７ エアシリンダＢ ３８ モータＢ ３９ ボールネジＣ ４０ 液送チューブＡ ４１ エアシリンダＢエアチューブ取付口１ ４２ エアシリンダＢエアチューブ取付口２ ４３ エアチューブＣ ４４ エアチューブＤ ４５ エアシリンダＡのエアチューブ取付口１ ４６ エアシリンダＡのエアチューブ取付口２ ４７ エアチューブＥ ４８ エアチューブＦ ４９ ベースブロック ５０ サブブロック ６０ モータＣ ６１ モータＤ ６２ モータＥ ６３ エアチューブＧ ６４ 液送チューブＢ ７０ ポンプ本体（実施例３のもの） ７１ 制御手段（エア制御手段を含む） ７２ 塗布ロボット（ＸＹＺロボット） ７３ 貯留容器保持台

Claims (24)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 プランジャロッドの後退動作により貯留
   容器から液体をシリンダに吸引し、前記プランジャロッ
   ドの進出動作により前記液体をシリンダからノズルに排
   出して吐出する液体の定量吐出方法であって、吐出すべ
   き液体の圧力に応じたシール力を作り出すことによりシ
   リンダと貯留容器またはノズルとを連通する切換弁の漏
   洩を防止することを特徴とする方法。
2. 【請求項２】 前記プランジャロッドの進出動作により
   排出する液体の流路が２分岐しており、一の流路は吐出
   口へ、他の流路はシール力を作り出すように通じている
   請求項１の液体の定量吐出方法。
3. 【請求項３】 一回の吐出をプランジャロッドの一回の
   吸入動作および一回の排出動作で行う請求項１の液体の
   定量吐出方法。
4. 【請求項４】 プランジャロッドの液体吸入開始位置と
   液体排出終了位置を等しくする請求項１、２または３の
   液体の定量吐出方法。
5. 【請求項５】 吐出毎のプランジャロッドの液体吸入開
   始位置を同一の位置に、かつ吐出毎のプランジャロッド
   の液体吸入終了位置を同一の位置にする請求項１〜４の
   いずれかの液体の定量吐出方法。
6. 【請求項６】 吐出毎のプランジャロッドの液体吐出開
   始位置を同一の位置に、かつ吐出毎のプランジャロッド
   の液体吐出終了位置を同一の位置にする請求項１〜５の
   いずれかの液体の定量吐出方法。
7. 【請求項７】 液体を吐出するノズルと、液体を貯留す
   る貯留容器と、プランジャロッドを備えたシリンダが装
   着されているシリンダブロックと、プランジャロッドを
   駆動する駆動手段と、シリンダと貯留容器またはノズル
   とを連通する切換弁とを具える液体の定量吐出装置であ
   って、上記の切換弁は、バルブブロック、シリンダブロ
   ックおよびシリンダブロックと協同してバルブブロック
   を摺動自在に保持する押さえブロックにより、吐出すべ
   き高圧液体の一部をバルブブロックの背面に作用させ
   て、バルブブロックをシリンダブロックに形成した弁座
   面に押し付けるように構成したことを特徴とする装置。
8. 【請求項８】 バルブブロックと押さえブロックとの間
   に、Ｏリングで囲繞された高圧液体受け入れ空隙を設け
   たことを特徴とする請求項８の液体の定量吐出装置。
9. 【請求項９】 貯留容器と切換弁とを液送管を介して連
   通すべく構成した請求項７または８の液体の定量吐出装
   置。
10. 【請求項１０】 ノズルと切換弁とを液送管を介して連
    通すべく構成した請求項７、８または９の液体の定量吐
    出装置。
11. 【請求項１１】 貯留容器の液体を加圧する加圧手段を
    具えたことを特徴とする請求項７〜１０のいずれかの液
    体の定量吐出装置。
12. 【請求項１２】 プランジャロッド径がシリンダ内径を
    ほぼ等しくしたことを特徴とする請求項７〜１１のいず
    れかの液体の定量吐出装置。
13. 【請求項１３】 プランジャロッドがシリンダに内接し
    たことを特徴とする請求項７〜１２のいずれかの液体の
    定量吐出装置。
14. 【請求項１４】 プランジャロッド径のシリンダに内接
    する外郭断面形状が円形状としたことを特徴とする請求
    項７〜１３のいずれかの液体の定量吐出装置。
15. 【請求項１５】 切換弁を、貯留容器に連通する第一孔
    およびノズルに連通する第二孔とを有するバルブブロッ
    クを備えるスライド弁としたことを特徴とする請求項７
    〜１４のいずれかの液体の定量吐出装置。
16. 【請求項１６】 圧力を作用させて密着させるスライド
    バルブを有することを特徴とする請求項７〜１５のいず
    れかの液体の定量吐出装置。
17. 【請求項１７】 スライドバルブの、摺動面は、接触面
    積を最小にしたことを特徴とする請求項７〜１６のいず
    れかの液体の定量吐出装置。
18. 【請求項１８】 駆動手段および／または切換弁が、制
    御部の信号に基づいて作動すべく構成したことを特徴と
    する請求項７〜１７のいずれかの液体の定量吐出装置。
19. 【請求項１９】 プランジャロッドを複数としたことを
    特徴とする請求項７〜１８のいずれかの液体の定量吐出
    装置。
20. 【請求項２０】 駆動手段をプランジャロッドの数と等
    しくしたことを特徴とする請求項１〜１４のいずれかの
    液体の定量吐出装置。
21. 【請求項２１】 複数のプランジャロッドのロッド先端
    の相対距離を保持したまま、切換弁との相対距離を調節
    するプランジャロッド位置調整手段を具えたことを特徴
    とする請求項７〜２０のいずれかの液体の定量吐出装
    置。
22. 【請求項２２】 プランジャロッドは、独立して制御可
    能に構成したことを特徴とした請求項７〜２１のいずれ
    かの液体の定量吐出装置。
23. 【請求項２３】 プランジャロッドのいずれか一の吐出
    作動にあたって、他のプランジャロッドを吸引作動また
    は停止作動させることを特徴とした請求項７〜２２のい
    ずれかの液体の定量吐出装置。
24. 【請求項２４】 プランジャロッドの吐出作動速度を他
    のプランジャロッドの吸引作動速度と異なる速度として
    なる請求項７〜２３のいずれかの液体の定量吐出装置。