KR20090004590A - 연마 장치 및 연마 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 연마 장치는 반도체 웨이퍼 등의 기판의 주연부를 연마하는데 사용하기 적합하다. 연마 장치는 작업편을 유지하는 유지부와, 연마 테이프를 작업편에 접촉시키는 연마 헤드와, 연마 테이프를 연마 헤드에 공급하는 공급 릴과, 작업편에 접촉한 연마 테이프를 회수하는 회수 릴과, 연마 헤드에 소정 지점에 놓인 피봇 지점을 중심으로 요동 운동을 수행시키는 요동 기구를 포함한다.
웨이퍼, 노치부, 하우징, 웨이퍼 스테이지 유닛

Description

연마 장치 및 연마 방법 {POLISHING APPARATUS AND POLISHING METHOD}
본 발명은 반도체 웨이퍼 등의 기판을 연마하는 연마 장치 및 연마 방법에 관한 것으로, 특히 연마 테이프를 이용해서 기판의 주연부를 연마하는 연마 장치 및 연마 방법에 관한 것이다.
반도체 제조에 있어서 수율 향상의 관점에서, 반도체 웨이퍼의 주연부의 표면 상태의 관리가 최근 주목받고 있다. 반도체 제조 공정에서, 많은 재료가 웨이퍼 상에 증착되어 다중층 구조를 형성한다. 그 결과, 제품용으로 사용되지 않는 주연부에 불필요한 재료 및 거친 표면이 형성된다. 최근에는, 웨이퍼의 주연부만을 유지하여 웨이퍼를 반송하는 것이 일반화되어 있다. 이러한 환경 하에서, 여러 공정을 거치는 동안, 불필요한 재료가 주연부에서 웨이퍼 상의 디바이스 위로 박리될 수 있고, 수율의 저하를 초래한다. 따라서, 연마 장치를 이용하여, 웨이퍼의 주연부를 연마해서 불필요한 구리막 및 거친 표면을 제거하는 것이 종래부터 행해지고 있다.
도1은 웨이퍼의 주연부를 연마하기 위한 종래의 연마 장치를 도시한 개략도이다. 도1에 도시된 바와 같이, 이러한 유형의 연마 장치는, 웨이퍼(W)를 유지하 도록 구성된 웨이퍼 스테이지 유닛(120), 연마 테이프(141)를 웨이퍼(W)의 주연부를 향해 가압하도록 구성된 연마 헤드(142), 연마 테이프(141)를 연마 헤드(142)에 공급하는 공급 릴(145a), 및 사용된 연마 테이프(141)를 회수(rewind)하는 회수 릴(145b)을 가진다. 공급 릴(145a) 및 회수 릴(145b)은 연마 테이프(141)를 공급 및 회수하도록 회전된다. 공급 릴(145a) 및 회수 릴(145b)은 연마 장치의 일부인 고정 부재에 고정된다.
연마 헤드(142)는 그 내부에 테이프 이송 기구(143)를 가진다. 상기 테이프 이송 기구(143)는 테이프 이송 롤러 및 유지 롤러를 가진다. 연마 테이프(141)는 테이프 이송 롤러와 유지 롤러 사이에 파지되는 한편, 테이프 이송 롤러를 회전시킴으로써 연마 테이프(141)를 이송한다. 연마 테이프(141)는 테이프 이송 기구(143)에 의해 연마 헤드(142)를 향해 인출된다. 연마 테이프(141)가 웨이퍼(W)의 주연부에 접촉하도록 연마 테이프(141)의 진행 방향이 가이드 롤러(157a, 157b, 157c, 157d, 157e)에 의해 안내된다. 웨이퍼(W)의 주연부와 접촉한 후, 연마 테이프(141)는 회수 릴(145b)에 감겨진다. 공급 릴(145a) 및 회수 릴(145b)은 도시하지 않은 모터에 연결되어 연마 테이프(141)에 적절한 장력을 부여한다. 연마 헤드(142)는 도1의 화살표로 나타낸 바와 같이, 상하방향으로 직선 왕복 운동을 행하고, 이에 의해 연마 테이프(141)와 웨이퍼(W) 사이에 상대 운동을 부여하여, 웨이퍼(W)의 주연부를 연마한다.
도2는 연마 헤드(142)의 직선 왕복 운동의 기구를 설명하기 위한 평면도이다. 도3a 내지 도3d는 도2의 Ⅲ-Ⅲ선을 따라 취한 단면도이다.
연마 헤드(142)는 가동 아암(160)의 일단부에 고정되고, 가동 아암(160)의 타단부에는 캠 샤프트(161)가 배치된다. 가동 아암(160)은 리니어 가이드(163)를 통하여 지지 아암(162)에 의해 지지된다. 이 리니어 가이드(163)는 가동 아암(160)이 지지 아암(162)에 대하여 직선 운동을 할 수 있게 안내하도록 구성된다. 지지 아암(162)에는 캠 샤프트(161)를 구동하기 위한 모터(M)가 설치되어 있다. 모터(M)의 회전축은 풀리(p101, p102) 및 벨트(b100)를 통해서 캠 샤프트(161)에 연결된다. 모터(M)의 회전축 및 캠 샤프트(161)는 지지 아암(162)에 설치된 베어링(164A, 164B)에 의해 회전 가능하게 지지된다. 캠 샤프트(161)는 베어링(164B)의 중심축에 대하여 편심된 편심 샤프트(161a)를 가진다. 편심 샤프트(161a)의 선단에는 캠(165)이 설치된다. 캠(165)은 가동 아암(160)의 U자 형상의 홈(166) 내로 끼워진다(도3a 참조).
모터(M)가 가동되면, 풀리(p101, p102) 및 벨트(b100)를 통해서 캠 샤프트(161)가 회전 구동된다. 편심 샤프트(161a)는 베어링(164B)의 중심축으로부터 편향된 중심축을 중심으로 편심 회전하므로, 캠(165)도 편심 회전된다. 그 결과, 도3a 내지 도3d에 도시한 바와 같이, 홈(166)내에서 캠(165)이 편심 회전함으로써 가동 아암(160)은 상하로 직선 왕복 운동하고, 가동 아암(160)의 선단에 설치된 연마 헤드(142)가 상하 방향으로 직선 왕복 운동한다.
테이프 이송 기구(143)는 연마 테이프(141)를 공급 릴(145a)로부터 회수 릴(145b)까지 일정한 속도로 이송하도록 작동된다. 이 테이프 이송 속도는 지극히 저속인 한편, 연마 헤드(142)의 직선 왕복 속도는 매우 고속이다. 따라서, 다음에 설명하는 공급 릴(145a) 및 회수 릴(145b)의 테이프 공급 및 회수 동작에서는, 연마 헤드(142)의 왕복 속도에 비해서, 테이프 이송 속도는 실질적으로 무시할 수 있다.
도4a 내지 도4c는 연마 헤드(142), 공급 릴(145a) 및 회수 릴(145b)의 동작을 설명하는 도면이다. 도4a 내지 도4c에 있어서, 도면 부호 A 및 B는 공급 릴(145a) 및 회수 릴(145b)에 설치된 연마 테이프(141)상의 소정 지점을 나타낸다.
도4a는 연마 헤드(142)의 중심(Ch)이 웨이퍼(W)의 두께 방향의 중심(Cw)(이하, 간단히 웨이퍼 중심이라고 칭함)과 일치된 상태를 도시한다. 웨이퍼 중심(Cw)은 연마 중에는 위치 고정된다. 한편, 연마 헤드(142)는 웨이퍼 중심(Cw)을 가로질러 직선 왕복 운동을 수행한다.
도4b는 연마 헤드(142)가 웨이퍼 중심(Cw)으로부터 하방으로 선형으로 이동된 상태를 도시한다. 상기 하향 이동 중에, 공급 릴(145a) 및 회수 릴(145b)로부터 연마 테이프(141)가 인출되고, 연마 테이프(141) 상의 A 지점 및 B 지점은 도4b에 도시된 바와 같이 하방으로 이동된다. 결과로서, 공급 릴(145a) 및 회수 릴(145b)은 연마 테이프(141)의 인출된 길이에 상응하는 소정 각도만큼 회전된다.
도4c는 연마 헤드(142)가 웨이퍼 중심(Cw)으로부터 상방으로 선형으로 이동된 상태를 도시한다. 상기 상향 이동 중에, 공급 릴(145a) 및 회수 릴(145b)에 의해 연마 테이프(141)가 회수되고, 연마 테이프(141) 상의 A 지점 및 B 지점은 도4c에 도시된 바와 같이 상방으로 이동된다. 결과로서, 공급 릴(145a) 및 회수 릴(145b)은 연마 테이프(141)가 회수된 길이에 상응하는 소정 각도만큼 회전된다. 이러한 방식에서, 연마 헤드(142)와 공급 및 회수 릴(145a, 145b) 사이의 거리의 변화에 따라, 도4b 및 도4c에 도시된 바와 같이, 공급 릴(145a) 및 회수 릴(145b)은 연마 테이프(141)의 공급 및 회수를 반복한다.
그렇지만, 공급 릴(145a) 및 회수 릴(145b)이 연마 테이프(141)의 공급 및 회수를 반복하면, 공급 및 회수 동작이 절환될 때, 연마 테이프(141)의 장력이 변화될 것이고, 불안정한 연마 성능을 초래한다. 특히, 왕복 운동이 고속으로 하면, 공급 및 회수 동작이 절환될 때, 과도한 장력이 연마 테이프(141)에 인가될 수 있다. 결과로서, 연마 테이프(141)는 절단 또는 신장(영구 변형)될 수 있다. 한편, 공급 및 회수 동작이 절환될 때, 연마 테이프(141)의 장력이 영이 될 수 있다. 결과로서, 연마 테이프(141)가 느슨해지고, 원하는 연마 성능이 얻어지지 않을 수 있다.
연마 헤드(142)의 왕복 속도가 증가될 수 있으면, 단위 시간당 재료의 제거량(즉, 연마 속도 또는 제거율)이 증가될 수 있다. 그러므로, 연마 장치의 연마 성능이 개선될 수 있다. 그렇지만, 전술된 문제로 인하여, 연마 헤드(142)의 왕복 속도를 고속으로 증가시킬 수 없다. 이러한 문제의 해결책으로서, 공급 릴(145a)이 연마 헤드(142) 내에 통합될 수 있다. 그렇지만, 이러한 경우에, 연마 테이프(141)에 장력을 부여하는 모터의 중량이 커진다. 게다가, 긴 연마 테이프(141)를 사용해야 하는 경우에, 공급 릴(145a)이 커져야 한다. 이는 연마 헤드(142) 및 왕복 운동을 위한 구동 기구가 대형화되어야 한다는 것을 의미한다.
본 발명은 전술된 문제점을 감안하여 이루어진 것이다. 따라서, 연마 중에 연마 테이프에 실질적으로 일정한 장력을 제공할 수 있고, 제거율을 개선할 수 있는 연마 장치 및 연마 방법을 제공하는 것을 본원 발명의 목적으로 한다.
전술된 문제점을 해결하기 위해, 본 발명의 일태양에 따르면, 연마 테이프와 작업편 사이의 상대 운동을 제공함으로써 작업편을 연마하는 연마 장치가 제공된다. 상기 장치는 작업편을 유지하도록 구성된 유지부와, 연마 테이프를 작업편에 접촉시키도록 구성된 연마 헤드와, 연마 테이프를 연마 헤드에 공급하도록 구성된 공급 릴과, 작업편에 접촉된 연마 테이프를 회수하도록 구성된 회수 릴과, 연마 헤드에 요동 운동을 야기시키도록 구성된 요동 기구를 포함한다.
본 발명의 양호한 태양에서, 연마 테이프는 공급 릴로부터 연마 헤드의 요동 운동의 피봇 지점을 경유하여 작업편으로 연장된다.
본 발명의 양호한 태양에서, 요동 운동의 피봇 지점은 연마 헤드 내에 위치된다.
본 발명의 양호한 태양에서, 작업편은 주연부에 노치부가 형성된 반도체 웨이퍼를 포함하며, 연마 헤드는 연마 테이프를 상기 노치부에 접촉시키도록 구성된다.
본 발명의 다른 태양은 형태는, 작업편을 유지하도록 구성된 유지부와, 연마 공구를 작업편에 접촉시키도록 구성된 연마 헤드와, 연마 헤드에 요동 운동을 야기시키도록 구성된 요동 기구와, 연마 헤드 및 요동 기구를 작업편의 표면에 대하여 경사지게 하도록 구성된 경사 기구를 포함하는 연마 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 양호한 태양에서, 상기 연마 공구는 연마 테이프를 포함하며, 연마 장치는 연마 테이프를 연마 헤드에 공급하는 공급 릴과, 작업편에 접촉된 연마 테이프를 회수하는 회수 릴을 더 포함하고, 연마 테이프는 공급 릴로부터 연마 헤드의 요동 운동의 피봇 지점을 경유하여 작업편으로 연장된다.
본 발명의 양호한 태양에서, 요동 기구는, (ⅰ) 연마 헤드가 고정되는 요동 아암과, (ⅱ) 연결축을 통해서 요동 아암과 회전 가능하게 연결되는 지지 아암과, (ⅲ) 연결축의 중심축 상에 놓인 피봇 지점을 중심으로 요동 아암을 요동 운동시키는 구동 기구를 포함한다. 경사 기구는 (ⅰ) 지지 아암을 지지하는 회전 가능한 지지축과, (ⅱ) 지지축을 회전시키는 회전 기구를 포함한다.
본 발명의 양호한 태양에서, 연결축과 지지축은 서로 평행하게 배열된다.
본 발명의 양호한 태양에서, 연마 헤드의 요동 운동은 연결축의 중심축과 지지축의 중심축을 수직으로 교차하는 기준선으로부터 동일한 각도만큼 시계 방향 및 반시계 방향으로 교대로 회전하는 연마 헤드의 회전을 포함한다.
본 발명의 다른 태양은 연마 테이프와 작업편 사이의 상대 운동을 제공함으로써 작업편을 연마하는 연마 방법을 제공하는 것이다. 이 방법은 작업편을 유지하는 단계와, 연마 테이프를 공급 릴로부터 연마 헤드로 공급하면서 연마 헤드에 의해 연마 테이프를 작업편에 접촉시키는 단계와, 연마 헤드를 요동시키는 단계를 포함한다.
본 발명의 양호한 태양에서, 연마 테이프는 공급 릴로부터 연마 헤드의 요동 운동의 피봇 지점을 경유하여 작업편으로 연장된다,
본 발명의 양호한 태양에서, 요동 운동의 피봇 지점은 연마 헤드 내에 위치된다.
본 발명의 양호한 태양에서, 작업편은 주연부에 노치가 형성된 반도체 웨이퍼를 포함하고, 연마 헤드에 의해 연마 테이프를 작업편에 접촉시키는 것은 연마 헤드에 의해 연마 테이프를 노치부에 접촉시키는 것을 포함한다.
본 발명의 다른 태양은 연마 테이프와 작업편 사이에 상대 운동을 제공함으로써 작업편을 연마하는 연마 방법을 제공하는 것이다. 이 방법은 작업편을 유지하는 단계와, 연마 헤드에 의해 연마 테이프를 작업편에 접촉시키는 단계와, 연마 헤드를 요동시키는 단계와, 연마 헤드를 요동시키면서, 연마 헤드를 작업편의 표면에 대해 경사지게하는 단계를 포함한다.
본 발명의 양호한 태양에서, 연마 공구는 연마 테이프를 포함하고, 연마 헤드의 요동 운동은 연마 헤드의 요동 운동의 피봇 지점을 경유하여 작업편에 연마 테이프를 이송하면서 연마 헤드를 요동시키는 것을 포함한다.
본 발명에 따르면, 연마 테이프의 일정한 장력을 유지하면서 고속으로 요동운동이 수행될 수 있다. 그러므로, 단위 시간당 재료의 제거량, 즉, 제거율이 증가될 수 있고, 결과로서, 연마 장치의 가동율이 개선될 수 있다.
이하, 본 발명의 실시예에 대해서 도면을 참조하여 설명한다.
도5는 본 발명의 실시예에 따른 연마 장치를 도시하는 평면도다. 도6은 도5의 연마 장치의 단면도이다. 본 실시예에 따른 연마 장치는 반도체 웨이퍼 등의 기판의 주연부의 베벨부 또는 노치부의 연마에 이용하기 적합하다. 베벨부는 웨이퍼의 칩편 및 파티클의 발생을 방지하기 위한 목적으로 웨이퍼의 주연부에 있어서 직각형 에지가 제거된 부분이다. 노치부는 웨이퍼의 방향(둘레 방향 위치)을 인식하기 용이하게 하기 위한 목적으로 웨이퍼의 주연부에 형성된 노치이다. 본 발명의 적용례가 이하에서 설명된다. 이하에서 설명되는 실시예는 웨이퍼의 노치부를 연마하는데 사용하기 위한 연마 장치이다.
도5 및 도6에 도시되 바와 같이, 본 실시예에 따른 연마 장치는 웨이퍼(W)를 유지하기 위한 웨이퍼 스테이지(23)를 가지는 웨이퍼 스테이지 유닛(기판 유지부)(20)과, 웨이퍼 스테이지 유닛(20)을 웨이퍼 스테이지(23)의 상면(웨이퍼 지지면)에 평행한 방향으로 이동시키기 위한 스테이지 이동 기구(30)와, 웨이퍼 스테이지(23)에 유지된 웨이퍼(W)의 노치부(V)를 연마하는 노치 연마 유닛(40)을 포함한다.
웨이퍼 스테이지 유닛(20), 스테이지 이동 기구(30), 및 노치 연마 유닛(40)은 하우징(11) 내에 수용된다. 이 하우징(11)은 구획판(14)에 의해 2개의 공간, 즉, 상부 챔버(연마실)(15)와 하부 챔버(기계실)(16)로 분할된 내부 공간을 가진다. 웨이퍼 스테이지(23) 및 노치 연마 유닛(40)은 상부 챔버(15) 내에 배치되고, 스테이지 이동 기구(30)는 하부 챔버(16) 내에 배치된다. 상부 챔버(15)는 개구부(12)가 형성된 측벽을 가지며, 이 개구부(12)는 도시하지 않은 에어 실린더에 의해 구동되는 셔터(13)에 의해 폐쇄된다.
웨이퍼(W)는 개구부(12)를 통해서 하우징(11) 내외로 반송된다. 웨이퍼(W)의 반송은 반송 로봇과 같은 주지의 반송 기구(도시 생략)에 의해 수행된다. 웨이퍼 스테이지(23)의 상면에는 복수의 홈(26)이 형성되어 있다. 홈(26)은 수직으로 연장되는 중공 샤프트(27)를 통해서 도시하지 않은 진공 펌프에 연통된다. 진공 펌프를 구동하면, 홈(26) 내에 진공이 형성되고, 이에 의해 웨이퍼(W)가 웨이퍼 스테이지(23)의 상면에 유지된다. 중공 샤프트(27)는 베어링(28)에 의해 회전 가능하게 지지되고, 풀리(p1, p2) 및 벨트(b1)를 경유하여 모터(m1)에 연결된다. 이러한 구성에 의해, 웨이퍼(W)는 하면이 웨이퍼 스테이지(23)의 상면에 유지된 상태로 모터(m1)에 의해 회전된다.
연마 장치는 하우징(11) 내에 배치된 웨이퍼 척 기구(80)를 더 포함한다. 이 웨이퍼 척 기구(80)는 전술된 웨이퍼 반송 기구로부터 하우징(11) 내의 웨이퍼(W)를 수취하고, 웨이퍼(W)를 웨이퍼 스테이지(23)에 적재하고, 웨이퍼(W)를 웨이퍼 스테이지(23)로부터 웨이퍼 반속 기구로 제거하도록 작동한다. 도5에는 웨이퍼 척 기구(80)의 일부만이 도시되어 있다.
도7은 웨이퍼 척 기구의 척 핸드를 도시하는 평면도이다. 도7에 도시된 바와 같이 웨이퍼 척 기구(80)는 그 위에 핀(83)을 가지는 제1 척 핸드(81)와, 그 위에 핀(83)을 가지는 제2 척 핸드(82)를 가진다. 이들 제1 및 제2 척 핸드(81, 82) 는 도시하지 않은 개폐 기구에 의해 서로 접근 및 이격하도록[화살표(T)로 도시함] 구동된다. 제1 및 제2 척 핸드(81, 82)를 웨이퍼 스테이지(23) 상에 유지된 웨이퍼(W)의 표면에 수직한 방향으로 이동시키기 위해 척 이동 기구(도시 안됨)가 더 제공된다.
웨이퍼 반송 기구의 핸드(73)는 웨이퍼(W)를 제1 및 제2 척 핸드(81, 82)의 사이의 위치까지 반송하도록 작동된다. 그리고, 제1 및 제2 척 핸드(81, 82)를 서로 근접하는 방향으로 이동시켜, 핀(83)을 웨이퍼(W)의 주연부에 접촉시키고, 이에 의해 웨이퍼(W)가 제1 및 제2 척 핸드(81, 82)에 의해 클램핑된다. 이 상태에서 웨이퍼(W)의 중심과 웨이퍼 스테이지(23)의 중심[즉, 웨이퍼 스테이지(23)의 회전축]은 서로에 대해 정렬된다. 그러므로, 제1 및 제2 척 핸드(81, 82)는 센터링 기구로서 기능한다.
도6에 도시된 바와 같이 스테이지 이동 기구(30)는 중공 샤프트(27)를 회전 가능하게 지지하는 원통 형상의 축대(29)와, 축대(29)가 고정되는 지지판(32)과, 지지판(32)과 일체로 이동 가능한 가동판(33)과, 가동판(33)에 연결되는 볼 나사(b2)과, 볼 나사(b2)를 회전시키는 모터(m2)를 구비한다. 가동판(33)은 리니어 가이드(35)를 통해서 구획판(14)의 하면에 연결되어, 가동판(33)은 웨이퍼 스테이지(23)의 상면에 평행한 방향에 이동 가능하다. 축대(29)는 구획판(14) 내에 형성된 관통 구멍(17)을 통해서 연장된다. 중공 샤프트(27)를 회전시키는 전술된 모터(m1)가 지지판(32)에 장착된다.
이러한 구성에 의해, 모터(m2)가 볼 나사(b2)를 회전시키면, 가동판(33), 축 대(29) 및 중공 샤프트(27)가 리니어 가이드(35)의 길이 방향을 따라 이동된다. 이에 의해, 웨이퍼 스테이지(23)가 그 상면에 평행한 방향으로 이동된다. 도6에서, 스테이지 이동 기구(30)에 의한 웨이퍼 스테이지(23)의 이동 방향을 화살표(X)로 도시한다.
도6에 도시된 바와 같이, 노치 연마 유닛(40)은 연마 테이프(41)와, 연마 테이프(41)를 웨이퍼(W)의 노치부(V)에 압박하도록 구성된 연마 헤드(42)와, 연마 테이프(41)를 연마 헤드(42)에 공급하도록 구성된 공급 릴(45a)과, 연마 헤드(42)에 공급된 연마 테이프(41)를 회수하도록 구성된 회수 릴(45b)을 구비한다. 공급 릴(45a) 및 회수 릴(45b)은 하우징(11) 상에 설치된 릴 챔버(46) 내에 수용된다. 공급 릴(45a) 및 회수 릴(45b)은 적소에 고정된다.
연마 헤드(42)는 그 내부에 테이프 이송 기구(43)를 가진다. 이 테이프 이송 기구(43)는 테이프 이송 롤러와 유지 롤러를 구비한다. 테이프 이송 롤러와 유지 롤러 사이에 연마 테이프(41)가 파지되고, 테이프 이송 롤러를 회전시킴으로써 연마 테이프(41)를 이송한다. 연마 테이프(41)는 테이프 이송 기구(43)에 의해 공급 릴(45a)로부터 인출되어, 가이드 롤러(57a)를 경유하여 연마 헤드(42)를 향한다. 연마 헤드(42)는 연마 테이프(41)의 연마면을 웨이퍼(W)의 노치부(V)에 접촉시킨다. 노치부(V)와 접촉한 후, 연마 테이프(41)는 가이드 롤러(57b)를 경유하여 회수 릴(45b)에 회수된다. 도6에 도시된 바와 같이, 웨이퍼(W)의 상방 및 하방에는 연마액 공급 노즐(58)이 배치되어, 연마액(일반적으로 순수)이나 냉각수가 웨이퍼(W)와 연마 테이프(41) 사이의 접촉부에 공급될 수 있다.
연마 헤드(42)는 연마 테이프(41)의 진행 방향을 안내하도록 가이드 롤러(57c, 57d, 57e, 57f, 57g)를 내부에 배치시킨다. 연마 헤드(42)는 가이드 롤러(57c)의 하단부 지점(Cn)[즉, 가이드 롤러(57c)의 외주면 상의 최하점]에 놓인 피봇 지점을 중심으로 요동 운동(진자 운동)을 하도록 구성된다. 보다 구체적으로, 연마 헤드(42)는 이하에 설명하는 요동 기구에 의해 가이드 롤러(57c)상의 지점(Cn)을 중심으로 소정 각도만큼 회전한다. 이하의 설명에서는 가이드 롤러(57c) 하단부 지점을 피봇 지점(Cn)(요동 운동의 중심)이라고 지칭한다.
도8은 요동 기구를 설명하기 위한 평면도이며, 도9a 내지 도9d는 각각 도8의 선Ⅸ-Ⅸ를 따라 취한 단면도이다.
도8에 도시된 바와 같이, 요동 기구는 연마 헤드(42)가 고정되는 요동 아암(60)과, 요동 아암(60)을 지지하는 지지 아암(62)과, 요동 아암(60)과 지지 아암(62)을 서로 연결하는 연결 아암(67)과, 요동 아암(60)을 요동시키는 구동 기구를 포함한다. 이 구동 기구는 편심 샤프트(61a)를 갖는 캠 샤프트(크랭크 샤프트)(61)와, 캠 샤프트(61)에 고정된 캠(65)과, 캠 샤프트(61)를 회전시키는 동력원으로 기능하는 모터(M1)를 포함한다.
연마 헤드(42)는 요동 아암(60)의 일단부에 장착되고, 요동 아암(60)의 타단부에 캠 샤프트(61)가 배치된다. 연결축(67)은 요동 아암(60)에 고정되고, 지지 아암(62)상에 장착된 베어링(64A)에 의해 회전 가능하게 지지되어, 요동 아암(60)은 연결축(67)을 중심으로 회전 가능하다. 전술된 피봇 지점(Cn)은 연결축(67)의 중심축(Ln) 상에 위치한다. 모터(M1)는 지지 아암(62)에 고정되고, 모터(M1)의 회 전축은 풀리(p11, p12) 및 벨트(b10)를 경유하여 캠 샤프트(61)에 연결된다. 캠 샤프트(61)는 지지 아암(62)에 장착된 베어링(64B)에 의해 회전 가능하게 지지된다. 캠 샤프트(61)의 편심 샤프트(61a)는 베어링(64B)의 중심축에 대하여 편심된다. 편심 샤프트(61a)의 선단부에는 캠(65)이 설치된다. 캠(65)은 요동 아암(60)의 U자 형상부의 홈(66) 내에 끼워진다(도9a 참조).
모터(M1)가 가동되면, 풀리(p11, p12) 및 벨트(b10)를 경유하여 캠 샤프트(61)가 회전된다. 편심 샤프트(61a)가 베어링(64B)의 중심축으로부터 벗어난 중심축을 중심으로 편심 회전되기 때문에, 캠(65)도 편심 회전된다. 도9a 내지도9d에 도시된 바와 같이, 홈(66) 내의 캠(65)의 편심 회전은 요동 아암(60)이 연결축(67)의 중심축 상에서 요동 운동을 하도록 야기시킨다. 전술된 바와 같이, 연결축(67)의 중심선(Ln)은 도6에 도시된 바와 같이 피봇 지점(Cn)의 위치에 정렬된다. 그러므로, 요동 아암(60)의 선단부에 장착된 연마 헤드(42)는 피봇 지점(Cn) 상에서 요동 운동을 수행한다. 본 명세서에서, 요동 운동은 소정 지점[본 실시예에서는 피봇 지점(Cn)]을 중심으로 해서 시계 방향 및 반시계 방향으로 소정 각도만큼 교대로 회전하는 것을 의미한다.
도8에 도시된 바와 같이, 연마 헤드(42) 및 요동 기구가 일체적으로 웨이퍼(W)의 표면에 대하여 경사지도록, 지지 아암(62)은 지지축(90)을 중심으로 회전가능하게 고정된다. 지지축(90)은 연결축(67)에 평행하게 연장되고, 고정 부재(95)에 장착된 베어링(91)에 의해 회전 가능하게 지지된다. 지지축(90)은 풀리(p13, p14) 및 벨트(b11)를 경유하여 동력원으로서 기능하는 모터(M2)에 연결된 다. 연마 지점[연마 테이프(41)와 웨이퍼(W) 사이의 접촉 지점]은 지지축(90)의 중심축(Lt) 상에 위치한다. 따라서, 모터(M2)에 의해 구동되는 지지축(90)의 회전에 의해, 연마 헤드(42) 및 요동 기구는 연마 지점을 중심으로 회전된다(즉, 경사진다). 본 실시예에서, 연마 헤드(42)를 경사지게 하기 위한 경사 기구가 지지축(90), 풀리(p13, p14), 벨트(b11) 및 모터(M2)에 의해 구성된다.
도9a 내지 도9c에 도시된 바와 같이, 연마 헤드(42)의 시계 방향으로의 회전 각도(θ)는 반시계 방향으로의 회전 각도(θ)와 동일하다. 보다 구체적으로, 연마 헤드(42)는 기준선(Lr)으로부터 동일한 각도(θ)만큼 시계 방향 및 반시계 방향으로 회전한다. 이 기준선(Lr)은 연결축(67)의 중심축(Ln)과 지지축(90)의 중심축(Lt)을 수직으로 교차하는 선으로 정의된다. 연마 헤드(42)의 요동 운동은 경사 기구에 의해 연마 헤드(42)가 경사져 있을 때도 마찬가지로 행해진다.
도10a 내지 도10c는 연마 헤드(42)의 경사 운동 설명하기 위한 도면이다. 보다 구체적으로, 도10a는 연마 헤드(42)의 피봇 지점(Cn)이 웨이퍼(W)의 중심(Cw)에 정렬된 상태를 도시하고, 도10b는 연마 헤드(42)가 상향으로 경사진 상태를 도시하고, 도10c는 연마 헤드(42)가 하향으로 경사진 상태를 도시한다.
요동 아암(60) 및 연마 헤드(42)가 지지 아암(62)과 일체적으로 경사지므로, 연마 헤드(42)의 경사 각도에 상관없이, 요동 운동의 피봇 지점(Cn)은 항상 연마 헤드(42) 내에 위치한다. 그러므로, 연마 헤드(42)가 경사져도, 연마 헤드(42)가 피봇 지점(Cn)을 중심으로 요동 운동을 할 수 있다. 이러한 요동 운동에서, 연마 헤드(42)의 경사 각도에 상관없이, 연마 헤드(42)가 피봇 지점(Cn)을 중심으로 시 계 방향 및 반시계 방향으로 동일한 각도만큼 회전한다.
공급 릴(45a)로부터 공급된 연마 테이프(41)는 가이드 롤러(57b) 및 가이드 롤러(57c)에 의해 안내되어, 피봇 지점(Cn)을 경유하여 연마 헤드(42)의 선단부에 배치된 가이드 롤러(57d) 및 가이드 롤러(57e)에 연장된다. 가이드 롤러(57d)는 가이드 롤러(57e)의 상방에 배치된다. 연마 테이프(41)의 진행 방향은 가이드 롤러(57d) 및 가이드 롤러(57e)에 의해 안내되어, 연마 테이프(41)는 웨이퍼(W)에 접촉한다.
공급 릴(45a) 및 회수 릴(45b)은 연마 테이프(41)가 느슨해지지 않도록, 연마 테이프(41)에 적절한 장력을 부여하는 도시하지 않은 모터에 연결된다. 테이프 이송 기구(43)는 연마 테이프(41)를 공급 릴(45a)로부터 회수 릴(45b)로 일정한 속도로 이송하도록 작동된다. 이 테이프 이송 속도는 분당 수 밀리미터 내지 수십 밀리미터이다. 한편, 연마 헤드(42)의 요동 속도는 분당 수백회인 고속이다. 따라서, 연마 헤드(42)의 요동 운동의 속도에 비하여, 테이프 이송 속도는 실질적으로 무시할 수 있다.
연마 테이프(41)로는 연마면에, 예를 들어, 다이아몬드 입자나 SiC 입자 등의 연마 입자가 부착된 베이스 필름을 사용할 수 있다. 연마 테이프(41)에 접착하는 연마 입자는 웨이퍼(W)의 종류나 요구되는 연마 성능에 따라 선택된다. 예를 들어 연마 입자는 0.1 ㎛ 내지 5.0 ㎛의 범위의 평균 입경을 가지는 다이아몬드 입자나 SiC 입자일 수 있다. 연마 테이프(42)는 연마 입자를 가지지 않은 벨트 형상의 연마포일 수 있다. 베이스 필름으로서는 예를 들어, 폴리에스테르, 폴리우레 탄, 또는 폴리에틸렌 테레프탈레이트 등의 가요성 재료로 만들어진 필름을 사용할 수 있다.
다음으로, 전술된 구조를 가지는 연마 장치의 동작이 설명된다. 웨이퍼(W)는 도시하지 않은 웨이퍼 반송 기구에 의해 개구부(12)를 통해서 하우징(11) 내로 반송된다. 웨이퍼 척 기구(80)는 웨이퍼 반송 기구의 핸드(73)(도7 참조)로부터 웨이퍼(W)를 수취하고, 제1 및 제2 척 핸드(81, 82)에 의해 웨이퍼(W)를 클램핑한다. 제1 및 제2 척 핸드(81, 82)가 웨이퍼(W)를 수취한 후, 웨이퍼 반송 기구의 핸드(73)는 하우징(11)으로부터 제거되고, 이어서 셔터(13)가 폐쇄된다. 웨이퍼 척 기구(80)는 웨이퍼(W)를 하강시켜, 웨이퍼 스테이지(23)의 상면에 웨이퍼(W)를 적재하도록 가동된다. 그리고, 도시하지 않은 진공 펌프가 웨이퍼(W)를 웨이퍼 스테이지(23)의 상면에 흡착시키도록 작동된다.
웨이퍼(W)를 유지하는 웨이퍼 스테이지(23)는 스테이지 이동 기구(30)에 의해 연마 헤드(42) 근방의 위치까지 이동된다. 모터(m1)는 웨이퍼 스테이지(23)를 회전시켜, 웨이퍼(W)의 노치부(V)를 연마 헤드(42)에 대향시키도록 가동된다. 이어서, 연마액이 연마액 공급 노즐(58)로부터 웨이퍼(W)에 공급된다. 연마액의 공급 유량이 소정의 값에 도달한 이후에, 웨이퍼(W)가 연마 테이프(41)와 접촉될 때까지 웨이퍼(W)는 스테이지 이동 기구(30)에 의해 이동된다. 그리고, 요동 기구는 연마 헤드(42)가 요동 운동하도록 작동된다. 이에 의해 연마 테이프(41)는 웨이퍼(W)의 표면으로 수직 방향으로 진자 운동하고, 연마 테이프(41)의 연마면은 노치부(V)에 미끄럼 접촉된다. 이러한 방식으로 웨이퍼(W)의 노치부(V)가 연마된다. 또한, 연마 테이프(41)가 다양한 각도로 웨이퍼(W)에 접촉하도록 연마 헤드(42)를 경사지게 되어, 노치부(V)는 상면으로부터 하면까지 전체가 연마된다.
도11a 내지 도11c는 도6에 도시된 연마 장치의 일부를 각각 도시하는 도면이다. 이하에서, 연마 헤드(42)가 요동 운동할 때의 연마 헤드(42), 공급 릴(45a) 및 회수 릴(45b)의 동작이 도11a 내지도11c 참조하여 설명된다. 도11a 내지 도11c에서, 도면 부호 A 및 B는 공급 릴(45a) 및 회수 릴(45b)에 설치된 연마 테이프(41) 상의 소정 지점을 나타낸다. 전술된 바와 같이, 연마 헤드(42)의 요동 운동의 속도에 비하여, 연마 테이프(41)의 이송 속도는 실질적으로 무시할 수 있다. 그러므로, 이하의 설명에서 연마 테이프(41)의 이송 속도를 영으로 가정한다.
도11a는 피봇 지점(Cn)이 웨이퍼(W)의 중심선(두께 방향의 중심)(Cw)과 동일 평면 내에 있는 상태를 도시한다. 화살표로 지시된 바와 같이, 연마 헤드(42)는 연마 헤드(42) 내의 피봇 지점(Cn)을 중심으로 요동 운동을 한다. 따라서, 공급 릴(45a)과 피봇 지점(Cn) 사이의 거리는, 연마 헤드(42)가 요동 운동을 하고 있는지 여부에 상관없이 항상 일정하다.
도11b는 요동 운동 중에 연마 헤드(42)의 선단부가 상향으로 이동한 상태를 도시한다. 이러한 상향 운동 중에, 공급 릴(45a)과 피봇 지점(Cn) 상의 가이드 롤러(57c) 사이에 놓인 연마 테이프(41)의 길이는 실질적으로 변하지 않는다. 가이드 롤러(57c)와 연마 헤드(42)의 선단부에 배치된 가이드 롤러(57d) 사이에 놓인 연마 테이프(41)의 길이도 마찬가지로 실질적으로 변하지 않는다. 그러므로, 도11a 및 도11b로부터 알 수 있는 바와 같이, 공급 릴측의 A 지점은 실질적으로 그 초기 위치에 유지되고, 회수 릴 측의 지점 B는 미세하게 이동한다.
도11c는 요동 운동 중 연마 헤드(42)의 선단부가 하향으로 이동된 상태를 도시한다. 이러한 하향 이동 중, 공급 릴(45a)과 피봇 지점(Cn) 상의 가이드 롤러(57c) 사이에 놓인 연마 테이프(41)의 길이는 실질적으로 변하지 않는다. 가이드 롤러(57c)와 가이드 롤러(57d) 사이에 놓인 연마 테이프(41)의 길이도 마찬가지로 실질적으로 변하지 않는다. 그러므로, 도11a 및 도11c로부터 알 수 있는 바와 같이, 공급 릴측의 지점 A는 실질적으로 그 초기 위치에 유지되고, 회수 릴 측의 지점 B는 미세하게 이동한다.
도11b 및 도11c에 도시된 바와 같이, 연마 헤드(42)의 요동 운동은 연마 헤드(42)의 선단부 상의 연마 테이프(41)와 웨이퍼(W) 사이의 상대 운동을 제공한다. 이러한 운동 중에, 연마 테이프(41) 상의 지점 A의 위치는 실질적으로 변하지 않는다.
연마 테이프(41)가 테이프 이송 기구(43)에 의해 클램핑되어 있기 때문에, 연마 성능에 중요한 연마 테이프(41)의 장력은 테이프 이송 기구(43)와 공급 릴(45a)의 사이의 영역에서 유지된다. 따라서, 회수 릴측의 가이드 롤러(57f, 57g)는, 가이드 롤러(57f, 57g)가 연마 테이프(41)의 회수에 악영향을 미치지 않도록 배치되는 것이 바람직하다. 예를 들어, 가이드 롤러(57f, 57g)는 연마 테이프(41)가 지나치게 느슨해져서 가이드 롤러로부터 벗어나지 않도록 하는 위치에 배치된다. 회수 릴측의 지점 B의 이동량을 감소시키기 위해서, 가이드 롤러(57f, 57g)는, 연마 테이프(41)가 피봇 지점(Cn)에 가능한 한 가까운 소정 지점을 경유하 여 회수 릴(45b)로 복귀되도록 배치되는 것이 바람직하다.
연마 헤드(42)와 공급 및 회수 릴(45a, 45b) 사이의 영역에서 연마 테이프(41)는 거의 이동하지 않거나 미세하게 이동한다. 그러므로, 연마 테이프의 회수와 인출을 반복하는 종래의 직선 왕복 운동과 비교하여, 연마 테이프(41)의 장력이 안정될 수 있다. 요동 운동이 고속으로 수행되는 경우라도, 연마 헤드(42)의 이동 방향이 절환될 때, 과도한 텐션이 연마 테이프(41)에 인가되지 않는다. 그러므로, 안정된 연마 성능이 유지될 수 있다. 또한, 연마 테이프(41)의 절단이나 신장(영구 변형)이 발생하지 않을 것이다. 또한, 연마 테이프(41)의 장력은 영이 되지 않고, 연마 테이프(41)가 느슨해지지 않는다.
도12는 연마 헤드가 직선 왕복 운동(종래 기술)을 행할 때와 요동 운동(본 발명)을 행할 때 연마 테이프에 인가된 장력의 측정 결과의 예를 도시하는 그래프이다. 가로축은 시간을 나타내고, 세로축은 100%인 사전 설정 장력에 대한 연마 테이프의 실제 장력을 지시한다. 장력은 상용으로 입수 가능한 장력 센서를 사용하여 측정되었다.
도12는 연마 헤드의 직선 왕복 운동 및 요동 운동이 모두 분당 300회로 수행되는 조건에서 수행된 테스트로부터 얻어진 데이터를 도시한다. 도12로부터 알 수 있는 바와 같이, 직선 왕복 운동에서의 장력은 연마 테이프의 인출 및 회수의 반복으로 인해 크게 변동한다. 이는 직선 왕복 운동의 방향의 절환의 영향 뿐만 아니라, 가이드 롤러의 회전 방향의 변화에 따른 구름 마찰의 영향에도 기인한 것이다. 한편, 도12로부터 알 수 있는 바와 같이, 본 발명에 따른 요동 운동 시의 장력은 크게 변동하지 않고 안정적이다. 이는 연마 헤드의 요동 운동이 연마 테이프(41)의 이동을 거의 야기 하지 않기 때문이다. 그 결과로서, 테이프 인출 및 회수 동작 및 가이드 롤러의 구름 마찰은 연마 테이프의 장력에 영향을 주지 않는다.
또한, 테스트는 연마 헤드의 직선 왕복 운동 및 요동 운동이 모두 분당 500회로 수행되는 조건에서 수행되었다. 이 테스트는 직선 왕복 운동이 테이프 장력에 큰 변동을 초래한 반면, 요동 운동은 여전히 테이프 장력에 거의 변동을 초래하지 않았음을 보여준다. 테스트 결과는 연마 테이프와 웨이퍼 사이의 상대 속도가 증가될 수 있고, 따라서 제거율이 크게 향상될 수 있음을 확인해 준다.
또한, 100 ㎚의 두께를 가지는 산화막을 가지는 실리콘 웨이퍼의 노치부 상의 산화막을 제거하는데 소요되는 시간이 측정되었다. 그 결과, 직선 왕복 운동을 수행하는 종래 연마 헤드는 28초가 소요되었다. 한편, 요동 운동을 수행하는 연마 헤드는 산화막을 완전히 제거하는데 15초가 소요되었다. 이들 실험은 연마 헤드가 분당 300회로 동작되는 조건 하에서 수행되었다. 연마 헤드가 분당 500회로 요동 운동을 수행했을 때, 역시 웨이퍼의 안정적인 연마가 달성되었다. 이 경우, 산화막을 완전히 제거하는데 기껏해야 10초가 소요되었다. 또한, 조사 테스트 결과는 연마 표면 상에 깊은 스크레치가 보다 덜 형성되었음을 보여주었다. 이는 장력의 변동이 적고, 변동의 피크시에 큰 하중이 인가되지 않는다는 사실에 기인한 것으로 보인다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 안정적인 연마 성능을 유지하면서, 요동 운동을 고속으로 할 수 있다. 따라서, 단위 시간당 제거량, 즉, 제 거율이 증가될 수 있고, 따라서, 연마 장치의 가동율이 개선될 수 있다.
상기 실시예의 설명은 본 기술 분야의 숙련자로 하여금 본 발명을 제조하고 사용할 수 있게 하기 위하여 제공된다. 또한, 이러한 실시예에 대한 다양한 변경은 본 기술 분야의 숙련자들에게 명백할 것이며, 본 명세서에서 설명된 고유 원리 및 구체적인 예들은 다른 실시예에도 적용될 수 있다. 그러므로, 본 발명은 본 명세서에서 설명된 실시예로 한정되도록 의도한 것이 아니라, 청구범위 및 등가물의 제한에 의해 한정된 최광의 범위를 따라야 한다.
도1은 웨이퍼의 주연부를 연마하기 위한 종래의 연마 장치를 도시한 개략도.
도2는 연마 헤드의 직선 왕복 운동을 위한 기구를 설명하기 위한 평면도.
도3a 내지 도3d는 도2의 선Ⅲ-Ⅲ을 따라 취한 단면도.
도4a 내지 도4c는 연마 헤드, 공급 릴 및 회수 릴의 동작을 설명하는 도면.
도5는 본 발명의 실시예에 따른 연마 장치를 도시한 평면도.
도6은 도5의 연마 장치를 도시한 단면도.
도7은 웨이퍼 척 기구의 척 핸드를 도시한 평면도.
도8은 요동 기구를 설명하기 위한 평면도.
도9a 내지 도9d는 도8의 선Ⅸ-Ⅸ을 따라 취한 각각의 단면도.
도10a 내지 도10c는 연마 헤드의 경사 동작을 설명하기 위한 도면.
도11a 내지 도11c는 도6의 연마 장치의 일부를 각각 도시한 도면.
도12는 웨이퍼의 연마의 테스트 결과를 도시한 그래프.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
W:웨이퍼
V:노치부
11:하우징
12:개구부
13:셔터
15:상부 챔버
16:하부 챔버
20:웨이퍼 스테이지 유닛
23:웨이퍼 스테이지
30:스테이지 이동 기구
40:노치 연마 유닛

Claims (15)

  1. 연마 테이프와 작업편 사이에 상대 운동을 제공함으로써 작업편을 연마하는 연마 장치이며,
    작업편을 유지하는 유지부와,
    연마 테이프를 작업편에 접촉시키는 연마 헤드와,
    연마 테이프를 상기 연마 헤드에 공급하는 공급 릴과,
    작업편에 접촉한 연마 테이프를 회수하는 회수릴과,
    연마 헤드가 요동 운동을 수행하게 하는 요동 기구를 포함하는 연마 장치.
  2. 제1항에 있어서, 연마 테이프는 상기 공급 릴로부터 상기 연마 헤드의 요동 운동의 피봇 지점을 경유하여 작업편까지 연장되는 연마 장치.
  3. 제1항에 있어서, 요동 운동의 피봇 지점은 상기 연마 헤드 내에 위치되는 연마 장치.
  4. 제1항에 있어서, 작업편은 그 주연부에 노치부가 형성된 반도체 웨이퍼를 포함하고,
    상기 연마 헤드는 연마 테이프를 노치부에 접촉시키는 연마 장치.
  5. 연마 공구와 작업편 사이에 상대 운동을 제공함으로써 작업편을 연마하는 연마 장치이며,
    작업편을 유지하는 유지부와,
    연마 공구를 작업편에 접촉시키는 연마 헤드와,
    연마 헤드가 요동 운동을 수행하게 하는 요동 기구와,
    작업편의 표면에 대해 상기 연마 헤드와 상기 요동 기구를 경사지게 하는 경사 기구를 포함하는 연마 장치.
  6. 제5항에 있어서, 연마 공구는 연마 테이프를 포함하고,
    상기 연마 장치는 연마 테이프를 상기 연마 헤드에 공급하는 공급 릴과, 작업편에 접촉한 연마 테이프를 회수하는 회수릴을 더 포함하고,
    연마 테이프는 상기 공급 릴로부터 상기 연마 헤드의 요동 운동의 피봇 지점을 경유하여 작업편까지 연장되는 연마 장치.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 요동 기구는
    (ⅰ) 연마 헤드가 고정된 요동 아암과,
    (ⅱ) 연결축을 경유하여 상기 요동 아암에 회전가능하게 연결된 지지 아암과,
    (ⅲ) 상기 연결축의 중심축 상에 놓인 피봇 지점을 중심으로 상기 요동 아암 이 요동 운동을 수행하게 하는 구동 기구를 포함하고,
    상기 경사 기구는
    (ⅰ) 상기 지지 아암을 지지하는 회전식 지지축과,
    (ⅱ)상기 지지축을 회전시키는 회전 기구를 포함하는 연마 장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 연결축 및 상기 지지축은 서로 평행하게 배열된 연마 장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 연마 헤드의 요동 운동은 상기 연결축의 중심축과 상기 지지축의 중심축을 수직으로 교차하는 기준선으로부터 동일한 각도로 시계 방향 및 반시계 방향으로 교대로 회전하는 상기 연마 헤드의 회전을 포함하는 연마 장치.
  10. 연마 테이프와 작업편 사이에 상대 운동을 제공함으로써 작업편을 연마하는 연마 방법이며,
    작업편을 유지하는 단계와,
    연마 테이프를 공급 릴로부터 연마 헤드로 공급하면서, 연마 헤드에 의해 연마 테이프를 작업편에 접촉시키는 단계와,
    연마 헤드를 요동시키는 단계를 포함하는 연마 방법.
  11. 제10항에 있어서, 연마 테이프는 상기 공급 릴로부터 상기 연마 헤드의 요동 운동의 피봇 지점을 경유하여 작업편까지 연장되는 연마 방법.
  12. 제10항에 있어서, 요동 운동의 피봇 지점은 연마 헤드 내에 위치되는 연마 방법.
  13. 제10항에 있어서, 작업편은 그 주연부에 노치부를 가지는 반도체 웨이퍼를 포함하고,
    상기 연마 헤드에 의해 연마 테이프를 작업편에 접촉시키는 단계는 연마 헤드에 의해 연마 테이프를 노치부에 접촉시키는 단계를 포함하는 연마 방법.
  14. 연마 공구와 작업편 사이에 상대 운동을 제공함으로써 작업편을 연마하는 연마 방법이며,
    작업편을 유지하는 단계와,
    연마 헤드에 의해 연마 공구를 작업편에 접촉시키는 단계와,
    연마 헤드를 요동시키는 단계와,
    연마 헤드를 요동시키면서, 작업편의 표면에 대해 연마 헤드를 경사지게 하는 단게를 포함하는 연마 방법.
  15. 제14항에 있어서, 연마 공구는 연마 테이프를 포함하며,
    상기 연마 헤드를 요동시키는 단계는 연마 테이프를 연마 헤드의 요동 운동의 피봇 지점을 경유하여 작업편으로 이송하면서 연마 헤드를 요동시키는 단계를 포함하는 연마 방법.
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