JP2000167758A - ウェーハノッチ部の鏡面研磨装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ウェーハの供給或いは排出のための特別な搬
送手段を要せず、容易に構成できると共に、ノッチ部を
効率良く且つ好適に鏡面研摩すること。 【解決手段】 ウェーハ保持部２０を介してウェーハ１
０を回動揺動させる回動手首機構２６と、回動手首機構
２６が先端の手首部に設けられたロボットアーム部２８
と、ウェーハ保持部２０によって保持されたウェーハ１
０を搬送すべく、ロボットアーム部２８を旋回させる旋
回機構３０と、ウェーハ１０が供給されて位置決めがな
されるウェーハの供給部４５と、バフ５２が回転され、
旋回機構３０によって搬送されたウェーハ１０のノッチ
部１２の内端面を研磨するように配設されたバフ装置５
０と、ノッチ部１２の内端面が研磨された後、旋回機構
３０によって搬送されたウェーハ１０が排出されるウェ
ーハの排出部６２とを具備する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ウェーハノッチ部
の鏡面研磨装置に関し、さらに詳細には、円形のウェー
ハをウェーハ保持部で保持し、該ウェーハの周縁に形成
されたノッチ部の内端面を、軸線を中心に回転するバフ
を接触させて鏡面研磨するウェーハノッチ部の鏡面研磨
装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】シリコン等の半導体の材料となる円板状
のウェーハ（シリコンウェーハ）では、半導体チップの
加工上その結晶軸の方向を明確にしておく必要がある。
この結晶軸の方向を示すため、円形のウェーハの一部を
結晶軸の方向に切り欠くオリエンテーションフラット
（いわゆるオリフラ）を形成するか、単にウェーハの周
縁を小さなＶ字状に切り欠くノッチ部を設けるかしてい
る。近年では、ウェーハが大径化し、直径１２インチの
ウェーハが出現している。このような大径のウェーハで
は、オリフラを設けたのでは廃棄される無駄な部分が多
くなることから、前記ノッチ部を設ける傾向にある。

【０００３】シリコンウェーハは、高精度の表面加工が
必要であり、特にポリシング加工等では微細なゴミの発
生でも加工品質に大きく影響してくるため、装置自体が
無塵室等の設備の中に設置されていたり、様々な防塵対
策が施されている。ウェーハ表面はポリシング前にラッ
プ加工を行っているが、ウェーハ外周部が研削された状
態のままではゴミ等が付着しやすく、この状態で加工す
ると、付着しているゴミが落ちてしまったり、ウェーハ
の粗面が欠けてしまったりして、加工品質を落としてし
まう。そのためウェーハの外周部を鏡面研摩することが
要求されている。ウェーハの外周部（周縁）にノッチ部
を設けた場合にあっては、そのノッチ部の内端縁もウェ
ーハの周縁の一部となることから、鏡面研磨することが
要求される。特に、半導体チップは益々高集積化してい
ることから、小さな発塵であっても与える影響が大きく
なり、ノッチ部の鏡面研摩も重要になってきている。

【０００４】これに対して、従来は、先ず、円形のウェ
ーハの芯出し及びノッチ部の位置決めを行うセンタリン
グ装置に、カセットからウェーハを搬送する装置があっ
た。そして、そのセンタリング装置からウェーハをチャ
ックして加工ステージ（研磨ステージ）へ搬送すると共
にそのウェーハを離して置いてくるウェーハを供給する
ための搬送手段と、研磨ステージ内に設けられたウェー
ハのチャック部と、ウェーハのノッチ部の内端面に軸線
を中心に回転するバフを接触させて鏡面研磨するバフ装
置と、その研磨が終わったウェーハを受け取りに行って
チャックして所定の排出位置まで搬送すると共にそのウ
ェーハを離して排出するウェーハを排出するための搬送
手段とを備えるウェーハノッチ部の鏡面研磨装置が使用
されている。なお、研磨ステージと排出位置の間には、
通常、ウェーハ及びチャック部を洗浄する洗浄部が設け
られ、排出位置にはカセットによる収納部或いは次工程
への仮置部が設けられている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のウェーハノッチ部の鏡面研磨装置にあっては、ウェ
ーハを供給するための特別な搬送手段と、ウェーハを排
出するための特別な搬送手段とを要することになり、装
置の構成が複雑化するという課題があった。また、少な
くとも３個のチャックによって、つかみ直しがなされ、
タクトタイムが長くなって効率が悪かった。さらに、バ
フの回転中心とウェーハの厚みの中心とにかかる芯合わ
せの調整が難しく、精度の高い研磨をすることが難しか
った。

【０００６】そこで、本発明の目的は、ウェーハの供給
或いは排出のための特別な搬送手段を要せず、容易に構
成できると共に、ノッチ部を効率良く且つ好適に鏡面研
摩できるウェーハノッチ部の鏡面研磨装置を提供するこ
とにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために次の構成を備える。すなわち、本発明は、
円形のウェーハをウェーハ保持部で保持し、該ウェーハ
の周縁に形成されたノッチ部の内端面を、軸線を中心に
回転するバフを接触させて鏡面研磨するウェーハノッチ
部の鏡面研磨装置において、前記ウェーハ保持部が固定
され、該ウェーハ保持部に保持された前記ウェーハの平
面と平行で且つ前記ノッチ部を通る軸線を中心に、前記
ウェーハ保持部を介して前記ウェーハを回動揺動させる
回動手首機構と、該回動手首機構が、先端の手首部に設
けられたロボットアーム部と、前記ウェーハ保持部によ
って保持された前記ウェーハを搬送すべく、前記ロボッ
トアーム部を旋回させる旋回機構と、前記ウェーハが前
記ウェーハ保持部によって保持されるべく、前記ウェー
ハが供給されて該ウェーハの位置決めを行う位置決め機
構を備えるウェーハの供給部と、前記バフが、前記ロボ
ットアーム部の旋回軌跡の接線方向に直交する軸線を中
心に回転され、前記旋回機構によって搬送された前記ウ
ェーハのノッチ部の内端面を研磨するように配設された
バフ装置と、該バフ装置によって前記ノッチ部の内端面
が研磨された前記ウェーハが、前記旋回機構によって搬
送され、前記ウェーハ保持部による保持が解除されて排
出されるウェーハの排出部とを具備することを特徴とす
る。

【０００８】また、前記回動手首機構と、前記ロボット
アーム部と、前記旋回機構とを構成要素とするアームロ
ボットが、垂直多関節ロボットであることで、ウェーハ
の位置を好適に微調整でき、精度の高い好適な鏡面研磨
を行うことができる。

【０００９】また、前記バフ装置は、前記バフが前記ノ
ッチ部の内端面に所定の圧力で接触すべく、該バフを前
記ロボットアーム部の旋回軌跡の接線方向へ移動させる
と共に押圧させる押圧機構を備えることで、ロボットア
ーム部を移動させることなく、バフ側の移動によってノ
ッチ部の内端面へ同一の押圧条件で好適に接触すること
ができ、精度の高い好適な鏡面研磨を行うことができ
る。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
を添付図面と共に詳細に説明する。図１は本発明にかか
るウェーハノッチ部の鏡面研磨装置の一実施例を説明す
る平面図であり、図２は図１の実施例の正面図である。
また、図３はノッチ部とバフの外周部との接触状態を説
明する正面図であり、図４は図３の平面図（ａ）及び側
面図（ｂ）である。 本実施例は、半導体の原料である
円形のシリコンウェーハ（以下、「ウェーハ」という）
をウェーハ保持部２０で保持し、そのウェーハ１０の周
縁に形成されたノッチ部１２の内端面を、軸線を中心に
回転するバフ５２を接触させて鏡面研磨するウェーハノ
ッチ部の鏡面研磨装置である。なお、ノッチ部１２の形
状は、通常はＶ字状に切り欠いたものであるが、特に限
定されるものではない。

【００１１】ウェーハ保持部２０は、ウェーハ１０の外
径より小さく形成された円形の吸着面２２を備え、図示
しない真空装置（減圧装置）に連結されており、真空吸
着（減圧吸着）によってウェーハ１０を保持する。な
お、これに限定されることなく、例えば、複数の爪状の
保持部材を作動させることによって機械的にウェーハ１
０を保持することも可能である。

【００１２】２４はアームロボットであり、少なくと
も、回動手首機構２６と、ロボットアーム部２８と、旋
回機構３０とを構成要素とする。回動手首機構２６は、
ウェーハ保持部２０が固定され、そのウェーハ保持部２
０に保持されたウェーハ１０の平面と平行で且つノッチ
部１２を通る軸線を中心に、ウェーハ保持部２０を介し
てウェーハ１０を回動揺動させる。ロボットアーム部２
８には、回動手首機構２６が、先端の手首部２８ａに設
けられている。旋回機構３０は、ウェーハ１０を搬送す
べく、ロボットアーム部２８を旋回させるように設けら
れている。

【００１３】本実施例のアームロボット２４は、図５に
示すような垂直多関節ロボットであり、固定基体部３１
に対し、本体部３２が鉛直軸３３を中心に回動可能に設
けられており、その本体部３２にロボットアーム部２８
が取り付けられている。従って、本体部３２が回動する
ことで、その上に支持されたロボットアーム部２８が旋
回することになる。なお、ロボットアーム部２８を支持
する本体部３２の回動駆動は、内蔵された図示しない駆
動装置によってなされる。ロボットアーム部２８は、本
体部３２の先端側に設けられた第１の水平軸３２ａに上
下方向へ回動可能に装着された基端アーム３４と、その
基端アーム３４の先端側に設けられた第２の水平軸３４
ａに上下方向へ回動可能に装着された中間アーム３５
と、その中間アーム３５の先端側に設けられた第３の水
平軸３５ａに上下方向へ回動可能に装着された先端アー
ム３８とによって構成されている。各アームは、内蔵さ
れた図示しない駆動装置によって回動駆動される。な
お、中間アーム３５は、中間アームの基部３６に対して
中間アームの先端部３７が、その中間アーム３５の長手
方向の軸線を中心に、内蔵された図示しない駆動装置に
よって回転可能に設けられている。

【００１４】そして、ロボットアーム部２８の先端であ
る先端アーム３８の先端の手首部２８ａには、内蔵され
た図示しない駆動装置によって、先端アーム３８の長手
方向の軸線（以下、「先端アーム軸線３９」という）を
中心に回転する回転部４０が露出して設けられている。
この回転部４０に、先端アーム軸線３９に平行な吸着面
にウェーハ１０が吸着されるように、前記ウェーハ保持
部２０が固定されている。なお、先端アーム軸線３９
は、図に明らかなように、旋回機構３０による旋回円に
よる平面に直交する平面内で、旋回軸である鉛直軸３３
に交差する線となっている。換言すれば、アームロボッ
ト２４の法線方向の軸線になっている。

【００１５】また、図３及び４に示すように、先端アー
ム軸線３９と、ウェーハ保持部２０に保持されるウェー
ハ１０の平面に平行で、且つ、そのウェーハ１０に厚さ
方向の中心に仮想される面内でノッチ部１２を通る軸線
（回動軸線４２）とが、同軸に一致されて設けられてい
る。すなわち、鏡面研磨の対称となるノッチ部１２が、
先端アーム軸線３９である回動軸線４２を中心に狭い範
囲で上下に揺動できるように、ウェーハ１０がその直径
の半径分、回動軸線４２から変位されてウェーハ保持部
２０に保持されている。このようにウェーハ１０を回動
軸線４２からずらして保持させるために、ウェーハ保持
部２０は、回転部４０に、クランク状（又はＬ字状）の
取付部４４を介して固定されている。なお、回動軸線４
２がノッチ部１２を通るとは、ノッチ部１２のどこかを
通過するか、ノッチ部１２に接すること、或いはノッチ
部１２の近傍を通過することであり、厳密な意味ではな
い。つまり、ノッチ部が、回動軸線４２を中心に狭い範
囲で上下に揺動可能に、回動軸線４２が少なくともノッ
チ部１２の近傍を通るようにすればよい。

【００１６】これにより、ロボットアーム部２８の先端
の手首部２８ａに設けられ、ウェーハ保持部２０に保持
されたウェーハ１０の平面と平行で且つそのウェーハ１
０のノッチ部１２を通る軸線（回動軸線４２）を中心
に、ウェーハ保持部２０を介してウェーハ１０を回動揺
動させる回動手首機構２６が構成されている。このよう
にウェーハ１０を回動揺動させることで、内端面の上下
の角部の面取りを好適に行わせることが可能になる。ま
た、アームロボット２４が、前述したような垂直多関節
ロボットであることで、ティーチングによって作動プロ
グラムを入力することができると共に、３次元空間につ
いて好適に運動制御できる。そして、指令値を適宜に変
更すれば、バフ装置５０に対してウェーハ保持部２０で
保持したウェーハ１０の位置を容易に微調整できる。こ
のため、芯合わせ等の調整がワンタッチで簡単にでき、
精度の高い鏡面研磨を好適に行うことができる。

【００１７】なお、本実施例では、回動軸線４２と、先
端アーム軸線３９とが、同軸になるように配されてお
り、ウェーハ１０が上下方向に好適に揺動できるように
なっているが、本発明はこれに限定されるものではな
い。例えば、アームロボットのロボットアーム部が異な
る形態の場合として、先端アーム３８の先端側に先端ア
ーム軸線３９と交差する回動軸線４２を有する回動機構
が設けられた際でも、その回動軸線４２をバフ５２の回
転平面に直交するように配置することができれば、ウェ
ーハ１０を好適に揺動できる。

【００１８】次にウェーハの供給部について説明する。
ウェーハの供給部４５は、ウェーハ１０がウェーハ保持
部２０によって保持されるべく、ウェーハ１０が供給さ
れてそのウェーハ１０の位置決めを行う位置決め機構４
６を備える。４７はカセットであり、この中にウェーハ
１０が収納されている。４８は移動機構であり、ベルト
コンベア状に構成されており、カセット４７内のウェー
ハ１０を位置決め機構４６まで移動させる。

【００１９】位置決め機構４６には、固定された２つの
従動ローラ４６ａ、径方向へ移動可能な１つのドライブ
ローラ４６ｂ、ノッチの検出センサー４９、及び吸着パ
ッド６０が備えられている。ドライブローラ４６ｂは、
エアシリンダ等によって、位置決め機構４６上に載置さ
れたウェーハ１０の側面に所定の圧力で当接できるよう
に設けられている。また、このドライブローラ４６ｂ
は、ステッピングモータ等で回転して、２つの従動ロー
ラ４６ａと共にウェーハ１０を径方向に挟んで、そのウ
ェーハ１０を軸心を中心に回転させることができる。そ
して、ノッチの検出センサー４９によって、ノッチ部１
２を検出し、ノッチ部１２が所定の角度位置にきたとこ
ろでドライブローラ４６ｂの回転を停止させることで、
ウェーハの位置決めができる。なお、吸着パッド６０
は、ウェーハ１０が、２つの従動ローラ４６ａとドライ
ブローラ４６ｂとによって挟まれるまで、浮き上がるこ
とのないように吸引して保持するように設けられてい
る。

【００２０】次にバフ装置５０について説明する。バフ
装置５０は、ウェーハ１０の円弧状の搬送経路中に設け
られており、図３に明らかなように、円板状のバフ５２
が、ロボットアーム部２８の旋回軌跡５４の接線方向に
直交する軸線５５を中心に、駆動モータ５６によって回
転される。そして、旋回機構３０によって搬送されたウ
ェーハ１０のノッチ部１２の内端面に、バフ５２の外周
部が接触して擦れ合い、その面を鏡面研磨するように配
設されている。なお、図１に示した旋回軌跡５４は、ア
ームロボット２４の旋回軸（鉛直軸３３）を中心にする
円弧であり、軸線５５は鉛直軸３３に直交する関係にな
っている。また、バフ５２の厚さ方向の中心平面と、ウ
ェーハ１０の平面とが直交すると共に、そのバフ５２の
中心平面を延長した面内に、ウェーハ１０の軸芯が存在
する位置関係になっている。これにより、バフ５２の外
周部が、Ｖ字状等のノッチ部１２へ、その正面から両側
対称に、ウェーハ１０の平面と直交する面と平行に、進
入することができ、そのノッチ部１２を均一に鏡面研磨
することができる。なお、接線方向に直交する方向とは
法線方向であり、円弧の軌跡の接線方向に直交する方向
とは径方向を意味する。

【００２１】また、このバフ装置５０は、バフ５２がノ
ッチ部１２の内端面に所定の圧力で接触すべく、そのバ
フ５２をロボットアーム部２８の旋回軌跡５４の接線方
向へ移動させると共に押圧させる押圧機構５８を備え
る。本実施例の押圧機構５８は、往復の直線移動をガイ
ドする直動ガイドと、シリンダ装置５８ａによって構成
されている。これにより、ロボットアーム部２８を旋回
方向に移動させることなく、バフ５２側の旋回軌跡５４
の接線方向の移動によってノッチ部１２の内端面へ同一
の押圧条件で好適に接触することができる。従って、精
度の高い好適な鏡面研磨を行うことができる。なお、押
圧機構５８としては、錘を利用してもよいのは勿論であ
る。

【００２２】なお、このバフ装置５０はボックス状のカ
バー５９中に配設されており、そのカバー５９のアーム
ロボット２４側の面には、シャッター５９ａが設けられ
いる。そのシャッター５９ａを開閉することで、ウェー
ハ保持部２０に保持されたウェーハ１０の出し入れを行
い、研磨工程時には閉じて、研磨屑或いは研磨液の飛散
を防止している。また、このバフ装置５０内には、スラ
リーと呼ばれる研磨液が、ノッチ部１２とバフ５２が擦
れ合う研磨部へ向けて供給されるように、研磨液の噴出
ノズルが配設されている。さらに、カバー５９自体の洗
浄を行うため、洗浄液を噴出する洗浄ノズル等が設けら
れている。

【００２３】次にウェーハの排出部６２について説明す
る。ウェーハの排出部６２は、バフ装置５０によってノ
ッチ部１２の内端面が研磨されたウェーハ１０が、旋回
機構３０によって搬送され、ウェーハ保持部２０による
保持が解除されて排出される部位となっている。６４は
仮受部であり、ウェーハ１０が一旦載置される部位であ
って、この仮受部６４に置かれたウェーハ１０は、次工
程の保持装置等によって保持され、次の工程へ移送され
るのである。また、６６は洗浄部であり、シャワーノズ
ル６６ａが配設されている。この洗浄部６６では、ウェ
ーハ１０が、バフ装置５０からウェーハの排出部６２へ
搬送される際には、そのウェーハ１０を洗浄する。そし
て、ウェーハ保持部２０が、ウェーハの排出部６２から
元の位置に戻る途中では、ウェーハ保持部２０の吸着面
２２を洗浄するように作動する。

【００２４】ところで、本実施例のアームロボット２４
は垂直多関節ロボットであるため、以上に説明した回動
軸線４２を中心にした回動及び鉛直軸３３を中心にした
旋回動の他に、前後動及び上下動を自由に行うことがで
きる。このため、ウェーハ１０を適宜な移送軌跡に沿わ
せて搬送させることができる。

【００２５】以上の構成からなるウェーハノッチ部の鏡
面研磨装置によれば、ロボットアーム部２８によるウェ
ーハ１０の搬送の途中に、ノッチ部１２を好適に研磨で
きる。すなわち、一台のアームロボット２４で、ノッチ
部１２の研磨工程の前後にかかる搬送、及び回動揺動を
行うことができ、効率よくノッチ部１２の研磨ができる
という効果を奏する。また、従来のように複数の搬送装
置、及び複数のチャック装置を要しないため、装置の構
成を簡単なものにすることができる。

【００２６】また、ウェーハ保持部２０側では、旋回軌
跡５４方向には移動しないで、ウェーハ１０に上下の回
動揺動運動を行わせ、バフ装置５０側では、旋回軌跡５
４の接線方向にバフ５２を移動させてノッチ部１２へ押
圧させる構成になっている。従って、簡単な構成で、ウ
ェーハ１０の平面と、薄板円形状のバフ５２の平面とが
直交する位置関係を好適に維持でき、ノッチ部１２の内
端面にかかる研磨精度を向上できる。さらに、垂直多関
節ロボットによる場合は、バフ５２に対するウェーハ１
０のノッチ部の位置調整が容易であり、好適に研磨でき
る。

【００２７】次に本実施例の作動状態について簡単に説
明する。先ず、初期状態では、ウェーハ保持部２０は待
機位置Ａにあって、ドライブローラ４６ｂ及びバフ５２
は後退位置にある。起動ボタンが押されて始動すると、
先ず、移動機構４８によってウェーハ１０が位置決め機
構４６へローディングされ、その位置決め機構４６にお
いてウェーハ１０のセンタリングと、ノッチ部１２に位
置決めがなされる。次に、ロボットアーム部２８が作動
して、ウェーハ保持部２０が前進してウェーハ１０を吸
着し、一旦後退してバフ装置５０側へ旋回機構３０によ
って旋回し、次に前進してバフ装置５０内の研磨加工位
置Ｂにウェーハ１０を進入させる。なお、ウェーハ１０
の搬送は、原則的にウェーハ１０を水平にした状態でな
される。

【００２８】バフ５２による研磨工程では、図３に示す
ように、先ず、ウェーハ１０の研磨加工の開始（及び終
了）位置Ｃは水平になっており、バフ５２は時計回転方
向Ｆに回転している。次に、ウェーハ１０を回動手首機
構２６によって早送りＨで下方位置Ｄへ回動する。そし
て、バフ５２を前進Ｐさせてノッチ部１２へ当接させ、
研磨液を供給し、研磨工程が開始し、ウェーハ１０を遅
送りＫで時計回転方向へ回動させて、主にノッチ部１２
の下面側を鏡面研磨する。次に、開始時位置Ｃに戻った
ところで、ウェーハ１０の回動送りを停止すると共に、
バフ５２を後退させる。そして、バフ５２を反時計回転
方向Ｇに回転させ、前進させて再びノッチ部１２へ当接
させ、ウェーハ１０を遅送りＬで時計回転方向へ上方位
置Ｅまで回動させて、主にノッチ部１２の上面側を鏡面
研磨する。次いで、バフ５２を後退させる共に、ウェー
ハ１０を早送りＭで水平な終了位置Ｃへ戻し、バフ５２
の回転及び研磨液の供給が停止して一連の鏡面研磨工程
が終了する。

【００２９】次に、ロボットアーム部２８が作動して、
ウェーハ保持部２０が後退し、回動手首機構２６によっ
て反転し、旋回機構３０によってウェーハ１０を旋回移
動させて洗浄部６６上に位置させる。洗浄部６６ではウ
ェーハ１０がシャワー洗浄によって洗浄される。そし
て、ウェーハ１０は、さらに旋回移動されて、仮受部６
４上でウェーハ保持部２０による吸着が真空破壊によっ
て解除される。これにより、ウェーハ１０が、仮受部６
４上に載置される。その後、ウェーハ保持部２０は、旋
回機構３０によって洗浄部６６まで戻され、その吸着面
２２が洗浄され、さらに待機位置Ａに戻されて一連の工
程が終了する。この工程サイクルを繰り返すことで、ノ
ッチ部１２の鏡面研磨を順次自動的に行うことができ
る。

【００３０】以上、本発明につき好適な実施例を挙げて
種々説明してきたが、本発明はこの実施例に限定される
ものではなく、発明の精神を逸脱しない範囲内で多くの
改変を施し得るのは勿論のことである。

【００３１】

【発明の効果】本発明によれば、一台のロボットアーム
部等を含む装置で、ウェーハのノッチ部の研磨工程の前
後にかかる搬送、及び鏡面研磨工程での回動揺動を行う
ことができる。すなわち、ウェーハの搬送の途中で、ノ
ッチ部を好適に研磨でき、効率がよいという著効を奏す
る。また、従来のような複数の搬送装置、及び複数のチ
ャック装置等を要しないため、装置の構成を簡単にでき
るという著効も奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にかかるウェーハノッチ部の鏡面研磨装
置の一実施例を説明する平面図である。

【図２】図１の実施例の正面図である。

【図３】本発明にかかるノッチ部とバフとの接触状態を
説明する正面説明図である。

【図４】図３の平面及び側面の説明図である。

【図５】図１の実施例に利用されたアームロボットを説
明する斜視図である。

【符号の説明】

１０ ウェーハ １２ ノッチ部 ２０ ウェーハ保持部 ２２ 吸着面 ２４ アームロボット ２６ 回動手首機構 ２８ ロボットアーム部 ３０ 旋回機構 ４０ 回転軸 ４２ 回動軸線 ４５ ウェーハの供給部 ４６ 位置決め機構 ５０ バフ装置 ５２ バフ ５４ 旋回軌跡 ５８ 押圧機構 ６２ ウェーハの排出部

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 円形のウェーハをウェーハ保持部で保持
   し、該ウェーハの周縁に形成されたノッチ部の内端面
   を、軸線を中心に回転するバフを接触させて鏡面研磨す
   るウェーハノッチ部の鏡面研磨装置において、 前記ウェーハ保持部が固定され、該ウェーハ保持部に保
   持された前記ウェーハの平面と平行で且つ前記ノッチ部
   を通る軸線を中心に、前記ウェーハ保持部を介して前記
   ウェーハを回動揺動させる回動手首機構と、 該回動手首機構が、先端の手首部に設けられたロボット
   アーム部と、 前記ウェーハ保持部によって保持された前記ウェーハを
   搬送すべく、前記ロボットアーム部を旋回させる旋回機
   構と、 前記ウェーハが前記ウェーハ保持部によって保持される
   べく、前記ウェーハが供給されて該ウェーハの位置決め
   を行う位置決め機構を備えるウェーハの供給部と、 前記バフが、前記ロボットアーム部の旋回軌跡の接線方
   向に直交する軸線を中心に回転され、前記旋回機構によ
   って搬送された前記ウェーハのノッチ部の内端面を研磨
   するように配設されたバフ装置と、 該バフ装置によって前記ノッチ部の内端面が研磨された
   前記ウェーハが、前記旋回機構によって搬送され、前記
   ウェーハ保持部による保持が解除されて排出されるウェ
   ーハの排出部とを具備することを特徴とするウェーハノ
   ッチ部の鏡面研磨装置。
2. 【請求項２】 前記回動手首機構と、前記ロボットアー
   ム部と、前記旋回機構とを構成要素とするアームロボッ
   トが、垂直多関節ロボットであることを特徴とする請求
   項１記載のウェーハノッチ部の鏡面研磨装置。
3. 【請求項３】 前記バフ装置は、前記バフが前記ノッチ
   部の内端面に所定の圧力で接触すべく、該バフを前記ロ
   ボットアーム部の旋回軌跡の接線方向へ移動させると共
   に押圧させる押圧機構を備えることを特徴とする請求項
   １又は２記載のウェーハノッチ部の鏡面研磨装置。