JP7503960B2 - 洗浄装置 - Google Patents
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Description
本発明の実施形態1に係る洗浄装置を図面に基づいて説明する。図1は、実施形態1に係る洗浄装置を備える研磨装置の構成例を示す斜視図である。図2は、図1に示された研磨装置の加工対象のウエーハの斜視図である。図3は、実施形態1に係る洗浄装置である第1洗浄ユニットの要部の斜視図である。図4は、実施形態1に係る洗浄装置である第2洗浄ユニットの要部の側面図である。図5は、実施形態1に係る洗浄装置である第3洗浄ユニットの要部の側面図である。図6は、各洗浄ユニットの構成を模式的に示す図である。
本発明の実施形態1の変形例に係る洗浄装置を図面に基づいて説明する。図7は、実施形態1の変形例に係る洗浄装置である洗浄ユニットの要部の平面図である。なお、図7は、実施形態1と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
14,14-1,14-2,14-3 洗浄ユニット(洗浄装置)
15 電源ユニット
18 洗浄水供給源
111 吸引パッド(洗浄対象)
121 スピンナーテーブル(洗浄対象)
141 ブラシ部
142 基台
146 洗浄水供給路
147 超音波振動子
151 電流測定手段
152 電圧測定手段
153 調整部
200 ウエーハ
Claims (1)
- 洗浄装置であって、
該洗浄装置は、
洗浄対象に接触するブラシ部と、
該ブラシ部を支持する基台と、を備え、
該基台は、
洗浄水供給源と連通し、該洗浄対象に洗浄水を供給する洗浄水供給路と、
電源ユニットと接続される超音波振動子と、を含み、
該洗浄水供給路から洗浄水を供給しながら、該超音波振動子に電圧を印加し、該ブラシ部を洗浄対象に接触させた状態で振動させ、洗浄対象を洗浄するとともに、
該超音波振動子に電圧を印加する電源ユニットは、
該超音波振動子に印加される電圧を測定する電圧測定手段と、
該超音波振動子に電圧を印加することで発生する電流値を測定する電流測定手段と、
該電流値を一定になるように該電圧を調整することで、該超音波振動子の振動を一定に維持する調整部と、を有し、
該調整部が調整する該電圧がしきい値を下回る場合、該ブラシ部が摩耗して洗浄時の抵抗が少なくなったと判定し該ブラシ部の交換を促す信号を発信することを特徴とする洗浄装置。
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