KR20080062820A - 글래스 지지핀 및 이를 구비한 반송 정반 - Google Patents

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Abstract

복수의 분기핀을 사용하여 글래스 기판의 지지하중을 분산시킴으로써, 글래스 기판의 크랙을 방지할 수 있고, 글래스 기판을 지지하는 지지면을 평탄하게 함으로써, 후속 공정에서 균일한 코팅면을 유지할 수 있는 글래스 지지핀 및 이를 구비한 반송 정반이 제공된다. 글래스 지지핀은, 정반 척 상에서 글래스 기판 배면 방향으로 상승 및 하강하는 중심 축; 중심 축으로부터 각각 분기되며, 글래스 기판의 배면을 각각 지지하는 복수의 분기핀; 및 중심 축과 복수의 분기핀 각각의 사이에 삽입되며, 중심 축으로부터 이격되는 장력을 복수의 분기핀에 전달하는 탄성부재를 포함한다.
액정 표시장치, 글래스, 지지핀, 정반 척, 분기

Description

글래스 지지핀 및 이를 구비한 반송 정반 {Glass surport pin, and carrier surface plate}
도 1a 및 도 1b는 각각 종래의 기술에 따른 글래스 지지핀의 배열을 나타내는 평면도 및 수직 단면도이다.
도 2는 종래의 기술에 따른 글래스 지지핀의 문제점을 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 글래스 지지핀이 상승된 상태의 외형을 나타내는 도면이다.
도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 글래스 지지핀이 하강된 상태의 외형을 나타내는 도면이다.
도 5a 및 도 5b는 각각 본 발명의 제1 실시예에 따른 글래스 지지핀의 배열을 나타내는 평면도 및 수직 단면도이다.
도 6a 및 도 6b는 각각 본 발명의 제1 실시예에 따른 글래스 지지핀의 상승 및 하강시의 반송 정반을 나타내는 도면이다.
도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 글래스 지지핀이 상승된 상태의 외형을 나타내는 도면이다.
도 8은 본 발명의 제2 실시예에 따른 글래스 지지핀이 하강된 상태의 외형을 나타내는 도면이다.
<도면의 주요 부분에 관한 부호의 설명>
100: 글래스 기판 210: 정반 척(Chuck)
220, 320: 글래스 지지핀 221: 중심 축
321: 베이스부재 222, 322: 분기 핀
223, 323: 고정 팁 224, 324: 탄성부재
225: 구동축
본 발명은 평판 표시장치의 제조 장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로, 액정 표시장치 제조에 사용되는 글래스 지지핀 및 이를 구비한 반송 정반에 관한 것이다.
일반적으로, 액정 표시장치(Liquid Crystal Display: LCD)용 글래스 기판의 단위 공정들은 LCD 장치의 생산성을 증대시키기 위하여 대부분 자동화 시스템으로 이루어지고 있다. 이에 따라, 특정 설비에서 특정 단위 공정으로 가공된 상기 LCD용 기판은 카세트(cassette)에 보관된 상태로 이재 로봇에 의해서 다른 단위 공정을 위한 다른 설비로 이송한다.
특정 설비로부터 언로딩된 LCD용 기판을 카세트에 보관하기 이전 단계 또는 다른 설비로 로딩시키기 이전 단계에서 정렬 유닛에 의한 LCD용 기판의 정렬 과정 이 수행된다.
정렬 유닛은 LCD용 기판과 접촉하는 지지핀 및 LCD용 기판을 정렬시키는 정렬 부재를 구비한다. 오정렬된 LCD용 기판이 정렬 부재에 의해서 정렬되는 과정에서 LCD용 기판은 지지핀과 접촉된 상태에서 정렬 위치로 이동한다. 여기서, 지지핀은 이동하는 과정에서 발생하는 LCD용 기판과 지지핀과의 마찰에 의해서, LCD용 기판의 표면에는 스크래치(scratch) 또는 크랙(crack)이 발생하여 LCD용 기판이 손상된다.
LCD용 글래스 기판은 그 길이와 폭에 비하여 두께가 약 0.7∼2.2mm로 매우 얇기 때문에 외부의 충격에 약하고, 자중으로 인한 처짐 현상 즉, 휨 현상이 크게 발생한다.
또한, LCD 패널이 대형화함에 따라, 지지핀의 글래스 부양시 크랙 발생량이 증가하고, 건조되지 않은 포토레지스트(PR) 등의 액체 도포막이 흘러내려 얼룩을 발생시키는 등 균일한 두께의 도포막을 형성하는데 지장을 초래하고 있다.
도 1a 및 도 1b는 각각 종래의 기술에 따른 글래스 지지핀의 배열을 나타내는 평면도 및 수직 단면도이다.
도 1a는 반송 척(21) 상에 형성된 글래스 지지핀(22)을 부양하여 글래스 기판(10)을 지지하고 있는 것을 나타낸다.
구체적으로, 로봇 팔이 글래스 기판(10)을 운반하여 정반 척(21) 위에 올려놓는다. 이후, 정반 척(21) 표면에서 글래스 기판(10)을 진공 흡착한다. 이후, 포토레지스트 코터(PR Coater) 등의 장비를 이용하여, 글래스 기판(10) 표면의 코 팅을 실시한다. 이때, 글래스 지지핀(220)이 반송 정반에서 상승하여 이재 로봇이 글래스 기판(10)을 가져갈 때까지 글래스 기판(10)을 부양한다. 이후, 이재 로봇이 글래스 기판(10) 다음 공정으로 이송한다.
여기서, 글래스 기판(10)을 지지하기 위한 지지핀(22)이 폭 340mm 및 길이 365mm 간격으로 배치되고, 예를 들면, 총 36개의 핀이 글래스 기판(10)의 무게를 지지하는데, 이때, 각 지지핀에 걸리는 하중이 증가하게 된다.
도 1b를 참조하면, 글래스 기판(10) 이송을 위해 로봇 팔(또는 포크)이 글래스 기판(10) 하부로 진입하게 되고, 이때 글래스 지지핀(22)을 이용하여 글래스 기판(10)의 부양을 실시하게 된다.
도 2는 종래의 기술에 따른 글래스 지지핀의 문제점을 설명하기 위한 도면이다. 여기서, 도면부호 L은 대형화된 글래스 기판(10)의 길이를 나타내고, 도면부호 d는 지지핀(22) 사이의 간격을 나타내며, 도면부호 22a는 지지핀(22)의 몸체를 나타내고, 도면부호 22b는 몸체 상부에 형성된 고정 팁을 각각 나타낸다.
도 2를 참조하면, 글래스 기판(10)의 대형화에 따른 무게 증가로 인해 정반 척(21) 상의 지지핀(22)에 지지를 받은 면과 지지를 받지 못한 글래스 면의 높낮이 편차가 발생하며, 이에 따라 글래스 기판(10) 부양시에 낮은 언덕 모양의 굴곡이 발생하게 된다. 이로 인하여, 글래스 기판(10) 배면에 크랙이 발생하게 된다는 문제점이 있다.
또한, 굳어지지 않은 포토레지스트(PR) 등의 액체가 봉우리에서 골짜기 방향으로 미세히 흘러내려 고이게 되는 현상이 발생함으로써 얼룩이나 불균일한 코팅막 을 형성한다는 문제점이 있다.
전술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 글래스 기판의 지지하중을 분산시킴으로써, 글래스 기판의 크랙을 방지할 수 있는 글래스 지지핀 및 이를 구비한 반송 정반을 제공하기 위한 것이다.
전술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 다른 목적은, 글래스 기판을 지지하는 지지면을 평탄하게 함으로써, 후속 공정에서 균일한 코팅면을 유지할 수 있는 글래스 지지핀 및 이를 구비한 반송 정반을 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 글래스 지지핀은, 정반 척(chuck) 상에서 글래스 기판 배면 방향으로 상승 및 하강하는 중심 축(base shaft); 상기 중심 축으로부터 각각 분기되며, 상기 글래스 기판의 배면을 각각 지지하는 복수의 분기핀; 및 상기 중심 축과 복수의 분기핀 각각의 사이에 삽입되며, 상기 중심 축으로부터 이격되는 장력을 상기 복수의 분기핀에 전달하는 탄성부재를 포함하여 구성된다.
여기서, 상기 복수의 분기핀 각각은, 상기 중심 축에 하단부가 고정되고, 상단부가 상기 중심 축으로부터 분기하는 몸체, 및 상기 몸체의 상단부에 접착되고, 상기 글래스 기판의 배면과 접촉하여 이를 지지하는 고정 팁을 포함할 수 있다.
여기서, 상기 복수의 분기핀은 상기 중심 축을 기준으로 좌우대칭으로 펴지는 것을 특징으로 하며, 상기 복수의 분기핀은 우산의 뼈대가 펼쳐진 형상으로 상기 중심 축으로부터 분기되는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 복수의 분기핀은 상기 중심 축을 기준으로 30°내지 60° 범위로 분기될 수 있다.
여기서, 상기 복수의 분기핀은 상기 정반 척의 내부로 하강시에 상기 중심 축 방향으로 각각 접혀지는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 복수의 분기핀은 PEEK(Poly ether ether ketone) 재질인 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 탄성부재는 스프링일 수 있다.
또한, 상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 글래스 지지핀은, 정반 척 상에서 글래스 기판 배면 방향으로 상승 및 하강하는 베이스부재; 상기 베이스부재 상에 하단부가 각각 고정되고, 상단부가 각각 분기되어 상기 글래스 기판의 배면을 지지하는 복수의 분기핀; 및 상기 복수의 분기핀 사이에 각각 삽입되며, 상기 상단부가 서로 이격되는 장력을 상기 복수의 분기핀에 각각 전달하는 탄성부재를 포함하여 구성된다.
여기서, 상기 복수의 분기핀 각각은, 상기 베이스부재에 하단부가 고정되고, 상기 상단부가 분기하는 몸체; 및 상기 몸체의 상단부에 접착되고, 상기 글래스 기판의 배면과 접촉하여 이를 지지하는 고정 팁을 포함할 수 있다.
여기서, 상기 복수의 분기핀은 원통형이 되도록 서로 결합하며, 상기 원통형을 기준으로 좌우대칭으로 쪼개지는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 복수의 분기핀은 상기 정반 척의 내부로 하강시에 접혀지는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 글래스 지지핀을 구비한 반송 정반은, 글래스 기판 배면 방향으로 상승 및 하강하는 중심 축(base shaft)과 상기 중심 축으로부터 분기하여 상기 글래스 기판의 배면을 각각 지지하는 복수의 분기핀을 구비한 글래스 지지핀; 상기 글래스 기판을 진공 흡착하며, 상기 글래스 지지핀이 상승 및 하강하는 홀이 형성된 정반 척; 및 상기 글래스 지지핀의 중심 축을 상기 정반 척으로부터 상승 및 하강시키는 구동부재를 포함하여 구성된다.
여기서, 상기 글래스 지지핀의 복수의 분기핀 각각은, 상기 중심 축에 하단부가 고정되고, 상단부가 상기 중심 축으로부터 분기하는 몸체; 및 상기 몸체의 상단부에 접착되고, 상기 글래스 기판의 배면과 접촉하여 이를 지지하는 고정 팁을 포함할 수 있다.
여기서, 상기 글래스 지지핀의 복수의 분기핀 각각은, 상기 복수의 분기핀 사이에 각각 삽입되며, 상기 상단부가 서로 이격되는 장력을 상기 복수의 분기핀에 각각 전달하는 탄성부재를 추가로 포함할 수 있다.
여기서, 상기 복수의 분기핀은 상기 중심 축을 기준으로 좌우대칭으로 펴지는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 복수의 분기핀은 상기 정반 척의 내부로 하강시에 상기 중심 축 방향으로 각각 접혀지는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 복수의 분기핀은 상기 중심 축을 기준으로 30°내지 60° 범위로 분기될 수 있다.
또한, 상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 글래스 지지핀을 구비한 반송 정반은, 글래스 기판 배면 방향으로 상승 및 하강하는 베이스부재와 상기 베이스부재 상에 하단부가 각각 고정되고, 상단부가 각각 분기되어 상기 글래스 기판의 배면을 지지하는 복수의 분기핀을 구비한 글래스 지지핀; 상기 글래스 기판을 진공 흡착하며, 상기 글래스 지지핀이 상승 및 하강하는 홀이 형성된 정반 척; 및 상기 글래스 지지핀의 중심 축을 상기 정반 척으로부터 상승 및 하강시키는 구동부재를 포함하여 구성된다.
여기서, 상기 복수의 분기핀 각각은, 상기 베이스부재에 하단부가 고정되고, 상기 상단부가 분기하는 몸체; 및 상기 몸체의 상단부에 접착되고, 상기 글래스 기판의 배면과 접촉하여 이를 지지하는 고정 팁을 포함할 수 있다.
여기서, 상기 복수의 분기핀은 원통형이 되도록 서로 결합하며, 상기 원통형을 기준으로 좌우대칭으로 쪼개지는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 복수의 분기핀은 상기 정반 척의 내부로 하강시에 접혀지는 것을 특징으로 한다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있 다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있을 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것으로, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 글래스 지지핀 및 이를 구비하는 반송 정반을 상세히 설명한다.
본 발명의 실시예는, 대형 글래스 기판의 제조 공정에서 글래스 지지핀의 구조 변경을 통해 크랙을 방지하고, 균일한 도포막을 유지하는 것을 개시한다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 글래스 지지핀이 상승된 상태의 외형을 나타내는 도면이고, 도 4는 글래스 지지핀이 하강된 상태의 외형을 나타내는 도면이다.
먼저, 도 3을 참조하면, 본 발명의 제1 실시예에 따른 글래스 지지핀(220)은, 중심 축(221), 복수의 분기핀 및 탄성부재(224)를 포함한다.
중심 축(base shaft: 221)은 정반 척(chuck) 상에서 글래스 기판 배면 방향으로 상승 및 하강하게 된다.
복수의 분기핀(222) 각각은 그 상부에 고정 팁(223)이 형성되며, 상기 중심 축(221)으로부터 각각 분기되며, 글래스 기판의 배면을 각각 지지한다.
여기서, 복수의 분기핀(222)은 상기 중심 축(221)에 하단부가 고정되고, 상단부는 상기 중심 축(221)으로부터 분기하여 글래스 기판을 지지하게 된다. 또한, 고정 팁(223)은 상기 분기핀(222)의 상단부에 접착되고, 실질적으로, 상기 글래스 기판의 배면과 접촉하여 이를 지지하게 된다.
복수의 분기핀(222)은 상기 중심 축(221)을 기준으로 좌우대칭으로 펴지는데, 예를 들면, 복수의 분기핀은 우산의 뼈대가 펼쳐진 형상으로 상기 중심 축(221)으로부터 분기될 수 있다. 이때, 복수의 분기핀(222)은 상기 중심 축(221)을 기준으로 30°내지 60° 범위로 분기될 수 있다. 상기 복수의 분기핀(222)은 PEEK(Poly ether ether ketone) 재질일 수 있고, PEEK는 내열, 내화학, 강성 재질로서, 글래스 접촉부에 사용된다.
통상적으로, LCD에서 사용하는 글래스 지지핀의 경우, 5Φ의 직경 및 100~200㎜ 길이, SUS + PEEK 재질을 주로 사용하고 있다.
또한, 글래스와 접촉하는 글래스 지지핀(220)의 고정 팁(223)의 형상은 반구 혹은 원통형일 수 있다.
탄성부재(224)는 상기 중심 축(221)과 복수의 분기핀(222, 223) 각각의 사이에 삽입되며, 상기 중심 축(221)으로부터 이격되는 장력을 상기 복수의 분기핀(222)에 전달하게 된다. 여기서, 탄성부재(224)는 스프링일 수 있으며, 이에 국한되는 것은 아니다.
도 4는 글래스 지지핀이 하강된 상태의 외형도로서, 복수의 분기핀(222)이 접힌 상태를 나타낸다. 이때, 복수의 분기핀(222)은 정반 척의 내부로 하강시에 상기 중심 축(221) 방향으로 각각 접혀지게된다.
결국, 본 발명의 제1 실시예에 따른 복수의 분기핀(222)이 사방으로 펴지는 시점은 동일하게 글래스 지지핀이 정반 척 하부에서 상부로 상승하는 시점이 되며, 또한 글래스 지지핀(220)이 하강하면서 펴져 있던 분기핀(222)은 다시 수축하게 된다.
이때, 글래스 지지핀(220)이 분기하기 위해서는 중심 축(221)과 복수의 분기핀(222) 사이에 장력을 줄 수 있는 탄성부재, 예를 들면, 스프링(Spring)이 있어야 한다.
한편, 도 5a 및 도 5b는 각각 본 발명의 제1 실시예에 따른 글래스 지지핀의 배열을 나타내는 평면도 및 수직 단면도이다.
도 5a를 참조하면, 본 발명의 제1 실시예에 따른 글래스 지지핀(220)은 중심 축당 1개에서 각각 2~6개로 늘어남에 따라, 전체 지지핀(220)의 수는 기존의 36개에서 72~216개로 늘어나게 된다. 도 5a는 글래스 지지핀(220)이 각각 4개의 분기핀(222)으로 분기하여 144개가 되는 것을 나탄낸다.
도 5b는 정반 척(21) 상에 홀이 형성되어 글래스 지지핀(220)이 글래스 기판(100)을 부양하는 것을 나타낸다. 이때, 글래스 기판(100)을 지지하는 각 글래스 지지핀(220)당 걸리는 지지 하중은 급격히 낮아지게 되고, 글래스 크랙 발생량을 낮출수 있게 된다. 이에 따라 크랙으로 인한 손실 감소를 통한 수율을 향상시킬 수 있다.
결국, 기존의 36개로 지지하던 대형 글래스 면이 100개 이상의 핀으로 지지 됨으로써, 글래스 기판(100) 배면에 발생하던 굴곡의 최고점과 최저점의 높이차가 줄어들게 되어, 균일하게 도포된 코팅막을 이송 과정중에서도 균일하게 유지할 수 있다.
한편 도 6a 및 도 6b는 각각 본 발명의 제1 실시예에 따른 글래스 지지핀의 상승 및 하강시의 반송 정반을 나타내는 도면이다.
먼저, 이재 로봇에 의해 일반 카세트에 적재된 글래스가 반송 정반 상부로 옮겨지고, 정반 척(210) 표면에서 글래스 기판을 진공 흡착한다. 이후, 포토레지스트 코터 등의 장비를 이용하여, 글래스 기판 표면에 코팅을 실시한다. 이때, 글래스 지지핀(220)이 정반 척에서 상승하여 이재 로봇이 글래스 기판을 가져갈 때까지 글래스 기판을 부양한다. 후속적으로, 단위 공정이 완료되면, 이재 로봇은 글래스 기판을 다음 공정으로 이송하게 된다.
도 3 및 도 6a를 참조하면, 본 발명의 제1 실시예에 따른 글래스 지지핀을 구비한 반송 정반은, 글래스 지지핀(220), 정반 척(210) 및 구동축(225)을 포함한다.
정반 척(210) 은 상기 글래스 기판을 진공 흡착하며, 상기 글래스 지지핀이 상승 및 하강하는 홀이 형성되어 있다.
구동축(225)은 상기 글래스 지지핀의 중심 축(221)을 상기 정반 척(210)으로부터 상승 및 하강시키는 역할을 한다.
글래스 지지핀(220)은 글래스 기판 배면 방향으로 상승 및 하강하는 중심 축(221)과 상기 중심 축(221)으로부터 분기하여 상기 글래스 기판의 배면을 각각 지지하는 복수의 분기핀(222)을 구비한다.
글래스 지지핀(220)의 복수의 분기핀(222)은 일반적인 우산의 뼈대가 펴고 접히는 것과 유사한 모습으로 동작하게 된다. 이때, 글래스 지지핀(220)의 중심 축(221)에 약 2~6개의 분기핀(222)들이 스프링(224) 등의 장치와 함께 부착 및 고정된다.
또한, 글래스 기판의 부양을 위해 글래스 지지핀(220)의 중심 축(221)이 상승 또는 하강할 때, 중심 축(221)을 기준으로 좌우 대칭으로 퍼져나가며, 글래스 기판을 여러 위치에서 분산 지지하게 된다.
이때, 각 분기핀(222)들이 벌어질수 있는 최대 거리는 이재 로봇의 로봇 팔과 간섭이 일어나지 않는 범위를 경계로 지정한다.
도 6b는 반송 정반에서, 글래스 지지핀(220)이 하강된 상태를 나타내며, 복수의 분기핀(222)이 접힌 상태를 나타내며, 도 4 및 도 6b를 참조하면, 복수의 분기핀(222)은 정반 척(210)의 내부로 하강시에 상기 중심 축(221) 방향으로 각각 접혀지는 것을 나타낸다. 즉, 정반 척(210) 상에 형성된 홀 내부로 글래스 지지핀(220)이 하강하게 되는데, 홀 내벽을 통해 상기 복수의 분기핀(222)들이 접혀지게 된다.
한편, 도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 글래스 지지핀이 상승된 상태의 외형을 나타내는 도면이고, 도 8은 글래스 지지핀이 하강된 상태의 외형을 나타내는 도면이다.
도 7을 참조하면, 본 발명의 제2 실시예에 따른 글래스 지지핀(320)은, 베이 스부재(321), 복수의 분기핀 및 탄성부재(324)를 포함한다.
복수의 분기핀(222)은 그 상부에 고정 팁(323)이 형성되며, 상기 중심 축(321)으로부터 각각 분기되며, 글래스 기판의 배면을 각각 지지한다.
베이스부재(321)는 정반 척 상에서 글래스 기판 배면 방향으로 상승 및 하강한다.
복수의 분기핀은 몸체(322) 및 고정 팁(323)를 포함하며, 상기 베이스부재(321) 상에 하단부가 각각 고정되고, 상단부가 각각 분기되어 상기 글래스 기판의 배면을 지지한다.
여기서, 몸체(322)는 상기 베이스부재(321)에 하단부가 고정되고, 상기 상단부가 분기하며, 또한, 상기 고정 팁(323)은 상기 몸체(322)의 상단부에 접착되고, 상기 글래스 기판의 배면과 접촉하여 이를 지지하는 역할을 한다. 편의상 복수의 지지핀은 분기핀(322)과 동일한 도면부호를 사용하여 설명하기로 한다.
여기서, 복수의 분기핀(322)은 원통형이 되도록 서로 결합하며, 상기 원통형을 기준으로 좌우대칭으로 쪼개지게 된다.
탄성부재(324)는 상기 복수의 분기핀(322) 사이에 각각 삽입되며, 상기 상단부가 서로 이격되는 장력을 상기 복수의 분기핀(322)에 각각 전달한다.
도 8은, 상기 복수의 분기핀(322)이 정반 척의 내부로 하강시에 접혀진 상태를 나타낸다.
한편, 도 7 및 도 8에 도시된 본 발명의 제2 실시예에 따른 글래스 지지핀(320)을 구비한 반송 정반이 형성될 수 있는데, 전술한 도 6a 및 도 6b와 유사하 므로, 상세한 설명은 생략한다.
결국, 본 발명의 실시예에 따르면, 막대형 모양의 종래 지지핀을 상하 수직 이동에 따라 펼쳐졌다 접어지는 우산형 모양의 기구로 변경함으로써, 1950mm x 2250mm의 대형 글래스를 지지하기 위해 사용되는 기존의 36개의 핀의 수가 2배 이상으로 증가하게 되는 효과를 가져오게 되므로, 글래스 지지면이 평탄해진다. 또한, 글래스의 총 중량이 기존의 36개의 핀에 집중되어 하중량이 증가했던 기존의 문제점을, 전술한 바와 같이 분기된 각각의 분기핀들에 의해 글래스 지지 하중이 낮아짐으로써 글래스의 크랙 발생율을 저하시킬 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해되어야만 한다.
본 발명에 따르면, 글래스 지지면이 평탄해짐으로써, 균일한 코팅면 유지할 수 있고, 이에 따라 글래스 수율을 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 글래스 지지핀의 수가 증가되므로, 글래스 집중 하중이 분산되어 글래스 기판의 크랙 발생을 감소시킴으로써, 글래스 대형화에 대응할 수 있고, 또한, 크랙 감소로 인해 글래스 기판의 수율을 향상시킬 수 있다.

Claims (25)

  1. 정반 척(chuck) 상에서 글래스 기판 배면 방향으로 상승 및 하강하는 중심 축(base shaft);
    상기 중심 축으로부터 각각 분기되며, 상기 글래스 기판의 배면을 각각 지지하는 복수의 분기핀; 및
    상기 중심 축과 복수의 분기핀 각각의 사이에 삽입되며, 상기 중심 축으로부터 이격되는 장력을 상기 복수의 분기핀에 전달하는 탄성부재
    를 포함하는 글래스 지지핀.
  2. 제1항에 있어서, 상기 복수의 분기핀 각각은,
    상기 중심 축에 하단부가 고정되고, 상단부가 상기 중심 축으로부터 분기하는 몸체; 및
    상기 몸체의 상단부에 접착되고, 상기 글래스 기판의 배면과 접촉하여 이를 지지하는 고정 팁
    을 포함하는 글래스 지지핀.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 분기핀은 상기 중심 축을 기준으로 좌우대칭으로 펴지는 것을 특징으로 하는 글래스 지지핀.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 복수의 분기핀은 우산의 뼈대가 펼쳐진 형상으로 상기 중심 축으로부터 분기되는 것을 특징으로 하는 글래스 지지핀.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 분기핀은 상기 중심 축을 기준으로 30°내지 60° 범위로 분기되는 것을 특징으로 하는 글래스 지지핀.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 분기핀은 상기 정반 척의 내부로 하강시에 상기 중심 축 방향으로 각각 접혀지는 것을 특징으로 하는 글래스 지지핀.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 분기핀은 PEEK(Poly ether ether ketone) 재질인 것을 특징으로 하는 글래스 지지핀.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 탄성부재는 스프링인 것을 특징으로 하는 글래스 지지핀.
  9. 정반 척 상에서 글래스 기판 배면 방향으로 상승 및 하강하는 베이스부재;
    상기 베이스부재 상에 하단부가 각각 고정되고, 상단부가 각각 분기되어 상기 글래스 기판의 배면을 지지하는 복수의 분기핀; 및
    상기 복수의 분기핀 사이에 각각 삽입되며, 상기 상단부가 서로 이격되는 장력을 상기 복수의 분기핀에 각각 전달하는 탄성부재
    를 포함하는 글래스 지지핀.
  10. 제9항에 있어서, 상기 복수의 분기핀 각각은,
    상기 베이스부재에 하단부가 고정되고, 상기 상단부가 분기하는 몸체; 및
    상기 몸체의 상단부에 접착되고, 상기 글래스 기판의 배면과 접촉하여 이를 지지하는 고정 팁
    을 포함하는 글래스 지지핀.
  11. 제9항에 있어서,
    상기 복수의 분기핀은 원통형이 되도록 서로 결합하며, 상기 원통형을 기준으로 좌우대칭으로 쪼개지는 것을 특징으로 하는 글래스 지지핀.
  12. 제9항에 있어서,
    상기 복수의 분기핀은 상기 정반 척의 내부로 하강시에 접혀지는 것을 특징으로 하는 글래스 지지핀.
  13. 제9항에 있어서,
    상기 복수의 분기핀은 PEEK(Poly ether ether ketone) 재질인 것을 특징으로 하는 글래스 지지핀.
  14. 제9항에 있어서,
    상기 탄성부재는 스프링인 것을 특징으로 하는 글래스 지지핀.
  15. 글래스 기판 배면 방향으로 상승 및 하강하는 중심 축(base shaft)과 상기 중심 축으로부터 분기하여 상기 글래스 기판의 배면을 각각 지지하는 복수의 분기핀을 구비한 글래스 지지핀;
    상기 글래스 기판을 진공 흡착하며, 상기 글래스 지지핀이 상승 및 하강하는 홀이 형성된 정반 척; 및
    상기 글래스 지지핀의 중심 축을 상기 정반 척으로부터 상승 및 하강시키는 구동부재
    를 포함하는 반송 정반.
  16. 제15항에 있어서, 상기 글래스 지지핀의 복수의 분기핀 각각은,
    상기 중심 축에 하단부가 고정되고, 상단부가 상기 중심 축으로부터 분기하는 몸체; 및
    상기 몸체의 상단부에 접착되고, 상기 글래스 기판의 배면과 접촉하여 이를 지지하는 고정 팁
    을 포함하는 반송 정반.
  17. 제16항에 있어서, 상기 글래스 지지핀의 복수의 분기핀 각각은,
    상기 복수의 분기핀 사이에 각각 삽입되며, 상기 상단부가 서로 이격되는 장력을 상기 복수의 분기핀에 각각 전달하는 탄성부재
    를 추가로 포함하는 반송 정반.
  18. 제15항에 있어서,
    상기 복수의 분기핀은 상기 중심 축을 기준으로 좌우대칭으로 펴지는 것을 특징으로 하는 반송 정반.
  19. 제15항에 있어서,
    상기 복수의 분기핀은 상기 정반 척의 내부로 하강시에 상기 중심 축 방향으로 각각 접혀지는 것을 특징으로 하는 반송 정반.
  20. 제15항에 있어서,
    상기 복수의 분기핀은 상기 중심 축을 기준으로 30°내지 60° 범위로 분기되는 것을 특징으로 하는 반송 정반.
  21. 글래스 기판 배면 방향으로 상승 및 하강하는 베이스부재와 상기 베이스부재 상에 하단부가 각각 고정되고, 상단부가 각각 분기되어 상기 글래스 기판의 배면을 지지하는 복수의 분기핀을 구비한 글래스 지지핀;
    상기 글래스 기판을 진공 흡착하며, 상기 글래스 지지핀이 상승 및 하강하는 홀이 형성된 정반 척; 및
    상기 글래스 지지핀의 중심 축을 상기 정반 척으로부터 상승 및 하강시키는 구동부재
    를 포함하는 반송 정반.
  22. 제21항에 있어서, 상기 복수의 분기핀 각각은,
    상기 베이스부재에 하단부가 고정되고, 상기 상단부가 분기하는 몸체; 및
    상기 몸체의 상단부에 접착되고, 상기 글래스 기판의 배면과 접촉하여 이를 지지하는 고정 팁
    을 포함하는 반송 정반.
  23. 제22항에 있어서, 상기 복수의 분기핀 각각은,
    상기 복수의 분기핀 사이에 각각 삽입되며, 상기 상단부가 서로 이격되는 장력을 상기 복수의 분기핀에 각각 전달하는 탄성부재
    를 추가로 포함하는 반송 정반.
  24. 제21항에 있어서,
    상기 복수의 분기핀은 원통형이 되도록 서로 결합하며, 상기 원통형을 기준으로 좌우대칭으로 쪼개지는 것을 특징으로 하는 반송 정반.
  25. 제21항에 있어서,
    상기 복수의 분기핀은 상기 정반 척의 내부로 하강시에 접혀지는 것을 특징으로 하는 반송 정반.
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