KR20080061317A - 도포액 공급 장치 - Google Patents

Abstract

도포액 수용 부재로부터 누출되는 도포액이 외부에 도달하는 것을 확실하게 방지한다.

도포액이 수용되고, 도포액 유동부(18)를 구비한 도포액 수용 부재(5)와, 도포액 수용 부재(5) 안에 삽입되어, 도포액 수용 부재(5) 안에 수용된 도포액을, 도포액 유동부(18)를 통해 외부로 토출시키는 도포액 압출 부재(6)를 구비한다.

도포액 수용 부재(5)는, 도포액 압출 부재(6)의 삽입부(9)에, 삽입부(9)를 통해 누출되는 도포액을 회수하기 위한 도포액 회수부(22)를 구비한다.

Description

도포액 공급 장치 {APPLICATION LIQUID SUPPLY DEVICE}

본 발명은, 도포 장치에 채용되는 도포액 공급 장치에 관한 것이다.

종래, 도포액 공급 장치로는, 도포액 수용 부재의 개구연(開口緣)에 설치한매니폴드(manifold)의 내면에 밀봉(seal) 부재를 형성하고, 도포액 압출 부재가, 밀봉 부재를 통해 밀봉되고, 매니폴드의 내면과 도포액 압출 부재 사이에 형성되는 환상(環狀)의 공간에, 도포액 도입부를 통해 도포액을 도입하도록 한 구성이 공지이다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조).

특허 문헌 1은, 일본 특개 2005-246201호의 공보.

그러나, 상기 종래의 도포액 공급 장치로는, 밀봉 부재가 도포액 압출(押出) 부재의 외주면을 접접(摺接:sliding contact)하고, 도포액 압출 부재의 외주면에 부착된 도포액이 밀봉 부재로 밀봉되지 않고 외부로 누출되는 일이 있다.

외부에 누출된 도포액은 외기(外氣)와 접촉해 고체화(固體化)하고, 도포액 압출 부재의 동작 불량을 발생시키거나, 다시 도포액 수용 부재 안으로 들어와서 도포액에 혼입하여, 적절한 도포에 방해가 되기도 했던 문제가 있다.

그래서, 본 발명은, 도포액 수용 부재로부터 누출되는 도포액이 외부에 도달하는 것을 확실하게 방지할 수 있는 도포액 공급 장치를 제공하는 것을 과제로 한다.

본 발명은, 상기 과제를 해결하기 위한 수단으로서,

도포액 공급 장치를,

도포액이 수용되고, 도포액 유동부를 구비한 도포액 수용 부재와,

상기 도포액 수용 부재 안에 삽입되고, 상기 도포액 수용 부재 안에 수용된 도포액을, 상기 도포액 유동부를 통해 외부로 토출시키는 도포액 압출 부재를 구비하고,

상기 도포액 수용 부재는, 상기 도포액 압출 부재의 삽입부에, 이 삽입부를 통해 누출되는 도포액을 회수하기 위한 도포액 회수부를 구비한 구성으로 한 것이다.

이 구성에 의해, 가령 도포액 압출 부재의 외주면에 부착된 도포액이 도포액 수용 부재로부터 누출되더라도, 거기에는 도포액 회수부가 설치되어 있으므로, 외기와 접촉하는 일이 없다.

따라서, 도포액이 고체화하여 악영향을 끼치는 일이 없으며, 메인터넌스를 필요로 하는 일 없이 장기간에 걸쳐 양호한 도포 작업을 실행하는 것이 가능하게 된다.

상기 도포액 회수부는, 상기 도포액을 용해시키는 세정액이 충전되는 세정 실로 구성하면 좋다.

이 구성에 의해, 도포액 수용 부재로부터 누출된 도포액은 세정액으로 용해되어, 도포액 수용 부재 안으로 되돌아오는 것을 방지할 수 있다.

상기 세정실은, 충전되는 세정액을, 교환 시기 특정 정보에 근거해 교환 가능하게 구성하는 것이 바람직하다.

교환 시기 특정 정보로는, 예를 들면, 타이머 등으로 사용 기간을 측정해, 이 사용 기간이 미리 설정한 시간에 도달하면, 교환 시기가 왔음을 통보하거나, 자동적으로 교환하도록 하면 좋다.

상기 도포액 압출 부재는, 상기 도포액 수용 부재의 내주면에 대해 소정 간격을 유지하면서 왕복 이동이 가능하고,

상기 도포액 회수부는, 상기 도포액 압출 부재를 접동 가능하게 안내하는 안내 구멍을 구비한 격벽부(隔璧部)에 의해 상기 도포액 수용 부재 안에 형성되는 배출용 도포액 수용실로 구성하고,

상기 배출용 도포액 수용실은, 상기 도포액을 공급 및 배출 가능한 구성으로 구비하는 것이 바람직하다.

이 구성에 의해, 도포액 압출 부재의 외주면에 부착되는 도포액은, 우선 격벽부에서 누출이 방지된다. 그리고, 배출용 도포액 수용실 안으로 누출되었다 하더라도, 배출용 도포액 수용실 안으로 공급되는 도포액과 함께 외부로 배출된다.

즉, 배출용 도포액 수용실에서 도포액을 공급, 배출시킴으로써 유동 상태를 확보하고 있다. 따라서, 만일 도포액 수용 부재의 외부에 도포액 압출 부재의 외주면에 부착된 도포액이 누출되어 고체화(固體化)가 되었다 하더라도, 배출용 도포액 수용실에서 형성되는 도포액의 유동에 의해 외부로 배출할 수 있다. 또한, 배출한 도포액은, 재생 처리함으로써 순환시켜 재이용하는 것도 가능하다.

상기 도포액 수용 부재의 도포액 유동부는,

상기 도포액 압출 부재의 삽입부 쪽에 설치한 도포액 공급부와,

상기 삽입부와는 반대쪽에 설치되어, 공급된 도포액이 토출되는 도포액 토출부로 구성해도 좋다.

이 구성에 의해, 도포액 공급부로부터 도포액 수용 부재 안으로 공급된 도포액으로부터 차례로 도포액 토출부를 통해 토출시킬 수 있으므로, 오래된 도포액이 도포액 수용 부재 안에 잔류하기 어렵다.

상기 도포액 수용 부재는, 상기 도포액 공급부와는 반대쪽이며, 가장 높은 위치에 에어 배출부를 구비하는 것이 바람직하다.

이 구성에 따라, 도포액 수용 부재 안으로 공급된 도포액에 의해, 가장 자연스럽게 도포액 수용 부재 안의 에어를 배출하는 것이 가능하게 된다.

상기 배출용 도포액 수용실로의 도포액의 공급은, 격벽부에 형성한 개구부를 통해 이루어지고,

상기 배출용 도포액 수용실로부터의 도포액의 배출은, 상기 도포액 토출부와는 별도로 설치되어, 상기 배출용 도포액 수용실과 연통하는 도포액 배출부를 통해 이루어지도록 하면 된다.

이 구성에 따라, 이물질이 함유되는 것을 상정(想定)하여 형성한 배출용 도포액 수용실 안의 도포액 만을 효과적으로 배출할 수 있다.

본 발명에 따르면, 도포액 수용 부재로부터 누출된 도포액을 도포액 회수부에서 회수하도록 하고 있으므로, 도포액이 외부에 누출되어 고체화하는 등의 문제도 발생하지 않고, 도포 작업을 장기간에 걸쳐 양호한 상태로 유지할 수 있게 된다.

이하, 본 발명의 실시 형태에 대해, 첨부 도면을 참조하면서 설명한다.

또한, 이하의 설명에서는, 동일한 명칭, 부호에 대해서는 동일 혹은 동질(同質)인 부재를 나타내므로, 상세한 설명을 적절히 생략한다.

(제1 실시 형태)

(구성)

도 1은, 제1 실시 형태에 관한 도포 장치를 나타낸다.

이 도포 장치는, 대략, 도포액 탱크(1)와, 도포액 공급 장치(2)와, 도포액 토출 장치(3)와, 제어 장치(4)를 구비한다.

도포액 탱크(1)에는, 도포액이 저장되어, 수시로 도포액 공급 장치(2)로 도포액을 공급하는 것이 가능하게 되어 있다.

도포액으로는, 예를 들면, 유리 기판 위에 도포되는 PDP용 유리 페이스트(paste)를 사용할 수 있다. 단, 이것에 한정되는 것이 아니라, 종래 공지의 여러 가지 도포액을 사용할 수 있다.

도포액 공급 장치(2)는, 도포액 수용 부재(5)와, 도포액 압출 부재(6)와, 구동 부재(7)를 구비한다.

도포액 수용 부재(5)는, 원통(圓筒) 모양의 실린더로 구성되어 있다.

여기서는, 내부의 시인성(視認性)을 높이기 위해, 유리제의 실린더를 사용하고 있지만, 스테인레스 등의 금속제 재료로 형성해도 된다. 단, 내면은 경면(鏡面) 가공 등에 의해 면조도(面粗度)를 작게 억제할 필요가 있다.

도포액 수용 부재(5)의 일단부는 폐쇄되고, 타단부는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 제1 삽통 구멍(8)이 형성된 제1 밀봉벽(9)으로 되어 있다.

상기 제1 삽통 구멍(8)의 내주면 2개소(양단 개구부)에는, 내경(內徑)을 넓힐 수 있었던 단부(10)가 형성되고, 거기에는 O링 등의 제1 밀봉 부재(11)가 각각 배설되어 있다.

도포액 수용 부재(5) 안은, 상기 제1 밀봉벽(9)에 소정 간격으로 설치한 격벽부(12)에 의해, 토출용 도포액 수용실(13)과, 배출용 도포액 수용실(14)로 분리되어 있다.

격벽부(12)에는 상기 제1 밀봉벽(9)의 제1 삽통 구멍(8)과 대향하는 안내 구멍(15)과, 토출용 도포액 수용실(13)로부터 도포액의 유입을 가능하게 하는 2개소의 관통 구멍(16)이 각각 형성되어 있다. 또한, 관통 구멍(16)은, 1개소나 3개소 이상으로 설치해도 상관없다.

도포액 수용 부재(5)에는, 도포액 공급관(17) ,도포액 토출관(18), 에어 배 출관(19) 및 도포액 배출관(20)이 각각 접속되어 있다.

도포액 공급관(17)은, 상기 격벽부(12)의 근방에서, 토출용 도포액 수용실(13)과 연통하여, 도포액 탱크(1)로부터의 도포액을 토출용 도포액 수용실(13) 안으로 공급한다.

또한, 도포액 토출관(18)은, 상기 제1 밀봉벽(9)과는 반대쪽의 단부쪽에서, 토출용 도포액 수용실(13)과 연통하여, 토출된 도포액을 도포액 토출 장치(3)로 유동시킨다.

또한, 에어 배출관(19)은, 상기 도포액 공급관(17)과는 반대쪽의 단부이며, 가장 높은 위치에서, 토출용 도포액 수용실(13)과 연통하고 있다. 이로써, 도포액 공급관(17)을 통해 공급된 도포액에 의해, 토출용 도포액 수용실(13) 안의 에어를 원활하게 외부로 배출할 수 있게 된다.

또한, 도포액 배출관(20)은, 배출용 도포액 수용실(14)과 연통하고 있다.

그리고, 도포액 압출 부재(6)의 외주면에 부착된 이물질(예를 들면, 도포액 압출 부재(6)의 외주면에 부착된 도포액이 제1 밀봉 부재(11)와 접접함으로써 고체화하는 등에 따라 발생한 고형물 등)이나, 후술하는 도포액 회수부(22)로부터 배출용 도포액 수용실(14)로 누출된 세정액을 외부로 배출한다.

이 경우, 배출된 도포액으로부터 이물질 등을 제거하는 재생 처리를 하여, 상기 도포액 공급관(17)으로 환류(還流)시켜서 토출용 도포액 수용실(13) 안으로 공급시키도록 해도 된다.

또한, 상기 각 배관(도포액 공급관(17), 도포액 토출관(18), 에어 배출 관(19), 도포액 배출관(20))에는, 개폐 밸브(21a, 2lb, 21c, 21d)가 각각 설치되어 있다. 그리고, 각 개폐 밸브(21a, 2lb, 21c, 21d)의 개폐 동작은, 후술하는 바와 같이, 제어 장치(4)에 의해 구동 제어하도록 되어 있다.

또한, 도포액 수용 부재(5)에는, 제1 밀봉벽(9)에 인접하여 도포액 회수부 (22)가 설치되어 있다. 여기서는, 도포액 회수부(22)는, 도포액을 용해시킬 수 있는 세정액이 충전된 세정실(22a)을 구비하고 있다. 세정액으로는, 도포액의 용제를 사용할 수 있다. 예를 들면, PGMEA(Propylene Glycol Monomethyl Ether Acetate)가 사용 가능하다. 단, 이것에 한정되는 것이 아니라, 도포액의 종류에 따라 여러 가지 용제를 사용하면 좋다.

도포액 회수부(22)의 일단측 개구부는 제1 밀봉벽(9)에 일체화되고, 타단부는 제2 밀봉벽(23)으로 구성되어 있다.

제2 밀봉벽(23)은, 상기 제1 밀봉벽(9)과 마찬가지로, 상기 제1 삽통 구멍(8)과 대향하는 제2 삽통 구멍(24)이 형성되고, 그 내주면에는 제2 밀봉 부재(25)가 설치되어 있다.

제1 삽통 구멍(8)과 제2 삽통 구멍(24) 사이에는 충분한 거리를 확보하는 것이 바람직하다. 이것에 의해, 관통하는 도포액 압출 부재(6)의 지지 상태가 안정되고, 토출용 도포액 수용실(13) 안으로 침입하는 도포액 압출 부재(6)의 전 영역을 세정 가능하게 된다.

또한, 상기 도포액 회수부(22)에는, 세정액을 교환 가능한 구성을 구비하도록 해도 좋다. 또한, 도포액 회수부(22)로부터 배출한 세정액은, 증류 회수 장치 등에 의해 재이용하여 도포액 회수부(22)로 환류시키도록 구성해도 된다.

도포액 압출 부재(6)는, 금속제 재료(예를 들면, 스테인리스, 철, 또는, 표면에 크롬 도금을 시행한 것)를 원주(圓柱) 모양으로 한 것이다. 도포액 압출 부재(6)의 표면은 경면 가공 등에 의해 면조도가 작게 억제되어 있다.

구동 부재(7)는, 모터(26)의 구동에 의해, 그 회전축에 일체화된 볼나사(27)를 회전시켜, 거기에 나합한 지지부(28)를 통해 상기 도포액 압출 부재(6)를 왕복 이동시키도록 구성되어 있다.

도포액 토출 장치(3)는, 종래 공지의 구성에서, 도포액을, 슬릿 노즐을 통해, 예를 들면, 석정반 등의 지지대(29) 위에 탑재된 PDP(Plasma Display Panel) 등의 피도포 부재(30)에 도포하여 도막(31)을 형성한다(예를 들면, 일본 특개 2002-113411호의 공보, 동 특개평 8-229497호의 공보 등 참조).

제어 장치(4)는, 미리 설정된 제어 프로그램에 따라 각 개폐 밸브(21a, 2lb, 21c, 21d)를 개폐하여, 모터(26) 등을 구동 제어하고, 이하의 각 공정을 실행한다. 단, 개폐 밸브(21a, 2lb)에 대해서는, 전기적으로 제어하는 대신에 기계적으로 개폐하는 체크 밸브를 사용하는 것도 가능하다.

다음에, 상기 구성의 도포액 공급 장치(2)의 동작에 대해 설명한다.

(초기 준비 공정)

우선, 도포액 압출 부재(6)를, 도 2에 나타낸 바와 같이, 가장 후퇴시킨 위치(도포액 압출 부재(6)의 선단면이 격벽부(12)의 토출용 도포액 수용실측의 내면과 같은 면이 되는 위치, 이하, 초기 위치라고 함.)로 이동시킨다. 이때, 개폐 밸 브(21a, 2lb, 21c, 21d)는 모두 폐쇄 상태로 해 두지만, 도포액 압출 부재(6)를 원활하게 동작시키기 위해 개폐 밸브(21c)를 개방하고, 에어 배출관(19)을 통해 외기의 받아들임을 가능하게 해 두어도 된다.

(도포액 공급 공정)

그리고, 도 3에 나타낸 바와 같이, 개폐 밸브(21a)를 개방하고, 도포액 공급관(17)을 통해, 도포액 탱크(1)에 저장된 도포액을 토출용 도포액 수용실(13) 안으로 공급한다.

이때, 개폐 밸브(21c)를 개방하고, 에어 배출관(19)을 통해 토출용 도포액 수용실(13) 안의 공기를 배출한다. 에어 배출관(19)은, 도포액 공급관(17)과는 반대쪽의 위치이며, 토출용 도포액 수용실(13)의 가장 높은 위치에 설치되어 있다.

따라서, 토출용 도포액 수용실(13) 안의 공기는 원활하게 배출되게 되어, 내부에 잔류하는 일이 없다.

또한, 개폐 밸브(21c)는, 에어 배출관(19)으로부터 도포액이 흘러넘침에 따라 폐쇄되어, 공급을 정지하면 좋다. 또한, 토출용 도포액 수용실(13) 안으로 공급된 도포액은, 격벽부(12)에 형성된 관통 구멍(16)을 통해 배출용 도포액 수용실(14)에도 유입한다(이 경우, 개폐 밸브(21d)를 개방해 두고, 도포액 배출관(20)으로부터 배출용 도포액 수용실(14) 안의 공기를 배출하도록 해도 된다. 그리고, 개폐 밸브(21d)도, 상기 개폐 밸브(21c)와 마찬가지로, 도포액 배출관(20)으로부터 도포액이 흘러넘침에 따라 폐쇄하면 좋다.).

(도포액 토출 공정)

이렇게 하여, (배출용 도포액 수용실(14)을 포함하여) 토출용 도포액 수용 실(13) 안으로 도포액이 공급되면(이 상태에서는, 개방한 모든 개폐 밸브(21a, 21c) (필요에 따라 개폐 밸브(21d))가 폐쇄되어 있다.), 도 4에 나타낸 바와 같이, 개폐 밸브(2lb)를 개방하고, 구동 부재(7)의 모터(26)를 구동하여 볼나사(27)를 회전시킴으로써, 도포액 압출 부재(6)를 전진시킨다.

도포액 압출 부재(6)는, 토출용 도포액 수용실(13) 안으로 침입하고, 내부에 충전된 도포액은, 도포액 토출관(18)을 통해 도포액 토출 장치(3)로 토출된다.

이 경우, 도포액은, 거의 토출용 도포액 수용실(13) 안에 공급된 도포액부터 차례로, 도포액 토출관(18)을 통해 토출되는데, 소위 선입(先入)한 대로 선출(先出)하는 방식으로 토출된다. 그리고, 도포액 토출 장치(3)에는, 종래 공지된 바와 같이, 예를 들면, PDP의 표면에 도포액이 코팅된다.

따라서, 토출용 도포액 수용실(13) 안으로, 오래된 도포액이 공급된 채로 된 상태가 아니라, 항상 양호한 상태에서 도포 작업을 할 수 있게 된다.

또한 이때, 개폐 밸브(21c)를 일정 시간 개방함으로써, 에어 배출관(19)을 통해 도포액 중에 혼입한 공기를 위쪽으로부터 배출하도록 해도 된다.

(2번째 이후의 준비 공정)

도포액의 토출이 완료되면, 도 5에 나타낸 바와 같이, 구동 부재(7)의 모터(26)를 역회전 구동하여, 도포액 압출 부재(6)를 상기 초기 위치로 후퇴시킨다. 또한, 개폐 밸브(2lb)를 폐쇄한다.

이때, 개폐 밸브(21a)를 개방하여, 도포액 공급관(17)을 통해 토출용 도포액 수용실(13) 안으로 도포액의 공급을 시작한다.

토출용 도포액 수용실(13) 안으로는, 도포액 압출 부재(6)를 후퇴시켜 증대한 공간의 체적에 맞게, 순차적으로 도포액이 공급되므로, 초기 준비 공정 후의 도포액 공급 공정에서는, 전술한 바와 같이, 개폐 밸브(21c)는 폐쇄 상태로 유지할 수 있다.

(이물질 제거 공정)

이상의 공정을 반복함으로써 도포 작업이 이루어진다.

그런데, 도포액 압출 부재(6)의 외주면에 제1 밀봉 부재(11)가 접접함으로써 도포액이 고체화하거나, 변성(變性)하는 것도 상정된다.

그러나, 도포액 압출 부재(6)는, 도포액 회수부(22)를 관통하여 설치되어 있다. 즉, 왕복 이동할 때마다, 상기 제1 밀봉 부재(11)와의 접접 부분이 세정액 안에 침입하여, 도포액이 용해되게 된다.

게다가, 도포액 회수부(22)의 전방 쪽에는 배출용 도포액 수용실(14)이 설치되어 있다. 따라서, 고체화 또는 변성된 도포액이 토출용 도포액 수용실(13) 안으로 침입하는 일 없이, 도포 작업을 장기간에 걸쳐서 양호한 상태로 유지할 수 있다.

또한, 필요에 따라서, 도 6에 나타낸 바와 같이, 상기 초기 위치에서, 개폐 밸브(21a) 및 개폐 밸브(21d)만을 개방함으로써, 토출용 도포액 수용실(13) 안으로 도포액을 공급하여, 도포액 배출관(20)을 통해 배출용 도포액 수용실(14) 안의 도포액을 배출하도록 하면 좋다.

이로써, 도포액 압출 부재(6)의 외주면에서 고체화(변성)된 도포액이, 도포액 회수부(22)로 회수되지 않고 도포액 수용 부재(5) 안에 잔류했다 하더라도, 그것은 토출용 도포액 수용실(13)이 아니라, 배출용 도포액 수용실(14)이며, 게다가, 거기에서의 도포액은 도포액 배출관(20)을 통해 외부로 배출할 수 있다.

따라서, 토출용 도포액 수용실(13) 안의 도포액을, 이물질이 없이, 항상 양호한 상태로 유지할 수 있으며, 도포 작업을 장기간에 걸쳐서 원활하게 이루지게 할 수 있다.

(제2 실시 형태)

도 7은, 제2 실시 형태에 관한 도포액 공급 장치(2)를 나타낸다.

이 도포액 공급 장치(2)는, 상기 제1 실시 형태에 관한 것과는, 배출용 도포액 수용실(14)을 구비하지 않고 있는 점에서 상이(相違)하다.

즉, 도 7에서는, 격벽부(12)는 없고, 도포액 수용 부재(5) 안은 토출용 도포액 수용실(13) 만으로 구성되어 있다.

그리고, 도포액이 도포액 압출 부재(6)의 외주면에서 고체화(변성)됨으로써, 도포액 회수부(22) 안의 세정액에 용해시키는 것만으로 대응하도록 구성되어 있다.

이 때문에, 도포액 회수부(22)에, 세정액을 교환 가능한 구성을 구비하도록 하는 것이 바람직하다. 이 경우, 세정액은, 교환 시기 특정 정보에 근거해 교환하도록 하면 된다.

교환 시기 특정 정보로는, 사용 개시로부터의 기간이나, 도포액 압출 부재(6)의 실제 왕복 횟수 외에, 세정액의 오염 상태를 직접 센서에서 검출함으로써 (예를 들면, 광 센서에 의해 투과도를 검출하는 것) 얻을 수 있었던 정보들을 사용할 수 있다. 그리고, 도포액 회수부(22)에 세정액을 공급하는 세정액 공급관(도시하지 않음)과, 도포액 회수부(22)로부터 세정액을 배출하는 세정액 배출관(도시하지 않음)을 각각 접속하고, 각 배관에 개폐 밸브(도시하지 않음)를 설치하여 펌프(도시하지 않음) 등에 의해, 세정액의 자동 공급 및 배출을 하도록 해도 된다. 또한, 도포액 회수부(22)로부터 배출한 세정액은, 증류 회수 장치 등에 의해 재이용하여 도포액 회수부(22)로 환류시키도록 구성해도 좋다.

또한, 상기 도포액 회수부(22)만을 설치한 구성이라면, 도 8에 나타낸 바와 같이, 도포액 압출 부재(6)는, 종래와 마찬가지로, 피스톤(32)이 실린더(33)의 내주면을 접접하는 구성으로도 할 수 있다.

이 경우, 도포액 회수부(22)에는, 피스톤(32)에 의해 실린더(33) 안에 구획되며, 후방 쪽의 공간에 연통하는 배관에는 개폐 밸브(21e, 21f)를 설치하고, 전방 쪽의 공간에 연통하는 배관에는, 도포액 공급관(17)과 도포액 배출관(18)을 분기시켜 설치하도록 하면 좋다.

그리고, 피스톤(32)이 전진할 때 개폐 밸브(21e)를 개방하여 세정액을 공급하고(이때, 개폐 밸브(21f)는 폐쇄해 둔다), 피스톤(32)을 후퇴할 때 개폐 밸브(21f)를 개방하여 세정액을 배출한다(이때, 개폐 밸브(21e)는 폐쇄해 둔다).

단, 개폐 밸브(21e 및 21f)는 반드시 필요한 것은 아니고, 별도 설치한 세정액 탱크(도시하지 않음)로부터 세정액이 실린더(33) 안으로 자유롭게 출입할 수 있게 구성하는 것도 가능하다.

(제3 실시 형태)

도 9는, 제3 실시 형태에 관한 도포액 공급 장치(2)를 나타낸다.

이 도포액 공급 장치(2)는, 상기 제1 실시 형태에 관한 것과는, 도포액 회수부(22)를 구비하지 않고 있는 점에서 상이하다.

이 도포액 공급 장치(2)에서는, 제1 밀봉벽(9)의 제1 삽통 구멍(8)에 설치한 제1 밀봉 부재(11)가 접접하거나, 외기(外氣)와 접촉함으로써, 도포액 압출 부재(6)의 외주면에서 도포액이 고체화 등의 이물질이 되면, 이 이물질은 도포액 배출관(20)을 통해 외부로 배출할 수 있다. 이 때문에, 토출용 도포액 수용실(13) 안으로 이물질이 혼입하는 일이 없이, 도포작업을 장기간에 걸쳐서 양호한 상태로 유지할 수 있다.

또한, 상기 각 실시 형태에서는, 도포액 공급 장치(2)를 옆으로 향한 상태, 즉, 도포액 압출 부재(6)가 수평 방향으로 왕복 이동하도록 배치했지만, 세로로 향한 상태, 즉 도포액 압출 부재(6)가 수직 방향으로 왕복 이동하도록 배치해도 좋다.

도 1은, 제1 실시 형태에 관한 도포 장치의 전체 구성의 개략 설명도.

도 2는, 도 1의 도포액 공급 장치에 있어서, 초기 준비 공정을 나타내는 개략 설명도.

도 3은, 도 1의 도포액 공급 장치에 있어서, 초기 도포액 공급 공정을 나타내는 개략 설명도.

도 4는, 도 1의 도포액 공급 장치에 있어서, 도포액 토출 공정을 나타내는 개략 설명도.

도 5는, 도 1의 도포액 공급 장치에 있어서, 2회째 이후의 도포액 공급 공정을 나타내는 개략 설명도.

도 6은, 도 1의 도포액 공급 장치에 있어서, 이물질 제거 공정을 나타내는 개략 설명도.

도 7은, 제2 실시 형태에 관한 도포액 공급 장치를 나타내는 개략 설명도.

도 8은, 제2 실시 형태에 관한 도포액 공급 장치의 다른 예를 나타내는 개략 설명도.

도 9는, 제3 실시 형태에 관한 도포액 공급 장치를 나타내는 개략 설명도.

(부호의 설명)

1: 도포액 탱크

2: 도포액 공급 장치

3: 도포액 토출 장치

4: 제어 장치

5: 도포액 수용 부재

6: 도포액 압출 부재

7: 구동 부재

8: 제1 삽통 구멍

9: 제1 밀봉벽

10: 단부

11: 제1 밀봉 부재

12: 격벽부

13: 토출용 도포액 수용실

14: 배출용 도포액 수용실

15: 안내 구멍

16: 관통 구멍

17: 도포액 공급관

18: 도포액 토출관

19: 에어 배출관

20: 도포액 배출관

21a, 2lb, 21c, 21d, 21e, 21f: 개폐 밸브

22: 도포액 회수부

22a: 세정실

23: 제2 밀봉벽

24: 제2 삽통 구멍

25: 제2 밀봉 부재

26: 모터

27: 볼나사

28: 지지부

29: 지지대

30: 피도포 부재

31: 도막

32: 피스톤

33: 실린더

Claims (6)

1. 수용되는 도포액을 토출 가능한 도포액 유동부를 구비한 도포액 수용 부재와,

   상기 도포액 수용 부재 안에 삽입되어, 상기 도포액 수용 부재 안에 수용된 도포액을, 상기 도포액 유동부를 통해 외부로 토출시키는 도포액 압출 부재를 구비 하고,

   상기 도포액 수용 부재는, 상기 도포액 압출 부재의 삽입부에, 이 삽입부를 통해 누출되는 도포액을 회수하기 위한 도포액 회수부를 구비한 것을 특징으로 하는 도포액 공급 장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 도포액 회수부는, 상기 도포액을 용해시키는 세정액이 충전되는 세정실로 구성한 것을 특징으로 하는 도포액 공급 장치.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 도포액 압출 부재는, 상기 도포액 수용 부재의 내주면에 대해 소정 간격을 유지하면서 왕복 이동 가능하고,

   상기 도포액 회수부는, 상기 도포액 압출 부재를 접동 가능하게 안내하는 안내 구멍을 구비한 격벽부에 의해 상기 도포액 수용 부재 안에 형성되는 배출용 도포액 수용실로 구성하고,

   상기 배출용 도포액 수용실은, 상기 도포액을 공급 및 배출 가능한 구성을 구비한 것을 특징으로 하는 도포액 공급 장치.
4. 제3항에 있어서, 상기 도포액 수용 부재의 도포액 유동부는,

   상기 도포액 압출 부재의 삽입부 쪽에 설치한 도포액 공급부와,

   상기 삽입부와는 반대쪽에 설치되고, 공급된 도포액이 토출되는 도포액 토출부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 도포액 공급 장치.
5. 제3항에 있어서, 상기 도포액 수용 부재는, 상기 도포액 공급부와는 반대쪽이며, 가장 높은 위치에 에어 배출부를 구비한 것을 특징으로 하는 도포액 공급 장치.
6. 제3항에 있어서, 상기 배출용 도포액 수용실로의 도포액의 공급은, 격벽부에 형성한 개구부를 통해 이루어지고,

   상기 배출용 도포액 수용실로부터의 도포액의 배출은, 상기 도포액 토출부와 따로 설치되어, 상기 배출용 도포액 수용실과 연통하는 도포액 배출부를 통해 이루어지도록 한 것을 특징으로 하는 도포액 공급 장치.

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