JP2000249076A - プランジャポンプ - Google Patents

プランジャポンプ

Info

Publication number
JP2000249076A
JP2000249076A JP11053259A JP5325999A JP2000249076A JP 2000249076 A JP2000249076 A JP 2000249076A JP 11053259 A JP11053259 A JP 11053259A JP 5325999 A JP5325999 A JP 5325999A JP 2000249076 A JP2000249076 A JP 2000249076A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
plunger
pump chamber
outer peripheral
peripheral surface
ring
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP11053259A
Other languages
English (en)
Inventor
Keiichi Ikeda
慶一 池田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Jeol Ltd
Original Assignee
Jeol Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Jeol Ltd filed Critical Jeol Ltd
Priority to JP11053259A priority Critical patent/JP2000249076A/ja
Publication of JP2000249076A publication Critical patent/JP2000249076A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Details Of Reciprocating Pumps (AREA)
  • Reciprocating Pumps (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 液漏れの原因となるプランジャ外周面の結晶
の発生を防止すること。 【解決手段】 円筒状のポンプ室3と前記ポンプ室3と
連通する液体流入路4および液体流出路5を有するシリ
ンダ2と、前記ポンプ室3に嵌合して軸方向に往復移動
する円筒状のプランジャ外周面16aを有するプランジ
ャ16と、前記プランジャ外周面16aをスライド可能
にガイドする円筒ガイド面11aを有するプランジャガ
イド部材11と、前記ポンプ室3および円筒ガイド面1
1a間に設けられた固定Oリング9と、前記プランジャ
外周面16aに装着されてプランジャ16の往復移動に
伴って移動し、前記円筒ガイド面11aをシールする移
動Oリング17と、前記円筒ガイド面11aおよびプラ
ンジャ外周面16aの間で且つ固定Oリング9および移
動Oリング17の間の隙間であるプランジャ洗浄用隙間
Vに連通するプランジャ洗浄液供給源Aとから構成され
るプランジャポンプ。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、プランジャの往復
運動によりシリンダ内のポンプ室の容積を変化させて、
前記ポンプ室に接続された液体流入路から流入した液体
を、ポンプ室に接続された液体流出路に移送するプラン
ジャポンプに関する。本発明のプランジャポンプは、凝
固物の発生し易い液体を移送するプランジャポンプに特
に好適に使用される。凝固物の発生し易い液体を移送す
るプランジャポンプとしては、例えば、試薬、洗剤等の
液体を扱う生化学分析装置の液体輸送用のポンプ等があ
る。
【0002】
【従来の技術】前記プランジャポンプとしては従来次の
技術(J01)が知られている。 (J01)図3に示すプランジャポンプ 図3は従来のプランジャポンプの説明図で、図3Aはプ
ランジャをポンプ室内に押し込んだ状態を示す図、図3
Bはプランジャをポンプ室から外方に移動させた状態を
示す図である。図3において、シリンダ01のポンプ室
01a内端には液体流入路02および液体流出路03が
接続されている。前記ポンプ室01a内を往復移動する
プランジャ04がポンプ室01a内に押し込まれると、
ポンプ室01a内の試薬、洗剤等がポンプ室01a内端に
設けられた液体流出路03より送り出される。前記ポン
プ室01a内を往復移動するプランジャ04がポンプ室
01aから外方に移動すると、ポンプ室01a内端に設け
られた液体流入路02よりポンプ室01a内に試薬、洗
剤等が取り込まれる。前記プランジャ04が往復運動を
繰り返すため、ポンプ室01a内の試薬、洗剤等がプラ
ンジャ04に付着する。そのため、ポンプ室01a内に
シール材06が設けられている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】(前記(J01)の問題
点)前記従来技術では、プランジャ04外周面にはシー
ル材06で拭われた試薬、洗剤等が微量にしかも極めて
薄く残る。この状態の試薬、洗剤等は蒸発面積が広く、
容量が微量な為、非常に乾燥しやすい。そのため試薬、
洗剤等の液体は乾燥して結晶が作られる。結晶は、シー
ル材06とプランジャ04との間で研削材となり、シー
ル材06を削り液漏れの原因となる。
【0004】(J02)図4に示すプランジャポンプ 図4は従来のプランジャポンプの説明図で、図4Aはプ
ランジャをポンプ室内に押し込んだ状態を示す図、図4
Bはプランジャをポンプ室から外方に移動させた状態を
示す図である。図4に示す従来技術(J02)は、前記図
3に示す従来技術(J01)と同様に前記プランジャ04
が往復運動を繰り返すため、ポンプ室内の試薬、洗剤等
がプランジャ04に付着する。そのため、ポンプ室の右
側に容積一定の小さな円筒状の隙間Vを設け、この隙間
Vに純水等の液体を充満させておく。プランジャ04を
外方に移動させるときポンプ室01aで、試薬、洗剤等
により汚されたプランジャ04は、純水等の液体を充満
させた前記円筒状の隙間Vを通過する際、プランジャ0
4の表面に付着した試薬、洗剤等は希釈される。また、
ポンプ室01a内には二つのシール材06,07が設け
られており、プランジャ04の表面は二つ目のシール材
07通過時により付着したものを拭い取るものである。
【0005】(前記(J02)の問題点)図4に示す従来
技術(J02)は、前記図3の従来技術(J01の)問題点
である結晶の発生を防止するのが目的である。図4、図
3を比較した場合、その効果は大きいと思われる。しか
し、使用される試薬、洗剤等が特に揮発性の高いもの、
又は粘性等が強いものの場合、試薬、洗剤等に汚された
プランジャ04が往復運動を繰り返すため、ポンプ室0
1aの右側に設置した前記容積一定の隙間Vの中に充満
させた純水等の液体は汚されて試薬、洗剤等が混入した
ものとなる。試薬、洗剤等の混入量が徐々に増加してそ
の濃度が高くなると、前記結晶の発生が生じる。したが
って、前記結晶化の問題は根本的には解決されていな
い。
【0006】本発明は前述の事情に鑑み、下記(O01)
の記載内容を課題とする。 (O01)液漏れの原因となるプランジャ外周面の結晶の
発生を防止すること。
【0007】
【課題を解決するための手段】次に、前記課題を解決す
るために案出した本発明を説明するが、本発明の要素に
は、後述の実施例の要素との対応を容易にするため、実
施例の要素の符号をカッコで囲んだものを付記する。ま
た、本発明を後述の実施例の符号と対応させて説明する
理由は、本発明の理解を容易にするためであり、本発明
の範囲を実施例に限定するためではない。
【0008】(本発明)前記課題を解決するために、本
発明のプランジャポンプは、下記の要件を備えたことを
特徴とする、 (A01)内端が閉塞され且つ外端が開口する円筒状のポ
ンプ室(3)、前記ポンプ室(3)の内端に連通する液
体流入路(4)および液体流出路(5)を有するシリン
ダ(2)、 (A02)前記円筒状のポンプ室(3)に嵌合して軸方向
に往復移動する円筒状のプランジャ外周面(16a)を
有するプランジャ(16)、 (A03)前記往復移動するプランジャ外周面(16a)
をスライド可能にガイドする円筒ガイド面(11a)を
有するプランジャガイド部材(11)、 (A04)前記ポンプ室(3)および円筒ガイド面(11
a)間に設けられ、前記プランジャ外周面(16a)をシ
ールする固定Oリング(9)、 (A05)前記プランジャ外周面(16a)に装着されて
前記プランジャ(16)の往復移動に伴ってプランジャ
(16)と一体的に移動し、前記円筒ガイド面(11
a)をシールする移動Oリング(17)、 (A06)前記円筒ガイド面(11a)およびプランジャ
外周面(16a)の間で且つ前記固定Oリング(9)お
よび移動Oリング(17)の間の隙間であるプランジャ
洗浄用隙間(V)に連通するプランジャ洗浄液供給源
(A)。
【0009】(本発明の作用)前記構成を備えた本発明
のプランジャポンプ(1)では、シリンダ(2)は、内
端が閉塞され且つ外端が開口する円筒状のポンプ室
(3)、前記ポンプ室(3)の内端に連通する液体流入
路(4)および液体流出路(5)を有する。円筒状のプ
ランジャ外周面(16a)を有するプランジャ(16)
は、前記円筒状のポンプ室(3)に嵌合して軸方向に往
復移動する。プランジャガイド部材(11)は円筒ガイ
ド面(11a)を有し、前記円筒ガイド面(11a)は、
前記往復移動するプランジャ外周面(16a)をスライ
ド可能にガイドする。前記ポンプ室(3)および円筒ガ
イド面(11a)間に設けられた固定Oリング(9)
は、前記プランジャ外周面(16a)をシールする。前
記プランジャ外周面(16a)に装着された移動Oリン
グ(17)は、前記プランジャ(16)の往復移動に伴
ってプランジャ(16)と一体的に移動し、前記円筒ガ
イド面(11a)をシールする。プランジャ洗浄液供給
源(A)は、前記円筒ガイド面(11a)およびプラン
ジャ外周面(16a)の間で且つ前記固定Oリング
(9)および移動Oリング(17)の間の隙間であるプ
ランジャ洗浄用隙間(V)に連通する。
【0010】したがって、前記プランジャ(16)が前
記円筒ガイド面(11a)に沿って往復移動するとき、
前記プランジャ洗浄用隙間(V)の容積は増減するよう
に変化する。前記プランジャ洗浄用隙間(V)が増大す
るときには、前記プランジャ洗浄用隙間(V)に前記プ
ランジャ洗浄液供給源(A)からプランジャ洗浄液が供
給され、且つ、前記プランジャ洗浄用隙間(V)が減少
するときには、前記プランジャ洗浄用隙間(V)のプラ
ンジャ洗浄液が前記プランジャ洗浄液供給源(A)の方
に移動する。すなわち、プランジャ洗浄用隙間(V)に
はプランジャ(16)の往復移動に伴って、プランジャ
洗浄液が出入を繰り返す。このため、前記プランジャ洗
浄用隙間(V)のプランジャ洗浄液に、プランジャ外周
面(16a)の付着溶液(プランジャポンプ(1)で移
送する溶液)が混入しても、前記プランジャ洗浄用隙間
(V)における、前記混入した溶液の濃度は高くならな
い。したがって、プランジャ外周面(16a)を常に、
混入溶液の濃度の低いプランジャ洗浄液により洗浄する
ことができるので、液漏れの原因となるプランジャ外周
面(16a)の結晶(プランジャポンプ(1)の移送液
体がプランジャ外周面(16a)で乾燥したときに発生
する結晶)の発生を防止することができる。
【0011】
【発明の実施の形態】次に図面を参照しながら、本発明
のプランジャポンプの実施の形態の例(実施例)を説明
するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではな
い。 (実施例1)図1は本発明の実施例1のプランジャポン
プの説明図であり、図1Aはプランジャをポンプ室内に
押し込んだ状態を示す図、図1Bはプランジャをポンプ
室から外方に移動させた状態を示す図である。図1にお
いて、プランジャポンプ1は、シリンダ2を有してい
る。シリンダ2は、内端が閉塞され且つ外端が開口する
円筒状のポンプ室3と、前記ポンプ室3の内端下部に連
通する液体流入路4および内端上部に連通する液体流出
路5を有している。
【0012】前記ポンプ室3の外端部周囲にはリング状
のOリング支持部材収容溝6が形成されている。前記O
リング支持部材収容溝6内にはOリング支持部材8が収
容されており、Oリング支持部材8の外側には固定Oリ
ング9が配置されている。前記固定Oリング9の外側に
配置された、円筒状のプランジャガイド部材11および
リングプレート12は、複数の固定ボルト13(1本の
み図示)により前記シリンダ2の外端面に固定されてい
る。
【0013】前記プランジャガイド部材11には前記シ
リンダ2の円筒状内周面により形成されたポンプ室3と
同軸且つ同径の円筒ガイド面11aが形成されている。
また、前記プランジャガイド部材11には、プランジャ
洗浄液供給源Aに連通する洗浄液供給路11bが形成さ
れている。前記洗浄液供給路11bは、前記固定Oリン
グ9に隣接してその外端側に形成されている。
【0014】前記円筒状のポンプ室3に嵌合して軸方向
に往復移動するプランジャ16は、円筒状のプランジャ
外周面16aおよび外方に延びる作動ロッド16bを有し
ており、前記プランジャ外周面16aは、前記ポンプ室
3と、前記円筒ガイド面11aと、前記リング状のOリ
ング支持部材8および固定Oリング9の内孔と、により
スライド移動可能に支持されている。前記プランジャ外
周面16aの外端部には、前記プランジャ16の移動に
伴ってプランジャ16と一体的に移動する移動Oリング
17が装着されている。図1Aから分かるように、前記
移動Oリング17は、プランジャ16がポンプ室3の内
端位置(図1Aの左端位置)に移動した状態では、前記
洗浄液供給路11bを挟んで前記固定Oリング9と隣接
した位置に配置されている。この状態では、前記円筒ガ
イド面11aおよびプランジャ外周面16aの間で且つ前
記固定Oリング9および移動Oリング17の間の隙間で
あるプランジャ洗浄用隙間Vの軸方向の長さが短いた
め、前記プランジャ洗浄用隙間Vの容積は小さい。
【0015】しかし、前記移動Oリング17は、プラン
ジャ16がポンプ室3の外端位置(図1Bの右端位置)
に移動した状態では、前記洗浄液供給路11bを挟んで
前記固定Oリング9から離れた位置に配置されている。
この状態では、前記プランジャ洗浄用隙間Vの軸方向の
長さが長くなるため、前記プランジャ洗浄用隙間V容積
は大きくなる。すなわち、前記プランジャ16の往復移
動に応じて前記プランジャ洗浄用隙間Vの容積は増減す
る。
【0016】(実施例1の作用)前記構成を備えた本発
明の実施例1のプランジャポンプ1は、前記プランジャ
16の往復移動に応じて前記液体流入路4からポンプ室
3に移送用液体を吸い込み、前記液体流出路5から吐出
する。図1Bから分かるように、プランジャ16がポン
プ室3の外端位置(図1Bの右端位置)に移動した状態
において、移動Oリング17の左側のプランジャ外周面
16aは大気に触れていない。すなわち、プランジャ1
6が往復移動する間、プランジャ外周面16aは直接大
気に触れないため、プランジャ外周面16aに付着した
移送用液体が大気に触れたときの結晶の発生を防止でき
る。
【0017】また、前記プランジャ16の往復移動に応
じて前記プランジャ洗浄用隙間Vの容積が増減し、その
際、前記プランジャ洗浄用隙間Vには、前記プランジャ
洗浄液供給源Aのプランジャ洗浄液が流入、流出を繰り
返す。このため、プランジャ16表面に付着した、移送
用液体(ポンプ室3で移送する液体)は前記プランジャ
洗浄用隙間Vにおいてプランジャ洗浄液により洗浄され
る。この洗浄により移送用液体がプランジャ洗浄液に混
入するが、前記移送用液体が混入したプランジャ洗浄液
は、プランジャ洗浄用隙間Vに流入、流出を繰り返して
いるため、前記プランジャ洗浄用隙間Vにおける、前記
混入した移送用液体の濃度は高くならない。したがっ
て、プランジャ外周面16aを常に、混入溶液の濃度の
低いプランジャ洗浄液により洗浄することができるの
で、液漏れの原因となるプランジャ外周面16aの結晶
(プランジャポンプの移送液体がプランジャ外周面16
aで乾燥したときに発生する結晶)の発生を防止するこ
とができる。
【0018】(実施例2)図2は本発明の実施例2のプ
ランジャポンプの説明図であり、図2Aはプランジャを
ポンプ室内に押し込んだ状態を示す図、図2Bはプラン
ジャをポンプ室から外方に移動させた状態を示す図であ
る。なお、この実施例2の説明において、前記実施例1
の構成要素に対応する構成要素には同一の符号を付し
て、その詳細な説明を省略する。この実施例2は、下記
の点で前記実施例1と相違しているが、他の点では前記
実施例1と同様に構成されている。図2において、プラ
ンジャ洗浄用隙間Vには洗浄液供給路11bの他に洗浄
液排出路11cが連通している。そして、洗浄液排出路
11cは洗浄液回収タンクBに連通している。
【0019】(実施例2の作用)この実施例2では、前
記プランジャ洗浄用隙間Vが増大するときには、前記洗
浄液供給路11bから新しいプランジャ洗浄液が供給さ
れ、プランジャ洗浄用隙間Vが減少すのときには、プラ
ンジャ洗浄用隙間Vのプランジャ洗浄液は洗浄液排出路
11cから洗浄液回収タンクBに排出される。したがっ
て、この実施例2では、プランジャ外周面16aは常に
新しいプランジャ洗浄液により洗浄される。このため、
液漏れの原因となるプランジャ外周面16aの結晶(プ
ランジャポンプの移送液体がプランジャ外周面16aで
乾燥したときに発生する結晶)の発生を防止することが
できる。
【0020】(変更例)以上、本発明の実施例を詳述し
たが、本発明は、前記実施例に限定されるものではな
く、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内
で、種々の変更を行うことが可能である。
【0021】
【発明の効果】前述の本発明のプランジャポンプは、下
記の効果を奏することができる。(E01)液漏れの原因
となるプランジャ外周面の結晶の発生を防止することが
できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 図1は本発明の実施例1のプランジャポンプ
の説明図であり、図1Aはプランジャをポンプ室内に押
し込んだ状態を示す図、図1Bはプランジャをポンプ室
から外方に移動させた状態を示す図である。
【図2】 図2は本発明の実施例2のプランジャポンプ
の説明図であり、図2Aはプランジャをポンプ室内に押
し込んだ状態を示す図、図2Bはプランジャをポンプ室
から外方に移動させた状態を示す図である。
【図3】 図3は従来のプランジャポンプの説明図で、
図3Aはプランジャをポンプ室内に押し込んだ状態を示
す図、図3Bはプランジャをポンプ室から外方に移動さ
せた状態を示す図である。
【図4】 図4は従来のプランジャポンプの説明図で、
図4Aはプランジャをポンプ室内に押し込んだ状態を示
す図、図4Bはプランジャをポンプ室から外方に移動さ
せた状態を示す図である。
【符号の説明】 A…プランジャ洗浄液供給源、V…プランジャ洗浄用隙
間、1…プランジャポンプ、2…シリンダ、3…ポンプ
室、4…液体流入路、5…液体流出路、9…固定Oリン
グ、16…プランジャ、16a…プランジャ外周面、1
1…プランジャガイド部材、11a…円筒ガイド面、1
7…移動Oリング、

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 下記の要件(A01)〜(A06)を備えた
    ことを特徴とするプランジャポンプ、(A01)内端が閉
    塞され且つ外端が開口する円筒状のポンプ室、前記ポン
    プ室の内端に連通する液体流入路および液体流出路を有
    するシリンダ、(A02)前記円筒状のポンプ室に嵌合し
    て軸方向に往復移動する円筒状のプランジャ外周面を有
    するプランジャ、(A03)前記往復移動するプランジャ
    外周面をスライド可能にガイドする円筒ガイド面を有す
    るプランジャガイド部材、(A04)前記ポンプ室および
    円筒ガイド面間に設けられ、前記プランジャ外周面をシ
    ールする固定Oリング、(A05)前記プランジャ外周面
    に装着されて前記プランジャの往復移動に伴ってプラン
    ジャと一体的に移動し、前記円筒ガイド面をシールする
    移動Oリング、(A06)前記円筒ガイド面およびプラン
    ジャ外周面の間で且つ前記固定Oリングおよび移動Oリ
    ングの間の隙間であるプランジャ洗浄用隙間に連通する
    プランジャ洗浄液供給源。
JP11053259A 1999-03-01 1999-03-01 プランジャポンプ Withdrawn JP2000249076A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11053259A JP2000249076A (ja) 1999-03-01 1999-03-01 プランジャポンプ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11053259A JP2000249076A (ja) 1999-03-01 1999-03-01 プランジャポンプ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2000249076A true JP2000249076A (ja) 2000-09-12

Family

ID=12937796

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11053259A Withdrawn JP2000249076A (ja) 1999-03-01 1999-03-01 プランジャポンプ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2000249076A (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008161740A (ja) * 2006-12-27 2008-07-17 Chugai Ro Co Ltd 塗布液供給装置
CN102338076A (zh) * 2011-09-28 2012-02-01 吴祎 高压自洁式柱塞泵
CN110159506A (zh) * 2019-06-28 2019-08-23 深圳市恒瑞兴自动化设备有限公司 防结晶注液泵
JP2020183720A (ja) * 2019-05-07 2020-11-12 株式会社常光 プランジャポンプ

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008161740A (ja) * 2006-12-27 2008-07-17 Chugai Ro Co Ltd 塗布液供給装置
CN102338076A (zh) * 2011-09-28 2012-02-01 吴祎 高压自洁式柱塞泵
JP2020183720A (ja) * 2019-05-07 2020-11-12 株式会社常光 プランジャポンプ
JP7323154B2 (ja) 2019-05-07 2023-08-08 株式会社常光 プランジャポンプ
CN110159506A (zh) * 2019-06-28 2019-08-23 深圳市恒瑞兴自动化设备有限公司 防结晶注液泵

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7878375B2 (en) Chemical liquid supply device
SE468613B (sv) Anordning foer provtagning av vaetska
US4147062A (en) Liquid sampler
US12005433B2 (en) Wash through pipettor
CN104091771A (zh) 增强的晶片清洗方法
JP2000249076A (ja) プランジャポンプ
JP4144993B2 (ja) 自動分析装置
US7128279B2 (en) Method and apparatus for fluid delivery to a backside of a substrate
JPH11304779A (ja) 試料導入装置
KR200460399Y1 (ko) 시린지 펌프
US5454698A (en) Plunger pump system with shuttle valve
JP2012097691A (ja) プランジャポンプ
CN213675493U (zh) 一种3d打印设备喷头清洗装置
JPH03100378A (ja) 自動洗浄装置内蔵形ポンプ
EP0095448A1 (en) Sealing device for a high pressure pump
JPH08215585A (ja) ピペッタ
CN218307725U (zh) 一种化工搅拌罐
US20240157410A1 (en) Processing chamber cleaning method, cleaning attachment and substrate processing system
JPH10281071A (ja) ダイヤフラムポンプおよびカラーフィルターの製造方法
KR200360459Y1 (ko) 용액조
KR20010066264A (ko) 레이저를 이용한 웨이퍼 세정 방법
TW510037B (en) Brushing device for brushing wafer back of semiconductor wafer
CN110420954A (zh) 一种玻璃清洗装置
SU1313426A1 (ru) Устройство дл очистки плоских поверхностей
JP2000154789A (ja) 高圧純水発生装置及び同装置を用いた高圧純水発生方法

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20060509