JP6174776B1 - 塗布液供給装置 - Google Patents

Abstract

【課題】塗布液の塗布量の精度を向上させることができる塗布液供給装置を提供する。【解決手段】塗布液供給装置３は、塗布液が収容される収容容器５と、収容容器５内で軸方向に移動し、収容容器５に収容された塗布液を収容容器５から吐出させるロッド６と、収容容器５に収容された塗布液Ｐとロッド６とを隔離し、ロッド６との間で閉空間である封入空間９を形成するようロッド６に取り付けられ、ロッド６の軸方向の移動に対して伸縮するベローズ部材８と、を備えており、封入空間９には、液体Ｗが封入されていることを特徴とする。【選択図】図２

Description

本発明は、塗布装置に適用される塗布液供給装置に関するものである。

従来、テーブルコーター等の塗布液吸引、吐出用のポンプとしては、ロッド型のシリンジポンプが知られている。しかし、このようなポンプは、ロッドの摺動部分にＯリング等が使用されており、微量の塗布液の漏れや固着の可能性が考えられる。そこで、引用文献１に示されるように、Ｏリングの外側にさらに塗布液回収室を備えたものがあるが、構造が複雑で大型となり、また塗布液回収室とロッドとは結局Ｏリングでシールされることとなり、同様の課題が考えられる。そこで、引用文献２のベローズ５８に示されるように、ベローズ部材の伸縮を利用し、塗布液とロッドの摺動部分とが接触しないポンプが提供されている。また、ベローズ部材を用いたシリンジポンプとしては、一般的には、引用文献３に示されるようなものがある。

特開２００８−１６１７４０号公報 特開２０１１−１４７３２号公報 特開昭６０−２６１４６４号公報

しかし、ベローズ部材は、金属や合成樹脂の薄いシートで形成されているため、その片面から圧力がかかると、部材そのものが膨らむ等の弾性変形が生じてしまう。そして、上記に示されるベローズ部材を使用したポンプでは、ベローズ部材の片面が大気圧に開放されている。そのため、塗布液を吐出する際にロッドを押し込むと、そのロッドの押し込み圧力によってベローズ部材そのものが変形してしまい、ロッドを押し込んだ量（体積）と吐出される塗布液の量とが一致せず、塗布量が変動して基材に均一な厚さで塗布することが難しいという課題があった。

そこで、本発明では、塗布液の塗布量の精度を向上させることができる塗布液供給装置を提供することを目的とする。

本発明は、
塗布液が収容される収容容器と、
前記収容容器内で軸方向に移動し、前記収容容器に収容された塗布液を前記収容容器から吐出させるロッドと、
前記収容容器に収容された塗布液と前記ロッドとを隔離し、前記ロッドとの間で閉空間である封入空間を形成するよう前記ロッドに取り付けられ、前記ロッドの軸方向の移動に対して伸縮するベローズ部材と、を備えており、
前記封入空間には、液体が封入されていることを特徴とする。

前記構成によれば、封入空間に液体を封入することによって、ロッドの軸方向の移動によって圧力がかかっても封入空間の体積が変化せず、ベローズ部材そのものの変形を防止できるので、ロッドの軸方向の移動による収容容器内の体積の変化量と吐出される塗布液の量とが一致する。したがって、塗布液の塗布量の精度を向上させることができる。

本発明は、さらに、次のような構成を備えるのが好ましい。
（１）前記封入空間は、前記ロッドの外周面と前記ベローズ部材の内面との間に形成される第１空間を有しており、
前記ベローズ部材の伸縮によって、前記第１空間の体積が増減するとき、前記封入空間は、前記封入空間に封入されている液体が移動可能な調整空間を有している。
（２）前記構成（１）において、前記ロッドの先端部には、前記ロッドの先端に対して軸方向に移動可能の突出部材が取り付けられており、
前記ベローズ部材の先端は、前記突出部材に取り付けられており、
前記調整空間の一部は、前記ロッドの先端と前記突出部材とによって形成される。
（３）前記構成（１）において、前記ベローズ部材の軸方向中間部は、前記ロッドの先端に取り付けられており、
前記ベローズ部材の先端部は、閉止されており、
前記調整空間は、前記ロッドの先端と前記ベローズ部材の先端部とによって形成される。
（４）前記構成（１）〜（３）のいずれかにおいて、前記調整空間の一部は、前記ロッドの内部に形成された空間を介して前記第１空間と連通している。
（５）前記構成（１）〜（４）のいずれかにおいて、前記液体は、前記第１空間の体積が最大となる状態で、前記封入空間に封入される。
（６）前記ベローズ部材は、基端が前記収容容器に取り付けられ、先端は自身で閉止されている。

前記構成（１）によれば、封入空間は、液体が移動する調整空間を有しているので、ロッドの軸方向の移動に対して、封入空間の体積を一定にすることができる構成を容易に達成できる。

前記構成（２）によれば、ロッドの先端と突出部材とによって調整空間の一部を形成することによって、ベローズ部材の伸縮で第１空間の体積が増減するときの液体の移動元、移動先を形成することができる。その結果、ベローズ部材の伸縮において、動きを円滑にし、封入空間の体積を一定にすることができる構成を容易に達成できる。

前記構成（３）によれば、ロッドの先端とベローズ部材の先端部とによって調整空間を形成することによって、ベローズ部材の伸縮で第１空間の体積が増減するときの液体の移動元、移動先を形成することができる。その結果、ベローズの伸縮において、封入空間の体積を一定にすることができる構成を容易に達成できる。

前記構成（４）によれば、ベローズ部材の伸縮によって第１空間の体積が増減するとき、ロッドの内部を通して、第１空間と調整空間との間で液体を容易に移動させることができる。

前記構成（５）によれば、第１空間の体積が最大となる状態で液体を封入することによって、ロッドの位置がどこにあっても、上記の機能を正しく発揮できる。

前記構成（６）によれば、ベローズ部材を備える非常に簡単な構造の塗布液供給装置を提供することができる。

要するに、本発明によると、塗布液の塗布量の精度を向上させることができる塗布液供給装置を提供することができる。

本発明の第１実施形態に係る塗布装置の概略図である。 収容容器の概略図である。 第１空間の体積が最大となる状態の収容容器の概略図である。 ロッドを最も後退させた状態の収容容器の概略図である。 第１〜第５空間とθとＬとを示した部分詳細図である。 第５空間を形成する外周穴が第２空間に達した場合の概略図である。 ロッドが初期位置から前進し、最挿入位置に位置する状態の収容容器の概略図である。 ロッドが最挿入位置から後退し、初期位置に位置する状態の収容容器の概略図である。 本発明に係る別の実施形態であって、ロッドに突出部材が取り付けられない塗布液供給装置の概略図である。 本発明に係る別の実施形態であって、ロッドに突出部材が取り付けられない塗布液供給装置の概略図である。 本発明に係る別の実施形態であって、ベローズ部材８がロッド６に取り付けられていない塗布液供給装置の概略図である。 本発明に係る別の実施形態であって、ロッドをシャフトモータで軸方向に往復移動させる塗布液供給装置の概略図である。 封入した液体が少ない場合にロッドが押し込まれた際のベローズ部材の形状を示した概略図である。

（全体構成）
図１は、本発明の第１実施形態に係る塗布装置１０の概略図である。図１に示されるように、塗布装置１０は、塗布液を貯留する貯留タンク１と、塗布液を支持台１１上の基材１２に塗布するスリットノズル２と、貯留タンク１からスリットノズル２へ塗布液を供給する塗布液供給装置３と、塗布装置１０を制御する制御装置４と、を備えている。スリットノズル２は、ノズル自体に塗布液を吐出するための所定幅のスリットが形成され、スリットノズル２を移動させることによって、基材１２に塗布液を塗布する、テーブルコーター（登録商標）用のスリットノズルである。スリットノズル２の移動は、制御装置４によって制御される。

貯留タンク１には、圧縮空気が供給されるようになっており、この圧縮空気の圧力によって、塗布液を下方から押し出すようになっている。なお、貯留タンク１内の塗布液は、圧縮空気を使用せず、重力によっても押し出されることもできる。

塗布液供給装置３は、塗布液が収容される収容容器５と、収容容器５に収容された塗布液を収容容器５からスリットノズル２へ吐出させるロッド６と、ロッド６を軸方向に移動させる駆動部材７と、を備えている。

収容容器５は、円筒状のシリンダで構成されている。本実施形態では、収容容器５は、内部の視認性を高めるため、ガラス製のシリンダが使用されている。しかし、収容容器５は、ステンレス等の金属材料で製造されてもよい。この場合、収容容器５の内面は、鏡面加工等により面粗度を小さくする必要がある。

収容容器５の一端部は閉鎖されており、他端部には、ロッド６が挿通する挿通孔５１ａが形成されている封止部材５１が取り付けられている。挿通孔５１ａの内周面には、Ｏリング等のシール部材５２が配置されている。シール部材５２は、封止部材５１とロッド６との間のシール性を確保している。

収容容器５には、塗布液供給管１３を通して、貯留タンク１から塗布液が供給されるようになっている。塗布液供給管１３には、供給弁１３ａが設けられており、供給弁１３ａの開閉によって、収容容器５への塗布液の供給、供給停止が行われる。供給弁１３ａの開閉は、制御装置４によって制御される。

収容容器５から、塗布液吐出管１４を通して、スリットノズル２へ塗布液が供給されるようになっている。塗布液吐出管１４には、吐出弁１４ａが設けられており、吐出弁１４ａの開閉によって、スリットノズル２への塗布液の供給、供給停止が行われる。吐出弁１４ａの開閉は、制御装置４によって制御される。

収容容器５には、収容容器５内のエアを排出する、エア排出管１５が接続されている。エア排出管１５には、排出弁１５ａが設けられており、排出弁１５ａの開放によって、収容容器５内のエアが排出される。排出弁１５ａの開閉は、制御装置４によって制御される。

収容容器５には、後述する封入空間に封入液Ｗを封入する、液体封入管１６が接続されている。液体封入管１６には、封入弁１６ａが設けられており、封入弁１６ａの開放によって、封入空間に封入液Ｗが封入される。封入空間に封入液Ｗが充満すると、封入弁１６ａを閉止する。封入弁１６ａの開閉は、制御装置４によって制御される。

ロッド６は、例えば、ステンレス鋼、合成樹脂、あるいは、金属材料の表面にクロムメッキを施したもの等でできており、円柱形状を有している。ロッド６の表面は、鏡面加工等によって、面粗度が小さくなっている。

駆動部材７は、ステッピングモータであるモータ７１の駆動により、モータ７１の回転軸に一体的に形成されたボールネジ７２を回転させ、ボールネジ７２に螺合した支持部（ボールナット）７３を介して、ロッド６を軸方向に往復移動させるようになっている。

図２は、収容容器５の概略図である。図２に示されるように、ロッド６の先端部には、ロッド６の先端に対して軸方向に移動可能な突出部材６１が取り付けられている。突出部材６１は、円板部６１ａと円柱状のピン部６１ｂとを備えている。また、ロッド６は、突出部材６１のピン部６１ｂがロッド６の軸方向にガイドされながら摺動可能とする円形のガイド穴６ａと、ロッド６の外周面に設けられた外周穴６ｂと、を備えている。また、後述するベローズ部材のねじれを防ぐため、突出部材６１のピン部６１ｂ及びガイド穴６ａを複数としたり、多角形の形状とする等、突出部材６１の回り止めを行ってもよい。

突出部材６１には、ベローズ部材８が取り付けられている。ベローズ部材８は、一端が突出部材６１の円板部６１ａの外周（図中Ａ）に取り付けられ、他端がリング部材８ａに取り付けられている（図中Ｂ）。リング部材８ａの外周は、例えば、収容容器５を分割構造とした構造体５ａ、５ｂの間に挟まれて固定されている。構造体５ａと構造体５ｂとの接続方法は、どのようなものであってもよい。これによって、収容容器５に収容された塗布液Ｐとロッド６とを隔離し、ロッド６との間で、閉空間である封入空間９を形成するようになっている。さらに、ロッド６の外周面とベローズ部材８の内面との間には隙間Ｃ１が設けられ、また、ロッド６の外周面とリング部材８ａの内周との間には隙間Ｃ２が設けられて、ベローズ部材８の伸縮と封入液Ｗの通過とを可能としている。そして、ベローズ部材８は、ロッド６の軸方向の移動に対して伸縮するようになっている。

封入空間９には、液体封入管１６から封入液Ｗが封入される。封入される封入液Ｗは非圧縮性流体である。封入空間９は、ベローズ部材８の内面とロッド６の外周面との間に形成される第１空間９１と、収容容器５、封止部材５１及びロッド６の間に形成される第２空間９２と、突出部材６１、ベローズ部材８及びロッド６の先端の間に形成される第３空間９３と、ロッド６内に形成され、突出部材６１とロッド６との間に形成される第４空間９４と、ロッド６内に形成され、第１空間９１と第４空間９４とを連通する第５空間９５と、を備えている。封入液Ｗは、第１空間９１〜第５空間９５及び先に述べた隙間Ｃ１、隙間Ｃ２によって、その全体で行き来できるようになっている。

塗布装置１０を使用する前に、次のような準備を行う。

まず、図３に示されるように、ベローズ部材８のひと山の体積が最も大きくなる位置までロッド６を前進させる。ベローズ部材８のひと山の体積が最も大きくなる状態は、ベローズ部材８のひと山の角度θが所定角度（ベローズ部材８の形状によるが、通常６０度程度）のときであり、このとき、第１空間９１の体積は最も大きくなる。そして、このとき、ベローズ部材８の弾性力によってロッド６の先端面と円板部６１ａとは接触し、第４空間９４は最小体積となる。ここで、封入弁１６ａを開放し、封入空間９の内部の空気を排出しながら、液体封入管１６を介して、封入液Ｗを封入空間９に供給した後、封入弁１６ａを閉止して、封入空間９に空気を残さないようにして封入液Ｗを封入する。なお、封入液Ｗが封入空間９に充満したかどうかは、封入液Ｗの供給によって、円板部６１ａがロッド６の先端からわずかに離れるのを目安にすればよい。このとき、供給弁１３ａ、吐出弁１４ａ、排出弁１５ａを閉止状態とするが、ロッド６を円滑に動作させるために、排出弁１５ａを開放し、エア排出管１５を介して収容容器５の内部の空気を排出可能としておいてもよい。

図４に示されるように、ロッド６を最も後退させた位置（ロッド６の先端面が収容容器５の他端部に最も接近した位置、以下、初期位置という）まで後退させ、供給弁１３ａを開放し、塗布液供給管１３を介して、貯留タンク１に貯留された塗布液Ｐを収容容器５内に供給する。このとき、排出弁１５ａを開放し、エア排出管１５を介して、収容容器５内の空気を排出する。エア排出管１５は、塗布液供給管１３とは反対側に位置であって、収容容器５内の最も高い位置に設けられている。したがって、収容容器５内の空気は、スムーズに排出されることになる。なお、エア排出管１５から塗布液Ｐがこぼれ出ることにより排出弁１５ａを閉止する。

ここで、封入液Ｗは非圧縮性流体であり、封入空間９には空気が残っていないので、ベローズ部材８がロッド６の進退に伴って変形しても、封入空間９の体積は常に一定である。そのため、ロッド６が進退する間は、図４Ｂに示される第１空間９１、第３空間９３、第４空間９４及び第５空間９５の間で封入液Ｗの流れが生じ、第１空間９１、第３空間９３及び第４空間９４の体積が変化する。第５空間９５では体積の変化が生じず、第２空間９２では、体積の変化も封入液Ｗの流れも生じない。したがって、第１空間９１の体積の増減に対する調整空間は、第３空間９３及び第４空間９４である。

具体的には、図３の状態から図４の状態にかけて、ベローズ部材８のひと山の角度θが小さくなり、第１空間９１の体積が小さくなっていく。しかし、封入液Ｗの体積は一定なので、第１空間９１の体積が小さくなって押し出された封入液Ｗは、第３空間９３へ流れ、それに伴い、結果的にロッド６の先端面と突出部材６１の円板部６１ａとの間が開きながら、ロッド６は後退する。

また、円板部６１ａと共にピン部６１ｂが移動するのに伴い、第４空間９４の体積が大きくなるが、そこには第１空間９１から第５空間９５を通じて封入液Ｗが流れることにより、封入液Ｗの体積一定が保たれる。

なお、設計の都合で、第５空間９５を形成する外周穴６ｂが第２空間９２に達した場合は、第２空間９２でも封入液Ｗの流れが生じる（図５を参照）。また、設計の際は、外周穴６ｂが第２空間９２を通過し、封止部材５１で隠れてしまわないようにすることが必要である（図５に示される距離Ｔが存在することが必要である）。

このように、封入空間９に封入液Ｗが封入され、収容容器５内に塗布液Ｐが充填されると、塗布装置１０は、次のように作動するようになっている。実際は、塗布液Ｐは、塗布液吐出管１４及びスリットノズル２にも充填されるが、ここでは説明を省略する。

図６に示されるように、吐出弁１４ａを開放し、駆動部材７のモータ７１を駆動してボールネジ７２を回転させることによって、スリットノズル２で必要とされる吐出量、吐出速度に合わせてロッド６を前進させる。ロッド６の前進によって、ロッド６の先端部に取り付けられた突出部材６１も前進するが、突出部材６１は、封入空間９の体積が一定に維持されるので、ロッド６の前進量よりも小さい距離だけ（図４Ｂに示されるロッド６の先端面と円板部６１ａの間の距離Ｌが縮小しながら）前進する。突出部材６１に取り付けられたベローズ部材８は、突出部材６１の前進分だけ伸長する。そして、収容容器５内の塗布液Ｐは、塗布液吐出管１４を介して、スリットノズル２へ吐出される。スリットノズル２へ吐出された塗布液Ｐは、スリットノズル２のスリットから、基材１２へ塗布される。塗布を停止するときは、吐出弁１４ａを閉止し、塗布を再開するときは、吐出弁１４ａを開放する。

なお、ロッド６が前進を続け、ベローズ部材８のひと山の角度θが所定角度（例えば６０度程度）を超えると（図３の位置よりロッド６が前進すると）、第１空間９１の容積は小さくなっていくので、それまでとは、封入液Ｗの流れは逆となり、図４Ｂの距離Ｌが拡大しながらロッド６は前進する。

このように、塗布装置１０では、封入空間９の体積が変化しないので、ロッド６を前進させることによる収容容器５の内部の容積の変化と塗布液Ｐの吐出量とが一致することになる。また、薄いシートで形成されたベローズ部材８の内外は非圧縮性の液体で充填されているので、ロッド６を前進させる際に生じる圧力は、弾性のベローズ部材８を介して伝達され、塗布液Ｐと封入液Ｗとは同圧となるため、ベローズ部材８が弾性変形することもない。これにより、塗布液Ｐの塗布量は変動せず、塗布液Ｐは基材１２に均一な厚さで塗布される。

ロッド６を最も前進させた位置（以下、最挿入位置という）まで前進させた後は、図７に示されるように、吐出弁１４ａを閉止し、供給弁１３ａを開放すると同時に、駆動部材７のモータ７１を逆転駆動させ、ロッド６を最挿入位置から初期位置に後退させて、塗布液供給管１３を介して、塗布液Ｐを収容容器５内に供給する。収容容器５内へは、ロッド６を後退させて増大した空間体積に合わせて、順次、塗布液Ｐが供給されるので、２回目以降の塗布液供給工程では、排出弁１５ａは閉止状態に維持される。なお、封入空間９に封入される封入液Ｗの量が少ない場合、ロッド６が前進している途中から、図１２に示されるようにベローズ部材８の膜がへこむように変形を始めてしまい、正しい吐出量が得られなくなるが、図３に示されるように、ベローズ部材８のひと山の体積を最も大きくした状態で封入液Ｗを封入しているので、そのような問題は生じない。

以上の工程を繰り返すことによって、塗布作業が実行される。

前記構成の塗布装置１０によれば、次のような効果を発揮できる。

（１）封入空間９に液体である封入液Ｗを封入することによって、ロッド６の軸方向の移動に対して封入空間９の体積が変化せず、薄いシートで形成されたベローズ部材８そのものの変形を防止できるので、ロッド６の軸方向の移動による収容容器５内の体積の変化量と吐出される塗布液Ｐの量とが一致する。したがって、塗布液Ｐの塗布量の精度（定量性）を向上させることができる。

（２）ベローズ部材８の伸縮によって、第１空間９１の体積が増減するとき、封入空間９は、封入空間９に封入されている封入液Ｗが移動可能な調整空間（第３空間９３及び第４空間９４）を有しているので、ロッド６の軸方向の移動に対して、封入空間９の体積を一定にすることができる構成を容易に達成できる。

（３）ロッド６の先端と突出部材６１とによって調整空間の一部（第３空間）を形成することによって、ベローズ部材８の伸縮で第１空間９１の体積が増減するときの封入液Ｗの移動元、移動先を形成することができる。その結果、ベローズ部材８の伸縮において、動きを円滑にし、封入空間９の体積を一定にすることができる構成を容易に達成できる。

（４）調整空間の一部（第４空間９４）は、ロッド６の内部に形成された第５空間９５を介して第１空間９１と連通しているので、ベローズ部材８の伸縮によって第１空間９１の体積が増減するとき、ロッド６の内部を通して、第１空間９１と調整空間との間で液体を移動させることができる。

（５）封入液Ｗは、第１空間９１の体積が最大となる状態で、封入空間９に封入されるので、ロッド６の位置がどこにあっても、上記の機能を正しく発揮できる。具体的には、第１空間９１の体積が小さい状態で液体を封入すると、ロッド６が押し込まれた時に図１２に示されるように、ベローズ部材８が内側に吸い付いたように変形してしまい、ロッド６の押し込み量よりも塗布液の吐出量が少なくなってしまう状態が生じ得るので、本構成によりその問題が解決できる。

（６）ロッド６と塗布液Ｐとは直接接触しないので、ロッド６の移動による塗布液Ｐの乾燥、発塵、液漏れ等の発生を防止できる。また、塗布液Ｐの滞留による液沈降、凝集むら等の発生を防止できる。

（別の実施形態）
図８及び図９は、本発明に係る別の実施形態であって、ロッド６に突出部材６１が取り付けられない塗布液供給装置の概略図である。別の実施形態は、突出部材６１を有していない点で上記実施形態と異なっており、その他の構成は上記実施形態と同じである。このため、別の実施形態の説明においては、上記実施形態と同じ部分には同じ符号を付し、それらの内容については詳しい説明を省略する。

図８及び図９に示されるように、ベローズ部材８の軸方向中間部は、ロッド６の先端に取り付けられており（図中Ｘ１の部分）、さらに、ベローズ部材８の先端部は、閉止されている（図中Ｘ２の部分）。ベローズ部材８は、一端がロッド６の先端に取り付けられ、他端がロッド６と収容容器５との境界に取り付けられる第１ベローズ部材８１と、一端が閉止され、他端がロッド６の先端に取り付けられる第２ベローズ部材８２と、を備えている。なお、第１ベローズ部材８１と第２ベローズ部材８２との間では、封入される液体が自由に移動可能となるように、隙間や連通孔６ｃが設けられている。

封入空間９は、第１ベローズ部材８１の内面とロッド６の外周面との間に形成される第１空間９１と、収容容器５、封止部材５１及びロッド６の外周面の間に形成される第２空間９２と、第２ベローズ部材８２とロッド６の先端との間に形成される第６空間９６と、を備えている。

ベローズ部材８は、ロッド６の軸方向の移動に対して伸縮し、それにより、第１空間９１の体積、第６空間９６の体積は変動するが、第２空間９２の体積は一定である。図８から図９に示されるように、ロッド６が収容容器５内に挿入されると、第１ベローズ部材８１は伸長し、第２ベローズ部材８２は収縮する。その結果、第１空間９１の体積は増加するが、第１空間９１の体積増加分だけ、第６空間９６の体積は減少する。したがって、封入空間９全体の体積は一定であり、封入空間９に封入された液体の圧力も一定となる。

ロッド６が収容容器５から後退すると、図９から図８への動きで示されるように、第１ベローズ部材８１は収縮し、第２ベローズ部材８２は伸長する。その結果、第１空間９１の体積は減少するが、第１空間９１の体積減少分だけ、第６空間９６の体積は増加する。したがって、封入空間９全体の体積は一定であり、封入空間９に封入された液体の圧力も一定となる。

前記構成の塗布装置１０によれば、次のような効果を発揮できる。

（１）ロッド６の先端とベローズ部材８の先端部とによって調整空間（第６空間９６）を形成することによって、ベローズ部材８の伸縮で第１空間９１の体積が増減するときの液体の移動元、移動先を形成することができる。その結果、ベローズ部材８の伸縮において、封入空間９の体積を一定にすることができる構成を容易に達成できる。

（２）ベローズ部材８の軸方向中間部をロッド６の先端に取り付けることによって、中間部を境として、ベローズ部材８の一方側である第１ベローズ部材８１が伸長するとき他方側である第２ベローズ部材８２が収縮し、一方側である第１ベローズ部材８１が収縮するとき他方側である第２ベローズ部材８２が伸長する。その結果、本構成により、ロッド６の軸方向の移動に対して、封入空間９の体積を一定に維持できる。

（３）ロッド６の先端に対して軸方向に移動可能の突出部材を設ける必要がなく、また、ロッド６の内部に、封入空間９に含まれ、液体が封入される空間を形成する必要がない。したがって、ロッド６回りの構成を簡素化することができる。

また、図１０に示されるように、ベローズ部材８がロッド６に取り付けられていなくてもよい。この場合、非常に簡単な構造で、ロッド６の軸方向の移動に対して、ベローズ部材８が伸縮して、封入空間９の体積を一定に維持することができる。ただし、この場合は、ベローズ部材８がロッド６に取り付けられないので、ベローズ部材８にたわみ、ねじれ又は伸縮の不均一が生じないように、注意が必要である。なお、図９までの実施例によれば、ベローズ部材８の伸縮時において、上記のような問題を生じさせず、ベローズ部材８の円滑な動作を実現し、ベローズ部材８の耐久性も向上させることができる。

（他の実施形態）
上記各実施形態では、駆動部材７は、モータ７１の駆動により、モータ７１の回転軸に一体的に形成されたボールネジ７２を回転させ、ボールネジ７２に螺合した支持部７３を介して、ロッド６を軸方向に往復移動させるようになっている。しかし、図１１に示されるように、ロッド６をシャフトモータ７４で軸方向に往復移動させるようになっていてもよい。

駆動部材７は、シャフトモータ７４とシャフトモータ７４を支持するボールブッシュ７５とを備えている。

本実施形態によれば、シャフトモータ７４からロッド６に直接駆動力が伝達されるので、ロッド６の軸方向移動の応答性を向上させることができる。また、ボールネジ及び支持部材を削除できるので、駆動部材７に必要な空間を小さくすることができる。さらに、ボールネジの回転運動から生じる振動によるロッドへの影響を防止し、ロッドの軸方向移動の精度を向上させることができ、その結果、塗布液の塗布むらを低減できる。

なお、上記各実施形態では、塗布液供給装置３が横向き、すなわち、ロッド６が水平方向に往復移動するように配置されているが、塗布液供給装置が縦向き、すなわち、ロッドが垂直方向に往復移動するように配置されたり、傾斜させて配置されてもよい。

特許請求の範囲に記載された本発明の精神及び範囲から逸脱することなく、各種変形及び変更を行うことも可能である。

本発明では、塗布液の塗布量の精度を向上させることができる塗布液供給装置を提供できるので、産業上の利用価値が大である。

１ 貯留タンク
１０ 塗布装置
１１ 支持台 １２ 基材
１３ 塗布液供給管 １３ａ 供給弁
１４ 塗布液吐出管 １４ａ 吐出弁
１５ エア排出管 １５ａ 排出弁
１６ 液体封入管 １６ａ 封入弁
２ スリットノズル
３ 塗布液供給装置
４ 制御装置
５ 収容容器
５１ 封止部材 ５１ａ 挿通孔 ５２ シール部材
６ ロッド
６ａ ガイド穴 ６ｂ 外周穴 ６ｃ 連通孔
６１ 突出部材
６１ａ 円板部 ６１ｂ ピン部
７ 駆動部材
７１ モータ ７２ ボールネジ ７３ 支持部 ７４ シャフトモータ
７５ ボールブッシュ
８ ベローズ部材
８ａ リング部材
８１ 第１ベローズ部材 ８２ 第２ベローズ部材
９ 封入空間
９１ 第１空間 ９２ 第２空間 ９３ 第３空間 ９４ 第４空間 ９５ 第５空間
９６ 第６空間
Ｃ１ 隙間 Ｃ２ 隙間
Ｔ 距離
Ｐ 塗布液
Ｗ 封入液

Claims (5)

1. 塗布液が収容される収容容器と、
   前記収容容器内で軸方向に移動し、前記収容容器に収容された塗布液を前記収容容器から吐出させるロッドと、
   前記収容容器に収容された塗布液と前記ロッドとを隔離し、前記ロッドとの間で閉空間である封入空間を形成するよう前記ロッドに取り付けられ、前記ロッドの軸方向の移動に対して伸縮するベローズ部材と、を備えており、
   前記封入空間には、液体が封入されており、
   前記封入空間は、前記ロッドの外周面と前記ベローズ部材の内面との間に形成される第１空間を有しており、
   前記ベローズ部材の伸縮によって、前記第１空間の体積が増減するとき、前記封入空間は、前記封入空間に封入されている液体が移動可能な調整空間を有していることを特徴とする、塗布液供給装置。
   
2. 前記ロッドの先端部には、前記ロッドの先端に対して軸方向に移動可能の突出部材が取り付けられており、
   前記ベローズ部材の先端は、前記突出部材に取り付けられており、
   前記調整空間の一部は、前記ロッドの先端と前記突出部材とによって形成される、請求項１記載の塗布液供給装置。
   
3. 前記ベローズ部材の軸方向中間部は、前記ロッドの先端に取り付けられており、
   前記ベローズ部材の先端部は、閉止されており、
   前記調整空間は、前記ロッドの先端と前記ベローズ部材の先端部とによって形成される、請求項１記載の塗布液供給装置。
   
4. 前記調整空間の一部は、前記ロッドの内部に形成された空間を介して前記第１空間と連通している、請求項１〜３のいずれか１つに記載の塗布液供給装置。
   
5. 前記液体は、前記第１空間の体積が最大となる状態で、前記封入空間に封入される、請求項１〜４のいずれか１つに記載の塗布液供給装置。

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