KR20080018204A - 운동 안내 장치 및 운동 안내 장치의 조립 방법 - Google Patents

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KR20080018204A
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히데까즈 미찌오까
히로시 니와
히로아끼 모찌즈끼
다꾸야 야마가따
다꾸야 호리에
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티에치케이 가부시끼가이샤
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Abstract

본 발명은 이동 블럭이 궤도 레일의 축 직교 방향으로 진동하는 것을 감쇠할 수 있는 운동 안내 장치를 제공한다. 이동 블럭 본체(4)에 궤도 레일(1)의 표면에 대향하는 표면을 갖는 감쇠 플레이트(8)를 설치한다. 상기 감쇠 플레이트(8)의 표면은 궤도 레일(1)에 접촉하거나, 또는 궤도 레일(1) 사이의 간극이 가급적 0으로 설정된다. 궤도 레일 또는 이동 블럭으로부터 진동이 발생할 때, 궤도 레일(1)의 표면과 감쇠 플레이트(8)의 표면이 접촉함으로써, 궤도 레일의 축 직교 방향의 운동 안내 장치의 스프링 상수가 변화되므로, 축 직교 방향의 진동의 감쇠성이 향상된다.
운동 안내 장치, 이동 블럭, 궤도 레일, 감쇠 플레이트, 간극 조정 플레이트

Description

운동 안내 장치 및 운동 안내 장치의 조립 방법 {MOTION GUIDE DEVICE AND METHOD OF ASSEMBLING MOTION GUIDE DEVICE}
본 발명은 이동 물체가 운동하는 것을 안내하는 리니어 가이드, 볼 스플라인 등의 운동 안내 장치에 관한 것으로, 특히 안내 기구에 마찰 계수를 저감시키는 볼, 롤러 등의 구름 이동체를 개재시킨 구름형의 운동 안내 장치에 관한 것이다.
안내 기구에 구름 이동체를 개재시킨 구름형의 운동 안내 장치는 미끄러짐형의 운동 안내 장치보다도 경쾌한 움직임을 얻을 수 있다는 이점이 있으므로, 공작 기계, 반도체ㆍ액정 제조 장치, 로봇 등 폭넓은 분야에서 많이 사용되고 있다. 구름형의 운동 안내 장치 중 하나의 사용예로서, 도15에 도시된 바와 같이 종형의 머시닝 센터의 Z축에 사용되는 예를 들 수 있다. 본 예에서는, 운동 안내 장치(22)는 공구(21)를 회전시키는 구동 장치(24)가 베이스(23)에 대해 Z축 방향으로 직선 운동하는 것을 안내한다.
그러나, 구름형의 운동 안내 장치(22)를 이와 같은 머시닝 센터의 Z축에 사용할 때, 가공 중에 운동 안내 장치(22)에 진동이 발생하고, 그 진동이 구동 장치(24)의 선단부의 공구(21)의 부분에서 확대되고, 이에 의해 가공면의 정밀도가 떨어진다는 문제가 발생하는 경우가 있었다. 공구(21)의 측에서 보면, 공구(21)의 진동에 의해 가공면에 강하게 부딪쳐, 공구(21)의 수명이 저하된다는 문제가 발생한다. 이와 같은 문제를 해결하기 위해, 머시닝 센터의 Z축에는 구름형의 운동 안내 장치 대신에 감쇠성이 높은 미끄러짐형의 운동 안내 장치가 사용되는 경우가 있다.
물론, 미끄러짐형의 운동 안내 장치를 사용하면, 경쾌한 움직임을 얻을 수 있다는 구름형의 운동 안내 장치의 장점을 살릴 수 없게 된다. 경쾌한 움직임을 얻을 수 있다는 구름형의 운동 안내 장치의 최대의 장점을 살린 상태에서 감쇠성을 향상시키기 위해, 예를 들어 도16에 도시된 바와 같이, 궤도 레일(25)과 이동 블럭(26) 사이에 스퀴즈 필름 댐퍼(27)를 형성하고, 스퀴즈 필름 댐퍼(27)에 의해 이동 블럭(26)이 진동하는 것을 감쇠시키는 기술이 알려져 있다(특허문헌 1, 2 페이지 참조). 이 스퀴즈 필름 댐퍼(27)를 이용한 유체 감쇠 기술에 있어서, 이동 블럭(26)에는 궤도 레일(1)의 정상면을 마주보는 제1 구름 이동면(28)과, 궤도 레일(1)의 돌출벽의 하면을 마주보는 제2 구름 이동면(29)이 형성된다. 제1 및 제2 구름 이동면(28, 29)과 궤도 레일(1) 사이에는 수십 마이크로미터 정도의 간극(t)이 형성되고, 이 간극(t)에 오일막이 충만되어 스퀴즈 필름 댐퍼를 구성한다.
특허문헌 1 : 일본 특허 출원 공개 평5-60129호 공보
스퀴즈 필름 댐퍼(27)를 이용한 유체 감쇠 기술은 이동 블럭이 궤도 레일의 축방향으로 진동할 때에 저항력이 발생하므로, 이동 블럭의 축 방향의 진동을 감쇠할 수는 있다. 그러나, 이동 블럭이 축 직교 방향으로 진동하는 것을 감쇠시킬 수 없다. 본 발명자는 머시닝 센터의 Z축에 운동 안내 장치를 사용한 경우에 문제가 되는 진동은, 궤도 레일의 축 직교 방향으로 발생하는 진동인 것을 지견하였다. 이 축 직교 방향의 진동은 공작물을 가공할 때에 발생하는 진동이고, 이동 블럭이 정지 중이거나 혹은 천천히 이동하고 있을 때에 발생한다. 그리고, 문제가 되는 진동은 구름 이동체가 스프링과 같은 역할을 하는 것을 원인으로 발생한다.
그래서, 본 발명은 이동 블럭이 궤도 레일의 축 직교 방향으로 진동하는 것을 감쇠할 수 있는 운동 안내 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
이하, 본 발명에 대해 설명한다. 또한, 본 발명의 이해를 쉽게 하기 위해 첨부 도면의 참조 번호를 괄호 쓰기로 부기하지만, 그것에 의해 본 발명이 나타낸 형태로 한정되는 것은 아니다.
상기 과제를 해결하기 위해, 청구항 1에 기재된 발명은, 구름 이동체 전주 홈(1a)이 형성된 궤도 부재(1)와, 상기 구름 이동체 전주 홈(1a)에 대향하는 부하 구름 이동체 전주 홈(2a)이 형성되는 동시에 무부하 복귀 통로(2b)가 형성되는 이동 부재 본체(4)와, 상기 이동 부재 본체(4)의 진행 방향의 양단부에 설치되고, 상기 부하 구름 이동체 전주 홈(2a)과 상기 무부하 복귀 통로(2b)를 접속하는 방향 전환로가 형성되는 덮개 부재(5)와, 상기 이동 부재 본체(4)의 상기 부하 구름 이동체 전주 홈(2a)을 포함하는 구름 이동체 순환 경로에 수용되는 복수의 구름 이동체(3)를 구비하는 운동 안내 장치에 있어서, 상기 이동 부재 본체(4)에, 상기 궤도 부재(1)의 표면에 대향하는 표면을 갖는 감쇠 플레이트(8, 15)를 설치하고, 상기 감쇠 플레이트(8, 15)의 상기 표면은 상기 궤도 부재(1)에 접촉하거나, 또는 상기 궤도 부재(1)와의 사이의 간극(δ)이 가급적 0으로 설정되고, 상기 이동 부재 본체(4)가 상기 궤도 부재(1)에 대해 상기 궤도 부재(1)의 길이 방향에 교차하는 방향으로 상대적으로 진동할 때, 상기 감쇠 플레이트(8, 15)의 표면과 상기 궤도 부재(1)의 표면이 접촉함으로써, 상기 이동 부재 본체(4)가 상기 궤도 부재(1)에 대해 상기 교차하는 방향으로 상대적으로 진동하는 것을 감쇠하는 것을 특징으로 한다.
청구항 2에 기재된 발명은, 청구항 1에 기재된 운동 안내 장치에 있어서, 상기 이동 부재 본체(4)와 상기 감쇠 플레이트(8) 사이에, 상기 감쇠 플레이트(8)와 상기 궤도 부재(1) 사이의 간극을 조정하는 간극 조정 플레이트(7)가 설치되는 것을 특징으로 한다.
청구항 3에 기재된 발명은, 청구항 2에 기재된 운동 안내 장치에 있어서, 상기 이동 부재 본체(4) 및 상기 간극 조정 플레이트(7) 각각의 맞춤면(4c, 7a)에 구배가 형성되고, 상기 간극 조정 플레이트(7)를 상기 이동 부재 본체(4)에 대해 이동시킴으로써, 상기 감쇠 플레이트(8)와 상기 궤도 부재(1) 사이의 간극(δ)을 조정하는 것을 특징으로 한다.
청구항 4에 기재된 발명은, 구름 이동체 전주 홈(1a)이 형성된 궤도 부재(1)와, 상기 구름 이동체 전주 홈(1a)에 대향하는 부하 구름 이동체 전주 홈(2a)이 형성되는 동시에 무부하 복귀 통로(2b)가 형성되는 이동 부재 본체(16)와, 상기 이동 부재 본체(16)의 진행 방향의 양단부에 설치되고, 상기 부하 구름 이동체 전주 홈(2a)과 상기 무부하 복귀 통로(2b)를 접속하는 방향 전환로가 형성되는 덮개 부재(5)와, 상기 이동 부재 본체(16)의 상기 부하 구름 이동체 전주 홈(2a)을 포함하는 구름 이동체 순환 경로에 수용되는 복수의 구름 이동체(3)를 구비하는 운동 안내 장치에 있어서, 상기 이동 부재 본체(16)에, 상기 궤도 부재(1)의 표면에 대향하는 표면(16b)을 갖는 감쇠부(16a)를 설치하고, 상기 감쇠부(16a)의 상기 표면(16b)은 상기 궤도 부재(1)에 접촉하거나, 또는 상기 궤도 부재(1) 사이의 간극(δ)이 가급적 0으로 설정되고, 상기 이동 부재 본체(16)가 상기 궤도 부재(1)에 대해 상기 궤도 부재(1)의 길이 방향에 교차하는 방향으로 상대적으로 진동할 때, 상기 감쇠부(16a)의 표면(16b)과 상기 궤도 부재(1)의 표면이 접촉함으로써, 상기 이동 부재 본체(16)가 상기 궤도 부재(16)에 대해 상기 교차하는 방향으로 상대적으로 진동하는 것을 감쇠하는 것을 특징으로 하는 운동 안내 장치이다.
청구항 5에 기재된 발명은, 청구항 4에 기재된 운동 안내 장치에 있어서, 상기 감쇠부(16a)는 상기 이동 부재 본체(16)와 동일한 재질로 일체로 형성되는 것을 특징으로 한다.
청구항 6에 기재된 발명은, 청구항 1 내지 4 중 어느 하나에 기재된 운동 안내 장치에 있어서, 상기 감쇠 플레이트(8, 15) 또는 상기 감쇠부(16a)의 상기 표면에는 상기 이동 부재 본체(4, 16)가 상기 궤도 부재(1)의 길이 방향으로 이동할 때의 마찰 저항을 저감시키기 위한 오일이 공급되는 오일 홈(8b)이 형성되는 것을 특징으로 한다.
청구항 7에 기재된 발명은, 청구항 1 내지 6 중 어느 하나에 기재된 운동 안내 장치에 있어서, 상기 이동 부재 본체(4, 16)는 전체가 안장 형상으로 형성되고, 상기 궤도 부재(1)의 상면에 대향하는 중앙부(4a)와, 중앙부(4a)의 폭 방향의 양단부에 설치되고, 상기 궤도 부재(1)의 측면에 대향하는 한 쌍의 다리부(4b)를 갖고, 상기 이동 부재 본체(4)의 상기 중앙부(4a)에 상기 감쇠 플레이트(8, 15) 또는 상기 감쇠부(16a)가 설치되는 것을 특징으로 한다.
청구항 8에 기재된 발명은, 구름 이동체 전주 홈(1a)이 형성된 궤도 부재(1)와, 상기 구름 이동체 전주 홈(1a)에 대향하는 부하 구름 이동체 전주 홈(2a)이 형성되는 동시에 무부하 복귀 통로(2b)가 형성되는 이동 부재 본체(4)와, 상기 이동 부재 본체(4)의 진행 방향의 양단부에 설치되고, 상기 부하 구름 이동체 전주 홈(2a)과 상기 무부하 복귀 통로(2b)를 접속하는 방향 전환로가 형성되는 덮개 부재(5)와, 상기 이동 부재 본체(4)의 상기 부하 구름 이동체 전주 홈(2a)을 포함하는 구름 이동체 순환 경로에 수용되는 복수의 구름 이동체(3)를 구비하는 운동 안내 장치에 있어서, 상기 이동 부재 본체(4)에, 상기 궤도 부재(1)의 표면에 대향하는 표면을 갖는 감쇠 플레이트(8)와, 상기 감쇠 플레이트(8)와 상기 궤도 부재(1) 사이의 간극을 조정하는 간극 조정 플레이트(7)를 설치하는 것을 특징으로 하는 운동 안내 장치이다.
청구항 9에 기재된 발명은, 청구항 8에 기재된 운동 안내 장치에 있어서, 상기 이동 부재 본체(4) 및 상기 간극 조정 플레이트(7) 각각의 맞춤면(4c, 7a)에 구배가 형성되고, 상기 간극 조정 플레이트(7)를 상기 이동 부재 본체(4)에 대해 이동시킴으로써, 상기 감쇠 플레이트(8)와 상기 궤도 부재(1) 사이의 간극을 조정하는 것을 특징으로 한다.
청구항 10에 기재된 발명은, 청구항 9에 기재된 운동 안내 장치에 있어서, 상기 이동 부재 본체에 또한, 상기 이동 부재 본체(4)의 진행 방향의 양단부에 설치되는 한 쌍의 압박판(10)과, 상기 압박판(10)에 대해 상기 간극 조정 플레이트(7)를 상기 진행 방향으로 압박하는 압박 수단(11)과, 상기 감쇠 플레이트(8) 및 상기 간극 조정 플레이트(7)를 상기 이동 부재 본체에 고정하는 고정 수단(9)을 마련하는 것을 특징으로 한다.
청구항 11에 기재된 발명은, 청구항 10에 기재된 운동 안내 장치에 있어서, 상기 이동 부재 본체(4)에 또한, 상기 고정 수단(9)이 상기 감쇠 플레이트(8)를 인장하는 방향과 반대 방향에, 상기 감쇠 플레이트(8)를 압박하는 감쇠 플레이트 압박 수단(12)을 마련하는 것을 특징으로 한다.
청구항 12에 기재된 발명은, 궤도 부재(1)와 이동 부재(2) 사이에 구름 운동 가능하게 구름 이동체(3)를 개재시킨 운동 안내 장치의 이동 부재(2)에, 상기 궤도 부재(1)의 표면에 대향하는 표면을 갖는 감쇠 플레이트(8) 및 상기 감쇠 플레이트(8)와 상기 궤도 부재(1) 사이의 간극을 조정하는 간극 조정 플레이트(7)를 조립 부착하는 운동 안내 장치의 조립 방법이며, 맞춤면(7a)에 구배가 형성된 상기 간극 조정 플레이트(7)를, 맞춤면(4c)에 구배가 형성된 상기 이동 부재 본체(4)에 대해 상기 이동 부재 본체(4)의 진행 방향으로 이동시킴으로써, 상기 감쇠 플레이트(8)와 상기 궤도 부재(1) 사이의 간극을 조정하는 간극 조정 공정과, 그 후, 상기 감쇠 플레이트(8) 및 상기 간극 조정 플레이트(7)를 상기 이동 부재 본체(4)에 고정하는 고정 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 운동 안내 장치의 조립 방법이다.
청구항 13에 기재된 발명은, 청구항 12에 기재된 운동 안내 장치의 조립 방법에 있어서, 상기 간극 조정 공정과 상기 고정 공정 사이에, 상기 감쇠 플레이트(8)를 상기 이동 부재 본체(4)에 고정할 때에 상기 감쇠 플레이트(8)가 인장되는 방향과 반대 방향으로, 상기 감쇠 플레이트(8)를 압박하는 감쇠 플레이트 압박 공정을 구비하는 것을 특징으로 한다.
청구항 1에 기재된 발명에 따르면, 궤도 부재 또는 이동 부재로부터 진동이 발생할 때, 궤도 부재의 표면과 감쇠 플레이트의 표면이 접촉함으로써, 궤도 부재의 길이 방향에 교차하는 방향, 예를 들어 축 직교 방향의 운동 안내 장치의 스프링 상수가 변화되므로, 축 직교 방향의 진동의 감쇠성이 향상된다. 따라서, 예를 들어 공작 기계로 운동 안내 장치를 사용한 경우, 가공면 품질이 악화되거나, 공구의 수명이 저하되는 문제가 일어나지 않는다.
이동 부재 본체는 감쇠 플레이트를 설치한 상태에서 궤도 부재에 삽입되므로, 청구항 1에 기재된 발명과 같이, 감쇠 플레이트의 표면을 궤도 부재에 접촉시키거나, 또는 궤도 부재 사이의 간극을 가급적 0으로 설정하면, 감쇠 플레이트와 궤도 부재가 간섭하여 삽입이 매우 어렵다는 문제가 있다. 그러나, 청구항 2에 기재된 발명에 따르면, 간극 조정 플레이트에 의해 감쇠 플레이트와 궤도 부재 사이의 간극을 자유자재로 바꿀 수 있으므로, 이동 부재 본체를 궤도 부재에 삽입하는 작업이 쉬워진다. 즉, 이동 부재 본체를 궤도 부재에 삽입할 때에는 궤도 부재와 감쇠 플레이트 사이에 간극이 생기도록 해 놓고, 삽입한 후, 궤도 부재와 감쇠 플레이트를 접촉시킬 수 있게 된다.
청구항 3에 기재된 발명에 따르면, 간극 조정 플레이트를 이동 부재 본체에 대해 이동시킴으로써, 감쇠 플레이트와 궤도 부재 사이의 간극을 조정할 수 있다.
청구항 4에 기재된 발명에 따르면, 궤도 부재 또는 이동 부재로부터 진동이 발생할 때, 궤도 부재의 표면과 감쇠부의 표면이 접촉함으로써, 궤도 부재의 길이 방향에 교차하는 방향, 예를 들어 축 직교 방향의 운동 안내 장치의 스프링 상수가 변화되므로, 축 직교 방향의 감쇠성이 향상된다. 따라서, 예를 들어 공작 기계로 운동 안내 장치를 사용한 경우, 가공면 품질이 악화되거나, 공구의 수명이 저하되는 문제가 일어나지 않는다.
청구항 5에 기재된 발명과 같이, 감쇠부는 이동 부재와 동일한 재질로 일체로 형성되어도 좋다.
청구항 6에 기재된 발명에 따르면, 오일이 공급되는 오일 홈을 형성함으로써, 감쇠 플레이트와 궤도 부재의 구름 이동 저항이 증가하여 눌러 붙음이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
청구항 7에 기재된 발명에 따르면, 리니어 가이드의 이동 블럭의 래디얼 방향 및 역래디얼 방향의 스프링 상수가 변화되므로, 래디얼 방향 및 역래디얼 방향의 진동을 감쇠할 수 있다.
청구항 8에 기재된 발명에 따르면, 간극 조정 플레이트에 의해 감쇠 플레이트와 궤도 부재 사이의 간극을 자유자재로 바꿀 수 있으므로, 이동 부재 본체를 궤도 부재에 삽입하는 작업이 쉬워진다. 즉, 이동 부재 본체를 궤도 부재에 삽입할 때에는, 궤도 부재와 감쇠 플레이트 사이에 간극이 생기도록 해 놓고, 삽입한 후, 궤도 부재와 감쇠 플레이트를 접촉시킬 수 있게 된다. 그뿐만 아니라, 감쇠 플레이트와 궤도 부재 사이의 간극을 바꾸어 감쇠 효과를 조정하는 것도 가능하다. 따라서, 청구항 8에 기재된 발명은 접촉식 감쇠 가이드뿐만 아니라, 오일막에 의해 감쇠시키는 기능을 갖는 안내 장치에도 적용할 수 있다.
청구항 9에 기재된 발명에 따르면, 간극 조정 플레이트를 이동 부재 본체에 대해 이동시키면, 이동 부재 본체와 간극 조정 플레이트에 구배가 형성되어 있으므로, 감쇠 플레이트가 상하로 움직인다. 그 결과, 감쇠 플레이트와 궤도 부재 사이의 간극을 조정할 수 있다.
청구항 10에 기재된 발명에 따르면, 압박 수단으로 간극 조정 플레이트를 이동 블럭의 진행 방향으로 압박하면, 감쇠 플레이트가 상하로 움직여 감쇠 플레이트와 궤도 부재 사이의 간극을 조정할 수 있다. 그 후, 고정 수단으로 감쇠 플레이트를 이동 부재 본체에 고정할 수 있다.
청구항 10에 기재된 발명과 같이, 간극 조정 플레이트를 압박 수단으로 압박하여 간극을 조정하고, 그 후, 고정 수단으로 감쇠 플레이트를 이동 부재 본체에 고정하면, 감쇠 플레이트가 이동 부재 본체측으로 인장되어 간극이 과대해져, 조정을 몇 번이나 반복해야 할 우려가 있다. 그러나, 청구항 11에 기재된 발명에 따르면, 감쇠 플레이트 압박 수단에 의해, 감쇠 플레이트가 고정 수단에 의해 인장되어 간극이 과대해지는 현상이 없어지므로, 간극이 안정되고, 게다가 조정의 공정수를 삭감할 수 있다.
청구항 12에 기재된 발명에 따르면, 압박 수단으로 간극 조정 플레이트를 이동 블럭의 진행 방향으로 압박하면, 감쇠 플레이트가 상하로 움직여 감쇠 플레이트와 궤도 부재 사이의 간극을 조정할 수 있다. 그 후, 고정 수단으로 감쇠 플레이트를 이동 부재 본체에 고정할 수 있다.
청구항 13에 기재된 발명에 따르면, 감쇠 플레이트 압박 공정에 의해, 감쇠 플레이트를 이동 부재에 고정할 때에 감쇠 플레이트가 인장되어 간극이 과대해지는 현상이 없어지므로, 간극이 안정되고, 게다가 조정의 공정수를 삭감할 수 있다.
도1은 본 발명의 일 실시 형태에 있어서의 운동 안내 장치를 도시하는 사시도(일부 단면도를 포함함).
도2는 운동 안내 장치의 축 직교 방향의 단면도.
도3은 도2의 III-III선 단면도.
도4는 궤도 레일과 감쇠 플레이트를 나타내는 축 방향 단면도[도면 중 (A)는 궤도 레일이 똑바른 상태를 나타내고, 도면 중 (B)는 궤도 레일에 기복이 있는 상태를 나타냄].
도5는 간극 조정 플레이트 및 감쇠 플레이트를 체결한 이동 블럭 본체를 도시하는 도면[도면 중 (A)는 단면도를 도시하고, 도면 중 (B)는 정면도를 도시함].
도6은 이동 블럭 본체를 도시하는 도면[도면 중 (A)는 평면도를 도시하고, 도면 중 (B)는 정면도를 도시함].
도7은 압박판을 도시하는 도면[도면 중 (A)는 정면도를 도시하고, 도면 중 (B)는 평면도를 도시함].
도8은 간극 조정 플레이트를 도시하는 도면[도면 중 (A)는 평면도를 도시하고, 도면 중 (B)는 측면도를 도시함].
도9는 감쇠 플레이트를 도시하는 도면[도면 중 (A)는 측면도를 도시하고, 도면 중 (B)는 바닥면도를 도시함].
도10은 간극 조정 방법을 나타내는 원리도.
도11은 간극 조정 방법을 나타내는 원리도.
도12는 본 발명의 다른 실시 형태에 있어서의 운동 안내 장치를 도시하는 축 직교 방향 단면도.
도13은 본 발명의 다른 실시 형태에 있어서의 운동 안내 장치를 도시하는 축 방향 단면도.
도14는 본 발명의 또 다른 실시 형태에 있어서의 운동 안내 장치를 도시하는 축 직교 방향 단면도.
도15는 운동 안내 장치를 머시닝 센터의 Z축에 사용한 예를 나타내는 도면.
도16은 종래의 스퀴즈 필름 댐퍼를 갖는 운동 안내 장치를 도시하는 단면도.
[부호의 설명]
1 : 궤도 레일(궤도 부재)
1a : 볼 전주 홈(구름 이동체 전주 홈)
2 : 이동 블럭(이동 부재)
2a : 부하 볼 전주 홈(부하 구름 이동체 전주 홈)
2b : 무부하 복귀 통로
3 : 볼(구름 이동체)
4, 16 : 이동 블럭 본체(이동 부재 본체)
4a : 중앙부
4b : 다리부
4c, 7a : 맞춤면
5 : 엔드 플레이트(덮개 부재)
7 : 간극 조정 플레이트
8, 15 : 감쇠 플레이트
8b : 오일 홈
9 : 고정 볼트(고정 수단)
10 : 압박판
11 : 압박 나사(압박 수단)
12 : 압박 나사(감쇠 플레이트 압박 수단)
16a : 감쇠부
직선 또는 곡선 운동을 행하는 이동 물체를 안내하는 운동 안내 장치는 부품을 운반하거나, 조립하는 작업을 하는 로봇이나, 반도체ㆍ액정 제조 장치, 공작 기계 등의 다양한 분야에서 이용되고 있다. 구름형의 운동 안내 장치는 안내 부분에 볼이나 롤러 등의 구름 이동체를 통해 구름 이동체의 구름 운동에 의해 안내 기능을 완수한다.
도1은 본 발명의 일 실시 형태에 있어서의 운동 안내 장치를 도시한다. 본 실시 형태의 운동 안내 장치는 리니어 가이드라고 불리우는 볼의 구름 운동에 의해 이동 물체가 직선 운동하는 것을 안내한다. 리니어 가이드는 직선형으로 가늘고 길게 연장되는 궤도 부재로서의 궤도 레일(1)과, 이 궤도 레일(1)에 상대적으로 슬라이드 가능하게 조립 부착되는 안장 형상의 이동 부재로서의 이동 블럭(2)을 구비한다. 궤도 레일(1)과 이동 블럭(2) 사이에는 구름 운동 가능하게 다수의 볼(3)이 개재된다.
궤도 레일(1)은 단면 대략 사각형으로 형성되고, 궤도 레일(1)의 좌우 측면의 상부 및 상면의 양단부에는 구름 이동체 전주 홈으로서 합계 4세트의 볼 전주 홈(1a)이 형성된다. 볼 전주 홈(1a)은 궤도 레일(1)의 길이 방향을 따라서 신장되고, 그 단면 형상은 단일의 원호로 이루어지는 서큘러 아크 홈 형상 또는 2개의 원호로 이루어지는 고딕 아치 홈 형상으로 형성된다.
이동 블럭(2)은 전체가 안장 형상으로 형성되고, 이동 부재 본체로서의 강제의 이동 블럭 본체(4)와, 이동 블럭 본체(4)의 진행 방향의 양단부에 설치되는 덮개 부재로서의 수지제의 엔드 플레이트(5)로 구성된다. 이동 블럭 본체(4)에는 궤도 레일(1)의 볼 전주 홈(1a)에 대향하는 부하 구름 이동체 전주 홈으로서 부하 볼 전주 홈(2a)이 형성되는 동시에, 부하 볼 전주 홈(2a)에 평행하게 신장되는 무부하 복귀 통로(2b)가 형성된다. 부하 볼 전주 홈(2a)도 궤도 레일(1)의 볼 전주 홈(1a)과 마찬가지로, 단일의 원호로 이루어지는 서큘러 아크 홈 형상 또는 2개의 원호로 이루어지는 고딕 아치 홈 형상으로 형성된다. 그리고, 이동 블럭 본체(4) 는 궤도 레일(1)의 상면에 대향하는 중앙부(4a)와, 중앙부(4a)의 폭 방향의 양단부로부터 하방으로 연장되고, 궤도 레일(1)의 좌우 측면에 대향하는 다리부(4b, 4b)를 갖는다.
이동 블럭 본체(4)의 진행 방향의 양단부면에는 부하 볼 전주 홈(2a)과 볼 복귀 통로(2b)를 접속하는 U자형의 방향 전환로의 내주측을 구성하는 R 피스부가 일체로 성형된다. 한편, 이동 블럭 본체(4)의 진행 방향의 양단부에 설치되는 수지제의 엔드 플레이트(5)에는 방향 전환로의 외주측이 형성된다. 볼 전주 홈(1a)과 부하 볼 전주 홈(2a) 사이의 부하 볼 전주로, 부하 볼 전주로와 평행하게 신장되는 무부하 복귀 통로(2b), 부하 볼 전주로 및 무부하 복귀 통로의 양단부에 접속되는 U자형의 방향 전환로에 의해, 서킷형의 볼 순환 경로가 구성된다.
서킷형의 볼 순환 경로에는 다수의 볼(3)이 배열ㆍ수용된다. 본 실시 형태에서는, 다수의 볼(3)은 유지대(24)에 회전 가능하게 유지되어 있다. 볼(3) 사이에는 볼(3)끼리의 접촉을 방지하기 위한 스페이서가 개재되고, 이 스페이서가 가요성 벨트에 의해 일련으로 유지된다.
궤도 레일(1)에 대해 이동 블럭(2)을 상대적으로 축 방향으로 이동시키면, 볼(3)이 부하 전주로에서 하중을 받으면서 구름 운동한다. 이 부하 영역의 볼의 구름 운동에 수반하여, 일련으로 연결되는 무부하 영역의 볼(3)도 볼 순환 경로를 이동하므로, 최종적으로는 모든 볼(3)이 볼 순환 경로를 순환한다.
본 실시 형태의 특징으로서, 이동 블럭(2)과 궤도 레일(1) 사이에는 2개의 부품, 즉 간극 조정 플레이트(7) 및 감쇠 플레이트(8)가 조립된다. 이들 간극 조 정 플레이트(7) 및 감쇠 플레이트(8)는 이동 블럭 본체(4)에 고정되어 있고, 감쇠 플레이트(8)의 궤도 레일(1)에 대향하는 표면(즉, 하면)은 궤도 레일(1)에 접촉하거나, 또는 궤도 레일(1)과의 사이의 간극이 가급적 0으로 설정된다. 그리고, 감쇠 플레이트(8)의 궤도 레일(1)에 대향하는 표면과 궤도 레일(1)의 표면은 평행하다.
감쇠 플레이트를 궤도 레일과의 사이의 간극에 대해 상세하게 서술한다. 도2 및 도3은 이동 블럭 본체(4)와 궤도 레일(1) 사이에 설치되는 간극 조정 플레이트(7) 및 감쇠 플레이트(8)를 도시한다. 감쇠 플레이트(8)와 궤도 레일(1)이 접촉하는 것은, 감쇠 플레이트(8)와 궤도 레일(1) 사이는 마이너스 간극인 것을 의미한다. 이 경우, 감쇠 플레이트(8)와 궤도 레일(1)은 스트로크 중이라도, 가공 중이라도 항상 접촉한다. 또한, 도2 및 도3에서는, 이해를 쉽게 하기 위해, 간극(δ)이 많이 비어 있는 것처럼 도시되어 있지만, 실제로 감쇠 플레이트(8)와 궤도 레일(1)은 접촉하고 있다.
한편, 감쇠 플레이트(8)와 궤도 레일(1) 사이의 간극(δ)이 가급적 0으로 설정되는 경우도 있다. 궤도 레일(1)은, 도4의 (A)에 도시된 바와 같이 똑바로 제조되는 것이 바람직하지만, 도4의 (B)에 도시된 바와 같이 10 ㎛ 정도 기복이 있게 제조되는 경우도 있다. 게다가, 이동 블럭 본체(4)나 감쇠 플레이트(8)의 표면도 똑바로 제조되는 경우는 적고, 수㎛ 정도의 굴곡이 있다. 따라서, 궤도 레일(1)의 가장 기복이 높은 곳에서, 감쇠 플레이트(8)와 궤도 레일(1)의 간극을 0으로 설정해도, 궤도 레일(1)의 가장 기복이 낮은 곳에서는 10 ㎛ 정도의 간극이 빈다. 간 극(δ)이 가급적 0으로 설정되는 것은, 이와 같은 경우도 포함하는 취지이다.
본 발명에 있어서, 감쇠 플레이트(8)와 궤도 레일(1) 사이의 간극은 이동 블럭(2) 또는 궤도 레일(1)이 축 직교 방향으로 진동하였을 때, 어쨌든 감쇠 플레이트(8)와 궤도 레일(1)이 접촉하도록 설정된다. 왜냐하면, 본 발명은 이동 블럭(2) 또는 궤도 레일(1)이 축 직교 방향으로 진동하였을 때에 감쇠 플레이트(8)를 궤도 레일(1)에 접촉시켜, 이동 블럭(2) 또는 궤도 레일(1)의 축 직교 방향으로 진동을 감쇠시키는 기술이기 때문이다. 예를 들어, 공작 기계로 공작물을 소정의 가공 조건으로 한창 가공하고 있을 때에 가공점에서 발생한 진동이 운동 안내 장치로 전해져, 이동 블럭(2) 또는 궤도 레일(1)이 축 직교 방향으로 진동한다. 이때, 감쇠 플레이트(8)와 궤도 레일(1)이 접촉하도록 간극(δ)이 설정된다.
궤도 레일(1) 또는 이동 블럭(2)이 진동할 때, 궤도 레일(1)의 표면과 감쇠 플레이트(8)의 표면이 면으로 접촉함으로써, 궤도 레일(1)의 축 직교 방향(래디얼 방향 및 역래디얼 방향)의 운동 안내 장치의 스프링 상수가 변화되므로, 축 직교 방향의 진동의 감쇠성이 향상된다. 따라서, 운동 안내 장치를, 예를 들어 공작 기계에 사용한 경우, 가공면 품질이 악화되거나, 공구의 수명이 저하되는 문제가 일어나지 않는다. 또한, 실험한 바, 공작 기계에 있어서, 가공점에서 발생하는 진동이 문제가 되는 것은 거친 절삭일 때가 아닌, 오히려 가공력이 작고, 또한 진폭도 작은 마무리 절삭일 때였다.
이동 블럭(2)은 감쇠 플레이트(8)를 설치한 상태에서 궤도 레일(1)에 삽입되므로, 감쇠 플레이트(8)의 표면을 궤도 레일(1)에 접촉시키거나, 또는 궤도 레 일(1)과의 사이의 간극을 가급적 0으로 설정하면, 감쇠 플레이트(8)와 궤도 레일(1)이 간섭하여, 삽입이 매우 어렵다는 문제가 있다. 이 문제를 해결하기 위해, 도2 및 도3에 도시된 바와 같이, 이동 블럭 본체(4)와 감쇠 플레이트(8) 사이에, 감쇠 플레이트(8)와 궤도 레일(1) 사이의 간극(δ)을 조정하는 간극 조정 플레이트(7)가 설치된다. 그리고, 이동 블럭(2)을 궤도 레일(1)에 삽입할 때에는 궤도 레일(1)과 감쇠 플레이트(8) 사이에 간극이 생기도록 해 놓고, 삽입한 후, 간극을 조정하여 궤도 레일(1)과 감쇠 플레이트(8)를 접촉시킨다.
도3에 도시된 바와 같이, 이동 블럭 본체(4)와 간극 조정 플레이트(7) 각각의 맞춤면(4c, 7a)에는 구배가 형성된다. 즉, 양쪽의 맞춤면(4c, 7a)이 서로 동일한 각도가 부여된 테이퍼로 되어 있다. 감쇠 플레이트(8)는 간극 조정 플레이트(7)를 사이에 두고 이동 블럭 본체(4)에 결합 볼트 등의 결합 수단으로 확실하게 고정된다. 이동 블럭 본체(4)와 감쇠 플레이트(8)의 체결을 느슨하게 한 상태에서, 압박 나사 등의 압박 수단으로 간극 조정 플레이트(7)를 이동 블럭(2)의 진행 방향의 양측으로부터 압박하고, 간극 조정 플레이트(7)를 이동 블럭 본체(4)에 대해 이동시키면, 간극 조정 플레이트(7) 및 이동 블럭 본체(4)의 맞춤면(4c, 7a)에는 구배가 형성되어 있으므로, 간극 조정 플레이트(7)의 이동에 의해 감쇠 플레이트(8)가 상하한다. 예를 들어, 간극 조정 플레이트(7)를 도면 중 좌측 방향으로 이동시키면, 감쇠 플레이트(8)가 내려가 간극이 작아지고, 도면 중 우측 방향으로 이동시키면, 감쇠 플레이트(8)가 올라가 간극이 커진다.
각 구성 부품의 상세에 대해 설명한다. 도5는 이동 블럭 본체(4)에 간극 조 정 플레이트(7) 및 감쇠 플레이트(8)를 체결한 상태를 나타낸다. 감쇠 플레이트(8)와 이동 블럭 본체(4)는 고정 볼트(9)에 의해 체결된다. 간극 조정 플레이트(7)에는 고정 볼트(9)의 직경보다도 큰 볼트 관통 구멍(7c)이 개방되어 있고, 이에 의해 간극 조정 플레이트(7)는 이동 블럭 본체(4)에 대해 진행 방향으로, 예를 들어 ±2 ㎜ 합계 4 ㎜ 움직이도록 되어 있다. 이동 블럭 본체(4)와 간극 조정 플레이트(7)의 맞춤면에, 예를 들어 1/100의 구배를 형성하면, 간극 조정 플레이트(7)의 ±2 ㎜의 스트로크에 의해 감쇠 플레이트(8)가 ±20 ㎛ 상하한다. 가령, 간극 조정 플레이트(7)를 없애고, 구배를 형성한 감쇠 플레이트(8)를 직접 이동 블럭 본체(4)의 맞춤면(4c)에 맞추었다고 하면, 감쇠 플레이트(8)의 ±2 ㎜의 스트로크를 확보하기 위해, 이동 블럭 본체(4)의 볼트 관통 구멍의 주위에 ±2 ㎜의 간극을 두어야만 한다. 그러나, 이와 같은 볼트 구멍을 비운 것으로는 고정 볼트(9)의 시트면의 크기를 확보할 수 없어, 고정 볼트(9)의 체결력이 부족해진다. 따라서, 간극 조정 플레이트(7)를 개재시켜 간극 조정 플레이트(7)에 ±2 ㎜ 이상의 간극이 비는 볼트 관통 구멍(7c)을 형성하고 있다.
도6에 도시된 바와 같이, 이동 블럭 본체(4)의 진행 방향의 양단부에는 절결부(4d)가 형성된다. 이 절결부(4d)에 도7에 도시되는 압박판(10)이 끼워진다. 압박판(10)에는 압박판(10)을 이동 블럭 본체(4)에 설치하기 위한 볼트 관통 구멍(10a)이 형성되고, 또한 압박 나사(11)(도3 참조)에 나사 결합하는 암나사(10b)가 형성된다.
도8은 간극 조정 플레이트(7)를 나타낸다. 간극 조정 플레이트(7)의 이동 블럭 본체(4)와의 맞춤면(7a)에는, 상기한 바와 같이, 예를 들어 1/100의 구배가 형성된다. 이동 블럭 본체(4)의 맞춤면(4c)에도 간극 조정 플레이트(7)의 맞춤면(7a)과 동일한 구배가 형성된다. 이들 맞춤면(4c, 7a)은 양쪽 모두 평면이다. 한편, 간극 조정 플레이트(7)의 감쇠 플레이트(8)와의 맞춤면(7b)에는 구배가 형성되지 않는다.
도9는 감쇠 플레이트(8)를 도시한다. 본 발명에서는 감쇠 플레이트(8)가 궤도 레일(1)에 접촉함으로써, 이동 블럭(2)의 축 직교 방향의 진동을 감쇠시킨다. 감쇠 플레이트(8)가 강체에 가까우면 스프링과 같이 되어, 진폭은 작게 할 수 있지만, 감쇠 효과는 충분하지 않을 수도 있다. 이로 인해, 감쇠 플레이트(8)의 재질에는 수지나 연질 금속의 주물 등이 이용된다. 이 감쇠 플레이트(8)는 궤도 레일(1)에 접촉하면서 궤도 레일(1)의 축 방향으로 이동한다. 금속끼리의 접촉이 되면, 매우 큰 저항이 발생하여 감쇠 플레이트(8)가 눌러 붙을 우려가 있다. 감쇠 플레이트(8)의 눌러 붙음을 방지하기 위해, 감쇠 플레이트(8)의 표면에는 마찰 저항을 저감시키기 위한 오일이 공급되는 오일 홈(8b)이 형성된다. 이 오일 홈(8b)에는, 도5의 (A)에 도시되는 오일 공급 경로(17)로부터 오일이 공급된다. 단, 감쇠 플레이트(8)와 궤도 레일(1)은 접촉하므로, 오일의 샛길이 없으면, 공급되는 오일의 압력에 의해 감쇠 플레이트(8)와 궤도 레일(1) 사이에 간극이 발생하게 된다. 따라서, 오일 홈(8b)은 감쇠 플레이트의 측면에 도달하는 샛길(8c)을 갖는다.
도10에 도시된 바와 같이, 간극 조정 플레이트(7)를 압박 나사(11)로 압박하여 간극을 조정하고, 그 후, 이동 블럭 본체의 상면으로부터 고정 볼트(9)로 감쇠 플레이트(8)를 이동 블럭 본체(4)에 고정하면, 감쇠 플레이트(8)가 이동 블럭 본체(4)측으로 인장되어 간극이 과대해져, 조정을 몇 번이나 반복해야 할 우려가 있다. 이로 인해, 도11에 도시된 바와 같이, 이동 블럭 본체(4)의 상면으로부터 감쇠 플레이트 압박 수단으로서의 감쇠 플레이트 압박 나사(12)로 감쇠 플레이트(8)를 압박하고[환언하면, 이동 블럭 본체(4)측으로 인장되는 것을 방지하고], 그 후, 고정 볼트(9)로 감쇠 플레이트(8)를 이동 블럭 본체(4)에 고정해도 좋다. 이에 의해, 감쇠 플레이트(8)가 고정 볼트(9)에 의해 인장되어 간극(δ)이 과대해지는 현상이 없어지므로, 간극(δ)이 안정되고, 게다가 조정의 공정수를 삭감할 수 있다.
도12 및 도13은 본 발명의 다른 실시 형태에 있어서의 운동 안내 장치를 도시한다. 본 실시 형태에서는 간극 조정 플레이트를 설치하지 않고, 감쇠 플레이트(15)를 직접 이동 블럭 본체(4)에 고정하고 있다. 감쇠 플레이트(15)의 하면은 상기에 기재된 운동 안내 장치와 마찬가지로, 궤도 레일(1)에 접촉하거나, 또는 궤도 레일(1)과의 사이의 간극(δ)이 가급적 0으로 설정된다. 그리고, 감쇠 플레이트(15)의 하면에는 눌러 붙음을 방지하기 위한 오일이 공급되는 오일 홈이 형성된다. 감쇠 플레이트(15)의 이동 블럭 본체와의 맞춤면에는 간극을 조정하기 위한 구배가 형성되어도 좋다. 이동 블럭 본체(4), 궤도 레일(1) 등의 구성은 상기 실시 형태의 운동 안내 장치와 마찬가지이므로, 동일한 부호를 붙여 그 설명을 생략한다. 본 실시예에서도 궤도 레일(1) 또는 이동 블럭(2)으로부터 진동이 발생하면, 궤도 레일(1)의 표면과 감쇠 플레이트(15)의 표면이 접촉함으로써, 궤도 레일(1)의 축 직교 방향(래디얼 방향 및 역래디얼 방향)의 운동 안내 장치의 스프링 상수가 변화되므로, 축 직교 방향의 진동의 감쇠성이 향상된다.
도14는 본 발명의 또 다른 실시 형태에 있어서의 운동 안내 장치를 도시한다. 본 실시 형태의 운동 안내 장치에서는 감쇠 플레이트 대신에, 이동 블럭 본체(16)와 동일한 재질로 일체로 감쇠부(16a)가 설치되어 있다. 감쇠부(16a)의 궤도 레일(1)에 대향하는 표면(16b)은 평면이다. 감쇠부(16a)의 표면(16b)은 상기에 기재된 운동 안내 장치와 마찬가지로, 궤도 레일(1)에 접촉하거나, 또는 궤도 레일(1)과의 사이의 간극(δ)이 가급적 0으로 설정된다. 그리고, 감쇠부(16a)의 표면(16b)에는 눌러 붙음을 방지하기 위한 오일이 공급되는 오일 홈이 형성된다. 본 실시예에서도 궤도 레일(1) 또는 이동 블럭(2)으로부터 진동이 발생할 때, 궤도 레일(1)의 표면과 감쇠부(16a)의 표면(16b)이 접촉함으로써, 궤도 레일(1)의 축 직교 방향(래디얼 방향 및 역래디얼 방향)의 운동 안내 장치의 스프링 상수가 변화되므로, 축 직교 방향의 진동의 감쇠성이 향상된다.
또한, 본 발명은 상기한 실시 형태로 한정되지 않고, 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위에서 다양하게 변경 가능하다. 예를 들어, 본 발명의 운동 안내 장치는 머시닝 센터의 Z축으로 한정되지 않고, 이동 블럭 또는 궤도 레일에 축 직교 방향으로 진동이 발생하는 것이면, 다양한 공작 기계, 로봇, 반도체 제조 장치 등에 적용할 수 있다. 또한, 본 발명의 운동 안내 장치는 이동 블럭이 안장 형상의 리니어 가이드로 한정되지 않아, 볼 스플라인에도 적용할 수 있다.
또한, 간극 조정 플레이트와 감쇠 플레이트를 병용한 경우, 감쇠 플레이트와 궤도 레일 사이의 간극을 바꾸어 감쇠 효과를 조정하는 것도 가능해진다. 이 경우 에는 감쇠 플레이트와 궤도 레일 사이에 수㎛ 내지 수십㎛의 간극을 비우고, 간극에 오일을 충전한다. 이 오일에 의해, 이동 블럭이 궤도 레일의 축방향으로 진동할 때에 저항력이 발생한다. 따라서, 이 간극 조정 플레이트와 감쇠 플레이트를 병용한 발명은 접촉식 감쇠 가이드뿐만 아니라, 오일막에 의해 감쇠시키는 기능을 갖는 안내 장치에 대해서도 적용할 수 있다.
본 명세서는 2005년 5월 24일 출원의 일본 특허 출원 제2005-151472호를 기초로 한다. 본 내용은 모두 여기에 포함시켜 둔다.

Claims (13)

  1. 구름 이동체 전주 홈이 형성된 궤도 부재와, 상기 구름 이동체 전주 홈에 대향하는 부하 구름 이동체 전주 홈이 형성되는 동시에 무부하 복귀 통로가 형성되는 이동 부재 본체와, 상기 이동 부재 본체의 진행 방향의 양단부에 설치되고, 상기 부하 구름 이동체 전주 홈과 상기 무부하 복귀 통로를 접속하는 방향 전환로가 형성되는 덮개 부재와, 상기 이동 부재 본체의 상기 부하 구름 이동체 전주 홈을 포함하는 구름 이동체 순환 경로에 수용되는 복수의 구름 이동체를 구비하는 운동 안내 장치에 있어서,
    상기 이동 부재 본체에, 상기 궤도 부재의 표면에 대향하는 표면을 갖는 감쇠 플레이트를 설치하고,
    상기 감쇠 플레이트의 상기 표면은 상기 궤도 부재에 접촉하거나, 또는 상기 궤도 부재와의 사이의 간극이 가급적 0으로 설정되고,
    상기 이동 부재 본체가 상기 궤도 부재에 대해 상기 궤도 부재의 길이 방향에 교차하는 방향으로 상대적으로 진동할 때, 상기 감쇠 플레이트의 표면과 상기 궤도 부재의 표면이 접촉함으로써, 상기 이동 부재 본체가 상기 궤도 부재에 대해 상기 교차하는 방향으로 상대적으로 진동하는 것을 감쇠하는 것을 특징으로 하는 운동 안내 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 이동 부재 본체와 상기 감쇠 플레이트 사이에 상기 감 쇠 플레이트와 상기 궤도 부재 사이의 간극을 조정하는 간극 조정 플레이트가 설치되는 것을 특징으로 하는 운동 안내 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 이동 부재 본체 및 상기 간극 조정 플레이트 각각의 맞춤면에 구배가 형성되고,
    상기 간극 조정 플레이트를 상기 이동 부재 본체에 대해 이동시킴으로써, 상기 감쇠 플레이트와 상기 궤도 부재 사이의 간극을 조정하는 것을 특징으로 하는 운동 안내 장치.
  4. 구름 이동체 전주 홈이 형성된 궤도 부재와, 상기 구름 이동체 전주 홈에 대향하는 부하 구름 이동체 전주 홈이 형성되는 동시에 무부하 복귀 통로가 형성되는 이동 부재 본체와, 상기 이동 부재 본체의 진행 방향의 양단부에 설치되고, 상기 부하 구름 이동체 전주 홈과 상기 무부하 복귀 통로를 접속하는 방향 전환로가 형성되는 덮개 부재와, 상기 이동 부재 본체의 상기 부하 구름 이동체 전주 홈을 포함하는 구름 이동체 순환 경로에 수용되는 복수의 구름 이동체를 구비하는 운동 안내 장치에 있어서,
    상기 이동 부재 본체에, 상기 궤도 부재의 표면에 대향하는 표면을 갖는 감쇠부를 설치하고,
    상기 감쇠부의 상기 표면은 상기 궤도 부재에 접촉하거나, 또는 상기 궤도 부재와의 사이의 간극이 가급적 0으로 설정되고,
    상기 이동 부재 본체가 상기 궤도 부재에 대해 상기 궤도 부재의 길이 방향에 교차하는 방향으로 상대적으로 진동할 때, 상기 감쇠부의 표면과 상기 궤도 부재의 표면이 접촉함으로써, 상기 이동 부재 본체가 상기 궤도 부재에 대해 상기 교차하는 방향으로 상대적으로 진동하는 것을 감쇠하는 것을 특징으로 하는 운동 안내 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 감쇠부는 상기 이동 부재 본체와 동일한 재질로 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 운동 안내 장치.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 감쇠 플레이트 또는 상기 감쇠부의 상기 표면에는 상기 이동 부재 본체가 상기 궤도 부재의 길이 방향으로 이동할 때의 마찰 저항을 저감시키기 위한 오일이 공급되는 오일 홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 운동 안내 장치.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 이동 부재 본체는 전체가 안장 형상으로 형성되고, 상기 궤도 부재의 상면에 대향하는 중앙부와, 중앙부의 폭 방향의 양단부에 설치되고, 상기 궤도 부재의 측면에 대향하는 한 쌍의 다리부를 갖고,
    상기 이동 부재 본체의 상기 중앙부에 상기 감쇠 플레이트 또는 상기 감쇠부가 설치되는 것을 특징으로 하는 운동 안내 장치.
  8. 구름 이동체 전주 홈이 형성된 궤도 부재와, 상기 구름 이동체 전주 홈에 대향하는 부하 구름 이동체 전주 홈이 형성되는 동시에 무부하 복귀 통로가 형성되는 이동 부재 본체와, 상기 이동 부재 본체의 진행 방향의 양단부에 설치되고, 상기 부하 구름 이동체 전주 홈과 상기 무부하 복귀 통로를 접속하는 방향 전환로가 형성되는 덮개 부재와, 상기 이동 부재 본체의 상기 부하 구름 이동체 전주 홈을 포함하는 구름 이동체 순환 경로에 수용되는 복수의 구름 이동체를 구비하는 운동 안내 장치에 있어서,
    상기 이동 부재 본체에, 상기 궤도 부재의 표면에 대향하는 표면을 갖는 감쇠 플레이트와, 상기 감쇠 플레이트와 상기 궤도 부재 사이의 간극을 조정하는 간극 조정 플레이트를 설치하는 것을 특징으로 하는 운동 안내 장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 이동 부재 본체 및 상기 간극 조정 플레이트 각각의 맞춤면에 구배가 형성되고,
    상기 간극 조정 플레이트를 상기 이동 부재 본체에 대해 이동시킴으로써, 상기 감쇠 플레이트와 상기 궤도 부재 사이의 간극을 조정하는 것을 특징으로 하는 운동 안내 장치.
  10. 제9항에 있어서, 상기 이동 부재 본체에 또한, 상기 이동 부재 본체의 진행 방향의 양단부에 설치되는 한 쌍의 압박판과, 상기 압박판에 대해 상기 간극 조정 플레이트를 상기 진행 방향으로 압박하는 압박 수단과, 상기 감쇠 플레이트 및 상기 간극 조정 플레이트를 상기 이동 부재 본체에 고정하는 고정 수단을 마련하는 것을 특징으로 하는 운동 안내 장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 이동 부재 본체에 또한, 상기 고정 수단이 상기 감쇠 플레이트를 인장하는 방향과 반대 방향에, 상기 감쇠 플레이트를 압박하는 감쇠 플레이트 압박 수단을 마련하는 것을 특징으로 하는 운동 안내 장치.
  12. 궤도 부재와 이동 부재 사이에 구름 운동 가능하게 구름 이동체를 개재시킨 운동 안내 장치의 이동 부재에, 상기 궤도 부재의 표면에 대향하는 표면을 갖는 감쇠 플레이트 및 상기 감쇠 플레이트와 상기 궤도 부재 사이의 간극을 조정하는 간극 조정 플레이트를 조립 부착하는 운동 안내 장치의 조립 방법이며,
    맞춤면에 구배가 형성된 상기 간극 조정 플레이트를, 맞춤면에 구배가 형성된 상기 이동 부재 본체에 대해, 상기 이동 부재 본체의 진행 방향으로 이동시킴으로써, 상기 감쇠 플레이트와 상기 궤도 부재 사이의 간극을 조정하는 간극 조정 공정과,
    그 후, 상기 감쇠 플레이트 및 상기 간극 조정 플레이트를 상기 이동 부재 본체에 고정하는 고정 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 운동 안내 장치의 조립 방법.
  13. 제12항에 있어서, 상기 간극 조정 공정과 상기 고정 공정 사이에, 상기 감쇠 플레이트를 상기 이동 부재 본체에 고정할 때에 상기 감쇠 플레이트가 인장되는 방향과 반대 방향으로, 상기 감쇠 플레이트를 압박하는 감쇠 플레이트 압박 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 운동 안내 장치의 조립 방법.
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