JPH07145849A

JPH07145849A - 防振装置及びこれを具備した転がり案内ユニット

Info

Publication number: JPH07145849A
Application number: JP5316030A
Authority: JP
Inventors: Yukinobu Chikamatsu; 行信近松; Toshiaki Toga; 俊明外賀
Original assignee: Nippon Thompson Co Ltd
Current assignee: Nippon Thompson Co Ltd
Priority date: 1993-11-22
Filing date: 1993-11-22
Publication date: 1995-06-06

Abstract

(57)【要約】【目的】如何なる振動態様にも応じて充分な緩衝効果
を発揮することのできる防振装置とこれを具備した転が
り案内ユニットを提供すること。【構成】トラックレール５、５５に対して摺接し得る
摺接部材４２、・・・を、押圧力を可変として該トラッ
クレールの表面に向けて押圧し、以て上記の効果を得て
いる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば工作機械や産業
用ロボットなどの運動機構部において、移動させるべき
可動体を案内する転がり案内ユニットと、該ユニットに
防振性を付与する防振装置とに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の転がり案内ユニットとし
ては、例えば特開平２−２７９２４３号公報において開
示されている直動転がり案内ユニットがあり、その構成
を図２３乃至図２５に示す。

【０００３】図２３乃至図２５に示すように、この直動
転がり案内ユニットは、架台としての工作機械のベッド
１５１上にボルト１５２（図２４に図示）により固定さ
れたトラックレール１５３と、該トラックレール１５３
により案内される摺動台としての２つのスライドユニッ
ト１５５とを有する。そして、各スライドユニット１５
５により前後を挟まれるように防振装置としての防振ユ
ニット１５６を具備し、図２５から明らかなように該防
振ユニット１５６もトラックレール１５３により案内さ
れる。これらスライドユニット１５５及び防振ユニット
１５６上に、矩形板状のテーブル１５８がボルト１５９
（図２４及び図２５に図示）により取り付けられる。

【０００４】図２４に示すように、トラックレール１５
３には、軌道として、その左右両側部に例えば２面ず
つ、合計４面の軌道面１５３ａが長手方向に沿って平行
に形成されている。そして、両スライドユニット１５５
は、トラックレール１５３に対して跨架され、これら軌
道面１５３ａに各々対応する負荷軌道溝を含む転動体循
環路１５５ａを４条有している。各転動体循環路１５５
ａ内には、スライドユニット１５５の移動に伴って軌道
面１５３ａ上を転動しつつ循環してトラックレール１５
３及びスライドユニット１５５の間で荷重を受ける転動
体としての多数のころ１６０が配列収容されている。

【０００５】一方、図２５から明らかなように、防振用
として設けられた防振ユニット１５６もトラックレール
１５３に対して跨架されており、該防振ユニット１５６
とトラックレール１５３の間には微小な緩衝ギャップ１
６３が設けられている。そして、この緩衝ギャップ１６
３には、防振ユニット１５６に設けられた孔１５６ａを
通じて油が供給されて油膜が形成されている。

【０００６】上記した直動転がり案内ユニットは例え
ば、図２３に示すベッド１５１上に互いに平行に２組
（図２３には１組の直動転がり案内ユニットのみ示して
いる）設けられ、共にテーブル１５８を担持するように
なされる。この構成において、テーブル１５８上に被加
工物（図示せず）が載置されて固定され、図示せぬ駆動
手段によりテーブル１５８が矢印Ｆにて示す方向に往復
動され、該被加工物に対する所要の加工、例えば切削加
工等が施される。

【０００７】上記構成の直動転がり案内ユニットにおい
ては、被加工物に対する切削加工が行われている間、機
械的な振動を受け続けることとなり、防振対策が何等た
てられていない場合には振動により加工面が不均質にな
るという問題がある。そこで、従来、上述のようにトラ
ックレール１５３と防振ユニット１５６とで形成される
ギャップ１６３に油を充填させることによって両者間に
おける振動を緩衝させて加工表面の仕上げ精度を高めて
いる。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たような防振の構成においては、広範にわたる充分な緩
衝効果は未だ得られておらず、特に切削加工時等に発生
する振動の強さや振幅が変化する場合、これに対応する
ことが困難であり、被加工物の加工表面にいわゆるカッ
ターマークやびびりマークが現れることがあるという欠
点を有している。最近の工作機械では、同一の機械で切
削加工と研削加工ができる複合の機能を備える傾向が強
まっており、多様な振動状態が現出しており、これに対
処し得る防振手段の開発が望まれている。

【０００９】本発明は上記した点に鑑みてなされたもの
で、如何なる振動態様にも応じて充分な緩衝効果を発揮
することのできる防振装置とこれを具備した転がり案内
ユニットを提供することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明による防振装置
は、所定トラックレールの表面に摺接する摺接部材と、
該摺接部材を該表面に向けて押圧すると共にその押圧力
が可変である押圧手段とを有するように構成したもので
ある。また、本発明による転がり案内ユニットは、長手
方向に沿って軌道が形成されたトラックレールと、該軌
道に対応する負荷軌道を含む転動体循環路を有して該ト
ラックレールに対して相対運動自在にして所定テーブル
等を担持する摺動台と、該転動体循環路に配列収容され
て前記軌道に沿って転動しつつ荷重を受ける複数の転動
体と、該トラックレール及びテーブル等の相互間に介装
された防振装置とを備え、該防振装置が、前記トラック
レールの表面に摺接する摺接部材と、該摺接部材を該表
面に向けて押圧すると共にその押圧力が可変である押圧
手段とを有するように構成したものである。

【００１１】

【実施例】次に、本発明の実施例について添付図面を参
照しつつ説明する。

【００１２】図１乃至図５に、本発明の第１実施例とし
ての直動転がり案内ユニットを示す。

【００１３】図１及び図２において、この直動転がり案
内ユニット１は、工作機械（全体は図示しない）のベッ
ド２上に互いに平行に２組設けられ、テーブル３を協働
して担持している。

【００１４】両直動転がり案内ユニット１は、ベッド２
上に一列に並べて固定された２本の直線状のトラックレ
ール５と、該トラックレール５に対して相対運動自在な
摺動台としての２つのスライドユニット７と、該両スラ
イドユニット７により前後を挟まれるように配置されて
トラックレール５により案内される防振装置としての防
振ユニット８とを有している。なお、図３及び図４に示
すように、各トラックレール５は、ベッド２に対して多
数のボルト（六角穴つき）１２により固定されている。
詳しくは、特に図４から明らかなように、トラックレー
ル５には、これをベッド２に固定するためのボルト１２
の頭部よりも大きな径の座ぐり部５ａと、ボルト１２の
ねじ部よりも僅かに大径の挿通孔５ｂとが同心的に形成
されており、ボルト１２は、該座ぐり部及び挿通孔にそ
の全体が埋没するように挿通されてベッド２に螺合され
る。なお、図３及び図４に示すように、ボルト１２を螺
合後、埋め栓１３がトラックレ−ル５の上面と面一に取
り付けられる。

【００１５】図３乃至図５に示すように、トラックレー
ル５には、その左右両側部に軌道として１条ずつの軌道
溝５ｃが長手方向に沿って形成されている。図３から明
らかなように、スライドユニット７は、トラックレール
５を跨ぐように設けられたケーシング１６と、該ケーシ
ング１６の前後両端部に結合された一対のエンドキャッ
プ１７ａ及び１７ｂと、該両エンドキャップの各外面に
取り付けられたシール１８ａ、１８ｂとを有している。

【００１６】図３において、スライドユニット７にはト
ラックレール５の両軌道溝５ｃに対応して転動体循環路
が両側部に形成されており、該転動体循環路には転動体
として多数のボール２０が配列収容されている。これら
のボール２０は、スライドユニット７の移動に伴って上
記軌道溝５ｃに沿って転動しつつ循環して、トラックレ
ール５及びスライドユニット７の間で荷重を受ける。な
お、該転動体循環路は、上記ケーシング１６に互いに平
行に形成された負荷軌道溝２１ａ及びリターン路２１ｂ
と、上記両エンドキャップ１７ａ、１７ｂに形成されて
該負荷軌道溝２１ａ及びリターン路２１ｂをこれらの両
端部にて互いに連通させる略半円状の方向転換路（図示
せず）とから成る。そして、上記負荷軌道溝２１ａがト
ラックレール５の軌道溝５ｃに対応している。

【００１７】なお、図３において参照符号２３及び２４
にて示すのは、スライドユニット７をトラックレール５
から外した際に上記負荷軌道溝２１ａよりボール２０が
脱落しないように保持する保持部材である。また、図３
に示すように、エンドキャップ１７ａには、上記各ボー
ル２０にグリースを供給するためのグリースニップル２
５が取り付けられている。また、同図に示すように、ス
ライドユニット７のケーシング１６の上面部には複数の
ねじ孔１６ａが形成されており、図１及び図２に示すテ
ーブル３はこのねじ孔１６ａに螺合するボルト２７（図
３に図示）によってスライドユニット３に締結される。
但し、図２に示すように、スライドユニット７上には、
該スライドユニット７と防振ユニット８との高さを整合
させるためのスぺーサ２９が設けられ、該スぺーサ２９
を介してテーブル３と締結される。

【００１８】一方、防振用として設けられた防振ユニッ
ト８は下記のように構成されている。

【００１９】図１及び図２並びに図４及び図５に示すよ
うに、防振ユニット８は、トラックレール５及びテーブ
ル３の相互間に介装されている。図４及び図５から特に
明らかなように、該防振ユニット８は金属を素材として
略直方体状に形成してなるケーシング３１を備えてい
る。このケーシング３１はトラックレール５に対して相
対運動自在であり、図４及び図５に示すように、該ケー
シング３１の上面側には２つのねじ孔３１ａが形成され
ており、図１及び図２に示すテーブル３はこれらのねじ
孔３１ａに螺合するボルト（図示せず）によって該ケー
シング３１に締結される。そして、図１からも明らかな
ように、このケーシング３１の中央部にはシリンダ機構
３３が設けられている。

【００２０】詳しくは、図４及び図５に示すように、ケ
ーシング３１に密室３４が形成されており、該密室３４
に流体として油３５が充填されている。そして、密室３
４には、出没部材及び移動部材としてのピストンロッド
３７が、トラックレール５の長手方向に対して垂直な方
向、この場合、上下方向において摺動自在に設けられて
いる。なお、該ピストンロッド３７はその軸方向に対し
て垂直な断面形状が円形となされ、従って密室３４の断
面形状も円形である。図４及び図５に示すように、ピス
トンロッド３７の上端部近傍にはその全周にわたる環状
溝３７ａが形成されており、該環状溝３７ａ内にはシー
ル作用をなす０リング３９が設けられている。また、同
図に示すように、密室３４の端部には、ピストンロッド
３７に摺接するオイルシール４０が設けられている。

【００２１】上記ピストンロッド３７は、後述する流体
注入抜取手段によって上記密室３４に対する流体すなわ
ち油の注入、抜取りが行われることにより、密室３４に
対して出没する。

【００２２】図４及び図５に示すように、上記ピストン
ロッド３７の突出方向端部、すなわち下端部には、平板
状にして例えば円形に形成された摺接部材４２が接着剤
等によって固着されており、かつトラックレール５の上
面に対して摺接している。なお、この摺接部材４２は図
２にも示している。この摺接部材４２は、その全体、若
しくはトラックレール５との摺接部のみが低摩擦係数の
材料からなり、トラックレール５の表面に押し付けられ
た状態にても該表面に沿って円滑に摺動することができ
る。なお、このような低摩擦係数の材料としては、ポリ
テトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）等が挙げられる。

【００２３】続いて、上記ピストンロッド３７を出没さ
せるべく密室３４に対する流体、この場合油の注入、抜
取りを行う流体注入抜取手段について説明する。

【００２４】図４及び図５に示すように、防振ユニット
８のケーシング３１には、上記密室３４と外部側とを連
通させる細い通路３１ｃが形成されている。図４に示す
ように該通路３１ｃの開放端部には雌ねじ部３１ｄが形
成されている。

【００２５】一方、図１に示すように、例えばベッド２
上に、油を加圧して供給し、また逆に負圧を生じさせる
ことによって油の回収を行う供給回収ユニット４５が設
けられている。この供給回収ユニット４５には油の注
入、抜取りを行うためのチューブ４５ａの一端が接続さ
れ、該チューブ４５ａの他端が上記した雌ねじ部３１ｄ
に接続されている。すなわち、供給回収ユニット４５か
ら吐出される加圧油がチューブ４５ａ、上記通路３１ｃ
を順に経て密室３４に注入されることにより、ピストン
ロッド３７が突出動作を行い、摺接部材４２がトラック
レール５の上面に向けて押圧され、また、逆に供給回収
ユニット４５が負圧を生じさせることによって同じ経路
を通じて密室３４から油が抜き取られ、ピストンロッド
３７が引込動作を行い、摺接部材４２の押圧が解除され
る。但し、摺接部材４２は、この押圧を解除した状態に
おいてトラックレール５に当接していてもよいし、隙間
を隔てて離間するようにしてもよい。上記のようにピス
トンロッド３７を突出動作させて摺接部材４２をトラッ
クレール５に押圧すると、テーブル３は防振ユニット８
を介してトラックレール５に対して一体化される、但
し、前述したように、この一体化した状態において、摺
接部材４２はトラックレール５に対して摺動し得るか
ら、直動転がり案内ユニットの作動には何等支障はな
く、テーブル３は円滑に移動する。なお、本実施例にお
いては、摺接部材４２による押圧を解除する際、密室３
４内の油に負圧を生じさせてピストンロッド３７を引き
込むこととしているが、これとは別にコイルスプリング
等のばねを設けて、該ばねの力によって引込み動作を補
助させてもよい。

【００２６】ところで、上記供給回収ユニット４５は、
その供給する油の圧力を自在に変化させることができ
る、すなわち、図１に示すように、この供給回収ユニッ
ト４５には、油圧調整用のつまみ４５ｂと油圧確認用の
メータ４５ｃとが設けられており、作業者が必要に応じ
てこのつまみ４５ｂを操作すれば最適圧力の油を供給す
ることができる。

【００２７】密室３４に対する油の注入、抜取りを行う
流体注入抜取手段は上記のように構成されている。ま
た、該液体注入抜取手段と、扱われる流体としての油自
体とによって、ピストンロッド３７に駆動力を付与する
駆動力付与手段が構成されている。また、該駆動力付与
手段と、駆動されるピストンロッド３７と、ケーシング
３１と、これらに関連する周辺の小部品とによって、前
述の摺接部材４２をトラックレール５の表面、この場合
上面に向けて押圧する押圧手段が構成される。

【００２８】次に、上記した構成の直動転がり案内ユニ
ットの作動に伴なう制振作用について説明する。

【００２９】図２に示すように、テーブル３上に被加工
物４７が載置されて固定され、図示しない駆動手段によ
って該テーブル３が矢印Ｘにて示すように往復動され、
これに伴って被加工物４７に対して切削加工や研削加工
などの所要の加工が行われる。このように被加工物４７
の加工をなす際、テーブル３に対して振動が加わる。特
に、切削加工、研削加工等の複数種の加工を１台の工作
機械で行う場合、強さや振幅が変化して多様な振動状態
が現出する。

【００３０】研削加工等、比較的弱く振幅が小さい振動
が発生する加工が行われる場合には、前述の供給回収ユ
ニット４５から供給する油の圧力をこれに応じて低く設
定し、振動が強くしかも振幅も大きな切削加工などを行
うときには油の圧力を高め、適宜対処する。具体的に
は、これらの各種の加工を行うに先立ち、試験片等を用
いて実際に加工を行い、加工によるカッターマークやび
びりマークが消えるように油圧の調整を行う。なお、本
実施例では油圧の調整をこのように手動にて行うことと
しているが、上記各種加工時に発生する振動の態様とこ
れら各振動態様に対して有効な油圧を知ることが出来る
ので、油圧を自動的に制御することも可能である。すな
わち、１台の工作機械で加工方法が例えば切削から研削
に切り替えられる場合、振動態様が変わるから、この変
化を検出するセンサを設けておき、このセンサの出力を
制御部にフィードバックして油圧を適正に変化させる訳
である。

【００３１】また、本実施例ではピストンロッド３７を
作動させるための流体として液体である油を用いている
が、他の液体は勿論のこと、空気等の気体を用いてもよ
い。

【００３２】上述したように、工作機械等のベッド２に
堅固に固定されたトラックレール５に対して摺接部材４
２を強制的に押圧し、しかも、加わる振動の強さ等に応
じて押圧力を自在に変化させる構成の故、どのような振
動が作用しようとも確実に制振することができ、切削加
工や研削加工を施した加工表面の仕上げ精度を常に維持
できるという効果が得られる。特に、トラックレール５
はその機能上から極めて高精度に仕上げられているが故
に、これを押圧対象として活用することで押圧の変動も
なく一定した振動減衰効果が得られるものである。

【００３３】また、振動減衰が必要な時に防振ユニット
８の機能をＯＮしてはたらかせ、早送りや戻り時など不
要の場合には機能をＯＦＦできるものである。更に、防
振ユニット８は、摺動台としてのスライドユニット７と
は別体として設けられるから、装備すべき防振ユニット
の数を必要に応じて増減させることが可能であると共
に、その取扱いも容易である。

【００３４】続いて、本発明の第２実施例としての直動
転がり案内ユニットについて、図６及び図７に基づいて
説明する。なお、当該直動転がり案内ユニットは、以下
に説明する部分以外は前述した第１実施例としての直動
転がり案内ユニットと同様に構成されている故、ユニッ
ト全体としての説明は省略して要部のみの説明に留め
る。また、以下の説明において、該第１実施例としての
直動転がり案内ユニットの構成部分と同一又は対応する
構成部分については同じ参照符号を用いている。

【００３５】図６及び図７に示すように、当該直動転が
り案内ユニットにおいては、防振ユニット８のケーシン
グ３１が比較的長尺に形成され、単一のケーシング３１
について複数、この場合２つのシリンダ機構３３が設け
られている。そして、図７に示すように、摺接部材４２
はこの２つのシリンダ機構３３の両者にわたって長く形
成され、該両シリンダ機構３３によってトラックレール
５の上面に向けて押圧される。なお、図７において、両
シリンダ機構３３が夫々備える密室３４に対する油の注
入、抜取りを行うための各通路３１ｃに関し、これらを
互いに連通させ、同時に油の注入、抜取りを行い、２本
のピストンロッド３７が連動するようにしている。ま
た、本実施例ではケーシング３１にシリンダ機構３３を
２つ設けているが、その設ける数や配置については適宜
可変であることは言及するまでもない。このように、複
数のシリンダ機構を用いて大きな摺接部材を押圧するこ
とにより、制振効果が増大している。

【００３６】次いで、本発明の第３実施例としての直動
転がり案内ユニットについて、図８乃至図１２に基づい
て説明する。

【００３７】図８及び図９において、この直動転がり案
内ユニット５１も、工作機械（全体は図示しない）のベ
ッド２上に互いに平行に２組設けられ、テーブル３を協
働して担持している。

【００３８】両直動転がり案内ユニット５１は、ベッド
２上に一列に並べて固定された２本の直線状のトラック
レール５５と、該トラックレール５５に対して相対運動
自在な摺動台としての２つのスライドユニット５７と、
該両スライドユニット５７により前後を挟まれるように
配置されてトラックレール５５により案内される防振装
置としての防振ユニット５８とを有している。なお、図
１０に示すように、各トラックレール５５は、ベッド２
に対して多数のボルト（六角穴つき）６２により固定さ
れている。詳しくは、特に図１１から明らかなように、
トラックレール５５には、これをベッド２に固定するた
めのボルト６２の頭部よりも大きな径の座ぐり部５５ａ
と、ボルト６２のねじ部よりも僅かに大径の挿通孔５５
ｂとが同心的に形成されており、ボルト６２は、該座ぐ
り部及び挿通孔にその全体が埋没するように挿通されて
ベッド２に螺合される。なお、図１０に示すように、ボ
ルト１２を螺合後、埋め栓６３がトラックレール５５の
上面と面一に取り付けられる。

【００３９】図１０乃至図１２に示すように、トラック
レール５５には、その左右両側部に軌道として２条ずつ
の軌道面５５ｃが長手方向に沿って形成されている。図
１０から明らかなように、スライドユニット５７は、ト
ラックレール５５を跨ぐように設けられたケーシング６
６と、該ケーシング６６の前後両端部に結合された一対
のエンドキャップ６７ａ及び６７ｂと、該両エンドキャ
ップの各外面に取り付けられたシール６８ａ、６８ｂと
を有している。

【００４０】図１０において、スライドユニット５７に
はトラックレール５５の４面の軌道面５５ｃに対応して
転動体循環路が両側部に形成されており、該転動体循環
路には転動体として多数のころ７０が配列収容されてい
る。これらのころ７０は、スライドユニット５７の移動
に伴って上記軌道面５５ｃに沿って転動しつつ循環し
て、トラックレール５５及びスライドユニット５７の間
で荷重を受ける。なお、該転動体循環路は、上記ケーシ
ング６６に互いに平行に形成された負荷軌道溝７１ａ及
びリターン路７１ｂと、上記両エンドキャップ６７ａ、
６７ｂに形成されて該負荷軌道溝７１ａ及びリターン路
７１ｂをこれらの両端部にて互いに連通させる略半円状
の方向転換路（図示せず）とから成る。そして、上記負
荷軌道溝７１ａがトラックレール５５の軌道面５５ｃに
対応している。

【００４１】なお、図１０において参照符号７３及び７
４に示すのは、スライドユニット５７をトラックレール
５５から外した際に上記負荷軌道溝７１ａよりころ７０
が脱落しないように保持する保持部材である。また、図
１０に示すように、エンドキャップ６７ｂには、上記各
ころ７０にグリースを供給するためのグリースニップル
７５が取り付けられている。また、同図に示すように、
スライドユニット５７のケーシング６６の上面部には複
数のねじ孔６６ａが形成されており、図８及び図９に示
すテーブル３はこのねじ孔６６ａに螺合するボルト７７
（図１０に図示）によってスライドユニット５７に締結
される。但し、図９に示すように、スライドユニット５
７上には、該スライドユニット５７と防振ユニット５８
との高さを整合させるためのスぺーサ７９が設けられ、
該スぺーサ７９を介してテーブル３と締結される。

【００４２】一方、防振用として設けられた防振ユニッ
ト５８は下記のように構成されている。

【００４３】図８及び図９並びに図１１及び図１２に示
すように、防振ユニット５８は、トラックレール５５及
びテーブル３の相互間に介装されている。図１１及び図
１２から特に明らかなように、該防振ユニット５８は金
属を素材として略直方体状に形成してなるケーシング８
１を備えている。このケーシング８１はトラックレール
５５に対して相対運動自在であり、図１１及び図１２に
示すように、該ケーシング８１の上面側には２つのねじ
孔８１ａが形成されており、図８及び図９に示すテーブ
ル３はこれらのねじ孔８１ａに螺合するボルト（図示せ
ず）によって該ケーシング８１に締結される。そして、
図８からも明らかなように、このケーシング８１には３
つのシリンダ機構８３、８４及び８５が設けられてい
る。

【００４４】図示のように、シリンダ機構８３は、トラ
ックレール５５の直上であって上記ケーシング８１の中
央部に配置されている。また、他の２つのシリンダ機構
８４及び８５は、トラックレール５５の長手方向におい
ては該シリンダ機構８３と同位置にして、トラックレー
ル５５を左右から挟むように配設されている。すなわ
ち、これら２つのシリンダ機構８４、８５の出力中心軸
はシリンダ機構８３の出力中心軸に対して直交する。こ
れら３つのシリンダ機構８３乃至８５は互いに同様に構
成されている故、代表としてシリンダ機構８３について
のみ詳しく説明し、他の２つのシリンダ機構８４及び８
５に関する詳しい説明は省略する。但し、図１１及び図
１２において、これらシリンダ機構８４及び８５の各構
成部分に関し、以下に説明するシリンダ機構８３が具備
する各構成部分８３ａ、８３ｂ、・・・と対応するもの
に、同様のアルファベットａ、ｂ、．．．を付して８４
ａ、８４ｂ・・・・、並びに８５ａ、８５ｂ、・・・と
して示している。

【００４５】図１１及び図１２に示すように、シリンダ
機構８３は次のように構成されている。

【００４６】ケーシング８１に該シリンダ機構８３の密
室８３ａが構成されており、該密室８３ａに流体として
油３５が充填されている。そして、密室８３ａには、出
没部材及び移動部材としてのピストンロッド８３ｂが、
トラックレール５５の長手方向に対して垂直な方向、こ
の場合、上下方向において摺動自在に設けられている。
なお、該ピストンロッド８３ｂはその軸方向に対して垂
直な断面形状が円形となされ、従って密室８３ａの断面
形状も円形である。図１１及び図１２に示すように、ピ
ストンロッド８３ｂの上端部近傍にはその全周にわたる
環状溝８３ｃが形成されており、該環状溝８３ｃ内には
シール作用をなす０リング８３ｄが設けられている。ま
た、同図に示すように、密室８３ａの端部には、ピスト
ンロッド８３ｂに摺接するオイルシール８３ｅが設けら
れている。

【００４７】上記各シリンダ機構８３乃至８５が備える
各ピストンロッド８３ｂ、８４ｂ、８５ｂは、後述する
流体注入抜取手段によって各密室８３ａ、８４ａ、８５
ａに対する流体すなわち油の注入、抜取りが行われるこ
とにより、該各密室に対して出没する。

【００４８】図１１及び図１２に示すように、各シリン
ダ機構８３乃至８５のピストンロッド８３ｂ、８４ｂ及
び８５ｂの突出方向端部には、夫々略平板状に形成され
た摺接部材９１、９２及び９３が固着されており、かつ
トラックレール５５の表面に対して摺接している。詳し
くは、摺接部材９１については例えば円形に形成され、
トラックレール５５の上面に摺接しており、他の摺接部
材９２、９３に関しては例えば矩形板状に形成されてお
り、該トラックレール５５の軌道面５５ｃに摺接してい
る。これらの摺接部材９１、９２、９３は、その全体、
若しくはトラックレール５５との摺接部のみが低摩擦係
数の材料からなり、トラックレール５５の表面に押し付
けられた状態にても該表面に沿って円滑に摺動すること
ができる。なお、このような低摩擦係数の材料として
は、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）等が挙げ
られる。

【００４９】続いて、上記各ピストンロッド８３ｂ、８
４ｂ及び８５ｂを出没させるべく密室８３ａ、８４ａ、
８５ａに対する流体、この場合油の注入、抜取りを行う
流体注入抜取手段について説明する。

【００５０】図１１及び図１２に示すように、防振ユニ
ット５８のケーシング８１に、上記各密室８３ａ、８４
ａ及び８５ａに連なる細い通路８３ｆ、８４ｆ及び８５
ｆが形成されており、更に、これら各通路８３ｆ、８４
ｆ、８５ｆを互いに連通させるべく連通路８１ｃが形成
されている。図１１に示すようにこの連通路８１ｃの開
放端部には雌ねじ部８１ｄが形成されている。

【００５１】一方、図８に示すように、例えばベッド２
上に、油を加圧して供給し、また逆に負圧を生じさせる
ことによって油の回収を行う供給回収ユニット４５（前
述の第１実施例及び第２実施例のものと同じものを使用
可能である）が設けられている。この供給回収ユニット
４５には油の注入、抜取りを行うためのチューブ４５ａ
の一端が接続され、該チューブ４５ａの他端が上記した
雌ねじ部８１ｄに接続されている。すなわち、供給回収
ユニット４５から吐出される加圧油がチューブ４５ａ、
上記通路８１ｃ、通路８３ｆ、８４ｆ及び８５ｆを順に
経て各密室８３ａ、８４ａ及び８５ａに注入されること
により、各ピストンロッド８３ｂ、８４ｂ及び８５ｂが
突出動作を行い、各摺接部材９１、９２及び９３がトラ
ックレール５の表面に向けて押圧され、また、逆に供給
回収ユニット４５が負圧を生じさせることによって同じ
経路を通じて各密室８３ａ、８４ａ、８５ａから油が抜
き取られ、各ピストンロッド８３ｂ、８４ｂ、８５ｂが
引込動作を行い、各摺接部材９１、９２、９３の押圧が
解除される。但し、該各摺接部材は、この押圧を解除し
た状態においてトラックレール５５に当接していてもよ
いし、隙間を隔てて離間するようにしてもよい。上記の
ように各ピストンロッドを突出動作させて各摺接部材９
１、９２、９３をトラックレール５５に押圧すると、テ
ーブル３は防振ユニット５８を介してトラックレール５
５に対して一体化される、但し、前述したように、この
一体化した状態において、各摺接部材９１、９２、９３
はトラックレール５５に対して摺動し得るから、直動転
がり案内ユニットの作動には何等支障はなく、テーブル
３は円滑に移動する。なお、本実施例においては、各摺
接部材９１、９２、９３による押圧を解除する際、各密
室８３ａ、８４ａ、８５ａ内の油に負圧を生じさせて各
ピストンロッド８３ｂ、８４ｂ、８５ｂを引き込むこと
としているが、これとは別にコイルスプリング等のばね
を設けて、該ばねの力によって引込み動作を補助させて
もよい。

【００５２】ところで、上記供給回収ユニット４５は、
その供給する油の圧力を自在に変化させることができ
る、すなわち、図８に示すように、この供給回収ユニッ
ト４５には、油圧調整用のつまみ４５ｂと油圧確認用の
メータ４５ｃとが設けられており、作業者が必要に応じ
てこのつまみ４５ｂを操作すれば最適圧力の油を供給す
ることができる。

【００５３】各密室８３ａ、８４ａ、８５ａに対する油
の注入、抜取りを行う流体注入抜取手段は上記のように
構成されている。また、該流体注入抜取手段と、扱われ
る流体としての油自体とによって、各ピストンロッド８
３ｂ、８４ｂ、８５ｂに駆動力を付与する駆動力付与手
段が構成されている。また、該駆動力付与手段と駆動さ
れる各ピストンロッド８３ｂ、８４ｂ、８５ｂと、ケー
シング８１と、これらに関連する周辺の小部品とによっ
て、前述の摺接部材９１、９２、９３をトラックレール
５５の表面に向けて押圧する押圧手段が構成される。

【００５４】次に、上記した構成の直動転がり案内ユニ
ットの作動に伴なう制振作用について説明する。

【００５５】図９に示すように、テーブル３上に被加工
物４７が載置されて固定され、図示しない駆動手段によ
って該テーブル３が矢印Ｘにて示すように往復動され、
これに伴って被加工物４７に対して切削加工や研削加工
などの所要の加工が行われる。このように被加工物４７
の加工をなす際、テーブル３に対して振動が加わる。特
に、切削加工、研削加工等の複数種の加工を１台の工作
機械で行う場合、強さや振幅が変化して多様な振動状態
が現出する。

【００５６】研削加工等、比較的弱く振幅が小さい振動
が発生する加工が行われる場合には、前述の供給回収ユ
ニット４５から供給する油の圧力をこれに応じて低く設
定し、振動が強くしかも振幅も大きな切削加工などを行
うときには油の圧力を高め、適宜対処する。

【００５７】上述した構成によって、前述した第２実施
例及び第３実施例としての各直動転がり案内ユニットに
おけると同様の制振効果が得られる。なお、３つ設けら
れた各シリンダ機構８３、８４及び８５を上記のように
連動させることをせず、これらを互いに独立して作動さ
せるようにすることも可能であり、この場合、加わる振
動の方向及び強さ等に応じて必要なシリンダ機構のみを
作動させることが考えられる。

【００５８】続いて、本発明の第４実施例としての直動
転がり案内ユニットについて、図１３及び図１４に基づ
いて説明する。なお、当該直動転がり案内ユニットは、
以下に説明する部分以外は前述した第３実施例としての
直動転がり案内ユニットと同様に構成されている故、ユ
ニット全体としての説明は省略して要部のみの説明に留
める。また、以下の説明において、該第３実施例として
の直動転がり案内ユニットの構成部分と同一又は対応す
る構成部分については同じ参照符号を用いている。ま
た、これらのことは、後述する第５実施例以降の説明に
おいても同様である。

【００５９】図１３及び図１４に示すように、当該直動
転がり案内ユニット１００においては、防振ユニット５
８のケーシング８１が比較的長尺に形成され、単一のケ
ーシング８１について複数ずつ、この場合２つずつのシ
リンダ機構８３、８４、８５が設けられている。なお、
各シリンダ機構８３、８４、８５が夫々備える密室に対
する油の注入、抜取りを行うための各通路に関し、これ
らを全て互いに連通させ、同時に油の注入、抜取りを行
い、合計６本のピストンロッドが連動するようにしてい
る。また、本実施例ではケーシング８１にシリンダ機構
を合計６つ設けているが、その設ける数や配置について
は適宜可変であることは言及するまでもない。このよう
に、多くのシリンダ機構を用いて大きな摺接部材を押圧
することにより制振効果が極めて増大している。

【００６０】次いで、本発明の第５実施例としての直動
転がり案内ユニットについて、図１５至図１８に基づい
て説明する。

【００６１】図示のように、当該直動転がり案内ユニッ
ト１０１においては、防振装置として、トラックレール
５５とテーブル３の間に介装された防振ユニット１０３
が下記のように構成されている点で前述の第３実施例及
び第４実施例のものと異なる。

【００６２】この防振ユニット１０３が具備してトラッ
クレール５５に対して相対運動自在なケーシング１０４
は、本体１０６と、該本体１０６の端部にボルト１０７
（図１７に図示）によって締結された２枚の板状部材１
０８及び１０９とからなる。図１７に示すように、該本
体１０６の上面側には複数のねじ孔１０６ａが形成され
ており、図１５及び図１６に示すテーブル３はこれらの
ねじ孔１０６ａに螺合するボルト（図示せず）によって
該本体１０６に締結される。

【００６３】上記本体１０６に締結された両板状部材１
０８、１０９内には、シリンダ機構１１１が設けられて
いる。このシリンダ機構１１１は次のように構成されて
いる。

【００６４】図１７から明らかなように、上記両板状部
材１０８、１０９に密室１１３が形成されており、該密
室１１３に流体として油３５が充填されている。そし
て、密室１１３には、出没部材及び移動部材としてのピ
ストンロッド１１５が、トラックレール５５の長手方向
において摺動自在に設けられている。該ピストンロッド
１１５はその軸方向に対して垂直な断面形状が円形とな
され、従って密室１１３の断面形状も円形である。

【００６５】上記ピストンロッド１１５は、ピストン部
１１５ａと出力ロッド部１１５ｂとから成り、この出力
ロッド部１１５ｂが密室１１３に対して出没動作を行
う。なお、この出力ロッド部１１５ｂと板状部材１０８
との間、並びに両板状部材１０８、１０９の相互接合部
にはシール作用をなすＯリング１１７ａ、１１７ｂ及び
１１７ｃが介装されている。また、ピストンロッド１１
５のピストン部１１５ａにもＯリング１１５ｃが嵌着さ
れ、これによって、密室１１３がピストンロッド１１５
の先端側の室１１３ａと後端側の室１１３ｂの２室に分
けられる。

【００６６】上記ピストンロッド１１５は、後述する流
体注入抜取手段によって上記各室１１３ａ、１１３ｂに
対する流体すなわち油の注入、抜取りが行われることに
より、密室１１３に対して出没する。

【００６７】上記ピストンロッド１１５の出力ロッド部
１１５ｂの先端には、テーパジブ１１９が取り付けられ
ている。詳しくは、テーパジブ１１９はピストンロッド
１１５の出力ロッド部１１５ｂに対して、該ピストンロ
ッドの出没方向においては固定とされ、上下方向におい
て自由度を持って可動に取り付けられている。図示のよ
うに、このテーパジブ１１９の上部側には、ピストンロ
ッド１１５の出没方向に沿って上下に傾斜するテーパ面
１１９ａが形成されており、同様に傾斜して本体１０６
の下部側に形成されたテーパ面１０６ｃに摺動自在に当
接している。そして、テーパジブ１１９の下部側はトラ
ックレール５５の上面と平行に形成され、この下面に、
例えば矩形板状に形成された摺接部材１２０が接着され
ており、かつトラックレール５５の上面に対して摺接し
ている。この摺接部材１２０は、その全体、若しくはト
ラックレール５５との摺接部のみが低摩擦係数の材料、
例えばポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）からな
り、トラックレール５５の上面に押し付けられた状態に
ても該上面に沿って円滑に摺動することができる。

【００６８】続いて、上記ピストンロッド１１５を出没
させるべく、密室１１３の一方の室１１３ａ及び他方の
室１１３ｂに対する油の注入、抜取りを行う流体注入抜
取手段について説明する。

【００６９】図１７に示すように、板状部材１０９に、
上記各室１１３ａ、１１３ｂと外部側とを連通させる細
い通路１０９ａ及び１０９ｂが形成されている。該両通
路１０９ａ、１０９ｂの解放端部には雌ねじ部１０９ｃ
及び１０９ｄ（図１８に図示）が形成されている。これ
ら雌ねじ部１０９ｃ及び１０９ｄに対し、図１５に示す
供給回収ユニット４５からのチューブ４５ａ及び４５ｂ
が接続されている。この場合、供給回収ユニット４５
は、一方のチューブ４５ａから加圧油を供給する際には
他方のチューブ４５ｂを通じて油の回収を行い、又逆
に、該チューブ４５ｂを通じて加圧油を供給するときは
チューブ４５ａによって油を回収する。これによって、
ピストンロッド１１５が出没動作を行い、突出動作時に
摺接部材１２０がトラックレール５５の表面に向けて押
圧され、また引込動作時に摺接部材１２０の押圧が解除
される。

【００７０】上記のようにピストンロッド１１５を突出
動作させて摺接部材１２０をトラックレール５５に押圧
すると、テーブル３は防振ユニット１０３を介してトラ
ックレール５５に対して一体化される。但し、前述した
ように、この一体化した状態において、摺接部材１２０
はトラックレール５５に対して摺動し得るから、直動転
がり案内ユニットの作動には何等支障はなく、テーブル
３は円滑に移動する。なお、前述したテーパジブ１１９
とこれが摺接すべく本体１０６に形成されたテーパ面１
０６ｃは、くさび手段すなわち倍力手段として作用し、
ピストンロッド１１５の押圧力は倍加して摺接部材１２
０に伝えられる。従って、該ピストンロッド１１５を含
むシリンダ機構１１１を小出力のものとしても所望の押
圧力を得ることができる。

【００７１】ところで、上記供給回収ユニット４５は、
その供給する油の圧力を自在に変化させることができ
る、すなわち、図１５に示すように、この供給回収ユニ
ット４５には、油圧調整用のつまみ４５ｂと油圧確認用
のメータ４５ｃとが設けられており、作業者が必要に応
じてこのつまみ４５ｂを操作すれば最適圧力の油を供給
することができる。

【００７２】上記各室１１３ａ、１１３ｂに対する油の
注入、抜取りを行う流体注入抜取手段は上記のように構
成されている。また、該流体注入抜取手段と、扱われる
流体としての油自体とによって、ピストンロッド１１５
に駆動力を付与する駆動力付与手段が構成されている。
また、該駆動力付与手段と駆動されるピストンロッド１
１５と、ケーシング１０４と、これらに関連する周辺の
小部品とによって、前述の摺接部材１２０をトラックレ
ール５５の表面に向けて押圧する押圧手段が構成され
る。

【００７３】次に、上記した構成の直動転がり案内ユニ
ットの作動に伴なう制振作用について説明する。

【００７４】図１６に示すように、テーブル３上に被加
工物４７が載置されて固定され、図示しない駆動手段に
よって該テーブル３が矢印Ｘにて示すように往復動さ
れ、これに伴って被加工物４７に対して切削加工や研削
加工などの所要の加工が行われる。このように被加工物
４７の加工をなす際、テーブル３に対して振動が加わ
る。特に、切削加工、研削加工等の複数種の加工を１台
の工作機械で行う場合、強さや振幅が変化して多様な振
動状態が現出する。

【００７５】研削加工等、比較的弱く振幅が小さい振動
が発生する加工が行われる場合には、前述の供給回収ユ
ニット４５から供給する油の圧力をこれに応じて低く設
定し、振動が強くしかも振幅も大きな切削加工などを行
うときには油の圧力を高め、適宜対処する。

【００７６】上述した構成によって、前述した第２実施
例及び第３実施例並びに第４実施例としての各直動転が
り案内ユニットにおけると同様の制振効果が得られる。
なお、３つ設けられた各シリンダ機構８３、８４及び８
５を上記のように連動させることをせず、これらを互い
に独立して作動させるようにすることも可能であり、こ
の場合、加わる振動の方向及び強さ等に応じて必要なシ
リンダ機構のみを作動させることが考えられる。

【００７７】続いて、本発明の第６実施例としての直動
転がり案内ユニットについて、図１９並びに図２２に基
づいて説明する。

【００７８】図示のように、当該直動転がり案内ユニッ
ト１２５においては、防振装置としてトラックレール５
５とテーブル３の間に介装された防振ユニット１２７が
下記のように構成されている点で前述の第３実施例及び
第４実施例並びに第５実施例のものと異なる。

【００７９】この防振ユニット１２７が具備してトラッ
クレール５５に対して相対運動自在なケーシング１２８
は、本体１２９と、該本体１２９の側部にボルト１３０
（図２２に図示）によって締結された板状部材１３１と
からなる。図１９及び図２０に示すテーブル３はボルト
（図示せず）によって該本体１２９に締結される。

【００８０】上記本体１２８及びこれに締結された板状
部材１３１内には２つのシリンダ機構１３４が設けられ
ている。このシリンダ機構１３４は互いに同様に構成さ
れている故、一方のシリンダ機構についてのみ説明す
る。

【００８１】図２１から明らかなように、上記本体１２
８及び板状部材１３１に密室１３５が形成されており、
該密室１３５に流体として油３５が充填されている。そ
して、密室１３５には、出没部材及び移動部材としての
ピストンロッド１３６がトラックレール５５の長手方向
に対して垂直な方向、この場合左右方向において摺動自
在に設けられている。該ピストンロッド１３６はその軸
方向に対して垂直な断面形状が円形となされ、従って密
室１３５の断面形状も円形である。

【００８２】上記ピストンロッド１３６は、ピストン部
１３６ａと出力ロッド部１３６ｂとから成り、この出力
ロッド部１３６ｂが密室１３５に対して出没動作を行
う。なお、この出力ロッド部１３６ｂと本体１２９との
間、並びに本体１２９及び板状部材１３１の相互接合部
にはシール作用をなすオイルシール１３７ａ及びＯリン
グ１３７ｂが介装されている。また、ピストンロッド１
３６のピストン部１３６ａによって密室１３５がピスト
ンロッド１３６の先端側の室１３５ａと後端側の室１３
５ｂの２室に分けられる。

【００８３】上記ピストンロッド１３６は、後述する流
体注入抜取手段によって上記各室１３５ａ、１３５ｂに
対する流体すなわち油の注入、抜取りが行われることに
より、密室１３５に対して出没する。

【００８４】上記ピストンロッド１３６の出力ロッド部
１３６ｂの先端には、テーパジブ１３８が取り付けられ
ている。詳しくは、テーパジブ１３８はピストンロッド
１３６の出力ロッド部１３６ｂに対して、該ピストンロ
ッドの出没方向においては固定とされ、上下方向におい
て自由度を持って可動に取り付けられている。図示のよ
うにこのテーパジブ１３８の上部側１３８には、ピスト
ンロッド１３６の出没方向に沿って上下に傾斜するテー
パ面１３８ａが形成されている。そして、本体１２９の
下面側にテーパブロック１２９ａが固接されており、該
テーパ面１３８ａと同様に傾斜して該テーパブロック１
２９ａの下部側に形成されたテーパ面１２９ｂに該テー
パ面１３８ａにて摺動自在に当接している。そして、テ
ーパジブ１３８の下部側はトラックレール５５の上面と
平行に形成され、この下面に、例えば矩形板状に形成さ
れた摺接部材１４０が接着されており、かつトラックレ
ール５５の上面に対して摺接している。この摺接部材１
４０は、その全体、若しくはトラックレール５５との摺
接部のみが低摩擦係数の材料、例えば、ポリテトラフル
オロエチレン（ＰＴＦＥ）からなり、トラックレール５
５の上面に押し付けられた状態にても該上面に沿って円
滑に摺動することができる。

【００８５】続いて、上記ピストンロッド１３６を出没
させるべく、密室１３５の一方の室１３５ａ及び他方の
室１３５ｂに対する油の注入、抜取りを行う流体注入抜
取手段について説明する。

【００８６】図２１及び図２２に示すように、本体１２
９及び板状部材１３１に、上記各室１３５ａ、１３５ｂ
と外部側とを連通させる細い通路１２９ｄ及び１３１ａ
が形成されている。そして、２つ設けられたシリンダ機
構１３４の各密室について夫々形成された通路１２９
ｄ、１３１ａ同士を互いに連通する連通路１２９ｅ、１
３１ｂが形成されている。該各連通路１２９ｅ、１３１
ｂの中央には、これらに連通する雌ねじ部１２９ｆ及び
１３１ｃが形成されている。これら雌ねじ部１２９ｆ及
び１３１ｃに対し、図１９に示す供給回収ユニット４５
からのチューブ４５ａ及び４５ｂが接続されている。こ
の場合、供給回収ユニット４５は、一方のチューブ４５
ａから加圧油を供給する際には他方のチューブ４５ｂを
通じて油の回収を行い、又逆に該チューブ４５ｂを通じ
て加圧油を供給するときはチューブ４５ａによって油を
回収する。これによってピストンロッド１３６が出没動
作を行い、突出動作時に摺接部材１４０がトラックレー
ル５５の表面に向けて押圧され、また引込動作時に摺接
部材１４０の押圧が解除される。

【００８７】上記のようにピストンロッド１３６を突出
動作させて摺接部材１４０をトラックレール５５に押圧
すると、テーブル３は防振ユニット１２７を介してトラ
ックレール５５に対して一体化される。但し、前述した
ように、この一体化した状態において、摺接部材１４０
はトラックレール５５に対して摺動し得るから、直動転
がり案内ユニットの作動には何等支障はなく、テーブル
３は円滑に移動する。なお、前述したテーパジブ１３８
とこれが摺接すべく本体１２９に設けられたテーパブロ
ック１２９ａは、くさび手段すなわち倍力手段として作
用し、ピストンロッド１３６の押圧力は倍加して摺接部
材１４０に伝えられる。従って、該ピストンロッド１３
６を含むシリンダ機構１３４を小出力のものとしても所
望の押圧力を得ることができる。

【００８８】ところで、上記供給回収ユニット４５は、
その供給する油の圧力を自在に変化させることができ
る。すなわち、図１９に示すように、この供給回収ユニ
ット４５には、油圧調整用のつまみ４５ｂと油圧確認用
のメータ４５ｃとが設けられており、作業者が必要に応
じてこのつまみ４５ｂを操作すれば最適圧力の油を供給
することができる。

【００８９】上記各室１３５ａ、１３５ｂに対する油の
注入、抜取りを行う流体注入抜取手段は上記のように構
成されている。また、該流体注入抜取手段と、扱われる
流体としての油自体とによって、ピストンロッド１３６
に駆動力を付与する駆動力付与手段が構成されている。
また、該駆動力付与手段と駆動されるピストンロッド１
３６と、ケーシング１２８と、これらに関連する周辺の
小部品とによって、前述の摺接部材１４０をトラックレ
ール５５の表面に向けて押圧する押圧手段が構成され
る。

【００９０】上記した構成の直動転がり案内ユニットの
作動に伴う制振作用及びその効果については、前述の第
５実施例としての直動転がり案内ユニットと同様である
故、その説明は省略する。

【００９１】なお、図２１において、本体１２９及び板
状部材１３１に夫々形成されたねじ孔１２９ｇ及び１３
１ｅは、上記各室１３５ａ，１３５ｂ内に油と共に混入
した空気を抜くためのものであり、図示のように通常は
ねじ１４１により閉塞されている。

【００９２】また、上記各実施例においては、摺接部材
をトラックレールの表面に向けて押圧する手段として油
圧または空圧のシリンダ機構を用いているが、この他、
下記の構成のもの等が採用可能である。

【００９３】まず、ねじを用いてその進退動作によって
摺接部材を作動させるものである。この場合、押圧力を
変化させるため、該ねじを自動的に回転駆動する駆動手
段も付加する。次に、ばねを用いる構成である。すなわ
ち、摺接部材を該ばねにより押圧することとし、該ばね
の弾発力を可変とするものである。また、カム機構と該
カム機構に駆動力を付与するモータ等とにより構成し、
押圧力を可変として摺接部材を作動させる構成も挙げら
れる。更には、圧電素子を用いてもよい。

【００９４】ところで、上記各実施例においては転がり
案内ユニットとして直線的に作動する直動転がり案内ユ
ニットを示したが、トラックレール等にある曲率をもた
せた構成とすることも勿論可能である。

【００９５】また、本発明は、前述した第１乃至第６実
施例の構成に限らず、これら各実施例の構成をその一部
分ずつでも互いに適宜組み合わせたり、相互に応用し合
うことなどにより、多岐に亘る構成を実現できるもので
ある。

【００９６】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、工
作機械のベッド等に堅固に固定されたトラックレールに
対して摺接部材を強制的に押圧し、しかも、加わる振動
の強さ等に応じて押圧力を自在に変化させる構成の故、
どのような振動が作用しようとも確実に制振することが
でき、切削加工や研削加工を施した加工表面の仕上げ精
度を常に維持できるという効果が得られる。特に、トラ
ックレールはその機能上から極めて高精度に仕上げられ
ているが故に、これを押圧対象として活用することで押
圧の変動もなく一定した振動減衰効果が得られるもので
ある。また、振動減衰が必要なときに防振装置の機能を
ＯＮしてはたらかせ、早送りや戻り時など不要の場合に
は機能をＯＦＦできるものである。更に、防振装置は、
転がり案内ユニットの摺動台とは別体として設けられる
から、装備すべき防振装置の数を必要に応じて増減させ
ることが可能であると共に、その取扱いも容易である。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明の第１実施例としての直動転が
り案内ユニットを工作機械のベッド上に取り付けた状態
を示す平面図である。

【図２】図２は、図１に関するＡ−Ａ矢視図である。

【図３】図３は、図１に示した直動転がり案内ユニット
の一部の、一部断面を含む斜視図である。

【図４】図４は、図１に関するＢ−Ｂ矢視図である。

【図５】図５は、図４に関し、一部断面を含むＣ−Ｃ矢
視図である。

【図６】図６は、本発明の第２実施例としての直動転が
り案内ユニットを工作機械のベッド上に取り付けた状態
を示す平面図である。

【図７】図７は、図６に関し、一部断面を含むＤ−Ｄ矢
視図である。

【図８】図８は、本発明の第３実施例としての直動転が
り案内ユニットを工作機械のベッド上に取り付けた状態
を示す平面図である。

【図９】図９は、図８に関するＧ−Ｇ矢視図である。

【図１０】図１０は、図８に示した直動転がり案内ユニ
ットの一部の、一部断面を含む斜視図である。

【図１１】図１１は、図８に関するＨ−Ｈ矢視図であ
る。

【図１２】図１２は、図１１に関し、一部断面を含むＩ
−Ｉ矢視図である。

【図１３】図１３は、本発明の第４実施例としての直動
転がり案内ユニットを工作機械のベッド上に取り付けた
状態を示す平面図である。

【図１４】図１４は、図１３に関し、一部断面を含むＫ
−Ｋ矢視図である。

【図１５】図１５は、本発明の第４実施例としての直動
転がり案内ユニットを工作機械のベッド上に取り付けた
状態を示す平面図である。

【図１６】図１６は、図１５に関するＭ−Ｍ矢視図であ
る。

【図１７】図１７は、図１５に関し、一部断面を含むＮ
−Ｎ矢視図である。

【図１８】図１８は、図１７に関するＯ−Ｏ矢視図であ
る。

【図１９】図１９は、本発明の第５実施例としての直動
転がり案内ユニットを工作機械のベッド上に取り付けた
状態を示す平面図である。

【図２０】図２０は、図１９に関するＱ−Ｑ矢視図であ
る。

【図２１】図２１は、図１９に関するＲ−Ｒ矢視図であ
る。

【図２２】図２２は、図２１に関するＳ−Ｓ矢視図であ
る。

【図２３】図２３は、従来の直動転がり案内ユニットを
工作機械のベッド上に取り付けた状態を示す斜視図であ
る。

【図２４】図２４は、図２３に示した直動転がり案内ユ
ニットが具備するトラックレール及びスライドユニット
と、これらの上下に位置するテーブル及びベッドの縦断
面図である。

【図２５】図２５は、図２３に示した直動転がり案内ユ
ニットが具備するトラックレール及び防振ユニットと、
これらの上下に位置するテーブル及びベッドの縦断面図
である。

【符号の説明】

１、５０、５１、１００、１０１、１２５直動転が
り案内ユニット２（工作機
械の）ベッド３テーブル５、５５トラック
レール７、５７スライド
ユニット（摺動台）８、５８、１０３、１２７防振ユニ
ット（防振装置）３１、８１、１０４、１２８ケ−シン
グ３３、８３、８４、８５、１１１、１３４シリンダ
機構３４、８３ａ、１１３、１３５密室３５油３７、８３ｂ、１１５、１３６ピストン
ロッド（移動部材または出没部材）４２、９１、９２、９３、１２０、１４０摺接部材４５供給回収
ユニット１１９、１３８テーパジ
グ

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成６年１０月３１日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】特許請求の範囲

【補正方法】変更

【補正内容】

【特許請求の範囲】

【請求項２】前記倍加手段はくさび手段から成ること
を特徴とする請求項１記載の防振装置。

【請求項３】長手方向に沿って軌道が形成されたトラ
ックレールと、該軌道に対応する負荷軌道を含む転動体
循環路を有して該トラックレールに対して相対運動自在
にして所定テーブル等を担持する摺動台と、該転動体循
環路に配列収容されて前記軌道に沿って転動しつつ荷重
を受ける複数の転動体と、該トラックレール及びテーブ
ル等の相互間に介装された防振装置とを備え、該防振装
置は、前記トラックレールの表面に摺接する摺接部材
と、該摺接部材を該表面に向けて押圧すると共にその押
圧力が可変である押圧手段とを有し、前記押圧手段が発
生する押圧力を倍加して前記摺接部材に伝える倍加手段
を備えたことを特徴とする転がり案内ユニット。

【請求項４】前記倍加手段はくさび手段から成ること
を特徴とする請求項３記載の転がり案内ユニット。

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１０

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明による防振装置
は、所定トラックレールの表面に摺接する摺接部材と、
該摺接部材を該表面に向けて押圧すると共にその押圧力
が可変である押圧手段とを有し、前記押圧手段が発生す
る押圧力を倍加して前記摺接部材に伝える倍加手段を備
えるように構成したものである。また、本発明による転
がり案内ユニットは、長手方向に沿って軌道が形成され
たトラックレールと、該軌道に対応する負荷軌道を含む
転動体循環路を有して該トラックレールに対して相対運
動自在にして所定テーブル等を担持する摺動台と、該転
動体循環路に配列収容されて前記軌道に沿って転動しつ
つ荷重を受ける複数の転動体と、該トラックレール及び
テーブル等の相互間に介装された防振装置とを備え、該
防振装置が、前記トラックレールの表面に摺接する摺接
部材と、該摺接部材を該表面に向けて押圧すると共にそ
の押圧力が可変である押圧手段とを有し、前記押圧手段
が発生する押圧力を倍加して前記摺接部材に伝える倍加
手段を備えるように構成したものである。

【手続補正３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００７０

【補正方法】変更

【補正内容】

【００７０】上記のようにピストンロッド１１５を突出
動作させて摺接部材１２０をトラックレール５５に押圧
すると、テーブル３は防振ユニット１０３を介してトラ
ックレール５５に対して一体化される。但し、前述した
ように、この一体化した状態において、摺接部材１２０
はトラックレール５５に対して摺動し得るから、直動転
がり案内ユニットの作動には何等支障はなく、テーブル
３は円滑に移動する。なお、前述したテーパジブ１１９
とこれが摺接すべく本体１０６に形成されたテーパ面１
０６ｃは、くさび手段すなわち倍加手段として作用し、
ピストンロッド１１５の押圧力は倍加して摺接部材１２
０に伝えられる。従って、該ピストンロッド１１５を含
むシリンダ機構１１１を小出力のものとしても所望の押
圧力を得ることができる。

【手続補正４】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００７２

【補正方法】変更

【補正内容】

【００７２】上記各室１１３ａ、１１３ｂに対する油の
注入、抜取りを行う流体注入抜取手段は上記のように構
成されている。また、該流体注入抜取手段と、扱われる
流体としての油自体とによって、ピストンロッド１１５
に駆動力を付与する駆動力付与手段が構成されている。
また、該駆動力付与手段と、駆動されるピストンロッド
１１５と、ケーシング１０４と、これらに関連する周辺
の小部品とによって、前述の摺接部材１２０をトラック
レール５５の表面に向けて押圧する押圧手段が構成され
る。

【手続補正５】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００８７

【補正方法】変更

【補正内容】

【００８７】上記のようにピストンロッド１３６を突出
動作させて摺接部材１４０をトラックレール５５に押圧
すると、テーブル３は防振ユニット１２７を介してトラ
ックレール５５に対して一体化される。但し、前述した
ように、この一体化した状態において、摺接部材１４０
はトラックレール５５に対して摺動し得るから、直動転
がり案内ユニットの作動には何等支障はなく、テーブル
３は円滑に移動する。なお、前述したテーパジブ１３８
とこれが摺接すべく本体１２９に設けられたテーパブロ
ック１２９ａは、くさび手段すなわち倍加手段として作
用し、ピストンロッド１３６の押圧力は倍加して摺接部
材１４０に伝えられる。従って、該ピストンロッド１３
６を含むシリンダ機構１３４を小出力のものとしても所
望の押圧力を得ることができる。

【手続補正６】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００８９

【補正方法】変更

【補正内容】

【００８９】上記各室１３５ａ、１３５ｂに対する油の
注入、抜取りを行う流体注入抜取手段は上記のように構
成されている。また、該流体注入抜取手段と、扱われる
流体としての油自体とによって、ピストンロッド１３６
に駆動力を付与する駆動力付与手段が構成されている。
また、該駆動力付与手段と、駆動されるピストンロッド
１３６と、ケーシング１２８と、これらに関連する周辺
の小部品とによって、前述の摺接部材１４０をトラック
レール５５の表面に向けて押圧する押圧手段が構成され
る。

【手続補正７】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００９６

【補正方法】変更

【補正内容】

【００９６】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、工
作機械のベッド等に堅固に固定されたトラックレールに
対して摺接部材を強制的に押圧し、しかも、加わる振動
の強さ等に応じて押圧力を自在に変化させる構成の故、
どのような振動が作用しようとも確実に制振することが
でき、切削加工や研削加工を施した加工表面の仕上げ精
度を常に維持できるという効果が得られる。特に、トラ
ックレールはその機能上から極めて高精度に仕上げられ
ているが故に、これを押圧対象として活用することで押
圧力の変動もなく一定した振動減衰効果が得られるもの
である。また、振動減衰が必要なときに防振装置の機能
をＯＮしてはたらかせ、早送りや戻り時など不要の場合
には機能をＯＦＦできるものである。更に、防振装置
は、転がり案内ユニットの摺動台とは別体として設けら
れるから、装備すべき防振装置の数を必要に応じて増減
させることが可能であると共に、その取扱いも容易であ
る。また、上記摺接部材をトラックレール表面に向けて
押圧すべく押圧手段が発生する押圧力を倍加して該摺接
部材に伝える倍加手段を備えている。従って、該押圧手
段を小出力のものとしても所望の押圧力を得ることがで
きる。

【手続補正８】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】図面の簡単な説明

【補正方法】変更

【補正内容】

【図面の簡単な説明】

【図２】図２は、図１に関するＡ−Ａ矢視図である。

【図４】図４は、図１に関するＢ−Ｂ矢視図である。

【図９】図９は、図８に関するＧ−Ｇ矢視図である。

【図１１】図１１は、図８に関するＨ−Ｈ矢視図であ
る。

【図１５】図１５は、本発明の第５実施例としての直動
転がり案内ユニットを工作機械のベッド上に取り付けた
状態を示す平面図である。

【図１９】図１９は、本発明の第６実施例としての直動
転がり案内ユニットを工作機械のベッド上に取り付けた
状態を示す平面図である。

【符号の説明】１、５０、５１、１００、１０１、１２５直動転が
り案内ユニット２（工作機
械の）ベッド３テーブル５、５５トラック
レール７、５７スライド
ユニット（摺動台）８、５８、１０３、１２７防振ユニ
ット（防振装置）３１、８１、１０４、１２８ケーシン
グ３３、８３、８４、８５、１１１、１３４シリンダ
機構３４、８３ａ、１１３、１３５密室３５油３７、８３ｂ、１１５、１３６ピストン
ロッド（移動部材または出没部材）４２、９１、９２、９３、１２０、１４０摺接部材４５供給回収
ユニット１１９、１３８テーパジ
ブ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】所定トラックレールの表面に摺接する摺
接部材と、該摺接部材を該表面に向けて押圧すると共に
その押圧力が可変である押圧手段とを有することを特徴
とする防振装置。
【請求項２】前記押圧手段は、前記トラックレールに
対して相対運動自在なケーシングと、該ケーシングに所
定方向において移動自在に設けられてその一端部に対し
て前記摺接部材が結合された移動部材と、該移動部材に
駆動力を付与する駆動力付与手段とからなることを特徴
とする請求項１記載の防振装置。
【請求項３】前記摺接部材は、少なくとも前記トラッ
クレールの表面との摺接部が低摩擦係数の材料からなる
ことを特徴とする請求項１又は請求項２記載の防振装
置。
【請求項４】前記押圧手段が発生する押圧力を倍加し
て前記摺接部材に伝える倍加手段を備えたことを特徴と
する請求項１乃至請求項３のうちいずれか１記載の防振
装置。
【請求項５】前記倍加手段はくさび手段から成ること
を特徴とする請求項４記載の防振装置。
【請求項６】前記ケーシングに密室が設けられ、前記
移動部材は該密室に対する出没動作を行う出没部材から
なり、前記駆動力付与手段は、該密室に充填された流体
と、前記出没部材を出没させるべく前記密室に対する前
記流体の注入、抜取りを行うと共に該流体の圧力を可変
とする流体注入抜取手段とを有することを特徴とする請
求項２乃至請求項５のうちいずれか１記載の防振装置。
【請求項７】長手方向に沿って軌道が形成されたトラ
ックレールと、該軌道に対応する負荷軌道を含む転動体
循環路を有して該トラックレールに対して相対運動自在
にして所定テーブル等を担持する摺動台と、該転動体循
環路に配列収容されて前記軌道に沿って転動しつつ荷重
を受ける複数の転動体と、該トラックレール及びテーブ
ル等の相互間に介装された防振装置とを備え、該防振装
置は、前記トラックレールの表面に摺接する摺接部材
と、該摺接部材を該表面に向けて押圧すると共にその押
圧力が可変である押圧手段とを有することを特徴とする
転がり案内ユニット。