KR20070072602A

KR20070072602A - 밀봉 장치 및 밀봉 방법

Info

Publication number: KR20070072602A
Application number: KR1020077011522A
Authority: KR
Inventors: 도시오 네기시
Original assignee: 가부시키가이샤 알박
Priority date: 2005-06-15
Filing date: 2006-06-12
Publication date: 2007-07-04
Also published as: TWI422027B; CN101069453A; JPWO2006134863A1; TW200707721A; KR100882178B1; WO2006134863A1; CN100514707C; JP4827842B2

Abstract

본 발명은, 자외선 경화 수지를 사용하여 밀봉을 실시할 때, 단시간에 수지를 경화시켜 밀봉 대상 부분에 대한 열의 영향을 억제시킬 수 있는 밀봉 장치 및 밀봉 방법을 제공한다. 본 발명의 밀봉 장치는, 질소 가스를 도입 가능한 얼라인먼트 접합실 (3) 과, UV 조사 램프 (30) 를 갖는 UV 조사실 (4) 를 구비한다. 얼라인먼트 접합실 (3) 내에 있어서 반송 기구 (15) 상에 밀봉용 유리 기판 (7) 과 기판 (9) 을 탑재하고, 자외선 경화형의 밀봉용 수지 (7a) 를 이용하여 가압 접합을 실시한다. 그 후, 반송 기구 (15) 에 의해 유기 EL 패널 (40) 을 얼라인먼트 접합실 (3) 로부터 반출하여 UV 조사실 (4) 로 이동시켜, 밀봉용 수지 (7a) 의 경화를 실시한다.

유기 EL 패널, 자외선 경화 수지, 밀봉 장치

Description

밀봉 장치 및 밀봉 방법{SEALING DEVICE AND SEALING METHOD}

기술분야

본 발명은, 예를 들어, 유기 EL 패널을 제조하는 기술에 관한 것으로, 특히 유기 EL 패널을 밀봉하는 기술에 관한 것이다.

배경기술

일반적으로, 유기 EL 패널을 제조할 때에는, 최종 공정으로서, 유기 EL 소자부를 형성한 기판과, 밀봉 유리를 접합하여 소자부를 밀봉하는 공정을 실시한다.

종래, 유기 EL 패널의 밀봉 공정에서는, 질소 가스를 도입한 진공조 내에 있어서, 자외선 경화 수지를 이용하여 기판과 밀봉 유리를 접합한 후, 자외선 경화 수지에 자외선을 조사하여 경화시키도록 하고 있다.

그러나, 종래 기술에 있어서는, 두꺼운 석영 유리를 개재하여 진공조의 외부로부터 자외선을 조사하기 때문에, 수지의 경화에 시간이 걸리고, 그 결과, 밀봉 대상 부분인 유기 EL 소자부에 대해서 열의 영향이 발생한다는 문제가 있다.

특허 문헌 1 : 일본 공개특허공보 2001-319776호

발명의 개시

발명이 해결하고자 하는 과제

본 발명은, 이러한 종래의 기술의 과제를 해결하기 위해서 이루어진 것으로, 그 목적으로 하는 것은, 자외선 경화 수지를 이용하여 밀봉을 실시할 때, 단시간에 수지를 경화시켜 밀봉 대상 부분에 대한 열의 영향을 억제시킬 수 있는 밀봉 장치 및 밀봉 방법을 제공하는 것에 있다.

과제를 해결하기 위한 수단

상기 목적을 달성하기 위해서 이루어진 본 발명은, 밀봉용 불활성 가스를 도입 가능한 진공 처리조와, 상기 진공 처리조 내에 있어서 자외선 경화 수지에 의해 접합된 한 쌍의 밀봉 대상물을 당해 진공 처리조로부터 반출하여 자외선 조사 위치로 이동시키는 반송 (搬送) 기구와, 상기 진공 처리조로부터 반출된 상기 밀봉 대상물의 상기 자외선 경화 수지에 대해서 자외선을 조사하는 자외선 조사 수단을 갖는 밀봉 장치이다.

본 발명에서는, 상기 발명에 있어서, 상기 반송 기구 상에 상기 밀봉 대상물을 탑재시켜 가압 접합을 실시하도록 구성할 수도 있다.

본 발명에서는, 상기 발명에 있어서, 상기 반송 기구에, 자외선 투과용의 창부를 형성할 수도 있다.

본 발명에서는, 상기 발명에 있어서, 상기 자외선 조사 수단을 배치한 UV 조사실을 가지고, 상기 진공 처리조로부터 반출된 상기 밀봉 대상물을 상기 UV 조사 실 내에 반입하여 자외선의 조사를 실시하도록 구성할 수도 있다.

본 발명은, 진공이며 밀봉용 불활성 가스 분위기에서, 한 쌍의 밀봉 대상물을 자외선 경화 수지에 의해 접합시켜 밀봉 대상 부분의 주위를 밀봉하는 공정과, 당해 밀봉된 구조의 상기 밀봉 대상물을 이동시켜 대기압 하에 배치하고, 상기 밀봉 대상물의 상기 자외선 경화 수지에 대해서 자외선을 조사하여 경화시키는 공정 을 갖는 밀봉 방법이다.

본 발명에서는, 상기 발명에 있어서, 상기 밀봉된 구조의 상기 밀봉 대상물을 이동시켜 가압 하에 배치하고, 상기 밀봉 대상물의 상기 자외선 경화 수지에 대해서 자외선을 조사하여 경화시킬 수도 있다.

본 발명에서는, 상기 발명에 있어서, 상기 밀봉 대상 부분을 유기 EL 소자로 할 수도 있다.

본 발명의 경우, 자외선 경화 수지의 경화 공정을, 밀봉 공정을 실시하는 장소와 다른 장소 (예를 들어, UV 조사실) 에서 실시하도록 하므로, 종래 기술과 같이 석영 유리를 개재하여 자외선의 조사를 실시하지 않고, 직접적으로 가까운 거리에서 자외선을 조사하는 것이 가능해진다.

그 결과, 본 발명에 의하면, 단시간에 자외선 경화 수지의 경화를 완료시킬 수 있으므로, 특히 유기 EL 패널의 밀봉 공정에 있어서, 유기 EL 소자 부분에 대한 열의 영향을 큰 폭으로 억제하는 것이 가능해진다.

본 발명 장치에 있어서, 반송 기구 상에 밀봉 대상물을 탑재하여 가압 접합을 실시하도록 구성하면, 반송 로봇을 형성할 필요가 없어 구성이 간소해짐과 함께, 접합 공정 후, 즉시 자외선 조사 공정으로 이행할 수 있으므로, 밀봉 공정의 신속화를 도모할 수 있다.

본 발명 장치에 있어서, 반송 기구에 자외선 투과용의 창부를 형성하도록 하면, 예를 들어 반송 기구 상에 탑재한 밀봉 대상물에 대해, 이 창부를 통하여 매우 가까운 거리에서 자외선을 조사하는 것이 가능해진다.

발명의 효과

본 발명에 의하면, 단시간에 자외선 경화 수지의 경화를 완료시킬 수 있고, 유기 EL 패널 등의 밀봉 공정에 있어서, 밀봉 부분에 대한 열의 영향을 큰 폭으로 억제할 수 있다.

도면의 간단한 설명

도 1 은 본 발명에 관련되는 밀봉 장치의 실시형태를 나타내는 개략 구성도이다.

도 2 는 동 실시형태에 있어서의 밀봉부의 내부 구성을 나타내는 개략도이다.

도 3 은 본 발명에 관련되는 밀봉 방법의 실시형태를 나타내는 제 1 개략 구성도이다.

도 4 는 본 발명에 관련되는 밀봉 방법의 실시형태를 나타내는 제 2 개략 구성도이다.

도 5 는 본 발명에 관련되는 밀봉 방법의 실시형태를 나타내는 제 3 개략 구성도이다.

부호의 설명

1…밀봉 장치 3…얼라인먼트 접합실 (진공 처리조)

4…UV 조사실 6…밀봉 유리 투입실

7…밀봉용 유리 기판 (밀봉 대상물)

7a…밀봉용 수지 (자외선 경화 수지)

9…기판 (밀봉 대상물) 9a…유기 EL 소자

10…밀봉부 15…반송 기구

16…탑재부 17…창부

18…가압 기구 20…유지부

30…UV 램프 (자외선 조사 수단) 40…유기 EL 패널

발명을 실시하기 위한 최선의 형태

이하, 본 발명의 바람직한 실시형태를 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.

도 1 은, 본 발명에 관련되는 밀봉 장치의 실시형태를 나타내는 개략 구성도, 도 2 는, 밀봉 장치의 실시형태에 있어서의 밀봉부의 내부 구성을 나타내는 개략도이다.

또, 도 3 ∼ 도 5 는, 본 발명에 관련되는 밀봉 방법의 실시형태를 나타내는 개략 구성도이다.

도 1 에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태의 밀봉 장치 (1) 는, 유기 EL 소자 (9a) 를 형성 완료한 기판 (밀봉 대상물 ; 9) 을 반입시키는 기판 반입실 (2) 을 가지고, 이 기판 반입실 (2) 의 후단에 얼라인먼트 접합실 (3) 이 연결되어 있다.

이 얼라인먼트 접합실 (진공 처리조 ; 3) 의 후단에는, 후술하는 UV 조사실 (4) 과 밀봉 완료 기판 취출실 (5) 이 설치되어 있다.

또, 얼라인먼트 접합실 (3) 은, 밀봉용 유리 기판 (7) 을 반입하기 위한 밀봉 유리 투입실 (6) 이 연결되어 있다. 이 밀봉용 유리 기판 (7) 은, 밀봉용 수지 (자외선 경화 수지 ; 7a) 가 도포되어 있다 (예를 들어, 도 2 참조).

도 2 에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태의 밀봉부 (10) 는, 상기 서술한 얼라인먼트 접합실 (3) 과 UV 조사실 (4) 이, 게이트 밸브 (8) 를 개재하여 연통하여 구성되어 있다.

얼라인먼트 접합실 (3) 은, 진공 배기계 (11) 에 접속됨과 함께, 밀봉용 불활성 가스인 질소 (N₂) 가스를 도입하도록 구성되어 있다.

또한, 얼라인먼트 접합실 (3) 은, 수분계 (12) 및 산소계 (13) 를 갖는 질소 가스 정제 장치 (14) 가 접속되어 있다.

얼라인먼트 접합실 (3) 내의 하부에는, UV 조사실 (4) 과의 사이를 이동 가능한 반송 기구 (15) 가 설치되어 있다. 이 반송 기구 (15) 에는, 밀봉용 유리 기판 (7) 을 탑재하는 평판 형상의 탑재부 (16) 가 설치되어 있다.

여기서, 밀봉용 유리 기판 (7) 은, 도시하지 않는 위치 결정 기구에 의해 소정의 위치에 위치 결정되도록 되어 있다.

그리고, 반송 기구 (15) 의 탑재부 (16) 에는, 밀봉용 유리 기판 (7) 상의 밀봉용 수지 (7a) 와 대응하는 위치에, 자외선 투과용의 창부 (17) 가 형성되어 있다.

한편, 얼라인먼트 접합실 (3) 의 상부에는, 밀봉용 유리 기판 (7) 에 대해서 기판 (30) 을 가압하기 위한 가압 기구 (18) 가 설치되어 있다.

이 가압 기구 (18) 는, 진공 배기계 (19) 에 접속되며, 진공 흡착에 의해 기판 (9) 을 유지할 수 있는 유지부 (20) 를 가지고, 이 유지부 (20) 는, 상하로 움 직일 수 있는 승강 기구 (21) 에 장착되고, 이 승강 기구 (21) 에 의해 반송 기구 (15) 의 상방을 승강하도록 구성되어 있다.

한편, UV 조사실 (4) 에는, UV 조사 램프 (자외선 조사 수단 ; 30) 가 설치되어 있다.

본 실시형태의 경우, UV 조사 램프 (30) 는, UV 조사실 (4) 내의 하부에 설치되고, 상기 서술한 반송 기구 (15) 의 탑재부 (16) 의 하방 위치에서 상방을 향해 자외선을 조사하도록 구성되어 있다.

이러한 구성을 갖는 본 실시형태에 있어서 밀봉을 실시하기 위해서는, 도 3 에 나타내는 바와 같이, 유기 EL 소자 (9a) 가 형성 완료된 기판 (9) 을 기판 반입실 (2) 을 통해 얼라인먼트 접합실 (3) 내에 반입하고, 이 기판 (9) 을 가압 기구 (18) 의 유지부 (20) 에 흡착 유지시킨다.

또, 밀봉용 수지 (7a) 를 도포 완료한 밀봉용 유리 기판 (7) 을 밀봉 유리 투입실 (6) 을 통해 얼라인먼트 접합실 (3) 내에 반입하고, 소정의 위치 결정을 실시하여, 반송 기구 (15) 의 탑재부 (16) 상에 탑재한다.

그리고, 얼라인먼트 접합실 (3) 내를 소정의 압력으로 감압한 후, 질소 가스를 도입하여 얼라인먼트 접합실 (3) 내를 소정 압력의 질소 분위기로 한다.

이 상태에서, 도 4 에 나타내는 바와 같이, 가압 기구 (18) 의 유지부 (20) 를 하강시켜 기판 (9) 을 밀봉용 유리 기판 (7) 의 밀봉용 수지 (7a) 에 꽉 눌러 소정의 압력으로 가압함으로써, 기판 (9) 과 밀봉용 유리 기판 (7) 을 접합시켜 유기 EL 소자 (9a) 의 주위를 밀봉한다.

또한, 도 5 에 나타내는 바와 같이, 유기 EL 패널 (40) 을 탑재한 상태에서 반송 기구 (15) 를 이동시켜 UV 조사실 (4) 내에 반입하고, UV 램프 (30) 의 상방에 반송 기구 (15) 의 탑재부 (16) 를 위치시킨다.

그리고 UV 조사실 (4) 내의 압력을 대기압으로 하고, UV 램프 (30) 를 동작시켜, 반송 기구 (15) 의 탑재부 (16) 의 창부 (17) 를 통하여 밀봉용 수지 (7a) 에 대해 자외선을 조사하고, 이것을 경화시킨다.

이상 서술한 바와 같이 본 실시형태에 의하면, 기판 (9) 과 밀봉용 유리 기판 (7) 을 자외선 경화형의 밀봉용 수지 (7a) 에 의해 접합하여 유기 EL 소자 (9a) 의 주위를 밀봉하는 공정과, 밀봉용 수지 (7a) 에 대해서 자외선을 조사하여 경화시키는 공정을 상이한 장소 (얼라인먼트 접합실 (3), UV 조사실 (4)) 에서 실시하도록 하므로, 종래 기술과 같은 자외선 경화 수지에 대해 석영 유리를 개재시키지 않고, 직접적으로 가까운 거리에서 자외선을 조사하는 것이 가능해진다.

그 결과, 본 실시형태에 의하면, 단시간에 자외선 경화 수지의 경화를 완료시킬 수 있으므로, 유기 EL 패널 (40) 의 밀봉 공정에 있어서, 유기 EL 소자 (9a) 부분에 대한 열의 영향을 큰 폭으로 억제하는 것이 가능해진다.

특히, 본 실시형태에서는, 반송 기구 (15) 상에 밀봉용 유리 기판 (7) 과 기판 (9) 을 탑재하여 가압 접합을 실시하기 때문에, 반송 로봇을 설치할 필요가 없이, 구성이 간소해짐과 함께, 접합 공정 후, 즉시 자외선 조사 공정으로 이행시킬 수 있으므로, 밀봉 공정의 신속화를 도모할 수 있다.

또, 본 실시형태에서는, 반송 기구 (15) 에 자외선 투과용의 창부 (17) 가 형성되어 있으므로, 반송 기구 (15) 상에 탑재한 유기 EL 패널 (40) 에 대해, 이 창부 (17) 를 통하여 매우 가까운 거리에서 자외선을 조사할 수 있다.

또한, 본 발명은 상기 기술한 실시형태에 한정되지 않고, 여러 가지의 변경을 실시할 수 있다.

예를 들어, 상기 서술한 실시형태에 있어서는, UV 조사실 (4) 내에서 대기압중에서 밀봉용 수지 (7a) 에 대해서 자외선을 조사하도록 했지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않고, 약간의 가압 하 (예를 들어, 100 ∼ 120kPa) 에서 자외선의 조사를 실시하는 것도 가능하다. 이 경우에는, 기판 (9) 과 밀봉용 유리 기판 (7) 의 밀착력이 증가되어, 어긋나기 어려워진다는 장점이 있다.

또, 상기 실시형태에 있어서는, 반송 기구 (15) 상에 탑재한 유기 EL 패널 (40) 에 대해 창부 (17) 를 통하여 하방에서 자외선을 조사하도록 했지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않고, 기판 (9) 과 밀봉용 유리 기판 (7) 의 상하 관계를 반대로 하여, 밀봉용 유리 기판 (7) 의 상방에서 직접 자외선을 조사하는 것도 가능하다.

단, 유기 EL 막을 형성한 기판을 그대로 이용한다는 관점에서는, 상기 실시형태와 같이 반송 기구 (15) 상에 탑재한 유기 EL 패널 (40) 에 대해 창부 (17) 를 통하여 하방에서 자외선을 조사하도록 구성하는 것이 바람직하다.

또한, 본 발명은 여러 가지의 플랫 패널 등의 밀봉에 적용할 수 있지만, 청정 분위기 하에서 처리하는 것이라는 관점에서, 유기 EL 패널의 밀봉에 가장 유효한 것이다.

Claims

밀봉용 불활성 가스를 도입 가능한 진공 처리조와,

상기 진공 처리조 내에 있어서 자외선 경화 수지에 의해 접합된 한 쌍의 밀봉 대상물을 당해 진공 처리조로부터 반출하여 자외선 조사 위치에 이동시키는 반송 기구와,

상기 진공 처리조로부터 반출된 상기 밀봉 대상물의 상기 자외선 경화 수지에 대해서 자외선을 조사하는 자외선 조사 수단을 갖는, 밀봉 장치.
제 1 항에 있어서,

상기 반송 기구 상에 상기 밀봉 대상물을 탑재하여 가압 접합을 실시하도록 구성되어 있는, 밀봉 장치.
제 2 항에 있어서,

상기 반송 기구에, 자외선 투과용의 창부가 형성되어 있는, 밀봉 장치.
제 1 항에 있어서,

상기 자외선 조사 수단을 배치한 UV 조사실을 가지고, 상기 진공 처리조로부터 반출된 상기 밀봉 대상물을 상기 UV 조사실 내에 반입하여 자외선의 조사를 실시하도록 구성되어 있는, 밀봉 장치.
진공인 밀봉용 불활성 가스 분위기에서, 한 쌍의 밀봉 대상물을 자외선 경화 수지에 의해 접합시켜 밀봉 대상 부분의 주위를 밀봉하는 공정과,

당해 밀봉된 구조의 상기 밀봉 대상물을 이동시켜 대기압 하에 배치하고, 상기 밀봉 대상물의 상기 자외선 경화 수지에 대해서 자외선을 조사하여 경화시키는 공정을 갖는, 밀봉 방법.
진공인 밀봉용 불활성 가스 분위기에서, 한 쌍의 밀봉 대상물을 자외선 경화 수지에 의해 접합시켜 밀봉 대상 부분의 주위를 밀봉하는 공정과,

당해 밀봉된 구조의 상기 밀봉 대상물을 이동시켜 가압 하에 배치하고, 상기 밀봉 대상물의 상기 자외선 경화 수지에 대해서 자외선을 조사하여 경화시키는 공정을 갖는, 밀봉 방법.
제 5 항에 있어서,

상기 밀봉 대상 부분이 유기 EL 소자인, 밀봉 방법.