JP4450589B2

JP4450589B2 - 成膜装置

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Publication number: JP4450589B2
Application number: JP2003316553A
Authority: JP
Inventors: 敏夫根岸; 政輔末代
Original assignee: Ulvac Inc
Current assignee: Ulvac Inc
Priority date: 2003-09-09
Filing date: 2003-09-09
Publication date: 2010-04-14
Anticipated expiration: 2023-09-09
Also published as: JP2005085605A

Description

本発明は成膜装置に関し、特に有機ＥＬ素子の発光体を成膜するための成膜装置に関する。

従来より、有機ＥＬ素子を製造するのに真空蒸着装置が用いられている。有機ＥＬ素子の製造に用いられる真空蒸着装置には、例えば、特開２００３−１５７９７３に記載されたような成膜装置がある。

この成膜装置は複数の成膜室を有している。各成膜室にはそれぞれ異なる蛍光色素を有する有機蒸着材料が配置されており、それらの成膜室に基板を順次送れば、基板の表面に複数色の有機薄膜が形成される。

しかしながら、各色の有機薄膜をそれぞれ異なる成膜室で形成する場合には、１つの成膜室から次の成膜室へ送る間に有機薄膜界面が汚染され、有機ＥＬ素子のデバイス特性が悪化する場合がある。
特開２００３−１５７９７３

本発明は上記従来技術の不都合を解決するために創作されたものであり、その目的は、有機薄膜界面が汚染されることなく、有機ＥＬ素子を効率よく製造可能な成膜装置を提供することである。

本発明は上記のように構成されており、請求項１記載の発明は、有機成膜室と、基板を前記有機成膜室に搬入する搬入系統と、前記基板とマスクとを有する搬送体を、前記有機成膜室内部の移動開始位置から移動終了位置まで移動させる搬送機構と、前記有機成膜室内部の前記移動開始位置と前記移動終了位置との間に位置し、前記基板が移動する移動方向に列設された複数の単位有機蒸着源と、前記基板を前記有機成膜室から搬出する搬出系統とを有し、前記搬送体を前記搬送機構によって移動させると、前記移動開始位置から前記移動終了位置の間に、前記各単位有機蒸着源上を順番に通過させ、前記基板表面に発光体の膜を成膜する成膜装置であって、前記移動開始位置に、前記基板と前記マスクとを位置合わせして密着させ、前記搬送体を形成する位置合わせ機構が設けられ、前記移動開始位置と前記基板に前記膜が成膜される成膜区間との間に緩衝区間が設けられ、前記搬送機構は、前記搬送体が前記緩衝区間を移動する移動速度を、前記単位有機蒸着源上を移動する速度に対して変更可能に構成され、前記搬送機構は、前記搬送体が前記成膜区間を通過するときの移動速度を一定にし、前記位置合わせ機構の前記位置合わせが長くかかると、前記緩衝区間における前記搬送体の移動速度を前記成膜区間を移動するときの速度よりも早くするように構成された成膜装置である。
請求項２記載の発明は、請求項１記載の成膜装置であって、分離機構を有し、前記基板は前記分離機構によって前記移動終了位置まで移動された前記搬送体から分離されるように構成された成膜装置である。
請求項３記載の発明は、請求項２記載の成膜装置であって、前記有機成膜室の内部にはマスク搬送機構が配置され、前記基板が分離された後のマスクは前記マスク搬送機構によって、前記搬送体が移動する経路とは異なる経路を通って前記移動終了位置から前記移動開始位置まで戻されるように構成された成膜装置である。
請求項４記載の発明は、請求項１乃至請求項３のいずれか１項記載の成膜装置であって、前記搬出系統は電極成膜室を有し、前記有機成膜室から前記搬出系統に搬出された前記基板は前記電極成膜室へ搬入され、前記発光体上に電極膜が形成されるように構成された成膜装置である。

本発明は上記のように構成されており、単位有機蒸着源に異なる有機蒸着材料を配置し、各単位有機蒸着源から有機蒸着材料の蒸気を放出させながら、搬送体を移動させれば、各単位有機蒸着源上を通過した後の基板表面には異なる種類の有機蒸着材料の層が積層される。各層の成膜は同じ有機成膜室内部で行われるので、有機薄膜の層間が汚染され難い。

本発明の成膜装置では、搬送機構は複数の搬送体を同時に搬送可能になっており、搬送体は単位有機蒸着源が配置された成膜区間を順番に通過するようになっている。

搬送体を成膜区間へ移動させる前に、搬送体を構成するマスクと基板とを位置合わせする必要があるが、その位置合わせに時間がかかると、成膜区間へ送る搬送体同士の間隔が広がってしまい、有機蒸着材料の蒸気が無駄になる。

上述した引用文献（特開２００３−１５７９７３）のように、各色の発光層毎にマスクの位置合わせを行い、各色の発光層を基板上の別々の位置に成膜する場合には、高精細マスクが必要であり、そのアライメントに要求される精度は通常５μｍと高いが、補色関係にある複数色の色を同じ位置に積層し、白色光を発生する膜状の白色発光体を形成する場合や、単色の光を発生する発光層を別々に成膜する場合には、マスクのアライメントに要求される精度は１００μｍ単位と低く、従って、位置合わせに要する時間も高精細マスクを用いた場合に比べ短くてすむが、その場合であっても位置合わせに多少の時間はかかるため、搬送体の間隔が空いてしまうため、蒸気が無駄になってしまう。

成膜区間を通過するときの速度を遅くすれば、位置合わせに時間がかかったとしても搬送体の間隔を狭くすることができるが、成膜速度を通過するときの速度は、形成すべき有機薄膜の膜厚や、成膜速度で決定されるので、成膜速度を通過するときの速度を変えることは困難である。

本発明の成膜装置では、搬送機構で２つ以上の搬送体を同時に搬送する場合、各搬送体の移動速度が相互に可変になっている。基板とマスクとの位置合わせに時間がかった場合には、搬送体が緩衝区間を移動する速度を、成膜区間を移動するときの速度よりも早くすれば、搬送体が成膜区間へ到達するときに、その前を移動する搬送体との間隔が狭くすることができる。

また、移動開始位置と成膜区間との間の緩衝区間（第一の緩衝区間）とは別に、成膜区間と移動終了位置との間に第二の緩衝区間を設けておけば、移動終了位置へ運ばれた搬送体の基板をマスクから分離するときに時間がかかったとしても、一旦搬送体を第二の緩衝区間で溜めることができるので、成膜区間の出口で搬送体が停滞せず、成膜区間を所定速度で通過させることができる。

本発明によれば、基板とマスクとの位置合わせに時間がかかったとしても、緩衝区間へ移動させる搬送体の搬送速度を、成膜区間を通過するときの速度よりも速くすることで、成膜区間を搬送体が通過する速度を遅くしなくても、成膜区間へ送られる搬送体の間隔を狭くすることが可能である。成膜区間を通過する搬送体の間隔を狭くすれば、基板に到達せず、無駄になる蒸気量が少なくなるので、有機蒸着材料の消費効率が高い。

以下で図面を参照し、本発明の実施形態について説明する。図１の符号１は本発明の成膜装置の一例を示している。
この成膜装置１は有機成膜室３を有しており、有機成膜室３には有機成膜室３内部に基板１１を搬入する搬入系統２と、基板１１を有機成膜室３から搬出する搬出系統７が接続されている。

図４（ａ）有機成膜室３内部に搬入される直前の基板１１を示している。基板１１は透明なガラス基板で構成されており、その片面には赤色フィルター１２Ｒと、緑色フィルター１２Ｇと、青色フィルター１２Ｂとがそれぞれ配置され、各フィルター１２Ｒ、１２Ｇ、１２Ｂの上にはＩＴＯ（インジウム錫酸化膜）からなる透明電極膜１３が形成されている。

有機成膜室３の内部には予め複数枚のマスク４０と、複数個の搬送ユニット３３とが配置されており、搬入系統２から有機成膜室３内部に搬入された基板１１ａは、後述する位置合わせ機構６０によってマスク４０ａに対して位置合わせされた後、位置合わせ機構６０のピン４６によって透明電極膜１３が形成された面がマスク４０ａと密着した状態で、移動開始位置５１で搬送ユニット３３ａ上に載せられる。

図３の符号４は基板１１が搬送ユニット３３上に載せられた状態の搬送体の一例を示している。ここではマスク４０と基板１１はそれぞれ四角形の板状であって、マスク４０の縁部分が搬送ユニット３３を構成する枠体に載せられている。

マスク４０には１又は２以上の開口３９が設けられており、枠体で囲まれた領域で構成される窓部３４の底面にはマスク４０が露出し、開口３９の底面には上述した透明電極膜表面が露出している。

有機成膜室３の内部には円柱状のロール３２が複数本同じ高さで配置され、それらのロール３２によって搬送機構３１が構成されており、搬送ユニットと、搬送ユニットに載せられたマスクと、マスクに密着した基板とで構成される搬送体は、搬送ユニットの枠体がロール３２に接触し、マスクと基板はロール３２に接触しない状態でロール３２に載せられ、ロール３２の回転によって移動開始位置から移動終了位置まで移動する。図１の符号４ｂ〜４ｇは搬送機構３１により移動途中の搬送体を示している。

有機成膜室３内部の底壁上には複数の単位有機蒸着源４１ａ〜４１ｅが列設されている。ここでは、５個の単位有機蒸着源４１ａ〜４１ｅが列設されており、それらの単位有機蒸着源４１ａ〜４１ｅを第一〜第五の単位有機蒸着源４１ａ〜４１ｅとすると、移動途中の搬送体４ｂ〜４ｇは第一〜第五の単位有機蒸着源４１ａ〜４１ｅ上を順番に通過するようになっている。

図１の符号４ｄ、４ｅは単位有機蒸着源４１ａ〜４１ｅが列設された成膜区間５３を通過途中の搬送体を示している。第一〜第五の単位有機蒸着源４１ａ〜４１ｅは有機蒸着材料４３ａ〜４３ｅを収容する容器４２ａ〜４２ｅを有しており、各容器４２ａ〜４２ｅにはそれぞれ異なる種類の有機蒸着材料４３ａ〜４３ｅが配置されている。

ここでは、第一の単位有機蒸着源４１ａにはホール輸送剤が添加された第一の有機蒸着材料４３ａが配置され、第二〜第四の単位有機蒸着源４１ｂ〜４１ｄには電子輸送剤と蛍光剤とが添加された第二〜第四の有機蒸着材料４３ｂ〜４３ｄが配置され、第五の単位有機蒸着源４１ｅには電子輸送材料が添加された第五の有機蒸着材料４３ｅが配置されている。

従って、第一〜第五の有機蒸着材料４３ａ〜４３ｅを加熱し、第一〜第五の有機蒸着材料４３ａ〜４３ｅの蒸気を上方を放出させると、その蒸気が成膜区間５３を通過途中の搬送体４ｄ、４ｅの窓部３４と開口３９を通って、透明電極膜１３表面の開口３９底面に露出する部分に到達し、図４（ｂ）に示すように、基板１１上に、第一の有機蒸着材料４３ａからなるホール輸送層１４と、第二〜第四の有機蒸着材料４３ｂ〜４３ｄからなる第一〜第三の発光層１６ａ〜１６ｃと、第五の有機蒸着材料４３ｅからなる電子輸送層１７とがその順番に積層され、有機薄膜１５が形成される。図４（ｂ）の符号９は第一〜第三の発光層１６ａ〜１６ｃで構成される発光体を示している。

有機成膜室３の内部には搬送機構３１とは別のロール６２が複数個配置されており、これらのロール６２によってマスク搬送機構６１が構成されている。移動終了位置へ運ばれた搬送体の基板１１ｈは、後述する分離機構によってマスク４０ｈから分離された後、搬出系統７によって有機成膜室から搬出され、残った搬送ユニット３３ｈと、搬送ユニット３３ｈ上のマスク４０ｈはマスク搬送機構６１のロール６２に乗せられ、そのロール６２の回転によって移動終了位置５５から移動開始位置５１へ向かって送られる。

図１の符号４０i〜４０ｌと、符号３３i〜３３ｌは移動開始位置５１へ送られる途中のマスクと搬送ユニットとを示してる。有機成膜室３のマスク搬送機構６１の近傍位置にはプラズマ照射装置やレーザー照射装置等のクリーニング装置が接続されており、マスク４０i〜４０ｌと搬送ユニット３３i〜３３ｌが移動終了位置５５から移動開始位置５１まで戻る間にクリーニング装置からプラズマやレーザーが照射され、単位有機蒸着源４１ａ〜４１ｅを通過するときに付着した有機蒸着材料が分解、除去される。

次に、基板１１を移動開始位置５１から移動終了位置５５まで搬送する工程について詳細に説明する。図２は有機成膜室３の基板１１が移動する部分の断面図を示している。

移動開始位置５１には位置合わせ機構４５のピン４６が配置されており、搬入系統２から有機成膜室３内部に搬入された基板１１は移動開始位置５１のロール３２上方で静止された後、ピン４６に移し変えられる。

ピン４６は水平面内での回転、平行移動、及び上下移動が可能になっており、移動開始位置５１に配置されたＣＣＤカメラ６５により観察しながら、基板１１とマスク４０に設けられた不図示のアライメントマークが一致するように、ピン４６を水平面内で回転又は平行移動させて位置合わせを行った後、ピン４６を下降させると、基板１１ａが正しい位置でマスク４０ａに密着し、搬送ユニット３３上に載せられる。

基板１１ａが搬送ユニット３３ａ上に載せられた状態の搬送体は、ロール３２の回転によって上述したように移動開始位置５１から移動終了位置５５に向かって送られる。

移動開始位置５１から成膜区間５３までの間には第一の緩衝区間５２があり、成膜区間５３と移動終了位置５５との間には第二の緩衝区間５４がある。図１、２の符号４ｂ、４ｃは第一の緩衝区間５２を移動する搬送体を示し、符号４ｄ、４ｅは単位有機蒸着源４１ａ〜４１ｅ上を通過する搬送体を示し、符号４ｆ、４ｇは第二の緩衝区間５４を移動する搬送体を示している。

移動開始位置５１にある搬送体と、成膜区間５３の最初の単位有機蒸着源４１ａとの間の水平方向の距離は、搬送体４ｂ〜４ｇの移動方向の距離よりも大きくなっており、従って、第一の緩衝区間５２の搬送体４ｂ、４ｃの移動方向の長さは、搬送体４ｂ、４ｃの移動方向の長さよりも大きくなっている。

ロール３２は個別に不図示のモータに接続され、各ロール３２の回転速度は個別に制御可能になっており、搬送機構３１により複数の搬送体４ｂ〜４ｇを移動させる場合に、各搬送体４ｂ〜４ｇの移動速度を変えることができる。

例えば、基板１１ａとマスク４０ａとの位置合わせに時間がかかったとしても、搬送体４ｂを移動開始位置５１から成膜区間５３へ送るときの移動速度を早くすれば、搬送体４ｂ、４ｃ同士の間隔が第一の緩衝区間５２を移動する間に狭くなるので、成膜区間５３を通過する搬送体４ｄ、４ｅの間隔が狭くなり、有機蒸着材料の蒸気が無駄にならない。

また、移動終了位置５５には上述した分離機構４８のピン４９が配置されており、搬送体は移動終了位置５５に送られると一旦静止し、基板１１ｈがピン４９によって持ち上げられてマスク４０ｈから分離される。

移動終了位置５５にある搬送体と、成膜区間５３の最後の単位有機蒸着源４１ｅとの間の水平方向の距離は、搬送体４ｂ〜４ｇの移動方向の距離よりも大きく、従って、第二の緩衝区間５４の搬送体４ｂ〜４ｇの移動方向の距離は、搬送体４ｂ〜４ｇの移動方向の距離よりも大きくなっている。

搬送体４ｅを成膜区間５３から第二の緩衝区間５４へ送るときの速度を、成膜区間５３を移動させるときの速度よりも早くすれば、搬送体４ｆ、４ｇの間隔が第二の緩衝区間５４を通過するまで大きくなる。例えば、基板１１ｈをマスク４０ｈから分離するのに時間を要する場合には、移動終了位置５５に到達する前に搬送体４ｇの速度を落とせば、搬送体４ｇ、４ｆの間隔が広い分、次の搬送体４ｆが移動終了位置５５に到達するまでに時間がかかるので、搬送体４ｆ、４ｇが成膜区間５３の出口で停滞しない。従って、搬送体４ｅが成膜区間５３を通過するときの移動速度を変えずに、成膜を行うことができる。

尚、搬入系統２は第一、第二の搬送室２０、２７を有しており、成膜装置１外部に配置された未処理の基板１１は第一の搬送室２０に接続された搬入室２１ａ、２１ｂに先ず搬入され、搬入室２１ａ、２１ｂ内部で加熱により水分が除去された後、第一の搬送室２０を介して冷却室２３へ搬送され所定温度まで冷却される。

第一の搬送室２０と第二の搬送室２７との間には、ＵＶ洗浄室２５と積載室２６が配置されており、冷却された後の基板１１は第一の搬送室２０を通ってＵＶ洗浄室２５へ送られ、ＵＶ光照射により基板１１に付着する有機物が分解除去された後、一旦積載室２６に蓄えられる。

積載室２６へ蓄ええられた基板１１は第二の搬送室２７へ取り出され、必要に応じて酸素プラズマ発生室のような前処理室２８へ送られ、前処理された後、第二の搬送室２７を介して有機成膜室３へ搬入される。

また、搬出系統７はバッファ層成膜室７１と、電極成膜室７５と、封止機構７９とを有しており、搬出系統７へ搬出された基板１１は先ずバッファ層成膜室７１へ送られ、有機薄膜上にＬｉＦ（フッ化リチウム）等の電子注入材料を含有するバッファ層が形成された後、電極成膜室７５へ送られ、バッファ層上にアルミニウム等の導電材料からなる上部電極膜が形成される。

図４（ｃ）の符号１０は電子輸送層１７上にバッファ層１８と上部電極膜１９とが形成された状態の有機ＥＬ素子を示しており、有機薄膜１５は上部電極膜１９と透明電極膜１３とで挟まれた状態になっている。

透明電極膜１３と上部電極膜１９は所定形状にパターニングされ、有機薄膜１５の透明電極膜１３と上部電極膜１９とで挟まれた部分を画素として行列上に配置されており、画素を選択して透明電極膜１３と上部電極膜１９との間に電圧を印加すると、選択された画素にある第一〜第三の発光層１６ａ〜１６ｃが発光する。

第一〜第三の発光層１６ａ〜１６ｃに添加された蛍光剤は赤色、緑色、青色のように互いに補色関係にあり、第一〜第三の発光層１６ａ〜１６ｃは同じ場所に積層されているので、第一〜第三の発光層１６ａ〜１６ｃで発生した光は混合され、白色光となる。従って、第一〜第三の発光層１６ａ〜１６ｃからなる発光体９からは白色光が放出される。

１つの画素には１色のフィルター１２Ｒ、１２Ｇ、１２Ｂが配置されているので、１つの画素から放出される光は赤、緑、青のうちいずれか１色の光のみが透過し、基板１１を通って有機ＥＬ素子１０の外部に放出される。

従って、所望の色に対応する画素を選択して発光させれば、文字や図面等を表示することが可能であり、従ってこの有機ＥＬ素子１０を表示装置に用いることができる。

上部電極膜１９が形成された状態の有機ＥＬ素子１０を更に搬出系統７の封止機構７９に送り、有機薄膜が形成された部分をガラスキャップなどの封止キャップで封止すれば、有機ＥＬ素子が封止され、外部大気から保護される。

以上は、本発明の成膜装置１により形成された有機ＥＬ素子１０を表示装置に用いる場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、フィルター１２Ｒ、１２Ｇ、１２Ｂを設けず、透明電極膜１３と上部電極膜１９とで有機薄膜１５の広い領域を挟み、有機薄膜１５の広い領域を発光させれば、有機ＥＬ素子の外部の広い領域に白色光を放出することが可能であり、このような有機ＥＬ素子を照明器具の発光装置に用いることができる。

以上は、成膜区間５３に単位有機蒸着源４１ａ〜４１ｅを５つ設ける場合について説明したが本発明はこれに限定されるものではなく、単位有機蒸着源４１ａ〜４１ｅの数は成膜する有機薄膜の種類によって変えることができる。また、以上は単位有機蒸着源４１ａ〜４１ｅに異なる有機蒸着材料４３ａ〜４３ｅを配置する場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、２つ以上の単位有機蒸着源４１ａ〜４１ｅに同じ種類の有機蒸着材料４３ａ〜４３ｅを配置することもできる。
搬送体が成膜区間５３を通過するときの速度は一定であってもよいし、各単位有機蒸着源上でその移動速度を変えてもよい。

以上は、有機薄膜１５を、ホール輸送層１４と発光層１６ａ〜１６ｃと電子輸送層１７とで構成する場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものでははい。例えば白色光を放出する有機ＥＬ素子１０を得るためには、最低でも補色関係にある発光層を２つ以上有していればよく、また、上述したホール輸送層１４や電子輸送層１７以外にも、ホール注入層、ホールブロック層、電子注入層等を設けることもできる。

以上は、蛍光剤を電子輸送剤と一緒に有機蒸着材料に添加する場合について説明したが、本発明はこれに限定されず、蛍光剤をホール輸送剤と一緒に有機蒸着材料に添加することもできる。蛍光剤の色は補色関係にあるものであれば特に限定されず、上述した赤色、緑色、青色の組み合わせ以外にも、例えば、青色と黄色の蛍光剤を有機蒸着材料に別々に添加し、２色の発光層を形成することもできる。

また、以上は各色の蛍光剤を別々の有機蒸着材料に添加する場合について説明したが本発明はこれに限定されず、補色関係にある２色以上の蛍光剤を同じ有機蒸着材料に添加して成膜を行い、１つの発光層で発光体を構成してもよい。

以上は補色関係にある２色以上の蛍光剤を有機蒸着材料に添加し、白色光を発生する有機薄膜を形成する場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、単色の光を放出する蛍光剤だけを用い、単色の光を発生する発光体を形成してもよい。例えば、蛍光剤として赤色の光を発生するものを用いて単色光を発生する発光体を形成した場合には、有機ＥＬ素子からは赤色の光が放出されることになる。

本発明の成膜装置を説明する平面図有機成膜室の断面図搬送体を説明するための断面図（ａ）〜（ｃ）：有機ＥＬ素子を製造する工程を説明する断面図

符号の説明

１……成膜装置２……搬入系統３……有機成膜室４、４ｂ〜４ｇ……搬送体７……搬出系統９……発光体１０……有機ＥＬ素子１１ａ〜１１ｌ……基板１５……有機薄膜３１……搬送機構４０ａ〜４０ｌ……マスク４１ａ〜４１ｅ……単位有機蒸着源４３ａ〜４３ｅ……有機蒸着材料４５……位置合わせ機構４８……分離機構５１……移動開始位置５５……移動終了位置

Claims

有機成膜室と、基板を前記有機成膜室に搬入する搬入系統と、
前記基板とマスクとを有する搬送体を、前記有機成膜室内部の移動開始位置から移動終了位置まで移動させる搬送機構と、前記有機成膜室内部の前記移動開始位置と前記移動終了位置との間に位置し、前記基板が移動する移動方向に列設された複数の単位有機蒸着源と、前記基板を前記有機成膜室から搬出する搬出系統とを有し、
前記搬送体を前記搬送機構によって移動させると、前記移動開始位置から前記移動終了位置の間に、前記各単位有機蒸着源上を順番に通過させ、前記基板表面に発光体の膜を成膜する成膜装置であって、
前記移動開始位置に、前記基板と前記マスクとを位置合わせして密着させ、前記搬送体を形成する位置合わせ機構が設けられ、
前記移動開始位置と前記基板に前記膜が成膜される成膜区間との間に緩衝区間が設けられ、
前記搬送機構は、前記搬送体が前記緩衝区間を移動する移動速度を、前記単位有機蒸着源上を移動する速度に対して変更可能に構成され、
前記搬送機構は、前記搬送体が前記成膜区間を通過するときの移動速度を一定にし、前記位置合わせ機構の前記位置合わせが長くかかると、前記緩衝区間における前記搬送体の移動速度を前記成膜区間を移動するときの速度よりも早くするように構成された成膜装置。
分離機構を有し、前記基板は前記分離機構によって前記移動終了位置まで移動された前記搬送体から分離されるように構成された請求項１記載の成膜装置。
前記有機成膜室の内部にはマスク搬送機構が配置され、前記基板が分離された後のマスクは前記マスク搬送機構によって、前記搬送体が移動する経路とは異なる経路を通って前記移動終了位置から前記移動開始位置まで戻されるように構成された請求項２記載の成膜装置。
前記搬出系統は電極成膜室を有し、前記有機成膜室から前記搬出系統に搬出された前記基板は前記電極成膜室へ搬入され、前記発光体上に電極膜が形成されるように構成された請求項１乃至請求項３のいずれか１項記載の成膜装置。