JP4327544B2

JP4327544B2 - 成膜装置

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Publication number: JP4327544B2
Application number: JP2003331022A
Authority: JP
Inventors: 敏夫根岸; 政輔末代
Original assignee: Ulvac Inc
Current assignee: Ulvac Inc
Priority date: 2003-09-24
Filing date: 2003-09-24
Publication date: 2009-09-09
Anticipated expiration: 2023-09-24
Also published as: JP2005097655A

Description

本発明は成膜装置に関し、特に有機ＥＬ素子の発光体を成膜するための成膜装置に関する。

従来より、有機ＥＬ素子を製造するのに真空蒸着装置が用いられている。有機ＥＬ素子の製造に用いられる真空蒸着装置には、例えば、特開２００３−１５７９７３に記載されたような成膜装置がある。

この成膜装置は複数の成膜室を有している。各成膜室にはそれぞれ異なる蛍光色素を有する有機蒸着材料が配置されており、それらの成膜室に基板を順次送れば、基板上に複数色の異なる有機材料の層が積層される。

特開２００３−１５７９７３

上述した引用文献（特開２００３−１５７９７３）のように、各色の発光層毎にマスクの位置合わせを行い、各色の発光層を処理対象物上の別々の位置に成膜する場合には、高精細マスクが必要であり、そのアライメントに要求される精度は通常５μｍ単位と非常に高いが、単色の発光層を形成する、又は、補色関係にある複数色の色を同じ位置に積層し、白色光を発生する膜状の白色発光体を形成する場合には、マスクのアライメントに要求される精度は１００μｍ単位と低く、従って、位置合わせに要する時間も高精細マスクを用いた場合に比べ短くてすむ。しかしながらその場合であっても位置合わせには時間がかかり、搬送体の間隔が空いてしまうため、有機蒸着材料の蒸気が無駄になってしまう。処理対象物とマスクとの位置合わせに時間がかかったとしても、蒸着源上を通過させるときの搬送速度を変えずに、処理対象物の間隔を狭くすることが可能な成膜装置を提供することである。

上記課題を解決するために請求項１記載の発明は、処理対象物とマスクを重ね合わせて搬送体を形成し、前記搬送体を蒸着源上で通過させて成膜する成膜装置であって、有機成膜室と、前記有機成膜室内に設置され、前記処理対象物と前記マスクとを位置合わせし、前記マスクの上に前記処理対象物を載置して前記搬送体を形成する複数の位置合わせ手段と、前記複数の位置合わせ手段で形成された前記搬送体を、順次、前記蒸着源上を通過するように搬送する搬送手段と、前記蒸着源上を通過した前記搬送体を、前記処理対象物と前記マスクに分離する分離機構と、前記分離機構で分離された前記マスクを、前記複数の位置合わせ手段に搬送するマスク搬送手段を有する、成膜装置である。
請求項２記載の発明は、請求項１に記載の成膜装置であって、前記搬送体は前記複数の位置合わせ手段から交互に前記搬送手段に送られる成膜装置である。
請求項３記載の発明は、請求項１又は請求項２のいずれか１項に記載の成膜装置であって、前記蒸着源は、それぞれ異なる有機材料を蒸発する複数の有機蒸着源を有し、前記複数の有機蒸着源は、前記搬送手段の搬送方向に沿って配置されている成膜装置である。
請求項４記載の発明は、請求項１乃至３のいずれか１項に記載の成膜装置であって、前記搬送手段は、複数の前記搬送体を一定の速度、一定間隔で搬送する成膜装置である。
請求項５記載の発明は、請求項１乃至４のいずれか１項に記載の成膜装置であって、前記マスク搬送手段を複数有する成膜装置である。

本発明は上記のように構成されており、本発明の成膜装置は、搬送機構によって複数の搬送体を同時に搬送可能になっており、搬送体は蒸着源の上を順番に通過するようになっている。

処理対象物の表面の所望位置に有機薄膜を形成する場合には、処理対象物を蒸着源上に送る前に、マスクと処理対象物とを位置合わせし、マスクと処理対象物とを一緒に蒸着源上に送る必要があるが、マスクと処理対象物との位置合わせに時間がかかると、蒸着源上に送られる搬送体同士の間隔が広がってしまい、有機蒸着材料の蒸気が無駄になる。

蒸着源上を通過するときの速度を遅くすれば、位置合わせに時間がかかったとしても搬送体の間隔を狭くすることができるが、蒸着源を通過するときの速度は、形成すべき有機薄膜の膜厚や、成膜速度で決定されるので、蒸着源を通過するときの速度を変えることは困難である。

本発明の成膜装置では、位置合わせ機構が２箇所以上の異なる場所で位置合わせを行った後、位置合わせ後の処理対象物を同じ蒸着源上に送るようになっている。即ち、蒸着源には２箇所から搬送体が送られるようになっているので、１つの処理対象物の位置合わせに時間がかかったとしても、間を空けずに処理対象物を蒸着源に送ることができる。

位置合わせを行う場所から蒸着源までの間で処理対象物を搬送する速度を可変にすれば、処理対象物を蒸着源上に送るまでに処理対象物同士の間隔を狭くすることが可能である。

蒸着源上に搬送されつつある処理対象物が完全に蒸着源上に搬送される前に、位置合わせ場所から蒸着源までの間の場所に他の処理対象物を送ることが可能な成膜装置であれば、処理対象物が蒸着源上に送られる前に、処理対象物同士の間隔を狭くすることができる。

本発明の成膜装置を用いれば、処理対象物とマスクとの位置合わせに時間がかかったとしても、蒸着源上を通過させるときの搬送速度を変えずに、処理対象物の間隔を狭くすることが可能である。蒸着源上を通過する処理対象物の間隔を狭くすれば、処理対象物に到達せず、無駄になる蒸気量が少なくなり、有機蒸着材料の消費効率が高い。

以下で図面を参照し、本発明の実施形態について説明する。図１の符号１は本発明の成膜装置の一例を示している。成膜装置１は有機成膜室３と、搬入機構２と、搬出機構７とを有している。

搬入機構２は待機室２９を有しており、この待機室２９は有機成膜室３に接続されている。待機室２９内部には不図示の搬送ロボットが配置されている。図１の符号９は搬送ロボットのアーム上に配置された処理対象物を示している。

待機室２９と有機成膜室３との間には搬入口が設けられており、ロボットを動作させ、アーム先端を搬入口から有機成膜室３内部に挿入させると、アーム上の処理対象物９が有機成膜室３内部に搬入されるように構成されている。

有機成膜室３内部の搬入口には位置合わせ機構３０が配置されており、この位置合わせ機構３０は第一、第二の位置合わせ手段３５ａ、３５ｂを有している。図４は第一、第二の位置合わせ手段３５ａ、３５ｂを示す図面であり、同じ部材には同じ符号を付す。第一、第二の位置合わせ手段３５ａ、３５ｂはピン３６とＣＣＤカメラ３７とを有している。

ピン３６は有機成膜室３の天井付近に鉛直に配置されており、その上端部には有機成膜室３内部に搬入された処理対象物が載置可能になっている。図４の符号９はピン３６の上端に載置された処理対象物を示している。

ピン３６の下方位置には移送手段３４が配置されており、移送手段３４の上には予め搬送ユニット５１と、搬送ユニット５１上に載せられたマスク５３とが載せられている。

ＣＣＤカメラ３７はピン３６の上方に配置されている。ピン３６は水平面内での移動が可能になっており、ＣＣＤカメラ３７によりマスク５３と処理対象物９との相対的な位置を観察しながら、ピン３６を水平内で移動させ、処理対象物９に形成されたパターンとマスク５３のパターンとを位置合わせできるように構成されている。

ピン３６は上方方向にも移動可能になっており、処理対象物９とマスク５３とが位置合わせされた状態で、ピン３６を下降させれば、処理対象物９のパターンとマスク５３のパターンが一致した状態で、処理対象物９がマスク５３上に配置されるようになっている。

図２の符号５は処理対象物９がマスク５３上に載せられた搬送体を示している。搬送ユニット５１の中央部分には窓部３４が設けられており、窓部３４の底面にはマスク５３の表面が露出している。処理対象物９はマスク５３の窓部３４底面に露出した面とは反対側の面に配置されており、マスク５３の開口５９の底面には処理対象物９の表面が露出している。

有機成膜室３内部の底壁上には蒸着源４３が配置されており、有機成膜室３内部の蒸着源４３上には搬送機構３３が配置されている。図５は有機成膜室３の蒸着源４３と搬送機構３３が配置された部分の断面図を示している。図５の符号３２は円柱状のロールを示しており、このロール３２が有機成膜室３内部に略水平に複数本配置されて搬送機構３３が構成されている。

図５の符号５ｃ〜５ｆは第一の位置合わせ手段３５ａ又は第二の位置合わせ手段３５ｂで位置合わせされた後、搬送機構３３に載せられた搬送体を示しており、これらの搬送体５ｃ〜５ｆは搬送機構３３によって搬送開始場所４１から搬送終了場所４２まで搬送される間に蒸着源４３上を通過するようになっている。

搬送開始場所４１は蒸着源４３よりも搬送方向手前に位置しており、搬送開始場所４１に搬送体５ｃが配置されている状態では、蒸着源４３から放出される蒸気が搬送体５ｃに到達しないようになっている。搬送開始場所４１の広さは、１又は２以上の搬送体５ｃが静止可能になっており、搬送開始場所４１にある搬送体５ｃが蒸着源４３上に向けて移動すると、搬送体５ｃが移動した分だけ搬送開始場所４１にスペースが空くようになっている。従って、１つの搬送体５ｄの全長が全て搬送開始場所４１から蒸着源４３上に送られた状態では、他の搬送体５を新たに搬送開始場所４１へ配置することができる。

２つ以上の搬送体５が搬送開始場所４１に配置可能な場合には、搬送開始場所４１にある搬送体５が蒸着源４３へ送られた後、第一、第二の位置合わせ手段３５ａ、３５ｂから新たな搬送体５を搬送開始位置４１へ送れば、蒸着源４３上に送る前に搬送開始場所４１で搬送体５同士の間隔を狭くすることができる。ここでは、搬送体５ｃ〜５ｆは一例に並べられており、蒸着源４３を順番に通過するようになっている。

蒸着源４３は第一〜第五の単位有機蒸着源４５ａ〜４５ｅを有している。第一〜第五の単位有機蒸着源４５ａ〜４５ｅは搬送体５ｃ〜５ｆが搬送される方向に列設されており、従って搬送体５ｃ〜５ｆは第一〜第五の単位有機蒸着源４５ａ〜４５ｅ上を順番に通過するようになっている。

有機成膜室３の内部には分離機構３８が配置されている。分離機構３８はピン３９を有しており、このピン３９は搬送終了場所４２上に鉛直に配置されている。ピン３９は上下に移動可能になっており、搬送終了場所４２で搬送体を静止させた状態で、ピン３９を上下させ、処理対象物９ｆをピン３９上に移載すれば、処理対象物９ｆがマスク５３から分離する。

有機成膜室３の内部には搬送機構３３とは異なるロール６２ａ、６２ｂが複数本列設されている。これらロール６２ａ、６２ｂのうち、搬送終了場所４２と第一の位置合わせ手段３５ａの間に配置されたロール６２ａで第一のマスク搬送機構６１ａが構成され、搬送終了場所４２から第二の位置合わせ手段３５ｂの間に配置されたロール６２ｂで第二のマスク搬送機構６１ｂが構成されており、処理対象物９ｆが分離された後のマスク５３ｆを搬送ユニット５１ｆと一緒に第一のマスク搬送機構６１ａ又は第二のマスク搬送機構６１ｂに載せ、ロール６２ａ、６２ｂを回転させれば、マスク５３ｆが搬送ユニット５１ｆと一緒に第一の位置合わせ手段３５ａ又は第二の位置合わせ手段３５ｂに戻されるようになっている。

図１の符号５１ｇ〜５１ｊと、５３ｇ〜５３ｊは第一の位置合わせ手段３５ａへ戻る途中の搬送ユニットと、マスクとを示し、符号５１ｋ〜５３ｍと、５３ｋ〜５３ｍは第二の位置合わせ手段３５ｂへ戻る途中の搬送ユニットとマスクとを示しており、第一、第二のマスク搬送機構６１ａ、６１ｂにそれぞれ１枚以上のマスク５３ｇ〜５３ｊ、５３ｋ〜５３ｍを配置しておけば、搬送体５が搬送されて空いた第一、第二の位置合わせ手段３５ａ、３５ｂに、すぐにマスク５３ｇ〜５３ｊを送り、位置合わせを連続して行うことができる。

次に、この成膜装置１を用いて複数の処理対象物に連続して成膜処理し、有機ＥＬ素子を製造する工程について説明する。図３（ａ）は有機成膜室３に搬入される直前の処理対象物９を示しており、処理対象物９は透明なガラス基板１１と、ガラス基板１１の表面にそれぞれ配置されたカラーフィルター１２Ｒ、１２Ｇ、１２Ｂと、ＩＴＯ（インジウム錫酸化物）からなり、ガラス基板１１のカラーフィルター１２Ｒ、１２Ｇ、１２Ｂが形成された面の上に配置された透明電極膜１３とを有している。

搬送ロボットは処理対象物９を第一の位置合わせ手段３５ａ内にも、第二の位置合わせ手段３５ｂ内にも搬入可能になっており、ここでは、第一の位置合わせ手段３５ａ内に処理対象物９ａが配置されているから、搬送ロボットのアームに載せられた処理対象物９は空いている第二の位置合わせ手段３５ｂ内に搬入される。

第一の位置合わせ手段３５ａでは、上述した工程で処理対象物９ａとマスク５３ａとが既に位置合わせされており、搬送機構３３に送られた搬送体５ｃ〜５ｅのうち、最後尾の搬送体５ｃが搬送開始場所４１から移動して搬送開始場所４１が空き、新たな搬送体が搬送可能な状態になったときに、第一の位置合わせ手段３５ａから搬送体が搬送開始場所４１へ送られる。

第一の位置あわせ手段３５ａから搬送体が送られる間、第二の位置合わせ手段３５ｂで処理対象物９とマスク５３との位置合わせが行われ、新たな処理対象物９が搬送室２９から第一の位置合わせ手段３５ａ内部に搬入される。

このように、搬送体５は第一、第二の位置合わせ手段３５ａ、３５ｂから交互に搬送機構３３へ送られるので、処理対象物９とマスク５３との位置合わせに時間がかかったとしても、搬送開始場所４１には間を空けずに搬送体５を送ることが可能である。

このように、本発明の成膜装置１では蒸着源４３上を通過する搬送体５ｃ〜５ｅの間隔を狭くすることができるので、蒸着源４３から放出される蒸気が搬送体５ｃ〜５ｅ到達せずに無駄になる量が少なく、蒸着材料の消費効率が高い。

処理対象物９は透明電極膜１３が形成された面がマスク５３に向けて配置されており、従って、搬送体５が蒸着源４３上を通過すると、第一〜第五の単位有機蒸着源４５ａ〜４５ｅから放出される蒸気が、窓部３４と開口５９とを通過して処理対象物９の透明導電膜１３が形成された面に到達する。

ここでは、第一の単位有機蒸着源４５ａの容器４６ａにはホール輸送剤が添加された第一の有機蒸着材料４７ａが配置され、第二〜第四の単位有機蒸着源４５ｂ〜４５ｄの容器４６ｂ〜４６ｄには電子輸送剤と蛍光剤とが添加された第二〜第四の有機蒸着材料４７ｂ〜４７ｄが配置され、第五の単位有機蒸着源４５ｅの容器４６ｅには電子輸送材料が添加された第五の有機蒸着材料４７ｅが配置されている。

従って、処理対象物９の透明電極膜１３が形成された側の面には、図３（ｂ）に示すようにホール輸送剤が含有されたホール輸送層１４と、蛍光剤と電子輸送材料とが含有された第一〜第三の発光層１６ａ〜１６ｃと、電子輸送材料が含有された電子輸送層１７とが積層され、有機薄膜１５が形成される。

有機成膜室３には搬出機構７が接続されている。分離機構３８は有機成膜室３内部の搬出機構７側に配置されており、有機薄膜１５が形成された後の処理対象物９ｆは分離機構３８のピン３９に載せられると、有機成膜室３内部から搬出機構７内部へ搬送される。

搬出機構７はバッファ層成膜室７１と、電極成膜室７５と、封止機構７９とを有しており、搬出機構７へ搬入された処理対象物は先ずバッファ層成膜室７１へ送られ、有機薄膜１５上にＬｉＦ（フッ化リチウム）等の電子注入材料を含有するバッファ層が形成された後、電極成膜室７５へ送られ、バッファ層上にアルミニウム等の導電材料からなる上部電極膜が形成される。

図３（ｃ）の符号１０は有機薄膜１５上にバッファ層１８と上部電極膜１９とが形成された状態の有機ＥＬ素子を示しており、有機薄膜１５は上部電極膜１９と透明電極膜１３とで挟まれた状態になっている。

透明電極膜１３と上部電極膜１９は所定形状にパターニングされ、有機薄膜１５の透明電極膜１３と上部電極膜１９とで挟まれた部分を画素として行列上に配置されており、画素を選択して透明電極膜１３と上部電極膜１９との間に電圧を印加すると、選択された画素にある第一〜第三の発光層１６ａ〜１６ｃが発光する。

第一〜第三の発光層１６ａ〜１６ｃに添加された蛍光剤は赤色、緑色、青色のように互いに補色関係にあり、第一〜第三の発光層１６ａ〜１６ｃは同じ場所に積層されているので、第一〜第三の発光層１６ａ〜１６ｃで発生した光は混合され、白色光となる。従って、第一〜第三の発光層１６ａ〜１６ｃからなる発光体８からは白色光が放出される。

１つの画素には１色のフィルター１２Ｒ、１２Ｇ、１２Ｂが配置されているので、１つの画素から放出される光は赤、緑、青のうちいずれか１色の光のみが透過し、基板１１を通って有機ＥＬ素子１０の外部に放出される。

従って、所望の色に対応する画素を選択して発光させれば、文字や図面等を表示することが可能であり、従ってこの有機ＥＬ素子１０を表示装置に用いることができる。

上部電極膜１９が形成された状態の有機ＥＬ素子１０を更に搬出系統７の封止機構７９に送り、有機薄膜が形成された部分をガラスキャップなどの封止キャップで封止すれば、有機ＥＬ素子が封止され、外部大気から保護される。

尚、ここでは搬入機構２は待機室２９の他に搬送室２０を有しており、未処理の処理対象物は、搬送室２０に接続された搬入室２１ａ、２１ｂに先ず搬入され、搬入室２１ａ、２１ｂ内部で加熱により水分が除去された後、搬送室２０を介して冷却室２２へ搬送され所定温度まで冷却される。

搬送室２０と待機室２９との間には、ＵＶ洗浄室２６と積載室２７が配置されており、冷却された後の処理対象物は搬送室２０を通ってＵＶ洗浄室２６へ送られ、紫外線照射により処理対象物に付着する有機物が分解除去された後、一旦積載室２７に蓄えられる。

積載室２７へ蓄えられた処理対象物は待機室２９へ取り出され、必要に応じてプラズマ照射室２８へ送られ、プラズマ処理された後、待機室２９を介して有機成膜室３へ搬入されるようになっている。

以上は、本発明の成膜装置１により形成された有機ＥＬ素子１０を表示装置に用いる場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、フィルター１２Ｒ、１２Ｇ、１２Ｂを設けず、透明電極膜１３と上部電極膜１９とで有機薄膜１５の広い領域を挟み、有機薄膜１５の広い領域を発光させれば、有機ＥＬ素子の外部の広い領域に白色光を放出することが可能であり、このような有機ＥＬ素子を照明器具の発光装置に用いることができる。

以上は、有機薄膜１５を、ホール輸送層１４と発光層１６ａ〜１６ｃと電子輸送層１７とで構成する場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものでははい。例えば白色光を放出する有機ＥＬ素子１０を得るためには、最低でも補色関係にある発光層を２つ以上有していればよく、また、上述したホール輸送層１４や電子輸送層１７以外にも、ホール注入層、ホールブロック層、電子注入層等を設けることもできる。

以上は、蛍光剤を電子輸送剤と一緒に有機蒸着材料に添加する場合について説明したが、本発明はこれに限定されず、蛍光剤をホール輸送剤と一緒に有機蒸着材料に添加することもできる。蛍光剤の色は補色関係にあるものであれば特に限定されず、上述した赤色、緑色、青色の組み合わせ以外にも、例えば、青色と黄色の蛍光剤を有機蒸着材料に別々に添加し、２色の発光層を形成することもできる。

また、以上は各色の蛍光剤を別々の有機蒸着材料に添加する場合について説明したが本発明はこれに限定されず、補色関係にある２色以上の蛍光剤を同じ有機蒸着材料に添加して成膜を行い、１つの発光層で発光体を構成してもよい。

以上は補色関係にある２色以上の蛍光剤を有機蒸着材料に添加し、白色光を発生する有機薄膜を形成する場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、単色の光を放出する蛍光剤だけを用い、単色の光を発生する発光体を形成してもよい。例えば、蛍光剤として赤色の光を発生するものを用いて単色光を発生する発光体を形成した場合には、有機ＥＬ素子からは赤色の光が放出されることになる。

以上は、蒸着源４３を５つの単位有機蒸着源（第一〜第五の単位有機蒸着源）で構成する場合について説明したが、単位有機蒸着源の数は特に限定されるものではない。単位有機蒸着源の数は有機薄膜の種類によって決定されるものであり、１つの単位有機蒸着源や６つ以上の単位有機蒸着源で蒸着源を構成してもよい。

また、以上は各単位有機蒸着源４５ａ〜４５ｅにそれぞれ異なる有機蒸着材料４７ａ〜４７ｅを配置する場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、２つ以上の単位有機蒸着源４５ａ〜４５ｅに同じ種類の有機蒸着材料４７ａ〜４７ｅを配置することもできる。例えば、全ての単位有機蒸着源４５ａ〜４５ｅに同じ有機蒸着材料を配置すれば、単層構造であって、膜厚の多きい有機薄膜を得ることができる。

搬送体が蒸着源４３上を通過するときの速度は一定であってもよいし、各単位有機蒸着源上でその移動速度を変えてもよい。以上は有機成膜室３内部に位置合わせ手段を２つ配置し、２箇所で位置合わせを行う場合について説明したが、本発明はこれに限定されず、成膜場所の通過に要する時間に比べ、処理対象物とマスクとの位置合わせにかかる時間が非常に長くかかる場合には、３つ以上の位置合わせ手段を設けてもよい。

以上は、処理対象物５を搬入機構２から直接第一、第二の位置合わせ手段３５ａ、３５ｂに配置する場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば、搬入機構２から有機成膜室３内部の搬入場所に一旦処理対象物を配置してから、該搬入場所から処理対象物を各位置合わせ手段３５ａ、３５ｂへ移動させることもできる。

本発明の成膜装置を説明する平面図搬送体の断面図（ａ）〜（ｃ）：有機ＥＬ素子を製造する工程を説明する断面図位置合わせ手段を説明するための断面図有機成膜室の蒸着源が配置された場所の断面図

１……成膜装置２……搬入機構３……有機成膜室５、５ｃ〜５ｅ……搬送体７……搬出機構８……発光体９……処理対象物１０……有機ＥＬ素子１１……基板１５……有機薄膜３０……位置合わせ機構３３……搬送機構３８……分離機構４３……蒸着源５３、５３ａ、５３ｂ、５３ｇ〜５３ｍ……マスク

Claims

処理対象物とマスクを重ね合わせて搬送体を形成し、前記搬送体を蒸着源上で通過させて成膜する成膜装置であって、
有機成膜室と、
前記有機成膜室内に設置され、前記処理対象物と前記マスクとを位置合わせし、前記マスクの上に前記処理対象物を載置して前記搬送体を形成する複数の位置合わせ手段と、前記複数の位置合わせ手段で形成された前記搬送体を、順次、前記蒸着源上を通過するように搬送する搬送手段と、
前記蒸着源上を通過した前記搬送体を、前記処理対象物と前記マスクに分離する分離機構と、
前記分離機構で分離された前記マスクを、前記複数の位置合わせ手段に搬送するマスク搬送手段を有する、
成膜装置。
前記搬送体は前記複数の位置合わせ手段から交互に前記搬送手段に送られる請求項１に記載の成膜装置。
前記蒸着源は、それぞれ異なる有機材料を蒸発する複数の有機蒸着源を有し、前記複数の有機蒸着源は、前記搬送手段の搬送方向に沿って配置されている、
請求項１又は２のいずれか１項に記載の成膜装置。
前記搬送手段は、複数の前記搬送体を一定の速度、一定間隔で搬送する請求項１乃至３のいずれか１項に記載の成膜装置。
前記マスク搬送手段を複数有する請求項１乃至４のいずれか１項に記載の成膜装置。