KR20070036188A - 화상 표시 장치 및 그 제조 방법 - Google Patents
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- 다수의 전자 방출 소자가 배열된 배면 기판과, 상기 배면 기판에 대향 배치되고 상기 전자 방출 소자에 대응하는 위치에 배치된 형광체 패턴 및 차광 패턴을 갖는 전방면 기판을 구비한 화상 표시 장치이며, 건판측 얼라인먼트 마크에 대응하여 상기 전방면 기판의 내면의 비유효부 중 적어도 2군데에 마킹 영역을 마련하고, 각 마킹 영역이 3개의 얼라인먼트 마크를 갖는 것을 특징으로 하는 화상 표시 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 얼라인먼트 마크의 2차원 평면 사이즈가 0.060 mm 이상 2 mm 이하인 것을 특징으로 하는 화상 표시 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 마킹 영역이 직경 6 mm의 원형 영역의 범위 내에 있는 것을 특징으로 하는 화상 표시 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 마킹 영역의 2차원 평면 사이즈가 3색 형광체 패턴으로 이루어지는 화소의 10배 이하인 것을 특징으로 하는 화상 표시 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 전방면 기판의 내면의 4코너에 마련한 마킹 영역에 상기 얼라인먼트 마크가 각각 포토리소그래피법에 의해 패터닝되어 있는 것을 특징으 로 하는 화상 표시 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 얼라인먼트 마크는 소정의 간격을 두고 직렬로 배치된 3개의 원형 마크이며, 건판측의 얼라인먼트 마크보다도 사이즈가 작은 것을 특징으로 하는 화상 표시 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 얼라인먼트 마크는 소정의 변 길이를 갖는 삼각형의 각 꼭지점에 배치된 3개의 원형 마크이며, 건판측의 얼라인먼트 마크보다도 사이즈가 작은 것을 특징으로 하는 화상 표시 장치.
- 다수의 전자 방출 소자가 배열된 배면 기판에 대향 배치되는 전방면 기판 상에 형광면을 형성할 때에, 다수의 패턴 개구를 갖는 건판에 대해 상기 전방면 기판을 위치 맞춤하는 화상 표시 장치의 제조 방법에 있어서,(a) 건판 중 적어도 2군데의 마킹 영역에 3개의 투과형 얼라인먼트 마크를 각각 형성하고,(b) 건판측 얼라인먼트 마크에 1 : 1로 대응하는 전방면 기판측의 부위로서, 전방면 기판의 형광체 패턴이 형성되지 않는 비유효부 중 적어도 2군데의 마킹 영역에 차광형 얼라인먼트 마크를 각각 형성하고,(c) 건판과 전방면 기판을 평행하게 배치하여, 전방면 기판의 배면측으로부터 조명한 상태에서, 건판의 전방면측으로부터 상기 마킹 영역마다 기판측 얼라인 먼트 마크와 건판측 얼라인먼트 마크의 겹침 상태를 촬상 수단에 의해 관찰하고,(d) 촬상 수단의 시야 내에서의 기판측 얼라인먼트 마크와 건판측 얼라인먼트 마크의 겹침 상태가, 적어도 2군데의 마킹 영역에 대해 균형이 맞도록 전방면 기판과 건판을 상대 위치 맞춤하는 것을 특징으로 하는 화상 표시 장치의 제조 방법.
- 제8항에 있어서, 기판측 얼라인먼트 마크 및 건판측 얼라인먼트 마크는 각각 원형 마크이며, 또한 기판측 얼라인먼트 마크의 직경은 건판측 얼라인먼트 마크의 직경보다 작고, 상기 (d) 공정에 있어서 모든 마킹 영역에 대해 카메라 시야 내에서 기판측 얼라인먼트 마크가 건판측 얼라인먼트 마크 내에 들어가도록 전방면 기판과 건판을 상대 위치 맞춤하는 것을 특징으로 하는 화상 표시 장치의 제조 방법.
- 제8항에 있어서, 기판측 얼라인먼트 마크 및 건판측 얼라인먼트 마크는 각각 정사각형, 직사각형, 열십자, T자, 2중 원 또는 도넛형 중 어느 하나이며, 또한 기판측 얼라인먼트 마크의 직경은 건판측 얼라인먼트 마크의 직경보다 작고, 상기 (d) 공정에 있어서 모든 마킹 영역에 대해 카메라 시야 내에서 기판측 얼라인먼트 마크가 건판측 얼라인먼트 마크 내에 들어가도록 전방면 기판과 건판을 상대 위치 맞춤하는 것을 특징으로 하는 화상 표시 장치의 제조 방법.
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PE0902 | Notice of grounds for rejection |
Comment text: Notification of reason for refusal Patent event date: 20071204 Patent event code: PE09021S01D |
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E601 | Decision to refuse application | ||
PE0601 | Decision on rejection of patent |
Patent event date: 20080312 Comment text: Decision to Refuse Application Patent event code: PE06012S01D Patent event date: 20071204 Comment text: Notification of reason for refusal Patent event code: PE06011S01I |