KR20070036188A - 화상 표시 장치 및 그 제조 방법 - Google Patents

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도모꼬 고즈까
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Abstract

다수의 전자 방출 소자가 배열된 배면 기판과, 배면 기판에 대향 배치되고 전자 방출 소자에 대응하는 위치에 배치된 형광체 패턴 및 차광 패턴을 갖는 전방면 기판(2)을 구비한 화상 표시 장치이며, 건판(40)측 얼라인먼트 마크(45)에 대응하여 전방면 기판(2)의 내면의 비유효부 중 적어도 2군데에 마킹 영역(24)을 마련하고, 각 마킹 영역(24)이 3개의 얼라인먼트 마크(25)를 갖는다. 본 발명에 따르면, 3색 형광체의 패턴 노광마다 R, G, B용 마스크를 교체하는 것이 불필요해져, 마스크/기판 사이의 얼라인먼트를 다시 할 필요가 없게 된다.
전방면 기판, 얼라인먼트 마크, 마킹 영역, 건판, 형광면

Description

화상 표시 장치 및 그 제조 방법{IMAGE DISPLAY DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF}
본 발명은 전자 방출 소자를 이용한 평면형 화상 표시 장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
최근, 차세대의 화상 표시 장치로서 다수의 전자 방출 소자를 나열하여 형광면과 대향 배치시킨 평면형 화상 표시 장치의 개발이 진행되고 있다. 전자 방출 소자에는 다양한 종류가 있지만, 모두 기본적으로는 전계 방출을 이용하고 있고, 이들 전자 방출 소자를 이용한 표시 장치는 일반적으로 필드·에미션·디스플레이(이하, FED라 함)라 불리워지고 있다. FED 중 표면 전도형 전자 방출 소자를 이용한 표시 장치는, 표면 전도형 전자 방출 디스플레이(이하, SED라 함)라고도 불리워지고 있지만, 본 명세서 중에 있어서는 SED도 포함하는 총칭으로서 FED라 하는 용어를 사용한다.
FED에 있어서, 선명한 표시 특성을 얻기 위해서는 형광면을 구성하는 RGB 3색 패턴과 블랙 매트릭스라 불리워지는 차광층 패턴을 함께 고정밀도로 패턴 형성할 필요가 있다. 이들을 고정밀도로 형성하기 위해, 포토리소그래피법이나 스크린 인쇄법 등 다양한 방법이 채용되어 있다. 일본 특허 출원 공개 평10-326583호 공 보는 FED를 제조하기 위한 기술을 개시하고 있다. 또한, 일본 특허 출원 공개 제2002-351054호 공보는 노광용 마스크와 피처리 기판을 위치 맞춤하기 위한 기술을 개시하고 있다.
그러나, 종래의 기술에 있어서는 3색 형광체마다 R, G, B용 마스크를 각각 준비하고, R용 마스크와 피처리 기판을 위치 맞춤하여 노광하고, 이어서 R용 마스크를 G용 마스크로 교체하여, G용 마스크와 피처리 기판을 위치 맞춤하여 노광하고, 또한 G용 마스크를 B용 마스크로 교체하여, B용 마스크와 피처리 기판을 위치 맞춤하여 노광할 필요가 있어, 마스크 교환과 마스크/기판 사이의 얼라인먼트에 시간이 걸려 버려 스루풋이 낮다. 또한, 3색 형광체마다 R, G, B용 마스크를 교체하므로, 그 때마다 얼라인먼트를 다시 해야만 해 위치 맞춤 정밀도를 향상시키는 면에서 저해 요인으로 되어 있다.
본 발명의 목적은, 생산성이 높고 저비용이면서 또한 고품질인 화상 표시 장치 및 그 제조 방법을 제공하는 데 있다.
본 발명에 관한 화상 표시 장치는 다수의 전자 방출 소자가 배열된 배면 기판과, 상기 배면 기판에 대향 배치되고 상기 전자 방출 소자에 대응하는 위치에 배치된 형광체 패턴 및 차광 패턴을 갖는 전방면 기판을 구비한 화상 표시 장치이며, 건판(乾板)측 얼라인먼트 마크에 대응하여 상기 전방면 기판의 내면의 비유효부 중 적어도 2군데에 마킹 영역을 마련하고, 각 마킹 영역이 3개의 얼라인먼트 마크를 갖는 것을 특징으로 한다.
상기한 얼라인먼트 마크는, 2차원 평면 사이즈를 0.060 mm 이상 2 mm 이하로 하는 것이 바람직하다. 여기서「2차원 평면 사이즈」라 함은, 기판의 주면 상에서의 얼라인먼트 마크의 최대 직경을 말하는 것으로 정의한다. 마크의 2차원 평면 사이즈가 0.060 mm를 하회하면 카메라의 확대 배율을 높일 필요가 있어, 위치 맞춤 장치가 고비용이 될 뿐만 아니라 마크의 식별 용이성이 저하하기 때문이다. 한편, 마크의 2차원 평면 사이즈가 2 mm를 상회하면, 마크가 지나치게 커 화소 사이즈와의 균형이 불량해져 위치 맞춤 정밀도가 저하하기 때문이다.
마킹 영역(묘화 영역)은 직경 6 mm의 원형 영역의 범위 내에 있는 것이 바람직하다. 마킹 영역이 직경 6 mm를 넘으면, 카메라 시야로부터 얼라인먼트 마크가 비어져 나오기 쉬워져 위치 맞춤에 시간이 걸리게 되기 때문이다. 마킹 영역의 형상은 원형이라도, 정사각형이라도 직사각형이라도 좋고, 또한 카메라 시야의 쪽도 원형이라도 정사각형이라도 직사각형이라도 좋지만, 카메라 시야가 정사각형인 경우에는 시야 사이즈(L1 × L2)를 예를 들어 4 mm × 4 mm로 할 수 있다.
또한, 얼라인먼트 마크는 전방면 기판의 내면의 4코너에 마련한 마킹 영역에 각각 인쇄되어 있는 것이 바람직하다. 직사각 형상 기판의 4코너에 각각 얼라인먼트 마크를 형성함으로써, 같은 색이 나열되는 종렬 패턴의 위치 맞춤이 고정밀도 또한 용이화되는 동시에, RGB 3색이 반복하여 나열되는 횡렬 패턴의 위치 맞춤도 고정밀도 또한 용이화된다.
얼라인먼트 마크는 포토리소그래피법 또는 인쇄법(밀봉 전사법을 포함함)중 어느 것을 이용해도 형성할 수 있지만, 위치 정밀도가 높은 것으로부터 포토리소그래피법을 이용하여 형성하는 것이 바람직하다. 인쇄법을 채용하는 경우에는 스크린 인쇄법이 가장 바람직하다. 또한, 얼라인먼트 마크를 형성하는 공정은, 형광체층을 매트릭스 형상으로 구분하는 세로 구분선과 가로 구분선을 구성하는 블랙 매트릭스 차광층을 형성하는 공정과 동시에 행하는 것도 가능하다.
얼라인먼트 마크는 소정의 간격을 두고 직렬로 배치된 3개의 원형 마크로 하는 것이 바람직하다(도5A 내지 도5D 참조). 또한, 얼라인먼트 마크는 소정의 변 길이를 갖는 삼각형의 각 꼭지점에 배치된 3개의 원형 마크로 하는 것이 바람직하다(도6A 내지 도6D 참조). 얼라인먼트 마크는 원형, 정사각형, 직사각형, 열십(十)자, T자, 2중 원, 도넛형 중 어떠한 형상이라도 좋지만, 포토리소에서의 패터닝의 용이성이나 인쇄 용이성의 관점에서 원형 마크로 하는 것이 가장 바람직하다.
마킹 영역의 2차원 평면 사이즈는, 3색 형광체 패턴으로 이루어지는 RGB 화소의 단위 길이의 10배 이하로 하는 것이 바람직하다. 얼라인먼트 마크의 크기가 RGB 화소의 1배(등배)를 하회하면 카메라의 확대 배율을 높일 필요가 있어, 위치 맞춤 장치가 고비용이 되기 때문이다. 한편, 얼라인먼트 마크의 크기가 RGB 화소의 10배를 상회하면, 마크가 지나치게 커 화소 사이즈와의 균형이 불량해져, 위치 맞춤 정밀도가 저하하기 때문이다.
본 발명에 관한 화상 표시 장치의 제조 방법은, 다수의 전자 방출 소자가 배열된 배면 기판에 대향 배치되는 전방면 기판 상에 형광면을 형성할 때에, 다수의 패턴 개구를 갖는 건판에 대해 상기 전방면 기판을 위치 맞춤하는 화상 표시 장치의 제조 방법에 있어서, (a) 건판의 적어도 2군데의 마킹 영역에 3개의 투과형 얼라인먼트 마크를 각각 형성하고, (b) 건판측 얼라인먼트 마크에 1 : 1로 대응하는 전방면 기판측의 부위로서, 전방면 기판의 형광체 패턴이 형성되지 않는 비유효부 중 적어도 2군데의 마킹 영역에 차광형 얼라인먼트 마크를 각각 형성하고, (c) 건판과 전방면 기판을 평행하게 배치하여, 전방면 기판의 배면측으로부터 조명한 상태에서 건판의 전방면측으로부터 상기 마킹 영역마다 기판측 얼라인먼트 마크와 건판측 얼라인먼트 마크의 겹침 상태를 촬상 수단에 의해 관찰하고, (d) 촬상 수단의 시야 내에서의 기판측 얼라인먼트 마크와 건판측 얼라인먼트 마크의 겹침 상태가, 적어도 2군데의 마킹 영역에 대해 균형이 맞도록 전방면 기판과 건판을 상대 위치 맞춤하는 것을 특징으로 한다.
상기한 방법에 있어서, 기판측 얼라인먼트 마크 및 건판측 얼라인먼트 마크는 각각 원형 마크이며, 또한 기판측 얼라인먼트 마크의 직경은 건판측 얼라인먼트 마크의 직경보다 작고, (d) 공정에 있어서 모든 마킹 영역에 대해 카메라 시야 내에서 기판측 얼라인먼트 마크가 건판측 얼라인먼트 마크 내에 들어가도록 전방면 기판과 건판을 상대 위치 맞춤한다. 기판측 얼라인먼트 마크의 직경(d1)을 건판측 얼라인먼트 마크의 직경(d2)보다 작게 함으로써, 기판측 얼라인먼트 마크의 식별이 용이해져 적어도 2군데, 바람직하게는 4군데에서의 얼라인먼트 마크의 얼라인먼트 의 겹침 상태를 최적의 상태로 균형을 맞출 수 있게 된다(도5A 내지 도5D, 도6A 내지 도6D 참조).
기판측 얼라인먼트 마크와 건판측 얼라인먼트 마크의 직경비(d1/d2)를 0.5 내지 0.8의 범위로 하는 것이 바람직하다. 예를 들어, 기판측 얼라인먼트 마크의 직경(d1)을 500 ± 2 ㎛로 하고, 건판측 얼라인먼트 마크의 직경(d2)을 800 ± 2 ㎛로 한다. 직경비(d1/d2)가 0.5를 하회하면, 건판측 얼라인먼트 마크 내에서의 기판측 얼라인먼트 마크의 위치 어긋남 허용량이 과대해져, 위치 맞춤 정밀도가 저하하기 때문이다. 한편, 직경비(d1/d2)가 0.8을 상회하면, 기판측 얼라인먼트 마크의 전부가 건판측 얼라인먼트 마크 내에 들어가기 어려워져 외측으로 부분적으로 비어져 나오는 경우가 빈발하여, 적어도 2군데(바람직하게는 4군데)의 마킹 영역 상호간의 위치 맞춤의 균형을 맞추는 것이 어려워지고, 오히려 위치 맞춤 정밀도를 저하시키기 쉬워지기 때문이다.
도1은 본 발명의 화상 표시 장치의 제조에 이용하는 장치를 도시하는 구성 블록도.
도2는 위치 맞춤할 때의 건판과 전방면 기판을 도시하는 사시도.
도3A는 얼라인먼트 마크 부착 전방면 기판을 도시하는 평면도.
도3B는 다른 타입의 얼라인먼트 마크 부착 전방면 기판을 도시하는 평면도.
도4A는 얼라인먼트 마크 부착 건판을 도시하는 평면도.
도4B는 다른 타입의 얼라인먼트 마크 부착 건판을 도시하는 평면도.
도5A는 카메라 시야에 나타내어진 기판측 얼라인먼트 마크와 건판측 얼라인먼트 마크의 겹침 상태를 도시하는 확대 평면도.
도5B는 카메라 시야에 나타내어진 기판측 얼라인먼트 마크와 건판측 얼라인먼트 마크의 겹침 상태를 도시하는 확대 평면도.
도5C는 카메라 시야에 나타내어진 기판측 얼라인먼트 마크와 건판측 얼라인먼트 마크의 겹침 상태를 도시하는 확대 평면도.
도5D는 카메라 시야에 나타내어진 기판측 얼라인먼트 마크와 건판측 얼라인먼트 마크의 겹침 상태를 도시하는 확대 평면도.
도6A는 카메라 시야에 나타내어진 다른 타입의 얼라인먼트 마크의 겹침 상태를 도시하는 확대 평면도.
도6B는 카메라 시야에 나타내어진 다른 타입의 얼라인먼트 마크의 겹침 상태를 도시하는 확대 평면도.
도6C는 카메라 시야에 나타내어진 다른 타입의 얼라인먼트 마크의 겹침 상태를 도시하는 확대 평면도.
도6D는 카메라 시야에 나타내어진 다른 타입의 얼라인먼트 마크의 겹침 상태를 도시하는 확대 평면도.
도7A는 화상 표시 장치의 제조 공정의 일예를 도시하는 단면 모식도.
도7B는 화상 표시 장치의 제조 공정의 일예를 도시하는 단면 모식도.
도7C는 화상 표시 장치의 제조 공정의 일예를 도시하는 단면 모식도.
도8은 화상 표시 장치(FED)의 일부를 절결하여 전방면 기판의 형광면 및 메탈백층을 도시하는 평면도.
도9는 화상 표시 장치의 형광면의 일부를 확대하여 도시하는 평면도.
도10은 화상 표시 장치(FED)의 개요를 도시하는 사시도.
도11은 도10의 A-A선을 따라 절단한 단면도.
이하, 본 발명을 실시하기 위한 최량의 형태에 대해 첨부한 도면을 참조하여 설명한다.
본 발명의 화상 표시 장치의 제조에 이용되는 위치 맞춤 장치(30)는, 도1에 도시한 바와 같이 기판 홀더(31), 마스크 홀더(39), 건판(40), 마스크 홀더 구동 유닛(50), 기판 홀더 구동 유닛(60), 제어기(70), CCD 카메라(72) 및 다른 도시하지 않은 다수의 주변 기기를 구비하고 있다. 위치 맞춤 장치(30)는 대기부(32)로부터 위치 맞춤부(33)까지에 걸친 영역에 설치되고, 이 영역 내 또는 영역에 근접하여 도시하지 않은 노광 장치가 설치되어 있다.
본 장치(30)와 노광 장치는 제어기(70)에 의해 전체의 동작이 통괄적으로 제어된다. 제어기(70)는 4대의 CCD 카메라(72)로부터 보내져 오는 촬상 신호를 기초로 하여 구동 유닛(50, 60) 및 노광 장치의 각 동작을 각각 제어하고, 피처리 기판(2)과 건판(40)을 위치 맞춤하도록 되어 있다. 4대의 카메라(72)는 건판(40)의 4코너에 마련한 마킹 영역(44)에 각각 대응하여 배치되어 있다.
도2에 도시한 바와 같이, 각 카메라(72)의 광축은 Y축을 따라 연장 돌출되고, 기판측 및 건판측의 마킹 영역(24, 44)을 통과하도록 카메라 배치되어 있다. 백라이트(도시하지 않음)가 피처리 기판(2)의 후방에 설치되어, 피처리 기판(2)을 이면(FED 조립 후에는 외면)측으로부터 조명하도록 되어 있다. 또한, 각 카메라(72)는 피처리 기판(2)의 구동계 및 건판(40)의 구동계에 대해 위치 어긋남되지 않도록 각각 소정 위치에 고정되어 있다. 이들 고정 카메라(72)에 대해 건판(40) 은 소정 위치에 고정 배치되어 있다. 한편, 피처리 기판(2)은 대기부(32)로부터 위치 맞춤부(33)로 이동되고, 건판(40) 및 카메라(72)에 대해 위치 맞춤되도록 되어 있다.
기판 홀더(31)는 대기부(32)로부터 위치 맞춤부(33)까지의 사이를 이동 가능하게 설치되고, 피처리 기판으로서의 전방면 기판(2)을 움직이지 않도록 보유 지지하고, 이동시키는 위치 맞춤 수단으로서의 기능을 갖는 것이며, 직사각형의 기판(2)보다도 약간 큰 직사각 형상을 이루고, 전방면 기판(2)을 흡착하여 보유 지지하기 위한 복수의 진공 흡착 구멍(도시하지 않음)이 적소에 개방되어 있다. 전방면 기판(2)은, 도2에 도시한 바와 같이 긴 변이 X축 방향, 짧은 변이 Z축 방향이 되도록 기판 홀더(31)에 의해 흡착 보유 지지된다. 또한, 대기부(32)는 피처리 기판(2)의 홈 포지션에 있어서 위치 맞춤 전의 피처리 기판(2)을 대기시켜 두는 부분이다.
또한, 기판 홀더(31)는 도시하지 않은 3개의 직접 이동 구동 기구에 의해 X, Y, Z의 각 방향으로 각각 이동되고, 또한 도시하지 않은 θ 회전 구동 기구에 의해 Y축 방향으로 회전되도록 되어 있다. 이들 구동 기구의 각 동작은, CCD 카메라(72)로부터의 얼라인먼트 마크 검출 신호를 기초로 하여 제어기(70)가 기판 홀더 구동 유닛(60)을 제어함으로써 각각 제어된다.
기판 홀더 구동 유닛(60)은, 도시하지 않은 좌우 2쌍의 리니어 가이드와 볼 스크류를 구비하고 있다. 리니어 가이드 및 볼 스크류 각각은 Z축 방향으로 연장 돌출되고, 볼 스크류에는 너트(도시하지 않음)가 나사 결합하고, 또한 너트에는 피 처리 기판(2)을 프레임(도시하지 않음)마다 보유 지지하는 홀더의 일단부가 연결되어 있다. 홀더의 4코너는 좌우 2쌍의 리니어 가이드에 의해 미끄럼 이동 가능하게 지지되어 있다. 구동 유닛(60)은 제어기(70)에 의해 백업 제어되고, 기판 홀더의 이동 개시 타이밍, 이동 정지 타이밍, 이동량을 각각 제어하도록 되어 있다. 또한, 리니어 가이드의 단부에는 스토퍼와 함께 도시하지 않은 리미트 스위치가 설치되어 있고, 구동 유닛(60)에 의한 기판 홀더의 이동 스트로크가 제한되어 있다.
건판(40)을 흡착 보유 지지하는 마스크 홀더(39)는 위치 맞춤부(33)에 설치되어 있다. 마스크 홀더(39)는 구동 유닛(50)에 가동으로 지지되고, 건판(40)을 보유 지지한 상태에서 Y축 방향으로 이동되도록 되어 있다. 건판(40)은 피처리 기판(2)보다도 한결 크고, 따라서 마스크 홀더(39)는 기판 홀더(31)보다도 상당히 크다.
건판 홀더 구동 유닛(50)은, 도시하지 않은 좌우 2쌍의 리니어 가이드와 볼 스크류를 구비하고 있다. 리니어 가이드 및 볼 스크류 각각은 Z축 방향으로 연장 돌출되고, 볼 스크류에는 너트(도시하지 않음)가 나사 결합하고, 또한 너트(54)에는 건판(40)을 프레임(도시하지 않음)마다 보유 지지하는 마스크 홀더(39)의 일단부가 연결되어 있다. 홀더(39)의 4코너는 좌우 2쌍의 리니어 가이드에 의해 미끄럼 이동 가능하게 지지되어 있다. 구동 유닛(50)은 제어기(70)에 의해 백업 제어되고, 마스크 홀더(39)의 이동 개시 타이밍, 이동 정지 타이밍, 이동량을 각각 제어하도록 되어 있다. 또한, 리니어 가이드의 단부에는 스토퍼와 함께 도시하지 않은 리미트 스위치가 설치되어 있고, 구동 유닛(50)에 의한 마스크 홀더(39)의 이동 스트로크가 제한되어 있다.
다음에, 도3A와 도3B를 참조하여 다양한 피처리 기판에 대해 설명한다.
도3A에 도시한 바와 같이, 피처리 기판(2)은 4코너 A, B, C, D[비유효부(23)]에 마킹 영역(24)을 각각 갖고, 각 마킹 영역(24)에는 3개의 차광형 얼라인먼트 마크(25R, 25G, 25B)가 짧은 변을 따라 직렬 또한 등피치 간격으로 배치되어 있다. 얼라인먼트 마크(25R)는 3색 형광체 중 적색 패턴의 위치 맞춤에 이용된다. 얼라인먼트 마크(25G)는 3색 형광체 중 녹색 패턴의 위치 맞춤에 이용된다. 얼라인먼트 마크(25B)는 3색 형광체 중 청색 패턴의 위치 맞춤에 이용된다. 도시한 예에서는, 상부로부터 하부로 얼라인먼트 마크(25R, 25G, 25B)의 순으로 배치하고 있지만, 본 발명은 이 배치에만 한정되는 것은 아니다. 상부로부터 하부로 마크(25G, 25B, 25R)의 순, 혹은 마크(25G, 25R, 25B)의 순, 혹은 마크(25B, 25R, 25G)의 순, 혹은 마크(25B, 25G, 25R)의 순, 혹은 마크(25R, 25B, 25G)의 순으로 배치해도 좋다.
도3B에 도시한 다른 타입의 피처리 기판(2A)에 있어서는, 이등변 삼각형 또는 정삼각형의 꼭지점에 배치한 3개의 차광형 얼라인먼트 마크(25R, 25G, 25B)를 각 마킹 영역(24A)이 구비하고 있다. 3개의 마크(25R, 25G, 25B)는, 도6에 도시한 바와 같이 등피치 간격(P1)으로 배치되어 있다. 또한, 도시한 예에서는 삼각형의 꼭지점에 얼라인먼트 마크(25G)를 배치하고 있지만, 본 발명은 이 배치에만 한정되는 것은 아니다. 삼각형의 꼭지점에 얼라인먼트 마크(25R) 혹은 얼라인먼트 마크(25B)를 배치하도록 해도 좋다.
상기한 피처리 기판(2, 2A)의 유효부(21)에 포토레지스트가 도포되고, 후술하는 건판(40, 40A)과 위치 맞춤되고, 노광 장치에 의해 3색 형광체 패턴이 차례로 노광된다.
다음에, 도4A와 도4B를 참조하여 다양한 건판에 대해 설명한다.
도4A에 도시한 바와 같이, 건판(40)은 중앙의 패턴 영역(유효부)(41)에 규칙 배열된 다수의 패턴 구멍(42)을 구비하고 있다. 이들 패턴 구멍(42)은 노광시에 광을 피처리 기판측으로 통과시키기 위한 개구로서의 역할을 갖는 것이다. 또한, 건판(40)은 주연의 비패턴 영역(비유효부)(43)의 4코너 A, B, C, D에 마킹 영역(44)을 각각 갖고, 각 마킹 영역(44)에는 3개의 투과형 얼라인먼트 마크(45R, 45G, 45B)가 비스듬한 배열로 등피치 간격(피치 간격 P1)으로 배치되어 있다. 얼라인먼트 마크(45R)는 3색 형광체 중 적색 패턴의 위치 맞춤에 이용된다. 얼라인먼트 마크(45G)는 3색 형광체 중 녹색 패턴의 위치 맞춤에 이용된다. 얼라인먼트 마크(45B)는 3색 형광체 중 청색 패턴의 위치 맞춤에 이용된다. 도시한 예에서는 상부로부터 하부로 얼라인먼트 마크(25R, 25G, 25B)의 순으로 배치하고 있지만, 본 발명은 이 배치에만 한정되는 것은 아니다. 상부로부터 하부로 마크(25G, 25B, 25R)의 순, 혹은 마크(25G, 25R, 25B)의 순, 혹은 마크(25B, 25R, 25G)의 순, 혹은 마크(25B, 25G, 25R)의 순, 혹은 마크(25R, 25B, 25G)의 순으로 배치해도 좋다.
도4B에 도시한 다른 타입의 건판(40A)에서는, 짧은 변을 따라 직렬로 배치한 2개의 투과형 얼라인먼트 마크(45G, 45R)(45B와의 겸용)를 각 마킹 영역(44A)이 구비하고 있다. 상측의 마크(45G)는 3색 형광체 중 녹색 패턴의 위치 맞춤에 이용된 다. 하측 마크[45R(45B)]는 3색 형광체 중 적색 패턴의 위치 맞춤과 청색 패턴의 위치 맞춤에 겸용된다.
다음에, 도5A 내지 도5D를 참조하여 피처리 기판(2)과 건판(40)을 위치 맞춤하는 경우에 대해 설명한다.
도5A, 도5B, 도5C, 도5D에, 녹색 패턴을 위치 맞춤할 때의 4코너 A, B, C, D의 카메라 시야를 각각 도시한다. 건판(40)의 마킹 영역(44)은, 얼라인먼트 마크(45R, 45G, 45B)를 제외하고, 다른 영역은 블랙 매트릭스와 같은 차광막으로 덮여 있다. 이로 인해, 카메라 시야 내에 있어서 녹색 패턴용 기판측 얼라인먼트 마크(25G)만이 보이고, 적색 패턴용과 청색 패턴용 기판측 얼라인먼트 마크(25R, 25B)는 도면 중에 사선으로 나타내는 차광부에 가려져 있다.
녹색 패턴용 기판측 얼라인먼트 마크(25G)는 4코너 A, B, C, D의 카메라 시야 내에서 건판측의 투과형 얼라인먼트 마크(45G) 내에 각각 들어가 있고, 4대의 카메라(72)에 의해 각각 촬상된다. 4개의 촬상 신호가 제어기(70)에 입력되면, 제어기(70)는 입력 신호를 기초로 하여 4코너 A, B, C, D에 대해 기판측 얼라인먼트 마크(25G)와 건판측 얼라인먼트 마크(45G)와의 겹침 상태가 불균형이 되지 않도록 기판 홀더 구동 유닛(31)을 약간 이동시키고, 피처리 기판(2)을 건판(40)에 대해 미세 조정 얼라인먼트하여, 4코너 A, B, C, D에 있어서의 양 얼라인먼트 마크(25G, 45G)의 겹침 상태의 균형을 맞춘다.
본 실시예에서는, 패턴 노광되는 RGB 화소 사이즈를 600 ㎛, 단책(短冊) 형상의 형광체층의 폭을 150 ㎛, 직사각 형상 형광체층의 상호간 공간을 50 ㎛로 한 경우에, 카메라 시야 사이즈(L1 × L2)를 4 mm × 4 mm, 기판측 얼라인먼트 마크(25R, 25G, 25B)의 직경(d1)을 500 ㎛, 건판측 얼라인먼트 마크(45R, 45C, 45B)의 직경(d2)을 800 ㎛, 피치 간격(P1)을 200 ㎛로 하였다.
피처리 기판(2)을 피치 간격(P1)만큼 도면 중의 좌측으로 이동시키면, 청색 패턴용 얼라인먼트 마크(25B)의 전체가 건판측 얼라인먼트 마크(45B) 내에 들어가 청색 패턴에 대해 위치 맞춤되어, 촬상 가능해진다. 또한, 피처리 기판(2)을 피치 간격(P1)만큼 도면 중의 우측으로 이동시키면, 적색 패턴용 얼라인먼트 마크(25R)의 전체가 건판측 얼라인먼트 마크(45R) 내에 들어가 적색 패턴에 대해 위치 맞춤되어, 촬상 가능해진다.
다음에, 도6A 내지 도6D를 참조하여 피처리 기판(2A)과 건판(40A)을 위치 맞춤하는 경우에 대해 설명한다.
도6A, 도6B, 도6C, 도6D에, 적색 패턴을 위치 맞춤할 때의 4코너 A, B, C, D의 카메라 시야를 각각 나타낸다. 건판(40A)의 마킹 영역(44A)은 얼라인먼트 마크(45R, 45G, 45B)를 제외하고, 다른 영역은 블랙 매트릭스와 같은 차광막으로 덮여 있다. 이로 인해, 카메라 시야 내에 있어서 적색 패턴용 기판측 얼라인먼트 마크(25R)만이 보이고, 녹색 패턴용 기판측 얼라인먼트 마크(25G)는 도면 중에 사선으로 나타내는 차광부에 가려져 있다. 또한, 청색 패턴용 기판측 얼라인먼트 마크(25B)는 카메라 시야로부터 벗어나 있다.
적색 패턴용 기판측 얼라인먼트 마크(25R)는, 4코너 A, B, C, D의 카메라 시야 내에서 건판측의 투과형 얼라인먼트 마크(45R) 내에 각각 들어가 있고, 4대의 카메라(72)에 의해 각각 촬상된다. 4개의 촬상 신호가 제어기(70)에 입력되면, 제어기(70)는 입력 신호를 기초로 하여 4코너 A, B, C, D에 대해 기판측 얼라인먼트 마크(25R)와 건판측 얼라인먼트 마크(45R)의 겹침 상태가 불균형이 되지 않도록 기판 홀더 구동 유닛(31)을 약간 이동시키고, 피처리 기판(2A)을 건판(40A)에 대해 미세 조정 얼라인먼트하고, 4코너 A, B, C, D에 있어서의 양 얼라인먼트 마크(25R, 45R)의 겹침 상태의 균형을 맞춘다.
본 실시예에서는, 패턴 노광되는 RCB 화소 사이즈를 600 ㎛, 단책 형상의 형광체층의 폭을 150 ㎛, 직사각 형상 형광체층의 상호간 공간을 50 ㎛로 한 경우에, 카메라 시야 사이즈(L1 × L2)를 4 mm × 4 mm, 기판측 얼라인먼트 마크(25R, 25G, 25B)의 직경(d1)을 100 ㎛, 건판측 얼라인먼트 마크(45R, 45G, 45B)의 직경(d2)을 400 ㎛, 피치 간격(P1)을 200 ㎛로 하였다.
피처리 기판(2A)을 피치 간격(P1)만큼 도면 중의 좌측으로 이동시키면, 녹색 패턴용 얼라인먼트 마크(25G)의 전체가 상측의 건판측 얼라인먼트 마크(45G) 내에 들어가 녹색 패턴에 대해 위치 맞춤되어, 촬상 가능해진다. 또한, 피처리 기판(2A)을 피치 간격(P1)만큼 도면 중 좌측으로 이동시키면, 청색 패턴용 얼라인먼트 마크(25B)의 전체가 하측의 건판측 얼라인먼트 마크(45B)(적색용 마크와 겸용) 내에 들어가 청색 패턴에 대해 위치 맞춤되어, 촬상 가능해진다.
다음에, 도7A 내지 도7C를 참조하여 화상 표시 장치로서의 FED를 제조하기 위한 방법, 특히 상기한 위치 맞춤 장치를 이용하여 화상 표시 장치의 프론트 패널을 제조하는 경우에 대해 설명한다.
FED의 전방면 기판이 되는 유리 기판(2)을 소정의 약액을 이용하여 세정 처리하고, 원하는 청정면을 얻는다. 세정한 전방면 기판(2)의 내면에 흑색 안료 등의 광흡수 물질을 포함하는 차광층 형성 용액을 도포한다. 도포막을 가열 건조한 후에, 매트릭스 패턴에 대응하는 위치에 개공(開孔)을 갖는 스크린 마스크를 이용하여 노광하고, 이것을 현상하여 도7A에 도시한 바와 같이 매트릭스 패턴 차광층(5b1, 5b2)을 형성한다.
도시하지 않은 반송 로봇에 의해 피처리 기판(2)을 기판 홀더(31)에 전달하고, 흡착 보유 지지시킨다. 기판 홀더(31)의 받침면을 셀프 얼라인먼트 구조로 하고 있으므로, 피처리 기판(2)은 기판 홀더(31)에 대해 자동적으로 대략 얼라인먼트된다. 피처리 기판(2)은 FED용 전방면 기판이고, 전술한 바와 같이 패턴 형성 예정면에 포토레지스트가 도포되어 있다. 이 레지스트 도포면이 노광 장치측이 되도록 피처리 기판(2)을 기판 홀더(31)의 진공 척으로 진공 흡착 보유 지지한다.
이어서, 피처리 기판(2)을 대기부(32)로부터 위치 맞춤부(33)로 이동시키고, 4대의 카메라(72)로 얼라인먼트 마크를 촬상하고, 촬상 신호를 제어기(70)로 보낸다. 제어기(70)는 촬상 신호를 기초로 하여 피처리 기판(2)을 건판(40)에 대해 미세 조정 얼라인먼트하고, 이에 의해 피처리 기판(2)과 건판(40)의 양자가 위치 맞춤된다.
다음에, 적색(R)의 형광체 입자를 포토레지스트 용액(용제를 포함함)에 대해 소정의 비율로 섞은 혼합 용액을 전방면 기판(2) 상에 소정 막 두께로 도포한다. 도포막을 가열 건조한 후에, 적색(R) 패턴에 대응하는 위치에 개공을 갖는 스크린 마스크를 이용하여 노광하고, 현상한다. 녹색(G)과 청색(B)에 대해서도 동일한 포토리소그래피법을 이용하여 소정의 패턴을 각각 형성한다. 그리고, 최종적으로 기판(2)을 소성하여 포토레지스트를 소실시키고, 도7B 및 도9에 도시한 바와 같이 직사각 형상 또는 단책 형상의 3색 패턴의 RGB 형광체층(6a)이 종횡으로 규칙 배열된 형광면(6)을 얻는다. 예를 들어 피치 600 ㎛의 정사각 화소의 경우에는, 형광체층(6a)의 세로 구획선(13V)의 X 방향 폭은 예를 들어 20 내지 50 ㎛의 범위로 한다. 세로 구획선(13V)의 폭은 형광체층의 단면 형상(직사각형, 사다리꼴, 역사다리꼴)에 관계없이 인접하는 형광체층(6a)끼리의 하부 간격으로 규정된다. 또한, 형광체층(6a)의 가로 구획선(13H)(스트라이프)의 Y 방향 폭은, 예를 들어 50 내지 250 ㎛의 범위로 한다. 이들 종횡 구획선(13V, 13H)에는 매트릭스 패턴 차광층(5b)이 존재하여, 전방면 기판(2) 쪽으로의 광이 누출되지 않도록 차광된다.
다음에, 도7C에 도시한 바와 같이 R, G, B 세그먼트 패턴의 형광체층(6a)의 상면에 메탈백층(7)을 형성한다. 메탈백층(7)을 형성하기 위해서는, 예를 들어 스핀 코팅법으로 형성된 니트로셀룰로오스 등의 유기 수지로 이루어지는 얇은 막 상에, 알루미늄(Al)막을 진공 증착법에 의해 성막한다. 또한, 이를 소성하여 유기물을 제거하는 방법을 채용할 수 있다.
이어서, 이와 같이 하여 형성한 형광면(6)을 전자 방출 소자와 함께 진공 케이싱 내에 배치한다. 이것에는, 형광면(6)을 갖는 전방면 기판(2)과, 복수의 전자 방출 소자(8)를 갖는 배면 기판(1)을 프릿 유리 등에 의해 진공 밀봉 부착하고, 진공 용기를 형성하는 방법이 채용된다. 또한, 진공 케이싱 내에서 패턴 상으로부터 소정의 게터재를 증착하고, 메탈백층(7)의 영역에 게터재의 증착막을 형성한다.
다음에, 도10 및 도11에, 본 실시 형태에 공통의 FED의 구조를 도시한다. FED는 각각 직사각 형상의 유리로 이루어지는 전방면 기판(2)과 배면 기판(1)을 갖고, 양 기판(1, 2)은 1 내지 2 mm의 간격을 두고 대향 배치되어 있다. 이들 전방면 기판(2)과 배면 기판(1)은 직사각형 프레임 형상의 측벽(3)을 통해 주연부끼리가 접합되고, 내부가 10-4 Pa 정도 이하의 고진공으로 유지된 편평한 직사각 형상의 진공 케이싱(4)을 구성하고 있다.
전방면 기판(2)의 내면에는 형광면(6)이 형성되어 있다. 이 형광면(6)은 적색(R), 녹색(G), 청색(B)의 3색으로 발광하는 형광체층(6a)과 매트릭스 형상의 차광층(5b)으로 구성되어 있다. 형광면(6) 상에는 애노드 전극으로서 기능하는 동시에, 형광체층(6a)의 광을 반사하는 광반사막으로서 기능하는 메탈백층(7)이 형성되어 있다. 표시 동작시, 메탈백층(7)에는 도시하지 않은 회로에 의해 소정의 애노드 전압이 인가되도록 되어 있다.
배면 기판(1)의 내면 상에는, 형광체층(7)을 여기하기 위한 전자 빔을 방출하는 다수의 전자 방출 소자(8)가 설치되어 있다. 이들 전자 방출 소자(8)는 화소마다 대응하여 복수열 및 복수행으로 배열되어 있다. 전자 방출 소자(8)는 매트릭스 형상으로 배치된 도시하지 않은 배선에 의해 구동되도록 되어 있다. 또한, 배면 기판(1)과 전방면 기판(2) 사이에는, 이들 기판(1, 2)에 작용하는 대기압에 견딜 수 있도록 하기 위해 보강으로서, 판 형상 또는 기둥 형상의 다수의 스페이 서(10)가 설치되어 있다.
형광면(6)에는 메탈백층(7)을 통해 애노드 전압이 인가되고, 전자 방출 소자(8)로부터 방출된 전자 빔은 애노드 전압에 의해 가속되어 형광면(6)에 충돌한다. 이에 의해 대응하는 형광체층(6a)이 발광하고, 화상이 표시된다.
도8과 도9에 본 발명의 실시 형태에 공통의, 전방면 기판(2), 특히 형광면(6)의 구조를 도시한다. 형광면(6)은 적색(R), 녹색(G), 청색(B)으로 발광하는 다수의 직사각 형상의 형광체층을 갖고 있다. 전방면 기판(2)의 길이 방향을 X축으로 하고, 이와 직교하는 폭 방향을 Y축으로 한 경우에, 형광체층(R, G, B)은 X축 방향으로 소정의 갭 간격으로 반복하여 배열되고, Y축 방향으로는 동일색의 형광체층이 소정의 갭 간격으로 반복하여 배열되어 있다. 또한, 소정의 갭 간격이라고 해도 제조상의 오차의 범위 내에서, 또는 설계상의 공차의 범위 내에서 변동하는 것이 허용되어 있으므로, XY 평면 내에 있어서 형광체층(6a) 사이의 갭 간격은 정확하게는 일정치라고 할 수는 없지만, 여기서는 편의상 거의 일정치인 것으로서 설명한다.
형광면(6)은 차광층(5a, 5b)을 구비하고 있다. 이 차광층은, 도8에 도시한 바와 같이 전방면 기판(2)의 주연부를 따라 연장된 직사각형 프레임 차광층(5a)과, 직사각형 프레임 차광층(5a)의 내측에서 형광체층(R, G, B)의 사이를 매트릭스 형상으로 연장된 매트릭스 패턴 차광층(5b)을 갖는다.
본 발명에 따르면, 3색 형광체(R, G, B) 공용 마스크(건판) 및 얼라인먼트 마크 부착 전방면 기판을 준비하고, 공용 마스크와 전방면 기판을 최초에 위치 맞 춤한 후에는 마스크를 교환하는 일 없이 R, G, B 3색 패턴을 기판에 대해 잇따라 노광할 수 있으므로 스루풋이 대폭 향상하였다.
또한, 본 발명에 따르면 3색 형광체의 패턴 노광마다 R, G, B용 마스크를 교체하는 것이 불필요해져, 마스크/기판 사이의 얼라인먼트를 다시 할 필요가 없게 되므로, 3색 형광체 패턴의 위치 어긋남을 5 ㎛ 이내로 억제하는 것이 가능해져, 위치 맞춤 정밀도를 비약적으로 향상시킬 수 있었다.

Claims (10)

  1. 다수의 전자 방출 소자가 배열된 배면 기판과, 상기 배면 기판에 대향 배치되고 상기 전자 방출 소자에 대응하는 위치에 배치된 형광체 패턴 및 차광 패턴을 갖는 전방면 기판을 구비한 화상 표시 장치이며, 건판측 얼라인먼트 마크에 대응하여 상기 전방면 기판의 내면의 비유효부 중 적어도 2군데에 마킹 영역을 마련하고, 각 마킹 영역이 3개의 얼라인먼트 마크를 갖는 것을 특징으로 하는 화상 표시 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 얼라인먼트 마크의 2차원 평면 사이즈가 0.060 mm 이상 2 mm 이하인 것을 특징으로 하는 화상 표시 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 마킹 영역이 직경 6 mm의 원형 영역의 범위 내에 있는 것을 특징으로 하는 화상 표시 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 마킹 영역의 2차원 평면 사이즈가 3색 형광체 패턴으로 이루어지는 화소의 10배 이하인 것을 특징으로 하는 화상 표시 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 전방면 기판의 내면의 4코너에 마련한 마킹 영역에 상기 얼라인먼트 마크가 각각 포토리소그래피법에 의해 패터닝되어 있는 것을 특징으 로 하는 화상 표시 장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 얼라인먼트 마크는 소정의 간격을 두고 직렬로 배치된 3개의 원형 마크이며, 건판측의 얼라인먼트 마크보다도 사이즈가 작은 것을 특징으로 하는 화상 표시 장치.
  7. 제1항에 있어서, 상기 얼라인먼트 마크는 소정의 변 길이를 갖는 삼각형의 각 꼭지점에 배치된 3개의 원형 마크이며, 건판측의 얼라인먼트 마크보다도 사이즈가 작은 것을 특징으로 하는 화상 표시 장치.
  8. 다수의 전자 방출 소자가 배열된 배면 기판에 대향 배치되는 전방면 기판 상에 형광면을 형성할 때에, 다수의 패턴 개구를 갖는 건판에 대해 상기 전방면 기판을 위치 맞춤하는 화상 표시 장치의 제조 방법에 있어서,
    (a) 건판 중 적어도 2군데의 마킹 영역에 3개의 투과형 얼라인먼트 마크를 각각 형성하고,
    (b) 건판측 얼라인먼트 마크에 1 : 1로 대응하는 전방면 기판측의 부위로서, 전방면 기판의 형광체 패턴이 형성되지 않는 비유효부 중 적어도 2군데의 마킹 영역에 차광형 얼라인먼트 마크를 각각 형성하고,
    (c) 건판과 전방면 기판을 평행하게 배치하여, 전방면 기판의 배면측으로부터 조명한 상태에서, 건판의 전방면측으로부터 상기 마킹 영역마다 기판측 얼라인 먼트 마크와 건판측 얼라인먼트 마크의 겹침 상태를 촬상 수단에 의해 관찰하고,
    (d) 촬상 수단의 시야 내에서의 기판측 얼라인먼트 마크와 건판측 얼라인먼트 마크의 겹침 상태가, 적어도 2군데의 마킹 영역에 대해 균형이 맞도록 전방면 기판과 건판을 상대 위치 맞춤하는 것을 특징으로 하는 화상 표시 장치의 제조 방법.
  9. 제8항에 있어서, 기판측 얼라인먼트 마크 및 건판측 얼라인먼트 마크는 각각 원형 마크이며, 또한 기판측 얼라인먼트 마크의 직경은 건판측 얼라인먼트 마크의 직경보다 작고, 상기 (d) 공정에 있어서 모든 마킹 영역에 대해 카메라 시야 내에서 기판측 얼라인먼트 마크가 건판측 얼라인먼트 마크 내에 들어가도록 전방면 기판과 건판을 상대 위치 맞춤하는 것을 특징으로 하는 화상 표시 장치의 제조 방법.
  10. 제8항에 있어서, 기판측 얼라인먼트 마크 및 건판측 얼라인먼트 마크는 각각 정사각형, 직사각형, 열십자, T자, 2중 원 또는 도넛형 중 어느 하나이며, 또한 기판측 얼라인먼트 마크의 직경은 건판측 얼라인먼트 마크의 직경보다 작고, 상기 (d) 공정에 있어서 모든 마킹 영역에 대해 카메라 시야 내에서 기판측 얼라인먼트 마크가 건판측 얼라인먼트 마크 내에 들어가도록 전방면 기판과 건판을 상대 위치 맞춤하는 것을 특징으로 하는 화상 표시 장치의 제조 방법.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9595690B2 (en) 2015-07-21 2017-03-14 Samsung Display Co., Ltd. Display apparatus

Families Citing this family (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101026935B1 (ko) * 2003-12-10 2011-04-04 엘지디스플레이 주식회사 디스펜서 정렬장치 및 그 방법
US20060024140A1 (en) * 2004-07-30 2006-02-02 Wolff Edward C Removable tap chasers and tap systems including the same
US8637127B2 (en) 2005-06-27 2014-01-28 Kennametal Inc. Composite article with coolant channels and tool fabrication method
US7687156B2 (en) 2005-08-18 2010-03-30 Tdy Industries, Inc. Composite cutting inserts and methods of making the same
CN100578370C (zh) * 2006-04-18 2010-01-06 中华映管股份有限公司 产生对准记号的方法
US8312941B2 (en) 2006-04-27 2012-11-20 TDY Industries, LLC Modular fixed cutter earth-boring bits, modular fixed cutter earth-boring bit bodies, and related methods
JP5330255B2 (ja) 2006-10-25 2013-10-30 ティーディーワイ・インダストリーズ・エルエルシー 改良された耐熱亀裂性を有する物品
US8512882B2 (en) 2007-02-19 2013-08-20 TDY Industries, LLC Carbide cutting insert
US7846551B2 (en) 2007-03-16 2010-12-07 Tdy Industries, Inc. Composite articles
JP2011523681A (ja) 2008-06-02 2011-08-18 ティーディーワイ・インダストリーズ・インコーポレーテッド 超硬合金−金属合金複合体
US8790439B2 (en) 2008-06-02 2014-07-29 Kennametal Inc. Composite sintered powder metal articles
US8025112B2 (en) 2008-08-22 2011-09-27 Tdy Industries, Inc. Earth-boring bits and other parts including cemented carbide
US8322465B2 (en) * 2008-08-22 2012-12-04 TDY Industries, LLC Earth-boring bit parts including hybrid cemented carbides and methods of making the same
US8272816B2 (en) 2009-05-12 2012-09-25 TDY Industries, LLC Composite cemented carbide rotary cutting tools and rotary cutting tool blanks
US8308096B2 (en) 2009-07-14 2012-11-13 TDY Industries, LLC Reinforced roll and method of making same
US8440314B2 (en) 2009-08-25 2013-05-14 TDY Industries, LLC Coated cutting tools having a platinum group metal concentration gradient and related processes
US9643236B2 (en) 2009-11-11 2017-05-09 Landis Solutions Llc Thread rolling die and method of making same
US8800848B2 (en) 2011-08-31 2014-08-12 Kennametal Inc. Methods of forming wear resistant layers on metallic surfaces
US9016406B2 (en) 2011-09-22 2015-04-28 Kennametal Inc. Cutting inserts for earth-boring bits
US9384551B2 (en) * 2013-04-08 2016-07-05 Amazon Technologies, Inc. Automatic rectification of stereo imaging cameras
US9838677B1 (en) * 2013-06-27 2017-12-05 Amazon Technologies, Inc. Detecting impact events for dropped devices
KR102304664B1 (ko) * 2014-09-30 2021-09-24 엘지디스플레이 주식회사 표시 장치
TWI547918B (zh) * 2014-11-28 2016-09-01 友達光電股份有限公司 面板裝置及其檢測方法
KR20210120168A (ko) 2020-03-25 2021-10-07 삼성디스플레이 주식회사 포토 마스크, 표시 장치 및 그 제조 방법
CN115881600A (zh) * 2021-09-30 2023-03-31 芝浦机械电子装置株式会社 铺贴装置

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2652206B2 (ja) * 1988-07-21 1997-09-10 共同印刷株式会社 カラーフィルタの製造方法
JPH11213889A (ja) * 1998-01-29 1999-08-06 Hitachi Chem Co Ltd 平面ディスプレイ用基板作成用基板及びこの基板を用いた平面ディスプレイ用基板の製造法
JPH11317166A (ja) * 1998-05-01 1999-11-16 Canon Inc 画像形成装置の製造方法と画像表示装置
JP4221784B2 (ja) * 1998-09-11 2009-02-12 東レ株式会社 プラズマディスプレイパネル用背面板の製造方法
JP2002351054A (ja) * 2001-05-29 2002-12-04 Sony Corp 位置合わせ用マーク及びこれを用いた位置合わせ方法、素子の転写方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9595690B2 (en) 2015-07-21 2017-03-14 Samsung Display Co., Ltd. Display apparatus
US9917275B2 (en) 2015-07-21 2018-03-13 Samsung Display Co., Ltd. Display apparatus
US10340474B2 (en) 2015-07-21 2019-07-02 Samsung Display Co., Ltd. Display apparatus
US10833288B2 (en) 2015-07-21 2020-11-10 Samsung Display Co., Ltd. Display apparatus

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