JPH11268233A - スクリーン印刷方法及びスクリーン印刷装置 - Google Patents

スクリーン印刷方法及びスクリーン印刷装置

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JPH11268233A
JPH11268233A JP6980398A JP6980398A JPH11268233A JP H11268233 A JPH11268233 A JP H11268233A JP 6980398 A JP6980398 A JP 6980398A JP 6980398 A JP6980398 A JP 6980398A JP H11268233 A JPH11268233 A JP H11268233A
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JP
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screen
printing
mask
frame
screen mask
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JP6980398A
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Masaaki Sasaka
正明 佐坂
Koichi Murakami
公一 村上
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、大型のスクリーンマスクを用いる
場合においても精度良くペーストを印刷できるスクリー
ン印刷方法及びスクリーン印刷装置の提供を目的として
いる。 【解決手段】 印刷パターンに対応した開口部8cを有
するスクリーン8aと該スクリーンを保持する四角形の
枠体8bとからなるスクリーンマスク8を用いて被印刷
物7の表面にペーストを印刷するスクリーン印刷方法に
おいて、前記枠体8bの互いに隣接する2辺のコーナー
部のみを位置決め用ブロック3,3’に当接させて前記
被印刷物7に対する当該スクリーンマスク8の位置合わ
せを行ない、位置決めされたスクリーンマスクのスクリ
ーン8aを介して被印刷物表面にペーストを印刷する構
成とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、スクリーンマスク
を用いる厚膜層の形成、特にプラズマディスプレイパネ
ル等の平面表示装置の製造工程における各種膜を形成す
るためのスクリーン印刷方法及びスクリーン印刷装置に
関する。プラズマディスプレイパネル等の平面表示装置
は、大型の表示装置として注目されており、表示品質を
高めるために各種膜を精度良く形成することが求められ
ている。
【0002】
【従来の技術】以下にプラズマディスプレイパネル(以
下PDPと称する)を例に従来技術を説明する。図5
は、AC駆動で3電極構造の面放電型PDPの一部を切
り出した状態の斜視図を示すものである。ガラスからな
る前面基板40の内面には、基板面に沿った面放電を生
じさせるための直線状の表示電極X,Yが、マトリクス
表示のラインL毎に一対ずつ配列されている。表示電極
X,Yは、フォトリソグラフィ技術によって形成される
もので、それぞれがITO(Indium Tin Oxide)薄膜か
らなる幅の広い直線状の透明電極42と多層構造(Cr/Cu
/Cr)の金属薄膜からなる幅の狭い直線状のバス電極43
とから構成されている。
【0003】また、表示電極X,Yを放電空間に対して
被覆するように、AC駆動のための誘電体層(PbO系
低融点ガラス層)44がスクリーン印刷により設けられ
ている。そして、誘電体層44の表面にはMgO(酸化
マグネシウム)からなる保護膜45が蒸着されている。
一方、背面基板41の内面は、表示電極X,Yと直交す
るように一定ピッチでアドレス電極46が配列されてい
る。このアドレス電極46もフォトリソグラフィ技術に
より形成されるもので、バス電極43同様、多層構造(C
r/Cu/Cr)の金属膜により構成されている。
【0004】アドレス電極46上を含む背面基板41全
面には、スクリーン印刷により誘電体層47が形成さ
れ、その上層には、高さが150μm程度の直線状の複
数の隔壁48が、各アドレス電極46の間に一つずつ設
けられている。隔壁48の主材料も低融点ガラスであ
り、スクリーン印刷による全面印刷の後、サンドブラス
ト法により形成するものである。
【0005】このような隔壁48は、放電空間49をラ
イン方向(表示電極X,Yと平行な画素配列方向)に単
位発光領域毎に区画すると共に、上下方向の放電ギャッ
プを規定している。そして、アドレス電極46の上部を
含めて、誘電体層47の表面及び隔壁48の側面を被覆
するように、フルカラー表示のためのR(赤)、G
(緑)、B(青)の3原色の蛍光体50がやはりスクリ
ーン印刷により設けられている。
【0006】また、放電空間49中には、放電時に紫外
線を照射して蛍光体励起するNe−Xe(NeとXeの
混合ガス)等の放電ガスが数百torr程度の圧力で封入さ
れている。このようなPDPの製造工程において、上述
したように誘電体層44,47や隔壁48、蛍光体50
は、スクリーンマスクを用いるスクリーン印刷技術を用
いて形成されるものであり、その詳細を以下に説明す
る。
【0007】図6及び図7は、従来のスクリーン印刷方
法とそれに用いる装置を説明するための図であり、図6
は装置主要部の斜視図、図7は印刷状態を示す断面図及
び平面図である。従来のスクリーン印刷装置51は、図
6に示すように、2辺に位置決めブロック53,53’
を有する枠状のマスク支持板52上にスクリーンマスク
58(破線で示す)をセットする構成となっており、可
動ブロック54の動作により、スクリーンマスク58を
位置決めブロック53,53’に当接させることで位置
出しを行なう。
【0008】即ち、一方の位置決めブロック53’の対
向側より搬送されるスクリーンマスク58をその一側面
が位置決めブロック53’に当接したところで、マスク
支持板52上に載置し、その後可動ブロック54を矢印
の如く移動させ、他方の位置決めブロック53に別の側
面を当接させることで位置出しを行なう。以上のよう
に、マスク支持板52上にスクリーンマスク58をセッ
トした状態において、その下側に被印刷物であるガラス
基板を配置し、これに対してスクリーン印刷を行なう。
【0009】図7(a)(b)はその印刷状態を示すも
のであり、例えばガラス基板上に誘電体材料を印刷して
いる状態である。マスク支持板52上にスクリーンマス
ク58をセットした後、図7(a)の断面図に示すとお
り、ガラス基板57をマスク支持板52の枠内に納まる
ように配置固定する。
【0010】スクリーンマスク58は、図7(b)の平
面図から明らかなように、開口部58cを有するスクリ
ーン58aがアルミパイプ等からなる枠体58bに保持
されるよう構成されている。スクリーン58aは、繊維
状のメタルをメッシュ状に編み込んだもので、開口部5
8cを除く部分に乳剤が塗布されている。このような状
態において、まずスクリーン58a上に誘電性ペースト
を滴下して図示しないスクレッパによりスクリーン58
a全体に拡げる。この段階では、スクリーン58a上に
ペーストが軽く載った状態であり、開口部58cをペー
ストが通過することはない。
【0011】そして、スクリーン58a上を所定の圧力
で移動するように、スキージ55を操作することで、開
口部58cからペーストを押し出してガラス基板57上
へのペースト印刷を行なう。スキージ55は、所定の圧
力をもってスクリーン58a上を移動するため、図7
(a)に示すように、スクリーン58aは撓みガラス基
板57に接触する状態となり、開口部58cから押し出
されるペーストがそのガラス基板57上に印刷される。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】スクリーンマスク58
を位置決め支持するマスク支持板52における位置決め
ブロック53,53’と可動ブロック54は、安定した
位置決めを行なうために通常図6及び図7に示すよう
に、スクリーンマスク58のそれぞれの辺の中央部に当
接するように配置されている。
【0013】しかしながら、大型のスクリーンマスクの
場合、枠体が変形し易くなり、図7(b)に示すよう
に、各辺の中央部に位置する位置決めブロック53,5
3’、可動ブロック54により押さえつけられる枠体5
8bには撓みが生じる。その結果、枠体58bの当接部
から開口部58cの中心位置までの距離が変わると共
に、印刷パターンを規定する開口部58c自体にも歪み
が生じることになる。
【0014】そのため、印刷パターンの位置及びパター
ン形状が変わり、所望のパターンを所望の位置に印刷す
ることができず、PDP等の表示装置としての特性に悪
影響を及ぼすことになる。つまり、誘電体層や隔壁、蛍
光体の膜厚やパターン形状や位置のばらつきによって、
放電特性の悪化や、点灯不良及び輝度不良、色のにじみ
等を招くことになり、表示品質が低下することになる。
【0015】本発明は、上記課題を解決して、大型のス
クリーンマスクを用いる場合においても、精度良くペー
ストを印刷することのできるスクリーン印刷方法及びス
クリーン印刷装置を提供することを目的としている。
【0016】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明は、印刷パターンに対応した開口部を有するス
クリーンと該スクリーンを保持する四角形の枠体とから
なるスクリーンマスクを用いて被印刷物の表面にペース
トを印刷するスクリーン印刷方法において、前記枠体の
互いに隣接する2辺のコーナー部のみを位置決め用ブロ
ックに当接させて前記被印刷物に対する当該スクリーン
マスクの位置合わせを行ない、位置決めされたスクリー
ンマスクのスクリーンを介して被印刷物表面にペースト
を印刷することを特徴としている。
【0017】また本発明は、印刷パターンに対応した開
口部を有するスクリーンと該スクリーンを保持する四角
形の枠体とからなるスクリーンマスクと、前記スクリー
ンマスクの枠体を支持する4つの枠体辺部を有しその互
いに隣接する2つの枠体辺部に位置決め用ブロックが設
けられた枠状のマスク支持板と、前記マスク支持板上の
スクリーンマスクを前記位置決め用ブロック側へ押しつ
けるための可動ブロックと、被印刷物を保持して移動さ
せる機構とを備え、前記スクリーンを介して被印刷物の
表面に前記開口部形状に対応するパターンの印刷を行な
うスクリーン印刷装置において、前記位置決め用ブロッ
ク及び可動ブロックは、前記スクリーンマスクの枠体に
対して、そのコーナー部のみに当接するよう構成されて
いることを特徴としている。
【0018】上記本発明のスクリーン印刷方法及びスク
リーン印刷装置によれば、マスク支持板上へのスクリー
ンマスクの設置の際に、スクリーンマスクの枠体におけ
る強度の大きいコーナー部を位置決め用ブロックに当接
させて位置決めするため、枠体の変形を抑えることがで
きる。特に、開口部を有するスクリーンの中央部には位
置決めによる圧力が加わることがないため、大型のスク
リーンマスクを用いる場合においても、開口部に歪みが
生じることはなく、常に所定パターンでの印刷が可能と
なる。
【0019】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図面を参
照しながら詳細に説明する。図1〜図3は、本発明の実
施例を説明するための図であり、図1はスクリーン印刷
装置の主要部の斜視図、図2はスクリーン印刷装置正面
の断面図、図3は印刷状態を示す平面図と断面図であ
る。
【0020】本実施例のスクリーン印刷装置1は、主要
構成部として図1に示すように、位置決めブロック3,
3’を一体的に備える枠状のマスク支持板2と、可動ブ
ロック4、及び図示しないスクリーンマスク上を所定の
圧力をもって移動するスキージ5と、被印刷物であるガ
ラス基板7を保持して移動させる昇降機構6とを有して
いる。
【0021】そして、本実施例の特徴部となる位置決め
ブロック3,3’は、両端部に内側に突出する当接部3
aを有する長尺形状であり、マスク支持板2の互いに隣
接する2つの枠辺にそれぞれ設けられている。また、可
動ブロック4も同様に両端部に突出する当接部4aを有
するもので、一方の位置決めブロック3に対向する位置
に移動可能に設けられている。
【0022】上述した主要構成部を含むスクリーン印刷
装置1の全体構成を図2の断面図により説明する。図2
は、図1の可動ブロック4側から見た正面断面図であ
り、周辺構成部も含めて示している。スクリーン印刷装
置1は、筐体の内部に設置され、具体的には筐体内の中
程にマスク支持板2が設けられ、このマスク支持板2に
対向する筐体壁面にスクリーンマスク8を導入するため
のマスク導入口12が形成されている。図2では、マス
ク導入口12からスクリーンマスク8が導入され、途中
まで進んでいる状態を示している。
【0023】マスク支持板2上に支持されるスクリーン
マスク8の上方には、スクリーンに対する圧力調整が可
能であるとともにスクリーン上を図面左右方向に移動す
るスキージ5及びスクレッパー10が一体的に設けら
れ、さらに位置決めされたスクリーンマスク8を固定す
る押さえ部材9、スクリーンマスク8上にペーストを滴
下するための滴下ノズル11が備えられている。
【0024】マスク支持板2上に支持されるスクリーン
マスク8の上方には、スクリーンマスク8に対する圧力
調整が可能でかつ図面左右方向に移動するスキージ5及
びスクレッパー10、位置決めされたスクリーンマスク
8を固定する押さえ部材9、スクリーンマスク8上にペ
ーストを滴下するための滴下ノズル11がそれぞれ備え
られている。
【0025】一方、スクリーンマスク8の下方には、被
印刷物であるガラス基板7を一時的に保持する基板載置
台14、基板載置台14へガラス基板7を導入するため
の基板導入口13(一点鎖線で示す部分)、基板載置台
14上に保持されたガラス基板7を上方に持ち上げて印
刷位置まで移動させる昇降機構6を備えている。以上説
明したスクリーン印刷装置1の動作を以下に説明する。
【0026】図2におけるマスク導入口12からスクリ
ーンマスク8を導入し、スクリーンマスク8の枠体の1
つの短い枠体辺部が位置決めブロック3’(図1参照)
の当接部3aに当接するまで移動させる。この導入時、
一方の位置決めブロック3は、スクリーンマスク8に対
して僅かな隙間を有しておりその移動を妨げない。この
後、図1に矢印で示すように、可動ブロック4を位置決
めブロック3側に移動させスクリーンマスク8の枠体の
一方の長い枠体辺部を押しつけて他方の長い枠体辺部を
位置決めブロック3の当接部3aに当接させる。ここ
で、スクリーンマスク8は、マスク支持板2の2辺にあ
る位置決めブロック3,3’により位置決めされた状態
となる。
【0027】このように位置決めされた状態において、
押さえ部材9が下降してスクリーンマスク8の枠体を押
さえ固定する。一方、被印刷物であるガラス基板7は、
図2における基板導入口13から紙面垂直方向へ導入さ
れ、基板載置台14に一旦載せられる。(図2の状態)
昇降機構6は、ガラス基板7との接触面に吸着手段を有
しており、上昇して基板載置台14にあるガラス基板7
を吸着保持した後、更に上昇してガラス基板7を印刷位
置に移動させる。
【0028】この時、ガラス基板7とマスク支持板2と
は上方からのカメラ(図示せず)による撮像に基づく位
置制御によって位置決めされる。この位置決め手段は、
例えば、マスク支持板2の内側面コーナー部とガラス基
板7の側面コーナー部との間隙をカメラで撮像しながら
所定距離になるようにガラス基板7を移動させるもので
ある。
【0029】昇降機構6は、昇降可能であると共に、ガ
ラス基板7の面内方向にも移動できる構成とすること
で、上記位置合わせを可能としている。以上の如くスク
リーンマスク8及びガラス基板7を設置することによ
り、両者は位置合わせされたスクリーン印刷可能な状態
となる。図3(a)(b)は、スクリーン印刷を行なっ
ている状態を示す平面図及び断面図であり、以下に詳細
を説明する。
【0030】スクリーンマスク8は、図3(a)からわ
かるように、開口部8cを有するスクリーン8aがアル
ミパイプ等からなる矩形の枠体8bに保持されてなるも
のであり、枠体8bのコーナー部に位置決めブロック
3、3’の当接部3a、及び可動ブロック4の当接部4
aがそれぞれ当接されて位置決めされている。また、こ
の位置決め状態において、枠体8bの4箇所が押さえ部
材9により押さえつけられてスクリーンマスク8がマス
ク支持板2上に固定されている。
【0031】位置決めブロック3,3’の当接部3a及
び可動ブロック4の当接部4aは、図3(a)に一点鎖
線で示す開口部8c短辺の延長線に対して、その外側に
位置している。従って、強い圧力にて枠体8bが位置決
めブロック3,3’及び可動ブロック4に接していて
も、それは枠体8bの強度の最も強いコーナー部である
と共に、開口部8cへの影響が最も少ない位置であるた
め、枠体8bの変形及び開口部8cの歪みを防止するこ
とができる。
【0032】以上のような安定した状態において、図2
に示す滴下ノズル11から例えば誘電体ペーストをスク
リーン8a上に滴下して、これをスクレッパー10によ
る軽い圧力にて、スクリーン8a全体に拡げる。この
時、スキージ5先端はスクレッパー10のそれよりも上
方に上昇した状態にしているため、スクリーン8aに接
触することはない。
【0033】このようにスクリーン8a全体にペースト
を塗布した後、スクレッパー10を上昇させると共にス
キージ5を下降させて、スクリーン表面上を移動させる
ことにより、ガラス基板上に所望の印刷を実施する。即
ち、スキージ5とスクレッパー10の往復動作により、
スクリーン印刷は実施される。図3はこの印刷状態を示
すものであり、スキージ5が所定の圧力をもって、スク
リーンマスク8のスクリーン8a上を矢印の如く移動し
ている。
【0034】図3(b)から明らかなように、スクリー
ン8aはスキージ5により撓んだ状態となり、スキージ
5により開口部8cから押し出されるペーストがガラス
基板7表面に印刷される。PDPの誘電体層を形成する
場合、スクリーン印刷により誘電体ペーストをガラス基
板7上に被覆した後、乾燥及び焼成を行なうことによ
り、ペーストに含まれる溶剤を除去して、誘電体層を完
成させる。
【0035】本実施例によれば、ガラス基板7に対し
て、パターンを規定するスクリーンマスク8の開口部8
cの位置ずれや歪みのない状態で印刷を行なうことが可
能であることから、膜厚や位置精度に優れた誘電体層を
形成することができる。図4(a)(b)は、本発明の
他の実施例を説明するためのスクリーンマスク平面図で
ある。
【0036】前述の実施例は、突出する当接部を有する
位置決めブロック及び可動ブロックを用いたが、図4に
て説明する例は、スクリーンマスク側に突出する当接部
を有するものである。即ち、まず図4(a)に示すよう
に、コーナー部が突出する当接部28dを有する枠体2
8bに、開口部28cを有するスクリーン28aを保持
するスクリーンマスク28に対して、突出部のないバー
状の位置決めブロック23,23’及び可動ブロック2
4を用いる。
【0037】当接部28dは、開口部28cの短辺の延
長線に対して、その外側に位置しており、位置決め用ブ
ロック及び可動ブロックとの当接状態での圧力による影
響を抑えている。図示していないが、位置決めブロック
23,23’は、前述の実施例同様、マスク支持板に一
体的に備えられるものであり、スクリーンマスク28
は、このマスク支持板上にセットされている。スクリー
ンマスク28のセット工程は、前実施例と同様であるの
で、説明は省略する。
【0038】本実施例における枠体28bの当接部28
dは、研磨処理等によって、平滑度を高めており、位置
決めブロック23,23’との接触精度を上げている。
また、スクリーン8aの開口部8cは、枠体8bの当接
部28dを基準面として形成しているため、印刷パター
ンの精度はより良好になっている。つまり、スクリーン
28aに乳剤を塗布して開口部28cを形成する際に、
枠体28bの当接部28dを基準にしており、この基準
点となる当接部28dを位置決めブロック23,23’
に当接させることで、スクリーンマスク28をセットす
るため、位置決めブロック23,23’(マスク支持
板)に対して、開口部28cの位置が正確に決定され
る。これは、当接部28dの研磨処理により更に精度を
上げている。
【0039】因みにスクリーン28aへの乳剤の塗布
は、専用のマスクを介して行なうものであり、このマス
クの設置位置を当接部28dを基準にして決定してい
る。本実施例によれば、位置決めのための位置決めブロ
ック23,23’及び可動ブロック24は、枠体28b
のコーナー部、即ち当接部28dにのみ接触するため、
前述の実施例同様、枠体28bの変形や開口部28cの
歪みが生じることはない。これに加えて、開口部28c
が当接部28dを基準に形成されている、更に当接部2
8dは平滑度を高める処理を施していることから、印刷
精度は極めて高くなる。
【0040】また、スクリーンマスク28の枠体28b
のマスク支持板との接触面についても、研磨処理により
接触精度を高めるている。これはスクリーンマスクの傾
き等による精度悪化を防ぐものである。図4(b)は、
スクリーンマスク38の枠体38bに形成される当接部
38dに対向する部分のみに位置決めブロック33,3
3’及び可動ブロック34を備える構成にしたものであ
る。
【0041】スクリーン38aに開口部38cを形成す
る際の基準面を当接部38dにすることや、当接部38
dおよびマスク支持板との接触面を研磨すること等は、
図4(a)の例と同様にしている。この実施例によれ
ば、位置決めブロック33,33’及び可動ブロック3
4は小型になるも、位置決め精度は変わりなく、正確な
スクリーン印刷を実施することが可能である。
【0042】尚、スクリーンの開口部形成における基準
面を位置決めブロックとの当接部分にすることや、この
当接部分を研磨することにより平滑度を高めることは、
図1〜図3により説明した実施例においても適用するこ
とができ、その効果も同等となる。以上説明した実施例
は、PDP製造の一工程である誘電体層の形成について
説明したが、本発明は、隔壁や蛍光体層の形成は勿論、
他の平面表示装置における各種膜の形成に適用すること
ができる。
【0043】特に、PDPの蛍光体のように微細なパタ
ーンを精度良く形成する必要がある場合に有効となる。
【0044】
【発明の効果】本発明のスクリーン印刷方法及びスクリ
ーン印刷装置によれば、スクリーンマスクを構成する枠
体の変形、印刷パターンを規定するスクリーンマスクの
開口部の歪みを生じさせることなく、安定した状態で広
域へのペースト印刷を行なうことが可能となる。
【0045】従って、大型の平面表示装置における各種
膜を所望のパターンで精度良く形成することができるた
め、表示品質の良好な大型表示装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例を説明するためのスクリーン印
刷装置主要部の斜視図である。
【図2】本発明の実施例を説明するためのスクリーン印
刷装置正面の断面図である。
【図3】本発明の実施例を説明するための印刷状態を示
す平面図及び断面図である。
【図4】本発明の他の実施例を説明するためのスクリー
ンマスク平面図である。
【図5】プラズマディスプレイパネルの構造を説明する
ための斜視図である。
【図6】従来の技術を説明するためのスクリーン印刷装
置主要部の斜視図である。
【図7】従来の技術を説明するための印刷状態を示す断
面図及び平面図である。
【符号の説明】
1 スクリーン印刷装置 2 マスク支持板 3,3’ 位置決めブロック 3a 当接部 4 可動ブロック 4a 当接部 5 スキージ 6 昇降機構 7 ガラス基板 8 スクリーンマスク 8a スクリーン 8b 枠体 8c 開口部 23,23' 位置決めブロック 33,33' 位置決めブロック 24,34 可動ブロック 28,38 スクリーンマスク 28a,38a スクリーン 28b,38b 枠体 28c,38c 開口部 28d,38d 当接部

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 印刷パターンに対応した開口部を有する
    スクリーンと該スクリーンを保持する四角形の枠体とか
    らなるスクリーンマスクを用いて被印刷物の表面にペー
    ストを印刷するスクリーン印刷方法において、 前記枠体の互いに隣接する2辺のコーナー部のみを位置
    決め用ブロックに当接させて前記被印刷物に対する当該
    スクリーンマスクの位置合わせを行ない、位置決めされ
    たスクリーンマスクのスクリーンを介して被印刷物表面
    にペーストを印刷することを特徴とするスクリーン印刷
    方法。
  2. 【請求項2】 前記位置決め用ブロックに当接する前記
    枠体の1辺に隣接した他の1辺を可動ブロックで押圧し
    て、当該枠体のコーナー部を位置決めブロックに当接さ
    せることを特徴とする請求項1記載のスクリーン印刷方
    法。
  3. 【請求項3】 印刷パターンに対応した開口部を有する
    スクリーンと該スクリーンを保持する四角形の枠体とか
    らなるスクリーンマスクと、前記スクリーンマスクの枠
    体を支持する4つの枠体辺部を有しその互いに隣接する
    2つの枠体辺部に位置決め用ブロックが設けられた枠状
    のマスク支持板と、前記マスク支持板上のスクリーンマ
    スクを前記位置決め用ブロック側へ押しつけるための可
    動ブロックと、被印刷物を保持して移動させる機構とを
    備え、前記スクリーンを介して被印刷物の表面に前記開
    口部形状に対応するパターンの印刷を行なうスクリーン
    印刷装置において、 前記位置決め用ブロック及び可動ブロックは、前記スク
    リーンマスクの枠体に対して、そのコーナー部のみに当
    接するよう構成されていることを特徴とするスクリーン
    印刷装置。
  4. 【請求項4】 前記位置決め用ブロック及び可動ブロッ
    クは、前記スクリーンの開口部の外周辺の延長線に対し
    て外側に位置する前記枠体のコーナー部に当接すること
    を特徴とする請求項3記載のスクリーン印刷装置。
  5. 【請求項5】 前記位置決め用ブロック及び可動ブロッ
    クは、それぞれ端部に内側に突出する部分を有し、この
    突出部が前記スクリーンマスクの枠体のコーナー部に当
    接されることを特徴とする請求項3、4のいずれかに記
    載のスクリーン印刷装置。
  6. 【請求項6】 前記スクリーンマスクの枠体は、そのコ
    ーナー部に外側に突出する部分を有し、この突出部が前
    記位置決めブロック及び可動ブロックに当接することを
    特徴とする請求項3、4のいずれかに記載のスクリーン
    印刷装置。
  7. 【請求項7】 印刷パターンに対応した開口部を有する
    スクリーンと該スクリーンを保持する四角形の枠体とか
    らなるスクリーンマスクであって、 前記枠体の互いに隣接する2辺の各コーナー部に、位置
    決め用ブロックに対する突出構造の当接部を設けたこと
    を特徴とするスクリーンマスク。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100837460B1 (ko) 2006-09-29 2008-06-12 후지츠 히다찌 플라즈마 디스플레이 리미티드 인쇄 장치

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