JP2006253058A - プラズマディスプレイパネルの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】複数に分割された構成の表示電極において、断線のない信頼性の高い電極およびその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明のＰＤＰの製造方法は、主放電ギャップ２１を配置された走査電極５と維持電極６とを備え、走査電極５と維持電極６が複数の電極線５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ、６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄにより形成されたＰＤＰの製造方法であって、電極線５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ、６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄをフォトリソグラフィ法を用いて形成し、そのフォトリソグラフィ法の露光工程は複数の電極線のうちの少なくとも一つを露光パターンの異なる露光マスクを用いて複数回露光する工程としている。
【選択図】図２

Description

本発明は、文字あるいは画像表示用のカラーテレビジョン受像機やディスプレイなどに用いられるプラズマディスプレイパネルの製造方法に関し、特に電極の形成方法に関するものである。

液晶パネルに比べて高速表示が可能であり、かつ大型化が容易であることから高品位テレビジョン画像を大画面で表示することができるディスプレイ装置として、希ガス放電による紫外線で蛍光体を励起発光させて画像を表示させるプラズマディスプレイパネル（以下、「ＰＤＰ」と記載する）を使用したカラーテレビジョン受信機などの表示装置への期待が高まっている。ＰＤＰはハイビジョン用の大画面表示デバイスとして注目され、そのために高精細化および高輝度化などの表示品質の向上、信頼性の向上と低コスト化を実現する開発が盛んである。

一般的に、ＡＣ駆動面放電ＰＤＰは３電極構造を採用しており、前面板と背面板との２枚のガラス基板が所定の間隔で対向配置された構造となっている。前面板は、ガラス基板と、その一方の主面上に形成された一対の表示電極と、この表示電極を被覆して電荷を蓄積するコンデンサとしての働きをする誘電体膜と、この誘電体膜上に形成されたＭｇＯ保護膜とで構成されている。

また、背面板は、ガラス基板と、その一方の主面上に形成されたストライプ状のデータ電極と、このデータ電極を覆う誘電体膜と、その上に形成された隔壁と、各隔壁によって形成された放電セル内に塗布された赤色、緑色および青色にそれぞれ発光する蛍光体層とで構成されている。

前面板と背面板とはその電極形成面側を対向させて気密封着され、隔壁によって形成された放電セル空間にはＮｅ−Ｘｅなどの放電ガスが４００Ｔｏｒｒ〜６００Ｔｏｒｒの圧力で封入されている。一対の表示電極間に映像信号電圧を選択的に印加することによって放電ガスを放電させ、それによって発生した紫外線が各色蛍光体層を励起して赤色、緑色、青色の各色を発光させることによりカラー画像を表示している。

このような構成のＰＤＰにおいては、表示電極およびデータ電極の形成にあたって形状精度と位置精度が要求される。そのために、金属材料などの導電性材料に、感光性材料を含有させた材料をガラス基板面に塗布し、この塗布膜を電極パターンを備えた露光マスクを用いて露光し、その後、現像処理するフォトリソグラフィ法によってパターニングする製造方法が提案されている（例えば、非特許文献１参照）。

また、ＰＤＰの低コスト化を狙いとして、表示電極の構成として透明電極を用いずに網目状の金属電極だけで構成する例が開示されている（例えば、特許文献１参照）。
２００１ ＦＰＤテクノロジー大全、株式会社電子ジャーナル、２０００年１０月２５日、ｐ５８９−ｐ５９４、ｐ６０１−ｐ６０３、ｐ６０４−ｐ６０７ 特開２００２−１５０９５１号公報

透明電極を用いずに網目状の金属電極だけで表示電極を構成するＰＤＰは、透明電極を有するＰＤＰに比べて低コスト化は実現されるが、以下のような課題を有していた。

すなわち、これらの金属電極だけで構成する表示電極は開口率を高める必要性から、微細な細線構造となる。そのために、電極の断線が発生しやすく、これらの断線によって不灯現象や輝度低下などが発生する。これらの不灯現象の発生は特に白色を背景として表示する際の画像表示品質を低下させる。

表示電極の断線の原因としては、表示電極をフォトリソグラフィ法によって形成する際の、露光工程における露光マスクへの異物付着がある。紫外線露光によってパターン形成をする際に、被露光部を次の現像工程において残存させるネガ型露光方式を用いた場合、表示電極を形成する電極線を被露光部とするように露光マスクに開口部が形成される。この露光マスクの開口部に露光される電極線幅以上の大きさの異物が付着した場合には、異物によって露光されないためにその後の現像工程で電極線が除去されてしまうからである。また、これらの露光マスクに付着した異物などによって生じる表示電極の断線は、同一の露光マスクを用いて量産するために、複数のＰＤＰに連続して発生するといった課題を有している。

さらに、細線構造の金属電極のみで表示電極を形成する場合には、それぞれの電極線幅が４０μｍ程度と小さくなるため、露光マスクに付着する異物の数は異物のサイズが小さいほど増加するため断線発生確率が高くなる。特に、このような電極構造では、走査電極と維持電極との間の主放電ギャップを形成する電極線が断線したり、主放電ギャップの間隔が変わると、断線部を含む放電セルの不灯や点滅だけでなく放電開始電圧が上昇するなどの重大な表示欠陥を発生させるといった課題を有している。

本発明は、このような課題を解決し、露光マスクに付着した異物の影響を低減して表示電極の断線などの不良を防止し、表示品質の高いＰＤＰを実現できるＰＤＰの製造方法を提供することを目的としている。

上述したような課題を解決するために、本発明のＰＤＰの製造方法は、主放電ギャップを挟んで対向する走査電極と維持電極とを備え、走査電極と維持電極が複数の電極線により形成されたＰＤＰの製造方法であって、電極線をフォトリソグラフィ法を用いて形成し、フォトリソグラフィ法の露光工程は複数の電極線のうちの少なくとも一つを露光パターンの異なる露光マスクを用いて複数回露光する工程としている。

このような製造方法によれば、複数の電極線を露光する際に、前の露光工程で異物の影響により未露光となる領域を、次の露光工程で露光することによって露光マスクに付着した異物の影響を低減して断線の発生確率を小さくし、画像表示品質を向上させることができる。

さらに、露光工程が走査電極と維持電極の形状パターンの露光マスクにより露光を行う第１露光工程と、第１露光工程の後に主放電ギャップを形成する電極線のみの形状パターンの露光マスクにより露光を行う第２露光工程とを含んでもよい。このような製造方法によれば、主放電ギャップを形成する電極線の断線発生確率を低減し、放電開始電圧を安定させて画像表示品質を向上させることができる。

さらに、第２露光工程における主放電ギャップを形成する電極線の露光マスクの開口部の幅を、第１露光工程における主放電ギャップを形成する電極線の露光マスクの開口部の幅よりも小さくすることが望ましい。このような製造方法によれば、主放電ギャップを形成する電極線の断線発生確率を低減するとともに、主放電ギャップを形成する電極線間の間隔を一定に保つことができ、放電開始電圧を安定させて画像表示品質を向上させることができる。

さらに、第２露光工程における主放電ギャップを形成する電極線の露光マスクの開口部の間隔が、第１露光工程における主放電ギャップを形成する電極線の露光マスクの開口部の間隔よりも大きいことが望ましい。このような製造方法によれば、主放電ギャップを形成する電極線の断線発生確率を低減するとともに、主放電ギャップを形成する電極線間の間隔を一定に保つことができ、放電開始電圧を安定させて画像表示品質を向上させることができる。

さらに、維持電極と走査電極とは、延伸された主電極と、放電セルに対応して主放電ギャップを形成する主放電電極と、主電極と主放電電極とを接続する少なくとも２本の接続電極とを備え、露光工程が走査電極と維持電極の形状パターンの露光マスクにより露光を行う第１露光工程と、第１露光工程の後に接続電極のうちの一つの接続電極と主放電電極との形状パターンの露光マスクにより露光を行う第２露光工程とを含んでもよい。このような製造方法によれば、接続電極の少なくとも一つの接続電極と主放電電極との断線発生確率を低減して画像表示品質を向上させることができる。

さらに、第２露光工程における露光マスクの少なくとも主放電電極に対応する開口部の幅が、第１露光工程における露光マスクの主放電電極に対応する開口部の幅よりも小さいことが望ましい。このような製造方法によれば、主放電ギャップを形成する主放電電極の断線発生確率を低減させるとともに、主放電電極間の間隔を一定に保つことができ、放電開始電圧を安定させて画像表示品質を向上させることができる。

さらに、第２露光工程における主放電ギャップを形成する主放電電極に対応する露光マスクの開口部の間隔が、第１露光工程における主放電ギャップを形成する主放電電極に対応する露光マスクの開口部の間隔よりも大きいことが望ましい。このような製造方法によれば、主放電ギャップを形成する主放電電極の断線発生確率を低減するとともに、主放電電極間の間隔を一定に保つことができ、放電開始電圧を安定させて画像表示品質を向上させることができる。

本発明によれば、複数の電極線により構成された走査電極と維持電極とを形成する際に、露光マスクに付着した異物の影響を低減して断線などの不良を防止し、表示品質の高いＰＤＰを実現できる。

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。

（第１の実施の形態）
図１は本発明の第１の実施の形態におけるＰＤＰの製造方法によるＰＤＰの構造を示す斜視図であり、図２は本発明の第１の実施の形態におけるＰＤＰの製造方法による走査電極と維持電極との構成の詳細を示す平面図である。ＰＤＰ１は前面パネル２と背面パネル３とにより構成されている。前面パネル２は、前面ガラス基板４の片面に形成された走査電極５と維持電極６により構成された表示電極７と、これらの表示電極７を覆う誘電体膜８および保護膜９とを備えている。なお、図１には、走査電極５と維持電極６とは１本の電極線として示しているが、図２に示すように、第１の実施の形態では走査電極５は互いに平行に配置された複数の走査電極電極線５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄにより構成され、維持電極６は互いに平行に配置された複数の維持電極電極線６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄにより構成されている。

一方、背面パネル３は、背面ガラス基板１０の片面にストライプ状に形成されたデータ電極１１、これらのデータ電極１１を覆う下地誘電体膜１２、放電空間を区画するストライプ状の隔壁１３、隔壁１３間の溝に塗布された蛍光体膜１４を備えている。隔壁１３によって区画される空隙には放電ガス（Ｎｅ−Ｘｅ系ガスやＨｅ−Ｘｅ系ガス）が充填されている。また、表示電極７とデータ電極１１とは直交するように配置され、それらの交差部が放電セル２０を形成している。放電セル２０はマトリクス状に配列され、表示電極７の延伸方向にデータ電極１１に対応して赤色、緑色、青色の蛍光体膜１４が順に形成されてカラー表示のための画素を形成している。

このような構成のＰＤＰ１は、維持放電期間において表示電極７に印加されるパルス電圧によって放電が起こり、この放電によって発生した紫外線が蛍光体膜１４の蛍光体を励起して各色の可視光が発生する。この可視光が前面パネル２の保護膜９、誘電体膜８、前面ガラス基板４を透過することにより画像または映像を表示することができる。

したがって、図２に示すように、隔壁１３に囲まれた放電セル２０内の走査電極５、維持電極６よりなる表示電極７の電極パターンは、それぞれ細線状の４本の電極線に分割され、主放電ギャップ２１を形成する電極線５ａ、６ａと、他の電極線５ｂ、５ｃ、５ｄおよび６ｂ、６ｃ、６ｄとにより構成されている。

前面パネル２の製造方法について、さらに詳細に説明する。図３は本発明の第１の実施の形態におけるＰＤＰの製造方法による前面パネル２の製造工程を示すフローチャートである。まず、フロート法などにより製造された高歪点ガラスなどの前面ガラス基板４を準備する。次に、表示電極７を前面ガラス基板４上に形成し、遮光層（図示せず）を形成し、これらの表示電極７と遮光層を覆って誘電体膜８を形成し、さらに真空蒸着法などによって保護膜９を形成する。

次に、本発明の特徴であるフォトリソグラフィ法を用いた表示電極７の形成方法について説明する。まず、表示電極７の第１層目を形成する黒色電極層を形成する。黒色電極層は黒色電極ペーストをスクリーン印刷法などによって前面ガラス基板４に塗布して乾燥させる。なお、黒色電極ペーストは、感光性を有し、Ｃｏ、Ｃｒ、Ｃｕ、Ｆｅ、Ｍｎ、Ｎｉ、Ｒｕなどを構成元素として含む金属酸化物からなる黒色無機顔料や低軟化点ガラスフリット、溶剤、光重合開始剤、反応性モノマー、バインダー樹脂などから構成される。次に、この黒色電極層上にＡｇ材料を有する感光性のＡｇ電極ペーストをスクリーン印刷法などによって塗布して乾燥させ、Ａｇ電極層を形成する。なお、感光性Ａｇ電極ペーストは、Ａｇ粒子、低軟化点ガラスフリット、溶剤、光重合開始剤、反応性モノマー、バインダー樹脂などから構成される。

その後、第１露光工程と第２露光工程の２回の露光を行い、表示電極７の走査電極５と維持電極６とを形成する複数の電極線領域に露光を行う。その後、露光された領域以外を除去する現像処理を行い、残った電極線を形成している黒色電極層とＡｇ電極層とを同時に焼成して固化し、走査電極５と維持電極６よりなる表示電極７を形成する。

図４、図５は本発明の第１の実施の形態におけるＰＤＰの製造方法に用いる露光マスクの構成を示す平面図であり、図４は第１露光工程に用いる露光マスクを示し、図５は第２露光工程に用いる露光マスクを示す。図４、図５に示す露光マスクはいわゆるネガ型の露光マスクであり、本発明の実施の形態の説明ではこのネガ型の露光マスクを用いた例について説明する。露光マスクは、ガラス基板に、例えばＣｒなどの遮光膜を真空プロセスを用いて形成し、エッチング処理によって露光紫外線が透過するように遮光膜の一部を除去して開口部を形成している。

図４に示す第１露光工程に用いる露光マスク４０には、図２に示す走査電極５の電極線５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄに対応する開口部４１ａ、４１ｂ、４１ｃ、４１ｄと、維持電極６の電極線６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄに対応する開口部４２ａ、４２ｂ、４２ｃ、４２ｄとが設けられている。したがって、開口部４１ａと開口部４２ａとで図２における主放電ギャップ２１に対応するギャップ部４３を形成している。なお、これらの開口部４１ａ、４１ｂ、４１ｃ、４１ｄ、４２ａ、４２ｂ、４２ｃ、４２ｄの開口幅Ｗ４０は、露光パターンのデザイン、各露光マスクの位置決め精度、感光性材料の焼成時の収縮率などを考慮し、焼成後に形成される電極線の幅が所定の幅になるように任意に設定されるが、本実施の形態では４０μｍとしている。

図５に示す第２露光工程に用いる露光マスク５０には、図２における主放電ギャップ２１を形成する電極線５ａ、６ａに対応する開口部５１ａ、５２ａのみが設けられている。

したがって、露光マスク４０を、黒色電極層とＡｇ電極層が形成された前面ガラス基板４に位置決め手段を用いて位置合わせをし、表示電極７全体の第１露光工程の処理を行い、次に、露光マスク５０を同様に位置合わせして電極線５ａ、６ａに対応する第２露光工程の処理を行っている。

図６は本実施の形態におけるＰＤＰの製造方法の表示電極７を形成する際の露光プロセス工程の詳細を示す図である。露光の方法としては露光マスクとガラス基板の間に一定の間隔を設けて露光を行うプロキシミティー露光法を用いている。図６（ａ）には前面ガラス基板４上に黒色電極層６０とＡｇ電極層６１の電極層６２の乾燥膜が形成された状態を示している。次に、図６（ｂ）に示すように、電極層６２の上部に所定間隔を設けて図４に示す露光マスク４０を配置し、第１露光工程の処理をする。前述のように、露光マスク４０はガラス基板６３に遮光層６４が形成され、表示電極７の電極線に対応する開口部４１ａ、４１ｂ、４１ｃ、４１ｄ、４２ａ、４２ｂ、４２ｃ、４２ｄが設けられている。

ここで、露光マスク４０の開口部４１ａに、その開口幅を覆ってダスト（塵、ほこりなどの異物）６５が付着した場合について述べる。このような、露光マスク４０にダスト６５が付着した状態で、図６（ｃ）に示すように、電極層６２に対して、超高圧水銀ランプにより紫外線６６を照射して第１露光工程の処理を行うとする。この場合、露光工程では、ダスト６５が付着している部分の紫外線が遮光され、ダスト６５に対応する電極層６２は感光されずに未露光部６９を形成する。したがって、このまま、現像処理を行うと維持電極６の電極線６ａを形成する電極層６２の一部が感光されていないため、その部分の電極層６２が除去され電極線６ａに断線部が形成される。

一方、本実施の形態では、現像処理の前にさらに第２露光工程を追加している。すなわち、図６（ｄ）に示すように露光マスク５０を所定の位置に設置して、第１露光工程の後にさらに第２露光工程を追加するものである。図６（ｄ）に示すように、露光マスク５０は露光マスク４０と同様に、ガラス基板６３に遮光層６７が形成されている。遮光層６７には、走査電極５と維持電極６の主放電ギャップを形成する電極線５ａ、６ａに対応する開口部５１ａと開口部５２ａのみが形成されている。

また、図６（ｄ）では、露光マスク５０の開口部５１ａの下部に、さらにダスト６８が付着している場合を示している。露光マスク４０では電極線６ａに対応する開口部４２ａにダスト６５が付着していたが、露光マスク５０では電極線５ａに対応する開口部５１ａにダスト６８が付着している。基本的に、露光工程などはクリーンルームなどの環境で行われるため、ダストの付着が同一箇所である確率は非常に小さい。

したがって、このような実施の形態によれば、第１露光工程の露光マスク４０によってその一部が感光されなかった電極線６ａに対応する電極層６２の未露光部６９は、第２露光工程の露光マスク５０によって感光され、電極線６ａの断線を防止することができる。一方、第２露光工程において、露光マスク５０に付着していたダスト６８によって、電極線５ａに対応する電極層６２の一部が感光されないが、この電極線５ａは第１露光工程において既に感光されているため、断線を発生することはない。

なお、上述の第２露光工程での露光マスク５０では、露光マスクの形状パターンとしての開口部を、表示電極７の主放電ギャップを形成する電極線５ａと電極線６ａの２本だけに対応するように設けていた。しかしながら、露光マスク４０と同様に全ての電極線に対応する形状パターンとしても、露光マスクの同一箇所にダストが付着する確率は非常に小さいので、電極線の断線が発生する確率を小さくすることができる。

上述の実施の形態では、露光マスク４０の開口部４１ａ、４２ａの開口幅Ｗ４０と露光マスク５０の開口部５１ａ、５２ａの開口幅Ｗ５０とは同一としているが、さらに開口幅Ｗ５０を開口幅Ｗ４０よりも小さくするほうが望ましい。すなわち、Ｗ４０を４０μｍとし、Ｗ５０を２５μｍとしている。このように、第２露光工程に用いる露光マスク５０の開口幅Ｗ５０を第１露光工程に用いる露光マスク４０の開口幅Ｗ４０よりも小さくすることにより、露光マスク５０を位置合わせする際に位置ずれが生じても、図２における主放電ギャップ２１の距離を一定に保つことができる。これにより、主放電ギャップを形成する電極線間の間隔を一定に保つことができ、放電開始電圧を安定させて画像表示品質を向上させることができる。

表１に、本発明の第１の実施の形態で述べた２回露光による実施例の結果を示す。

表１に示す結果は、第１露光工程のみで表示電極を形成して表示不良となったＰＤＰを解析して、図２に示す電極パターンの断線部と、露光マスクに付着したダストとの対応を分析した。次に、これらのダスト付着を再現して第２露光工程による露光を追加したＰＤＰを製造し画像評価を行った。表１に示すように、図２の隔壁１３上に位置する電極線が断線した場合には、表示特性に大きく影響を与えない場合もあるが、放電セル２０内のデータ電極１１上の位置にダストが付着して断線が発生する場合には、点滅や不灯など重大欠陥を発生している。特に、断線部の長さが大きくなるほど、重大欠陥となる。

一方、これらのＰＤＰにおいても、第２露光工程での露光を追加する本発明の第１の実施の形態によれば、第１露光工程での露光マスクへのダスト付着があった場合でも、良好な状態の表示を実現していることがわかる。

本発明の第１の実施の形態によれば、ＰＤＰの部分的な不灯箇所の発生を防止するとともに、主放電ギャップを一定に保ち、均一で表示品質に優れた大画面のＰＤＰを実現することができる。

（第２の実施の形態）
以下、本発明の第２の実施の形態におけるＰＤＰの製造方法について説明する。

図７は本発明の第２の実施の形態におけるＰＤＰの製造方法に用いる露光マスクの構成を示す平面図である。本発明の第２の実施の形態におけるＰＤＰの製造方法は、第２露光工程に用いる露光マスクの形状パターンが異なるのみで、他の工程は第１の実施の形態と同じであるので同じ符号を用い説明を省略する。

第２の実施の形態において第１露光工程に用いる露光マスクは、第１の実施の形態で述べた図４に示す露光マスク４０と同一であり、第１露光工程までの製造プロセスは第１の実施の形態と同じである。第２の実施の形態が特徴的なのは、図７に示す露光マスク７０に形成されている表示電極７の電極線５ａに対応する開口部７１ａと、電極線６ａに対応する開口部７２ａとの間隔となるそれぞれの開口部の間隔Ｗ７３を、図４に示す露光マスク４０の開口部４１ａと開口部４２ａとの間隔Ｗ４３よりも大きくしている。さらに、露光マスク７０の開口部７１ａ、７２ａの幅Ｗ７０は、露光マスク４０の開口部４１ａ、４２ａの幅Ｗ４０よりも小さくしている。

図８は第２の実施の形態において表示電極７の露光領域を示す平面図である。図８に示すように、露光マスク４０を用いた第１露光工程による露光領域８１ａ、８２ａに重畳されて、第２露光工程による露光マスク７０による露光領域８１ｂ、８２ｂが形成される。さらに、露光領域８１ｂ、８２ｂは主放電ギャップ８０に対して外側になるように、すなわち露光領域８１ａ、８２ａの外側になるように偏って形成される。

露光マスク４０と露光マスク７０との位置精度は、露光時の温度差による露光マスクやガラス基板の膨張や収縮、あるいは前面ガラス基板や露光マスクに設けたアライメントマークの位置ずれ、アライメントマークの読みとり誤差、機械的な位置合わせ精度などによって決定される。したがって、両者の間には必ず誤差が発生する。例えば露光マスク４０の間隔Ｗ４３と露光マスク７０の間隔Ｗ７３とを同一とした場合には、これらの誤差によって第２露光工程における露光領域が第１露光工程の露光領域の外側にずれると、主放電ギャップ８０を形成する電極線の幅が広くなるとともに、主放電ギャップ８０が狭くなる。

主放電ギャップ８０が狭くなると放電開始電圧が低下し、主放電ギャップ８０が広い部分との間で輝度差が生じるなどの表示特性に悪影響を及ぼす。このため、主放電ギャップ８０のバラツキを可能な限り抑制する必要がある。

このような課題に対しては、第１の実施の形態で述べたように、第２露光工程での露光マスクの開口幅を第１露光工程での露光マスクの開口幅よりも小さくすることによっても解決可能である。しかしながら、露光パターンの開口部の幅が小さすぎると、現像時の現像液の衝撃や焼成時の収縮などによって、表示電極の電極線が断線する場合がある。したがって、本発明の第２の実施の形態における製造方法においては、露光マスク７０の開口部７１ａ、７２ａの開口幅Ｗ７０を２０μｍ以上、望ましくは２５μｍ以上としている。

以上のように、本発明の第２の実施の形態では、露光マスク７０の主放電ギャップ８０に隣接する開口部７１ａ、７２ａ間の間隔Ｗ７３を、露光マスク４０のギャップ部４３に隣接する開口部４１ａ、４２ａ間の間隔Ｗ４３よりも大きくすることで、露光マスクの位置合わせに誤差が生じても主放電ギャップ８０の間隔を同一にすることができるようにしている。

なお、このようにすることで、主放電ギャップ８０の間隔を同一にすることはできるが、図８（ｂ）に示すように、第２露光工程の露光領域８２ｂの一部が第１露光工程による露光領域８２ａの外部にずれて、電極線の幅を大きくする場合がある。しかし、電極線の幅に誤差が発生しても、主放電ギャップ８０の間隔は変化せず、さらに電極線の幅が変動するのは電極線の片方のみであるため表示特性に与える影響は軽微である。

以上、本発明の第２の実施の形態におけるＰＤＰの製造方法によれば、露光マスクの付着物に起因する表示電極パターンの欠陥を修復し、断線の発生を抑止することができるとともに、主放電ギャップを一定に保ち、表示品質に優れたＰＤＰを実現できる。

（第３の実施の形態）
図９は、本発明の第３の実施の形態における走査電極と維持電極との構成の詳細を示す平面図である。図９に示すように、走査電極９７は延伸された主電極９１と主電極９１に接続された２本の接続電極９２ａ、９２ｂと、この２本の接続電極９２ａ、９２ｂの両端に接続された主放電電極９３とより構成され、放電セル９０内で台形の枡形形状を構成している。一方、維持電極９８は延伸された主電極９４と主電極９４に接続された２本の接続電極９５ａ、９５ｂと、この２本の接続電極９５ａ、９５ｂの両端に接続された主放電電極９６とにより構成され、同じく放電セル９０内で台形の枡形形状を構成している。走査電極９７の主放電電極９３と維持電極９８の主放電電極９６とは一対となって対向して配置され、主放電ギャップＷ９０を形成している。これら一対の電極で表示電極を形成し、隔壁１３に仕切られた放電セル９０内に配置するように設けられている。このような構成の電極は、図２に示す構成の電極に比べ、隣接する放電セル間の誤放電を抑制しやすい、あるいは放電セルの開口率を増加させて輝度を向上させることができるなどの特徴を有している。

図１０、図１１は本発明の第３の実施の形態におけるＰＤＰの製造方法に用いる露光マスクの構成を示す平面図であり、図１０は第１露光工程に用いる露光マスクを示し、図１１は第２露光工程に用いる露光マスクを示す。図１０に示すように、第１露光工程で用いる露光マスク１００は、図９に示す走査電極９７と維持電極９８と同等な形状の露光パターンを有している。すなわち、走査電極９７の主電極９１、接続電極９２ａ、９２ｂ、主放電電極９３に対応する開口部１０１、１０２ａ、１０２ｂ、１０３と、維持電極９８の主電極９４、接続電極９５ａ、９５ｂ、主放電電極９６に対応する開口部１０４、１０５ａ、１０５ｂ、１０６を有している。したがって、まず、この露光マスク１００によって露光を行い、次に図１１に示す露光マスク１１０によって露光を行う。

図１１に示すように、第２露光工程に用いる露光マスク１１０には、図９に示す電極パターンのうちの走査電極９７の接続電極９２ｂと主放電電極９３に対応する開口部１１２ｂと開口部１１３が設けられ、維持電極９８の接続電極９５ｂと主放電電極９６に対応する開口部１１５ｂと開口部１１６が設けられている。

本発明の第３の実施の形態における電極構成の特徴として、主電極９１、９４に接続された接続電極９２ａ、９２ｂのうちのどちらか一方、あるいは接続電極９５ａ、９５ｂのうちのどちらか一方が断線したとしても、主放電電極９３、９６での放電がなされ表示特性に顕著な影響を与えない。そこで、第３の実施の形態では、２本ある接続電極のうちの片側の断線を防止するように、第２露光工程において露光マスク１１０を用いて露光を行い、接続電極９２ｂと接続電極９５ｂの断線を保障するものである。なお、ここで、露光マスク１１０に設けられた開口部１１２ｂ、１１３、１１５ｂ、１１６の開口幅は、第１および第２の実施の形態で述べたのと同様に、露光マスク１００の対応する開口部の幅よりも小さくしている。このようにすることにより接続電極９２ｂ、９５ｂの断線を防止し、不灯などの画像表示不良を抑制することができる。

また、さらに、主放電電極９３、９６に対応する露光マスク１１０の開口部１１３、１１６の間隔を、露光マスク１００の開口部１０３、１０６の間隔よりも大きくすることによって第１および第２の実施の形態と同様に主放電電極の放電ギャップを一定とし、放電開始電圧の変動を抑制して安定した画像表示特性を実現できる。

以上、本発明の第３の実施の形態におけるＰＤＰの製造方法によれば、露光マスクの付着物に起因する電極の欠陥を修復し、断線の発生を抑止することができる。したがって、ＰＤＰの部分的な不灯箇所の発生を防止し、表示品質に優れた大画面のＰＤＰを実現することができる。

本発明のＰＤＰの製造方法によれば、不灯などのない高品質な表示性能を実現し、壁掛けテレビや大型モニターなどの高輝度、高精細度のディスプレイ装置として有用である。

本発明の第１の実施の形態におけるＰＤＰの製造方法によるＰＤＰの構造を示す斜視図 同ＰＤＰの製造方法による走査電極と維持電極との構成の詳細を示す平面図 同ＰＤＰの製造方法による前面パネルの製造工程を示すフローチャート 同ＰＤＰの製造方法の第１露光工程に用いる露光マスクの構成を示す平面図 同ＰＤＰの製造方法の第２露光工程に用いる露光マスクの構成を示す平面図 同ＰＤＰの製造方法の表示電極を形成する際の露光プロセス工程の詳細を示す図 本発明の第２の実施の形態におけるＰＤＰの製造方法の第２露光工程に用いる露光マスクの構成を示す平面図 同ＰＤＰの製造方法による表示電極の露光領域を示す平面図 本発明の第３の実施の形態におけるＰＤＰの製造方法の走査電極と維持電極との構成の詳細を示す平面図 同ＰＤＰの製造方法の第１露光工程に用いる露光マスクの構成を示す平面図 同ＰＤＰの製造方法の第２露光工程に用いる露光マスクの構成を示す平面図

符号の説明

１ プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）
２ 前面パネル
３ 背面パネル
４ 前面ガラス基板
５，９７ 走査電極
５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ （走査電極）電極線
６，９８ 維持電極
６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ （維持電極）電極線
７ 表示電極
８ 誘電体膜
９ 保護膜
１０ 背面ガラス基板
１１ データ電極
１２ 下地誘電体膜
１３ 隔壁
１４ 蛍光体膜
２０，９０ 放電セル
２１，８０ 主放電ギャップ
４０，５０，７０，１００，１１０ 露光マスク
４１ａ，４１ｂ，４１ｃ，４１ｄ，４２ａ，４２ｂ，４２ｃ，４２ｄ，５１ａ，５２ａ，７１ａ，７２ａ，１０１，１０２ａ，１０２ｂ，１０３，１０４，１０５ａ，１０５ｂ，１０６，１１２ｂ，１１３，１１５ｂ，１１６ 開口部
４３ ギャップ部
６０ 黒色電極層
６１ Ａｇ電極層
６２ 電極層
６３ ガラス基板
６４，６７ 遮光層
６５，６８ ダスト
６６ 紫外線
６９ 未露光部
８１ａ，８１ｂ，８２ａ，８２ｂ 露光領域
９１，９４ 主電極
９２ａ，９２ｂ，９５ａ，９５ｂ 接続電極
９３，９６ 主放電電極

Claims (7)

1. 主放電ギャップを挟んで配置された走査電極と維持電極とを備え、前記走査電極と前記維持電極が複数の電極線により形成されたプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
   前記電極線をフォトリソグラフィ法を用いて形成する際に、前記フォトリソグラフィ法の露光工程が前記複数の電極線のうちの少なくとも一つを露光パターンの異なる露光マスクを用いて複数回露光する工程であることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
2. 前記露光工程は、少なくとも前記走査電極と前記維持電極の形状パターンの露光マスクにより露光を行う第１露光工程と、前記主放電ギャップを形成する電極線のみの形状パターンの露光マスクにより露光を行う第２露光工程とよりなることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
3. 前記第２露光工程における前記主放電ギャップを形成する電極線の露光マスクの開口部の幅が、前記第１露光工程における前記主放電ギャップを形成する電極線の露光マスクの開口部の幅よりも小さいことを特徴とする請求項２に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
4. 前記第２露光工程における前記主放電ギャップを形成する電極線の露光マスクの開口部の間隔が、前記第１露光工程における前記主放電ギャップを形成する電極線の露光マスクの開口部の間隔よりも大きいことを特徴とする請求項２または請求項３に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
5. 前記走査電極と前記維持電極とは、延伸された主電極と、放電セルに対応して主放電ギャップを形成する主放電電極と、前記主電極と前記主放電電極とを接続する少なくとも２本の接続電極とを備え、前記露光工程は、少なくとも前記走査電極と前記維持電極の形状パターンの露光マスクにより露光を行う第１露光工程と、前記接続電極のうちの一つの前記接続電極と前記主放電電極との形状パターンの露光マスクにより露光を行う第２露光工程とよりなることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
6. 前記第２露光工程における露光マスクの少なくとも前記主放電電極に対応する開口部の幅が、前記第１露光工程における露光マスクの前記主放電電極に対応する開口部の幅よりも小さいことを特徴とする請求項５に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
7. 前記第２露光工程における前記主放電ギャップを形成する主放電電極に対応する露光マスクの開口部の間隔が、前記第１露光工程における前記主放電ギャップを形成する主放電電極に対応する露光マスクの開口部の間隔よりも大きいことを特徴とする請求項５または請求項６に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。

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