JP2004281389A - プラズマディスプレイパネルの製造方法及びプラズマディスプレイパネル - Google Patents
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Abstract
【解決手段】フォトリソグラフィ法によってプラズマディスプレイパネルの構造物の形成を行うプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、上記プラズマディスプレイパネルの構造物の少なくとも一つは、その形成工程において露光を、露光部22a、24aのパターンが同一で開口幅A、Bが異なる複数のフォトマスク22、24により、フォトマスク毎に露光量を異ならせて行うことを特徴とするものである。
【選択図】図2
Description
2001 FPDテクノロジー大全、株式会社電子ジャーナル、2000年10月25日、p589−594、p601−p603、p604−p607
まず、PDPの構造の一例について説明する。図1は、本発明の一実施の形態に係るPDPの製造方法によって製造される、PDPの概略構成の一例を示す断面斜視図である。
図3は、アドレス電極12を形成する際の工程の別の例の概略の流れを示す図である。
21 感光性Agペースト膜
21a、21b 領域
22 第1のフォトマスク
22a 露光部
22b ダスト
24 第2のフォトマスク
24a 露光部
24b ダスト
Claims (4)
- フォトリソグラフィ法によってプラズマディスプレイパネルの構造物の形成を行うプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、上記プラズマディスプレイパネルの構造物の少なくとも一つは、その形成工程において露光を、露光部のパターンが同一で開口幅が異なる複数のフォトマスクにより、フォトマスク毎に露光量を異ならせて行うことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
- 開口幅の広いフォトマスクによる露光の際の露光量を、開口幅の狭いフォトマスクによる露光の際の露光量よりも大きくすることを特徴とする請求項1に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
- 大きい露光量が、必要な全露光量の2/3程度であることを特徴とする請求項2に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
- フォトリソグラフィ法によって形成された構造物を備えるプラズマディスプレイパネルであって、前記構造物の少なくとも一つは、その露光直後の状態において、パターン形状におけるエッジ部と中央部とで架橋反応の進行度合いが異なり、中央部がエッジ部に対し進行していることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
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