JP2006318852A - プラズマディスプレイパネルの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】プラズマディスプレイパネルに用いられる複数に分割された構成の表示電極において、断線のない信頼性の高い電極およびその製造方法を提供する。
【解決手段】電極線２１１ａ、２１２ａ、２１３ａ、２１４ａ、２１１ｂ、２１２ｂ、２１３ｂ、２１４ｂをフォトリソグラフィ法を用いて形成する際の露光工程が、電極線２１１ａ、２１２ａ、２１３ａ、２１４ａ、２１１ｂ、２１２ｂ、２１３ｂ、２１４ｂのうちの主放電ギャップ２２を形成する電極線２１１ａ、２１１ｂに対応する開口部と主放電ギャップ２２から最も離れた電極線２１４ａ、２１４ｂに対応する開口部とを有する露光マスクを用いた第１露光工程と、主放電ギャップ２２となる電極線２１１ａ、２１１ｂと主放電ギャップ２２から最も離れた電極線２１４ａ、２１４ｂとの間に位置する電極線２１２ａ、２１３ａ、２１２ｂ、２１３ｂに対応する開口部を有する露光マスクを用いた第２露光工程とを含む。
【選択図】図２

Description

本発明は、文字あるいは画像表示用のカラーテレビジョン受像機やディスプレイなどに用いられるプラズマディスプレイパネルの製造方法に関し、特に電極の形成方法に関するものである。

液晶パネルに比べて高速表示が可能であり、かつ、大型化が容易であることから、希ガス放電によって発生する紫外線で蛍光体を励起発光させて画像を表示させるプラズマディスプレイパネル（以下、「ＰＤＰ」と記載する）がカラーテレビジョン受信機や情報表示装置などに使用されている。特に、ＰＤＰはハイビジョン用の大画面表示デバイスとして注目され、そのために高精細化および高輝度化を始めとする表示品質の向上、および信頼性の向上と低コスト化を実現するための開発が盛んである。

一般的に、ＰＤＰはＡＣ駆動の３電極面放電型が主流であって、電極を備えた前面板と背面板とを電極面を対向させて所定の間隔で貼り合わせた構造となっている。前面板は、ガラス基板と、その一方の主面上に形成された一対の表示電極と、この表示電極を被覆して電荷を蓄積するコンデンサとしての働きをする誘電体膜と、この誘電体膜上に形成されたＭｇＯ保護膜とで構成されている。

また、背面板は、ガラス基板と、その一方の主面上に形成されたストライプ状のデータ電極と、このデータ電極を覆う誘電体膜と、その上に形成された隔壁と、各隔壁によって形成された放電セル内に塗布された赤色、緑色および青色にそれぞれ発光する蛍光体層とで構成されている。

前面板と背面板とはその電極形成面側を対向させて気密封着され、隔壁によって形成された放電セル空間にはＮｅ−Ｘｅなどの放電ガスが４００Ｔｏｒｒ〜６００Ｔｏｒｒの圧力で封入されている。一対の表示電極間に映像信号電圧を選択的に印加することによって放電ガスを放電させ、それによって発生した紫外線が各色蛍光体層を励起して赤色、緑色、青色の各色を発光させることによりカラー画像を表示している。

このような構成のＰＤＰにおいては、表示電極およびデータ電極には高い形状精度と位置精度が要求される。そのための電極形成方法としては、金属材料などの導電性粉末を感光性樹脂に分散させてなる導電性ペーストをガラス基板面に塗布し、この塗布膜を電極パターンを備えた露光マスクを用いて露光し、その後、現像処理することによってパターニングする製造方法が提案されている（例えば、非特許文献１参照）。

また、ＰＤＰの低コスト化を狙いとして、透明電極と金属バス電極からなる表示電極に代えて、網目状の金属電極だけで構成する表示電極が開示されている（例えば、特許文献１参照）。
特開２００２−１５０９５１号公報 ２００１ ＦＰＤテクノロジー大全、株式会社電子ジャーナル、２０００年１０月２５日、ｐ５８９−ｐ５９４、ｐ６０１−ｐ６０３、ｐ６０４−ｐ６０７

透明電極を用いずに網目状の金属電極だけで表示電極を構成するＰＤＰは、透明電極を有するＰＤＰに比べて低コスト化は実現されるが、以下のような課題を有していた。

すなわち、これらの金属電極だけで構成する表示電極は開口率を高める必要性から、微細な細線構造となる。そのために、電極の断線が発生しやすく、これらの断線によって不灯現象や輝度低下などが発生する。これらの不灯現象の発生は特に白色を背景とする画像の表示品質を低下させる。

表示電極の断線は、表示電極をフォトリソグラフィ法によって形成する際の露光工程における露光マスクへの異物の付着によって発生する。紫外線露光によってパターン形成をする際に、被露光部を次の現像工程において残存させるネガ型露光方式を用いた場合、露光マスクは表示電極を形成する電極線を被露光部とするように開口部が形成されている。この露光マスクの開口部に露光される電極線幅以上の大きさの異物が付着した場合、異物によって紫外線が遮蔽されるために、その後の現像工程で異物の存在した部分で電極線が除去されてしまう。また、これらの露光マスクに付着した異物などによって生じる表示電極の断線は、同一の露光マスクを用いて量産するために、複数のＰＤＰに連続して発生し、歩留まりを低下させるといった課題を有している。

さらに、細線構造の金属電極のみで表示電極を形成する場合には、開口率を上げるためにそれぞれの電極線幅が４０μｍ程度と小さくなる。電極線幅が小さくなるほど、サイズの小さい異物でも電極の断線を引き起こす。また、電極が細くなるに伴って、現像時に電極が剥離しやすくなり断線が起こることもある。電極線が断線したり、主放電ギャップの間隔が変わると、断線部を含む放電セルの不灯や点滅だけでなく放電開始電圧が上昇するなどの表示欠陥をも発生させるといった課題を有している。

本発明は、このような課題を解決して、露光マスクに付着した異物の影響を低減して表示電極の断線などの不良を防止し、表示品質の高いＰＤＰを実現できるＰＤＰの製造方法を提供することを目的としている。

上述したような課題を解決するために、本発明は、主放電ギャップを挟んで配置された走査電極と維持電極とを備え、走査電極と維持電極が複数の電極線により形成されたＰＤＰの製造方法であって、電極線をフォトリソグラフィ法を用いて形成する際の露光工程が、電極線のうちの主放電ギャップを形成する電極線に対応する開口部と主放電ギャップから最も離れた電極線に対応する開口部とを有する露光マスクを用いた第１露光工程と、主放電ギャップとなる電極線と主放電ギャップから最も離れた電極線との間に位置する電極線に対応する開口部を有する露光マスクを用いた第２露光工程とを含んでいる。

このような製造方法によれば、露光マスクへの異物の付着に起因する表示電極の断線を抑止することができ、表示品質の優れたＰＤＰを製造することができる。

また、本発明は、主放電ギャップを挟んで配置された走査電極と維持電極とを備え、走査電極と維持電極が複数の電極線により形成されたプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、電極線をフォトリソグラフィ法を用いて形成する際の露光工程が、走査電極と維持電極の電極線に対応する開口部を有する露光マスクを用いた第１露光工程と、主放電ギャップから最も離れた電極線に対応する開口部を有する露光マスクを用いた第２露光工程とを含んでいる。

このような製造方法によれば、主放電ギャップから最も離れたところに位置する電極線が露光マスクに付着した異物によって断線する可能性を抑制する効果も得られ、ＰＤＰの部分的な不点灯箇所の発生を防止できるとともに、均一で表示品質の優れた大画面のＰＤＰを実現することができる。

さらに、第２露光工程に用いる露光マスクの主放電ギャップから最も離れた電極線に対応する開口部の中心間距離を、第１露光工程に用いる露光マスクの主放電ギャップから最も離れた電極線に対応する開口部の中心間距離よりも小さくすることが望ましく、露光マスクの付着物に起因する表示電極の電極線の断線の影響を取り除き、隣接する放電セルに対して表示電極の間隔を一定に保つことができる。

さらに、第１露光工程に用いる露光マスクの主放電ギャップから最も離れた電極線に対応する開口部の幅が、第２露光工程に用いる露光マスクの主放電ギャップから最も離れた電極線に対応する開口部の幅よりも大きいことが望ましく、露光マスクの付着物に起因する電極線の断線の影響を取り除き、主放電ギャップを一定に保ち、かつ露光マスクの位置合わせの誤差による輝度の低下を防止することができる。

さらに、第１露光工程の露光マスクと第２露光工程の露光マスクとの少なくとも一方が、走査電極および維持電極を構成する複数の電極線のうち隣り合う電極線を接続する複数の接続電極用の開口部を有することが望ましい。このような構成により、各電極線を短絡して、各電極線に給電する経路を構成することができる。

本発明によれば、電極の形成をフォトリソグラフィ法により行うＰＤＰの製造方法において、電極における断線の発生を防止し、高品質なＰＤＰを実現することができる。

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。

（第１の実施の形態）
図１は本発明の第１の実施の形態におけるＰＤＰの製造方法によるＰＤＰの構造を示す斜視図である。また、図２は同ＰＤＰの表示電極の構成を示す平面図、図３は前面板の製造工程を示すフローチャート、図４および図５は表示電極の形成に用いる露光マスクの構成を示す平面図である。

本発明の第１の実施の形態におけるＰＤＰの基本構造は、一般的な交流面放電型ＰＤＰと同様である。図１に示すように、ＰＤＰ１は前面ガラス基板３などよりなる前面板２と、背面ガラス基板１１などよりなる背面板１０とが対向して配置され、その外周部をガラスフリットなどからなる封着材によって気密封着されている。封着されたＰＤＰ１内部の放電空間１６には、ネオン（Ｎｅ）およびキセノン（Ｘｅ）などの放電ガスが４００Ｔｏｒｒ〜６００Ｔｏｒｒの圧力で封入されている。

前面板２のガラス基板３上には、走査電極４および維持電極５よりなる一対の帯状の表示電極６とブラックストライプ（遮光層）７が互いに平行にそれぞれ複数列配置されている。走査電極４および維持電極５はそれぞれ４本の電極線により形成されるが、図１では図面を簡単にするためにそれぞれ１本のラインで表している。また、前面ガラス基板３上には表示電極６と遮光層７とを覆うようにＰｂ−Ｂ系ガラスなどからなりコンデンサとしての働きをする誘電体層８が形成され、さらにその表面に酸化マグネシウム（ＭｇＯ）などからなる誘電体保護層９が形成されている。

また、背面板１０の背面ガラス基板１１上には、走査電極４および維持電極５と直交する方向に、複数の帯状のデータ電極１２が互いに平行に配置され、これを誘電体層１３が被覆している。さらに、データ電極１２間の誘電体層１３上には放電空間１６を区切る所定の高さの隔壁１４が形成されている。隔壁１４間の溝にデータ電極１２毎に、順次紫外線によって赤色、青色および緑色にそれぞれ発光する蛍光体層１５が塗布されている。走査電極４および維持電極５とデータ電極１２とが交差する位置に放電セルが形成され、表示電極６方向に並んだ赤色、青色、緑色の蛍光体層１５を有する放電セルがカラー表示のための画素になる。

次に、図２〜図５により本発明の第１の実施の形態におけるＰＤＰの製造方法について説明する。図２はＰＤＰの表示電極の構成を示す平面図であり、ＰＤＰ１を表示面側からみた場合の表示電極６を構成する走査電極２１ａ、維持電極２１ｂ、主放電ギャップ２２、隔壁２３ａ、２３ｂ、２３ｃの形状および配置を示している。表示電極２１は走査電極２１ａおよび維持電極２１ｂからなり、それぞれの電極は４本の細い電極線により構成されている。すなわち走査電極２１ａは電極線２１１ａ、２１２ａ、２１３ａ、２１４ａの４本の電極線で電極を形成し、維持電極２１ｂは電極線２１１ｂ、２１２ｂ、２１３ｂ、２１４ｂの４本の電極線で電極を形成している。したがって、主放電ギャップ２２は電極線２１１ａと電極線２１１ｂとによって形成される。表示電極２１と隔壁２３で囲まれた破線で領域が一つの放電セル２４を形成している。

また、これら４本の分割されたストライプ状の電極線に加えて、隣接する電極線同士を接続する接続電極２５ａ、２５ｂが設けられている。接続電極２５ａ、２５ｂはそれぞれランダムに設けられている。例えば、図２では走査電極２１ａを構成する４本のうちの隣り合う電極線２１１ａと電極線２１２ａは接続電極２５１ａにより接続され、同様に電極線２１２ａと２１３ａは接続電極２５２ａ、電極線２１３ａと２１４ａは接続電極２５３ａによりそれぞれ接続されている。維持電極２１ｂについても同様である。

図３は前面板の製造工程を示すフローチャートである。まず、フロート法などにより製造された高歪点ガラスなどのガラス基板３を準備する。次に示すフォトリソグラフィ法により表示電極２１（６）を形成し、その後、遮光層７を形成する。これらの表示電極２１（６）と遮光層７を覆って誘電体層８を形成し、さらに真空蒸着法などによって誘電体保護層９を形成する。

次に、本発明の特徴であるフォトリソグラフィ法を用いた表示電極２１（６）の形成方法について説明する。表示電極２１の材料となる黒色電極材料を含む感光性黒色電極ペーストをガラス基板３上にスクリーン印刷法などにより均一に塗布した後、１００℃程度の温度で乾燥させることで、感光性黒色電極ペースト膜を形成する。なお、黒色電極ペーストは、Ｃｏ、Ｃｒ、Ｃｕ、Ｆｅ、Ｍｎ、Ｎｉ、Ｒｕなどを構成元素として含む金属酸化物からなる黒色無機顔料や低軟化点ガラスフリット、溶剤、光重合開始剤、反応性モノマー、バインダー樹脂などからなる。黒色電極ペースト膜上に感光性Ａｇ電極ペーストをスクリーン印刷法などにより均一に塗布し、再度１００℃程度の温度で乾燥させることで、感光性Ａｇ電極ペースト膜を形成する。なお、感光性Ａｇ電極ペーストは、Ａｇ粒子、低軟化点ガラスフリット、溶剤、光重合開始剤、反応性モノマー、バインダー樹脂などから構成される。

その後、第１露光工程と第２露光工程の２回の露光を行い、表示電極２１（６）の走査電極２１ａ（４）と維持電極２１ｂ（５）とを形成する複数の電極線領域に露光を行う。その後、露光された領域以外を除去する現像処理を行い、残った電極線を形成している黒色電極層とＡｇ電極層とを同時に焼成して固化し、走査電極２１ａ（４）と維持電極２１ｂ（５）よりなる表示電極２１（６）を形成する。

図４、図５は本発明の第１の実施の形態におけるＰＤＰの製造方法に用いる露光マスクの構成を示す平面図であり、図４は第１露光工程に用いる露光マスクを示し、図５は第２露光工程に用いる露光マスクを示す。図４、図５に示す露光マスクはいわゆるネガ型の露光マスクであり、本発明の実施の形態の説明ではこのネガ型の露光マスクを用いた例について説明する。露光マスクは、ガラス基板に、例えばＣｒなどの遮光膜を真空プロセスを用いて形成し、エッチング処理によって露光紫外線が透過するように遮光膜の一部を除去して開口部を形成している。

図４に示す第１露光工程に用いる露光マスク３０には、４本に分割された表示電極２１のうちの、主放電ギャップ２２を形成する電極線２１１ａ、２１１ｂに対応する開口部３１１ａ、３１１ｂと、主放電ギャップ２２から最も離れた電極線２１４ａ、２１４ｂに対応する開口部３１４ａ、３１４ｂが設けられている。さらに、これらのストライプ状の開口部に加えて、電極線間を接続するための接続電極２５ａ、２５ｂに対応する開口部３５１ａ、３５２ａ、３５３ａ、３５１ｂ、３５２ｂ、３５３ｂがランダムに設けられている。なお、露光マスク３０の開口部３１１ａ、３１１ｂ、３１４ａ、３１４ｂの幅は露光パターンのデザイン、各露光マスクの位置決め精度、感光性材料の焼成時の収縮率などを考慮し、焼成後に形成される電極線の幅が所定の幅になるように任意に設定されるが、本実施の形態では４０μｍとしている。

図５に示す第２露光工程に用いる露光マスク４０には、図２に示す走査電極２１ａと維持電極２１ｂを形成するそれぞれの４本の電極線のうちの、主放電ギャップ２２を形成する電極線と主放電ギャップから最も離れた電極線との間に位置する２本の電極線の開口部が設けられている。すなわち、走査電極２１ａの電極線２１２ａ、２１３ａに対応する開口部４１２ａ、４１３ａと、維持電極２１ｂの電極線２１２ｂ、２１３ｂに対応する開口部４１２ｂ、４１３ｂが設けられている。なお、露光マスク４０の開口部４１２ａ、４１３ａ、４１２ｂ、４１３ｂの幅は４０μｍとしている。

このように、２回の露光工程を経た後、現像処理することにより図２に示す電極線のパターンを形成し、６００℃程度の温度で焼成してペースト中の有機成分を除去するとともにガラスフリットを溶融させて固化させ表示電極２１を形成する。また、前面板２のその他の製造工程、および背面板の製造工程は、従来の一般的な方法により行う。

このような、表示電極２１の形成方法における作用効果を露光工程について詳細に説明する。図６は、露光工程の詳細を説明する図である。まず図６（ａ）に示すように、表示電極２１の材料となる感光性ペースト膜６０を前面ガラス基板３上に形成している。感光性ペースト膜６０は感光性黒色電極ペースト膜６１と、感光性黒色電極ペースト膜６１上に形成されたＡｇ材料を有する感光性Ａｇ電極ペースト膜６２より構成されている。

次に図６（ｂ）に示すように、電極２１１ａ、２１４ａ、２１１ｂ、２１４ｂをフォトリソグラフィ法により得るための露光パターンを備える露光マスク３０を、所定の位置に位置合わせして設置する。図６（ｂ）中では、露光マスク３０における白抜き部分が開口部３１１ａ、３１４ａ、３１１ｂ、３１４ｂである。また、本発明の効果を説明するために、露光マスク３０にはダスト６３が付着した状態を示している。

この状態で、図６（ｃ）に示すように、感光性ペースト膜６０に超高圧水銀ランプによる紫外光６４を照射し、感光性ペースト膜６０に露光領域６５を形成する。ここで、露光マスク３０の開口部の一部にはダスト６３が付着しているため、感光性ペースト膜６０のダスト６３に対応する領域は感光されない。

次に、図６（ｄ）に示すように、電極２１２ａ、２１３ａ、２１２ｂ、２１３ｂをフォトリソグラフィ法により得るための露光パターンを備える露光マスク４０を、所定の位置に位置合わせして設置する。図６（ｄ）中では、露光マスク４０における白抜き部分が開口部４１２ａ、４１３ａ、４１２ｂ、４１３ｂである。また、露光マスク４０にもダスト６６が付着しているものとする。露光マスク４０にダスト６６が付着していたとしても、それが露光マスク３０に付着していたダスト６３と同じ位置になる確率は非常に小さい。すなわち、図６（ｃ）に示すように、露光マスク３０にダスト６３が付着していることで、第１露光工程の露光において感光性ペースト膜６０の、ダスト６３に対応する領域が感光されなくても、露光マスク４０を用いた第２露光工程には、感光性ペースト膜６０上でのダスト６６に対応する領域は、ダスト６３と対応する領域とは異なる可能性が非常に高い。したがって、第１露光工程で感光しなかったパターンに隣接するパターンは、第２露光工程の露光により感光することとなる。また、第２露光工程の際に、新たに、ダスト６６により露光が遮られ感光しない領域が発生するが、その領域近傍のパターンは既に第１露光工程の露光により感光している。

すなわち、感光性ペースト膜６０に対して、露光マスクを交換することによって同じ箇所にダストが位置するという確率は非常に小さくなる。そのため、露光マスク３０、４０に付着したダスト６３、６６により露光が遮られることで未感光となっても表示電極が完全に断線することを防ぐことができる。

したがって、走査電極２１ａ（４）と維持電極２１ｂ（５）とをそれぞれ複数の電極線で形成して、それらの電極線に接続部を部分的に設けた表示電極においては、第１露光工程の露光マスク３０に付着した異物により未露光部が生じたとしても、第２露光工程があるため、未露光部に隣接する電極線２１２ａ、２１３ａ、２１２ｂ、２１３ｂは露光される。そのため、現像処理によって分割された電極線の全てが断線することはなく、また、一部で断線が生じたとしても、接続電極２５ａ、２５ｂを通じて隣接する電極線から給電されるため、電極としての機能を完全に失うことはない。

一方、第２露光工程の露光マスク４０に付着した異物により未露光部が生じたとしても、第１露光工程において既に電極パターン２１１ａ、２１４ａ、２１１ｂ、２１４ｂが露光されている。そのため、現像処理によって分割された電極線の全てが断線することはなく、また、一部で断線が生じたとしても、接続電極２５ａ、２５ｂを通じて隣接する電極線から給電されるため、電極としての機能を完全に失うことはない。

なお、上述の説明では、第１露光工程の露光マスクとして図４に示した露光マスク３０を用いて、第２露光工程の露光マスクとして図５に示した露光マスク４０を用いたが、第１露光工程に露光マスク４０を用いて、第２露光工程に露光マスク３０を用いても同様の効果が得られる。

なお、露光マスクに付着したダストなどの影響を抑制するために、複数の露光工程を同一の露光マスクで繰り返す方法もあるが、この場合には、位置ずれや線幅の管理が重要となる。

本実施の形態では、第１露光工程での露光域と、第２露光工程での露光域が異なるため、位置ずれや線幅仮による線幅の変動は生じない。また、第１露光工程で主放電ギャップに隣接する電極線と主放電ギャップから最も離れた電極線を一度に露光するため、主放電ギャップの変動に伴う、放電開始電圧の変化や、隣接する放電セルとの距離の変化による隣接放電セルとの誤放電も起こり得ない。一方、第１露光工程と第２露光工程との間の位置合わせ誤差により、例えば、電極２１１ａと電極２１２ａとの間の距離が変化することがあるが、この変化が１０μｍ〜１５μｍ程度以下であれば表示特性に大きな影響を与えることはなく、通常は特に不具合が生じることがないことを確認している。

以上の方法によりＰＤＰを製造することにより、露光マスクに起因した表示電極の断線発生を抑制することができる。

（第２の実施の形態）
図７および図８は本発明の第２の実施の形態におけるＰＤＰの製造方法による露光マスクの構成を示す平面図である。本発明の第２の実施の形態は、露光工程を除き本発明の第１の実施の形態と略同じであり、同じ符号を用い説明を省略する。

以下、本発明の第２の実施の形態におけるＰＤＰの製造方法について説明する。

図７、図８に示すように、本発明の第２の実施の形態では、図２に示す表示電極２１の電極パターンに対応する開口部を有する露光マスク７０と、主放電ギャップ２２から最も離れた位置にある電極線２１４ａ、２１４ｂに対応する開口部８１４ａ、８１４ｂのみを有する露光マスク８０とにより２回の露光を行い、表示電極２１を形成する。露光マスク７０、８０の開口部の幅はいずれも４０μｍである。

この方法によると、主放電ギャップ２２から最も離れたところに位置する電極線２１４ａ、２１４ｂは露光マスク７０と露光マスク８０とにより２回露光されるため線幅が大きくなる可能性がある。しかし、放電による発光強度は主放電ギャップ２２で最も強く、主放電ギャップ２２からの距離が増大するほど発光強度は急激に低下する。したがって、露光マスク７０と露光マスク８０との位置合わせ誤差に伴う輝度低下は最小限に抑えることができるとともに、主放電ギャップ２２から最も離れたところに位置する電極線２１４ａ、２１４ｂが露光マスクに付着した異物によって断線する可能性を抑制する効果も得られる。

また、主放電ギャップ２２から最も離れたところに位置する電極線２１４ａ、２１４ｂ以外の電極線は露光が１回だけであるため、露光マスク７０に付着した異物による断線が発生する可能性はあるが、接続電極２５ａ、２５ｂを通って給電されるため電極としての機能を完全に失うことはない。

なお、本発明の第２の実施の形態では、分割された電極線を接続する接続電極に対応する開口部は露光マスク７０に配置されているが、露光マスク８０に設けたり、露光マスク７０と露光マスク８０の両方に配置することも可能である。さらに、本発明の第２の実施の形態によれば、複数の電極線よりなる走査電極２１ａと維持電極２１ｂへの給電線を主放電ギャップから最も離れた位置にある電極線２１４ａ、２１４ｂとする場合に、その電極線の断線を防止することによって走査電極２１ａ、維持電極２１ｂへの安定給電を実現することができる。したがって、ＰＤＰの部分的な不点灯箇所の発生を防止し、均一で表示品質に優れた大画面のＰＤＰを実現することができる。

（第３の実施の形態）
図９は本発明の第３の実施の形態におけるＰＤＰの製造方法による表示電極の構成を示す平面図であり、図１０はその表示電極を形成するための第１露光工程に用いる露光マスクの構成を示す平面図である。また、本実施の形態でも露光工程は２回行うが、第１露光工程を図１０に示す露光マスク１００で行い、第２露光工程は第２の実施の形態で述べた図８に示す露光マスク８０を用いている。

図９に示すように、ＰＤＰの表示電極９１を形成する走査電極９１ａと維持電極９１ｂとは複数の電極線により形成され、主放電ギャップ９２から最も離れたところに位置する電極線９１４ａ、９１４ｂの線幅をそれ以外の電極線の線幅よりも大きくしている。したがって、第１露光工程に用いる図１０に示す露光マスク１００は、全体が表示電極９１の形状の開口部を有しているとともに、主放電ギャップ９２から最も離れたところに位置する電極線９１４ａ、９１４ｂに対応する開口部１０１４ａ、１０１４ｂの開口幅Ｗ１を他の電極線に対応する開口部の開口幅Ｗ２よりも大きくしている。なお、第２露光工程で用いる露光マスクは図８で示す露光マスク８０であり、主放電ギャップ９２から最も離れたところに位置する電極線９１４ａ、９１４ｂに対応する開口部８１４ａ、８１４ｂの開口幅Ｗ３は、第１露光工程で露光マスク１００の他の電極線に対応する開口部の開口幅Ｗ２と同等としている。

このように、露光マスク１００の開口部１０１４ａ、１０１４ｂに比べて第２露光工程の露光マスク８０の開口部８１４ａ、８１４ｂの開口幅を小さくしているので、露光マスク１００と露光マスク８０との位置合わせマージンが大きくなり、露光マスクの位置合わせ誤差による線幅の変動を抑制することができる。

なお、本発明の第３の実施の形態では、分割された表示電極の電極線を接続する接続電極に対応する開口部を露光マスク１００に設けているが、露光マスク８０あるいは露光マスク１００と露光マスク８０の両方に設けてもよい。

以上、本発明の第３の実施の形態におけるＰＤＰの製造方法によれば、主放電ギャップから最も離れたところに位置する電極線は２回の露光により形成されるので、露光マスクの付着物に起因する電極線の断線の影響を取り除くことができる。また、主放電ギャップを一定に保ち、かつ露光マスクの位置合わせの誤差による輝度の低下を防止することができる。したがって、ＰＤＰの部分的な不点灯箇所の発生を防止し、均一で表示品質に優れた大画面のＰＤＰを効果的に実現することができる。

（第４の実施の形態）
図１１および図１２は本発明の第４の実施の形態におけるＰＤＰの製造方法による露光マスクの構成を示す平面図である。本発明の第４の実施の形態は、露光工程を除き本発明の第１の実施の形態と略同じであり、同じ符号を用い説明を省略する。

以下、本発明の第４の実施の形態におけるＰＤＰの製造方法について説明する。

図１１、図１２に示すように、本発明の第４の実施の形態では、図２に示す表示電極２１の電極パターンに対応する開口部を有する露光マスク１１０と、主放電ギャップ２２から最も離れた位置にある電極線２１４ａ、２１４ｂに対応する開口部１２１４ａ、１２１４ｂのみを有する露光マスク１２０とにより２回の露光を行い、表示電極２１を形成する。露光マスク１１０、１２０の開口部の幅はいずれも４０μｍである。

本発明の第４の実施の形態では、露光マスク１１０の主放電キャップ部１１２から最も離れた開口部１１１４ａ、１１１４ｂの中心間距離Ｗ４よりも、露光マスク１２０における主放電キャップ部から最も離れた電極線に対応する開口部１２１４ａ、１２１４ｂの中心間距離Ｗ５を小さくしている。すなわち、露光マスク１２０を用いた第２露光工程の露光による露光領域が露光マスク１１０を用いた第１露光工程の露光による露光領域よりも内側によるようにしている。

露光時の露光マスクや基板の膨張、収縮、アライメントマークの位置ずれや読みとり誤差、機械的精度などが原因で位置合わせに誤差が生ずると、第１露光工程、第２露光工程において露光領域に位置ずれが発生し、結果として表示電極の各電極線の幅が変動する。電極線幅の変動は、透過率、主放電キャップ、隣接する放電セル間の距離などを変化させ、放電セルの発光効率を低下させるとともに隣接する放電セル間での誤放電などを引き起こし、ＰＤＰの表示特性を低下させることになる。

本発明の第４の実施の形態によれば、開口部１２１４ａと開口部１２１４ｂの中心間距離Ｗ５が、開口部１１１４ａと開口部１１１４ｂとの中心間距離Ｗ４よりも小さくなっており、露光マスク１１０と露光マスク１２０に位置合わせの誤差が生じても、隣接する放電セルとの間隔が変化することがない。

なお、本発明の第４の実施の形態では、分割された表示電極の電極線を接続する接続電極に対応する開口部を露光マスク１１０に設けているが、露光マスク１２０あるいは露光マスク１１０と露光マスク１２０の両方に設けてもよい。

以上、本発明の第４の実施の形態におけるＰＤＰの製造方法によれば、露光マスクの付着物に起因する表示電極の電極線の断線の影響を取り除くことができる。また、主放電ギャップを一定に保つとともに、隣接する放電セルに対して表示電極の間隔を一定に保つことができる。したがって、ＰＤＰの部分的な不点灯や隣接する放電セル間の誤放電の発生を防止し、均一で表示品質に優れた大画面のＰＤＰを効果的に実現することができる。

本発明の製造方法にかかわるＰＤＰは、部分的な不点灯や誤放電などのない高品質な表示性能を実現し、壁掛けテレビや大型モニターなどの高輝度、高精細度のディスプレイ装置として有用である。

本発明の第１の実施の形態におけるＰＤＰの製造方法によるＰＤＰの構造を示す斜視図 同ＰＤＰの表示電極の構成を示す平面図 前面板の製造工程を示すフローチャート 同ＰＤＰの表示電極の形成に用いる第１露光工程の露光マスクの構成を示す平面図 同ＰＤＰの表示電極の形成に用いる第２露光工程の露光マスクの構成を示す平面図 露光工程の詳細を説明する図 本発明の第２の実施の形態におけるＰＤＰの製造方法による第１露光工程の露光マスクの構成を示す平面図 同第２露光工程の露光マスクの構成を示す平面図 本発明の第３の実施の形態におけるＰＤＰの製造方法によるＰＤＰの表示電極の構成を示す平面図 同ＰＤＰの表示電極の形成に用いる第１露光工程の露光マスクの構成を示す平面図 本発明の第４の実施の形態におけるＰＤＰの製造方法によるＰＤＰの表示電極の形成に用いる第１露光工程の露光マスクの構成を示す平面図 同ＰＤＰの表示電極の形成に用いる第１露光工程の露光マスクの構成を示す平面図

符号の説明

１ ＰＤＰ
２ 前面板
３，１１ ガラス基板
４，２１ａ，９１ａ 走査電極
５，２１ｂ，９１ｂ 維持電極
６，２１，９１ 表示電極
７ 遮光層
８，１３ 誘電体層
９ 誘電体保護層
１０ 背面板
１２ データ電極
１４，２３ａ，２３ｂ 隔壁
１５ 蛍光体層
１６ 放電空間
２２，９２ 主放電ギャップ
２４ 放電セル
３０，４０，７０，８０，１００，１１０，１２０ 露光マスク
６０ 感光性ペースト膜
６１ 感光性黒色電極ペースト膜
６２ 感光性Ａｇ電極ペースト膜
６３，６６ ダスト
６４ 紫外光
６５ 露光領域
２５ａ，２５ｂ，２５１ａ，２５２ａ，２５３ａ 接続電極
２１１ａ，２１２ａ，２１３ａ，２１４ａ，２１１ｂ，２１２ｂ，２１３ｂ，２１４ｂ，９１４ａ，９１４ｂ 電極線
３１１ａ，３１１ｂ，３１４ａ，３１４ｂ，３５１ａ，３５２ａ，３５２ｂ，３５３ａ，３５３ｂ，４１２ａ，４１２ｂ，４１３ａ，４１３ｂ，８１４ａ，８１４ｂ，１０１４ａ，１０１４ｂ，１１１４ａ，１１１４ｂ，１２１４ａ，１２１４ｂ 開口部

Claims (5)

1. 主放電ギャップを挟んで配置された走査電極と維持電極とを備え、前記走査電極と前記維持電極が複数の電極線により形成されたプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、前記電極線をフォトリソグラフィ法を用いて形成する際の露光工程が、前記電極線のうちの前記主放電ギャップを形成する電極線に対応する開口部と前記主放電ギャップから最も離れた電極線に対応する開口部とを有する露光マスクを用いた第１露光工程と、前記主放電ギャップとなる電極線と前記主放電ギャップから最も離れた電極線との間に位置する電極線に対応する開口部を有する露光マスクを用いた第２露光工程とを含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
2. 主放電ギャップを挟んで配置された走査電極と維持電極とを備え、前記走査電極と前記維持電極が複数の電極線により形成されたプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、前記電極線をフォトリソグラフィ法を用いて形成する際の露光工程が、前記走査電極と前記維持電極の電極線に対応する開口部を有する露光マスクを用いた第１露光工程と、前記主放電ギャップから最も離れた電極線に対応する開口部を有する露光マスクを用いた第２露光工程とを含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
3. 前記第２露光工程に用いる露光マスクの前記主放電ギャップから最も離れた電極線に対応する開口部の中心間距離が、前記第１露光工程に用いる露光マスクの前記主放電ギャップから最も離れた電極線に対応する開口部の中心間距離よりも小さいことを特徴とする請求項２に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
4. 前記第１露光工程に用いる露光マスクの前記主放電ギャップから最も離れた電極線に対応する開口部の幅が、前記第２露光工程に用いる露光マスクの前記主放電ギャップから最も離れた電極線に対応する開口部の幅よりも大きいことを特徴とする請求項２または請求項３に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
5. 前記第１露光工程の露光マスクと前記第２露光工程の露光マスクとの少なくとも一方が、前記走査電極および前記維持電極を構成する複数の前記電極線のうち隣り合う電極線を接続する複数の接続電極用の開口部を有することを特徴とする請求項１から請求項４のいずれかに記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。

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