KR100837460B1 - 인쇄 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명의 과제는 스크린 인쇄의 인쇄 정밀도를 향상시킬 수 있는 기술을 제공하는 것이다.

인쇄 장치의 스크린 마스크(1)를 마스크 홀더(2)에 고정하는 고정 기구가, 스크린 마스크(1)의 외주 모서리에 있는 프레임(5)의 네 변 중, 스퀴지(9)의 마찰 이동 방향인 화살표(12)를 따라 배치되는 변(51) 및 변(52)과 마스크 홀더(2)를 고정하는 제1 고정 기구와, 프레임(5)의 네 변 중, 화살표(12)와 교차하는 방향을 따라 배치되고, 또한, 마찰 이동 개시 위치로부터 보아, 화살표(12)와 반대 방향에 배치되는 변(53)과, 마스크 홀더(2)를 고정하는 제2 고정 기구로 이루어지도록 구성하는 것이다.

스크린 마스크, 주면, 마스크 홀더, 기판, 인쇄 스테이지, 프레임

Description

인쇄 장치{PRINTING APPARATUS}

도1은 본 발명의 제1 실시 형태의 인쇄 장치의 마스크 홀더에 스크린 마스크를 적재한 상태를 나타내는 사시도.

도2는 도1에 도시하는 스크린 마스크가 적재된 마스크 홀더가 인쇄 실행 위치로 이송된 상태를 나타내는 사시도.

도3은 도2에 도시하는 인쇄 장치의 마스크 홀더와 스크린 마스크를 상면으로부터 본 평면도.

도4는 도2에 도시하는 인쇄 장치의 마스크 홀더와 스크린 마스크를 하면으로부터 본 평면도.

도5는 도3에 나타내는 A-A선을 따라 하면 방향으로 절단한 상태를 나타내는 단면도.

도6은 도3에 나타내는 B-B선을 따라 하면 방향으로 절단한 상태를 나타내는 단면도.

도7은 본 발명의 제1 실시 형태의 인쇄 장치의 마스크 홀더에 스크린 마스크를 적재하는 공정을 나타내는 주요부 단면도.

도8은 본 발명의 제1 실시 형태의 인쇄 장치의 마스크 홀더에 스크린 마스크를 적재하는 위치로부터 인쇄 실행 위치로 이송하는 공정을 나타내는 주요부 단면 도.

도9는 본 발명의 제1 실시 형태의 인쇄 장치의 압출 기구가 동작하고, 인쇄제를 피인쇄물에 전사하는 공정을 나타내는 주요부 단면도.

도10은 본 발명의 제1 실시 형태의 인쇄 장치의 스크린 마스크의 이면을 클리닝하는 공정을 나타내는 주요부 단면도.

도11은 본 발명의 제2 실시 형태의 인쇄 장치의 사시도.

도12는 도11에 도시하는 인쇄 장치의 스퀴지, 마스크 홀더, 및 스크린 마스크를 상면으로부터 본 평면도.

도13은 도12에 나타내는 B-B선을 따라 하면 방향으로 절단한 상태를 나타내는 단면도.

도14는 도12에 나타내는 C-C선을 따라 하면 방향으로 절단한 상태를 나타내는 단면도이다.

도15는 본 발명의 제1 실시 형태의 비교예인 인쇄 장치의 마스크 홀더에 고정된 스크린 마스크를 인쇄 실행 위치로 이송한 후의 상태를 나타내는 평면도.

도16은 본 발명의 제2 실시 형태의 비교예인 상기 제2 고정 기구를 구비하고 있지 않는 인쇄 장치를 이용하여 스크린 인쇄를 행했을 때의 스크린 마스크의 변형 상태를 나타내는 평면도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1 : 스크린 마스크

1a : 주면(제1 주면)

1b : 주면(제2 주면)

2 : 마스크 홀더

3 : 기판(피인쇄물)

3a : 주면

4 : 인쇄 스테이지

5 : 프레임(마스크 프레임)

6 : 내부 천

7 : 외부 천

8 : 스토퍼

9 : 스퀴지(압출 기구)

10 : 가이드 레일

11 : 클램프(제1 고정 기구)

12 : 화살표(제1 방향)

13 : 클리닝 장치

14 : 고정 지그(제2 고정 기구)

51 : 변(제1 변)

52 : 변(제2 변)

53 : 변(제3 변)

54 : 변(제4 변)

100, 101 : 인쇄 장치

[문헌 1] 일본 특허 공개 제2000-202987호 공보

본 발명은 인쇄 기술에 관한 것으로, 특히 스크린 인쇄에 적용하기 유효한 기술에 관한 것이다.

일본 특허 공개 제2000-202987호 공보(특허 문헌 1)에는, 스크린의 장력에 의한 변형량을 적게 한 경량의 스크린 인쇄용의 프레임으로서, 이하의 구조가 기재되어 있다. 알루미늄 합금제의 각관(角管)이며, 사변형으로 조립되어 인쇄용 스크린이 장력을 받은 상태에서 부착되는 스크린 인쇄용 프레임의 내측 코너부에 축 방향의 개구부를 형성하고, 장력을 받은 상태 탄소 섬유 다발(纖維束)을 삽입한다.

이 구성에 따르면, 프레임의 굽힘 응력에 대한 강성이 향상하고, 중력의 증가도 억제되게 되어 있다.

스크린 인쇄라 함은, 잉크 등의 인쇄제를 스퀴징(스퀴지로 인쇄제를 압출하는 것)에 의해 스텐실 스크린을 통과시켜 피인쇄물에 원하는 패턴을 전사하는 공판 인쇄 방식의 일종이고, IC 기판의 회로 배선 형성이나, PDP(Plasma Display Panel) 등의 플랫 디스플레이 패널의 전극 형성, 형광체층 형성 등 다양한 용도로 이용되고 있다.

특히, PDP의 제조 공정 중, 전극 형성 공정이나 형광체층 형성 공정 등에 스크린 인쇄 기술이 적용되지만, 최근 디스플레이의 표시면 사이즈를 대형화하거나, 표시 화상을 고선명화하거나 하기 위해, 대형의 스크린 마스크를 이용하여 고정밀도의 인쇄를 행하는 기술이 요구되고 있다.

본 발명자는 스크린 마스크로 고정밀도의 인쇄를 행하는 기술에 대해 검토를 행하고, 이하의 과제를 발견했다.

고정밀도의 스크린 인쇄를 행하는 위해서는, 소정의 위치 관계로 스크린 마스크와 기판 등의 피인쇄물을 배치하고, 상기 소정의 위치 관계를 고정밀도로 유지하면서 스퀴징을 행하고, 피인쇄물에 전사할 필요가 있다.

그런데, 스크린 인쇄는, 인쇄제를 스퀴징에 의해 스크린 마스크를 통과시켜 피인쇄물에 전사하기 때문에, 스퀴징을 실행하면 스크린 마스크의 이면에 인쇄제의 일부가 부착된다(일반적으로 뒷면 묻어나기라 불림).

뒷면 묻어나기한 인쇄제는 클리닝 장치에 의해 닦아내지지만(일반적으로 뒷면 닦아내기라 불림), 이 뒷면 닦아내기 공정은, 인쇄 실행 위치에서는 행할 수 없기 때문에, 스크린 마스크를 인쇄 실행 위치로부터 클리닝 실행 위치로 이송하여(스크린 마스크의 마스크 프레임이 마스크 홀더에 고정된 상태에서, 상기 마스크 홀더마다 이송함) 실시된다. 뒷면 닦아내기된 스크린 마스크는, 인쇄 실행 위치로 다시 이송되어, 다음의 인쇄가 실행된다.

뒷면 닦아내기는 스퀴징을 1회 내지 수회 정도 행할 때마다 실시되기 때문에, 스크린 마스크는 그때마다 클리닝 실행 위치와 인쇄 실행 위치 사이를 이송된 다.

여기서, 스크린 마스크를 인쇄 작업 실행 위치로 이송하는 공정에서는, 예를 들어 이송용의 가이드 레일 등의 왜곡 등에 기인하여, 마스크 홀더가 변형되는 일이 있다. 마스크 프레임은 마스크 홀더에 고정되어 있기 때문에, 마스크 프레임이 마스크 홀더를 따라 약간 변형된다.

또한, 스퀴징 공정에서는 스퀴지를 스크린 마스크의 상면으로부터 소정의 압박으로 하면 방향으로 누르면서 마스크 프레임의 사각형의 한 변으로부터 반대측의 한 변의 방향을 향해 마찰 이동시킨다.

여기서, 마스크 프레임에는 스퀴지의 마찰 이동 방향을 따라 굽힘 응력이 작용하기 때문에, 마스크 프레임(특히 인쇄 유효 영역에 대응하는 부위)이 약간이기는 하지만 변형되는 일이 있다. 스크린 마스크의 평면 치수가 커질수록, 마스크 프레임의 강성은 작아지므로, 스퀴징에 수반하는 마스크 프레임의 변형량은 스크린 마스크의 평면 치수(특히 스퀴지의 마찰 이동 방향에 교차하는 방향의 치수)에 비례하여 커진다.

마스크 프레임의 변형을 억제하는 수단으로서, 예를 들어 일본 특허 공개 제2000-202987호 공보(특허 문헌 1)에 기재되어 있는 바와 같이, 마스크 프레임을 보강하는 방법이 있다.

그러나, 마스크 프레임을 보강하는 방법만에 의해 상기 마스크 프레임의 변형을 억제하기 위해서는 상당량의 보강재를 마스크 프레임에 삽입해야만 한다. 또한, 스크린 마스크의 평면 치수가 대형화될수록, 상기 마스크 프레임의 강성은 저 하되므로 보강재의 삽입량이 증가하고, 스크린 마스크의 중량이 증대한다.

스크린 마스크의 중량이 증대되면, 스크린 마스크의 교환 작업시 등에, 스크린 마스크의 운반이 곤란해진다. 또한, 인쇄 장치의 기계적 강도를 향상시키기 위해, 장치가 대형화된다는 문제도 생긴다.

상기한 2개의 요인에 의한 마스크 프레임의 변형은, 변형량이 약간이기 때문에, 종래 인식되고 있지 않았다. 그러나, PDP의 표시 화상의 고선명화를 위해 요구되는 인쇄 정밀도를 얻기 위해서는 무시할 수 없다.

즉, 스크린 인쇄의 인쇄 정밀도를 향상시키는 수단으로서, 마스크 프레임에 보강재를 삽입하는 방법만을 이용하는 경우, 원하는 인쇄 정밀도가 얻어지지 않는 일이 있다.

본원 발명의 목적은, 스크린 인쇄의 인쇄 정밀도를 향상시킬 수 있는 기술을 제공하는 것에 있다. 또한, 본원 발명의 다른 목적은, PDP를 고선명화할 수 있는 기술을 제공하는 것에 있다.

본 발명의 상기 및 그 밖의 목적과 신규의 특징은, 본 명세서의 기술 및 첨부 도면으로부터 명백해질 것이다.

본원에 있어서 개시되는 발명 중, 대표적인 것의 개요를 간단히 설명하면, 다음과 같다.

즉, 본 발명은, 인쇄 장치의 스크린 마스크를 마스크 홀더에 고정하는 고정 기구가, 스크린 마스크의 외주 모서리에 있는 마스크 프레임의 네 변 중, 스퀴지의 마찰 이동 방향을 따라 배치되는 제1 변 및 제2 변과 상기 마스크 홀더를 고정하는 제1 고정 기구와,

상기 마스크 프레임의 네 변 중, 상기 마찰 이동 방향과 교차하는 방향을 따라 배치되고, 또한, 상기 마찰 이동 개시 위치로부터 보아, 상기 마찰 이동 방향과 반대 방향에 배치되는 제3 변과, 상기 마스크 홀더를 고정하는 제2 고정 기구로 이루어지도록 구성하는 것이다.

이하의 실시 형태에 있어서는 편의상 그 필요가 있을 때에는, 복수의 섹션 또는 실시 형태로 분할하여 설명하지만, 특히 명시한 경우를 제외하고, 그들은 서로 무관계인 것은 아니고, 한쪽은 다른 쪽의 일부 또는 전부의 변형예, 상세, 보충 설명 등의 관계에 있다.

또한, 이하의 실시 형태에 있어서, 요소의 수 등(개수, 수치, 양, 범위 등을 포함)으로 언급하는 경우, 특히 명시한 경우 및 원리적으로 명백하게 특정의 수로 한정되는 경우 등을 제외하고, 그 특정의 수로 한정되는 것은 아니고, 특정의 수 이상이라도 이하라도 좋다.

본 실시 형태를 설명하기 위한 전체 도면에 있어서 동일 기능을 갖는 것은 동일한 부호를 붙이도록 하고, 그 반복의 설명은 원칙적으로 생략한다. 이하, 본 발명의 실시 형태를 도면을 기초로 하여 상세하게 설명한다.

(제1 실시 형태)

본 제1 실시 형태에서는 본 발명에 관한 스크린 인쇄 기술에 대해, PDP의 기판 표면에 형성된 격벽(방전 공간을 셀마다 구획하기 위한 격벽)으로 구획된 셀 내 에 형광체층을 형성하는 PDP의 제조 공정을 예로서 설명한다.

PDP의 기판 표면에 격벽을 형성하여 방전 공간을 셀마다 구획하는 방법은, 띠형의 격벽(이하 스트라이프 리브)에 의해 구획하는 방법과, 격자형의 격벽(이하 박스 리브)으로 구획하는 방법으로 크게 구별된다.

지금까지, 스트라이프 리브로 구획하는 방법이 일반적이었지만, PDP의 표시 화상을 고선명화하기 위해, 스트라이프 리브의 배치 피치는 짧아지고, 또한, PDP의 휘도를 향상시키는 등의 목적으로, 박스 리브로 구획하는 방법을 채용하는 케이스가 증가하고 있다.

도1은 본 제1 실시 형태의 인쇄 장치의 마스크 홀더에 스크린 마스크를 적재한 상태를 나타내는 사시도, 도2는 도1에 도시하는 스크린 마스크를 적재한 마스크 홀더가 인쇄를 실행하는 위치로 이송된 상태를 나타내는 사시도, 도3은 도2에 도시하는 스크린 마스크와 마스크 홀더를 상면으로부터 본 평면도, 도4는 도2에 도시하는 스크린 마스크와 마스크 홀더를 하면으로부터 본 평면도, 도5는 도3에 나타내는 A-A선을 따라 하면 방향으로 절단한 상태를 나타내는 주요부 단면도, 도6은 B-B선을 따라 하면 방향으로 절단한 상태를 나타내는 주요부 단면도이다.

도1에 있어서, 인쇄 장치(100)는 스크린 마스크(1)와, 스크린 마스크(1)를 담지하는 마스크 홀더(2)와, 한쪽의 주면에 예를 들어 박스 리브가 형성된 기판(피인쇄물)(3)을 적재하는 인쇄 스테이지(4)를 갖고 있다.

도5에 도시하는 바와 같이, 스크린 마스크(1)는 서로 반대측에 위치하는 상부 주면(제1 주면)(1a)과 하부 주면(제2 주면)(1b)을 갖고, 외주 모서리에 프레 임(5)(마스크 프레임)을 구비하고 있다. 또한, 스크린 마스크(1)는 인쇄제를 상부 주면(1a)으로부터 하부 주면(1a) 방향으로 통과시키는 구멍부가 원하는 패턴으로 형성된 내부 천(6)과, 내부 천(6)을 프레임(5)의 방향으로 긴장시키는 외부 천(7)을 구비하고 있다.

또한, 프레임(5)의 하면에는 스크린 마스크(1)의 상부 주면(1a)이 대향한 상태에서 접착제 등에 의해 고착되고, 원하는 긴장 상태를 유지한 상태에서 내부 천(6) 및 외부 천(7)을 보유 지지하고 있다. 또한, 프레임(5)은 도4 및 도5에 도시하는 바와 같이, 각관을 사각형으로 형성한 것이고, 예를 들어 알루미늄 합금 등의 금속 재료로 이루어진다.

또한, 프레임(5)의 내부에는, 스크린 마스크의 평면 치수[주면(1a)측으로부터 본 치수]의 크기에 따라서, 보강재가 삽입되어 있다.

도1에 도시하는 바와 같이, 스크린 마스크(1)는 마스크 홀더(2)의 역ㄷ자형의 가이드부에 끼워지는 상태에서 삽입된다. 스크린 마스크(1)의 삽입 방향의 위치는 마스크 홀더(2)의 한 변에 형성된 스토퍼(8)에 의해 결정되고, 마스크 홀더(2)에 적재된다.

또한, 도2에 도시하는 바와 같이 인쇄 장치(100)는 스퀴지(9)를 구비하고, 스퀴지(9)는 인쇄 실행시에 스크린 마스크(1)의 상부 주면(1a)을 기판(3) 방향으로 압박하면서 마찰 이동하고, 인쇄제인 형광체 페이스트(도시하지 않음)를 하부 주면(1b)측으로 압출하는 압출 기구를 갖고 있다.

또한, 도1 및 도2에 도시하는 바와 같이 인쇄 장치(100)는, 스크린 마스 크(1)를 마스크 홀더(2)에 적재하는 위치(제1 위치)로부터 기판(3)의 주면에 형성된 박스 리브로 구획된 셀 내에 형광체 페이스트의 충전을 행하는 위치, 즉 인쇄 실행 위치(제2 위치)까지, 스크린 마스크(1)가 마스크 홀더(2)에 적재된 상태로 이송하는 이송 기구를 구비하고 있다.

여기서, 인쇄 실행 위치라 함은 인쇄제인 형광체 페이스트를 스퀴지(9)의 마찰 이동에 의해 주면(1a)으로부터 주면(1b)의 방향으로 내부 천(6)에 형성된 구멍부를 통과시켜 리브로 구획된 셀 내에 충전(즉 전사)하는 위치이다. 인쇄 실행 위치에서는, 스크린 마스크(1)와 기판(3)이 상기 충전에 필요한 소정의 위치 관계를 이루고 있다.

이송 기구로서는 도1 및 도2에 도시하는 바와 같이, 스크린 마스크(1)를 지지하는 마스크 홀더(2)를 가이드 레일(10)을 따라 이송하는 방법을 예시할 수 있다. 이송을 위한 동력으로서는 예를 들어, 전동 모터 등을 이용할 수 있다.

상기 제1 위치로부터 인쇄 실행 위치로 이송하는 단계에서는, 스크린 마스크(1)의 프레임(5)은 마스크 홀더(2)에 지지되어 있는 상태이고, 스크린 마스크(1)는 마스크 홀더(2)에 고정되어 있지 않다.

상기 인쇄 실행 위치에 마스크 홀더(2)와 함께 이송된 스크린 마스크(1)는 도3 내지 도5에 도시하는 클램프(11)에 의해 고정된다(제1 고정 기구). 클램프(11)는, 예를 들어 에어 실린더 등의 막대형의 부재이고, 마스크 홀더(2)의 상측의 부재로부터 하측의 부재 방향으로 프레임(5)을 압박하여 고정되어 있다.

또한, 제1 고정 기구는 인쇄 실행시에 발생하는 힘[즉, 스퀴지(9)가 압박하 면서 마찰 이동하는 것에 의해, 마찰 이동 방향에 작용하는 힘]에 의해, 프레임(5)이 이동하는 현상을 허용 범위 내로 억제할 수 있으면 좋고, 상기한 방법에 한정되는 것은 아니다.

본 제1 실시 형태에서는 클램프(11)에 의한 고정, 즉 제1 고정 기구는 인쇄 실행 위치에서 동작한다. 제1 고정 기구를 인쇄 실행 위치 이외에서 동작시킨 경우의 문제점에 대해, 도15를 이용하여 설명한다.

도15는 본 제1 실시 형태의 비교예인 인쇄 장치의 마스크 홀더에 고정된 스크린 마스크를 인쇄 실행 위치로 이송한 후의 상태를 나타내는 평면도이다. 도15에 있어서 나타내는 부호는 본 제1 실시 형태의 도3에서 나타내는 부호에 대응한다. 또한, 도15에서는 스크린 마스크의 변형 상태를 이해하기 쉽게 하기 위해 스크린 마스크의 변형의 정도를 과장하여 나타내고 있다.

스크린 마스크(1)를 마스크 홀더(2)에 적재하는 위치로부터 인쇄 실행 위치로 이송할 때, 가이드 레일(10)에 왜곡이 있으면, 도15에 도시하는 바와 같이 마스크 홀더(2)가 변형되는 일이 있다. 이때, 스크린 마스크(1)의 프레임(5)이 마스크 홀더에 고정되어 있는 경우, 마스크 프레임이 마스크 홀더를 따라 약간 변형된다.

스크린 마스크(1)의 인쇄 유효 영역인 내부 천(6)은, 외부 천(6)에 의해 프레임(5)의 방향으로 일정 범위 내의 장력으로 긴장되어 있으므로, 프레임(5)이 변형되면, 이것에 따라 내부 천(6)도 변형된다. 이로 인해, 본 제1 실시 형태의 비교예에서는 인쇄 정밀도가 허용 범위로부터 어긋나는 경우가 있다.

인쇄 정밀도가 허용 범위로부터 어긋나면, RGB(Red Green Blue)의 각 형광체 페이스트가 소정의 셀 내에 충전되지 않고, 예를 들어 인접한 셀에 충전되면 혼색 불량으로 된다. 또한, 혼색까지 이르지 않아도, 리브의 정상부에 형광체가 올라타면, 완성된 플라즈마 디스플레이의 표시상, 불균일 등의 문제점을 발생시키는 원인으로 된다.

도1 내지 도6에 나타내는 본 제1 실시 형태의 인쇄 장치는, 제1 고정 기구를 인쇄 실행 위치에서 동작하므로, 스크린 마스크(1)를 마스크 홀더(2)에 적재하는 위치로부터 인쇄 실행 위치로 이송할 때에는 스크린 마스크(1)는 마스크 홀더(2)에 고정되어 있지 않고, 미끄럼 이동 가능한 상태에서 적재되어 있다.

이로 인해, 예를 들어 도1 및 도2에 도시하는 가이드 레일(10)에 왜곡이 있는 등의 이유에 의해, 마스크 홀더(2)가 변형했다고 해도, 스크린 마스크(1)의 프레임(5)의 변형을 방지할 수 있다.

즉, 본 제1 실시 형태의 인쇄 장치는, 제1 고정 기구를 인쇄 실행 위치에서 동작시키는 것에 의해, 스크린 마스크(1)를 마스크 홀더(2)에 적재하는 위치로부터 인쇄 실행 위치로 이송할 때의 프레임(5)의 변형을 방지할 수 있으므로, 인쇄 정밀도를 향상시키는 것이 가능하게 된다.

여기서, 본 제1 실시 형태에 관한 인쇄 장치(100)를 이용하여 피인쇄물에 스크린 인쇄를 행하는 방법에 대해, 기판(3)에 형성된 리브로 구획된 각 셀 내에 RGB의 각 형광체 페이스트를 충전하는 방법을 예로서 설명한다.

도7은 본 제1 실시 형태의 인쇄 장치의 마스크 홀더에 스크린 마스크를 적재하는 공정을 나타내는 주요부 단면도, 도8은 본 제1 실시 형태의 인쇄 장치의 마스 크 홀더에 스크린 마스크를 적재하는 위치로부터 인쇄 실행 위치로 이송하는 공정을 나타내는 주요부 단면도, 도9는 본 제1 실시 형태의 인쇄 장치의 압출 기구가 동작하고, 인쇄제를 피인쇄물에 전사하는 공정을 나타내는 주요부 단면도, 도10은 본 제1 실시 형태인 인쇄 장치의 스크린 마스크의 이면을 클리닝하는 공정을 나타내는 주요부 단면도이다.

(a) 우선, 도7에 도시하는 바와 같이 제1 위치에서 스크린 마스크(1)를 마스크 홀더(2)에 적재한다. 이 공정에서는, 스크린 마스크(1)의 프레임(5)은 마스크 홀더(2)에 지지되어 있는 상태이고, 스크린 마스크(1)는 마스크 홀더(2)에 고정되어 있는 것은 아니다.

또한, 기판(3)은 인쇄 스테이지(4) 상에 적재되어 있다.

(b) 다음에 도8에 도시하는 바와 같이, 마스크 홀더(2)는 스크린 마스크(1)의 프레임(5)을 지지한 상태로 인쇄 실행 위치(제2 위치)로 이송된다. 이송 수단으로서는 이미 설명한 바와 같이 마스크 홀더(2)를 가이드 레일(10)을 따라 이송하는 방법을 예시할 수 있다.

(c) 스크린 마스크(1) 및 마스크 홀더(2)가, 인쇄 실행 위치로 이송된 후, 인쇄 장치(100)의 제1 고정 기구가 동작하고, 스크린 마스크(1)는 마스크 홀더(2)에 고정된다. 제1 고정 기구로서는, 도3 내지 도5를 이용하여 이미 설명한 바와 같이, 예를 들어 클램프(11)로, 마스크 홀더(2)의 상측의 부재로부터 하측의 부재 방향으로 프레임(5)을 압박하여 고정하는 방법을 예시할 수 있다.

본 제1 실시 형태의 인쇄 방법에 따르면, 제1 고정 기구를 인쇄 실행 위치로 이송했을 때에 동작시키는 것에 의해, 스크린 마스크(1)를 마스크 홀더(2)에 적재하는 위치로부터 인쇄 실행 위치로 이송할 때의 프레임(5)의 변형을 방지할 수 있으므로, 인쇄 정밀도를 향상시키는 것이 가능하게 된다.

(d) 스크린 마스크(1)가 인쇄 실행 위치에서 마스크 홀더(2)에 고정된 후, 기판(3)이 인쇄 실행 위치에 배치되도록 이송된다. 기판(3)은, 기판(3)이 적재된 상태에서 인쇄 스테이지(4)가 이동하는 것에 의해 소정의 인쇄 위치로 조정된다.

위치 조정의 구체적 수단으로서는, 적외선 센서 등에 의해, 스크린 마스크(1) 및 기판(3)의 위치를 인식하고, 소정의 위치 관계로 되도록 인쇄 스테이지(4)를 이동시키는 방법을 예시할 수 있다.

본 제1 실시 형태의 인쇄 스테이지(4)는, 스크린 마스크(1)의 주면(1b)을 따른 방향으로도, 주면(1b)에 교차하는 방향으로도 이동 가능한 상태에서 인쇄 장치(100)의 프레임에 지지되어 있다. 이로 인해, 기판(3)이 적재된 상태에서 인쇄 스테이지(4)를 이동시키는 것에 의해, 기판(3)을 인쇄 실행 위치로 이송하는 것이 가능하게 된다.

(e) 스크린 마스크(1) 및 기판(3)이 각각 인쇄 실행 위치에 배치된 후, 인쇄 장치(100)의 스퀴징(압출 기구)이 동작하고, 인쇄제인 형광체 페이스트가 피인쇄물인 기판(3)에 전사된다. 즉 제1 전사 공정이 실행된다.

여기서, 도9에 도시하는 주면(1b)에 대향하는 기판(3)의 주면(3a)에는, 박스 리브 또는 스트라이프 리브가 형성되어 있다. 스퀴지(9)는 스크린 마스크(1)의 내부 천(6)(도3 참조)을, 주면(1a)으로부터 기판(3)의 주면(3a)의 방향으로 압박하면 서, 도면의 화살표(12)로 나타내는 방향(마찰 이동 방향)으로 마찰 이동하는 것에 의해, 예를 들어 적색의 형광체 페이스트를 기판(3)의 주면(3a)에 형성된 리브로 구획된 셀 내에 충전(즉 전사)한다.

스크린 마스크(1)의 내부 천(6)은 소정의 범위 내의 장력으로, 프레임(5) 방향으로 긴장되어 있기 때문에, 스퀴지(9)의 상기 마찰 이동을 완료하고, 상부로 이동한 단계에서 내부 천(6)과 기판(3)과는 박리하여 제1 전사 공정이 종료한다.

(f) 전사 공정에서는 형광체 페이스트를 스퀴징에 의해 내부 천(6)의 구멍부를 통과시켜 기판(3)에 충전하기 위해, 스퀴징을 실행하면 스크린 마스크(1)의 이면에 형광체 페이스트의 일부가 부착된다(뒷면 묻어나기).

다른 종류의 형광체 페이스트를 충전하는 경우, 혼색의 문제를 방지하기 위해, 부착된 형광체 페이스트를 닦아내는 공정이 필요로 된다. 그래서, 도10에 도시하는 바와 같이 스크린 마스크(1)의 주면(1b)에 부착된 형광체 페이스트를 클리닝 장치(13)에 의해 클리닝한다.

클리닝 공정에 앞서, 클리닝 장치(13)의 배치 공간을 확보하기 위해, 스크린 마스크(1)를 클리닝 실행 위치(제1 위치)까지 이송할 필요가 있다. 이송의 수단으로서는, 제1 고정 기구를 해제한 후, 클리닝 실행 위치로 이송하는 방법도 고려된다.

그러나, 제1 고정 기구를 해제하면, 클리닝 후에 실시되는 제2 전사 공정에서 다시 스크린 마스크(1) 및 기판(3)의 위치를 인식할 필요가 생기기 때문에, 작업이 번잡해진다. 제2 전사 공정 전의 위치 인식을 회피하는 위해서는, 스크린 마 스크(1)를 마스크 홀더(2)에 고정한 상태로 이송할 필요가 생긴다.

그런데, 스크린 마스크(1)를 마스크 홀더(2)에 고정한 상태로 이송하는 경우, 이미 설명한 바와 같이, 가이드 레일(10)에 왜곡이 있으면, 마스크 홀더(2) 및 마스크 프레임(5)이 약간 변형되는 일이 있다.

본 발명자가 검토한 결과, 이 경우라도 스크린 마스크(1)를 마스크 홀더(2)에 고정한 상태를 유지한 상태로 클리닝 공정, 및 인쇄 실행 위치로의 이송 공정을 행하는 것에 의해, 마스크 프레임(5)은 제1 고정 기구를 동작시켰을 때의 형상으로 복원되는 것을 발견했다.

즉, 본 제1 실시 형태에 따르면, 제1 실시 형태의 인쇄 장치는, 제1 고정 기구를 인쇄 실행 위치에서 동작시키는 것에 의해, 마스크 프레임(5)이 이송 공정에 의해 변형해도 인쇄 실행 위치에서는 복원할 수 있으므로, 인쇄 정밀도를 향상시키는 것이 가능하게 된다.

또한, 본 제1 실시 형태에서는, 설명의 형편상 스크린 마스크(1)를 마스크 홀더(2)에 적재하는 위치와, 클리닝 실행 위치를 구별하여 기재했지만, 이들은 동일한 위치로 해도 좋다. 동일한 위치로 하면, 인쇄 장치의 전유 면적을 작게 할 수 있다.

(g) 클리닝 공정이 종료한 후, 도8에 도시하는 바와 같이 마스크 홀더(2)는 인쇄 실행 위치(제2 위치)로 이송된다. 이미 설명한 바와 같이, 이때, 스크린 마스크(1)는 마스크 홀더(2)에 고정된 상태로 이송된다.

이하, 상기 (d) 내지 상기 (f)에서 설명한 공정을 반복하고, 제2 전사 공정, 제3 전사 공정이 종료한 시점에서, 기판(3)에 형성된 리브에 의해 구획된 각 셀 내에는, RGB의 각 형광체 페이스트가 소정의 위치에 충전된다.

또한, 제1 인쇄 공정도가 종료한 후의 상기 (d) 위치 조정 공정에서는 스크린 마스크(1) 및 기판(3)의 위치를 인식하는 작업은 생략할 수 있다.

(제2 실시 형태)

상기 제1 실시 형태에서는, 스크린 마스크의 마스크 프레임을 마스크 홀더에 고정하는 기구를 제1 고정 기구로서 설명했지만, 제1 고정 기구와는 다른 제2 고정 기구를 추가할 수도 있다. 본 제2 실시 형태에서는 상기 제1 고정 기구에 부가하여, 제2 고정 기구를 구비하는 인쇄 장치에 대해 설명한다.

도11은 본 제2 실시 형태의 인쇄 장치의 사시도, 도12는 도11에 도시하는 스퀴지, 스크린 마스크, 및 마스크 홀더를 상면으로부터 본 평면도, 도13은 도12에 나타내는 B-B선을 따라 하면 방향으로 절단한 상태를 나타내는 주요부 단면도, 도14는 C-C선을 따라 하면 방향으로 절단한 상태를 나타내는 확대 주요부 단면도이다. 또한, 도12에 나타내는 A-A선을 따른 단면도는 도5에 도시한 단면도와 같은 구조로 되므로 도시는 생략한다.

도11에 도시하는 본 제2 실시 형태의 인쇄 장치(101)와, 도2에 도시하는 상기 제1 실시 형태의 인쇄 장치(100)와의 차이점은, 인쇄 장치(101)에는 고정 조정 기구(제2 고정 기구)(14)를 구비하고 있는 점이다.

도11에 있어서, 인쇄 장치(101)는 스크린 마스크(1)와, 스크린 마스크의 마스크 프레임(5)을 지지하는 마스크 홀더(2)를 구비하고 있다. 도11은 마스크 홀 더(2)를 인쇄 실행 위치로 위상 시프트한 후의 상태이기 때문에, 도11에는 도시되어 있지 않지만, 인쇄 장치(101)는 스크린 마스크(1)의 하방에, 피인쇄물인 기판(3)(도5, 도14 참조)이 적재된 인쇄 스테이지(4)(도5, 도14 참조)를 구비하고 있다.

또한, 스크린 마스크(1)는 상부 주면(제1 주면)(1a) 및 하부 주면(제2 주면)(1b)을 갖고(도5, 도14 참조), 4개의 변(51, 52, 53, 54)을 갖는 프레임(마스크 프레임)(5)을 외주 모서리에 갖고 있다.

또한, 인쇄 장치(101)는 스퀴지(9)를 구비하고, 상기 스퀴지(9)는 전사 공정에 있어서 스크린 마스크(1)의 주면(1a)을 기판(3) 방향으로 압박하면서 도11에 화살표(제1 방향)(12)로 나타내는 방향으로 마찰 이동하고, 인쇄제(도시하지 않음)를 주면(1b)측으로 압출하는 기구(압출 기구)를 갖고 있다.

또한, 인쇄 장치(101)는 스크린 마스크(1)를 마스크 홀더(2)에 고정하는 고정 기구를 구비하고 있다. 여기서, 상기 고정 기구에 대해 상세하게 설명한다.

스크린 마스크(1)의 프레임(5)은, 도11에 도시하는 바와 같이 4개의 변(51, 52, 53, 54)을 갖고 있지만, 이 중 화살표(12)의 방향을 따라 연장하도록 배치되는 변(제1 변)(51), 및 변(제2 변)(52)은, 상기 제1 실시 형태에서 설명한 인쇄 장치(100)와 마찬가지로, 클램프(11)에 의해 마스크 홀더(2)에 고정되어 있다(제1 고정 기구).

한편, 인쇄 장치(101)에서는 화살표(12)의 방향에 교차하는 방향(제2 방향)을 따라 연장하도록 배치되는 변(제3 변)(53), 및 변(제4 변)(54) 중, 화살표(12) 로 나타내는 방향과 반대 방향에 배치되는 변(제3 변)(53)은 고정 조정 기구(14)에 의해 마스크 홀더(2)에 고정되어 있다(제2 고정 기구).

여기서, 상기 제2 고정 기구를 구비하고 있지 않는 인쇄 장치에서 스크린 인쇄를 행하는 경우의 문제점에 대해, 도16을 이용하여 설명한다.

도16은 본 제2 실시 형태의 비교예인 상기 제2 고정 기구를 구비하고 있지 않는 인쇄 장치를 이용하여 스크린 인쇄를 행했을 때의 스크린 마스크의 변형 상태를 나타내는 평면도이다. 도16에 있어서 나타내는 부호는 본 제1 실시 형태의 도12로 나타내는 부호에 대응한다. 또한, 도16에서는 스크린 마스크의 변형 상태를 이해하기 쉽게 하기 위해 스크린 마스크의 변형의 정도를 과장하여 나타내고 있다.

도16에 있어서, 스퀴지(9)는 전사 공정에서, 화살표(12)의 하측의 시점으로부터 상측의 종점[화살표(12)의 선단부]을 향해 마찰 이동한다. 이때, 스퀴지(9)는 내부 천(6) 및 외부 천(7)을 피인쇄물 방향[도16이 기재되는 지면(紙面)의 표면으로부터 이면 방향]으로 압박하면서 마찰 이동하기 때문에, 프레임(5)의 변(53, 54)에는, 화살표(12)를 따른 방향의 외력이 가해진다.

상기 외력이 가해진 결과, 프레임(5)의 변(53, 54)이 도16에 도시하는 바와 같이 변형되는 경우가 있다. 이 마찰 이동시의 외력에 의한 프레임(5)의 변형은 프레임(5)의 합성이 가장 약한 부분, 즉, 변(53, 54)의 중앙 부근에서 특히 크게 변형된다. 프레임(5)의 변(53, 54)이 변형되면, 이것에 따라 인쇄 유효 영역인 내부 천(6)이 변형된다.

이미 설명한 바와 같이, 스크린 인쇄를 행하는 위해서는, 소정의 위치 관계 로 스크린 마스크와 피인쇄물을 배치하고, 상기 소정의 위치 관계를 고정밀도로 유지하면서 스퀴징을 행하고, 피인쇄물에 전사할 필요가 있다.

따라서, 인쇄 유효 영역인 내부 천(6)이 변형되면 이것에 수반하여 소정의 위치 관계를 유지할 수 없게 된다. 또한, 내부 천(6)의 변형의 정도는 불규칙적으로 발생하기 때문에, 상기 변형의 정도 범위 이상으로 인쇄 정밀도를 향상시킬 수 없다는 문제가 생긴다.

본 제2 실시 형태의 인쇄 장치(101)는 제2 고정 기구를 구비하는 것에 의해, 변(53, 54)의 변형을 방지 또는 억제하는 것이 가능하게 된다. 또한, 본 발명자가 검토한 결과, 제2 고정 수단에 의해, 변(53)을 마스크 홀더(2)에 고정하면, 변(54)의 변형도 방지 또는 억제할 수 있는 것을 알고 있다.

여기서, PDP의 패널 기판에 형성된 스트라이프 리브, 또는 박스 리브로 구획된 각 셀 내에 형광체 페이스트를 충전하는 예에서 더욱 상세하게 설명한다.

스트라이프 리브로 구획된 각 셀 내에 형광체 페이스트를 충전하는 경우, 스트라이프 리브가 띠형으로 배치되는 방향을 따라 스퀴지를 마찰 이동시키므로, 도12에 도시하는 화살표(12)와 교차하는 방향(제2 방향)의 위치 관계를 특히 고정밀도로 제어하면 좋고, 화살표(12)를 따른 방향(제1 방향)의 위치 관계는 제2 방향의 위치 관계 정도의 정밀도는 요구되지 않는다.

한편, 박스 리브로 구획된 각 셀 내에 형광체 페이스트를 충전하는 경우, 상기 제1 방향의 위치 관계도 상기 제2 방향과 동일한 정도로 소정의 위치 관계를 고정밀도로 유지하는 것이 필요해진다.

본 제2 실시 형태의 인쇄 장치(101)는, 인쇄 영역인 내부 천(6)이, 화살표(12)를 따른 방향, 즉 제1 방향으로 변형되는 것을 방지 또는 억제할 수 있으므로, 한쪽의 주면에 박스 리브가 형성되는 PDP를 특히 고선명화할 수 있다.

본 제2 실시 형태에서는, 제2 고정 기구로서, 3개의 고정 조정 기구(14)로 변(53)의 3부위를 마스크 홀더(2)에 고정하는 예로 설명했지만, 변(53)을 고정하는 부위는 3부위로 한정되지 않는다. 인쇄 유효 영역인 내부 천(6)의 변형을 방지 또는 원하는 범위 내로 억제할 수 있으면 되므로, 변(53) 중, 스크린 마스크(1)의 인쇄 유효 영역인 내부 천(6)에 대향하는 영역 중 적어도 1부위가 고정되어 있으면 좋다.

이미 설명한 바와 같이, 변(53)의 변형은 변(53)의 중앙에서 가장 커지므로, 상기 고정 부위는 적어도 변(53)의 중앙을 포함하고 있는 것이 바람직하다. 고정 부위에 변(53)의 중앙을 포함하는 것에 의해, 더욱 확실히 내부 천(6)의 변형을 방지 또는 억제할 수 있으므로, 인쇄 정밀도를 향상시킬 수 있다.

또한, 본 제2 실시 형태에서는, 고정 조정 기구(14)의 형상이 역ㄷ자형인 예를 설명했지만, 프레임(5)의 변(53)의 변형이 방지 또는 원하는 범위 내로 억제할 수 있으면, 고정 조정 기구(14)의 형상은 역ㄷ자형으로 한정되지 않는다.

이미 설명한 바와 같이, 변(53)의 변형은 화살표(12)를 따른 방향(제1 방향)에 발생하므로, 고정 조정 기구(14)는, 변(53)의 제1 방향측의 측면을 상기 제1 방향과 반대 방향[즉 변(53)의 외주 방향]으로 억제하는 면을 갖도록 구성하는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 직접적으로 변(53)의 변형을 방지 또는 억제할 수 있으므로, 인쇄 정밀도를 향상시킬 수 있다.

또한, 본 제2 실시 형태에서는, 제1 고정 기구 및 제2 고정 기구를 동작시키는 위치에 대해서는 특별히 한정하고 있지 않다. 그러나, 제1 고정 기구 및 제2 고정 기구를 인쇄 실행 위치에서 동작시켜도 되는 것은 물론이다.

본 제2 실시 형태의 인쇄 장치(101)에 있어서, 제1 고정 기구 및 제2 고정 기구를 인쇄 실행 위치, 즉, 인쇄제를 스퀴지(9)의 마찰 이동에 의해 스크린 마스크(1)의 주면(1a)으로부터 주면(1b)의 방향으로 내부 천(6)에 형성된 구멍부를 통과시켜 피인쇄제에 전사하는 위치에서 동작시키는 것에 의해, 인쇄 정밀도를 더욱 향상시키는 것이 가능하게 된다.

본 발명자가 검토한 결과, 본 제2 실시 형태의 인쇄 장치(101)에 있어서, 제1 고정 기구 및 제2 고정 기구를 인쇄 실행 위치에서 동작시키면, 전사 공정시에 발생하는 마스크 프레임(5)의 변(53) 중앙부의 변위량[변(53)의 중앙부가 제1 방향을 따라 이동하는 거리]을 10 ㎛ 이내로 억제할 수 있다.

그런데, 플라즈마 디스플레이의 표시면을 대형화하면, PDP의 표시면의 정밀도를 향상시킬 필요가 있다.

특히 42인치(디스플레이의 표시면의 크기를 나타내는 척도이며, 표시면의 대각선의 길이를 인치로 나타냄) 풀 HD(full high definition) 이상의 디스플레이에 있어서는 정밀도를 180 ㎛ × 420 ㎛ 이하로 하는 기술이 요망되고 있다.

정밀도를 180 ㎛ × 420 ㎛ 이하로 하기 위해서는 박스 리브로 구획된 셀의 평면 치수를 70 ㎛ × 320 ㎛로 할 필요가 있다.

여기서, 예를 들어, 외형 크기가 3.5 m × 3.3 m인 스크린 마스크를 이용하는 인쇄 장치에 있어서, 고정 조정 기구(14)를 구비하고 있지 않은 경우, 스퀴징 방향의 판 프레임의 최대 변위량은 120 ㎛ 정도로 되고, 평면 치수가 70 ㎛ × 320 ㎛의 셀에 대해 형광체 페이스트의 충전을 행하면, 인접하는 셀까지 형광체 페이스트가 충전되어 버린다.

또한, 고정 조정 기구(14)를 구비하고 있어도, 마스크 프레임의 변(53) 중 인쇄 유효 영역에 대향하는 영역이 1부위도 고정되어 있지 않는 경우, 스퀴징 방향의 판 프레임의 최대 변위량은 50 ㎛ 정도로 된다.

본 실시 형태의 인쇄 장치는 마스크 프레임의 변(53) 중 인쇄 유효 영역에 대향하는 영역이 1부위 고정하는 것에 의해, 스퀴징 방향의 판 프레임의 최대 변위량은 10 ㎛ 이하로 할 수 있다.

스퀴징 방향의 판 프레임의 최대 변위량은 10 ㎛ 이하로 하는 것에 의해, 인쇄 유효 영역의 최대 변위량은 10 ㎛ 이하로 할 수 있다. 이로 인해, 평면 치수가 70 ㎛ × 320 ㎛의 셀에 대해 혼색이나 색 불균일을 발생하는 일없이 형광제를 충전하는 것이 가능하게 되는, 즉 PDP의 정밀도를 향상시키는 것이 가능하게 된다.

본 제2 실시 형태의 인쇄 장치(101)는, 마스크 프레임(5)의 스퀴지(9)가 동작할 때의 변(53) 중앙부의 변위량을 10 ㎛ 이내로 억제하는 것에 의해, 인쇄 정밀도를 향상시킬 수 있으므로 PDP를 고선명화할 수 있다.

PDP의 제조 공정에 있어서, 스크린 인쇄 기술은 상기 제1 실시 형태 및 본 제2 실시 형태에서 설명한 형광체층 형성(형광체 페이스트의 충전) 공정 외에, 예 를 들어 스트라이프 리브 또는 박스 리브의 배면에 형성되는 어드레스 전극의 형성 등에도 적용된다.

PDP의 정밀도는 리브로 구획된 각 셀의 정밀도에 의해 결정된다. 따라서, 스크린 인쇄의 인쇄 정밀도를 향상시키면, PDP를 고선명화할 수 있다.

이상, 본 발명자에 의해 이루어진 발명을 발명에 실시 형태를 기초로 하여 구체적으로 설명했지만, 본 발명은 상기 발명의 실시 형태에 한정되는 것은 아니고, 그 요지를 일탈하지 않는 범위에서 다양하게 변경 가능하다.

본 발명은, 스크린 인쇄 장치, 특히 높은 인쇄 정밀도가 요구되는 스크린 인쇄 장치에 적용할 수 있다.

본원에 있어서 개시되는 발명 중, 대표적인 것에 의해 얻어지는 효과를 간단히 설명하면 이하와 같다.

즉, 본 발명에 따르면, 스크린 인쇄의 인쇄 정밀도를 향상시킬 수 있다.

Claims (3)

1. 제1 주면과 제2 주면을 갖고, 마스크 프레임을 외주 모서리에 갖는 스크린 마스크와,

   상기 스크린 마스크의 상기 마스크 프레임을 지지하는 마스크 홀더와,

   피인쇄물을 적재하는 인쇄 스테이지와,

   상기 스크린 마스크의 상기 제1 주면을 상기 피인쇄물 방향으로 압박하면서 마찰 이동하고, 인쇄제를 상기 제2 주면측으로 압출하는 압출 기구와,

   상기 마스크 프레임을 지지한 상태에서 상기 마스크 홀더를 제1 위치로부터 인쇄 실행 위치인 제2 위치로 이송하는 이송 기구와,

   상기 스크린 마스크를 상기 마스크 홀더에 고정하는 고정 기구를 구비하고,

   상기 고정 기구가, 상기 제2 위치에서 동작하는 것을 특징으로 하는 인쇄 장치.
2. 제1 주면과 제2 주면을 갖고, 네 변을 갖는 마스크 프레임을 외주 모서리에 갖는 스크린 마스크와,

   상기 스크린 마스크의 상기 마스크 프레임을 지지하는 마스크 홀더와,

   피인쇄물을 적재하는 인쇄 스테이지와,

   상기 스크린 마스크의 상기 제1 주면을 상기 피인쇄물 방향으로 압박하면서 제1 방향으로 마찰 이동하고, 인쇄제를 상기 제2 주면측으로 압출하는 압출 기구 와,

   상기 스크린 마스크를 상기 마스크 홀더에 고정하는 고정 기구를 구비하고,

   상기 고정 기구는,

   상기 마스크 프레임의 네 변 중, 상기 제1 방향을 따라 배치되는 제1 변 및 제2 변과, 상기 마스크 홀더를 고정하는 제1 고정 기구와,

   상기 마스크 프레임의 네 변 중, 상기 제1 방향에 교차하는 제2 방향을 따라 배치되고, 또한, 상기 압출 기구가 상기 마찰 이동을 개시하는 위치로부터 보아 상기 제1 방향과 반대 방향에 배치되는 제3 변과, 상기 마스크 홀더를 고정하는 제2 고정 기구로 이루어지고,

   상기 제2 고정 기구는,

   상기 제3 변 중, 상기 스크린 마스크의 인쇄 유효 영역에 대향하는 영역 중 적어도 1부위를 고정하는 것을 특징으로 하는 인쇄 장치.
3. 제1 주면과 제2 주면을 갖고, 네 변을 갖는 마스크 프레임을 외주 모서리에 갖는 스크린 마스크와,

   상기 스크린 마스크의 상기 마스크 프레임을 지지하는 마스크 홀더와,

   피인쇄물을 적재하는 인쇄 스테이지와,

   상기 스크린 마스크의 상기 제1 주면을 상기 피인쇄물 방향으로 압박하면서 제1 방향으로 마찰 이동하고, 인쇄제를 상기 제2 주면측으로 압출하는 압출 기구와,

   상기 스크린 마스크를 상기 마스크 홀더에 고정하는 고정 기구를 구비하고,

   상기 마스크 프레임은,

   상기 제1 방향을 따라 배치되는 제1 변 및 제2 변과,

   상기 제1 방향에 교차하는 제2 방향을 따라 배치되고, 또한, 상기 압출 기구가 상기 마찰 이동을 개시하는 위치로부터 보아 상기 제1 방향과 반대 방향에 배치되는 제3 변을 구비하고,

   상기 압출 기구가 동작할 때에 상기 제3 변의 중앙부가 상기 제1 방향을 따라 변형되는 변위량이 10 ㎛ 이내인 것을 특징으로 하는 인쇄 장치.

Images